Abstract

A combination of advanced silicon-processing techniques was used to create three-dimensional (3D) photonic crystals with a 180-nm minimum feature size. The resulting 3D crystal displayed a strong stop band at optical wavelengths from λ=1.35μm to λ=1.95μm. This is believed to be the smallest 3D crystal with a complete 3D photonic bandgap ever created.

© 1999 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. E. Yablonovitch, J. Opt. Soc. Am. B 10, 283 (1993).
    [CrossRef]
  2. J. D. Joannoupoulos, R. B. Meade, and J. N. Winn, Photonic Crystals (Princeton U. Press, Princeton, N.J., 1995).
  3. J. S. Foresi, P. R. Villeneuve, J. Ferrera, E. R. Thoen, G. Steinmeyer, S. Fan, J. D. Joannopoulos, L. C. Kimerling, H. I. Smith, and E. P. Ippen, Nature (London) 390, 143 (1997).
    [CrossRef]
  4. D. G. Deppe, C. Lei, C. C. Lin, and D. L. Huffaker, J. Mod. Opt. 41, 325 (1994).
    [CrossRef]
  5. J. B. Pendry, J. Mod. Opt. 41, 209 (1994).
    [CrossRef]
  6. K. A. Mclntosh, L. J. Mahoney, K. M. Molvar, O. B. McMahon, S. Verghese, M. Rothschild, and E. R. Brown, Appl. Phys. Lett. 70, 2937 (1997).
    [CrossRef]
  7. C. C. Cheng, V. Arbet-Engels, A. Scherer, and E. Yablonovitch, Phys. Scr. T 68, 17 (1996).
    [CrossRef]
  8. S. Y. Lin, J. G. Fleming, D. L. Hetherington, B. K. Smith, R. Biswas, K. M. Ho, M. Sigalas, W. Zubrzyski, S. R. Kurtz, and J. Bur, Nature (London) 394, 251 (1998).
    [CrossRef]
  9. K. M. Ho, C. T. Chan, C. M. Soukoulis, R. Biswas, and M. Sigalas, Solid State Commun. 89, 413 (1994).
    [CrossRef]
  10. H. Sozuer and J. Dowling, J. Mod. Opt. 41, 231 (1994).
    [CrossRef]
  11. S. Fan, P. R. Villeneuve, R. D. Meade, and J. D. Joannopoulos, Appl. Phys. Lett. 65, 1466 (1994).
    [CrossRef]
  12. E. Ozbay, A. Abeyta, G. Tuttle, M. Tringides, R. Biswas, M. Sigalas, C. M. Soukoulis, C. T. Chan, and K. M. Ho, Phys. Rev. B 50, 1945 (1994).
    [CrossRef]
  13. M. C. Wanke, O. Lehmann, K. Muller, Q. Wen, and M. Stuke, Science 275, 1284 (1997).
    [CrossRef] [PubMed]
  14. M. Wada, Y. Doi, K. Inoue, J. W. Haus, and Z. Yuan, Appl. Phys. Lett. 70, 2966 (1997).
    [CrossRef]

1998 (1)

S. Y. Lin, J. G. Fleming, D. L. Hetherington, B. K. Smith, R. Biswas, K. M. Ho, M. Sigalas, W. Zubrzyski, S. R. Kurtz, and J. Bur, Nature (London) 394, 251 (1998).
[CrossRef]

1997 (4)

J. S. Foresi, P. R. Villeneuve, J. Ferrera, E. R. Thoen, G. Steinmeyer, S. Fan, J. D. Joannopoulos, L. C. Kimerling, H. I. Smith, and E. P. Ippen, Nature (London) 390, 143 (1997).
[CrossRef]

K. A. Mclntosh, L. J. Mahoney, K. M. Molvar, O. B. McMahon, S. Verghese, M. Rothschild, and E. R. Brown, Appl. Phys. Lett. 70, 2937 (1997).
[CrossRef]

M. C. Wanke, O. Lehmann, K. Muller, Q. Wen, and M. Stuke, Science 275, 1284 (1997).
[CrossRef] [PubMed]

M. Wada, Y. Doi, K. Inoue, J. W. Haus, and Z. Yuan, Appl. Phys. Lett. 70, 2966 (1997).
[CrossRef]

1996 (1)

C. C. Cheng, V. Arbet-Engels, A. Scherer, and E. Yablonovitch, Phys. Scr. T 68, 17 (1996).
[CrossRef]

1994 (6)

D. G. Deppe, C. Lei, C. C. Lin, and D. L. Huffaker, J. Mod. Opt. 41, 325 (1994).
[CrossRef]

J. B. Pendry, J. Mod. Opt. 41, 209 (1994).
[CrossRef]

K. M. Ho, C. T. Chan, C. M. Soukoulis, R. Biswas, and M. Sigalas, Solid State Commun. 89, 413 (1994).
[CrossRef]

H. Sozuer and J. Dowling, J. Mod. Opt. 41, 231 (1994).
[CrossRef]

S. Fan, P. R. Villeneuve, R. D. Meade, and J. D. Joannopoulos, Appl. Phys. Lett. 65, 1466 (1994).
[CrossRef]

E. Ozbay, A. Abeyta, G. Tuttle, M. Tringides, R. Biswas, M. Sigalas, C. M. Soukoulis, C. T. Chan, and K. M. Ho, Phys. Rev. B 50, 1945 (1994).
[CrossRef]

1993 (1)

Abeyta, A.

E. Ozbay, A. Abeyta, G. Tuttle, M. Tringides, R. Biswas, M. Sigalas, C. M. Soukoulis, C. T. Chan, and K. M. Ho, Phys. Rev. B 50, 1945 (1994).
[CrossRef]

Arbet-Engels, V.

C. C. Cheng, V. Arbet-Engels, A. Scherer, and E. Yablonovitch, Phys. Scr. T 68, 17 (1996).
[CrossRef]

Biswas, R.

S. Y. Lin, J. G. Fleming, D. L. Hetherington, B. K. Smith, R. Biswas, K. M. Ho, M. Sigalas, W. Zubrzyski, S. R. Kurtz, and J. Bur, Nature (London) 394, 251 (1998).
[CrossRef]

K. M. Ho, C. T. Chan, C. M. Soukoulis, R. Biswas, and M. Sigalas, Solid State Commun. 89, 413 (1994).
[CrossRef]

E. Ozbay, A. Abeyta, G. Tuttle, M. Tringides, R. Biswas, M. Sigalas, C. M. Soukoulis, C. T. Chan, and K. M. Ho, Phys. Rev. B 50, 1945 (1994).
[CrossRef]

Brown, E. R.

K. A. Mclntosh, L. J. Mahoney, K. M. Molvar, O. B. McMahon, S. Verghese, M. Rothschild, and E. R. Brown, Appl. Phys. Lett. 70, 2937 (1997).
[CrossRef]

Bur, J.

S. Y. Lin, J. G. Fleming, D. L. Hetherington, B. K. Smith, R. Biswas, K. M. Ho, M. Sigalas, W. Zubrzyski, S. R. Kurtz, and J. Bur, Nature (London) 394, 251 (1998).
[CrossRef]

Chan, C. T.

K. M. Ho, C. T. Chan, C. M. Soukoulis, R. Biswas, and M. Sigalas, Solid State Commun. 89, 413 (1994).
[CrossRef]

E. Ozbay, A. Abeyta, G. Tuttle, M. Tringides, R. Biswas, M. Sigalas, C. M. Soukoulis, C. T. Chan, and K. M. Ho, Phys. Rev. B 50, 1945 (1994).
[CrossRef]

Cheng, C. C.

C. C. Cheng, V. Arbet-Engels, A. Scherer, and E. Yablonovitch, Phys. Scr. T 68, 17 (1996).
[CrossRef]

Deppe, D. G.

D. G. Deppe, C. Lei, C. C. Lin, and D. L. Huffaker, J. Mod. Opt. 41, 325 (1994).
[CrossRef]

Doi, Y.

M. Wada, Y. Doi, K. Inoue, J. W. Haus, and Z. Yuan, Appl. Phys. Lett. 70, 2966 (1997).
[CrossRef]

Dowling, J.

H. Sozuer and J. Dowling, J. Mod. Opt. 41, 231 (1994).
[CrossRef]

Fan, S.

J. S. Foresi, P. R. Villeneuve, J. Ferrera, E. R. Thoen, G. Steinmeyer, S. Fan, J. D. Joannopoulos, L. C. Kimerling, H. I. Smith, and E. P. Ippen, Nature (London) 390, 143 (1997).
[CrossRef]

S. Fan, P. R. Villeneuve, R. D. Meade, and J. D. Joannopoulos, Appl. Phys. Lett. 65, 1466 (1994).
[CrossRef]

Ferrera, J.

J. S. Foresi, P. R. Villeneuve, J. Ferrera, E. R. Thoen, G. Steinmeyer, S. Fan, J. D. Joannopoulos, L. C. Kimerling, H. I. Smith, and E. P. Ippen, Nature (London) 390, 143 (1997).
[CrossRef]

Fleming, J. G.

S. Y. Lin, J. G. Fleming, D. L. Hetherington, B. K. Smith, R. Biswas, K. M. Ho, M. Sigalas, W. Zubrzyski, S. R. Kurtz, and J. Bur, Nature (London) 394, 251 (1998).
[CrossRef]

Foresi, J. S.

J. S. Foresi, P. R. Villeneuve, J. Ferrera, E. R. Thoen, G. Steinmeyer, S. Fan, J. D. Joannopoulos, L. C. Kimerling, H. I. Smith, and E. P. Ippen, Nature (London) 390, 143 (1997).
[CrossRef]

Haus, J. W.

M. Wada, Y. Doi, K. Inoue, J. W. Haus, and Z. Yuan, Appl. Phys. Lett. 70, 2966 (1997).
[CrossRef]

Hetherington, D. L.

S. Y. Lin, J. G. Fleming, D. L. Hetherington, B. K. Smith, R. Biswas, K. M. Ho, M. Sigalas, W. Zubrzyski, S. R. Kurtz, and J. Bur, Nature (London) 394, 251 (1998).
[CrossRef]

Ho, K. M.

S. Y. Lin, J. G. Fleming, D. L. Hetherington, B. K. Smith, R. Biswas, K. M. Ho, M. Sigalas, W. Zubrzyski, S. R. Kurtz, and J. Bur, Nature (London) 394, 251 (1998).
[CrossRef]

K. M. Ho, C. T. Chan, C. M. Soukoulis, R. Biswas, and M. Sigalas, Solid State Commun. 89, 413 (1994).
[CrossRef]

E. Ozbay, A. Abeyta, G. Tuttle, M. Tringides, R. Biswas, M. Sigalas, C. M. Soukoulis, C. T. Chan, and K. M. Ho, Phys. Rev. B 50, 1945 (1994).
[CrossRef]

Huffaker, D. L.

D. G. Deppe, C. Lei, C. C. Lin, and D. L. Huffaker, J. Mod. Opt. 41, 325 (1994).
[CrossRef]

Inoue, K.

M. Wada, Y. Doi, K. Inoue, J. W. Haus, and Z. Yuan, Appl. Phys. Lett. 70, 2966 (1997).
[CrossRef]

Ippen, E. P.

J. S. Foresi, P. R. Villeneuve, J. Ferrera, E. R. Thoen, G. Steinmeyer, S. Fan, J. D. Joannopoulos, L. C. Kimerling, H. I. Smith, and E. P. Ippen, Nature (London) 390, 143 (1997).
[CrossRef]

Joannopoulos, J. D.

J. S. Foresi, P. R. Villeneuve, J. Ferrera, E. R. Thoen, G. Steinmeyer, S. Fan, J. D. Joannopoulos, L. C. Kimerling, H. I. Smith, and E. P. Ippen, Nature (London) 390, 143 (1997).
[CrossRef]

S. Fan, P. R. Villeneuve, R. D. Meade, and J. D. Joannopoulos, Appl. Phys. Lett. 65, 1466 (1994).
[CrossRef]

Joannoupoulos, J. D.

J. D. Joannoupoulos, R. B. Meade, and J. N. Winn, Photonic Crystals (Princeton U. Press, Princeton, N.J., 1995).

Kimerling, L. C.

J. S. Foresi, P. R. Villeneuve, J. Ferrera, E. R. Thoen, G. Steinmeyer, S. Fan, J. D. Joannopoulos, L. C. Kimerling, H. I. Smith, and E. P. Ippen, Nature (London) 390, 143 (1997).
[CrossRef]

Kurtz, S. R.

S. Y. Lin, J. G. Fleming, D. L. Hetherington, B. K. Smith, R. Biswas, K. M. Ho, M. Sigalas, W. Zubrzyski, S. R. Kurtz, and J. Bur, Nature (London) 394, 251 (1998).
[CrossRef]

Lehmann, O.

M. C. Wanke, O. Lehmann, K. Muller, Q. Wen, and M. Stuke, Science 275, 1284 (1997).
[CrossRef] [PubMed]

Lei, C.

D. G. Deppe, C. Lei, C. C. Lin, and D. L. Huffaker, J. Mod. Opt. 41, 325 (1994).
[CrossRef]

Lin, C. C.

D. G. Deppe, C. Lei, C. C. Lin, and D. L. Huffaker, J. Mod. Opt. 41, 325 (1994).
[CrossRef]

Lin, S. Y.

S. Y. Lin, J. G. Fleming, D. L. Hetherington, B. K. Smith, R. Biswas, K. M. Ho, M. Sigalas, W. Zubrzyski, S. R. Kurtz, and J. Bur, Nature (London) 394, 251 (1998).
[CrossRef]

Mahoney, L. J.

K. A. Mclntosh, L. J. Mahoney, K. M. Molvar, O. B. McMahon, S. Verghese, M. Rothschild, and E. R. Brown, Appl. Phys. Lett. 70, 2937 (1997).
[CrossRef]

Mclntosh, K. A.

K. A. Mclntosh, L. J. Mahoney, K. M. Molvar, O. B. McMahon, S. Verghese, M. Rothschild, and E. R. Brown, Appl. Phys. Lett. 70, 2937 (1997).
[CrossRef]

McMahon, O. B.

K. A. Mclntosh, L. J. Mahoney, K. M. Molvar, O. B. McMahon, S. Verghese, M. Rothschild, and E. R. Brown, Appl. Phys. Lett. 70, 2937 (1997).
[CrossRef]

Meade, R. B.

J. D. Joannoupoulos, R. B. Meade, and J. N. Winn, Photonic Crystals (Princeton U. Press, Princeton, N.J., 1995).

Meade, R. D.

S. Fan, P. R. Villeneuve, R. D. Meade, and J. D. Joannopoulos, Appl. Phys. Lett. 65, 1466 (1994).
[CrossRef]

Molvar, K. M.

K. A. Mclntosh, L. J. Mahoney, K. M. Molvar, O. B. McMahon, S. Verghese, M. Rothschild, and E. R. Brown, Appl. Phys. Lett. 70, 2937 (1997).
[CrossRef]

Muller, K.

M. C. Wanke, O. Lehmann, K. Muller, Q. Wen, and M. Stuke, Science 275, 1284 (1997).
[CrossRef] [PubMed]

Ozbay, E.

E. Ozbay, A. Abeyta, G. Tuttle, M. Tringides, R. Biswas, M. Sigalas, C. M. Soukoulis, C. T. Chan, and K. M. Ho, Phys. Rev. B 50, 1945 (1994).
[CrossRef]

Pendry, J. B.

J. B. Pendry, J. Mod. Opt. 41, 209 (1994).
[CrossRef]

Rothschild, M.

K. A. Mclntosh, L. J. Mahoney, K. M. Molvar, O. B. McMahon, S. Verghese, M. Rothschild, and E. R. Brown, Appl. Phys. Lett. 70, 2937 (1997).
[CrossRef]

Scherer, A.

C. C. Cheng, V. Arbet-Engels, A. Scherer, and E. Yablonovitch, Phys. Scr. T 68, 17 (1996).
[CrossRef]

Sigalas, M.

S. Y. Lin, J. G. Fleming, D. L. Hetherington, B. K. Smith, R. Biswas, K. M. Ho, M. Sigalas, W. Zubrzyski, S. R. Kurtz, and J. Bur, Nature (London) 394, 251 (1998).
[CrossRef]

K. M. Ho, C. T. Chan, C. M. Soukoulis, R. Biswas, and M. Sigalas, Solid State Commun. 89, 413 (1994).
[CrossRef]

E. Ozbay, A. Abeyta, G. Tuttle, M. Tringides, R. Biswas, M. Sigalas, C. M. Soukoulis, C. T. Chan, and K. M. Ho, Phys. Rev. B 50, 1945 (1994).
[CrossRef]

Smith, B. K.

S. Y. Lin, J. G. Fleming, D. L. Hetherington, B. K. Smith, R. Biswas, K. M. Ho, M. Sigalas, W. Zubrzyski, S. R. Kurtz, and J. Bur, Nature (London) 394, 251 (1998).
[CrossRef]

Smith, H. I.

J. S. Foresi, P. R. Villeneuve, J. Ferrera, E. R. Thoen, G. Steinmeyer, S. Fan, J. D. Joannopoulos, L. C. Kimerling, H. I. Smith, and E. P. Ippen, Nature (London) 390, 143 (1997).
[CrossRef]

Soukoulis, C. M.

K. M. Ho, C. T. Chan, C. M. Soukoulis, R. Biswas, and M. Sigalas, Solid State Commun. 89, 413 (1994).
[CrossRef]

E. Ozbay, A. Abeyta, G. Tuttle, M. Tringides, R. Biswas, M. Sigalas, C. M. Soukoulis, C. T. Chan, and K. M. Ho, Phys. Rev. B 50, 1945 (1994).
[CrossRef]

Sozuer, H.

H. Sozuer and J. Dowling, J. Mod. Opt. 41, 231 (1994).
[CrossRef]

Steinmeyer, G.

J. S. Foresi, P. R. Villeneuve, J. Ferrera, E. R. Thoen, G. Steinmeyer, S. Fan, J. D. Joannopoulos, L. C. Kimerling, H. I. Smith, and E. P. Ippen, Nature (London) 390, 143 (1997).
[CrossRef]

Stuke, M.

M. C. Wanke, O. Lehmann, K. Muller, Q. Wen, and M. Stuke, Science 275, 1284 (1997).
[CrossRef] [PubMed]

Thoen, E. R.

J. S. Foresi, P. R. Villeneuve, J. Ferrera, E. R. Thoen, G. Steinmeyer, S. Fan, J. D. Joannopoulos, L. C. Kimerling, H. I. Smith, and E. P. Ippen, Nature (London) 390, 143 (1997).
[CrossRef]

Tringides, M.

E. Ozbay, A. Abeyta, G. Tuttle, M. Tringides, R. Biswas, M. Sigalas, C. M. Soukoulis, C. T. Chan, and K. M. Ho, Phys. Rev. B 50, 1945 (1994).
[CrossRef]

Tuttle, G.

E. Ozbay, A. Abeyta, G. Tuttle, M. Tringides, R. Biswas, M. Sigalas, C. M. Soukoulis, C. T. Chan, and K. M. Ho, Phys. Rev. B 50, 1945 (1994).
[CrossRef]

Verghese, S.

K. A. Mclntosh, L. J. Mahoney, K. M. Molvar, O. B. McMahon, S. Verghese, M. Rothschild, and E. R. Brown, Appl. Phys. Lett. 70, 2937 (1997).
[CrossRef]

Villeneuve, P. R.

J. S. Foresi, P. R. Villeneuve, J. Ferrera, E. R. Thoen, G. Steinmeyer, S. Fan, J. D. Joannopoulos, L. C. Kimerling, H. I. Smith, and E. P. Ippen, Nature (London) 390, 143 (1997).
[CrossRef]

S. Fan, P. R. Villeneuve, R. D. Meade, and J. D. Joannopoulos, Appl. Phys. Lett. 65, 1466 (1994).
[CrossRef]

Wada, M.

M. Wada, Y. Doi, K. Inoue, J. W. Haus, and Z. Yuan, Appl. Phys. Lett. 70, 2966 (1997).
[CrossRef]

Wanke, M. C.

M. C. Wanke, O. Lehmann, K. Muller, Q. Wen, and M. Stuke, Science 275, 1284 (1997).
[CrossRef] [PubMed]

Wen, Q.

M. C. Wanke, O. Lehmann, K. Muller, Q. Wen, and M. Stuke, Science 275, 1284 (1997).
[CrossRef] [PubMed]

Winn, J. N.

J. D. Joannoupoulos, R. B. Meade, and J. N. Winn, Photonic Crystals (Princeton U. Press, Princeton, N.J., 1995).

Yablonovitch, E.

C. C. Cheng, V. Arbet-Engels, A. Scherer, and E. Yablonovitch, Phys. Scr. T 68, 17 (1996).
[CrossRef]

E. Yablonovitch, J. Opt. Soc. Am. B 10, 283 (1993).
[CrossRef]

Yuan, Z.

M. Wada, Y. Doi, K. Inoue, J. W. Haus, and Z. Yuan, Appl. Phys. Lett. 70, 2966 (1997).
[CrossRef]

Zubrzyski, W.

S. Y. Lin, J. G. Fleming, D. L. Hetherington, B. K. Smith, R. Biswas, K. M. Ho, M. Sigalas, W. Zubrzyski, S. R. Kurtz, and J. Bur, Nature (London) 394, 251 (1998).
[CrossRef]

Appl. Phys. Lett. (3)

K. A. Mclntosh, L. J. Mahoney, K. M. Molvar, O. B. McMahon, S. Verghese, M. Rothschild, and E. R. Brown, Appl. Phys. Lett. 70, 2937 (1997).
[CrossRef]

S. Fan, P. R. Villeneuve, R. D. Meade, and J. D. Joannopoulos, Appl. Phys. Lett. 65, 1466 (1994).
[CrossRef]

M. Wada, Y. Doi, K. Inoue, J. W. Haus, and Z. Yuan, Appl. Phys. Lett. 70, 2966 (1997).
[CrossRef]

J. Mod. Opt. (3)

H. Sozuer and J. Dowling, J. Mod. Opt. 41, 231 (1994).
[CrossRef]

D. G. Deppe, C. Lei, C. C. Lin, and D. L. Huffaker, J. Mod. Opt. 41, 325 (1994).
[CrossRef]

J. B. Pendry, J. Mod. Opt. 41, 209 (1994).
[CrossRef]

J. Opt. Soc. Am. B (1)

Nature (London) (2)

J. S. Foresi, P. R. Villeneuve, J. Ferrera, E. R. Thoen, G. Steinmeyer, S. Fan, J. D. Joannopoulos, L. C. Kimerling, H. I. Smith, and E. P. Ippen, Nature (London) 390, 143 (1997).
[CrossRef]

S. Y. Lin, J. G. Fleming, D. L. Hetherington, B. K. Smith, R. Biswas, K. M. Ho, M. Sigalas, W. Zubrzyski, S. R. Kurtz, and J. Bur, Nature (London) 394, 251 (1998).
[CrossRef]

Phys. Rev. B (1)

E. Ozbay, A. Abeyta, G. Tuttle, M. Tringides, R. Biswas, M. Sigalas, C. M. Soukoulis, C. T. Chan, and K. M. Ho, Phys. Rev. B 50, 1945 (1994).
[CrossRef]

Phys. Scr. T (1)

C. C. Cheng, V. Arbet-Engels, A. Scherer, and E. Yablonovitch, Phys. Scr. T 68, 17 (1996).
[CrossRef]

Science (1)

M. C. Wanke, O. Lehmann, K. Muller, Q. Wen, and M. Stuke, Science 275, 1284 (1997).
[CrossRef] [PubMed]

Solid State Commun. (1)

K. M. Ho, C. T. Chan, C. M. Soukoulis, R. Biswas, and M. Sigalas, Solid State Commun. 89, 413 (1994).
[CrossRef]

Other (1)

J. D. Joannoupoulos, R. B. Meade, and J. N. Winn, Photonic Crystals (Princeton U. Press, Princeton, N.J., 1995).

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (3)

Fig. 1
Fig. 1

Schematic of the process flow used to produce a single level: (a) Deposit 100-nm SiN (first level only), 220-nm Si, and 50-nm SiN; deposit and densify 500-nm SiO2. (b) Pattern and etch the SiO2 with a 650-nm line/space pattern; etch to within 50  nm of the SiN. (c) Wet etch the SiO2 to remove 90nm. (d) Deposit 180-nm polysilicon. (e) Anisotropically etch the polysilicon to form fillets along the side wall of the oxide. (f) Remove the oxide by use of a the wet etch. (g) Use the fillets as a mask to wet etch the SiN. (h) Use the fillets as a mask to transfer the pattern into the polysilicon. (i) Fill in the gaps between the lines with SiO2. (j) Planarize by use of CMP, stopping on the SiN. Subsequent levels are identical except for the absence of the first layer of SiN, which is present only at the beginning of the process and acts as an etch stop during the first polysilicon layer etch.

Fig. 2
Fig. 2

Oblique cross-section scanning electron micrograph of a released four-level structure. The rods in the first and third layers are oriented along the 110 direction, and those in the second and fourth layers along 11¯0. There are slight variations in the pitch between alternating rod pairs. However, the sum of two adjacent pitches is 1.3μm.

Fig. 3
Fig. 3

(a) Transmission spectrum for the 3D optical photonic crystal shown in Fig.  2. (b) Transmittance plot taken from an infrared 3D crystal. The wavelength axis is scaled with a ratio of 6.6:1.

Metrics