Abstract

We have developed a 157-nm coherent light source by two-photon resonant four-wave mixing in Xe, with two tunable single-mode 1-kHz Ti:sapphire laser systems at 768 and 681 nm. This light source has been developed to determine the instrumental function of a vacuum ultraviolet spectrometer and to evaluate optical designs for ultra-line-narrowed F2 laser lithography. The spectral linewidth of the source was less than 0.008 pm (FWHM), with an average power of 0.6 mW.

© 2002 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. C. J. Sansonetti, J. Reader, and K. Vogler, Appl. Opt. 40, 1974–1978 (2001).
    [CrossRef]
  2. T. Ariga, H. Watanabe, T. Kumazaki, N. Kitatochi, K. Sasano, Y. Ueno, T. Nishisaka, R. Nohdomi, K. Hotta, H. Mizoguchi, and K. Nakao, Proc. SPIE 4346, 1158–1165 (2001).
    [CrossRef]
  3. K. Vogler, U. Stamm, I. Bragin, F. Voss, S. Govorkov, G. Hua, J. Kleinschmidt, and R. Paetzel, Proc. SPIE 4000, 1515–1528 (2000).
    [CrossRef]
  4. A. Ershov, T. Duffey, E. Onkels, W. Partlo, and R. Sandstrom, Proc. SPIE 4000, 1529–1536 (2000).
    [CrossRef]
  5. R. Hilbig and R. Wallenstein, IEEE J. Quantum Electron. QE-19, 194–201 (1983).
    [CrossRef]
  6. T. Togashi, Y. Nabekawa, T. Sekikawa, and S. Watanabe, Opt. Lett. 26, 831–833 (2001).
    [CrossRef]
  7. K. Liu and M. G. Littman, Opt. Lett. 6, 117–118 (1981).
    [CrossRef] [PubMed]
  8. K. W. Kangas, D. D. Lowenthal, and C. H. Muller, Opt. Lett. 14, 21–23 (1989).
    [CrossRef] [PubMed]
  9. D. Ko, G. Lim, S. Kim, B. H. Cha, and J. Lee, Opt. Lett. 20, 710–712 (1995).
    [CrossRef] [PubMed]
  10. A. J. Merrian and G. Y. Yin, Opt. Lett. 23, 1034–1036 (1998).
    [CrossRef]
  11. Y. Nabekawa, T. Togashi, T. Sekikawa, S. Watanabe, S. Konno, T. Kojima, S. Fujikawa, and K. Yasui, Appl. Phys. B 70, 171–179 (2000).
    [CrossRef]
  12. Y. Nabekawa, T. Togashi, T. Sekikawa, S. Watanabe, S. Konno, T. Kojima, S. Fujikawa, and K. Yasui, Opt. Express 5, 318–324 (1999), http://opticsexpress.org .
    [CrossRef] [PubMed]
  13. Y. Nabekawa, Y. Kuramoto, T. Togashi, T. Sekikawa, and S. Watanabe, Opt. Lett. 23, 1384–1386 (1988).
    [CrossRef]
  14. G. C. Bjorklund, IEEE J. Quantum Electron. QE-11, 287–296 (1975).
    [CrossRef]
  15. R. Abjean, A. Méhu, and A. Johannin-Gills, Opt. Commun. 3, 45–47 (1971).
    [CrossRef]

2001 (3)

C. J. Sansonetti, J. Reader, and K. Vogler, Appl. Opt. 40, 1974–1978 (2001).
[CrossRef]

T. Ariga, H. Watanabe, T. Kumazaki, N. Kitatochi, K. Sasano, Y. Ueno, T. Nishisaka, R. Nohdomi, K. Hotta, H. Mizoguchi, and K. Nakao, Proc. SPIE 4346, 1158–1165 (2001).
[CrossRef]

T. Togashi, Y. Nabekawa, T. Sekikawa, and S. Watanabe, Opt. Lett. 26, 831–833 (2001).
[CrossRef]

2000 (3)

K. Vogler, U. Stamm, I. Bragin, F. Voss, S. Govorkov, G. Hua, J. Kleinschmidt, and R. Paetzel, Proc. SPIE 4000, 1515–1528 (2000).
[CrossRef]

A. Ershov, T. Duffey, E. Onkels, W. Partlo, and R. Sandstrom, Proc. SPIE 4000, 1529–1536 (2000).
[CrossRef]

Y. Nabekawa, T. Togashi, T. Sekikawa, S. Watanabe, S. Konno, T. Kojima, S. Fujikawa, and K. Yasui, Appl. Phys. B 70, 171–179 (2000).
[CrossRef]

1999 (1)

1998 (1)

1995 (1)

1989 (1)

1988 (1)

1983 (1)

R. Hilbig and R. Wallenstein, IEEE J. Quantum Electron. QE-19, 194–201 (1983).
[CrossRef]

1981 (1)

1975 (1)

G. C. Bjorklund, IEEE J. Quantum Electron. QE-11, 287–296 (1975).
[CrossRef]

1971 (1)

R. Abjean, A. Méhu, and A. Johannin-Gills, Opt. Commun. 3, 45–47 (1971).
[CrossRef]

Abjean, R.

R. Abjean, A. Méhu, and A. Johannin-Gills, Opt. Commun. 3, 45–47 (1971).
[CrossRef]

Ariga, T.

T. Ariga, H. Watanabe, T. Kumazaki, N. Kitatochi, K. Sasano, Y. Ueno, T. Nishisaka, R. Nohdomi, K. Hotta, H. Mizoguchi, and K. Nakao, Proc. SPIE 4346, 1158–1165 (2001).
[CrossRef]

Bjorklund, G. C.

G. C. Bjorklund, IEEE J. Quantum Electron. QE-11, 287–296 (1975).
[CrossRef]

Bragin, I.

K. Vogler, U. Stamm, I. Bragin, F. Voss, S. Govorkov, G. Hua, J. Kleinschmidt, and R. Paetzel, Proc. SPIE 4000, 1515–1528 (2000).
[CrossRef]

Cha, B. H.

Duffey, T.

A. Ershov, T. Duffey, E. Onkels, W. Partlo, and R. Sandstrom, Proc. SPIE 4000, 1529–1536 (2000).
[CrossRef]

Ershov, A.

A. Ershov, T. Duffey, E. Onkels, W. Partlo, and R. Sandstrom, Proc. SPIE 4000, 1529–1536 (2000).
[CrossRef]

Fujikawa, S.

Y. Nabekawa, T. Togashi, T. Sekikawa, S. Watanabe, S. Konno, T. Kojima, S. Fujikawa, and K. Yasui, Appl. Phys. B 70, 171–179 (2000).
[CrossRef]

Y. Nabekawa, T. Togashi, T. Sekikawa, S. Watanabe, S. Konno, T. Kojima, S. Fujikawa, and K. Yasui, Opt. Express 5, 318–324 (1999), http://opticsexpress.org .
[CrossRef] [PubMed]

Govorkov, S.

K. Vogler, U. Stamm, I. Bragin, F. Voss, S. Govorkov, G. Hua, J. Kleinschmidt, and R. Paetzel, Proc. SPIE 4000, 1515–1528 (2000).
[CrossRef]

Hilbig, R.

R. Hilbig and R. Wallenstein, IEEE J. Quantum Electron. QE-19, 194–201 (1983).
[CrossRef]

Hotta, K.

T. Ariga, H. Watanabe, T. Kumazaki, N. Kitatochi, K. Sasano, Y. Ueno, T. Nishisaka, R. Nohdomi, K. Hotta, H. Mizoguchi, and K. Nakao, Proc. SPIE 4346, 1158–1165 (2001).
[CrossRef]

Hua, G.

K. Vogler, U. Stamm, I. Bragin, F. Voss, S. Govorkov, G. Hua, J. Kleinschmidt, and R. Paetzel, Proc. SPIE 4000, 1515–1528 (2000).
[CrossRef]

Johannin-Gills, A.

R. Abjean, A. Méhu, and A. Johannin-Gills, Opt. Commun. 3, 45–47 (1971).
[CrossRef]

Kangas, K. W.

Kim, S.

Kitatochi, N.

T. Ariga, H. Watanabe, T. Kumazaki, N. Kitatochi, K. Sasano, Y. Ueno, T. Nishisaka, R. Nohdomi, K. Hotta, H. Mizoguchi, and K. Nakao, Proc. SPIE 4346, 1158–1165 (2001).
[CrossRef]

Kleinschmidt, J.

K. Vogler, U. Stamm, I. Bragin, F. Voss, S. Govorkov, G. Hua, J. Kleinschmidt, and R. Paetzel, Proc. SPIE 4000, 1515–1528 (2000).
[CrossRef]

Ko, D.

Kojima, T.

Y. Nabekawa, T. Togashi, T. Sekikawa, S. Watanabe, S. Konno, T. Kojima, S. Fujikawa, and K. Yasui, Appl. Phys. B 70, 171–179 (2000).
[CrossRef]

Y. Nabekawa, T. Togashi, T. Sekikawa, S. Watanabe, S. Konno, T. Kojima, S. Fujikawa, and K. Yasui, Opt. Express 5, 318–324 (1999), http://opticsexpress.org .
[CrossRef] [PubMed]

Konno, S.

Y. Nabekawa, T. Togashi, T. Sekikawa, S. Watanabe, S. Konno, T. Kojima, S. Fujikawa, and K. Yasui, Appl. Phys. B 70, 171–179 (2000).
[CrossRef]

Y. Nabekawa, T. Togashi, T. Sekikawa, S. Watanabe, S. Konno, T. Kojima, S. Fujikawa, and K. Yasui, Opt. Express 5, 318–324 (1999), http://opticsexpress.org .
[CrossRef] [PubMed]

Kumazaki, T.

T. Ariga, H. Watanabe, T. Kumazaki, N. Kitatochi, K. Sasano, Y. Ueno, T. Nishisaka, R. Nohdomi, K. Hotta, H. Mizoguchi, and K. Nakao, Proc. SPIE 4346, 1158–1165 (2001).
[CrossRef]

Kuramoto, Y.

Lee, J.

Lim, G.

Littman, M. G.

Liu, K.

Lowenthal, D. D.

Méhu, A.

R. Abjean, A. Méhu, and A. Johannin-Gills, Opt. Commun. 3, 45–47 (1971).
[CrossRef]

Merrian, A. J.

Mizoguchi, H.

T. Ariga, H. Watanabe, T. Kumazaki, N. Kitatochi, K. Sasano, Y. Ueno, T. Nishisaka, R. Nohdomi, K. Hotta, H. Mizoguchi, and K. Nakao, Proc. SPIE 4346, 1158–1165 (2001).
[CrossRef]

Muller, C. H.

Nabekawa, Y.

Nakao, K.

T. Ariga, H. Watanabe, T. Kumazaki, N. Kitatochi, K. Sasano, Y. Ueno, T. Nishisaka, R. Nohdomi, K. Hotta, H. Mizoguchi, and K. Nakao, Proc. SPIE 4346, 1158–1165 (2001).
[CrossRef]

Nishisaka, T.

T. Ariga, H. Watanabe, T. Kumazaki, N. Kitatochi, K. Sasano, Y. Ueno, T. Nishisaka, R. Nohdomi, K. Hotta, H. Mizoguchi, and K. Nakao, Proc. SPIE 4346, 1158–1165 (2001).
[CrossRef]

Nohdomi, R.

T. Ariga, H. Watanabe, T. Kumazaki, N. Kitatochi, K. Sasano, Y. Ueno, T. Nishisaka, R. Nohdomi, K. Hotta, H. Mizoguchi, and K. Nakao, Proc. SPIE 4346, 1158–1165 (2001).
[CrossRef]

Onkels, E.

A. Ershov, T. Duffey, E. Onkels, W. Partlo, and R. Sandstrom, Proc. SPIE 4000, 1529–1536 (2000).
[CrossRef]

Paetzel, R.

K. Vogler, U. Stamm, I. Bragin, F. Voss, S. Govorkov, G. Hua, J. Kleinschmidt, and R. Paetzel, Proc. SPIE 4000, 1515–1528 (2000).
[CrossRef]

Partlo, W.

A. Ershov, T. Duffey, E. Onkels, W. Partlo, and R. Sandstrom, Proc. SPIE 4000, 1529–1536 (2000).
[CrossRef]

Reader, J.

Sandstrom, R.

A. Ershov, T. Duffey, E. Onkels, W. Partlo, and R. Sandstrom, Proc. SPIE 4000, 1529–1536 (2000).
[CrossRef]

Sansonetti, C. J.

Sasano, K.

T. Ariga, H. Watanabe, T. Kumazaki, N. Kitatochi, K. Sasano, Y. Ueno, T. Nishisaka, R. Nohdomi, K. Hotta, H. Mizoguchi, and K. Nakao, Proc. SPIE 4346, 1158–1165 (2001).
[CrossRef]

Sekikawa, T.

Stamm, U.

K. Vogler, U. Stamm, I. Bragin, F. Voss, S. Govorkov, G. Hua, J. Kleinschmidt, and R. Paetzel, Proc. SPIE 4000, 1515–1528 (2000).
[CrossRef]

Togashi, T.

Ueno, Y.

T. Ariga, H. Watanabe, T. Kumazaki, N. Kitatochi, K. Sasano, Y. Ueno, T. Nishisaka, R. Nohdomi, K. Hotta, H. Mizoguchi, and K. Nakao, Proc. SPIE 4346, 1158–1165 (2001).
[CrossRef]

Vogler, K.

C. J. Sansonetti, J. Reader, and K. Vogler, Appl. Opt. 40, 1974–1978 (2001).
[CrossRef]

K. Vogler, U. Stamm, I. Bragin, F. Voss, S. Govorkov, G. Hua, J. Kleinschmidt, and R. Paetzel, Proc. SPIE 4000, 1515–1528 (2000).
[CrossRef]

Voss, F.

K. Vogler, U. Stamm, I. Bragin, F. Voss, S. Govorkov, G. Hua, J. Kleinschmidt, and R. Paetzel, Proc. SPIE 4000, 1515–1528 (2000).
[CrossRef]

Wallenstein, R.

R. Hilbig and R. Wallenstein, IEEE J. Quantum Electron. QE-19, 194–201 (1983).
[CrossRef]

Watanabe, H.

T. Ariga, H. Watanabe, T. Kumazaki, N. Kitatochi, K. Sasano, Y. Ueno, T. Nishisaka, R. Nohdomi, K. Hotta, H. Mizoguchi, and K. Nakao, Proc. SPIE 4346, 1158–1165 (2001).
[CrossRef]

Watanabe, S.

Yasui, K.

Y. Nabekawa, T. Togashi, T. Sekikawa, S. Watanabe, S. Konno, T. Kojima, S. Fujikawa, and K. Yasui, Appl. Phys. B 70, 171–179 (2000).
[CrossRef]

Y. Nabekawa, T. Togashi, T. Sekikawa, S. Watanabe, S. Konno, T. Kojima, S. Fujikawa, and K. Yasui, Opt. Express 5, 318–324 (1999), http://opticsexpress.org .
[CrossRef] [PubMed]

Yin, G. Y.

Appl. Opt. (1)

Appl. Phys. B (1)

Y. Nabekawa, T. Togashi, T. Sekikawa, S. Watanabe, S. Konno, T. Kojima, S. Fujikawa, and K. Yasui, Appl. Phys. B 70, 171–179 (2000).
[CrossRef]

IEEE J. Quantum Electron. (2)

G. C. Bjorklund, IEEE J. Quantum Electron. QE-11, 287–296 (1975).
[CrossRef]

R. Hilbig and R. Wallenstein, IEEE J. Quantum Electron. QE-19, 194–201 (1983).
[CrossRef]

Opt. Commun. (1)

R. Abjean, A. Méhu, and A. Johannin-Gills, Opt. Commun. 3, 45–47 (1971).
[CrossRef]

Opt. Express (1)

Opt. Lett. (6)

Proc. SPIE (3)

T. Ariga, H. Watanabe, T. Kumazaki, N. Kitatochi, K. Sasano, Y. Ueno, T. Nishisaka, R. Nohdomi, K. Hotta, H. Mizoguchi, and K. Nakao, Proc. SPIE 4346, 1158–1165 (2001).
[CrossRef]

K. Vogler, U. Stamm, I. Bragin, F. Voss, S. Govorkov, G. Hua, J. Kleinschmidt, and R. Paetzel, Proc. SPIE 4000, 1515–1528 (2000).
[CrossRef]

A. Ershov, T. Duffey, E. Onkels, W. Partlo, and R. Sandstrom, Proc. SPIE 4000, 1529–1536 (2000).
[CrossRef]

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (3)

Fig. 1
Fig. 1

Optical arrangement of the 157CLS. W.P.s, wave plates; Ti:S, Ti:sapphire; LBO, LiB3O5; BBO, βBaB2O4.

Fig. 2
Fig. 2

(a) Spectral profile at 768.046 nm. The bandwidth is 28.3 MHz (FWHM). (b) Spectral profile at 681.190 nm. The bandwidth is 63.9 MHz (FWHM). (c) Temporal profile of the 157.629-nm light. The pulse duration is 8.6 ns.

Fig. 3
Fig. 3

157-nm average power versus Xe pressure.

Metrics