Abstract

Effective energy windows for two-photon absorption (TPA) photopolymerization of resins were investigated and, with a properly selected laser pulse energy, exquisite three-dimensional (3D) microstructures with submicrometer spatial resolution were achieved. The results show the inherent utility of TPA in the fabrication of real 3D patterns. In particular, we propose and utilize a resin pre-exposure technique by which freely movable components affixed to an axle are built, demonstrating a new application of TPA in laser microfabrication.

© 2000 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. See, for example, S. Maruo and S. Kawata, in Proceedings of the IEEE International Workshop on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS’97) (Institute of Electrical and Electronics Engineers, Piscataway, N.J., 1997), p. 169.
  2. S. Maruo and S. Kawata, J. Microelectromech. Syst. 7, 411 (1998).
    [CrossRef]
  3. K. Ikuta, S. Maruo, Y. Fukaya, and T. Fujisawa, in Proceedings of the IEEE International Workshop on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS’98) (Institute of Electrical and Electronics Engineers, Piscataway, N.J.1998), p. 131.
  4. E. Yablonovitch, Phys. Rev. Lett. 58, 2059 (1987).
    [CrossRef] [PubMed]
  5. W. Denk, J. H. Strickler, and W. W. Webb, Science 248, 73 (1990).
    [CrossRef] [PubMed]
  6. Y. R. Shen, The Principles of Nonlinear Optics (Wiley, New York, 1984).
  7. S. Maruo, O. Nakamura, and S. Kawada, Opt. Lett. 22, 132 (1997).
    [CrossRef] [PubMed]
  8. G. Witzgall, R. Vrijen, E. Yablonovitch, V. Doan, and B. J. Schwartz, Opt. Lett. 23, 1745 (1998).
    [CrossRef]
  9. M. Albota, D. Beljonne, J.-L. Bradas, J. E. Ehrlich, J.-Y. Fu, A. A. Heikal, S. E. Hess, T. Kogel, M. D. Levin, S. R. Marder, D. McCord-Maughon, J. W. Perry, H. Rackel, M. Rumi, G. Subramaniam, W. W. Webb, X.-L. Wu, and C. Xu, Science 281, 1653 (1998).
    [CrossRef] [PubMed]
  10. B. H. Cumpston, S. P. Anaanthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I.-Y. S. Lee, D. McCord-Maughon, J. Qin, H. Röckel, M. Rumi, X.-L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
    [CrossRef]
  11. H.-B. Sun, S. Matsuo, and H. Misawa, Appl. Phys. Lett. 74, 786 (1999).
    [CrossRef]

1999 (2)

B. H. Cumpston, S. P. Anaanthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I.-Y. S. Lee, D. McCord-Maughon, J. Qin, H. Röckel, M. Rumi, X.-L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

H.-B. Sun, S. Matsuo, and H. Misawa, Appl. Phys. Lett. 74, 786 (1999).
[CrossRef]

1998 (3)

G. Witzgall, R. Vrijen, E. Yablonovitch, V. Doan, and B. J. Schwartz, Opt. Lett. 23, 1745 (1998).
[CrossRef]

S. Maruo and S. Kawata, J. Microelectromech. Syst. 7, 411 (1998).
[CrossRef]

M. Albota, D. Beljonne, J.-L. Bradas, J. E. Ehrlich, J.-Y. Fu, A. A. Heikal, S. E. Hess, T. Kogel, M. D. Levin, S. R. Marder, D. McCord-Maughon, J. W. Perry, H. Rackel, M. Rumi, G. Subramaniam, W. W. Webb, X.-L. Wu, and C. Xu, Science 281, 1653 (1998).
[CrossRef] [PubMed]

1997 (1)

1990 (1)

W. Denk, J. H. Strickler, and W. W. Webb, Science 248, 73 (1990).
[CrossRef] [PubMed]

1987 (1)

E. Yablonovitch, Phys. Rev. Lett. 58, 2059 (1987).
[CrossRef] [PubMed]

Albota, M.

M. Albota, D. Beljonne, J.-L. Bradas, J. E. Ehrlich, J.-Y. Fu, A. A. Heikal, S. E. Hess, T. Kogel, M. D. Levin, S. R. Marder, D. McCord-Maughon, J. W. Perry, H. Rackel, M. Rumi, G. Subramaniam, W. W. Webb, X.-L. Wu, and C. Xu, Science 281, 1653 (1998).
[CrossRef] [PubMed]

Anaanthavel, S. P.

B. H. Cumpston, S. P. Anaanthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I.-Y. S. Lee, D. McCord-Maughon, J. Qin, H. Röckel, M. Rumi, X.-L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

Barlow, S.

B. H. Cumpston, S. P. Anaanthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I.-Y. S. Lee, D. McCord-Maughon, J. Qin, H. Röckel, M. Rumi, X.-L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

Beljonne, D.

M. Albota, D. Beljonne, J.-L. Bradas, J. E. Ehrlich, J.-Y. Fu, A. A. Heikal, S. E. Hess, T. Kogel, M. D. Levin, S. R. Marder, D. McCord-Maughon, J. W. Perry, H. Rackel, M. Rumi, G. Subramaniam, W. W. Webb, X.-L. Wu, and C. Xu, Science 281, 1653 (1998).
[CrossRef] [PubMed]

Bradas, J.-L.

M. Albota, D. Beljonne, J.-L. Bradas, J. E. Ehrlich, J.-Y. Fu, A. A. Heikal, S. E. Hess, T. Kogel, M. D. Levin, S. R. Marder, D. McCord-Maughon, J. W. Perry, H. Rackel, M. Rumi, G. Subramaniam, W. W. Webb, X.-L. Wu, and C. Xu, Science 281, 1653 (1998).
[CrossRef] [PubMed]

Cumpston, B. H.

B. H. Cumpston, S. P. Anaanthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I.-Y. S. Lee, D. McCord-Maughon, J. Qin, H. Röckel, M. Rumi, X.-L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

Denk, W.

W. Denk, J. H. Strickler, and W. W. Webb, Science 248, 73 (1990).
[CrossRef] [PubMed]

Doan, V.

Dyer, D. L.

B. H. Cumpston, S. P. Anaanthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I.-Y. S. Lee, D. McCord-Maughon, J. Qin, H. Röckel, M. Rumi, X.-L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

Ehrlich, J. E.

B. H. Cumpston, S. P. Anaanthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I.-Y. S. Lee, D. McCord-Maughon, J. Qin, H. Röckel, M. Rumi, X.-L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

M. Albota, D. Beljonne, J.-L. Bradas, J. E. Ehrlich, J.-Y. Fu, A. A. Heikal, S. E. Hess, T. Kogel, M. D. Levin, S. R. Marder, D. McCord-Maughon, J. W. Perry, H. Rackel, M. Rumi, G. Subramaniam, W. W. Webb, X.-L. Wu, and C. Xu, Science 281, 1653 (1998).
[CrossRef] [PubMed]

Erskine, L. L.

B. H. Cumpston, S. P. Anaanthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I.-Y. S. Lee, D. McCord-Maughon, J. Qin, H. Röckel, M. Rumi, X.-L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

Fu, J.-Y.

M. Albota, D. Beljonne, J.-L. Bradas, J. E. Ehrlich, J.-Y. Fu, A. A. Heikal, S. E. Hess, T. Kogel, M. D. Levin, S. R. Marder, D. McCord-Maughon, J. W. Perry, H. Rackel, M. Rumi, G. Subramaniam, W. W. Webb, X.-L. Wu, and C. Xu, Science 281, 1653 (1998).
[CrossRef] [PubMed]

Fujisawa, T.

K. Ikuta, S. Maruo, Y. Fukaya, and T. Fujisawa, in Proceedings of the IEEE International Workshop on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS’98) (Institute of Electrical and Electronics Engineers, Piscataway, N.J.1998), p. 131.

Fukaya, Y.

K. Ikuta, S. Maruo, Y. Fukaya, and T. Fujisawa, in Proceedings of the IEEE International Workshop on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS’98) (Institute of Electrical and Electronics Engineers, Piscataway, N.J.1998), p. 131.

Heikal, A. A.

B. H. Cumpston, S. P. Anaanthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I.-Y. S. Lee, D. McCord-Maughon, J. Qin, H. Röckel, M. Rumi, X.-L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

M. Albota, D. Beljonne, J.-L. Bradas, J. E. Ehrlich, J.-Y. Fu, A. A. Heikal, S. E. Hess, T. Kogel, M. D. Levin, S. R. Marder, D. McCord-Maughon, J. W. Perry, H. Rackel, M. Rumi, G. Subramaniam, W. W. Webb, X.-L. Wu, and C. Xu, Science 281, 1653 (1998).
[CrossRef] [PubMed]

Hess, S. E.

M. Albota, D. Beljonne, J.-L. Bradas, J. E. Ehrlich, J.-Y. Fu, A. A. Heikal, S. E. Hess, T. Kogel, M. D. Levin, S. R. Marder, D. McCord-Maughon, J. W. Perry, H. Rackel, M. Rumi, G. Subramaniam, W. W. Webb, X.-L. Wu, and C. Xu, Science 281, 1653 (1998).
[CrossRef] [PubMed]

Ikuta, K.

K. Ikuta, S. Maruo, Y. Fukaya, and T. Fujisawa, in Proceedings of the IEEE International Workshop on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS’98) (Institute of Electrical and Electronics Engineers, Piscataway, N.J.1998), p. 131.

Kawada, S.

Kawata, S.

S. Maruo and S. Kawata, J. Microelectromech. Syst. 7, 411 (1998).
[CrossRef]

See, for example, S. Maruo and S. Kawata, in Proceedings of the IEEE International Workshop on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS’97) (Institute of Electrical and Electronics Engineers, Piscataway, N.J., 1997), p. 169.

Kogel, T.

M. Albota, D. Beljonne, J.-L. Bradas, J. E. Ehrlich, J.-Y. Fu, A. A. Heikal, S. E. Hess, T. Kogel, M. D. Levin, S. R. Marder, D. McCord-Maughon, J. W. Perry, H. Rackel, M. Rumi, G. Subramaniam, W. W. Webb, X.-L. Wu, and C. Xu, Science 281, 1653 (1998).
[CrossRef] [PubMed]

Kuebler, S. M.

B. H. Cumpston, S. P. Anaanthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I.-Y. S. Lee, D. McCord-Maughon, J. Qin, H. Röckel, M. Rumi, X.-L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

Lee, I.-Y. S.

B. H. Cumpston, S. P. Anaanthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I.-Y. S. Lee, D. McCord-Maughon, J. Qin, H. Röckel, M. Rumi, X.-L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

Levin, M. D.

M. Albota, D. Beljonne, J.-L. Bradas, J. E. Ehrlich, J.-Y. Fu, A. A. Heikal, S. E. Hess, T. Kogel, M. D. Levin, S. R. Marder, D. McCord-Maughon, J. W. Perry, H. Rackel, M. Rumi, G. Subramaniam, W. W. Webb, X.-L. Wu, and C. Xu, Science 281, 1653 (1998).
[CrossRef] [PubMed]

Marder, S. R.

B. H. Cumpston, S. P. Anaanthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I.-Y. S. Lee, D. McCord-Maughon, J. Qin, H. Röckel, M. Rumi, X.-L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

M. Albota, D. Beljonne, J.-L. Bradas, J. E. Ehrlich, J.-Y. Fu, A. A. Heikal, S. E. Hess, T. Kogel, M. D. Levin, S. R. Marder, D. McCord-Maughon, J. W. Perry, H. Rackel, M. Rumi, G. Subramaniam, W. W. Webb, X.-L. Wu, and C. Xu, Science 281, 1653 (1998).
[CrossRef] [PubMed]

Maruo, S.

S. Maruo and S. Kawata, J. Microelectromech. Syst. 7, 411 (1998).
[CrossRef]

S. Maruo, O. Nakamura, and S. Kawada, Opt. Lett. 22, 132 (1997).
[CrossRef] [PubMed]

K. Ikuta, S. Maruo, Y. Fukaya, and T. Fujisawa, in Proceedings of the IEEE International Workshop on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS’98) (Institute of Electrical and Electronics Engineers, Piscataway, N.J.1998), p. 131.

See, for example, S. Maruo and S. Kawata, in Proceedings of the IEEE International Workshop on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS’97) (Institute of Electrical and Electronics Engineers, Piscataway, N.J., 1997), p. 169.

Matsuo, S.

H.-B. Sun, S. Matsuo, and H. Misawa, Appl. Phys. Lett. 74, 786 (1999).
[CrossRef]

McCord-Maughon, D.

B. H. Cumpston, S. P. Anaanthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I.-Y. S. Lee, D. McCord-Maughon, J. Qin, H. Röckel, M. Rumi, X.-L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

M. Albota, D. Beljonne, J.-L. Bradas, J. E. Ehrlich, J.-Y. Fu, A. A. Heikal, S. E. Hess, T. Kogel, M. D. Levin, S. R. Marder, D. McCord-Maughon, J. W. Perry, H. Rackel, M. Rumi, G. Subramaniam, W. W. Webb, X.-L. Wu, and C. Xu, Science 281, 1653 (1998).
[CrossRef] [PubMed]

Misawa, H.

H.-B. Sun, S. Matsuo, and H. Misawa, Appl. Phys. Lett. 74, 786 (1999).
[CrossRef]

Nakamura, O.

Perry, J. W.

B. H. Cumpston, S. P. Anaanthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I.-Y. S. Lee, D. McCord-Maughon, J. Qin, H. Röckel, M. Rumi, X.-L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

M. Albota, D. Beljonne, J.-L. Bradas, J. E. Ehrlich, J.-Y. Fu, A. A. Heikal, S. E. Hess, T. Kogel, M. D. Levin, S. R. Marder, D. McCord-Maughon, J. W. Perry, H. Rackel, M. Rumi, G. Subramaniam, W. W. Webb, X.-L. Wu, and C. Xu, Science 281, 1653 (1998).
[CrossRef] [PubMed]

Qin, J.

B. H. Cumpston, S. P. Anaanthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I.-Y. S. Lee, D. McCord-Maughon, J. Qin, H. Röckel, M. Rumi, X.-L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

Rackel, H.

M. Albota, D. Beljonne, J.-L. Bradas, J. E. Ehrlich, J.-Y. Fu, A. A. Heikal, S. E. Hess, T. Kogel, M. D. Levin, S. R. Marder, D. McCord-Maughon, J. W. Perry, H. Rackel, M. Rumi, G. Subramaniam, W. W. Webb, X.-L. Wu, and C. Xu, Science 281, 1653 (1998).
[CrossRef] [PubMed]

Röckel, H.

B. H. Cumpston, S. P. Anaanthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I.-Y. S. Lee, D. McCord-Maughon, J. Qin, H. Röckel, M. Rumi, X.-L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

Rumi, M.

B. H. Cumpston, S. P. Anaanthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I.-Y. S. Lee, D. McCord-Maughon, J. Qin, H. Röckel, M. Rumi, X.-L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

M. Albota, D. Beljonne, J.-L. Bradas, J. E. Ehrlich, J.-Y. Fu, A. A. Heikal, S. E. Hess, T. Kogel, M. D. Levin, S. R. Marder, D. McCord-Maughon, J. W. Perry, H. Rackel, M. Rumi, G. Subramaniam, W. W. Webb, X.-L. Wu, and C. Xu, Science 281, 1653 (1998).
[CrossRef] [PubMed]

Schwartz, B. J.

Shen, Y. R.

Y. R. Shen, The Principles of Nonlinear Optics (Wiley, New York, 1984).

Strickler, J. H.

W. Denk, J. H. Strickler, and W. W. Webb, Science 248, 73 (1990).
[CrossRef] [PubMed]

Subramaniam, G.

M. Albota, D. Beljonne, J.-L. Bradas, J. E. Ehrlich, J.-Y. Fu, A. A. Heikal, S. E. Hess, T. Kogel, M. D. Levin, S. R. Marder, D. McCord-Maughon, J. W. Perry, H. Rackel, M. Rumi, G. Subramaniam, W. W. Webb, X.-L. Wu, and C. Xu, Science 281, 1653 (1998).
[CrossRef] [PubMed]

Sun, H.-B.

H.-B. Sun, S. Matsuo, and H. Misawa, Appl. Phys. Lett. 74, 786 (1999).
[CrossRef]

Vrijen, R.

Webb, W. W.

M. Albota, D. Beljonne, J.-L. Bradas, J. E. Ehrlich, J.-Y. Fu, A. A. Heikal, S. E. Hess, T. Kogel, M. D. Levin, S. R. Marder, D. McCord-Maughon, J. W. Perry, H. Rackel, M. Rumi, G. Subramaniam, W. W. Webb, X.-L. Wu, and C. Xu, Science 281, 1653 (1998).
[CrossRef] [PubMed]

W. Denk, J. H. Strickler, and W. W. Webb, Science 248, 73 (1990).
[CrossRef] [PubMed]

Witzgall, G.

Wu, X.-L.

B. H. Cumpston, S. P. Anaanthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I.-Y. S. Lee, D. McCord-Maughon, J. Qin, H. Röckel, M. Rumi, X.-L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

M. Albota, D. Beljonne, J.-L. Bradas, J. E. Ehrlich, J.-Y. Fu, A. A. Heikal, S. E. Hess, T. Kogel, M. D. Levin, S. R. Marder, D. McCord-Maughon, J. W. Perry, H. Rackel, M. Rumi, G. Subramaniam, W. W. Webb, X.-L. Wu, and C. Xu, Science 281, 1653 (1998).
[CrossRef] [PubMed]

Xu, C.

M. Albota, D. Beljonne, J.-L. Bradas, J. E. Ehrlich, J.-Y. Fu, A. A. Heikal, S. E. Hess, T. Kogel, M. D. Levin, S. R. Marder, D. McCord-Maughon, J. W. Perry, H. Rackel, M. Rumi, G. Subramaniam, W. W. Webb, X.-L. Wu, and C. Xu, Science 281, 1653 (1998).
[CrossRef] [PubMed]

Yablonovitch, E.

Appl. Phys. Lett. (1)

H.-B. Sun, S. Matsuo, and H. Misawa, Appl. Phys. Lett. 74, 786 (1999).
[CrossRef]

J. Microelectromech. Syst. (1)

S. Maruo and S. Kawata, J. Microelectromech. Syst. 7, 411 (1998).
[CrossRef]

Nature (1)

B. H. Cumpston, S. P. Anaanthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I.-Y. S. Lee, D. McCord-Maughon, J. Qin, H. Röckel, M. Rumi, X.-L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

Opt. Lett. (2)

Phys. Rev. Lett. (1)

E. Yablonovitch, Phys. Rev. Lett. 58, 2059 (1987).
[CrossRef] [PubMed]

Science (2)

W. Denk, J. H. Strickler, and W. W. Webb, Science 248, 73 (1990).
[CrossRef] [PubMed]

M. Albota, D. Beljonne, J.-L. Bradas, J. E. Ehrlich, J.-Y. Fu, A. A. Heikal, S. E. Hess, T. Kogel, M. D. Levin, S. R. Marder, D. McCord-Maughon, J. W. Perry, H. Rackel, M. Rumi, G. Subramaniam, W. W. Webb, X.-L. Wu, and C. Xu, Science 281, 1653 (1998).
[CrossRef] [PubMed]

Other (3)

See, for example, S. Maruo and S. Kawata, in Proceedings of the IEEE International Workshop on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS’97) (Institute of Electrical and Electronics Engineers, Piscataway, N.J., 1997), p. 169.

Y. R. Shen, The Principles of Nonlinear Optics (Wiley, New York, 1984).

K. Ikuta, S. Maruo, Y. Fukaya, and T. Fujisawa, in Proceedings of the IEEE International Workshop on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS’98) (Institute of Electrical and Electronics Engineers, Piscataway, N.J.1998), p. 131.

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (3)

Fig. 1
Fig. 1

LPE-dependent spatial resolutions of two kinds of resin. The data are from atomic-force microscope scanning of solidified rods. The LPE’s were normalized to the TPA exposure threshold of each resin. For NOP-800 and NOA-68, the values are TPATH=0.2 µJ and TPATH=0.5 µJ, respectively.

Fig. 2
Fig. 2

Scanning-electron microscope images of A, a micro gear wheel and B, micro gear-wheel pairs.

Fig. 3
Fig. 3

Micro gear-wheel affixed to a shaft. The gear wheel is freely movable.

Metrics