Abstract

Spatially localized femtosecond pulses have been produced by a combination of scanning near-field optical microscopy with ultrashort pulse lasers. With these pulses direct ablative writing on metal surfaces is demonstrated. Possible applications of this technique for nanostructuring, repair, and production of lithographic masks are discussed.

© 1999 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. S. Preuss, A. Demchuk, and M. Stuke, Appl. Phys. A 61, 33 (1995).
    [CrossRef]
  2. P. P. Pronko, S. K. Dutta, J. Squier, J. V. Rudd, D. Du, and G. Mourou, Opt. Commun. 114, 106 (1995).
    [CrossRef]
  3. C. Momma, B. N. Chichkov, S. Nolte, F. von Alvensleben, A. Tünnermann, and H. Welling, Opt. Commun. 129, 134 (1996).
    [CrossRef]
  4. B. C. Stuart, M. D. Feit, S. Herman, A. M. Rubenchik, B. W. Shore, and M. D. Perry, J. Opt. Soc. Am. B 13, 459 (1996).
    [CrossRef]
  5. W. Kautek, J. Krüger, M. Lenzner, S. Sartania, C. Spielmann, and F. Krausz, Appl. Phys. Lett. 69, 3146 (1996).
    [CrossRef]
  6. S. Nolte, C. Momma, H. Jacobs, A. Tünnermann, B. N. Chichkov, B. Wellegehausen, and H. Welling, J. Opt. Soc. Am. B 14, 2716 (1997).
    [CrossRef]
  7. E. Betzig, J. K. Trautman, T. D. Harris, J. S. Weiner, and R. L. Kostelak, Science 251, 1468 (1991); E. Betzig and J. K. Trautman, Science 257, 189 (1992).
    [CrossRef] [PubMed]
  8. S. Hosaka, T. Shintani, M. Miyamoto, A. Hirotsune, M. Terao, M. Yoshida, K. Fujita, and S. Kämmer, Jpn. J. Appl. Phys. 35, 443 (1996); Y. Martin, S. Rishton, and H. Wickramasinghe, Appl. Phys. Lett. 71, 1 (1997).
    [CrossRef]
  9. G. Krausch, S. Wegscheider, A. Kirsch, H. Bielefeldt, J. C. Meiners, and J. Mlynek, Opt. Commun. 119, 283 (1995); I. I. Smolyaninov, D. L. Mazzoni, and C. C. Davis, Appl. Phys. Lett. 67, 3859 (1995); S. Davy and M. Spajer, Appl. Phys. Lett. 69, 3306 (1996); J. Massanell, N. Garsia, and A. Zlatkin, Opt. Lett. 21, 12 (1996); S. Madsen, S. I. Bozhevolnyi, K. Birkelund, M. Mullenborn, J. M. Hvam, and F. Grey, J. Appl. Phys. 82, 49 (1997); M. K. Herndon, R. T. Collins, R. E. Hollingsworth, P. R. Larson, and M. B. Johnson, Appl. Phys. Lett. 74, 141 (1999).
    [CrossRef] [PubMed]
  10. D. Zeisel, S. Nettesheim, B. Dutoit, and R. Zenobi, Appl. Phys. Lett. 68, 2491 (1996).
    [CrossRef]
  11. J. Levy, V. Nikitin, J. M. Kikkawa, A. Cohen, N. Samarth, R. Garcia, and D. D. Awschalom, Phys. Rev. Lett. 76, 1948 (1996).
    [CrossRef] [PubMed]
  12. A. Vertikov, M. Kuball, A. V. Nurmikko, and H. J. Maris, Appl. Phys. Lett. 69, 2465 (1996).
    [CrossRef]
  13. S. Smith, N. C. R. Holme, B. Orr, R. Kopelman, and T. Norris, Ultramicroscopy 71, 213 (1998).
    [CrossRef]
  14. B. A. Nechay, U. Siegner, F. Morier-Genoud, A. Schertel, and U. Keller, Appl. Phys. Lett. 74, 61 (1999).
    [CrossRef]
  15. M. K. Lewis, P. Wolanin, A. Gafni, and D. Steel, Opt. Lett. 23, 1111 (1998).
    [CrossRef]
  16. M. N. Islam, X. K. Zhao, A. A. Said, S. S. Mickel, and C. F. Vail, Appl. Phys. Lett. 71, 2886 (1997).
    [CrossRef]
  17. T. Yatsui, M. Kourogi, and M. Ohtsu, Appl. Phys. Lett. 73, 2090 (1998).
    [CrossRef]

1999 (1)

B. A. Nechay, U. Siegner, F. Morier-Genoud, A. Schertel, and U. Keller, Appl. Phys. Lett. 74, 61 (1999).
[CrossRef]

1998 (3)

M. K. Lewis, P. Wolanin, A. Gafni, and D. Steel, Opt. Lett. 23, 1111 (1998).
[CrossRef]

S. Smith, N. C. R. Holme, B. Orr, R. Kopelman, and T. Norris, Ultramicroscopy 71, 213 (1998).
[CrossRef]

T. Yatsui, M. Kourogi, and M. Ohtsu, Appl. Phys. Lett. 73, 2090 (1998).
[CrossRef]

1997 (2)

M. N. Islam, X. K. Zhao, A. A. Said, S. S. Mickel, and C. F. Vail, Appl. Phys. Lett. 71, 2886 (1997).
[CrossRef]

S. Nolte, C. Momma, H. Jacobs, A. Tünnermann, B. N. Chichkov, B. Wellegehausen, and H. Welling, J. Opt. Soc. Am. B 14, 2716 (1997).
[CrossRef]

1996 (7)

S. Hosaka, T. Shintani, M. Miyamoto, A. Hirotsune, M. Terao, M. Yoshida, K. Fujita, and S. Kämmer, Jpn. J. Appl. Phys. 35, 443 (1996); Y. Martin, S. Rishton, and H. Wickramasinghe, Appl. Phys. Lett. 71, 1 (1997).
[CrossRef]

C. Momma, B. N. Chichkov, S. Nolte, F. von Alvensleben, A. Tünnermann, and H. Welling, Opt. Commun. 129, 134 (1996).
[CrossRef]

B. C. Stuart, M. D. Feit, S. Herman, A. M. Rubenchik, B. W. Shore, and M. D. Perry, J. Opt. Soc. Am. B 13, 459 (1996).
[CrossRef]

W. Kautek, J. Krüger, M. Lenzner, S. Sartania, C. Spielmann, and F. Krausz, Appl. Phys. Lett. 69, 3146 (1996).
[CrossRef]

D. Zeisel, S. Nettesheim, B. Dutoit, and R. Zenobi, Appl. Phys. Lett. 68, 2491 (1996).
[CrossRef]

J. Levy, V. Nikitin, J. M. Kikkawa, A. Cohen, N. Samarth, R. Garcia, and D. D. Awschalom, Phys. Rev. Lett. 76, 1948 (1996).
[CrossRef] [PubMed]

A. Vertikov, M. Kuball, A. V. Nurmikko, and H. J. Maris, Appl. Phys. Lett. 69, 2465 (1996).
[CrossRef]

1995 (3)

S. Preuss, A. Demchuk, and M. Stuke, Appl. Phys. A 61, 33 (1995).
[CrossRef]

P. P. Pronko, S. K. Dutta, J. Squier, J. V. Rudd, D. Du, and G. Mourou, Opt. Commun. 114, 106 (1995).
[CrossRef]

G. Krausch, S. Wegscheider, A. Kirsch, H. Bielefeldt, J. C. Meiners, and J. Mlynek, Opt. Commun. 119, 283 (1995); I. I. Smolyaninov, D. L. Mazzoni, and C. C. Davis, Appl. Phys. Lett. 67, 3859 (1995); S. Davy and M. Spajer, Appl. Phys. Lett. 69, 3306 (1996); J. Massanell, N. Garsia, and A. Zlatkin, Opt. Lett. 21, 12 (1996); S. Madsen, S. I. Bozhevolnyi, K. Birkelund, M. Mullenborn, J. M. Hvam, and F. Grey, J. Appl. Phys. 82, 49 (1997); M. K. Herndon, R. T. Collins, R. E. Hollingsworth, P. R. Larson, and M. B. Johnson, Appl. Phys. Lett. 74, 141 (1999).
[CrossRef] [PubMed]

1991 (1)

E. Betzig, J. K. Trautman, T. D. Harris, J. S. Weiner, and R. L. Kostelak, Science 251, 1468 (1991); E. Betzig and J. K. Trautman, Science 257, 189 (1992).
[CrossRef] [PubMed]

Awschalom, D. D.

J. Levy, V. Nikitin, J. M. Kikkawa, A. Cohen, N. Samarth, R. Garcia, and D. D. Awschalom, Phys. Rev. Lett. 76, 1948 (1996).
[CrossRef] [PubMed]

Betzig, E.

E. Betzig, J. K. Trautman, T. D. Harris, J. S. Weiner, and R. L. Kostelak, Science 251, 1468 (1991); E. Betzig and J. K. Trautman, Science 257, 189 (1992).
[CrossRef] [PubMed]

Bielefeldt, H.

G. Krausch, S. Wegscheider, A. Kirsch, H. Bielefeldt, J. C. Meiners, and J. Mlynek, Opt. Commun. 119, 283 (1995); I. I. Smolyaninov, D. L. Mazzoni, and C. C. Davis, Appl. Phys. Lett. 67, 3859 (1995); S. Davy and M. Spajer, Appl. Phys. Lett. 69, 3306 (1996); J. Massanell, N. Garsia, and A. Zlatkin, Opt. Lett. 21, 12 (1996); S. Madsen, S. I. Bozhevolnyi, K. Birkelund, M. Mullenborn, J. M. Hvam, and F. Grey, J. Appl. Phys. 82, 49 (1997); M. K. Herndon, R. T. Collins, R. E. Hollingsworth, P. R. Larson, and M. B. Johnson, Appl. Phys. Lett. 74, 141 (1999).
[CrossRef] [PubMed]

Chichkov, B. N.

S. Nolte, C. Momma, H. Jacobs, A. Tünnermann, B. N. Chichkov, B. Wellegehausen, and H. Welling, J. Opt. Soc. Am. B 14, 2716 (1997).
[CrossRef]

C. Momma, B. N. Chichkov, S. Nolte, F. von Alvensleben, A. Tünnermann, and H. Welling, Opt. Commun. 129, 134 (1996).
[CrossRef]

Cohen, A.

J. Levy, V. Nikitin, J. M. Kikkawa, A. Cohen, N. Samarth, R. Garcia, and D. D. Awschalom, Phys. Rev. Lett. 76, 1948 (1996).
[CrossRef] [PubMed]

Demchuk, A.

S. Preuss, A. Demchuk, and M. Stuke, Appl. Phys. A 61, 33 (1995).
[CrossRef]

Du, D.

P. P. Pronko, S. K. Dutta, J. Squier, J. V. Rudd, D. Du, and G. Mourou, Opt. Commun. 114, 106 (1995).
[CrossRef]

Dutoit, B.

D. Zeisel, S. Nettesheim, B. Dutoit, and R. Zenobi, Appl. Phys. Lett. 68, 2491 (1996).
[CrossRef]

Dutta, S. K.

P. P. Pronko, S. K. Dutta, J. Squier, J. V. Rudd, D. Du, and G. Mourou, Opt. Commun. 114, 106 (1995).
[CrossRef]

Feit, M. D.

Fujita, K.

S. Hosaka, T. Shintani, M. Miyamoto, A. Hirotsune, M. Terao, M. Yoshida, K. Fujita, and S. Kämmer, Jpn. J. Appl. Phys. 35, 443 (1996); Y. Martin, S. Rishton, and H. Wickramasinghe, Appl. Phys. Lett. 71, 1 (1997).
[CrossRef]

Gafni, A.

Garcia, R.

J. Levy, V. Nikitin, J. M. Kikkawa, A. Cohen, N. Samarth, R. Garcia, and D. D. Awschalom, Phys. Rev. Lett. 76, 1948 (1996).
[CrossRef] [PubMed]

Harris, T. D.

E. Betzig, J. K. Trautman, T. D. Harris, J. S. Weiner, and R. L. Kostelak, Science 251, 1468 (1991); E. Betzig and J. K. Trautman, Science 257, 189 (1992).
[CrossRef] [PubMed]

Herman, S.

Hirotsune, A.

S. Hosaka, T. Shintani, M. Miyamoto, A. Hirotsune, M. Terao, M. Yoshida, K. Fujita, and S. Kämmer, Jpn. J. Appl. Phys. 35, 443 (1996); Y. Martin, S. Rishton, and H. Wickramasinghe, Appl. Phys. Lett. 71, 1 (1997).
[CrossRef]

Holme, N. C. R.

S. Smith, N. C. R. Holme, B. Orr, R. Kopelman, and T. Norris, Ultramicroscopy 71, 213 (1998).
[CrossRef]

Hosaka, S.

S. Hosaka, T. Shintani, M. Miyamoto, A. Hirotsune, M. Terao, M. Yoshida, K. Fujita, and S. Kämmer, Jpn. J. Appl. Phys. 35, 443 (1996); Y. Martin, S. Rishton, and H. Wickramasinghe, Appl. Phys. Lett. 71, 1 (1997).
[CrossRef]

Islam, M. N.

M. N. Islam, X. K. Zhao, A. A. Said, S. S. Mickel, and C. F. Vail, Appl. Phys. Lett. 71, 2886 (1997).
[CrossRef]

Jacobs, H.

Kämmer, S.

S. Hosaka, T. Shintani, M. Miyamoto, A. Hirotsune, M. Terao, M. Yoshida, K. Fujita, and S. Kämmer, Jpn. J. Appl. Phys. 35, 443 (1996); Y. Martin, S. Rishton, and H. Wickramasinghe, Appl. Phys. Lett. 71, 1 (1997).
[CrossRef]

Kautek, W.

W. Kautek, J. Krüger, M. Lenzner, S. Sartania, C. Spielmann, and F. Krausz, Appl. Phys. Lett. 69, 3146 (1996).
[CrossRef]

Keller, U.

B. A. Nechay, U. Siegner, F. Morier-Genoud, A. Schertel, and U. Keller, Appl. Phys. Lett. 74, 61 (1999).
[CrossRef]

Kikkawa, J. M.

J. Levy, V. Nikitin, J. M. Kikkawa, A. Cohen, N. Samarth, R. Garcia, and D. D. Awschalom, Phys. Rev. Lett. 76, 1948 (1996).
[CrossRef] [PubMed]

Kirsch, A.

G. Krausch, S. Wegscheider, A. Kirsch, H. Bielefeldt, J. C. Meiners, and J. Mlynek, Opt. Commun. 119, 283 (1995); I. I. Smolyaninov, D. L. Mazzoni, and C. C. Davis, Appl. Phys. Lett. 67, 3859 (1995); S. Davy and M. Spajer, Appl. Phys. Lett. 69, 3306 (1996); J. Massanell, N. Garsia, and A. Zlatkin, Opt. Lett. 21, 12 (1996); S. Madsen, S. I. Bozhevolnyi, K. Birkelund, M. Mullenborn, J. M. Hvam, and F. Grey, J. Appl. Phys. 82, 49 (1997); M. K. Herndon, R. T. Collins, R. E. Hollingsworth, P. R. Larson, and M. B. Johnson, Appl. Phys. Lett. 74, 141 (1999).
[CrossRef] [PubMed]

Kopelman, R.

S. Smith, N. C. R. Holme, B. Orr, R. Kopelman, and T. Norris, Ultramicroscopy 71, 213 (1998).
[CrossRef]

Kostelak, R. L.

E. Betzig, J. K. Trautman, T. D. Harris, J. S. Weiner, and R. L. Kostelak, Science 251, 1468 (1991); E. Betzig and J. K. Trautman, Science 257, 189 (1992).
[CrossRef] [PubMed]

Kourogi, M.

T. Yatsui, M. Kourogi, and M. Ohtsu, Appl. Phys. Lett. 73, 2090 (1998).
[CrossRef]

Krausch, G.

G. Krausch, S. Wegscheider, A. Kirsch, H. Bielefeldt, J. C. Meiners, and J. Mlynek, Opt. Commun. 119, 283 (1995); I. I. Smolyaninov, D. L. Mazzoni, and C. C. Davis, Appl. Phys. Lett. 67, 3859 (1995); S. Davy and M. Spajer, Appl. Phys. Lett. 69, 3306 (1996); J. Massanell, N. Garsia, and A. Zlatkin, Opt. Lett. 21, 12 (1996); S. Madsen, S. I. Bozhevolnyi, K. Birkelund, M. Mullenborn, J. M. Hvam, and F. Grey, J. Appl. Phys. 82, 49 (1997); M. K. Herndon, R. T. Collins, R. E. Hollingsworth, P. R. Larson, and M. B. Johnson, Appl. Phys. Lett. 74, 141 (1999).
[CrossRef] [PubMed]

Krausz, F.

W. Kautek, J. Krüger, M. Lenzner, S. Sartania, C. Spielmann, and F. Krausz, Appl. Phys. Lett. 69, 3146 (1996).
[CrossRef]

Krüger, J.

W. Kautek, J. Krüger, M. Lenzner, S. Sartania, C. Spielmann, and F. Krausz, Appl. Phys. Lett. 69, 3146 (1996).
[CrossRef]

Kuball, M.

A. Vertikov, M. Kuball, A. V. Nurmikko, and H. J. Maris, Appl. Phys. Lett. 69, 2465 (1996).
[CrossRef]

Lenzner, M.

W. Kautek, J. Krüger, M. Lenzner, S. Sartania, C. Spielmann, and F. Krausz, Appl. Phys. Lett. 69, 3146 (1996).
[CrossRef]

Levy, J.

J. Levy, V. Nikitin, J. M. Kikkawa, A. Cohen, N. Samarth, R. Garcia, and D. D. Awschalom, Phys. Rev. Lett. 76, 1948 (1996).
[CrossRef] [PubMed]

Lewis, M. K.

Maris, H. J.

A. Vertikov, M. Kuball, A. V. Nurmikko, and H. J. Maris, Appl. Phys. Lett. 69, 2465 (1996).
[CrossRef]

Meiners, J. C.

G. Krausch, S. Wegscheider, A. Kirsch, H. Bielefeldt, J. C. Meiners, and J. Mlynek, Opt. Commun. 119, 283 (1995); I. I. Smolyaninov, D. L. Mazzoni, and C. C. Davis, Appl. Phys. Lett. 67, 3859 (1995); S. Davy and M. Spajer, Appl. Phys. Lett. 69, 3306 (1996); J. Massanell, N. Garsia, and A. Zlatkin, Opt. Lett. 21, 12 (1996); S. Madsen, S. I. Bozhevolnyi, K. Birkelund, M. Mullenborn, J. M. Hvam, and F. Grey, J. Appl. Phys. 82, 49 (1997); M. K. Herndon, R. T. Collins, R. E. Hollingsworth, P. R. Larson, and M. B. Johnson, Appl. Phys. Lett. 74, 141 (1999).
[CrossRef] [PubMed]

Mickel, S. S.

M. N. Islam, X. K. Zhao, A. A. Said, S. S. Mickel, and C. F. Vail, Appl. Phys. Lett. 71, 2886 (1997).
[CrossRef]

Miyamoto, M.

S. Hosaka, T. Shintani, M. Miyamoto, A. Hirotsune, M. Terao, M. Yoshida, K. Fujita, and S. Kämmer, Jpn. J. Appl. Phys. 35, 443 (1996); Y. Martin, S. Rishton, and H. Wickramasinghe, Appl. Phys. Lett. 71, 1 (1997).
[CrossRef]

Mlynek, J.

G. Krausch, S. Wegscheider, A. Kirsch, H. Bielefeldt, J. C. Meiners, and J. Mlynek, Opt. Commun. 119, 283 (1995); I. I. Smolyaninov, D. L. Mazzoni, and C. C. Davis, Appl. Phys. Lett. 67, 3859 (1995); S. Davy and M. Spajer, Appl. Phys. Lett. 69, 3306 (1996); J. Massanell, N. Garsia, and A. Zlatkin, Opt. Lett. 21, 12 (1996); S. Madsen, S. I. Bozhevolnyi, K. Birkelund, M. Mullenborn, J. M. Hvam, and F. Grey, J. Appl. Phys. 82, 49 (1997); M. K. Herndon, R. T. Collins, R. E. Hollingsworth, P. R. Larson, and M. B. Johnson, Appl. Phys. Lett. 74, 141 (1999).
[CrossRef] [PubMed]

Momma, C.

S. Nolte, C. Momma, H. Jacobs, A. Tünnermann, B. N. Chichkov, B. Wellegehausen, and H. Welling, J. Opt. Soc. Am. B 14, 2716 (1997).
[CrossRef]

C. Momma, B. N. Chichkov, S. Nolte, F. von Alvensleben, A. Tünnermann, and H. Welling, Opt. Commun. 129, 134 (1996).
[CrossRef]

Morier-Genoud, F.

B. A. Nechay, U. Siegner, F. Morier-Genoud, A. Schertel, and U. Keller, Appl. Phys. Lett. 74, 61 (1999).
[CrossRef]

Mourou, G.

P. P. Pronko, S. K. Dutta, J. Squier, J. V. Rudd, D. Du, and G. Mourou, Opt. Commun. 114, 106 (1995).
[CrossRef]

Nechay, B. A.

B. A. Nechay, U. Siegner, F. Morier-Genoud, A. Schertel, and U. Keller, Appl. Phys. Lett. 74, 61 (1999).
[CrossRef]

Nettesheim, S.

D. Zeisel, S. Nettesheim, B. Dutoit, and R. Zenobi, Appl. Phys. Lett. 68, 2491 (1996).
[CrossRef]

Nikitin, V.

J. Levy, V. Nikitin, J. M. Kikkawa, A. Cohen, N. Samarth, R. Garcia, and D. D. Awschalom, Phys. Rev. Lett. 76, 1948 (1996).
[CrossRef] [PubMed]

Nolte, S.

S. Nolte, C. Momma, H. Jacobs, A. Tünnermann, B. N. Chichkov, B. Wellegehausen, and H. Welling, J. Opt. Soc. Am. B 14, 2716 (1997).
[CrossRef]

C. Momma, B. N. Chichkov, S. Nolte, F. von Alvensleben, A. Tünnermann, and H. Welling, Opt. Commun. 129, 134 (1996).
[CrossRef]

Norris, T.

S. Smith, N. C. R. Holme, B. Orr, R. Kopelman, and T. Norris, Ultramicroscopy 71, 213 (1998).
[CrossRef]

Nurmikko, A. V.

A. Vertikov, M. Kuball, A. V. Nurmikko, and H. J. Maris, Appl. Phys. Lett. 69, 2465 (1996).
[CrossRef]

Ohtsu, M.

T. Yatsui, M. Kourogi, and M. Ohtsu, Appl. Phys. Lett. 73, 2090 (1998).
[CrossRef]

Orr, B.

S. Smith, N. C. R. Holme, B. Orr, R. Kopelman, and T. Norris, Ultramicroscopy 71, 213 (1998).
[CrossRef]

Perry, M. D.

Preuss, S.

S. Preuss, A. Demchuk, and M. Stuke, Appl. Phys. A 61, 33 (1995).
[CrossRef]

Pronko, P. P.

P. P. Pronko, S. K. Dutta, J. Squier, J. V. Rudd, D. Du, and G. Mourou, Opt. Commun. 114, 106 (1995).
[CrossRef]

Rubenchik, A. M.

Rudd, J. V.

P. P. Pronko, S. K. Dutta, J. Squier, J. V. Rudd, D. Du, and G. Mourou, Opt. Commun. 114, 106 (1995).
[CrossRef]

Said, A. A.

M. N. Islam, X. K. Zhao, A. A. Said, S. S. Mickel, and C. F. Vail, Appl. Phys. Lett. 71, 2886 (1997).
[CrossRef]

Samarth, N.

J. Levy, V. Nikitin, J. M. Kikkawa, A. Cohen, N. Samarth, R. Garcia, and D. D. Awschalom, Phys. Rev. Lett. 76, 1948 (1996).
[CrossRef] [PubMed]

Sartania, S.

W. Kautek, J. Krüger, M. Lenzner, S. Sartania, C. Spielmann, and F. Krausz, Appl. Phys. Lett. 69, 3146 (1996).
[CrossRef]

Schertel, A.

B. A. Nechay, U. Siegner, F. Morier-Genoud, A. Schertel, and U. Keller, Appl. Phys. Lett. 74, 61 (1999).
[CrossRef]

Shintani, T.

S. Hosaka, T. Shintani, M. Miyamoto, A. Hirotsune, M. Terao, M. Yoshida, K. Fujita, and S. Kämmer, Jpn. J. Appl. Phys. 35, 443 (1996); Y. Martin, S. Rishton, and H. Wickramasinghe, Appl. Phys. Lett. 71, 1 (1997).
[CrossRef]

Shore, B. W.

Siegner, U.

B. A. Nechay, U. Siegner, F. Morier-Genoud, A. Schertel, and U. Keller, Appl. Phys. Lett. 74, 61 (1999).
[CrossRef]

Smith, S.

S. Smith, N. C. R. Holme, B. Orr, R. Kopelman, and T. Norris, Ultramicroscopy 71, 213 (1998).
[CrossRef]

Spielmann, C.

W. Kautek, J. Krüger, M. Lenzner, S. Sartania, C. Spielmann, and F. Krausz, Appl. Phys. Lett. 69, 3146 (1996).
[CrossRef]

Squier, J.

P. P. Pronko, S. K. Dutta, J. Squier, J. V. Rudd, D. Du, and G. Mourou, Opt. Commun. 114, 106 (1995).
[CrossRef]

Steel, D.

Stuart, B. C.

Stuke, M.

S. Preuss, A. Demchuk, and M. Stuke, Appl. Phys. A 61, 33 (1995).
[CrossRef]

Terao, M.

S. Hosaka, T. Shintani, M. Miyamoto, A. Hirotsune, M. Terao, M. Yoshida, K. Fujita, and S. Kämmer, Jpn. J. Appl. Phys. 35, 443 (1996); Y. Martin, S. Rishton, and H. Wickramasinghe, Appl. Phys. Lett. 71, 1 (1997).
[CrossRef]

Trautman, J. K.

E. Betzig, J. K. Trautman, T. D. Harris, J. S. Weiner, and R. L. Kostelak, Science 251, 1468 (1991); E. Betzig and J. K. Trautman, Science 257, 189 (1992).
[CrossRef] [PubMed]

Tünnermann, A.

S. Nolte, C. Momma, H. Jacobs, A. Tünnermann, B. N. Chichkov, B. Wellegehausen, and H. Welling, J. Opt. Soc. Am. B 14, 2716 (1997).
[CrossRef]

C. Momma, B. N. Chichkov, S. Nolte, F. von Alvensleben, A. Tünnermann, and H. Welling, Opt. Commun. 129, 134 (1996).
[CrossRef]

Vail, C. F.

M. N. Islam, X. K. Zhao, A. A. Said, S. S. Mickel, and C. F. Vail, Appl. Phys. Lett. 71, 2886 (1997).
[CrossRef]

Vertikov, A.

A. Vertikov, M. Kuball, A. V. Nurmikko, and H. J. Maris, Appl. Phys. Lett. 69, 2465 (1996).
[CrossRef]

von Alvensleben, F.

C. Momma, B. N. Chichkov, S. Nolte, F. von Alvensleben, A. Tünnermann, and H. Welling, Opt. Commun. 129, 134 (1996).
[CrossRef]

Wegscheider, S.

G. Krausch, S. Wegscheider, A. Kirsch, H. Bielefeldt, J. C. Meiners, and J. Mlynek, Opt. Commun. 119, 283 (1995); I. I. Smolyaninov, D. L. Mazzoni, and C. C. Davis, Appl. Phys. Lett. 67, 3859 (1995); S. Davy and M. Spajer, Appl. Phys. Lett. 69, 3306 (1996); J. Massanell, N. Garsia, and A. Zlatkin, Opt. Lett. 21, 12 (1996); S. Madsen, S. I. Bozhevolnyi, K. Birkelund, M. Mullenborn, J. M. Hvam, and F. Grey, J. Appl. Phys. 82, 49 (1997); M. K. Herndon, R. T. Collins, R. E. Hollingsworth, P. R. Larson, and M. B. Johnson, Appl. Phys. Lett. 74, 141 (1999).
[CrossRef] [PubMed]

Weiner, J. S.

E. Betzig, J. K. Trautman, T. D. Harris, J. S. Weiner, and R. L. Kostelak, Science 251, 1468 (1991); E. Betzig and J. K. Trautman, Science 257, 189 (1992).
[CrossRef] [PubMed]

Wellegehausen, B.

Welling, H.

S. Nolte, C. Momma, H. Jacobs, A. Tünnermann, B. N. Chichkov, B. Wellegehausen, and H. Welling, J. Opt. Soc. Am. B 14, 2716 (1997).
[CrossRef]

C. Momma, B. N. Chichkov, S. Nolte, F. von Alvensleben, A. Tünnermann, and H. Welling, Opt. Commun. 129, 134 (1996).
[CrossRef]

Wolanin, P.

Yatsui, T.

T. Yatsui, M. Kourogi, and M. Ohtsu, Appl. Phys. Lett. 73, 2090 (1998).
[CrossRef]

Yoshida, M.

S. Hosaka, T. Shintani, M. Miyamoto, A. Hirotsune, M. Terao, M. Yoshida, K. Fujita, and S. Kämmer, Jpn. J. Appl. Phys. 35, 443 (1996); Y. Martin, S. Rishton, and H. Wickramasinghe, Appl. Phys. Lett. 71, 1 (1997).
[CrossRef]

Zeisel, D.

D. Zeisel, S. Nettesheim, B. Dutoit, and R. Zenobi, Appl. Phys. Lett. 68, 2491 (1996).
[CrossRef]

Zenobi, R.

D. Zeisel, S. Nettesheim, B. Dutoit, and R. Zenobi, Appl. Phys. Lett. 68, 2491 (1996).
[CrossRef]

Zhao, X. K.

M. N. Islam, X. K. Zhao, A. A. Said, S. S. Mickel, and C. F. Vail, Appl. Phys. Lett. 71, 2886 (1997).
[CrossRef]

Appl. Phys. A (1)

S. Preuss, A. Demchuk, and M. Stuke, Appl. Phys. A 61, 33 (1995).
[CrossRef]

Appl. Phys. Lett. (6)

W. Kautek, J. Krüger, M. Lenzner, S. Sartania, C. Spielmann, and F. Krausz, Appl. Phys. Lett. 69, 3146 (1996).
[CrossRef]

D. Zeisel, S. Nettesheim, B. Dutoit, and R. Zenobi, Appl. Phys. Lett. 68, 2491 (1996).
[CrossRef]

A. Vertikov, M. Kuball, A. V. Nurmikko, and H. J. Maris, Appl. Phys. Lett. 69, 2465 (1996).
[CrossRef]

B. A. Nechay, U. Siegner, F. Morier-Genoud, A. Schertel, and U. Keller, Appl. Phys. Lett. 74, 61 (1999).
[CrossRef]

M. N. Islam, X. K. Zhao, A. A. Said, S. S. Mickel, and C. F. Vail, Appl. Phys. Lett. 71, 2886 (1997).
[CrossRef]

T. Yatsui, M. Kourogi, and M. Ohtsu, Appl. Phys. Lett. 73, 2090 (1998).
[CrossRef]

J. Opt. Soc. Am. B (2)

Jpn. J. Appl. Phys. (1)

S. Hosaka, T. Shintani, M. Miyamoto, A. Hirotsune, M. Terao, M. Yoshida, K. Fujita, and S. Kämmer, Jpn. J. Appl. Phys. 35, 443 (1996); Y. Martin, S. Rishton, and H. Wickramasinghe, Appl. Phys. Lett. 71, 1 (1997).
[CrossRef]

Opt. Commun. (3)

G. Krausch, S. Wegscheider, A. Kirsch, H. Bielefeldt, J. C. Meiners, and J. Mlynek, Opt. Commun. 119, 283 (1995); I. I. Smolyaninov, D. L. Mazzoni, and C. C. Davis, Appl. Phys. Lett. 67, 3859 (1995); S. Davy and M. Spajer, Appl. Phys. Lett. 69, 3306 (1996); J. Massanell, N. Garsia, and A. Zlatkin, Opt. Lett. 21, 12 (1996); S. Madsen, S. I. Bozhevolnyi, K. Birkelund, M. Mullenborn, J. M. Hvam, and F. Grey, J. Appl. Phys. 82, 49 (1997); M. K. Herndon, R. T. Collins, R. E. Hollingsworth, P. R. Larson, and M. B. Johnson, Appl. Phys. Lett. 74, 141 (1999).
[CrossRef] [PubMed]

P. P. Pronko, S. K. Dutta, J. Squier, J. V. Rudd, D. Du, and G. Mourou, Opt. Commun. 114, 106 (1995).
[CrossRef]

C. Momma, B. N. Chichkov, S. Nolte, F. von Alvensleben, A. Tünnermann, and H. Welling, Opt. Commun. 129, 134 (1996).
[CrossRef]

Opt. Lett. (1)

Phys. Rev. Lett. (1)

J. Levy, V. Nikitin, J. M. Kikkawa, A. Cohen, N. Samarth, R. Garcia, and D. D. Awschalom, Phys. Rev. Lett. 76, 1948 (1996).
[CrossRef] [PubMed]

Science (1)

E. Betzig, J. K. Trautman, T. D. Harris, J. S. Weiner, and R. L. Kostelak, Science 251, 1468 (1991); E. Betzig and J. K. Trautman, Science 257, 189 (1992).
[CrossRef] [PubMed]

Ultramicroscopy (1)

S. Smith, N. C. R. Holme, B. Orr, R. Kopelman, and T. Norris, Ultramicroscopy 71, 213 (1998).
[CrossRef]

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (4)

Fig. 1
Fig. 1

Schematic diagram of the experimental setup.

Fig. 2
Fig. 2

Angular dependence of the factor Aα=1-Rcos α for p- and s-polarized laser light at 260 nm for chrome.

Fig. 3
Fig. 3

AFM image of a cross section of two ablated grooves produced in chrome by scanning of the sample at speeds of 2 µm/s (left) and 10 µm/s (right).

Fig. 4
Fig. 4

AFM topographical images of (a) a programmed defect and (b) the repaired site. The height of the chromium layer upon the quartz substrate is approximately 100 nm.

Metrics