Abstract

We have measured the extreme-ultraviolet (EUV) efficiency of a polymer-overcoated blazed ion-etched holographic test grating. The grating had a magnetron-sputtered Mo2C/Si multilayer coating matched to the grating blaze angle of 2.78°. At an angle of incidence of 5.6° and a wavelength of 15.79 nm, the measured efficiency peaks in the second outside order at 29.9%. The derived groove efficiency is 53.0%. To the best of our knowledge these are the highest values obtained yet at EUV wavelengths from a holographic ion-etched blazed grating.

© 2004 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. M. P. Kowalski, T. W. Barbee, R. G. Cruddace, J. F. Seely, J. C. Rife, and W. R. Hunter, Appl. Opt. 34, 7338 (1995).
    [CrossRef] [PubMed]
  2. J. F. Seely, R. G. Cruddace, M. P. Kowalski, W. R. Hunter, T. W. Barbee, J. C. Rife, R. Eby, and K. G. Stolt, Appl. Opt. 34, 7347 (1995).
    [CrossRef] [PubMed]
  3. M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, J. F. Seely, J. C. Rife, K. F. Heidemann, U. Heinzmann, U. Kleineberg, K. Osterried, D. Menke, and W. R. Hunter, Opt. Lett. 22, 834 (1997).
    [CrossRef] [PubMed]
  4. M. P. Kowalski, T. W. Barbee, K. F. Heidemann, H. Gursky, J. C. Rife, W. R. Hunter, G. G. Fritz, and R. G. Cruddace, Appl. Opt. 38, 6487 (1999).
    [CrossRef]
  5. M. P. Kowalski, H. Gursky, J. C. Rife, D. J. Yentis, R. G. Cruddace, T. W. Barbee, W. H. Goldstein, J. F. Kordas, K. F. Heidemann, G. G. Fritz, W. R. Hunter, M. A. Barstow, G. W. Fraser, N. P. Bannister, J. S. Lapington, J. A. Tandy, and B. Sanderson, Proc. SPIE 4498, 303 (2001).
    [CrossRef]
  6. K.-H. Hellwege, Z. Phys. 106, 588 (1937).
    [CrossRef]
  7. B. Vidal, P. Vincent, P. Dhez, and M. Neviere, Proc. SPIE 563, 142 (1985).
    [CrossRef]
  8. K. Osterried, K. F. Heidemann, and B. Nelles, Appl. Opt. 37, 8002 (1998).
    [CrossRef]
  9. M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, J. C. Rife, T. W. Barbee, W. R. Hunter, K. F. Heidemann, and H. Kiery, Bull. Am. Astron. Soc. 34, 1241 (2002).
  10. W. R. Hunter, R. T. Williams, J. C. Rife, J. P. Kirkland, and M. N. Kabler, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. 195, 141 (1982).
    [CrossRef]
  11. W. R. Hunter and J. C. Rife, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 246, 465 (1986).
    [CrossRef]
  12. M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, K. S. Wood, D. J. Yentis, H. Gursky, T. W. Barbee, G. G. Fritz, W. R. Hunter, K. F. Heidemann, and M. A. Barstow, Proc. SPIE 5168, 21 (2003).
    [CrossRef]

2003

M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, K. S. Wood, D. J. Yentis, H. Gursky, T. W. Barbee, G. G. Fritz, W. R. Hunter, K. F. Heidemann, and M. A. Barstow, Proc. SPIE 5168, 21 (2003).
[CrossRef]

2002

M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, J. C. Rife, T. W. Barbee, W. R. Hunter, K. F. Heidemann, and H. Kiery, Bull. Am. Astron. Soc. 34, 1241 (2002).

2001

M. P. Kowalski, H. Gursky, J. C. Rife, D. J. Yentis, R. G. Cruddace, T. W. Barbee, W. H. Goldstein, J. F. Kordas, K. F. Heidemann, G. G. Fritz, W. R. Hunter, M. A. Barstow, G. W. Fraser, N. P. Bannister, J. S. Lapington, J. A. Tandy, and B. Sanderson, Proc. SPIE 4498, 303 (2001).
[CrossRef]

1999

1998

1997

1995

1986

W. R. Hunter and J. C. Rife, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 246, 465 (1986).
[CrossRef]

1985

B. Vidal, P. Vincent, P. Dhez, and M. Neviere, Proc. SPIE 563, 142 (1985).
[CrossRef]

1982

W. R. Hunter, R. T. Williams, J. C. Rife, J. P. Kirkland, and M. N. Kabler, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. 195, 141 (1982).
[CrossRef]

1937

K.-H. Hellwege, Z. Phys. 106, 588 (1937).
[CrossRef]

Bannister, N. P.

M. P. Kowalski, H. Gursky, J. C. Rife, D. J. Yentis, R. G. Cruddace, T. W. Barbee, W. H. Goldstein, J. F. Kordas, K. F. Heidemann, G. G. Fritz, W. R. Hunter, M. A. Barstow, G. W. Fraser, N. P. Bannister, J. S. Lapington, J. A. Tandy, and B. Sanderson, Proc. SPIE 4498, 303 (2001).
[CrossRef]

Barbee, T. W.

M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, K. S. Wood, D. J. Yentis, H. Gursky, T. W. Barbee, G. G. Fritz, W. R. Hunter, K. F. Heidemann, and M. A. Barstow, Proc. SPIE 5168, 21 (2003).
[CrossRef]

M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, J. C. Rife, T. W. Barbee, W. R. Hunter, K. F. Heidemann, and H. Kiery, Bull. Am. Astron. Soc. 34, 1241 (2002).

M. P. Kowalski, H. Gursky, J. C. Rife, D. J. Yentis, R. G. Cruddace, T. W. Barbee, W. H. Goldstein, J. F. Kordas, K. F. Heidemann, G. G. Fritz, W. R. Hunter, M. A. Barstow, G. W. Fraser, N. P. Bannister, J. S. Lapington, J. A. Tandy, and B. Sanderson, Proc. SPIE 4498, 303 (2001).
[CrossRef]

M. P. Kowalski, T. W. Barbee, K. F. Heidemann, H. Gursky, J. C. Rife, W. R. Hunter, G. G. Fritz, and R. G. Cruddace, Appl. Opt. 38, 6487 (1999).
[CrossRef]

M. P. Kowalski, T. W. Barbee, R. G. Cruddace, J. F. Seely, J. C. Rife, and W. R. Hunter, Appl. Opt. 34, 7338 (1995).
[CrossRef] [PubMed]

J. F. Seely, R. G. Cruddace, M. P. Kowalski, W. R. Hunter, T. W. Barbee, J. C. Rife, R. Eby, and K. G. Stolt, Appl. Opt. 34, 7347 (1995).
[CrossRef] [PubMed]

Barstow, M. A.

M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, K. S. Wood, D. J. Yentis, H. Gursky, T. W. Barbee, G. G. Fritz, W. R. Hunter, K. F. Heidemann, and M. A. Barstow, Proc. SPIE 5168, 21 (2003).
[CrossRef]

M. P. Kowalski, H. Gursky, J. C. Rife, D. J. Yentis, R. G. Cruddace, T. W. Barbee, W. H. Goldstein, J. F. Kordas, K. F. Heidemann, G. G. Fritz, W. R. Hunter, M. A. Barstow, G. W. Fraser, N. P. Bannister, J. S. Lapington, J. A. Tandy, and B. Sanderson, Proc. SPIE 4498, 303 (2001).
[CrossRef]

Cruddace, R. G.

M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, K. S. Wood, D. J. Yentis, H. Gursky, T. W. Barbee, G. G. Fritz, W. R. Hunter, K. F. Heidemann, and M. A. Barstow, Proc. SPIE 5168, 21 (2003).
[CrossRef]

M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, J. C. Rife, T. W. Barbee, W. R. Hunter, K. F. Heidemann, and H. Kiery, Bull. Am. Astron. Soc. 34, 1241 (2002).

M. P. Kowalski, H. Gursky, J. C. Rife, D. J. Yentis, R. G. Cruddace, T. W. Barbee, W. H. Goldstein, J. F. Kordas, K. F. Heidemann, G. G. Fritz, W. R. Hunter, M. A. Barstow, G. W. Fraser, N. P. Bannister, J. S. Lapington, J. A. Tandy, and B. Sanderson, Proc. SPIE 4498, 303 (2001).
[CrossRef]

M. P. Kowalski, T. W. Barbee, K. F. Heidemann, H. Gursky, J. C. Rife, W. R. Hunter, G. G. Fritz, and R. G. Cruddace, Appl. Opt. 38, 6487 (1999).
[CrossRef]

M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, J. F. Seely, J. C. Rife, K. F. Heidemann, U. Heinzmann, U. Kleineberg, K. Osterried, D. Menke, and W. R. Hunter, Opt. Lett. 22, 834 (1997).
[CrossRef] [PubMed]

M. P. Kowalski, T. W. Barbee, R. G. Cruddace, J. F. Seely, J. C. Rife, and W. R. Hunter, Appl. Opt. 34, 7338 (1995).
[CrossRef] [PubMed]

J. F. Seely, R. G. Cruddace, M. P. Kowalski, W. R. Hunter, T. W. Barbee, J. C. Rife, R. Eby, and K. G. Stolt, Appl. Opt. 34, 7347 (1995).
[CrossRef] [PubMed]

Dhez, P.

B. Vidal, P. Vincent, P. Dhez, and M. Neviere, Proc. SPIE 563, 142 (1985).
[CrossRef]

Eby, R.

Fraser, G. W.

M. P. Kowalski, H. Gursky, J. C. Rife, D. J. Yentis, R. G. Cruddace, T. W. Barbee, W. H. Goldstein, J. F. Kordas, K. F. Heidemann, G. G. Fritz, W. R. Hunter, M. A. Barstow, G. W. Fraser, N. P. Bannister, J. S. Lapington, J. A. Tandy, and B. Sanderson, Proc. SPIE 4498, 303 (2001).
[CrossRef]

Fritz, G. G.

M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, K. S. Wood, D. J. Yentis, H. Gursky, T. W. Barbee, G. G. Fritz, W. R. Hunter, K. F. Heidemann, and M. A. Barstow, Proc. SPIE 5168, 21 (2003).
[CrossRef]

M. P. Kowalski, H. Gursky, J. C. Rife, D. J. Yentis, R. G. Cruddace, T. W. Barbee, W. H. Goldstein, J. F. Kordas, K. F. Heidemann, G. G. Fritz, W. R. Hunter, M. A. Barstow, G. W. Fraser, N. P. Bannister, J. S. Lapington, J. A. Tandy, and B. Sanderson, Proc. SPIE 4498, 303 (2001).
[CrossRef]

M. P. Kowalski, T. W. Barbee, K. F. Heidemann, H. Gursky, J. C. Rife, W. R. Hunter, G. G. Fritz, and R. G. Cruddace, Appl. Opt. 38, 6487 (1999).
[CrossRef]

Goldstein, W. H.

M. P. Kowalski, H. Gursky, J. C. Rife, D. J. Yentis, R. G. Cruddace, T. W. Barbee, W. H. Goldstein, J. F. Kordas, K. F. Heidemann, G. G. Fritz, W. R. Hunter, M. A. Barstow, G. W. Fraser, N. P. Bannister, J. S. Lapington, J. A. Tandy, and B. Sanderson, Proc. SPIE 4498, 303 (2001).
[CrossRef]

Gursky, H.

M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, K. S. Wood, D. J. Yentis, H. Gursky, T. W. Barbee, G. G. Fritz, W. R. Hunter, K. F. Heidemann, and M. A. Barstow, Proc. SPIE 5168, 21 (2003).
[CrossRef]

M. P. Kowalski, H. Gursky, J. C. Rife, D. J. Yentis, R. G. Cruddace, T. W. Barbee, W. H. Goldstein, J. F. Kordas, K. F. Heidemann, G. G. Fritz, W. R. Hunter, M. A. Barstow, G. W. Fraser, N. P. Bannister, J. S. Lapington, J. A. Tandy, and B. Sanderson, Proc. SPIE 4498, 303 (2001).
[CrossRef]

M. P. Kowalski, T. W. Barbee, K. F. Heidemann, H. Gursky, J. C. Rife, W. R. Hunter, G. G. Fritz, and R. G. Cruddace, Appl. Opt. 38, 6487 (1999).
[CrossRef]

Heidemann, K. F.

M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, K. S. Wood, D. J. Yentis, H. Gursky, T. W. Barbee, G. G. Fritz, W. R. Hunter, K. F. Heidemann, and M. A. Barstow, Proc. SPIE 5168, 21 (2003).
[CrossRef]

M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, J. C. Rife, T. W. Barbee, W. R. Hunter, K. F. Heidemann, and H. Kiery, Bull. Am. Astron. Soc. 34, 1241 (2002).

M. P. Kowalski, H. Gursky, J. C. Rife, D. J. Yentis, R. G. Cruddace, T. W. Barbee, W. H. Goldstein, J. F. Kordas, K. F. Heidemann, G. G. Fritz, W. R. Hunter, M. A. Barstow, G. W. Fraser, N. P. Bannister, J. S. Lapington, J. A. Tandy, and B. Sanderson, Proc. SPIE 4498, 303 (2001).
[CrossRef]

M. P. Kowalski, T. W. Barbee, K. F. Heidemann, H. Gursky, J. C. Rife, W. R. Hunter, G. G. Fritz, and R. G. Cruddace, Appl. Opt. 38, 6487 (1999).
[CrossRef]

K. Osterried, K. F. Heidemann, and B. Nelles, Appl. Opt. 37, 8002 (1998).
[CrossRef]

M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, J. F. Seely, J. C. Rife, K. F. Heidemann, U. Heinzmann, U. Kleineberg, K. Osterried, D. Menke, and W. R. Hunter, Opt. Lett. 22, 834 (1997).
[CrossRef] [PubMed]

Heinzmann, U.

Hellwege, K.-H.

K.-H. Hellwege, Z. Phys. 106, 588 (1937).
[CrossRef]

Hunter, W. R.

M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, K. S. Wood, D. J. Yentis, H. Gursky, T. W. Barbee, G. G. Fritz, W. R. Hunter, K. F. Heidemann, and M. A. Barstow, Proc. SPIE 5168, 21 (2003).
[CrossRef]

M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, J. C. Rife, T. W. Barbee, W. R. Hunter, K. F. Heidemann, and H. Kiery, Bull. Am. Astron. Soc. 34, 1241 (2002).

M. P. Kowalski, H. Gursky, J. C. Rife, D. J. Yentis, R. G. Cruddace, T. W. Barbee, W. H. Goldstein, J. F. Kordas, K. F. Heidemann, G. G. Fritz, W. R. Hunter, M. A. Barstow, G. W. Fraser, N. P. Bannister, J. S. Lapington, J. A. Tandy, and B. Sanderson, Proc. SPIE 4498, 303 (2001).
[CrossRef]

M. P. Kowalski, T. W. Barbee, K. F. Heidemann, H. Gursky, J. C. Rife, W. R. Hunter, G. G. Fritz, and R. G. Cruddace, Appl. Opt. 38, 6487 (1999).
[CrossRef]

M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, J. F. Seely, J. C. Rife, K. F. Heidemann, U. Heinzmann, U. Kleineberg, K. Osterried, D. Menke, and W. R. Hunter, Opt. Lett. 22, 834 (1997).
[CrossRef] [PubMed]

J. F. Seely, R. G. Cruddace, M. P. Kowalski, W. R. Hunter, T. W. Barbee, J. C. Rife, R. Eby, and K. G. Stolt, Appl. Opt. 34, 7347 (1995).
[CrossRef] [PubMed]

M. P. Kowalski, T. W. Barbee, R. G. Cruddace, J. F. Seely, J. C. Rife, and W. R. Hunter, Appl. Opt. 34, 7338 (1995).
[CrossRef] [PubMed]

W. R. Hunter and J. C. Rife, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 246, 465 (1986).
[CrossRef]

W. R. Hunter, R. T. Williams, J. C. Rife, J. P. Kirkland, and M. N. Kabler, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. 195, 141 (1982).
[CrossRef]

Kabler, M. N.

W. R. Hunter, R. T. Williams, J. C. Rife, J. P. Kirkland, and M. N. Kabler, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. 195, 141 (1982).
[CrossRef]

Kiery, H.

M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, J. C. Rife, T. W. Barbee, W. R. Hunter, K. F. Heidemann, and H. Kiery, Bull. Am. Astron. Soc. 34, 1241 (2002).

Kirkland, J. P.

W. R. Hunter, R. T. Williams, J. C. Rife, J. P. Kirkland, and M. N. Kabler, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. 195, 141 (1982).
[CrossRef]

Kleineberg, U.

Kordas, J. F.

M. P. Kowalski, H. Gursky, J. C. Rife, D. J. Yentis, R. G. Cruddace, T. W. Barbee, W. H. Goldstein, J. F. Kordas, K. F. Heidemann, G. G. Fritz, W. R. Hunter, M. A. Barstow, G. W. Fraser, N. P. Bannister, J. S. Lapington, J. A. Tandy, and B. Sanderson, Proc. SPIE 4498, 303 (2001).
[CrossRef]

Kowalski, M. P.

M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, K. S. Wood, D. J. Yentis, H. Gursky, T. W. Barbee, G. G. Fritz, W. R. Hunter, K. F. Heidemann, and M. A. Barstow, Proc. SPIE 5168, 21 (2003).
[CrossRef]

M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, J. C. Rife, T. W. Barbee, W. R. Hunter, K. F. Heidemann, and H. Kiery, Bull. Am. Astron. Soc. 34, 1241 (2002).

M. P. Kowalski, H. Gursky, J. C. Rife, D. J. Yentis, R. G. Cruddace, T. W. Barbee, W. H. Goldstein, J. F. Kordas, K. F. Heidemann, G. G. Fritz, W. R. Hunter, M. A. Barstow, G. W. Fraser, N. P. Bannister, J. S. Lapington, J. A. Tandy, and B. Sanderson, Proc. SPIE 4498, 303 (2001).
[CrossRef]

M. P. Kowalski, T. W. Barbee, K. F. Heidemann, H. Gursky, J. C. Rife, W. R. Hunter, G. G. Fritz, and R. G. Cruddace, Appl. Opt. 38, 6487 (1999).
[CrossRef]

M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, J. F. Seely, J. C. Rife, K. F. Heidemann, U. Heinzmann, U. Kleineberg, K. Osterried, D. Menke, and W. R. Hunter, Opt. Lett. 22, 834 (1997).
[CrossRef] [PubMed]

J. F. Seely, R. G. Cruddace, M. P. Kowalski, W. R. Hunter, T. W. Barbee, J. C. Rife, R. Eby, and K. G. Stolt, Appl. Opt. 34, 7347 (1995).
[CrossRef] [PubMed]

M. P. Kowalski, T. W. Barbee, R. G. Cruddace, J. F. Seely, J. C. Rife, and W. R. Hunter, Appl. Opt. 34, 7338 (1995).
[CrossRef] [PubMed]

Lapington, J. S.

M. P. Kowalski, H. Gursky, J. C. Rife, D. J. Yentis, R. G. Cruddace, T. W. Barbee, W. H. Goldstein, J. F. Kordas, K. F. Heidemann, G. G. Fritz, W. R. Hunter, M. A. Barstow, G. W. Fraser, N. P. Bannister, J. S. Lapington, J. A. Tandy, and B. Sanderson, Proc. SPIE 4498, 303 (2001).
[CrossRef]

Menke, D.

Nelles, B.

Neviere, M.

B. Vidal, P. Vincent, P. Dhez, and M. Neviere, Proc. SPIE 563, 142 (1985).
[CrossRef]

Osterried, K.

Rife, J. C.

M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, J. C. Rife, T. W. Barbee, W. R. Hunter, K. F. Heidemann, and H. Kiery, Bull. Am. Astron. Soc. 34, 1241 (2002).

M. P. Kowalski, H. Gursky, J. C. Rife, D. J. Yentis, R. G. Cruddace, T. W. Barbee, W. H. Goldstein, J. F. Kordas, K. F. Heidemann, G. G. Fritz, W. R. Hunter, M. A. Barstow, G. W. Fraser, N. P. Bannister, J. S. Lapington, J. A. Tandy, and B. Sanderson, Proc. SPIE 4498, 303 (2001).
[CrossRef]

M. P. Kowalski, T. W. Barbee, K. F. Heidemann, H. Gursky, J. C. Rife, W. R. Hunter, G. G. Fritz, and R. G. Cruddace, Appl. Opt. 38, 6487 (1999).
[CrossRef]

M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, J. F. Seely, J. C. Rife, K. F. Heidemann, U. Heinzmann, U. Kleineberg, K. Osterried, D. Menke, and W. R. Hunter, Opt. Lett. 22, 834 (1997).
[CrossRef] [PubMed]

M. P. Kowalski, T. W. Barbee, R. G. Cruddace, J. F. Seely, J. C. Rife, and W. R. Hunter, Appl. Opt. 34, 7338 (1995).
[CrossRef] [PubMed]

J. F. Seely, R. G. Cruddace, M. P. Kowalski, W. R. Hunter, T. W. Barbee, J. C. Rife, R. Eby, and K. G. Stolt, Appl. Opt. 34, 7347 (1995).
[CrossRef] [PubMed]

W. R. Hunter and J. C. Rife, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 246, 465 (1986).
[CrossRef]

W. R. Hunter, R. T. Williams, J. C. Rife, J. P. Kirkland, and M. N. Kabler, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. 195, 141 (1982).
[CrossRef]

Sanderson, B.

M. P. Kowalski, H. Gursky, J. C. Rife, D. J. Yentis, R. G. Cruddace, T. W. Barbee, W. H. Goldstein, J. F. Kordas, K. F. Heidemann, G. G. Fritz, W. R. Hunter, M. A. Barstow, G. W. Fraser, N. P. Bannister, J. S. Lapington, J. A. Tandy, and B. Sanderson, Proc. SPIE 4498, 303 (2001).
[CrossRef]

Seely, J. F.

Stolt, K. G.

Tandy, J. A.

M. P. Kowalski, H. Gursky, J. C. Rife, D. J. Yentis, R. G. Cruddace, T. W. Barbee, W. H. Goldstein, J. F. Kordas, K. F. Heidemann, G. G. Fritz, W. R. Hunter, M. A. Barstow, G. W. Fraser, N. P. Bannister, J. S. Lapington, J. A. Tandy, and B. Sanderson, Proc. SPIE 4498, 303 (2001).
[CrossRef]

Vidal, B.

B. Vidal, P. Vincent, P. Dhez, and M. Neviere, Proc. SPIE 563, 142 (1985).
[CrossRef]

Vincent, P.

B. Vidal, P. Vincent, P. Dhez, and M. Neviere, Proc. SPIE 563, 142 (1985).
[CrossRef]

Williams, R. T.

W. R. Hunter, R. T. Williams, J. C. Rife, J. P. Kirkland, and M. N. Kabler, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. 195, 141 (1982).
[CrossRef]

Wood, K. S.

M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, K. S. Wood, D. J. Yentis, H. Gursky, T. W. Barbee, G. G. Fritz, W. R. Hunter, K. F. Heidemann, and M. A. Barstow, Proc. SPIE 5168, 21 (2003).
[CrossRef]

Yentis, D. J.

M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, K. S. Wood, D. J. Yentis, H. Gursky, T. W. Barbee, G. G. Fritz, W. R. Hunter, K. F. Heidemann, and M. A. Barstow, Proc. SPIE 5168, 21 (2003).
[CrossRef]

M. P. Kowalski, H. Gursky, J. C. Rife, D. J. Yentis, R. G. Cruddace, T. W. Barbee, W. H. Goldstein, J. F. Kordas, K. F. Heidemann, G. G. Fritz, W. R. Hunter, M. A. Barstow, G. W. Fraser, N. P. Bannister, J. S. Lapington, J. A. Tandy, and B. Sanderson, Proc. SPIE 4498, 303 (2001).
[CrossRef]

Appl. Opt.

Bull. Am. Astron. Soc.

M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, J. C. Rife, T. W. Barbee, W. R. Hunter, K. F. Heidemann, and H. Kiery, Bull. Am. Astron. Soc. 34, 1241 (2002).

Nucl. Instrum. Methods Phys. Res.

W. R. Hunter, R. T. Williams, J. C. Rife, J. P. Kirkland, and M. N. Kabler, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. 195, 141 (1982).
[CrossRef]

Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A

W. R. Hunter and J. C. Rife, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 246, 465 (1986).
[CrossRef]

Opt. Lett.

Proc. SPIE

M. P. Kowalski, H. Gursky, J. C. Rife, D. J. Yentis, R. G. Cruddace, T. W. Barbee, W. H. Goldstein, J. F. Kordas, K. F. Heidemann, G. G. Fritz, W. R. Hunter, M. A. Barstow, G. W. Fraser, N. P. Bannister, J. S. Lapington, J. A. Tandy, and B. Sanderson, Proc. SPIE 4498, 303 (2001).
[CrossRef]

M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, K. S. Wood, D. J. Yentis, H. Gursky, T. W. Barbee, G. G. Fritz, W. R. Hunter, K. F. Heidemann, and M. A. Barstow, Proc. SPIE 5168, 21 (2003).
[CrossRef]

B. Vidal, P. Vincent, P. Dhez, and M. Neviere, Proc. SPIE 563, 142 (1985).
[CrossRef]

Z. Phys.

K.-H. Hellwege, Z. Phys. 106, 588 (1937).
[CrossRef]

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (3)

Fig. 1
Fig. 1

Typical AFM-measured groove profiles of the polymer-coated grating after probe-tip correction. The blaze angle, antiblaze angle, and blaze facet deviation from a plane Δz are defined. The vertical scale is exaggerated to reveal texture.

Fig. 2
Fig. 2

Efficiency of the multilayer blazed grating measured at an angle of incidence of 5.6° and for a wavelength of 15.79 nm. The outside orders m<0 are identified.

Fig. 3
Fig. 3

Efficiency of the multilayer blazed grating measured in the second outside order at an angle of incidence of 5.6°.

Metrics