Abstract

Ultrahigh-Q microtoroids on a chip are applied as replication masters to demonstrate replica-molded high-Q microresonator arrays. Replica Q factors are nearly material loss limited, affirming the integrity of the replication process, and are as high as 5×106, or nearly a factor of 40 greater than previous polymer-based devices. Because the molding process is nondestructive, both the master and the molds can be reused. Additionally, by using a novel optical polymer (Vicast), we demonstrate storage of high-Q microresonators in the mold for weeks, providing a method to preserve the whispering-gallery Q factor.

© 2004 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. S. M. Spillane, T. J. Kippenberg, and K. J. Vahala, Nature 415, 621 (2002).
    [CrossRef] [PubMed]
  2. R. K. Chang and A. J. Campillo, eds., Optical Processes in Microcavities (World Scientific, Singapore, 1996).
  3. F. Vollmer, D. Braun, A. Libchaber, M. Khoshsima, I. Teraoka, and S. Arnold, Appl. Phys. Lett. 80, 4057 (2002).
    [CrossRef]
  4. K. J. Vahala, Nature 424, 839 (2003).
    [CrossRef] [PubMed]
  5. D. K. Armani, T. J. Kippenberg, and S. M. Spillane, Nature 421, 925 (2003).
    [CrossRef] [PubMed]
  6. E. Kim, Y. Xia, and G. M. Whitesides, Nature 376, 581 (1995).
    [CrossRef]
  7. A. Folch, Trans. ASME 121, 28 (1999).
  8. T. Thorsen, S. J. Maerkl, and S. R. Quake, Science 298, 580 (2002).
    [CrossRef] [PubMed]
  9. B. G. Splawn and F. E. Lytle, Anal. Bioanal. Chem. 373, 519 (2002).
    [CrossRef] [PubMed]
  10. J. A. Herlocker, C. Fuentes-Hernandez, J. F. Wang, N. Peyghambarian, B. Kippelen, Q. Zhang, and S. R. Marder, Appl. Phys. Lett. 80, 1156 (2002).
    [CrossRef]
  11. J. C. Knight, G. Cheung, F. Jacques, and T. A. Birks, Opt. Lett. 22, 1129 (1997).
    [CrossRef] [PubMed]
  12. M. Cai, O. Painter, and K. J. Vahala, Phys. Rev. Lett. 85, 74 (2000).
    [CrossRef] [PubMed]
  13. S. M. Spillane, T. J. Kippenberg, O. J. Painter, and K. J. Vahala, Phys. Rev. Lett. 91, 043092 (2003).
    [CrossRef]
  14. P. Rabiei, W. H. Steier, C. Zhang, and L. R. Dalton, J. Lightwave Technol. 20, 1968 (2002).
    [CrossRef]
  15. R. J. Bovin, Dow Corning, Inc., Midland, Mich. (personal communication, 2003).
  16. T. Nakai, Y. Ueno, K. Kaneko, S. Tanahashi, and S. Takeda, Opt. Quantum Electron. 33, 1113 (2001).
    [CrossRef]
  17. A. Papra, A. Bernard, D. Juncker, N. B. Larsen, B. Michel, and E. Delamarche, Langmuir 17, 4090 (2001).
    [CrossRef]
  18. M. K. Chaudhury and G. M. Whitesides, Langmuir 7, 1013 (1991).
    [CrossRef]
  19. T. J. Kippenberg, S. M. Spillane, D. K. Armani, and K. J. Vahala, Appl. Phys. Lett. 83, 797 (2003).
    [CrossRef]
  20. W. Lu, A. G. Fadeev, B. H. Qi, E. Smela, B. R. Mattes, J. Ding, G. M. Spinks, J. Mazurkiewicz, D. Z. Zhou, G. G. Wallace, D. R. MacFarlane, S. A. Forsyth, and M. Forsyth, Science 297, 983 (2002).
    [CrossRef] [PubMed]
  21. T. Kaino, Appl. Phys. Lett. 48, 757 (1986).
    [CrossRef]
  22. Y. Huang, G. T. Paloczi, J. Scheuer, and A. Yariv, Opt. Express 11, 2452 (2003), http://www.opticsexpress.org .
    [CrossRef] [PubMed]

2003 (5)

K. J. Vahala, Nature 424, 839 (2003).
[CrossRef] [PubMed]

D. K. Armani, T. J. Kippenberg, and S. M. Spillane, Nature 421, 925 (2003).
[CrossRef] [PubMed]

S. M. Spillane, T. J. Kippenberg, O. J. Painter, and K. J. Vahala, Phys. Rev. Lett. 91, 043092 (2003).
[CrossRef]

T. J. Kippenberg, S. M. Spillane, D. K. Armani, and K. J. Vahala, Appl. Phys. Lett. 83, 797 (2003).
[CrossRef]

Y. Huang, G. T. Paloczi, J. Scheuer, and A. Yariv, Opt. Express 11, 2452 (2003), http://www.opticsexpress.org .
[CrossRef] [PubMed]

2002 (7)

W. Lu, A. G. Fadeev, B. H. Qi, E. Smela, B. R. Mattes, J. Ding, G. M. Spinks, J. Mazurkiewicz, D. Z. Zhou, G. G. Wallace, D. R. MacFarlane, S. A. Forsyth, and M. Forsyth, Science 297, 983 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

P. Rabiei, W. H. Steier, C. Zhang, and L. R. Dalton, J. Lightwave Technol. 20, 1968 (2002).
[CrossRef]

S. M. Spillane, T. J. Kippenberg, and K. J. Vahala, Nature 415, 621 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

F. Vollmer, D. Braun, A. Libchaber, M. Khoshsima, I. Teraoka, and S. Arnold, Appl. Phys. Lett. 80, 4057 (2002).
[CrossRef]

T. Thorsen, S. J. Maerkl, and S. R. Quake, Science 298, 580 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

B. G. Splawn and F. E. Lytle, Anal. Bioanal. Chem. 373, 519 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

J. A. Herlocker, C. Fuentes-Hernandez, J. F. Wang, N. Peyghambarian, B. Kippelen, Q. Zhang, and S. R. Marder, Appl. Phys. Lett. 80, 1156 (2002).
[CrossRef]

2001 (2)

T. Nakai, Y. Ueno, K. Kaneko, S. Tanahashi, and S. Takeda, Opt. Quantum Electron. 33, 1113 (2001).
[CrossRef]

A. Papra, A. Bernard, D. Juncker, N. B. Larsen, B. Michel, and E. Delamarche, Langmuir 17, 4090 (2001).
[CrossRef]

2000 (1)

M. Cai, O. Painter, and K. J. Vahala, Phys. Rev. Lett. 85, 74 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

1999 (1)

A. Folch, Trans. ASME 121, 28 (1999).

1997 (1)

1995 (1)

E. Kim, Y. Xia, and G. M. Whitesides, Nature 376, 581 (1995).
[CrossRef]

1991 (1)

M. K. Chaudhury and G. M. Whitesides, Langmuir 7, 1013 (1991).
[CrossRef]

1986 (1)

T. Kaino, Appl. Phys. Lett. 48, 757 (1986).
[CrossRef]

Armani, D. K.

D. K. Armani, T. J. Kippenberg, and S. M. Spillane, Nature 421, 925 (2003).
[CrossRef] [PubMed]

T. J. Kippenberg, S. M. Spillane, D. K. Armani, and K. J. Vahala, Appl. Phys. Lett. 83, 797 (2003).
[CrossRef]

Arnold, S.

F. Vollmer, D. Braun, A. Libchaber, M. Khoshsima, I. Teraoka, and S. Arnold, Appl. Phys. Lett. 80, 4057 (2002).
[CrossRef]

Bernard, A.

A. Papra, A. Bernard, D. Juncker, N. B. Larsen, B. Michel, and E. Delamarche, Langmuir 17, 4090 (2001).
[CrossRef]

Birks, T. A.

Bovin, R. J.

R. J. Bovin, Dow Corning, Inc., Midland, Mich. (personal communication, 2003).

Braun, D.

F. Vollmer, D. Braun, A. Libchaber, M. Khoshsima, I. Teraoka, and S. Arnold, Appl. Phys. Lett. 80, 4057 (2002).
[CrossRef]

Cai, M.

M. Cai, O. Painter, and K. J. Vahala, Phys. Rev. Lett. 85, 74 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

Chaudhury, M. K.

M. K. Chaudhury and G. M. Whitesides, Langmuir 7, 1013 (1991).
[CrossRef]

Cheung, G.

Dalton, L. R.

Delamarche, E.

A. Papra, A. Bernard, D. Juncker, N. B. Larsen, B. Michel, and E. Delamarche, Langmuir 17, 4090 (2001).
[CrossRef]

Ding, J.

W. Lu, A. G. Fadeev, B. H. Qi, E. Smela, B. R. Mattes, J. Ding, G. M. Spinks, J. Mazurkiewicz, D. Z. Zhou, G. G. Wallace, D. R. MacFarlane, S. A. Forsyth, and M. Forsyth, Science 297, 983 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

Fadeev, A. G.

W. Lu, A. G. Fadeev, B. H. Qi, E. Smela, B. R. Mattes, J. Ding, G. M. Spinks, J. Mazurkiewicz, D. Z. Zhou, G. G. Wallace, D. R. MacFarlane, S. A. Forsyth, and M. Forsyth, Science 297, 983 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

Folch, A.

A. Folch, Trans. ASME 121, 28 (1999).

Forsyth, M.

W. Lu, A. G. Fadeev, B. H. Qi, E. Smela, B. R. Mattes, J. Ding, G. M. Spinks, J. Mazurkiewicz, D. Z. Zhou, G. G. Wallace, D. R. MacFarlane, S. A. Forsyth, and M. Forsyth, Science 297, 983 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

Forsyth, S. A.

W. Lu, A. G. Fadeev, B. H. Qi, E. Smela, B. R. Mattes, J. Ding, G. M. Spinks, J. Mazurkiewicz, D. Z. Zhou, G. G. Wallace, D. R. MacFarlane, S. A. Forsyth, and M. Forsyth, Science 297, 983 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

Fuentes-Hernandez, C.

J. A. Herlocker, C. Fuentes-Hernandez, J. F. Wang, N. Peyghambarian, B. Kippelen, Q. Zhang, and S. R. Marder, Appl. Phys. Lett. 80, 1156 (2002).
[CrossRef]

Herlocker, J. A.

J. A. Herlocker, C. Fuentes-Hernandez, J. F. Wang, N. Peyghambarian, B. Kippelen, Q. Zhang, and S. R. Marder, Appl. Phys. Lett. 80, 1156 (2002).
[CrossRef]

Huang, Y.

Jacques, F.

Juncker, D.

A. Papra, A. Bernard, D. Juncker, N. B. Larsen, B. Michel, and E. Delamarche, Langmuir 17, 4090 (2001).
[CrossRef]

Kaino, T.

T. Kaino, Appl. Phys. Lett. 48, 757 (1986).
[CrossRef]

Kaneko, K.

T. Nakai, Y. Ueno, K. Kaneko, S. Tanahashi, and S. Takeda, Opt. Quantum Electron. 33, 1113 (2001).
[CrossRef]

Khoshsima, M.

F. Vollmer, D. Braun, A. Libchaber, M. Khoshsima, I. Teraoka, and S. Arnold, Appl. Phys. Lett. 80, 4057 (2002).
[CrossRef]

Kim, E.

E. Kim, Y. Xia, and G. M. Whitesides, Nature 376, 581 (1995).
[CrossRef]

Kippelen, B.

J. A. Herlocker, C. Fuentes-Hernandez, J. F. Wang, N. Peyghambarian, B. Kippelen, Q. Zhang, and S. R. Marder, Appl. Phys. Lett. 80, 1156 (2002).
[CrossRef]

Kippenberg, T. J.

D. K. Armani, T. J. Kippenberg, and S. M. Spillane, Nature 421, 925 (2003).
[CrossRef] [PubMed]

S. M. Spillane, T. J. Kippenberg, O. J. Painter, and K. J. Vahala, Phys. Rev. Lett. 91, 043092 (2003).
[CrossRef]

T. J. Kippenberg, S. M. Spillane, D. K. Armani, and K. J. Vahala, Appl. Phys. Lett. 83, 797 (2003).
[CrossRef]

S. M. Spillane, T. J. Kippenberg, and K. J. Vahala, Nature 415, 621 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

Knight, J. C.

Larsen, N. B.

A. Papra, A. Bernard, D. Juncker, N. B. Larsen, B. Michel, and E. Delamarche, Langmuir 17, 4090 (2001).
[CrossRef]

Libchaber, A.

F. Vollmer, D. Braun, A. Libchaber, M. Khoshsima, I. Teraoka, and S. Arnold, Appl. Phys. Lett. 80, 4057 (2002).
[CrossRef]

Lu, W.

W. Lu, A. G. Fadeev, B. H. Qi, E. Smela, B. R. Mattes, J. Ding, G. M. Spinks, J. Mazurkiewicz, D. Z. Zhou, G. G. Wallace, D. R. MacFarlane, S. A. Forsyth, and M. Forsyth, Science 297, 983 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

Lytle, F. E.

B. G. Splawn and F. E. Lytle, Anal. Bioanal. Chem. 373, 519 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

MacFarlane, D. R.

W. Lu, A. G. Fadeev, B. H. Qi, E. Smela, B. R. Mattes, J. Ding, G. M. Spinks, J. Mazurkiewicz, D. Z. Zhou, G. G. Wallace, D. R. MacFarlane, S. A. Forsyth, and M. Forsyth, Science 297, 983 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

Maerkl, S. J.

T. Thorsen, S. J. Maerkl, and S. R. Quake, Science 298, 580 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

Marder, S. R.

J. A. Herlocker, C. Fuentes-Hernandez, J. F. Wang, N. Peyghambarian, B. Kippelen, Q. Zhang, and S. R. Marder, Appl. Phys. Lett. 80, 1156 (2002).
[CrossRef]

Mattes, B. R.

W. Lu, A. G. Fadeev, B. H. Qi, E. Smela, B. R. Mattes, J. Ding, G. M. Spinks, J. Mazurkiewicz, D. Z. Zhou, G. G. Wallace, D. R. MacFarlane, S. A. Forsyth, and M. Forsyth, Science 297, 983 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

Mazurkiewicz, J.

W. Lu, A. G. Fadeev, B. H. Qi, E. Smela, B. R. Mattes, J. Ding, G. M. Spinks, J. Mazurkiewicz, D. Z. Zhou, G. G. Wallace, D. R. MacFarlane, S. A. Forsyth, and M. Forsyth, Science 297, 983 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

Michel, B.

A. Papra, A. Bernard, D. Juncker, N. B. Larsen, B. Michel, and E. Delamarche, Langmuir 17, 4090 (2001).
[CrossRef]

Nakai, T.

T. Nakai, Y. Ueno, K. Kaneko, S. Tanahashi, and S. Takeda, Opt. Quantum Electron. 33, 1113 (2001).
[CrossRef]

Painter, O.

M. Cai, O. Painter, and K. J. Vahala, Phys. Rev. Lett. 85, 74 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

Painter, O. J.

S. M. Spillane, T. J. Kippenberg, O. J. Painter, and K. J. Vahala, Phys. Rev. Lett. 91, 043092 (2003).
[CrossRef]

Paloczi, G. T.

Papra, A.

A. Papra, A. Bernard, D. Juncker, N. B. Larsen, B. Michel, and E. Delamarche, Langmuir 17, 4090 (2001).
[CrossRef]

Peyghambarian, N.

J. A. Herlocker, C. Fuentes-Hernandez, J. F. Wang, N. Peyghambarian, B. Kippelen, Q. Zhang, and S. R. Marder, Appl. Phys. Lett. 80, 1156 (2002).
[CrossRef]

Qi, B. H.

W. Lu, A. G. Fadeev, B. H. Qi, E. Smela, B. R. Mattes, J. Ding, G. M. Spinks, J. Mazurkiewicz, D. Z. Zhou, G. G. Wallace, D. R. MacFarlane, S. A. Forsyth, and M. Forsyth, Science 297, 983 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

Quake, S. R.

T. Thorsen, S. J. Maerkl, and S. R. Quake, Science 298, 580 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

Rabiei, P.

Scheuer, J.

Smela, E.

W. Lu, A. G. Fadeev, B. H. Qi, E. Smela, B. R. Mattes, J. Ding, G. M. Spinks, J. Mazurkiewicz, D. Z. Zhou, G. G. Wallace, D. R. MacFarlane, S. A. Forsyth, and M. Forsyth, Science 297, 983 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

Spillane, S. M.

T. J. Kippenberg, S. M. Spillane, D. K. Armani, and K. J. Vahala, Appl. Phys. Lett. 83, 797 (2003).
[CrossRef]

S. M. Spillane, T. J. Kippenberg, O. J. Painter, and K. J. Vahala, Phys. Rev. Lett. 91, 043092 (2003).
[CrossRef]

D. K. Armani, T. J. Kippenberg, and S. M. Spillane, Nature 421, 925 (2003).
[CrossRef] [PubMed]

S. M. Spillane, T. J. Kippenberg, and K. J. Vahala, Nature 415, 621 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

Spinks, G. M.

W. Lu, A. G. Fadeev, B. H. Qi, E. Smela, B. R. Mattes, J. Ding, G. M. Spinks, J. Mazurkiewicz, D. Z. Zhou, G. G. Wallace, D. R. MacFarlane, S. A. Forsyth, and M. Forsyth, Science 297, 983 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

Splawn, B. G.

B. G. Splawn and F. E. Lytle, Anal. Bioanal. Chem. 373, 519 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

Steier, W. H.

Takeda, S.

T. Nakai, Y. Ueno, K. Kaneko, S. Tanahashi, and S. Takeda, Opt. Quantum Electron. 33, 1113 (2001).
[CrossRef]

Tanahashi, S.

T. Nakai, Y. Ueno, K. Kaneko, S. Tanahashi, and S. Takeda, Opt. Quantum Electron. 33, 1113 (2001).
[CrossRef]

Teraoka, I.

F. Vollmer, D. Braun, A. Libchaber, M. Khoshsima, I. Teraoka, and S. Arnold, Appl. Phys. Lett. 80, 4057 (2002).
[CrossRef]

Thorsen, T.

T. Thorsen, S. J. Maerkl, and S. R. Quake, Science 298, 580 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

Ueno, Y.

T. Nakai, Y. Ueno, K. Kaneko, S. Tanahashi, and S. Takeda, Opt. Quantum Electron. 33, 1113 (2001).
[CrossRef]

Vahala, K. J.

S. M. Spillane, T. J. Kippenberg, O. J. Painter, and K. J. Vahala, Phys. Rev. Lett. 91, 043092 (2003).
[CrossRef]

T. J. Kippenberg, S. M. Spillane, D. K. Armani, and K. J. Vahala, Appl. Phys. Lett. 83, 797 (2003).
[CrossRef]

K. J. Vahala, Nature 424, 839 (2003).
[CrossRef] [PubMed]

S. M. Spillane, T. J. Kippenberg, and K. J. Vahala, Nature 415, 621 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

M. Cai, O. Painter, and K. J. Vahala, Phys. Rev. Lett. 85, 74 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

Vollmer, F.

F. Vollmer, D. Braun, A. Libchaber, M. Khoshsima, I. Teraoka, and S. Arnold, Appl. Phys. Lett. 80, 4057 (2002).
[CrossRef]

Wallace, G. G.

W. Lu, A. G. Fadeev, B. H. Qi, E. Smela, B. R. Mattes, J. Ding, G. M. Spinks, J. Mazurkiewicz, D. Z. Zhou, G. G. Wallace, D. R. MacFarlane, S. A. Forsyth, and M. Forsyth, Science 297, 983 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

Wang, J. F.

J. A. Herlocker, C. Fuentes-Hernandez, J. F. Wang, N. Peyghambarian, B. Kippelen, Q. Zhang, and S. R. Marder, Appl. Phys. Lett. 80, 1156 (2002).
[CrossRef]

Whitesides, G. M.

E. Kim, Y. Xia, and G. M. Whitesides, Nature 376, 581 (1995).
[CrossRef]

M. K. Chaudhury and G. M. Whitesides, Langmuir 7, 1013 (1991).
[CrossRef]

Xia, Y.

E. Kim, Y. Xia, and G. M. Whitesides, Nature 376, 581 (1995).
[CrossRef]

Yariv, A.

Zhang, C.

Zhang, Q.

J. A. Herlocker, C. Fuentes-Hernandez, J. F. Wang, N. Peyghambarian, B. Kippelen, Q. Zhang, and S. R. Marder, Appl. Phys. Lett. 80, 1156 (2002).
[CrossRef]

Zhou, D. Z.

W. Lu, A. G. Fadeev, B. H. Qi, E. Smela, B. R. Mattes, J. Ding, G. M. Spinks, J. Mazurkiewicz, D. Z. Zhou, G. G. Wallace, D. R. MacFarlane, S. A. Forsyth, and M. Forsyth, Science 297, 983 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

Anal. Bioanal. Chem. (1)

B. G. Splawn and F. E. Lytle, Anal. Bioanal. Chem. 373, 519 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

Appl. Phys. Lett. (4)

J. A. Herlocker, C. Fuentes-Hernandez, J. F. Wang, N. Peyghambarian, B. Kippelen, Q. Zhang, and S. R. Marder, Appl. Phys. Lett. 80, 1156 (2002).
[CrossRef]

F. Vollmer, D. Braun, A. Libchaber, M. Khoshsima, I. Teraoka, and S. Arnold, Appl. Phys. Lett. 80, 4057 (2002).
[CrossRef]

T. J. Kippenberg, S. M. Spillane, D. K. Armani, and K. J. Vahala, Appl. Phys. Lett. 83, 797 (2003).
[CrossRef]

T. Kaino, Appl. Phys. Lett. 48, 757 (1986).
[CrossRef]

J. Lightwave Technol. (1)

Langmuir (2)

A. Papra, A. Bernard, D. Juncker, N. B. Larsen, B. Michel, and E. Delamarche, Langmuir 17, 4090 (2001).
[CrossRef]

M. K. Chaudhury and G. M. Whitesides, Langmuir 7, 1013 (1991).
[CrossRef]

Nature (4)

S. M. Spillane, T. J. Kippenberg, and K. J. Vahala, Nature 415, 621 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

K. J. Vahala, Nature 424, 839 (2003).
[CrossRef] [PubMed]

D. K. Armani, T. J. Kippenberg, and S. M. Spillane, Nature 421, 925 (2003).
[CrossRef] [PubMed]

E. Kim, Y. Xia, and G. M. Whitesides, Nature 376, 581 (1995).
[CrossRef]

Opt. Express (1)

Opt. Lett. (1)

Opt. Quantum Electron. (1)

T. Nakai, Y. Ueno, K. Kaneko, S. Tanahashi, and S. Takeda, Opt. Quantum Electron. 33, 1113 (2001).
[CrossRef]

Phys. Rev. Lett. (2)

M. Cai, O. Painter, and K. J. Vahala, Phys. Rev. Lett. 85, 74 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

S. M. Spillane, T. J. Kippenberg, O. J. Painter, and K. J. Vahala, Phys. Rev. Lett. 91, 043092 (2003).
[CrossRef]

Science (2)

T. Thorsen, S. J. Maerkl, and S. R. Quake, Science 298, 580 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

W. Lu, A. G. Fadeev, B. H. Qi, E. Smela, B. R. Mattes, J. Ding, G. M. Spinks, J. Mazurkiewicz, D. Z. Zhou, G. G. Wallace, D. R. MacFarlane, S. A. Forsyth, and M. Forsyth, Science 297, 983 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

Trans. ASME (1)

A. Folch, Trans. ASME 121, 28 (1999).

Other (2)

R. K. Chang and A. J. Campillo, eds., Optical Processes in Microcavities (World Scientific, Singapore, 1996).

R. J. Bovin, Dow Corning, Inc., Midland, Mich. (personal communication, 2003).

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (3)

Fig. 1
Fig. 1

Replica-molding process flow: (a) an ultrahigh-Q microtoroid master array is fabricated and silanated with trichloromethylsilane to aid in the release of the master from the mold; (b) the master is coated with PDMS to form a PDMS mold, which is subsequently exposed to an oxygen plasma and filled with PDMS or Vicast to form (c) a PDMS or Vicast replica polymer microtoroid array. (d) Optical micrograph of a PDMS microtoroid.

Fig. 2
Fig. 2

Transmission spectrum for a 45µm-diameter Vicast polymer microtoroid. The free spectral range (FSR) of the polymer high-Q microtoroid is in agreement with the theoretical prediction of 11.5 nm.

Fig. 3
Fig. 3

Intrinsic Q for PDMS (solid curve) and for Vicast (dotted curve) replicated microresonators measured in the following bands: (a) 980 nm, (b) 1300 nm, and (c) 1550 nm. Data points are connected by curves as a guide to the eye. Intrinsic Q (dashed curve), inferred for PDMS from material absorption spectra, is also shown. For reference, an equivalent loss (in cm-1) is also given.

Metrics