Abstract

A hollow waveguide consisting of a glass tube with a thin aluminum film on the inner surface is proposed for delivery of excimer-laser light. The waveguide, fabricated by a chemical-vapor-deposition method, shows low losses for KrF excimer laser light: the straight loss of a 1-mm-bore waveguide was 0.4  dB/m.

© 1998 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. P. Karlitschek, K.-F. Klein, G. Hillrichs, and U. Grzesik, Proc. SPIE 2677, 127 (1996).
    [CrossRef]
  2. T. Toriya, K. Kaneda, T. Tsumanuma, and K. Sanada, Proc. SPIE 2396, 138 (1995).
    [CrossRef]
  3. R. S. Taylor, K. E. Leopold, R. K. Brimacombe, and S. Mihailov, Appl. Opt. 27, 3124 (1988).
    [CrossRef] [PubMed]
  4. R. K. Brimacombe, R. S. Taylor, and K. E. Leopold, J. Appl. Phys. 66, 4035 (1989).
    [CrossRef]
  5. K.-F Klein, G. Hillrichs, P. Karlitschek, and K. Mann, Proc. SPIE 2966, 564 (1997).
    [CrossRef]
  6. Y. Hashishin, H. Nakano, H. Tanaka, and U. Kubo, Proc. SPIE 2966, 105 (1997).
    [CrossRef]
  7. T. Kodas and M. Hampden-Smith, eds., The Chemistry of Metal CVD (VCH, Deerfield Beach, Fla., 1994).
    [CrossRef]
  8. M. G. Simmonds, E. C. Phillips, J.-W. Hwang, and W. L. Gladfelter, Chemtronics 5, 155 (1991).
  9. W. L. Gladfelter, D. C. Boyd, and K. F. Jensen, Chem. Mater. 1, 339 (1989).
    [CrossRef]
  10. M. Osawa, Y. Kato, T. Watanabe, M. Miyagi, S. Abe, M. Aizawa, and S. Onodera, Opt. Laser Technol. 27, 393 (1995).
    [CrossRef]

1997 (2)

K.-F Klein, G. Hillrichs, P. Karlitschek, and K. Mann, Proc. SPIE 2966, 564 (1997).
[CrossRef]

Y. Hashishin, H. Nakano, H. Tanaka, and U. Kubo, Proc. SPIE 2966, 105 (1997).
[CrossRef]

1996 (1)

P. Karlitschek, K.-F. Klein, G. Hillrichs, and U. Grzesik, Proc. SPIE 2677, 127 (1996).
[CrossRef]

1995 (2)

T. Toriya, K. Kaneda, T. Tsumanuma, and K. Sanada, Proc. SPIE 2396, 138 (1995).
[CrossRef]

M. Osawa, Y. Kato, T. Watanabe, M. Miyagi, S. Abe, M. Aizawa, and S. Onodera, Opt. Laser Technol. 27, 393 (1995).
[CrossRef]

1991 (1)

M. G. Simmonds, E. C. Phillips, J.-W. Hwang, and W. L. Gladfelter, Chemtronics 5, 155 (1991).

1989 (2)

W. L. Gladfelter, D. C. Boyd, and K. F. Jensen, Chem. Mater. 1, 339 (1989).
[CrossRef]

R. K. Brimacombe, R. S. Taylor, and K. E. Leopold, J. Appl. Phys. 66, 4035 (1989).
[CrossRef]

1988 (1)

Abe, S.

M. Osawa, Y. Kato, T. Watanabe, M. Miyagi, S. Abe, M. Aizawa, and S. Onodera, Opt. Laser Technol. 27, 393 (1995).
[CrossRef]

Aizawa, M.

M. Osawa, Y. Kato, T. Watanabe, M. Miyagi, S. Abe, M. Aizawa, and S. Onodera, Opt. Laser Technol. 27, 393 (1995).
[CrossRef]

Boyd, D. C.

W. L. Gladfelter, D. C. Boyd, and K. F. Jensen, Chem. Mater. 1, 339 (1989).
[CrossRef]

Brimacombe, R. K.

R. K. Brimacombe, R. S. Taylor, and K. E. Leopold, J. Appl. Phys. 66, 4035 (1989).
[CrossRef]

R. S. Taylor, K. E. Leopold, R. K. Brimacombe, and S. Mihailov, Appl. Opt. 27, 3124 (1988).
[CrossRef] [PubMed]

Gladfelter, W. L.

M. G. Simmonds, E. C. Phillips, J.-W. Hwang, and W. L. Gladfelter, Chemtronics 5, 155 (1991).

W. L. Gladfelter, D. C. Boyd, and K. F. Jensen, Chem. Mater. 1, 339 (1989).
[CrossRef]

Grzesik, U.

P. Karlitschek, K.-F. Klein, G. Hillrichs, and U. Grzesik, Proc. SPIE 2677, 127 (1996).
[CrossRef]

Hashishin, Y.

Y. Hashishin, H. Nakano, H. Tanaka, and U. Kubo, Proc. SPIE 2966, 105 (1997).
[CrossRef]

Hillrichs, G.

K.-F Klein, G. Hillrichs, P. Karlitschek, and K. Mann, Proc. SPIE 2966, 564 (1997).
[CrossRef]

P. Karlitschek, K.-F. Klein, G. Hillrichs, and U. Grzesik, Proc. SPIE 2677, 127 (1996).
[CrossRef]

Hwang, J.-W.

M. G. Simmonds, E. C. Phillips, J.-W. Hwang, and W. L. Gladfelter, Chemtronics 5, 155 (1991).

Jensen, K. F.

W. L. Gladfelter, D. C. Boyd, and K. F. Jensen, Chem. Mater. 1, 339 (1989).
[CrossRef]

Kaneda, K.

T. Toriya, K. Kaneda, T. Tsumanuma, and K. Sanada, Proc. SPIE 2396, 138 (1995).
[CrossRef]

Karlitschek, P.

K.-F Klein, G. Hillrichs, P. Karlitschek, and K. Mann, Proc. SPIE 2966, 564 (1997).
[CrossRef]

P. Karlitschek, K.-F. Klein, G. Hillrichs, and U. Grzesik, Proc. SPIE 2677, 127 (1996).
[CrossRef]

Kato, Y.

M. Osawa, Y. Kato, T. Watanabe, M. Miyagi, S. Abe, M. Aizawa, and S. Onodera, Opt. Laser Technol. 27, 393 (1995).
[CrossRef]

Klein, K.-F

K.-F Klein, G. Hillrichs, P. Karlitschek, and K. Mann, Proc. SPIE 2966, 564 (1997).
[CrossRef]

Klein, K.-F.

P. Karlitschek, K.-F. Klein, G. Hillrichs, and U. Grzesik, Proc. SPIE 2677, 127 (1996).
[CrossRef]

Kubo, U.

Y. Hashishin, H. Nakano, H. Tanaka, and U. Kubo, Proc. SPIE 2966, 105 (1997).
[CrossRef]

Leopold, K. E.

R. K. Brimacombe, R. S. Taylor, and K. E. Leopold, J. Appl. Phys. 66, 4035 (1989).
[CrossRef]

R. S. Taylor, K. E. Leopold, R. K. Brimacombe, and S. Mihailov, Appl. Opt. 27, 3124 (1988).
[CrossRef] [PubMed]

Mann, K.

K.-F Klein, G. Hillrichs, P. Karlitschek, and K. Mann, Proc. SPIE 2966, 564 (1997).
[CrossRef]

Mihailov, S.

Miyagi, M.

M. Osawa, Y. Kato, T. Watanabe, M. Miyagi, S. Abe, M. Aizawa, and S. Onodera, Opt. Laser Technol. 27, 393 (1995).
[CrossRef]

Nakano, H.

Y. Hashishin, H. Nakano, H. Tanaka, and U. Kubo, Proc. SPIE 2966, 105 (1997).
[CrossRef]

Onodera, S.

M. Osawa, Y. Kato, T. Watanabe, M. Miyagi, S. Abe, M. Aizawa, and S. Onodera, Opt. Laser Technol. 27, 393 (1995).
[CrossRef]

Osawa, M.

M. Osawa, Y. Kato, T. Watanabe, M. Miyagi, S. Abe, M. Aizawa, and S. Onodera, Opt. Laser Technol. 27, 393 (1995).
[CrossRef]

Phillips, E. C.

M. G. Simmonds, E. C. Phillips, J.-W. Hwang, and W. L. Gladfelter, Chemtronics 5, 155 (1991).

Sanada, K.

T. Toriya, K. Kaneda, T. Tsumanuma, and K. Sanada, Proc. SPIE 2396, 138 (1995).
[CrossRef]

Simmonds, M. G.

M. G. Simmonds, E. C. Phillips, J.-W. Hwang, and W. L. Gladfelter, Chemtronics 5, 155 (1991).

Tanaka, H.

Y. Hashishin, H. Nakano, H. Tanaka, and U. Kubo, Proc. SPIE 2966, 105 (1997).
[CrossRef]

Taylor, R. S.

R. K. Brimacombe, R. S. Taylor, and K. E. Leopold, J. Appl. Phys. 66, 4035 (1989).
[CrossRef]

R. S. Taylor, K. E. Leopold, R. K. Brimacombe, and S. Mihailov, Appl. Opt. 27, 3124 (1988).
[CrossRef] [PubMed]

Toriya, T.

T. Toriya, K. Kaneda, T. Tsumanuma, and K. Sanada, Proc. SPIE 2396, 138 (1995).
[CrossRef]

Tsumanuma, T.

T. Toriya, K. Kaneda, T. Tsumanuma, and K. Sanada, Proc. SPIE 2396, 138 (1995).
[CrossRef]

Watanabe, T.

M. Osawa, Y. Kato, T. Watanabe, M. Miyagi, S. Abe, M. Aizawa, and S. Onodera, Opt. Laser Technol. 27, 393 (1995).
[CrossRef]

Appl. Opt. (1)

Chem. Mater. (1)

W. L. Gladfelter, D. C. Boyd, and K. F. Jensen, Chem. Mater. 1, 339 (1989).
[CrossRef]

Chemtronics (1)

M. G. Simmonds, E. C. Phillips, J.-W. Hwang, and W. L. Gladfelter, Chemtronics 5, 155 (1991).

J. Appl. Phys. (1)

R. K. Brimacombe, R. S. Taylor, and K. E. Leopold, J. Appl. Phys. 66, 4035 (1989).
[CrossRef]

Opt. Laser Technol. (1)

M. Osawa, Y. Kato, T. Watanabe, M. Miyagi, S. Abe, M. Aizawa, and S. Onodera, Opt. Laser Technol. 27, 393 (1995).
[CrossRef]

Proc. SPIE (4)

P. Karlitschek, K.-F. Klein, G. Hillrichs, and U. Grzesik, Proc. SPIE 2677, 127 (1996).
[CrossRef]

T. Toriya, K. Kaneda, T. Tsumanuma, and K. Sanada, Proc. SPIE 2396, 138 (1995).
[CrossRef]

K.-F Klein, G. Hillrichs, P. Karlitschek, and K. Mann, Proc. SPIE 2966, 564 (1997).
[CrossRef]

Y. Hashishin, H. Nakano, H. Tanaka, and U. Kubo, Proc. SPIE 2966, 105 (1997).
[CrossRef]

Other (1)

T. Kodas and M. Hampden-Smith, eds., The Chemistry of Metal CVD (VCH, Deerfield Beach, Fla., 1994).
[CrossRef]

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (2)

Fig. 1
Fig. 1

Experimental setup for fabrication of the aluminum hollow waveguide.

Fig. 2
Fig. 2

Measured straight and bending losses of aluminum and silver hollow waveguides for KrF laser light λ=248 nm. The bore diameter of the waveguides is 1  mm, and the length is 1  m.

Metrics