Abstract

Compact electrostatic micromirror structures for use in the scanning arm of an optical coherence tomography (OCT) system are described. These devices consist of millimeter-scale mirrors resting upon micrometer-scale polyimide hinges that are tilted by a linear micromachine actuator, the integrated force array (IFA). The IFA is a network of deformable capacitor cells that electrostatically contract with an applied voltage. The support structures, hinges, and actuators are fabricated by photolithography from polyimide-upon-silicon wafers. These devices were inserted into the scanning arm of an experimental OCT imaging system to produce in vitro and in vivo images at frame rates of 4 to 8 Hz.

© 2003 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. A. F. Fercher, J. Biomed. Opt. 1, 157 (1996).
    [CrossRef] [PubMed]
  2. J. G. Fujimoto, M. E. Brezinski, G. J. Tearney, S. A. Boppart, B. Bouma, M. R. Hee, J. F. Southern, and E. A. Swanson, Nature Med. 1, 970 (1995).
    [CrossRef]
  3. G. J. Tearney, M. E. Brezinski, B. E. Bouma, S. A. Boppart, C. Pitris, J. F. Southern, and J. G. Fujimoto, Science 276, 2037 (1997).
    [CrossRef] [PubMed]
  4. A. M. Sergeev, V. M. Gelikonov, G. V. Gelikonov, F. I. Feldchtein, R. V. Kuranov, N. D. Gladkova, N. M. Shakhova, L. B. Snopova, A. V. Shakhov, I. A. Kuznetzova, A. N. Denisenko, V. V. Pochinko, Yu. P. Chumakov, and O. S. Streltzova, Opt. Express 13, 432 (1997), http://www.opticsexpress.org .
    [CrossRef]
  5. A. M. Rollins, R. Ung-arunyawee, A. Chak, R. C. K. Wong, K. Kobayashi, M. V. Sivak, and J. A. Izatt, Opt. Lett. 24, 1358 (1999).
    [CrossRef]
  6. S. A. Boppart, B. E. Bouma, C. Pitris, G. J. Tearney, and J. G. Fujimoto, Opt. Lett. 22, 1618 (1997).
    [CrossRef]
  7. Y. Pan, H. Xie, and G. K. Fedder, Opt. Lett. 26, 1966 (2001).
    [CrossRef]
  8. B. E. Bouma and G. J. Tearney, Opt. Lett. 24, 531 (1999).
    [CrossRef]
  9. J. M. Zara, S. M. Bobbio, S. Goodwin-Johansson, and S. W. Smith, IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control 47, 984 (2000).
    [CrossRef]
  10. J. M. Zara and S. W. Smith, IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control 49, 947 (2002).
    [CrossRef] [PubMed]
  11. J. M. Zara and S. W. Smith, Sens. Actuators A 102, 176 (2002).
    [CrossRef]
  12. J. Jacobson, S. Goodwin-Johansson, S. Bobbio, C. Bartlett, and L. Yadon, IEEE J. Microelectrical Systems 4, 139 (1995).
    [CrossRef]
  13. S. Bobbio, S. Smith, S. Goodwin-Johansson, R. Fair, T. DuBois, F. Tranjan, J. Hudak, R. Gupta, and H. Makki, Proc. SPIE 3046, 248 (1997).
    [CrossRef]

2002

J. M. Zara and S. W. Smith, IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control 49, 947 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

J. M. Zara and S. W. Smith, Sens. Actuators A 102, 176 (2002).
[CrossRef]

2001

2000

J. M. Zara, S. M. Bobbio, S. Goodwin-Johansson, and S. W. Smith, IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control 47, 984 (2000).
[CrossRef]

1999

1997

S. A. Boppart, B. E. Bouma, C. Pitris, G. J. Tearney, and J. G. Fujimoto, Opt. Lett. 22, 1618 (1997).
[CrossRef]

G. J. Tearney, M. E. Brezinski, B. E. Bouma, S. A. Boppart, C. Pitris, J. F. Southern, and J. G. Fujimoto, Science 276, 2037 (1997).
[CrossRef] [PubMed]

A. M. Sergeev, V. M. Gelikonov, G. V. Gelikonov, F. I. Feldchtein, R. V. Kuranov, N. D. Gladkova, N. M. Shakhova, L. B. Snopova, A. V. Shakhov, I. A. Kuznetzova, A. N. Denisenko, V. V. Pochinko, Yu. P. Chumakov, and O. S. Streltzova, Opt. Express 13, 432 (1997), http://www.opticsexpress.org .
[CrossRef]

S. Bobbio, S. Smith, S. Goodwin-Johansson, R. Fair, T. DuBois, F. Tranjan, J. Hudak, R. Gupta, and H. Makki, Proc. SPIE 3046, 248 (1997).
[CrossRef]

1996

A. F. Fercher, J. Biomed. Opt. 1, 157 (1996).
[CrossRef] [PubMed]

1995

J. G. Fujimoto, M. E. Brezinski, G. J. Tearney, S. A. Boppart, B. Bouma, M. R. Hee, J. F. Southern, and E. A. Swanson, Nature Med. 1, 970 (1995).
[CrossRef]

J. Jacobson, S. Goodwin-Johansson, S. Bobbio, C. Bartlett, and L. Yadon, IEEE J. Microelectrical Systems 4, 139 (1995).
[CrossRef]

Bartlett, C.

J. Jacobson, S. Goodwin-Johansson, S. Bobbio, C. Bartlett, and L. Yadon, IEEE J. Microelectrical Systems 4, 139 (1995).
[CrossRef]

Bobbio, S.

S. Bobbio, S. Smith, S. Goodwin-Johansson, R. Fair, T. DuBois, F. Tranjan, J. Hudak, R. Gupta, and H. Makki, Proc. SPIE 3046, 248 (1997).
[CrossRef]

J. Jacobson, S. Goodwin-Johansson, S. Bobbio, C. Bartlett, and L. Yadon, IEEE J. Microelectrical Systems 4, 139 (1995).
[CrossRef]

Bobbio, S. M.

J. M. Zara, S. M. Bobbio, S. Goodwin-Johansson, and S. W. Smith, IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control 47, 984 (2000).
[CrossRef]

Boppart, S. A.

S. A. Boppart, B. E. Bouma, C. Pitris, G. J. Tearney, and J. G. Fujimoto, Opt. Lett. 22, 1618 (1997).
[CrossRef]

G. J. Tearney, M. E. Brezinski, B. E. Bouma, S. A. Boppart, C. Pitris, J. F. Southern, and J. G. Fujimoto, Science 276, 2037 (1997).
[CrossRef] [PubMed]

J. G. Fujimoto, M. E. Brezinski, G. J. Tearney, S. A. Boppart, B. Bouma, M. R. Hee, J. F. Southern, and E. A. Swanson, Nature Med. 1, 970 (1995).
[CrossRef]

Bouma, B.

J. G. Fujimoto, M. E. Brezinski, G. J. Tearney, S. A. Boppart, B. Bouma, M. R. Hee, J. F. Southern, and E. A. Swanson, Nature Med. 1, 970 (1995).
[CrossRef]

Bouma, B. E.

B. E. Bouma and G. J. Tearney, Opt. Lett. 24, 531 (1999).
[CrossRef]

S. A. Boppart, B. E. Bouma, C. Pitris, G. J. Tearney, and J. G. Fujimoto, Opt. Lett. 22, 1618 (1997).
[CrossRef]

G. J. Tearney, M. E. Brezinski, B. E. Bouma, S. A. Boppart, C. Pitris, J. F. Southern, and J. G. Fujimoto, Science 276, 2037 (1997).
[CrossRef] [PubMed]

Brezinski, M. E.

G. J. Tearney, M. E. Brezinski, B. E. Bouma, S. A. Boppart, C. Pitris, J. F. Southern, and J. G. Fujimoto, Science 276, 2037 (1997).
[CrossRef] [PubMed]

J. G. Fujimoto, M. E. Brezinski, G. J. Tearney, S. A. Boppart, B. Bouma, M. R. Hee, J. F. Southern, and E. A. Swanson, Nature Med. 1, 970 (1995).
[CrossRef]

Chak, A.

Chumakov, Yu. P.

A. M. Sergeev, V. M. Gelikonov, G. V. Gelikonov, F. I. Feldchtein, R. V. Kuranov, N. D. Gladkova, N. M. Shakhova, L. B. Snopova, A. V. Shakhov, I. A. Kuznetzova, A. N. Denisenko, V. V. Pochinko, Yu. P. Chumakov, and O. S. Streltzova, Opt. Express 13, 432 (1997), http://www.opticsexpress.org .
[CrossRef]

Denisenko, A. N.

A. M. Sergeev, V. M. Gelikonov, G. V. Gelikonov, F. I. Feldchtein, R. V. Kuranov, N. D. Gladkova, N. M. Shakhova, L. B. Snopova, A. V. Shakhov, I. A. Kuznetzova, A. N. Denisenko, V. V. Pochinko, Yu. P. Chumakov, and O. S. Streltzova, Opt. Express 13, 432 (1997), http://www.opticsexpress.org .
[CrossRef]

DuBois, T.

S. Bobbio, S. Smith, S. Goodwin-Johansson, R. Fair, T. DuBois, F. Tranjan, J. Hudak, R. Gupta, and H. Makki, Proc. SPIE 3046, 248 (1997).
[CrossRef]

Fair, R.

S. Bobbio, S. Smith, S. Goodwin-Johansson, R. Fair, T. DuBois, F. Tranjan, J. Hudak, R. Gupta, and H. Makki, Proc. SPIE 3046, 248 (1997).
[CrossRef]

Fedder, G. K.

Feldchtein, F. I.

A. M. Sergeev, V. M. Gelikonov, G. V. Gelikonov, F. I. Feldchtein, R. V. Kuranov, N. D. Gladkova, N. M. Shakhova, L. B. Snopova, A. V. Shakhov, I. A. Kuznetzova, A. N. Denisenko, V. V. Pochinko, Yu. P. Chumakov, and O. S. Streltzova, Opt. Express 13, 432 (1997), http://www.opticsexpress.org .
[CrossRef]

Fercher, A. F.

A. F. Fercher, J. Biomed. Opt. 1, 157 (1996).
[CrossRef] [PubMed]

Fujimoto, J. G.

G. J. Tearney, M. E. Brezinski, B. E. Bouma, S. A. Boppart, C. Pitris, J. F. Southern, and J. G. Fujimoto, Science 276, 2037 (1997).
[CrossRef] [PubMed]

S. A. Boppart, B. E. Bouma, C. Pitris, G. J. Tearney, and J. G. Fujimoto, Opt. Lett. 22, 1618 (1997).
[CrossRef]

J. G. Fujimoto, M. E. Brezinski, G. J. Tearney, S. A. Boppart, B. Bouma, M. R. Hee, J. F. Southern, and E. A. Swanson, Nature Med. 1, 970 (1995).
[CrossRef]

Gelikonov, G. V.

A. M. Sergeev, V. M. Gelikonov, G. V. Gelikonov, F. I. Feldchtein, R. V. Kuranov, N. D. Gladkova, N. M. Shakhova, L. B. Snopova, A. V. Shakhov, I. A. Kuznetzova, A. N. Denisenko, V. V. Pochinko, Yu. P. Chumakov, and O. S. Streltzova, Opt. Express 13, 432 (1997), http://www.opticsexpress.org .
[CrossRef]

Gelikonov, V. M.

A. M. Sergeev, V. M. Gelikonov, G. V. Gelikonov, F. I. Feldchtein, R. V. Kuranov, N. D. Gladkova, N. M. Shakhova, L. B. Snopova, A. V. Shakhov, I. A. Kuznetzova, A. N. Denisenko, V. V. Pochinko, Yu. P. Chumakov, and O. S. Streltzova, Opt. Express 13, 432 (1997), http://www.opticsexpress.org .
[CrossRef]

Gladkova, N. D.

A. M. Sergeev, V. M. Gelikonov, G. V. Gelikonov, F. I. Feldchtein, R. V. Kuranov, N. D. Gladkova, N. M. Shakhova, L. B. Snopova, A. V. Shakhov, I. A. Kuznetzova, A. N. Denisenko, V. V. Pochinko, Yu. P. Chumakov, and O. S. Streltzova, Opt. Express 13, 432 (1997), http://www.opticsexpress.org .
[CrossRef]

Goodwin-Johansson, S.

J. M. Zara, S. M. Bobbio, S. Goodwin-Johansson, and S. W. Smith, IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control 47, 984 (2000).
[CrossRef]

S. Bobbio, S. Smith, S. Goodwin-Johansson, R. Fair, T. DuBois, F. Tranjan, J. Hudak, R. Gupta, and H. Makki, Proc. SPIE 3046, 248 (1997).
[CrossRef]

J. Jacobson, S. Goodwin-Johansson, S. Bobbio, C. Bartlett, and L. Yadon, IEEE J. Microelectrical Systems 4, 139 (1995).
[CrossRef]

Gupta, R.

S. Bobbio, S. Smith, S. Goodwin-Johansson, R. Fair, T. DuBois, F. Tranjan, J. Hudak, R. Gupta, and H. Makki, Proc. SPIE 3046, 248 (1997).
[CrossRef]

Hee, M. R.

J. G. Fujimoto, M. E. Brezinski, G. J. Tearney, S. A. Boppart, B. Bouma, M. R. Hee, J. F. Southern, and E. A. Swanson, Nature Med. 1, 970 (1995).
[CrossRef]

Hudak, J.

S. Bobbio, S. Smith, S. Goodwin-Johansson, R. Fair, T. DuBois, F. Tranjan, J. Hudak, R. Gupta, and H. Makki, Proc. SPIE 3046, 248 (1997).
[CrossRef]

Izatt, J. A.

Jacobson, J.

J. Jacobson, S. Goodwin-Johansson, S. Bobbio, C. Bartlett, and L. Yadon, IEEE J. Microelectrical Systems 4, 139 (1995).
[CrossRef]

Kobayashi, K.

Kuranov, R. V.

A. M. Sergeev, V. M. Gelikonov, G. V. Gelikonov, F. I. Feldchtein, R. V. Kuranov, N. D. Gladkova, N. M. Shakhova, L. B. Snopova, A. V. Shakhov, I. A. Kuznetzova, A. N. Denisenko, V. V. Pochinko, Yu. P. Chumakov, and O. S. Streltzova, Opt. Express 13, 432 (1997), http://www.opticsexpress.org .
[CrossRef]

Kuznetzova, I. A.

A. M. Sergeev, V. M. Gelikonov, G. V. Gelikonov, F. I. Feldchtein, R. V. Kuranov, N. D. Gladkova, N. M. Shakhova, L. B. Snopova, A. V. Shakhov, I. A. Kuznetzova, A. N. Denisenko, V. V. Pochinko, Yu. P. Chumakov, and O. S. Streltzova, Opt. Express 13, 432 (1997), http://www.opticsexpress.org .
[CrossRef]

Makki, H.

S. Bobbio, S. Smith, S. Goodwin-Johansson, R. Fair, T. DuBois, F. Tranjan, J. Hudak, R. Gupta, and H. Makki, Proc. SPIE 3046, 248 (1997).
[CrossRef]

Pan, Y.

Pitris, C.

S. A. Boppart, B. E. Bouma, C. Pitris, G. J. Tearney, and J. G. Fujimoto, Opt. Lett. 22, 1618 (1997).
[CrossRef]

G. J. Tearney, M. E. Brezinski, B. E. Bouma, S. A. Boppart, C. Pitris, J. F. Southern, and J. G. Fujimoto, Science 276, 2037 (1997).
[CrossRef] [PubMed]

Pochinko, V. V.

A. M. Sergeev, V. M. Gelikonov, G. V. Gelikonov, F. I. Feldchtein, R. V. Kuranov, N. D. Gladkova, N. M. Shakhova, L. B. Snopova, A. V. Shakhov, I. A. Kuznetzova, A. N. Denisenko, V. V. Pochinko, Yu. P. Chumakov, and O. S. Streltzova, Opt. Express 13, 432 (1997), http://www.opticsexpress.org .
[CrossRef]

Rollins, A. M.

Sergeev, A. M.

A. M. Sergeev, V. M. Gelikonov, G. V. Gelikonov, F. I. Feldchtein, R. V. Kuranov, N. D. Gladkova, N. M. Shakhova, L. B. Snopova, A. V. Shakhov, I. A. Kuznetzova, A. N. Denisenko, V. V. Pochinko, Yu. P. Chumakov, and O. S. Streltzova, Opt. Express 13, 432 (1997), http://www.opticsexpress.org .
[CrossRef]

Shakhov, A. V.

A. M. Sergeev, V. M. Gelikonov, G. V. Gelikonov, F. I. Feldchtein, R. V. Kuranov, N. D. Gladkova, N. M. Shakhova, L. B. Snopova, A. V. Shakhov, I. A. Kuznetzova, A. N. Denisenko, V. V. Pochinko, Yu. P. Chumakov, and O. S. Streltzova, Opt. Express 13, 432 (1997), http://www.opticsexpress.org .
[CrossRef]

Shakhova, N. M.

A. M. Sergeev, V. M. Gelikonov, G. V. Gelikonov, F. I. Feldchtein, R. V. Kuranov, N. D. Gladkova, N. M. Shakhova, L. B. Snopova, A. V. Shakhov, I. A. Kuznetzova, A. N. Denisenko, V. V. Pochinko, Yu. P. Chumakov, and O. S. Streltzova, Opt. Express 13, 432 (1997), http://www.opticsexpress.org .
[CrossRef]

Sivak, M. V.

Smith, S.

S. Bobbio, S. Smith, S. Goodwin-Johansson, R. Fair, T. DuBois, F. Tranjan, J. Hudak, R. Gupta, and H. Makki, Proc. SPIE 3046, 248 (1997).
[CrossRef]

Smith, S. W.

J. M. Zara and S. W. Smith, Sens. Actuators A 102, 176 (2002).
[CrossRef]

J. M. Zara and S. W. Smith, IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control 49, 947 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

J. M. Zara, S. M. Bobbio, S. Goodwin-Johansson, and S. W. Smith, IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control 47, 984 (2000).
[CrossRef]

Snopova, L. B.

A. M. Sergeev, V. M. Gelikonov, G. V. Gelikonov, F. I. Feldchtein, R. V. Kuranov, N. D. Gladkova, N. M. Shakhova, L. B. Snopova, A. V. Shakhov, I. A. Kuznetzova, A. N. Denisenko, V. V. Pochinko, Yu. P. Chumakov, and O. S. Streltzova, Opt. Express 13, 432 (1997), http://www.opticsexpress.org .
[CrossRef]

Southern, J. F.

G. J. Tearney, M. E. Brezinski, B. E. Bouma, S. A. Boppart, C. Pitris, J. F. Southern, and J. G. Fujimoto, Science 276, 2037 (1997).
[CrossRef] [PubMed]

J. G. Fujimoto, M. E. Brezinski, G. J. Tearney, S. A. Boppart, B. Bouma, M. R. Hee, J. F. Southern, and E. A. Swanson, Nature Med. 1, 970 (1995).
[CrossRef]

Streltzova, O. S.

A. M. Sergeev, V. M. Gelikonov, G. V. Gelikonov, F. I. Feldchtein, R. V. Kuranov, N. D. Gladkova, N. M. Shakhova, L. B. Snopova, A. V. Shakhov, I. A. Kuznetzova, A. N. Denisenko, V. V. Pochinko, Yu. P. Chumakov, and O. S. Streltzova, Opt. Express 13, 432 (1997), http://www.opticsexpress.org .
[CrossRef]

Swanson, E. A.

J. G. Fujimoto, M. E. Brezinski, G. J. Tearney, S. A. Boppart, B. Bouma, M. R. Hee, J. F. Southern, and E. A. Swanson, Nature Med. 1, 970 (1995).
[CrossRef]

Tearney, G. J.

B. E. Bouma and G. J. Tearney, Opt. Lett. 24, 531 (1999).
[CrossRef]

S. A. Boppart, B. E. Bouma, C. Pitris, G. J. Tearney, and J. G. Fujimoto, Opt. Lett. 22, 1618 (1997).
[CrossRef]

G. J. Tearney, M. E. Brezinski, B. E. Bouma, S. A. Boppart, C. Pitris, J. F. Southern, and J. G. Fujimoto, Science 276, 2037 (1997).
[CrossRef] [PubMed]

J. G. Fujimoto, M. E. Brezinski, G. J. Tearney, S. A. Boppart, B. Bouma, M. R. Hee, J. F. Southern, and E. A. Swanson, Nature Med. 1, 970 (1995).
[CrossRef]

Tranjan, F.

S. Bobbio, S. Smith, S. Goodwin-Johansson, R. Fair, T. DuBois, F. Tranjan, J. Hudak, R. Gupta, and H. Makki, Proc. SPIE 3046, 248 (1997).
[CrossRef]

Ung-arunyawee, R.

Wong, R. C. K.

Xie, H.

Yadon, L.

J. Jacobson, S. Goodwin-Johansson, S. Bobbio, C. Bartlett, and L. Yadon, IEEE J. Microelectrical Systems 4, 139 (1995).
[CrossRef]

Zara, J. M.

J. M. Zara and S. W. Smith, Sens. Actuators A 102, 176 (2002).
[CrossRef]

J. M. Zara and S. W. Smith, IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control 49, 947 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

J. M. Zara, S. M. Bobbio, S. Goodwin-Johansson, and S. W. Smith, IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control 47, 984 (2000).
[CrossRef]

IEEE J. Microelectrical Systems

J. Jacobson, S. Goodwin-Johansson, S. Bobbio, C. Bartlett, and L. Yadon, IEEE J. Microelectrical Systems 4, 139 (1995).
[CrossRef]

IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control

J. M. Zara, S. M. Bobbio, S. Goodwin-Johansson, and S. W. Smith, IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control 47, 984 (2000).
[CrossRef]

J. M. Zara and S. W. Smith, IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control 49, 947 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

J. Biomed. Opt.

A. F. Fercher, J. Biomed. Opt. 1, 157 (1996).
[CrossRef] [PubMed]

Nature Med.

J. G. Fujimoto, M. E. Brezinski, G. J. Tearney, S. A. Boppart, B. Bouma, M. R. Hee, J. F. Southern, and E. A. Swanson, Nature Med. 1, 970 (1995).
[CrossRef]

Opt. Express

A. M. Sergeev, V. M. Gelikonov, G. V. Gelikonov, F. I. Feldchtein, R. V. Kuranov, N. D. Gladkova, N. M. Shakhova, L. B. Snopova, A. V. Shakhov, I. A. Kuznetzova, A. N. Denisenko, V. V. Pochinko, Yu. P. Chumakov, and O. S. Streltzova, Opt. Express 13, 432 (1997), http://www.opticsexpress.org .
[CrossRef]

Opt. Lett.

Proc. SPIE

S. Bobbio, S. Smith, S. Goodwin-Johansson, R. Fair, T. DuBois, F. Tranjan, J. Hudak, R. Gupta, and H. Makki, Proc. SPIE 3046, 248 (1997).
[CrossRef]

Science

G. J. Tearney, M. E. Brezinski, B. E. Bouma, S. A. Boppart, C. Pitris, J. F. Southern, and J. G. Fujimoto, Science 276, 2037 (1997).
[CrossRef] [PubMed]

Sens. Actuators A

J. M. Zara and S. W. Smith, Sens. Actuators A 102, 176 (2002).
[CrossRef]

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (4)

Fig. 1
Fig. 1

Schematics of (a) the fabricated scanner and (b) a portion of the cells in the IFA electrostatic MEMS actuator. (c) Plot of optical displacement versus drive voltage for this MEMS scanner.

Fig. 2
Fig. 2

MEMS scanning device: (a) photograph of the device, (b) schematic of the scanner encased in the proposed endoscopic probe.

Fig. 3
Fig. 3

Schematic of the OCT system with the electrostatic MEMS actuator as the scanning arm.

Fig. 4
Fig. 4

Images obtained with an OCT system incorporating an electrostatic MEMS actuator: (a) clear plastic ruler, showing the top and bottom surfaces and millimeter demarcations; (b) in vitro porcine colon tissue; (c) in vitro porcine eyeball, showing cornea and iris; (d) in vivo dermal ridges of the underside of a human index finger.

Metrics