Abstract

Sc–Si multilayers are suggested as high-reflectivity coatings for a VUV interval of 35–50  nm. Fabricated mirrors show normal-incidence reflectivity of 30–54%, which is high enough for effective manipulation of the beams of compact-discharge, laser-driven x-ray lasers. The values obtained are not, however, limits for Sc–Si coatings. Theoretical estimations as well as electron microscopy studies of Sc–Si interfaces indicate a large potential for a further increase in their reflectivity.

© 1998 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. J. J. Rocca, D. P. Clark, J. L. A. Chilla, and V. N. Shlyaptsev, Phys. Rev. Lett. 77, 1476 (1996).
    [CrossRef] [PubMed]
  2. P. Jaegle, S. Sebban, A. Carillon, G. Jamelot, A. Klisnick, P. Zeitun, B. Rus, F. Albert, and D. Ros, Inst. Phys. Conf. Ser. 151, 1 (1996).
  3. L. B. Da Silva, T. W. Barbee, R. Cauble, P. Selliers, C. D. Decker, D. H. Kalantar, M. H. Key, R. A. London, J. C. Moreno, J. E. Trebes, A. S. Wan, and F. Weber, Inst. Phys. Conf. Ser. 151, 496 (1996).
  4. J. L. A. Chilla, J. J. Rocca, O. E. Martinez, and M. C. Marconi, Opt. Lett. 21, 955 (1996).
    [CrossRef] [PubMed]
  5. E. Spiller, Soft X-Ray Optics (SPIE Press, Bellingham, Wash., 1994).
    [CrossRef]
  6. E. D. Palik, ed. Handbook of Optical Constants of Solids (Academic, Orlando, Fla., 1985).
  7. D. W. Berreman, J. E. Bjorkholm, M. Becker, L. Eichner, R. R. Freeman, T. E. Jewell, W. M. Mansfield, A. A. MacDowell, M. L. O'Malley, E. L. Raab, W. T. Silfvast, L. H. Szeto, D. M. Tennant, W. K. Waskiewicz, D. L. White, D. L. Windt, and O. R. Wood, Appl. Phys. Lett. 56, 2180 (1990).
    [CrossRef]
  8. Yu. A. Uspenskii, S. V. Antonov, V. Yu. Fedotov, and A. V. Vinogradov, Proc. SPIE 3156, 288 (1997).
    [CrossRef]
  9. A. G. Nargizyan, S. N. Rashkeev, and Yu. A. Uspenskii, Sov. Phys. Solid State 34, 626 (1992).
  10. A. G. Nargizyan and Yu. A. Uspenskii, Sov. Phys. JETP 76, 530 (1993).
  11. I. V. Kozhevnikov, L. L. Balakireva, A. I. Fedorenko, I. A. Kopealets, V. E. Levashov, A. N. Stetsenko, I. I. Struk, and A. V. Vinogradov, Opt. Commun. 125, 13 (1995).
    [CrossRef]
  12. V. N. Eremenko, K. A. Meleshevich, Yu. I. Buyanov, and P. S. Martsenyuk, Poroshk. Metall. 12, 52 (1988).

1997 (1)

Yu. A. Uspenskii, S. V. Antonov, V. Yu. Fedotov, and A. V. Vinogradov, Proc. SPIE 3156, 288 (1997).
[CrossRef]

1996 (4)

J. J. Rocca, D. P. Clark, J. L. A. Chilla, and V. N. Shlyaptsev, Phys. Rev. Lett. 77, 1476 (1996).
[CrossRef] [PubMed]

P. Jaegle, S. Sebban, A. Carillon, G. Jamelot, A. Klisnick, P. Zeitun, B. Rus, F. Albert, and D. Ros, Inst. Phys. Conf. Ser. 151, 1 (1996).

L. B. Da Silva, T. W. Barbee, R. Cauble, P. Selliers, C. D. Decker, D. H. Kalantar, M. H. Key, R. A. London, J. C. Moreno, J. E. Trebes, A. S. Wan, and F. Weber, Inst. Phys. Conf. Ser. 151, 496 (1996).

J. L. A. Chilla, J. J. Rocca, O. E. Martinez, and M. C. Marconi, Opt. Lett. 21, 955 (1996).
[CrossRef] [PubMed]

1995 (1)

I. V. Kozhevnikov, L. L. Balakireva, A. I. Fedorenko, I. A. Kopealets, V. E. Levashov, A. N. Stetsenko, I. I. Struk, and A. V. Vinogradov, Opt. Commun. 125, 13 (1995).
[CrossRef]

1993 (1)

A. G. Nargizyan and Yu. A. Uspenskii, Sov. Phys. JETP 76, 530 (1993).

1992 (1)

A. G. Nargizyan, S. N. Rashkeev, and Yu. A. Uspenskii, Sov. Phys. Solid State 34, 626 (1992).

1990 (1)

D. W. Berreman, J. E. Bjorkholm, M. Becker, L. Eichner, R. R. Freeman, T. E. Jewell, W. M. Mansfield, A. A. MacDowell, M. L. O'Malley, E. L. Raab, W. T. Silfvast, L. H. Szeto, D. M. Tennant, W. K. Waskiewicz, D. L. White, D. L. Windt, and O. R. Wood, Appl. Phys. Lett. 56, 2180 (1990).
[CrossRef]

1988 (1)

V. N. Eremenko, K. A. Meleshevich, Yu. I. Buyanov, and P. S. Martsenyuk, Poroshk. Metall. 12, 52 (1988).

Albert, F.

P. Jaegle, S. Sebban, A. Carillon, G. Jamelot, A. Klisnick, P. Zeitun, B. Rus, F. Albert, and D. Ros, Inst. Phys. Conf. Ser. 151, 1 (1996).

Antonov, S. V.

Yu. A. Uspenskii, S. V. Antonov, V. Yu. Fedotov, and A. V. Vinogradov, Proc. SPIE 3156, 288 (1997).
[CrossRef]

Balakireva, L. L.

I. V. Kozhevnikov, L. L. Balakireva, A. I. Fedorenko, I. A. Kopealets, V. E. Levashov, A. N. Stetsenko, I. I. Struk, and A. V. Vinogradov, Opt. Commun. 125, 13 (1995).
[CrossRef]

Barbee, T. W.

L. B. Da Silva, T. W. Barbee, R. Cauble, P. Selliers, C. D. Decker, D. H. Kalantar, M. H. Key, R. A. London, J. C. Moreno, J. E. Trebes, A. S. Wan, and F. Weber, Inst. Phys. Conf. Ser. 151, 496 (1996).

Becker, M.

D. W. Berreman, J. E. Bjorkholm, M. Becker, L. Eichner, R. R. Freeman, T. E. Jewell, W. M. Mansfield, A. A. MacDowell, M. L. O'Malley, E. L. Raab, W. T. Silfvast, L. H. Szeto, D. M. Tennant, W. K. Waskiewicz, D. L. White, D. L. Windt, and O. R. Wood, Appl. Phys. Lett. 56, 2180 (1990).
[CrossRef]

Berreman, D. W.

D. W. Berreman, J. E. Bjorkholm, M. Becker, L. Eichner, R. R. Freeman, T. E. Jewell, W. M. Mansfield, A. A. MacDowell, M. L. O'Malley, E. L. Raab, W. T. Silfvast, L. H. Szeto, D. M. Tennant, W. K. Waskiewicz, D. L. White, D. L. Windt, and O. R. Wood, Appl. Phys. Lett. 56, 2180 (1990).
[CrossRef]

Bjorkholm, J. E.

D. W. Berreman, J. E. Bjorkholm, M. Becker, L. Eichner, R. R. Freeman, T. E. Jewell, W. M. Mansfield, A. A. MacDowell, M. L. O'Malley, E. L. Raab, W. T. Silfvast, L. H. Szeto, D. M. Tennant, W. K. Waskiewicz, D. L. White, D. L. Windt, and O. R. Wood, Appl. Phys. Lett. 56, 2180 (1990).
[CrossRef]

Buyanov, Yu. I.

V. N. Eremenko, K. A. Meleshevich, Yu. I. Buyanov, and P. S. Martsenyuk, Poroshk. Metall. 12, 52 (1988).

Carillon, A.

P. Jaegle, S. Sebban, A. Carillon, G. Jamelot, A. Klisnick, P. Zeitun, B. Rus, F. Albert, and D. Ros, Inst. Phys. Conf. Ser. 151, 1 (1996).

Cauble, R.

L. B. Da Silva, T. W. Barbee, R. Cauble, P. Selliers, C. D. Decker, D. H. Kalantar, M. H. Key, R. A. London, J. C. Moreno, J. E. Trebes, A. S. Wan, and F. Weber, Inst. Phys. Conf. Ser. 151, 496 (1996).

Chilla, J. L. A.

J. J. Rocca, D. P. Clark, J. L. A. Chilla, and V. N. Shlyaptsev, Phys. Rev. Lett. 77, 1476 (1996).
[CrossRef] [PubMed]

J. L. A. Chilla, J. J. Rocca, O. E. Martinez, and M. C. Marconi, Opt. Lett. 21, 955 (1996).
[CrossRef] [PubMed]

Clark, D. P.

J. J. Rocca, D. P. Clark, J. L. A. Chilla, and V. N. Shlyaptsev, Phys. Rev. Lett. 77, 1476 (1996).
[CrossRef] [PubMed]

Da Silva, L. B.

L. B. Da Silva, T. W. Barbee, R. Cauble, P. Selliers, C. D. Decker, D. H. Kalantar, M. H. Key, R. A. London, J. C. Moreno, J. E. Trebes, A. S. Wan, and F. Weber, Inst. Phys. Conf. Ser. 151, 496 (1996).

Decker, C. D.

L. B. Da Silva, T. W. Barbee, R. Cauble, P. Selliers, C. D. Decker, D. H. Kalantar, M. H. Key, R. A. London, J. C. Moreno, J. E. Trebes, A. S. Wan, and F. Weber, Inst. Phys. Conf. Ser. 151, 496 (1996).

Eichner, L.

D. W. Berreman, J. E. Bjorkholm, M. Becker, L. Eichner, R. R. Freeman, T. E. Jewell, W. M. Mansfield, A. A. MacDowell, M. L. O'Malley, E. L. Raab, W. T. Silfvast, L. H. Szeto, D. M. Tennant, W. K. Waskiewicz, D. L. White, D. L. Windt, and O. R. Wood, Appl. Phys. Lett. 56, 2180 (1990).
[CrossRef]

Eremenko, V. N.

V. N. Eremenko, K. A. Meleshevich, Yu. I. Buyanov, and P. S. Martsenyuk, Poroshk. Metall. 12, 52 (1988).

Fedorenko, A. I.

I. V. Kozhevnikov, L. L. Balakireva, A. I. Fedorenko, I. A. Kopealets, V. E. Levashov, A. N. Stetsenko, I. I. Struk, and A. V. Vinogradov, Opt. Commun. 125, 13 (1995).
[CrossRef]

Fedotov, V. Yu.

Yu. A. Uspenskii, S. V. Antonov, V. Yu. Fedotov, and A. V. Vinogradov, Proc. SPIE 3156, 288 (1997).
[CrossRef]

Freeman, R. R.

D. W. Berreman, J. E. Bjorkholm, M. Becker, L. Eichner, R. R. Freeman, T. E. Jewell, W. M. Mansfield, A. A. MacDowell, M. L. O'Malley, E. L. Raab, W. T. Silfvast, L. H. Szeto, D. M. Tennant, W. K. Waskiewicz, D. L. White, D. L. Windt, and O. R. Wood, Appl. Phys. Lett. 56, 2180 (1990).
[CrossRef]

Jaegle, P.

P. Jaegle, S. Sebban, A. Carillon, G. Jamelot, A. Klisnick, P. Zeitun, B. Rus, F. Albert, and D. Ros, Inst. Phys. Conf. Ser. 151, 1 (1996).

Jamelot, G.

P. Jaegle, S. Sebban, A. Carillon, G. Jamelot, A. Klisnick, P. Zeitun, B. Rus, F. Albert, and D. Ros, Inst. Phys. Conf. Ser. 151, 1 (1996).

Jewell, T. E.

D. W. Berreman, J. E. Bjorkholm, M. Becker, L. Eichner, R. R. Freeman, T. E. Jewell, W. M. Mansfield, A. A. MacDowell, M. L. O'Malley, E. L. Raab, W. T. Silfvast, L. H. Szeto, D. M. Tennant, W. K. Waskiewicz, D. L. White, D. L. Windt, and O. R. Wood, Appl. Phys. Lett. 56, 2180 (1990).
[CrossRef]

Kalantar, D. H.

L. B. Da Silva, T. W. Barbee, R. Cauble, P. Selliers, C. D. Decker, D. H. Kalantar, M. H. Key, R. A. London, J. C. Moreno, J. E. Trebes, A. S. Wan, and F. Weber, Inst. Phys. Conf. Ser. 151, 496 (1996).

Key, M. H.

L. B. Da Silva, T. W. Barbee, R. Cauble, P. Selliers, C. D. Decker, D. H. Kalantar, M. H. Key, R. A. London, J. C. Moreno, J. E. Trebes, A. S. Wan, and F. Weber, Inst. Phys. Conf. Ser. 151, 496 (1996).

Klisnick, A.

P. Jaegle, S. Sebban, A. Carillon, G. Jamelot, A. Klisnick, P. Zeitun, B. Rus, F. Albert, and D. Ros, Inst. Phys. Conf. Ser. 151, 1 (1996).

Kopealets, I. A.

I. V. Kozhevnikov, L. L. Balakireva, A. I. Fedorenko, I. A. Kopealets, V. E. Levashov, A. N. Stetsenko, I. I. Struk, and A. V. Vinogradov, Opt. Commun. 125, 13 (1995).
[CrossRef]

Kozhevnikov, I. V.

I. V. Kozhevnikov, L. L. Balakireva, A. I. Fedorenko, I. A. Kopealets, V. E. Levashov, A. N. Stetsenko, I. I. Struk, and A. V. Vinogradov, Opt. Commun. 125, 13 (1995).
[CrossRef]

Levashov, V. E.

I. V. Kozhevnikov, L. L. Balakireva, A. I. Fedorenko, I. A. Kopealets, V. E. Levashov, A. N. Stetsenko, I. I. Struk, and A. V. Vinogradov, Opt. Commun. 125, 13 (1995).
[CrossRef]

London, R. A.

L. B. Da Silva, T. W. Barbee, R. Cauble, P. Selliers, C. D. Decker, D. H. Kalantar, M. H. Key, R. A. London, J. C. Moreno, J. E. Trebes, A. S. Wan, and F. Weber, Inst. Phys. Conf. Ser. 151, 496 (1996).

MacDowell, A. A.

D. W. Berreman, J. E. Bjorkholm, M. Becker, L. Eichner, R. R. Freeman, T. E. Jewell, W. M. Mansfield, A. A. MacDowell, M. L. O'Malley, E. L. Raab, W. T. Silfvast, L. H. Szeto, D. M. Tennant, W. K. Waskiewicz, D. L. White, D. L. Windt, and O. R. Wood, Appl. Phys. Lett. 56, 2180 (1990).
[CrossRef]

Mansfield, W. M.

D. W. Berreman, J. E. Bjorkholm, M. Becker, L. Eichner, R. R. Freeman, T. E. Jewell, W. M. Mansfield, A. A. MacDowell, M. L. O'Malley, E. L. Raab, W. T. Silfvast, L. H. Szeto, D. M. Tennant, W. K. Waskiewicz, D. L. White, D. L. Windt, and O. R. Wood, Appl. Phys. Lett. 56, 2180 (1990).
[CrossRef]

Marconi, M. C.

Martinez, O. E.

Martsenyuk, P. S.

V. N. Eremenko, K. A. Meleshevich, Yu. I. Buyanov, and P. S. Martsenyuk, Poroshk. Metall. 12, 52 (1988).

Meleshevich, K. A.

V. N. Eremenko, K. A. Meleshevich, Yu. I. Buyanov, and P. S. Martsenyuk, Poroshk. Metall. 12, 52 (1988).

Moreno, J. C.

L. B. Da Silva, T. W. Barbee, R. Cauble, P. Selliers, C. D. Decker, D. H. Kalantar, M. H. Key, R. A. London, J. C. Moreno, J. E. Trebes, A. S. Wan, and F. Weber, Inst. Phys. Conf. Ser. 151, 496 (1996).

Nargizyan, A. G.

A. G. Nargizyan and Yu. A. Uspenskii, Sov. Phys. JETP 76, 530 (1993).

A. G. Nargizyan, S. N. Rashkeev, and Yu. A. Uspenskii, Sov. Phys. Solid State 34, 626 (1992).

O'Malley, M. L.

D. W. Berreman, J. E. Bjorkholm, M. Becker, L. Eichner, R. R. Freeman, T. E. Jewell, W. M. Mansfield, A. A. MacDowell, M. L. O'Malley, E. L. Raab, W. T. Silfvast, L. H. Szeto, D. M. Tennant, W. K. Waskiewicz, D. L. White, D. L. Windt, and O. R. Wood, Appl. Phys. Lett. 56, 2180 (1990).
[CrossRef]

Raab, E. L.

D. W. Berreman, J. E. Bjorkholm, M. Becker, L. Eichner, R. R. Freeman, T. E. Jewell, W. M. Mansfield, A. A. MacDowell, M. L. O'Malley, E. L. Raab, W. T. Silfvast, L. H. Szeto, D. M. Tennant, W. K. Waskiewicz, D. L. White, D. L. Windt, and O. R. Wood, Appl. Phys. Lett. 56, 2180 (1990).
[CrossRef]

Rashkeev, S. N.

A. G. Nargizyan, S. N. Rashkeev, and Yu. A. Uspenskii, Sov. Phys. Solid State 34, 626 (1992).

Rocca, J. J.

J. L. A. Chilla, J. J. Rocca, O. E. Martinez, and M. C. Marconi, Opt. Lett. 21, 955 (1996).
[CrossRef] [PubMed]

J. J. Rocca, D. P. Clark, J. L. A. Chilla, and V. N. Shlyaptsev, Phys. Rev. Lett. 77, 1476 (1996).
[CrossRef] [PubMed]

Ros, D.

P. Jaegle, S. Sebban, A. Carillon, G. Jamelot, A. Klisnick, P. Zeitun, B. Rus, F. Albert, and D. Ros, Inst. Phys. Conf. Ser. 151, 1 (1996).

Rus, B.

P. Jaegle, S. Sebban, A. Carillon, G. Jamelot, A. Klisnick, P. Zeitun, B. Rus, F. Albert, and D. Ros, Inst. Phys. Conf. Ser. 151, 1 (1996).

Sebban, S.

P. Jaegle, S. Sebban, A. Carillon, G. Jamelot, A. Klisnick, P. Zeitun, B. Rus, F. Albert, and D. Ros, Inst. Phys. Conf. Ser. 151, 1 (1996).

Selliers, P.

L. B. Da Silva, T. W. Barbee, R. Cauble, P. Selliers, C. D. Decker, D. H. Kalantar, M. H. Key, R. A. London, J. C. Moreno, J. E. Trebes, A. S. Wan, and F. Weber, Inst. Phys. Conf. Ser. 151, 496 (1996).

Shlyaptsev, V. N.

J. J. Rocca, D. P. Clark, J. L. A. Chilla, and V. N. Shlyaptsev, Phys. Rev. Lett. 77, 1476 (1996).
[CrossRef] [PubMed]

Silfvast, W. T.

D. W. Berreman, J. E. Bjorkholm, M. Becker, L. Eichner, R. R. Freeman, T. E. Jewell, W. M. Mansfield, A. A. MacDowell, M. L. O'Malley, E. L. Raab, W. T. Silfvast, L. H. Szeto, D. M. Tennant, W. K. Waskiewicz, D. L. White, D. L. Windt, and O. R. Wood, Appl. Phys. Lett. 56, 2180 (1990).
[CrossRef]

Spiller, E.

E. Spiller, Soft X-Ray Optics (SPIE Press, Bellingham, Wash., 1994).
[CrossRef]

Stetsenko, A. N.

I. V. Kozhevnikov, L. L. Balakireva, A. I. Fedorenko, I. A. Kopealets, V. E. Levashov, A. N. Stetsenko, I. I. Struk, and A. V. Vinogradov, Opt. Commun. 125, 13 (1995).
[CrossRef]

Struk, I. I.

I. V. Kozhevnikov, L. L. Balakireva, A. I. Fedorenko, I. A. Kopealets, V. E. Levashov, A. N. Stetsenko, I. I. Struk, and A. V. Vinogradov, Opt. Commun. 125, 13 (1995).
[CrossRef]

Szeto, L. H.

D. W. Berreman, J. E. Bjorkholm, M. Becker, L. Eichner, R. R. Freeman, T. E. Jewell, W. M. Mansfield, A. A. MacDowell, M. L. O'Malley, E. L. Raab, W. T. Silfvast, L. H. Szeto, D. M. Tennant, W. K. Waskiewicz, D. L. White, D. L. Windt, and O. R. Wood, Appl. Phys. Lett. 56, 2180 (1990).
[CrossRef]

Tennant, D. M.

D. W. Berreman, J. E. Bjorkholm, M. Becker, L. Eichner, R. R. Freeman, T. E. Jewell, W. M. Mansfield, A. A. MacDowell, M. L. O'Malley, E. L. Raab, W. T. Silfvast, L. H. Szeto, D. M. Tennant, W. K. Waskiewicz, D. L. White, D. L. Windt, and O. R. Wood, Appl. Phys. Lett. 56, 2180 (1990).
[CrossRef]

Trebes, J. E.

L. B. Da Silva, T. W. Barbee, R. Cauble, P. Selliers, C. D. Decker, D. H. Kalantar, M. H. Key, R. A. London, J. C. Moreno, J. E. Trebes, A. S. Wan, and F. Weber, Inst. Phys. Conf. Ser. 151, 496 (1996).

Uspenskii, Yu. A.

Yu. A. Uspenskii, S. V. Antonov, V. Yu. Fedotov, and A. V. Vinogradov, Proc. SPIE 3156, 288 (1997).
[CrossRef]

A. G. Nargizyan and Yu. A. Uspenskii, Sov. Phys. JETP 76, 530 (1993).

A. G. Nargizyan, S. N. Rashkeev, and Yu. A. Uspenskii, Sov. Phys. Solid State 34, 626 (1992).

Vinogradov, A. V.

Yu. A. Uspenskii, S. V. Antonov, V. Yu. Fedotov, and A. V. Vinogradov, Proc. SPIE 3156, 288 (1997).
[CrossRef]

I. V. Kozhevnikov, L. L. Balakireva, A. I. Fedorenko, I. A. Kopealets, V. E. Levashov, A. N. Stetsenko, I. I. Struk, and A. V. Vinogradov, Opt. Commun. 125, 13 (1995).
[CrossRef]

Wan, A. S.

L. B. Da Silva, T. W. Barbee, R. Cauble, P. Selliers, C. D. Decker, D. H. Kalantar, M. H. Key, R. A. London, J. C. Moreno, J. E. Trebes, A. S. Wan, and F. Weber, Inst. Phys. Conf. Ser. 151, 496 (1996).

Waskiewicz, W. K.

D. W. Berreman, J. E. Bjorkholm, M. Becker, L. Eichner, R. R. Freeman, T. E. Jewell, W. M. Mansfield, A. A. MacDowell, M. L. O'Malley, E. L. Raab, W. T. Silfvast, L. H. Szeto, D. M. Tennant, W. K. Waskiewicz, D. L. White, D. L. Windt, and O. R. Wood, Appl. Phys. Lett. 56, 2180 (1990).
[CrossRef]

Weber, F.

L. B. Da Silva, T. W. Barbee, R. Cauble, P. Selliers, C. D. Decker, D. H. Kalantar, M. H. Key, R. A. London, J. C. Moreno, J. E. Trebes, A. S. Wan, and F. Weber, Inst. Phys. Conf. Ser. 151, 496 (1996).

White, D. L.

D. W. Berreman, J. E. Bjorkholm, M. Becker, L. Eichner, R. R. Freeman, T. E. Jewell, W. M. Mansfield, A. A. MacDowell, M. L. O'Malley, E. L. Raab, W. T. Silfvast, L. H. Szeto, D. M. Tennant, W. K. Waskiewicz, D. L. White, D. L. Windt, and O. R. Wood, Appl. Phys. Lett. 56, 2180 (1990).
[CrossRef]

Windt, D. L.

D. W. Berreman, J. E. Bjorkholm, M. Becker, L. Eichner, R. R. Freeman, T. E. Jewell, W. M. Mansfield, A. A. MacDowell, M. L. O'Malley, E. L. Raab, W. T. Silfvast, L. H. Szeto, D. M. Tennant, W. K. Waskiewicz, D. L. White, D. L. Windt, and O. R. Wood, Appl. Phys. Lett. 56, 2180 (1990).
[CrossRef]

Wood, O. R.

D. W. Berreman, J. E. Bjorkholm, M. Becker, L. Eichner, R. R. Freeman, T. E. Jewell, W. M. Mansfield, A. A. MacDowell, M. L. O'Malley, E. L. Raab, W. T. Silfvast, L. H. Szeto, D. M. Tennant, W. K. Waskiewicz, D. L. White, D. L. Windt, and O. R. Wood, Appl. Phys. Lett. 56, 2180 (1990).
[CrossRef]

Zeitun, P.

P. Jaegle, S. Sebban, A. Carillon, G. Jamelot, A. Klisnick, P. Zeitun, B. Rus, F. Albert, and D. Ros, Inst. Phys. Conf. Ser. 151, 1 (1996).

Appl. Phys. Lett. (1)

D. W. Berreman, J. E. Bjorkholm, M. Becker, L. Eichner, R. R. Freeman, T. E. Jewell, W. M. Mansfield, A. A. MacDowell, M. L. O'Malley, E. L. Raab, W. T. Silfvast, L. H. Szeto, D. M. Tennant, W. K. Waskiewicz, D. L. White, D. L. Windt, and O. R. Wood, Appl. Phys. Lett. 56, 2180 (1990).
[CrossRef]

Inst. Phys. Conf. Ser. (2)

P. Jaegle, S. Sebban, A. Carillon, G. Jamelot, A. Klisnick, P. Zeitun, B. Rus, F. Albert, and D. Ros, Inst. Phys. Conf. Ser. 151, 1 (1996).

L. B. Da Silva, T. W. Barbee, R. Cauble, P. Selliers, C. D. Decker, D. H. Kalantar, M. H. Key, R. A. London, J. C. Moreno, J. E. Trebes, A. S. Wan, and F. Weber, Inst. Phys. Conf. Ser. 151, 496 (1996).

Opt. Commun. (1)

I. V. Kozhevnikov, L. L. Balakireva, A. I. Fedorenko, I. A. Kopealets, V. E. Levashov, A. N. Stetsenko, I. I. Struk, and A. V. Vinogradov, Opt. Commun. 125, 13 (1995).
[CrossRef]

Opt. Lett. (1)

Phys. Rev. Lett. (1)

J. J. Rocca, D. P. Clark, J. L. A. Chilla, and V. N. Shlyaptsev, Phys. Rev. Lett. 77, 1476 (1996).
[CrossRef] [PubMed]

Poroshk. Metall. (1)

V. N. Eremenko, K. A. Meleshevich, Yu. I. Buyanov, and P. S. Martsenyuk, Poroshk. Metall. 12, 52 (1988).

Proc. SPIE (1)

Yu. A. Uspenskii, S. V. Antonov, V. Yu. Fedotov, and A. V. Vinogradov, Proc. SPIE 3156, 288 (1997).
[CrossRef]

Sov. Phys. JETP (1)

A. G. Nargizyan and Yu. A. Uspenskii, Sov. Phys. JETP 76, 530 (1993).

Sov. Phys. Solid State (1)

A. G. Nargizyan, S. N. Rashkeev, and Yu. A. Uspenskii, Sov. Phys. Solid State 34, 626 (1992).

Other (2)

E. Spiller, Soft X-Ray Optics (SPIE Press, Bellingham, Wash., 1994).
[CrossRef]

E. D. Palik, ed. Handbook of Optical Constants of Solids (Academic, Orlando, Fla., 1985).

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (1)

Fig. 1
Fig. 1

Electron microscopy cross-sectional image of a Sc–Si multilayer with a 24.5-nm period deposited by means of dc magnetron sputtering: The Si layers are light colored, and the Sc layers are dark regions; the light and dark spots in the center of the Sc-based layer are grains of pure Sc with different crystal orientations.

Tables (1)

Tables Icon

Table 1 Measured and Calculated Optical Characteristics of Sc–Si Mirrors

Equations (1)

Equations on this page are rendered with MathJax. Learn more.

εω=1-NvΩp2ω2+2iβvω+fcΩp2ωc2-ω2-iδ,

Metrics