Abstract

Cr/Sc multilayer mirrors, synthesized by ion-assisted magnetron sputter deposition, are proved to have a high near-normal reflectivity of R=14.5% at a grazing angle of 87.5° measured at the wavelength λ=3.11 nm, which is an improvement of more than 31% compared with previously published results. Elastic recoil detection analyses show that the mirrors contained as much as 15 at. % of N and traces of C and O. Soft x-ray reflectivity simulations reveal interface widths of σ=0.34 nm and an exceptionally small layer thickness drift of 1.6×10-5 nm/multilayer period throughout the stack. Simulations show that a reflectivity of R=25.6% is attainable if impurities and layer thickness drift can be eliminated. The abrupt interfaces are achieved with ion assistance with a low ion energy of 24 eV and high ion-to-metal flux ratios of 7.1 and 23.1 during Cr and Sc sputter deposition, respectively. In addition, a near-normal incidence reflectivity of 5.5% for the C VI emission line λ=3.374 nm from a laser plasma source was verified.

© 2003 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. T. Kuhlmann, S. Yulin, T. Feigl, N. Kaiser, T. Gorelik, U. Kaiser, and W. Richter, Appl. Opt. 41, 2048 (2002).
    [CrossRef] [PubMed]
  2. F. Eriksson, G. A. Johansson, H. M. Hertz, and J. Birch, Opt. Eng. 41, 2903 (2002).
    [CrossRef]
  3. H. Takenaka, H. Ito, K. Nagai, Y. Muramatsu, E. M. Gullikson, and R. C. C. Perera, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 467–468, 341 (2001).
    [CrossRef]
  4. S. Vitta, M. Weisheit, T. Scharf, and H.-U. Krebs, Opt. Lett. 26, 1448 (2001).
    [CrossRef]
  5. F. Schäfers, M. Mertin, D. Abramsohn, A. Gaupp, H.-Ch. Mertins, and N. N. Salashchenko, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 467–468, 349 (2001).
    [CrossRef]
  6. M. Berglund, L. Rymell, M. Peuker, T. Wilhein, and H. M. Hertz, J. Microsc. 197, 268 (2000).
    [CrossRef] [PubMed]
  7. G. A. Johansson, A. Holmberg, H. M. Hertz, and M. Berglund, Rev. Sci. Instrum. 73, 1193 (2002).
    [CrossRef]
  8. D. L. Windt, S. M. Kahn, and G. E. Sommargren, Proc. SPIE 4851, 441 (2002).
    [CrossRef]
  9. J. Arthur and R. Tatchyn, Proc. SPIE 4143, 1 (2001).
    [CrossRef]
  10. M. Drescher, M. Hentschel, R. Kienberger, M. Uiberacker, V. Yakoviev, A. Scrinzi, Th. Westerwalbesloh, U. Kleinberg, U. Heinzmann, and F. Krausz, Nature 419, 803 (2002).
    [CrossRef] [PubMed]
  11. S. S. Andreev, H.-Ch. Mertins, Yu. Ya. Platonov, N. N. Salashchenko, F. Schäfers, E. A. Shamov, and L. A. Shmaenok, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 448, 133 (2000).
    [CrossRef]
  12. F. Schäfers, Physica B 283, 119 (2000).
    [CrossRef]
  13. D. L. Windt, Comput. Phys. 12, 360 (1998).
    [CrossRef]
  14. E. Louis, A. E. Yakshin, P. C. Görts, S. Oestreich, R. Stuik, E. L. G. Maas, M. J. H. Kessels, and F. Bijkerk, Proc. SPIE 3997, 406 (2000).
    [CrossRef]
  15. J. Birch, F. Eriksson, G. A. Johansson, and H. M. Hertz, Vacuum 68, 65 (2003).
  16. H. A. Atwater, Solid State Phenom. 27, 67 (1992).
    [CrossRef]
  17. G. A. Johansson, M. Berglund, F. Eriksson, J. Birch, and H. M. Hertz, Rev. Sci. Instrum. 72, 58 (2001).
    [CrossRef]
  18. B. L. Henke, E. M. Gullikson, and J. C. Davis, At. Data Nucl. Data Tables 54, 181 (1993).
    [CrossRef]
  19. J. H. Underwood, E. M. Gullikson, M. Koike, P. J. Batson, P. E. Denham, K. D. Franck, R. E. Tackaberry, and W. F. Steele, Rev. Sci. Instrum. 67, 3372 (1996).
    [CrossRef]
  20. N. N. Salashchenko, A. A. Fraerman, S. V. Mitenin, K. A. Prokhorov, and E. A. Shamov, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 405, 292 (1998).
    [CrossRef]
  21. F. Schäfers, H.-C. Mertins, F. Schmolla, I. Packe, N. N. Salashchenko, and E. A. Shamov, Appl. Opt. 37, 719 (1998).
    [CrossRef]
  22. K. Sakano and M. Yamamoto, Proc. SPIE 3767, 238 (1999).
    [CrossRef]
  23. H. M. Hertz, L. Rymell, M. Berglund, G. A. Johansson, T. Wilhein, Y. Platonov, and D. Broadway, Proc. SPIE 3766, 247 (1999).
    [CrossRef]

2003

J. Birch, F. Eriksson, G. A. Johansson, and H. M. Hertz, Vacuum 68, 65 (2003).

2002

F. Eriksson, G. A. Johansson, H. M. Hertz, and J. Birch, Opt. Eng. 41, 2903 (2002).
[CrossRef]

G. A. Johansson, A. Holmberg, H. M. Hertz, and M. Berglund, Rev. Sci. Instrum. 73, 1193 (2002).
[CrossRef]

D. L. Windt, S. M. Kahn, and G. E. Sommargren, Proc. SPIE 4851, 441 (2002).
[CrossRef]

M. Drescher, M. Hentschel, R. Kienberger, M. Uiberacker, V. Yakoviev, A. Scrinzi, Th. Westerwalbesloh, U. Kleinberg, U. Heinzmann, and F. Krausz, Nature 419, 803 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

T. Kuhlmann, S. Yulin, T. Feigl, N. Kaiser, T. Gorelik, U. Kaiser, and W. Richter, Appl. Opt. 41, 2048 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

2001

S. Vitta, M. Weisheit, T. Scharf, and H.-U. Krebs, Opt. Lett. 26, 1448 (2001).
[CrossRef]

J. Arthur and R. Tatchyn, Proc. SPIE 4143, 1 (2001).
[CrossRef]

F. Schäfers, M. Mertin, D. Abramsohn, A. Gaupp, H.-Ch. Mertins, and N. N. Salashchenko, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 467–468, 349 (2001).
[CrossRef]

H. Takenaka, H. Ito, K. Nagai, Y. Muramatsu, E. M. Gullikson, and R. C. C. Perera, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 467–468, 341 (2001).
[CrossRef]

G. A. Johansson, M. Berglund, F. Eriksson, J. Birch, and H. M. Hertz, Rev. Sci. Instrum. 72, 58 (2001).
[CrossRef]

2000

M. Berglund, L. Rymell, M. Peuker, T. Wilhein, and H. M. Hertz, J. Microsc. 197, 268 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

S. S. Andreev, H.-Ch. Mertins, Yu. Ya. Platonov, N. N. Salashchenko, F. Schäfers, E. A. Shamov, and L. A. Shmaenok, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 448, 133 (2000).
[CrossRef]

F. Schäfers, Physica B 283, 119 (2000).
[CrossRef]

E. Louis, A. E. Yakshin, P. C. Görts, S. Oestreich, R. Stuik, E. L. G. Maas, M. J. H. Kessels, and F. Bijkerk, Proc. SPIE 3997, 406 (2000).
[CrossRef]

1999

K. Sakano and M. Yamamoto, Proc. SPIE 3767, 238 (1999).
[CrossRef]

H. M. Hertz, L. Rymell, M. Berglund, G. A. Johansson, T. Wilhein, Y. Platonov, and D. Broadway, Proc. SPIE 3766, 247 (1999).
[CrossRef]

1998

F. Schäfers, H.-C. Mertins, F. Schmolla, I. Packe, N. N. Salashchenko, and E. A. Shamov, Appl. Opt. 37, 719 (1998).
[CrossRef]

D. L. Windt, Comput. Phys. 12, 360 (1998).
[CrossRef]

N. N. Salashchenko, A. A. Fraerman, S. V. Mitenin, K. A. Prokhorov, and E. A. Shamov, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 405, 292 (1998).
[CrossRef]

1996

J. H. Underwood, E. M. Gullikson, M. Koike, P. J. Batson, P. E. Denham, K. D. Franck, R. E. Tackaberry, and W. F. Steele, Rev. Sci. Instrum. 67, 3372 (1996).
[CrossRef]

1993

B. L. Henke, E. M. Gullikson, and J. C. Davis, At. Data Nucl. Data Tables 54, 181 (1993).
[CrossRef]

1992

H. A. Atwater, Solid State Phenom. 27, 67 (1992).
[CrossRef]

Abramsohn, D.

F. Schäfers, M. Mertin, D. Abramsohn, A. Gaupp, H.-Ch. Mertins, and N. N. Salashchenko, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 467–468, 349 (2001).
[CrossRef]

Andreev, S. S.

S. S. Andreev, H.-Ch. Mertins, Yu. Ya. Platonov, N. N. Salashchenko, F. Schäfers, E. A. Shamov, and L. A. Shmaenok, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 448, 133 (2000).
[CrossRef]

Arthur, J.

J. Arthur and R. Tatchyn, Proc. SPIE 4143, 1 (2001).
[CrossRef]

Atwater, H. A.

H. A. Atwater, Solid State Phenom. 27, 67 (1992).
[CrossRef]

Batson, P. J.

J. H. Underwood, E. M. Gullikson, M. Koike, P. J. Batson, P. E. Denham, K. D. Franck, R. E. Tackaberry, and W. F. Steele, Rev. Sci. Instrum. 67, 3372 (1996).
[CrossRef]

Berglund, M.

G. A. Johansson, A. Holmberg, H. M. Hertz, and M. Berglund, Rev. Sci. Instrum. 73, 1193 (2002).
[CrossRef]

G. A. Johansson, M. Berglund, F. Eriksson, J. Birch, and H. M. Hertz, Rev. Sci. Instrum. 72, 58 (2001).
[CrossRef]

M. Berglund, L. Rymell, M. Peuker, T. Wilhein, and H. M. Hertz, J. Microsc. 197, 268 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

H. M. Hertz, L. Rymell, M. Berglund, G. A. Johansson, T. Wilhein, Y. Platonov, and D. Broadway, Proc. SPIE 3766, 247 (1999).
[CrossRef]

Bijkerk, F.

E. Louis, A. E. Yakshin, P. C. Görts, S. Oestreich, R. Stuik, E. L. G. Maas, M. J. H. Kessels, and F. Bijkerk, Proc. SPIE 3997, 406 (2000).
[CrossRef]

Birch, J.

J. Birch, F. Eriksson, G. A. Johansson, and H. M. Hertz, Vacuum 68, 65 (2003).

F. Eriksson, G. A. Johansson, H. M. Hertz, and J. Birch, Opt. Eng. 41, 2903 (2002).
[CrossRef]

G. A. Johansson, M. Berglund, F. Eriksson, J. Birch, and H. M. Hertz, Rev. Sci. Instrum. 72, 58 (2001).
[CrossRef]

Broadway, D.

H. M. Hertz, L. Rymell, M. Berglund, G. A. Johansson, T. Wilhein, Y. Platonov, and D. Broadway, Proc. SPIE 3766, 247 (1999).
[CrossRef]

Davis, J. C.

B. L. Henke, E. M. Gullikson, and J. C. Davis, At. Data Nucl. Data Tables 54, 181 (1993).
[CrossRef]

Denham, P. E.

J. H. Underwood, E. M. Gullikson, M. Koike, P. J. Batson, P. E. Denham, K. D. Franck, R. E. Tackaberry, and W. F. Steele, Rev. Sci. Instrum. 67, 3372 (1996).
[CrossRef]

Drescher, M.

M. Drescher, M. Hentschel, R. Kienberger, M. Uiberacker, V. Yakoviev, A. Scrinzi, Th. Westerwalbesloh, U. Kleinberg, U. Heinzmann, and F. Krausz, Nature 419, 803 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

Eriksson, F.

J. Birch, F. Eriksson, G. A. Johansson, and H. M. Hertz, Vacuum 68, 65 (2003).

F. Eriksson, G. A. Johansson, H. M. Hertz, and J. Birch, Opt. Eng. 41, 2903 (2002).
[CrossRef]

G. A. Johansson, M. Berglund, F. Eriksson, J. Birch, and H. M. Hertz, Rev. Sci. Instrum. 72, 58 (2001).
[CrossRef]

Feigl, T.

Fraerman, A. A.

N. N. Salashchenko, A. A. Fraerman, S. V. Mitenin, K. A. Prokhorov, and E. A. Shamov, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 405, 292 (1998).
[CrossRef]

Franck, K. D.

J. H. Underwood, E. M. Gullikson, M. Koike, P. J. Batson, P. E. Denham, K. D. Franck, R. E. Tackaberry, and W. F. Steele, Rev. Sci. Instrum. 67, 3372 (1996).
[CrossRef]

Gaupp, A.

F. Schäfers, M. Mertin, D. Abramsohn, A. Gaupp, H.-Ch. Mertins, and N. N. Salashchenko, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 467–468, 349 (2001).
[CrossRef]

Gorelik, T.

Görts, P. C.

E. Louis, A. E. Yakshin, P. C. Görts, S. Oestreich, R. Stuik, E. L. G. Maas, M. J. H. Kessels, and F. Bijkerk, Proc. SPIE 3997, 406 (2000).
[CrossRef]

Gullikson, E. M.

H. Takenaka, H. Ito, K. Nagai, Y. Muramatsu, E. M. Gullikson, and R. C. C. Perera, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 467–468, 341 (2001).
[CrossRef]

J. H. Underwood, E. M. Gullikson, M. Koike, P. J. Batson, P. E. Denham, K. D. Franck, R. E. Tackaberry, and W. F. Steele, Rev. Sci. Instrum. 67, 3372 (1996).
[CrossRef]

B. L. Henke, E. M. Gullikson, and J. C. Davis, At. Data Nucl. Data Tables 54, 181 (1993).
[CrossRef]

Heinzmann, U.

M. Drescher, M. Hentschel, R. Kienberger, M. Uiberacker, V. Yakoviev, A. Scrinzi, Th. Westerwalbesloh, U. Kleinberg, U. Heinzmann, and F. Krausz, Nature 419, 803 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

Henke, B. L.

B. L. Henke, E. M. Gullikson, and J. C. Davis, At. Data Nucl. Data Tables 54, 181 (1993).
[CrossRef]

Hentschel, M.

M. Drescher, M. Hentschel, R. Kienberger, M. Uiberacker, V. Yakoviev, A. Scrinzi, Th. Westerwalbesloh, U. Kleinberg, U. Heinzmann, and F. Krausz, Nature 419, 803 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

Hertz, H. M.

J. Birch, F. Eriksson, G. A. Johansson, and H. M. Hertz, Vacuum 68, 65 (2003).

F. Eriksson, G. A. Johansson, H. M. Hertz, and J. Birch, Opt. Eng. 41, 2903 (2002).
[CrossRef]

G. A. Johansson, A. Holmberg, H. M. Hertz, and M. Berglund, Rev. Sci. Instrum. 73, 1193 (2002).
[CrossRef]

G. A. Johansson, M. Berglund, F. Eriksson, J. Birch, and H. M. Hertz, Rev. Sci. Instrum. 72, 58 (2001).
[CrossRef]

M. Berglund, L. Rymell, M. Peuker, T. Wilhein, and H. M. Hertz, J. Microsc. 197, 268 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

H. M. Hertz, L. Rymell, M. Berglund, G. A. Johansson, T. Wilhein, Y. Platonov, and D. Broadway, Proc. SPIE 3766, 247 (1999).
[CrossRef]

Holmberg, A.

G. A. Johansson, A. Holmberg, H. M. Hertz, and M. Berglund, Rev. Sci. Instrum. 73, 1193 (2002).
[CrossRef]

Ito, H.

H. Takenaka, H. Ito, K. Nagai, Y. Muramatsu, E. M. Gullikson, and R. C. C. Perera, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 467–468, 341 (2001).
[CrossRef]

Johansson, G. A.

J. Birch, F. Eriksson, G. A. Johansson, and H. M. Hertz, Vacuum 68, 65 (2003).

F. Eriksson, G. A. Johansson, H. M. Hertz, and J. Birch, Opt. Eng. 41, 2903 (2002).
[CrossRef]

G. A. Johansson, A. Holmberg, H. M. Hertz, and M. Berglund, Rev. Sci. Instrum. 73, 1193 (2002).
[CrossRef]

G. A. Johansson, M. Berglund, F. Eriksson, J. Birch, and H. M. Hertz, Rev. Sci. Instrum. 72, 58 (2001).
[CrossRef]

H. M. Hertz, L. Rymell, M. Berglund, G. A. Johansson, T. Wilhein, Y. Platonov, and D. Broadway, Proc. SPIE 3766, 247 (1999).
[CrossRef]

Kahn, S. M.

D. L. Windt, S. M. Kahn, and G. E. Sommargren, Proc. SPIE 4851, 441 (2002).
[CrossRef]

Kaiser, N.

Kaiser, U.

Kessels, M. J. H.

E. Louis, A. E. Yakshin, P. C. Görts, S. Oestreich, R. Stuik, E. L. G. Maas, M. J. H. Kessels, and F. Bijkerk, Proc. SPIE 3997, 406 (2000).
[CrossRef]

Kienberger, R.

M. Drescher, M. Hentschel, R. Kienberger, M. Uiberacker, V. Yakoviev, A. Scrinzi, Th. Westerwalbesloh, U. Kleinberg, U. Heinzmann, and F. Krausz, Nature 419, 803 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

Kleinberg, U.

M. Drescher, M. Hentschel, R. Kienberger, M. Uiberacker, V. Yakoviev, A. Scrinzi, Th. Westerwalbesloh, U. Kleinberg, U. Heinzmann, and F. Krausz, Nature 419, 803 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

Koike, M.

J. H. Underwood, E. M. Gullikson, M. Koike, P. J. Batson, P. E. Denham, K. D. Franck, R. E. Tackaberry, and W. F. Steele, Rev. Sci. Instrum. 67, 3372 (1996).
[CrossRef]

Krausz, F.

M. Drescher, M. Hentschel, R. Kienberger, M. Uiberacker, V. Yakoviev, A. Scrinzi, Th. Westerwalbesloh, U. Kleinberg, U. Heinzmann, and F. Krausz, Nature 419, 803 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

Krebs, H.-U.

Kuhlmann, T.

Louis, E.

E. Louis, A. E. Yakshin, P. C. Görts, S. Oestreich, R. Stuik, E. L. G. Maas, M. J. H. Kessels, and F. Bijkerk, Proc. SPIE 3997, 406 (2000).
[CrossRef]

Maas, E. L. G.

E. Louis, A. E. Yakshin, P. C. Görts, S. Oestreich, R. Stuik, E. L. G. Maas, M. J. H. Kessels, and F. Bijkerk, Proc. SPIE 3997, 406 (2000).
[CrossRef]

Mertin, M.

F. Schäfers, M. Mertin, D. Abramsohn, A. Gaupp, H.-Ch. Mertins, and N. N. Salashchenko, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 467–468, 349 (2001).
[CrossRef]

Mertins, H.-C.

Mertins, H.-Ch.

F. Schäfers, M. Mertin, D. Abramsohn, A. Gaupp, H.-Ch. Mertins, and N. N. Salashchenko, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 467–468, 349 (2001).
[CrossRef]

S. S. Andreev, H.-Ch. Mertins, Yu. Ya. Platonov, N. N. Salashchenko, F. Schäfers, E. A. Shamov, and L. A. Shmaenok, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 448, 133 (2000).
[CrossRef]

Mitenin, S. V.

N. N. Salashchenko, A. A. Fraerman, S. V. Mitenin, K. A. Prokhorov, and E. A. Shamov, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 405, 292 (1998).
[CrossRef]

Muramatsu, Y.

H. Takenaka, H. Ito, K. Nagai, Y. Muramatsu, E. M. Gullikson, and R. C. C. Perera, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 467–468, 341 (2001).
[CrossRef]

Nagai, K.

H. Takenaka, H. Ito, K. Nagai, Y. Muramatsu, E. M. Gullikson, and R. C. C. Perera, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 467–468, 341 (2001).
[CrossRef]

Oestreich, S.

E. Louis, A. E. Yakshin, P. C. Görts, S. Oestreich, R. Stuik, E. L. G. Maas, M. J. H. Kessels, and F. Bijkerk, Proc. SPIE 3997, 406 (2000).
[CrossRef]

Packe, I.

Perera, R. C. C.

H. Takenaka, H. Ito, K. Nagai, Y. Muramatsu, E. M. Gullikson, and R. C. C. Perera, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 467–468, 341 (2001).
[CrossRef]

Peuker, M.

M. Berglund, L. Rymell, M. Peuker, T. Wilhein, and H. M. Hertz, J. Microsc. 197, 268 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

Platonov, Y.

H. M. Hertz, L. Rymell, M. Berglund, G. A. Johansson, T. Wilhein, Y. Platonov, and D. Broadway, Proc. SPIE 3766, 247 (1999).
[CrossRef]

Platonov, Yu. Ya.

S. S. Andreev, H.-Ch. Mertins, Yu. Ya. Platonov, N. N. Salashchenko, F. Schäfers, E. A. Shamov, and L. A. Shmaenok, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 448, 133 (2000).
[CrossRef]

Prokhorov, K. A.

N. N. Salashchenko, A. A. Fraerman, S. V. Mitenin, K. A. Prokhorov, and E. A. Shamov, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 405, 292 (1998).
[CrossRef]

Richter, W.

Rymell, L.

M. Berglund, L. Rymell, M. Peuker, T. Wilhein, and H. M. Hertz, J. Microsc. 197, 268 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

H. M. Hertz, L. Rymell, M. Berglund, G. A. Johansson, T. Wilhein, Y. Platonov, and D. Broadway, Proc. SPIE 3766, 247 (1999).
[CrossRef]

Sakano, K.

K. Sakano and M. Yamamoto, Proc. SPIE 3767, 238 (1999).
[CrossRef]

Salashchenko, N. N.

F. Schäfers, M. Mertin, D. Abramsohn, A. Gaupp, H.-Ch. Mertins, and N. N. Salashchenko, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 467–468, 349 (2001).
[CrossRef]

S. S. Andreev, H.-Ch. Mertins, Yu. Ya. Platonov, N. N. Salashchenko, F. Schäfers, E. A. Shamov, and L. A. Shmaenok, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 448, 133 (2000).
[CrossRef]

N. N. Salashchenko, A. A. Fraerman, S. V. Mitenin, K. A. Prokhorov, and E. A. Shamov, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 405, 292 (1998).
[CrossRef]

F. Schäfers, H.-C. Mertins, F. Schmolla, I. Packe, N. N. Salashchenko, and E. A. Shamov, Appl. Opt. 37, 719 (1998).
[CrossRef]

Schäfers, F.

F. Schäfers, M. Mertin, D. Abramsohn, A. Gaupp, H.-Ch. Mertins, and N. N. Salashchenko, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 467–468, 349 (2001).
[CrossRef]

S. S. Andreev, H.-Ch. Mertins, Yu. Ya. Platonov, N. N. Salashchenko, F. Schäfers, E. A. Shamov, and L. A. Shmaenok, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 448, 133 (2000).
[CrossRef]

F. Schäfers, Physica B 283, 119 (2000).
[CrossRef]

F. Schäfers, H.-C. Mertins, F. Schmolla, I. Packe, N. N. Salashchenko, and E. A. Shamov, Appl. Opt. 37, 719 (1998).
[CrossRef]

Scharf, T.

Schmolla, F.

Scrinzi, A.

M. Drescher, M. Hentschel, R. Kienberger, M. Uiberacker, V. Yakoviev, A. Scrinzi, Th. Westerwalbesloh, U. Kleinberg, U. Heinzmann, and F. Krausz, Nature 419, 803 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

Shamov, E. A.

S. S. Andreev, H.-Ch. Mertins, Yu. Ya. Platonov, N. N. Salashchenko, F. Schäfers, E. A. Shamov, and L. A. Shmaenok, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 448, 133 (2000).
[CrossRef]

F. Schäfers, H.-C. Mertins, F. Schmolla, I. Packe, N. N. Salashchenko, and E. A. Shamov, Appl. Opt. 37, 719 (1998).
[CrossRef]

N. N. Salashchenko, A. A. Fraerman, S. V. Mitenin, K. A. Prokhorov, and E. A. Shamov, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 405, 292 (1998).
[CrossRef]

Shmaenok, L. A.

S. S. Andreev, H.-Ch. Mertins, Yu. Ya. Platonov, N. N. Salashchenko, F. Schäfers, E. A. Shamov, and L. A. Shmaenok, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 448, 133 (2000).
[CrossRef]

Sommargren, G. E.

D. L. Windt, S. M. Kahn, and G. E. Sommargren, Proc. SPIE 4851, 441 (2002).
[CrossRef]

Steele, W. F.

J. H. Underwood, E. M. Gullikson, M. Koike, P. J. Batson, P. E. Denham, K. D. Franck, R. E. Tackaberry, and W. F. Steele, Rev. Sci. Instrum. 67, 3372 (1996).
[CrossRef]

Stuik, R.

E. Louis, A. E. Yakshin, P. C. Görts, S. Oestreich, R. Stuik, E. L. G. Maas, M. J. H. Kessels, and F. Bijkerk, Proc. SPIE 3997, 406 (2000).
[CrossRef]

Tackaberry, R. E.

J. H. Underwood, E. M. Gullikson, M. Koike, P. J. Batson, P. E. Denham, K. D. Franck, R. E. Tackaberry, and W. F. Steele, Rev. Sci. Instrum. 67, 3372 (1996).
[CrossRef]

Takenaka, H.

H. Takenaka, H. Ito, K. Nagai, Y. Muramatsu, E. M. Gullikson, and R. C. C. Perera, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 467–468, 341 (2001).
[CrossRef]

Tatchyn, R.

J. Arthur and R. Tatchyn, Proc. SPIE 4143, 1 (2001).
[CrossRef]

Uiberacker, M.

M. Drescher, M. Hentschel, R. Kienberger, M. Uiberacker, V. Yakoviev, A. Scrinzi, Th. Westerwalbesloh, U. Kleinberg, U. Heinzmann, and F. Krausz, Nature 419, 803 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

Underwood, J. H.

J. H. Underwood, E. M. Gullikson, M. Koike, P. J. Batson, P. E. Denham, K. D. Franck, R. E. Tackaberry, and W. F. Steele, Rev. Sci. Instrum. 67, 3372 (1996).
[CrossRef]

Vitta, S.

Weisheit, M.

Westerwalbesloh, Th.

M. Drescher, M. Hentschel, R. Kienberger, M. Uiberacker, V. Yakoviev, A. Scrinzi, Th. Westerwalbesloh, U. Kleinberg, U. Heinzmann, and F. Krausz, Nature 419, 803 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

Wilhein, T.

M. Berglund, L. Rymell, M. Peuker, T. Wilhein, and H. M. Hertz, J. Microsc. 197, 268 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

H. M. Hertz, L. Rymell, M. Berglund, G. A. Johansson, T. Wilhein, Y. Platonov, and D. Broadway, Proc. SPIE 3766, 247 (1999).
[CrossRef]

Windt, D. L.

D. L. Windt, S. M. Kahn, and G. E. Sommargren, Proc. SPIE 4851, 441 (2002).
[CrossRef]

D. L. Windt, Comput. Phys. 12, 360 (1998).
[CrossRef]

Yakoviev, V.

M. Drescher, M. Hentschel, R. Kienberger, M. Uiberacker, V. Yakoviev, A. Scrinzi, Th. Westerwalbesloh, U. Kleinberg, U. Heinzmann, and F. Krausz, Nature 419, 803 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

Yakshin, A. E.

E. Louis, A. E. Yakshin, P. C. Görts, S. Oestreich, R. Stuik, E. L. G. Maas, M. J. H. Kessels, and F. Bijkerk, Proc. SPIE 3997, 406 (2000).
[CrossRef]

Yamamoto, M.

K. Sakano and M. Yamamoto, Proc. SPIE 3767, 238 (1999).
[CrossRef]

Yulin, S.

Appl. Opt.

At. Data Nucl. Data Tables

B. L. Henke, E. M. Gullikson, and J. C. Davis, At. Data Nucl. Data Tables 54, 181 (1993).
[CrossRef]

Comput. Phys.

D. L. Windt, Comput. Phys. 12, 360 (1998).
[CrossRef]

J. Microsc.

M. Berglund, L. Rymell, M. Peuker, T. Wilhein, and H. M. Hertz, J. Microsc. 197, 268 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

Nature

M. Drescher, M. Hentschel, R. Kienberger, M. Uiberacker, V. Yakoviev, A. Scrinzi, Th. Westerwalbesloh, U. Kleinberg, U. Heinzmann, and F. Krausz, Nature 419, 803 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A

F. Schäfers, M. Mertin, D. Abramsohn, A. Gaupp, H.-Ch. Mertins, and N. N. Salashchenko, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 467–468, 349 (2001).
[CrossRef]

Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A

N. N. Salashchenko, A. A. Fraerman, S. V. Mitenin, K. A. Prokhorov, and E. A. Shamov, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 405, 292 (1998).
[CrossRef]

Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A

H. Takenaka, H. Ito, K. Nagai, Y. Muramatsu, E. M. Gullikson, and R. C. C. Perera, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 467–468, 341 (2001).
[CrossRef]

S. S. Andreev, H.-Ch. Mertins, Yu. Ya. Platonov, N. N. Salashchenko, F. Schäfers, E. A. Shamov, and L. A. Shmaenok, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 448, 133 (2000).
[CrossRef]

Opt. Eng.

F. Eriksson, G. A. Johansson, H. M. Hertz, and J. Birch, Opt. Eng. 41, 2903 (2002).
[CrossRef]

Opt. Lett.

Physica B

F. Schäfers, Physica B 283, 119 (2000).
[CrossRef]

Proc. SPIE

E. Louis, A. E. Yakshin, P. C. Görts, S. Oestreich, R. Stuik, E. L. G. Maas, M. J. H. Kessels, and F. Bijkerk, Proc. SPIE 3997, 406 (2000).
[CrossRef]

D. L. Windt, S. M. Kahn, and G. E. Sommargren, Proc. SPIE 4851, 441 (2002).
[CrossRef]

J. Arthur and R. Tatchyn, Proc. SPIE 4143, 1 (2001).
[CrossRef]

K. Sakano and M. Yamamoto, Proc. SPIE 3767, 238 (1999).
[CrossRef]

H. M. Hertz, L. Rymell, M. Berglund, G. A. Johansson, T. Wilhein, Y. Platonov, and D. Broadway, Proc. SPIE 3766, 247 (1999).
[CrossRef]

Rev. Sci. Instrum.

J. H. Underwood, E. M. Gullikson, M. Koike, P. J. Batson, P. E. Denham, K. D. Franck, R. E. Tackaberry, and W. F. Steele, Rev. Sci. Instrum. 67, 3372 (1996).
[CrossRef]

G. A. Johansson, A. Holmberg, H. M. Hertz, and M. Berglund, Rev. Sci. Instrum. 73, 1193 (2002).
[CrossRef]

G. A. Johansson, M. Berglund, F. Eriksson, J. Birch, and H. M. Hertz, Rev. Sci. Instrum. 72, 58 (2001).
[CrossRef]

Solid State Phenom.

H. A. Atwater, Solid State Phenom. 27, 67 (1992).
[CrossRef]

Vacuum

J. Birch, F. Eriksson, G. A. Johansson, and H. M. Hertz, Vacuum 68, 65 (2003).

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (2)

Fig. 1
Fig. 1

Measured soft x-ray reflectivity of a Cr/Sc multilayer at the Sc absorption edge.

Fig. 2
Fig. 2

Soft x-ray reflectivity measurements of a multilayer for a fixed wavelength, λ=3.374 nm, for the LPP-based reflectometer utilizing the C VI emission line (solid curve) and for the synchrotron-based reflectometer at the ALS (dashed curve).

Metrics