Abstract

The resolution limits of conventional optical lithography reflect the low-pass spatial-frequency [numerical aperture (NA) /λ] filter characteristics of the imaging system. Imaging interferometric lithography extends the resolution of optical lithography to the spatial-frequency limits of optics (2/λ) . Off-axis illumination downshifts the high-frequency components of the mask pattern. An interferometric beam at the wafer upshifts these frequency components back to their original spatial frequencies following the lens. 2× reduction imaging interferometric lithography experiments demonstrate a continuous frequency coverage up to ~3N.A./λ with a consequent threefold resolution enhancement.

© 1999 Optical Society of America

PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. L. W. Liebmann, B. Grenon, M. Lavin, S. Schomody, and T. Zell, Proc. SPIE 2322, 229 (1994).
  2. M. D. Levenson, N. S. Viswanathan, and R. A. Simpson, IEEE Trans. Electron. Dev. ED-29, 1828 (1982).
  3. K. Kamon, T. Miyamoto, Y. Myoi, H. Nagata, M. Tanaka, and K. Horie, Jpn. J. Appl. Phys. 30, 3021 (1991).
  4. E. H. Anderson, C. M. Horowitz, and H. I. Smith, Appl. Phys. Lett. 43, 874 (1983).
  5. S. H. Zaidi and S. R. J. Brueck, J. Vac. Sci. Technol. B 11, 658 (1993).
  6. X. Chen, S. H. Zaidi, S. R. J. Brueck, and D. J. Devine, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 3339 (1996).
  7. S. R. J. Brueck, Microlithogr. World 7(1), 2 (1998).
  8. X. Chen, and S. R. J. Brueck, Proc. SPIE 3331, 214 (1998).
  9. X. Chen, and S. R. J. Brueck, J. Vac. Sci. Technol. 1316, 3392 (1998).
  10. J. W. Goodman, Introduction to Fourier Optics, 2nd ed. (McGraw-Hill, New York, 1996).

1998

S. R. J. Brueck, Microlithogr. World 7(1), 2 (1998).

X. Chen, and S. R. J. Brueck, Proc. SPIE 3331, 214 (1998).

X. Chen, and S. R. J. Brueck, J. Vac. Sci. Technol. 1316, 3392 (1998).

1996

J. W. Goodman, Introduction to Fourier Optics, 2nd ed. (McGraw-Hill, New York, 1996).

X. Chen, S. H. Zaidi, S. R. J. Brueck, and D. J. Devine, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 3339 (1996).

1994

L. W. Liebmann, B. Grenon, M. Lavin, S. Schomody, and T. Zell, Proc. SPIE 2322, 229 (1994).

1993

S. H. Zaidi and S. R. J. Brueck, J. Vac. Sci. Technol. B 11, 658 (1993).

1991

K. Kamon, T. Miyamoto, Y. Myoi, H. Nagata, M. Tanaka, and K. Horie, Jpn. J. Appl. Phys. 30, 3021 (1991).

1983

E. H. Anderson, C. M. Horowitz, and H. I. Smith, Appl. Phys. Lett. 43, 874 (1983).

1982

M. D. Levenson, N. S. Viswanathan, and R. A. Simpson, IEEE Trans. Electron. Dev. ED-29, 1828 (1982).

Anderson, E. H.

E. H. Anderson, C. M. Horowitz, and H. I. Smith, Appl. Phys. Lett. 43, 874 (1983).

Brueck, S. R. J.

X. Chen, and S. R. J. Brueck, Proc. SPIE 3331, 214 (1998).

S. R. J. Brueck, Microlithogr. World 7(1), 2 (1998).

X. Chen, and S. R. J. Brueck, J. Vac. Sci. Technol. 1316, 3392 (1998).

X. Chen, S. H. Zaidi, S. R. J. Brueck, and D. J. Devine, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 3339 (1996).

S. H. Zaidi and S. R. J. Brueck, J. Vac. Sci. Technol. B 11, 658 (1993).

Chen, X.

X. Chen, and S. R. J. Brueck, J. Vac. Sci. Technol. 1316, 3392 (1998).

X. Chen, and S. R. J. Brueck, Proc. SPIE 3331, 214 (1998).

X. Chen, S. H. Zaidi, S. R. J. Brueck, and D. J. Devine, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 3339 (1996).

Devine, D. J.

X. Chen, S. H. Zaidi, S. R. J. Brueck, and D. J. Devine, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 3339 (1996).

Goodman, J. W.

J. W. Goodman, Introduction to Fourier Optics, 2nd ed. (McGraw-Hill, New York, 1996).

Grenon, B.

L. W. Liebmann, B. Grenon, M. Lavin, S. Schomody, and T. Zell, Proc. SPIE 2322, 229 (1994).

Horie, K.

K. Kamon, T. Miyamoto, Y. Myoi, H. Nagata, M. Tanaka, and K. Horie, Jpn. J. Appl. Phys. 30, 3021 (1991).

Horowitz, C. M.

E. H. Anderson, C. M. Horowitz, and H. I. Smith, Appl. Phys. Lett. 43, 874 (1983).

Kamon, K.

K. Kamon, T. Miyamoto, Y. Myoi, H. Nagata, M. Tanaka, and K. Horie, Jpn. J. Appl. Phys. 30, 3021 (1991).

Lavin, M.

L. W. Liebmann, B. Grenon, M. Lavin, S. Schomody, and T. Zell, Proc. SPIE 2322, 229 (1994).

Levenson, M. D.

M. D. Levenson, N. S. Viswanathan, and R. A. Simpson, IEEE Trans. Electron. Dev. ED-29, 1828 (1982).

Liebmann, L. W.

L. W. Liebmann, B. Grenon, M. Lavin, S. Schomody, and T. Zell, Proc. SPIE 2322, 229 (1994).

Miyamoto, T.

K. Kamon, T. Miyamoto, Y. Myoi, H. Nagata, M. Tanaka, and K. Horie, Jpn. J. Appl. Phys. 30, 3021 (1991).

Myoi, Y.

K. Kamon, T. Miyamoto, Y. Myoi, H. Nagata, M. Tanaka, and K. Horie, Jpn. J. Appl. Phys. 30, 3021 (1991).

Nagata, H.

K. Kamon, T. Miyamoto, Y. Myoi, H. Nagata, M. Tanaka, and K. Horie, Jpn. J. Appl. Phys. 30, 3021 (1991).

Schomody, S.

L. W. Liebmann, B. Grenon, M. Lavin, S. Schomody, and T. Zell, Proc. SPIE 2322, 229 (1994).

Simpson, R. A.

M. D. Levenson, N. S. Viswanathan, and R. A. Simpson, IEEE Trans. Electron. Dev. ED-29, 1828 (1982).

Smith, H. I.

E. H. Anderson, C. M. Horowitz, and H. I. Smith, Appl. Phys. Lett. 43, 874 (1983).

Tanaka, M.

K. Kamon, T. Miyamoto, Y. Myoi, H. Nagata, M. Tanaka, and K. Horie, Jpn. J. Appl. Phys. 30, 3021 (1991).

Viswanathan, N. S.

M. D. Levenson, N. S. Viswanathan, and R. A. Simpson, IEEE Trans. Electron. Dev. ED-29, 1828 (1982).

Zaidi, S. H.

X. Chen, S. H. Zaidi, S. R. J. Brueck, and D. J. Devine, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 3339 (1996).

S. H. Zaidi and S. R. J. Brueck, J. Vac. Sci. Technol. B 11, 658 (1993).

Zell, T.

L. W. Liebmann, B. Grenon, M. Lavin, S. Schomody, and T. Zell, Proc. SPIE 2322, 229 (1994).

Appl. Phys. Lett.

E. H. Anderson, C. M. Horowitz, and H. I. Smith, Appl. Phys. Lett. 43, 874 (1983).

IEEE Trans. Electron. Dev.

M. D. Levenson, N. S. Viswanathan, and R. A. Simpson, IEEE Trans. Electron. Dev. ED-29, 1828 (1982).

J. Vac. Sci. Technol.

X. Chen, and S. R. J. Brueck, J. Vac. Sci. Technol. 1316, 3392 (1998).

J. Vac. Sci. Technol. B

S. H. Zaidi and S. R. J. Brueck, J. Vac. Sci. Technol. B 11, 658 (1993).

X. Chen, S. H. Zaidi, S. R. J. Brueck, and D. J. Devine, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 3339 (1996).

Jpn. J. Appl. Phys.

K. Kamon, T. Miyamoto, Y. Myoi, H. Nagata, M. Tanaka, and K. Horie, Jpn. J. Appl. Phys. 30, 3021 (1991).

Microlithogr. World

S. R. J. Brueck, Microlithogr. World 7(1), 2 (1998).

Proc. SPIE

X. Chen, and S. R. J. Brueck, Proc. SPIE 3331, 214 (1998).

L. W. Liebmann, B. Grenon, M. Lavin, S. Schomody, and T. Zell, Proc. SPIE 2322, 229 (1994).

Other

J. W. Goodman, Introduction to Fourier Optics, 2nd ed. (McGraw-Hill, New York, 1996).

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Metrics