Abstract

We have fabricated periodic multilayers that comprise either SiTb or SiCTb bilayers, designed to operate as narrowband reflective coatings near 60 nm wavelength in the extreme ultraviolet (EUV). We find peak reflectance values in excess of 20% near normal incidence. The spectral bandpass of the best SiTb multilayer was measured to be 6.5 nm full width at half-maximum (FWHM), while SiCTb multilayers have a more broad response, of order 9.4 nm FWHM. Transmission electron microscopy analysis of SiTb multilayers reveals polycrystalline Tb layers, amorphous Si layers, and relatively large asymmetric amorphous interlayers. Thermal annealing experiments indicate excellent stability to 100°C (1 h) for SiTb. These new multilayer coatings have the potential for use in normal incidence instrumentation in a region of the EUV where efficient narrowband multilayers have not been available until now. In particular, reflective SiTb multilayers can be used for solar physics applications where the coatings can be tuned to important emission lines such as O V near 63.0 nm and Mg X near 61.0 nm.

© 2005 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. J. P. Delaboudinière and the SOHO Mission groups, Sol. Phys. 162, 291 (1995).
    [CrossRef]
  2. B. N. Handy, L. W. Acton, and C. C. Kankelborg, and 43 coauthors, Sol. Phys. 187, 229 (1999).
    [CrossRef]
  3. R. Soufli, D. L. Windt, J. C. Robinson, S. L. Baker, A. L. Aquila, F. J. Dollar, E. M. Gullikson, J. F. Seely, B. Kjornrattanawanich, and L. Golub, Proc. SPIE 5900 (2005).
  4. T. Ejima, Y. Kondo, and M. Watanabe, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 40, 376 (2001).
    [CrossRef]
  5. Yu. A. Uspenskii, V. E. Levashov, A. V. Vinogradov, A. I. Fedorenko, V. V. Kondratenko, Yu. P. Pershin, E. N. Zubarev, and V. Yu. Fedotov, Opt. Lett. 23, 771 (1998).
    [CrossRef]
  6. J. F Seely, L. Goray, D. Windt, B. Kjornrattanawanich, Y. Uspenskii, and A. Vinogradov, Proc. SPIE 5538, 43 (2004).
    [CrossRef]
  7. Yu. A. Uspenskii, J. F. Seely, N. L. Popov, A. V. Vinogradov, Yu. P. Pershin, and V. V. Kondratenko, J. Opt. Soc. Am. A 21, 298 (2004).
    [CrossRef]
  8. J. Dalla Torre, G. H. Gilmer, D. L. Windt, R. Kalyanaraman, F. H. Bauman, P. L. O’Sullivan, J. Sapjeta, T. Diaz de la Rubia, and M. Djafari Rouhani, J. Appl. Phys. 94, 263 (2003).
    [CrossRef]
  9. D. L. Windt, Comput. Phys. 12, 360 (1998).
    [CrossRef]
  10. B. L. Henke, E. M. Gullikson, and J. C. Davis, At. Data Nucl. Data Tables 54, 181 (1993).
    [CrossRef]
  11. J. B. Kortright and D. L. Windt, Appl. Opt. 27, 2841 (1988).
    [CrossRef] [PubMed]
  12. Accurel Systems International, Sunnyvale, Calif.
  13. J. F. Seely, Yu. A. Uspenskii, Yu. P. Pershin, V. V. Kondratenko, and A. V. Vinogradov, Appl. Opt. 41, 1846 (2002).
    [CrossRef] [PubMed]

2005 (1)

R. Soufli, D. L. Windt, J. C. Robinson, S. L. Baker, A. L. Aquila, F. J. Dollar, E. M. Gullikson, J. F. Seely, B. Kjornrattanawanich, and L. Golub, Proc. SPIE 5900 (2005).

2004 (2)

J. F Seely, L. Goray, D. Windt, B. Kjornrattanawanich, Y. Uspenskii, and A. Vinogradov, Proc. SPIE 5538, 43 (2004).
[CrossRef]

Yu. A. Uspenskii, J. F. Seely, N. L. Popov, A. V. Vinogradov, Yu. P. Pershin, and V. V. Kondratenko, J. Opt. Soc. Am. A 21, 298 (2004).
[CrossRef]

2003 (1)

J. Dalla Torre, G. H. Gilmer, D. L. Windt, R. Kalyanaraman, F. H. Bauman, P. L. O’Sullivan, J. Sapjeta, T. Diaz de la Rubia, and M. Djafari Rouhani, J. Appl. Phys. 94, 263 (2003).
[CrossRef]

2002 (1)

2001 (1)

T. Ejima, Y. Kondo, and M. Watanabe, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 40, 376 (2001).
[CrossRef]

1999 (1)

B. N. Handy, L. W. Acton, and C. C. Kankelborg, and 43 coauthors, Sol. Phys. 187, 229 (1999).
[CrossRef]

1998 (2)

1995 (1)

J. P. Delaboudinière and the SOHO Mission groups, Sol. Phys. 162, 291 (1995).
[CrossRef]

1993 (1)

B. L. Henke, E. M. Gullikson, and J. C. Davis, At. Data Nucl. Data Tables 54, 181 (1993).
[CrossRef]

1988 (1)

Acton, L. W.

B. N. Handy, L. W. Acton, and C. C. Kankelborg, and 43 coauthors, Sol. Phys. 187, 229 (1999).
[CrossRef]

Aquila, A. L.

R. Soufli, D. L. Windt, J. C. Robinson, S. L. Baker, A. L. Aquila, F. J. Dollar, E. M. Gullikson, J. F. Seely, B. Kjornrattanawanich, and L. Golub, Proc. SPIE 5900 (2005).

Baker, S. L.

R. Soufli, D. L. Windt, J. C. Robinson, S. L. Baker, A. L. Aquila, F. J. Dollar, E. M. Gullikson, J. F. Seely, B. Kjornrattanawanich, and L. Golub, Proc. SPIE 5900 (2005).

Bauman, F. H.

J. Dalla Torre, G. H. Gilmer, D. L. Windt, R. Kalyanaraman, F. H. Bauman, P. L. O’Sullivan, J. Sapjeta, T. Diaz de la Rubia, and M. Djafari Rouhani, J. Appl. Phys. 94, 263 (2003).
[CrossRef]

Davis, J. C.

B. L. Henke, E. M. Gullikson, and J. C. Davis, At. Data Nucl. Data Tables 54, 181 (1993).
[CrossRef]

de la Rubia, T. Diaz

J. Dalla Torre, G. H. Gilmer, D. L. Windt, R. Kalyanaraman, F. H. Bauman, P. L. O’Sullivan, J. Sapjeta, T. Diaz de la Rubia, and M. Djafari Rouhani, J. Appl. Phys. 94, 263 (2003).
[CrossRef]

Delaboudinière, J. P.

J. P. Delaboudinière and the SOHO Mission groups, Sol. Phys. 162, 291 (1995).
[CrossRef]

Dollar, F. J.

R. Soufli, D. L. Windt, J. C. Robinson, S. L. Baker, A. L. Aquila, F. J. Dollar, E. M. Gullikson, J. F. Seely, B. Kjornrattanawanich, and L. Golub, Proc. SPIE 5900 (2005).

Ejima, T.

T. Ejima, Y. Kondo, and M. Watanabe, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 40, 376 (2001).
[CrossRef]

Fedorenko, A. I.

Fedotov, V. Yu.

Gilmer, G. H.

J. Dalla Torre, G. H. Gilmer, D. L. Windt, R. Kalyanaraman, F. H. Bauman, P. L. O’Sullivan, J. Sapjeta, T. Diaz de la Rubia, and M. Djafari Rouhani, J. Appl. Phys. 94, 263 (2003).
[CrossRef]

Golub, L.

R. Soufli, D. L. Windt, J. C. Robinson, S. L. Baker, A. L. Aquila, F. J. Dollar, E. M. Gullikson, J. F. Seely, B. Kjornrattanawanich, and L. Golub, Proc. SPIE 5900 (2005).

Goray, L.

J. F Seely, L. Goray, D. Windt, B. Kjornrattanawanich, Y. Uspenskii, and A. Vinogradov, Proc. SPIE 5538, 43 (2004).
[CrossRef]

Gullikson, E. M.

R. Soufli, D. L. Windt, J. C. Robinson, S. L. Baker, A. L. Aquila, F. J. Dollar, E. M. Gullikson, J. F. Seely, B. Kjornrattanawanich, and L. Golub, Proc. SPIE 5900 (2005).

B. L. Henke, E. M. Gullikson, and J. C. Davis, At. Data Nucl. Data Tables 54, 181 (1993).
[CrossRef]

Handy, B. N.

B. N. Handy, L. W. Acton, and C. C. Kankelborg, and 43 coauthors, Sol. Phys. 187, 229 (1999).
[CrossRef]

Henke, B. L.

B. L. Henke, E. M. Gullikson, and J. C. Davis, At. Data Nucl. Data Tables 54, 181 (1993).
[CrossRef]

Kalyanaraman, R.

J. Dalla Torre, G. H. Gilmer, D. L. Windt, R. Kalyanaraman, F. H. Bauman, P. L. O’Sullivan, J. Sapjeta, T. Diaz de la Rubia, and M. Djafari Rouhani, J. Appl. Phys. 94, 263 (2003).
[CrossRef]

Kankelborg, C. C.

B. N. Handy, L. W. Acton, and C. C. Kankelborg, and 43 coauthors, Sol. Phys. 187, 229 (1999).
[CrossRef]

Kjornrattanawanich, B.

R. Soufli, D. L. Windt, J. C. Robinson, S. L. Baker, A. L. Aquila, F. J. Dollar, E. M. Gullikson, J. F. Seely, B. Kjornrattanawanich, and L. Golub, Proc. SPIE 5900 (2005).

J. F Seely, L. Goray, D. Windt, B. Kjornrattanawanich, Y. Uspenskii, and A. Vinogradov, Proc. SPIE 5538, 43 (2004).
[CrossRef]

Kondo, Y.

T. Ejima, Y. Kondo, and M. Watanabe, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 40, 376 (2001).
[CrossRef]

Kondratenko, V. V.

Kortright, J. B.

Levashov, V. E.

O’Sullivan, P. L.

J. Dalla Torre, G. H. Gilmer, D. L. Windt, R. Kalyanaraman, F. H. Bauman, P. L. O’Sullivan, J. Sapjeta, T. Diaz de la Rubia, and M. Djafari Rouhani, J. Appl. Phys. 94, 263 (2003).
[CrossRef]

Pershin, Yu. P.

Popov, N. L.

Robinson, J. C.

R. Soufli, D. L. Windt, J. C. Robinson, S. L. Baker, A. L. Aquila, F. J. Dollar, E. M. Gullikson, J. F. Seely, B. Kjornrattanawanich, and L. Golub, Proc. SPIE 5900 (2005).

Rouhani, M. Djafari

J. Dalla Torre, G. H. Gilmer, D. L. Windt, R. Kalyanaraman, F. H. Bauman, P. L. O’Sullivan, J. Sapjeta, T. Diaz de la Rubia, and M. Djafari Rouhani, J. Appl. Phys. 94, 263 (2003).
[CrossRef]

Sapjeta, J.

J. Dalla Torre, G. H. Gilmer, D. L. Windt, R. Kalyanaraman, F. H. Bauman, P. L. O’Sullivan, J. Sapjeta, T. Diaz de la Rubia, and M. Djafari Rouhani, J. Appl. Phys. 94, 263 (2003).
[CrossRef]

Seely, J. F

J. F Seely, L. Goray, D. Windt, B. Kjornrattanawanich, Y. Uspenskii, and A. Vinogradov, Proc. SPIE 5538, 43 (2004).
[CrossRef]

Seely, J. F.

Soufli, R.

R. Soufli, D. L. Windt, J. C. Robinson, S. L. Baker, A. L. Aquila, F. J. Dollar, E. M. Gullikson, J. F. Seely, B. Kjornrattanawanich, and L. Golub, Proc. SPIE 5900 (2005).

Torre, J. Dalla

J. Dalla Torre, G. H. Gilmer, D. L. Windt, R. Kalyanaraman, F. H. Bauman, P. L. O’Sullivan, J. Sapjeta, T. Diaz de la Rubia, and M. Djafari Rouhani, J. Appl. Phys. 94, 263 (2003).
[CrossRef]

Uspenskii, Y.

J. F Seely, L. Goray, D. Windt, B. Kjornrattanawanich, Y. Uspenskii, and A. Vinogradov, Proc. SPIE 5538, 43 (2004).
[CrossRef]

Uspenskii, Yu. A.

Vinogradov, A.

J. F Seely, L. Goray, D. Windt, B. Kjornrattanawanich, Y. Uspenskii, and A. Vinogradov, Proc. SPIE 5538, 43 (2004).
[CrossRef]

Vinogradov, A. V.

Watanabe, M.

T. Ejima, Y. Kondo, and M. Watanabe, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 40, 376 (2001).
[CrossRef]

Windt, D.

J. F Seely, L. Goray, D. Windt, B. Kjornrattanawanich, Y. Uspenskii, and A. Vinogradov, Proc. SPIE 5538, 43 (2004).
[CrossRef]

Windt, D. L.

R. Soufli, D. L. Windt, J. C. Robinson, S. L. Baker, A. L. Aquila, F. J. Dollar, E. M. Gullikson, J. F. Seely, B. Kjornrattanawanich, and L. Golub, Proc. SPIE 5900 (2005).

J. Dalla Torre, G. H. Gilmer, D. L. Windt, R. Kalyanaraman, F. H. Bauman, P. L. O’Sullivan, J. Sapjeta, T. Diaz de la Rubia, and M. Djafari Rouhani, J. Appl. Phys. 94, 263 (2003).
[CrossRef]

D. L. Windt, Comput. Phys. 12, 360 (1998).
[CrossRef]

J. B. Kortright and D. L. Windt, Appl. Opt. 27, 2841 (1988).
[CrossRef] [PubMed]

Zubarev, E. N.

Appl. Opt. (2)

At. Data Nucl. Data Tables (1)

B. L. Henke, E. M. Gullikson, and J. C. Davis, At. Data Nucl. Data Tables 54, 181 (1993).
[CrossRef]

Comput. Phys. (1)

D. L. Windt, Comput. Phys. 12, 360 (1998).
[CrossRef]

J. Appl. Phys. (1)

J. Dalla Torre, G. H. Gilmer, D. L. Windt, R. Kalyanaraman, F. H. Bauman, P. L. O’Sullivan, J. Sapjeta, T. Diaz de la Rubia, and M. Djafari Rouhani, J. Appl. Phys. 94, 263 (2003).
[CrossRef]

J. Opt. Soc. Am. A (1)

Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 (1)

T. Ejima, Y. Kondo, and M. Watanabe, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 40, 376 (2001).
[CrossRef]

Opt. Lett. (1)

Proc. SPIE (2)

J. F Seely, L. Goray, D. Windt, B. Kjornrattanawanich, Y. Uspenskii, and A. Vinogradov, Proc. SPIE 5538, 43 (2004).
[CrossRef]

R. Soufli, D. L. Windt, J. C. Robinson, S. L. Baker, A. L. Aquila, F. J. Dollar, E. M. Gullikson, J. F. Seely, B. Kjornrattanawanich, and L. Golub, Proc. SPIE 5900 (2005).

Sol. Phys. (2)

J. P. Delaboudinière and the SOHO Mission groups, Sol. Phys. 162, 291 (1995).
[CrossRef]

B. N. Handy, L. W. Acton, and C. C. Kankelborg, and 43 coauthors, Sol. Phys. 187, 229 (1999).
[CrossRef]

Other (1)

Accurel Systems International, Sunnyvale, Calif.

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (3)

Fig. 1
Fig. 1

Measured transmission of Tb films having the thicknesses indicated, as a function of wavelength.

Fig. 2
Fig. 2

Reflectance at 5° incidence of Si Tb and SiC Tb multilayers as indicated. Solid lines are measured lines; dotted lines are fits.

Fig. 3
Fig. 3

High-resolution TEM image of the Si Tb film shown in Fig. 2.

Metrics