Abstract

The efficiency of an ion-etched laminar holographic grating was measured at near-normal incidence in the 14.5–16.0-nm wavelength range. The grating had an electron-beam-evaporated Mo/Si multilayer coating matched to the grating groove depth. The efficiency peaked at 16.3% in the first inside order at 15.12  nm and 15.0% in the first outside order at 14.94  nm. These are believed to be the highest efficiencies obtained to date from a multilayer-coated laminar grating at near-normal incidence in the EUV λ<30.0 nm. Zero and even orders were almost completely suppressed. The grating groove efficiency in the first order approached the theoretical limit of 40.5%.

© 1997 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. T. W. Barbee, S. Mrowka, and M. C. Hettrick, Appl. Opt. 24, 883 (1985).
    [CrossRef]
  2. D. G. Stearns, R. S. Rosen, and S. P. Vernon, Appl. Opt. 32, 6952 (1993).
    [CrossRef] [PubMed]
  3. B. Schmiedeskamp, A. Kloidt, H. J. Stock, U. Kleineberg, T. Dohring, M. Propper, S. Rahn, K. Hilgers, B. Heidemann, T. Tappe, U. Heinzmann, M. K. Krumrey, P. Muller, F. Scholze, and K. F. Heidemann, Opt. Eng. 33, 1314 (1994).
    [CrossRef]
  4. K. H. Hellwege, Z. Phys. 106, 588 (1937).
    [CrossRef]
  5. R. G. Cruddace, T. W. Barbee, J. C. Rife, and W. R. Hunter, Phys. Scr. 41, 396 (1990).
    [CrossRef]
  6. U. Kleineberg, H. J. Stock, A. Kloidt, K. Osterried, D. Menke, B. Schmiedeskamp, U. Heinzmann, D. Fuchs, P. Muller, F. Scholze, G. Ulm, K. F. Heidemann, and B. Nelles, J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 80, 389 (1996).
    [CrossRef]
  7. W. R. Hunter and J. C. Rife, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 246, 465 (1986).
    [CrossRef]
  8. J. C. Rife, W. R. Hunter, and R. T. Williams, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 246, 252 (1986).
    [CrossRef]
  9. J. C. Rife, H. R. Sadeghi, and W. R. Hunter, Rev. Sci. Instrum. 60, 2064 (1989).
    [CrossRef]
  10. M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, J. F. Seely, J. C. Rife, and W. R. Hunter, (Naval Research Laboratory, Washington, D.C., 1995).
  11. T. W. Barbee, J. C. Rife, W. R. Hunter, M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, and J. F. Seely, Appl. Opt. 32, 4852 (1993).
    [CrossRef]
  12. J. F. Seely, M. P. Kowalski, W. R. Hunter, J. C. Rife, T. W. Barbee, G. E. Holland, C. N. Boyer, and C. M. Brown, Appl. Opt. 32, 4890 (1993).
    [CrossRef] [PubMed]
  13. M. P. Kowalski, T. W. Barbee, R. G. Cruddace, J. F. Seely, J. C. Rife, and W. R. Hunter, Appl. Opt. 34, 7338 (1995).
    [CrossRef] [PubMed]
  14. J. F. Seely, R. G. Cruddace, M. P. Kowalski, W. R. Hunter, T. W. Barbee, J. C. Rife, R. Eby, and K. G. Stolt, Appl. Opt. 34, 7347 (1995).
    [CrossRef] [PubMed]
  15. M. P. Kowalski, J. C. Seely, R. G. Cruddace, J. C. Rife, C. M. Brown, G. A. Doschek, U. Feldman, T. W. Barbee, W. R. Hunter, G. E. Holland, and C. N. Boyer, Proc. SPIE 1945, 164 (1993).
    [CrossRef]

1996 (1)

U. Kleineberg, H. J. Stock, A. Kloidt, K. Osterried, D. Menke, B. Schmiedeskamp, U. Heinzmann, D. Fuchs, P. Muller, F. Scholze, G. Ulm, K. F. Heidemann, and B. Nelles, J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 80, 389 (1996).
[CrossRef]

1995 (2)

1994 (1)

B. Schmiedeskamp, A. Kloidt, H. J. Stock, U. Kleineberg, T. Dohring, M. Propper, S. Rahn, K. Hilgers, B. Heidemann, T. Tappe, U. Heinzmann, M. K. Krumrey, P. Muller, F. Scholze, and K. F. Heidemann, Opt. Eng. 33, 1314 (1994).
[CrossRef]

1993 (4)

1990 (1)

R. G. Cruddace, T. W. Barbee, J. C. Rife, and W. R. Hunter, Phys. Scr. 41, 396 (1990).
[CrossRef]

1989 (1)

J. C. Rife, H. R. Sadeghi, and W. R. Hunter, Rev. Sci. Instrum. 60, 2064 (1989).
[CrossRef]

1986 (2)

W. R. Hunter and J. C. Rife, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 246, 465 (1986).
[CrossRef]

J. C. Rife, W. R. Hunter, and R. T. Williams, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 246, 252 (1986).
[CrossRef]

1985 (1)

1937 (1)

K. H. Hellwege, Z. Phys. 106, 588 (1937).
[CrossRef]

Barbee, T. W.

Boyer, C. N.

M. P. Kowalski, J. C. Seely, R. G. Cruddace, J. C. Rife, C. M. Brown, G. A. Doschek, U. Feldman, T. W. Barbee, W. R. Hunter, G. E. Holland, and C. N. Boyer, Proc. SPIE 1945, 164 (1993).
[CrossRef]

J. F. Seely, M. P. Kowalski, W. R. Hunter, J. C. Rife, T. W. Barbee, G. E. Holland, C. N. Boyer, and C. M. Brown, Appl. Opt. 32, 4890 (1993).
[CrossRef] [PubMed]

Brown, C. M.

J. F. Seely, M. P. Kowalski, W. R. Hunter, J. C. Rife, T. W. Barbee, G. E. Holland, C. N. Boyer, and C. M. Brown, Appl. Opt. 32, 4890 (1993).
[CrossRef] [PubMed]

M. P. Kowalski, J. C. Seely, R. G. Cruddace, J. C. Rife, C. M. Brown, G. A. Doschek, U. Feldman, T. W. Barbee, W. R. Hunter, G. E. Holland, and C. N. Boyer, Proc. SPIE 1945, 164 (1993).
[CrossRef]

Cruddace, R. G.

M. P. Kowalski, T. W. Barbee, R. G. Cruddace, J. F. Seely, J. C. Rife, and W. R. Hunter, Appl. Opt. 34, 7338 (1995).
[CrossRef] [PubMed]

J. F. Seely, R. G. Cruddace, M. P. Kowalski, W. R. Hunter, T. W. Barbee, J. C. Rife, R. Eby, and K. G. Stolt, Appl. Opt. 34, 7347 (1995).
[CrossRef] [PubMed]

M. P. Kowalski, J. C. Seely, R. G. Cruddace, J. C. Rife, C. M. Brown, G. A. Doschek, U. Feldman, T. W. Barbee, W. R. Hunter, G. E. Holland, and C. N. Boyer, Proc. SPIE 1945, 164 (1993).
[CrossRef]

T. W. Barbee, J. C. Rife, W. R. Hunter, M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, and J. F. Seely, Appl. Opt. 32, 4852 (1993).
[CrossRef]

R. G. Cruddace, T. W. Barbee, J. C. Rife, and W. R. Hunter, Phys. Scr. 41, 396 (1990).
[CrossRef]

M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, J. F. Seely, J. C. Rife, and W. R. Hunter, (Naval Research Laboratory, Washington, D.C., 1995).

Dohring, T.

B. Schmiedeskamp, A. Kloidt, H. J. Stock, U. Kleineberg, T. Dohring, M. Propper, S. Rahn, K. Hilgers, B. Heidemann, T. Tappe, U. Heinzmann, M. K. Krumrey, P. Muller, F. Scholze, and K. F. Heidemann, Opt. Eng. 33, 1314 (1994).
[CrossRef]

Doschek, G. A.

M. P. Kowalski, J. C. Seely, R. G. Cruddace, J. C. Rife, C. M. Brown, G. A. Doschek, U. Feldman, T. W. Barbee, W. R. Hunter, G. E. Holland, and C. N. Boyer, Proc. SPIE 1945, 164 (1993).
[CrossRef]

Eby, R.

Feldman, U.

M. P. Kowalski, J. C. Seely, R. G. Cruddace, J. C. Rife, C. M. Brown, G. A. Doschek, U. Feldman, T. W. Barbee, W. R. Hunter, G. E. Holland, and C. N. Boyer, Proc. SPIE 1945, 164 (1993).
[CrossRef]

Fuchs, D.

U. Kleineberg, H. J. Stock, A. Kloidt, K. Osterried, D. Menke, B. Schmiedeskamp, U. Heinzmann, D. Fuchs, P. Muller, F. Scholze, G. Ulm, K. F. Heidemann, and B. Nelles, J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 80, 389 (1996).
[CrossRef]

Heidemann, B.

B. Schmiedeskamp, A. Kloidt, H. J. Stock, U. Kleineberg, T. Dohring, M. Propper, S. Rahn, K. Hilgers, B. Heidemann, T. Tappe, U. Heinzmann, M. K. Krumrey, P. Muller, F. Scholze, and K. F. Heidemann, Opt. Eng. 33, 1314 (1994).
[CrossRef]

Heidemann, K. F.

U. Kleineberg, H. J. Stock, A. Kloidt, K. Osterried, D. Menke, B. Schmiedeskamp, U. Heinzmann, D. Fuchs, P. Muller, F. Scholze, G. Ulm, K. F. Heidemann, and B. Nelles, J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 80, 389 (1996).
[CrossRef]

B. Schmiedeskamp, A. Kloidt, H. J. Stock, U. Kleineberg, T. Dohring, M. Propper, S. Rahn, K. Hilgers, B. Heidemann, T. Tappe, U. Heinzmann, M. K. Krumrey, P. Muller, F. Scholze, and K. F. Heidemann, Opt. Eng. 33, 1314 (1994).
[CrossRef]

Heinzmann, U.

U. Kleineberg, H. J. Stock, A. Kloidt, K. Osterried, D. Menke, B. Schmiedeskamp, U. Heinzmann, D. Fuchs, P. Muller, F. Scholze, G. Ulm, K. F. Heidemann, and B. Nelles, J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 80, 389 (1996).
[CrossRef]

B. Schmiedeskamp, A. Kloidt, H. J. Stock, U. Kleineberg, T. Dohring, M. Propper, S. Rahn, K. Hilgers, B. Heidemann, T. Tappe, U. Heinzmann, M. K. Krumrey, P. Muller, F. Scholze, and K. F. Heidemann, Opt. Eng. 33, 1314 (1994).
[CrossRef]

Hellwege, K. H.

K. H. Hellwege, Z. Phys. 106, 588 (1937).
[CrossRef]

Hettrick, M. C.

Hilgers, K.

B. Schmiedeskamp, A. Kloidt, H. J. Stock, U. Kleineberg, T. Dohring, M. Propper, S. Rahn, K. Hilgers, B. Heidemann, T. Tappe, U. Heinzmann, M. K. Krumrey, P. Muller, F. Scholze, and K. F. Heidemann, Opt. Eng. 33, 1314 (1994).
[CrossRef]

Holland, G. E.

M. P. Kowalski, J. C. Seely, R. G. Cruddace, J. C. Rife, C. M. Brown, G. A. Doschek, U. Feldman, T. W. Barbee, W. R. Hunter, G. E. Holland, and C. N. Boyer, Proc. SPIE 1945, 164 (1993).
[CrossRef]

J. F. Seely, M. P. Kowalski, W. R. Hunter, J. C. Rife, T. W. Barbee, G. E. Holland, C. N. Boyer, and C. M. Brown, Appl. Opt. 32, 4890 (1993).
[CrossRef] [PubMed]

Hunter, W. R.

M. P. Kowalski, T. W. Barbee, R. G. Cruddace, J. F. Seely, J. C. Rife, and W. R. Hunter, Appl. Opt. 34, 7338 (1995).
[CrossRef] [PubMed]

J. F. Seely, R. G. Cruddace, M. P. Kowalski, W. R. Hunter, T. W. Barbee, J. C. Rife, R. Eby, and K. G. Stolt, Appl. Opt. 34, 7347 (1995).
[CrossRef] [PubMed]

M. P. Kowalski, J. C. Seely, R. G. Cruddace, J. C. Rife, C. M. Brown, G. A. Doschek, U. Feldman, T. W. Barbee, W. R. Hunter, G. E. Holland, and C. N. Boyer, Proc. SPIE 1945, 164 (1993).
[CrossRef]

J. F. Seely, M. P. Kowalski, W. R. Hunter, J. C. Rife, T. W. Barbee, G. E. Holland, C. N. Boyer, and C. M. Brown, Appl. Opt. 32, 4890 (1993).
[CrossRef] [PubMed]

T. W. Barbee, J. C. Rife, W. R. Hunter, M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, and J. F. Seely, Appl. Opt. 32, 4852 (1993).
[CrossRef]

R. G. Cruddace, T. W. Barbee, J. C. Rife, and W. R. Hunter, Phys. Scr. 41, 396 (1990).
[CrossRef]

J. C. Rife, H. R. Sadeghi, and W. R. Hunter, Rev. Sci. Instrum. 60, 2064 (1989).
[CrossRef]

J. C. Rife, W. R. Hunter, and R. T. Williams, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 246, 252 (1986).
[CrossRef]

W. R. Hunter and J. C. Rife, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 246, 465 (1986).
[CrossRef]

M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, J. F. Seely, J. C. Rife, and W. R. Hunter, (Naval Research Laboratory, Washington, D.C., 1995).

Kleineberg, U.

U. Kleineberg, H. J. Stock, A. Kloidt, K. Osterried, D. Menke, B. Schmiedeskamp, U. Heinzmann, D. Fuchs, P. Muller, F. Scholze, G. Ulm, K. F. Heidemann, and B. Nelles, J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 80, 389 (1996).
[CrossRef]

B. Schmiedeskamp, A. Kloidt, H. J. Stock, U. Kleineberg, T. Dohring, M. Propper, S. Rahn, K. Hilgers, B. Heidemann, T. Tappe, U. Heinzmann, M. K. Krumrey, P. Muller, F. Scholze, and K. F. Heidemann, Opt. Eng. 33, 1314 (1994).
[CrossRef]

Kloidt, A.

U. Kleineberg, H. J. Stock, A. Kloidt, K. Osterried, D. Menke, B. Schmiedeskamp, U. Heinzmann, D. Fuchs, P. Muller, F. Scholze, G. Ulm, K. F. Heidemann, and B. Nelles, J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 80, 389 (1996).
[CrossRef]

B. Schmiedeskamp, A. Kloidt, H. J. Stock, U. Kleineberg, T. Dohring, M. Propper, S. Rahn, K. Hilgers, B. Heidemann, T. Tappe, U. Heinzmann, M. K. Krumrey, P. Muller, F. Scholze, and K. F. Heidemann, Opt. Eng. 33, 1314 (1994).
[CrossRef]

Kowalski, M. P.

Krumrey, M. K.

B. Schmiedeskamp, A. Kloidt, H. J. Stock, U. Kleineberg, T. Dohring, M. Propper, S. Rahn, K. Hilgers, B. Heidemann, T. Tappe, U. Heinzmann, M. K. Krumrey, P. Muller, F. Scholze, and K. F. Heidemann, Opt. Eng. 33, 1314 (1994).
[CrossRef]

Menke, D.

U. Kleineberg, H. J. Stock, A. Kloidt, K. Osterried, D. Menke, B. Schmiedeskamp, U. Heinzmann, D. Fuchs, P. Muller, F. Scholze, G. Ulm, K. F. Heidemann, and B. Nelles, J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 80, 389 (1996).
[CrossRef]

Mrowka, S.

Muller, P.

U. Kleineberg, H. J. Stock, A. Kloidt, K. Osterried, D. Menke, B. Schmiedeskamp, U. Heinzmann, D. Fuchs, P. Muller, F. Scholze, G. Ulm, K. F. Heidemann, and B. Nelles, J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 80, 389 (1996).
[CrossRef]

B. Schmiedeskamp, A. Kloidt, H. J. Stock, U. Kleineberg, T. Dohring, M. Propper, S. Rahn, K. Hilgers, B. Heidemann, T. Tappe, U. Heinzmann, M. K. Krumrey, P. Muller, F. Scholze, and K. F. Heidemann, Opt. Eng. 33, 1314 (1994).
[CrossRef]

Nelles, B.

U. Kleineberg, H. J. Stock, A. Kloidt, K. Osterried, D. Menke, B. Schmiedeskamp, U. Heinzmann, D. Fuchs, P. Muller, F. Scholze, G. Ulm, K. F. Heidemann, and B. Nelles, J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 80, 389 (1996).
[CrossRef]

Osterried, K.

U. Kleineberg, H. J. Stock, A. Kloidt, K. Osterried, D. Menke, B. Schmiedeskamp, U. Heinzmann, D. Fuchs, P. Muller, F. Scholze, G. Ulm, K. F. Heidemann, and B. Nelles, J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 80, 389 (1996).
[CrossRef]

Propper, M.

B. Schmiedeskamp, A. Kloidt, H. J. Stock, U. Kleineberg, T. Dohring, M. Propper, S. Rahn, K. Hilgers, B. Heidemann, T. Tappe, U. Heinzmann, M. K. Krumrey, P. Muller, F. Scholze, and K. F. Heidemann, Opt. Eng. 33, 1314 (1994).
[CrossRef]

Rahn, S.

B. Schmiedeskamp, A. Kloidt, H. J. Stock, U. Kleineberg, T. Dohring, M. Propper, S. Rahn, K. Hilgers, B. Heidemann, T. Tappe, U. Heinzmann, M. K. Krumrey, P. Muller, F. Scholze, and K. F. Heidemann, Opt. Eng. 33, 1314 (1994).
[CrossRef]

Rife, J. C.

J. F. Seely, R. G. Cruddace, M. P. Kowalski, W. R. Hunter, T. W. Barbee, J. C. Rife, R. Eby, and K. G. Stolt, Appl. Opt. 34, 7347 (1995).
[CrossRef] [PubMed]

M. P. Kowalski, T. W. Barbee, R. G. Cruddace, J. F. Seely, J. C. Rife, and W. R. Hunter, Appl. Opt. 34, 7338 (1995).
[CrossRef] [PubMed]

T. W. Barbee, J. C. Rife, W. R. Hunter, M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, and J. F. Seely, Appl. Opt. 32, 4852 (1993).
[CrossRef]

J. F. Seely, M. P. Kowalski, W. R. Hunter, J. C. Rife, T. W. Barbee, G. E. Holland, C. N. Boyer, and C. M. Brown, Appl. Opt. 32, 4890 (1993).
[CrossRef] [PubMed]

M. P. Kowalski, J. C. Seely, R. G. Cruddace, J. C. Rife, C. M. Brown, G. A. Doschek, U. Feldman, T. W. Barbee, W. R. Hunter, G. E. Holland, and C. N. Boyer, Proc. SPIE 1945, 164 (1993).
[CrossRef]

R. G. Cruddace, T. W. Barbee, J. C. Rife, and W. R. Hunter, Phys. Scr. 41, 396 (1990).
[CrossRef]

J. C. Rife, H. R. Sadeghi, and W. R. Hunter, Rev. Sci. Instrum. 60, 2064 (1989).
[CrossRef]

W. R. Hunter and J. C. Rife, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 246, 465 (1986).
[CrossRef]

J. C. Rife, W. R. Hunter, and R. T. Williams, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 246, 252 (1986).
[CrossRef]

M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, J. F. Seely, J. C. Rife, and W. R. Hunter, (Naval Research Laboratory, Washington, D.C., 1995).

Rosen, R. S.

Sadeghi, H. R.

J. C. Rife, H. R. Sadeghi, and W. R. Hunter, Rev. Sci. Instrum. 60, 2064 (1989).
[CrossRef]

Schmiedeskamp, B.

U. Kleineberg, H. J. Stock, A. Kloidt, K. Osterried, D. Menke, B. Schmiedeskamp, U. Heinzmann, D. Fuchs, P. Muller, F. Scholze, G. Ulm, K. F. Heidemann, and B. Nelles, J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 80, 389 (1996).
[CrossRef]

B. Schmiedeskamp, A. Kloidt, H. J. Stock, U. Kleineberg, T. Dohring, M. Propper, S. Rahn, K. Hilgers, B. Heidemann, T. Tappe, U. Heinzmann, M. K. Krumrey, P. Muller, F. Scholze, and K. F. Heidemann, Opt. Eng. 33, 1314 (1994).
[CrossRef]

Scholze, F.

U. Kleineberg, H. J. Stock, A. Kloidt, K. Osterried, D. Menke, B. Schmiedeskamp, U. Heinzmann, D. Fuchs, P. Muller, F. Scholze, G. Ulm, K. F. Heidemann, and B. Nelles, J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 80, 389 (1996).
[CrossRef]

B. Schmiedeskamp, A. Kloidt, H. J. Stock, U. Kleineberg, T. Dohring, M. Propper, S. Rahn, K. Hilgers, B. Heidemann, T. Tappe, U. Heinzmann, M. K. Krumrey, P. Muller, F. Scholze, and K. F. Heidemann, Opt. Eng. 33, 1314 (1994).
[CrossRef]

Seely, J. C.

M. P. Kowalski, J. C. Seely, R. G. Cruddace, J. C. Rife, C. M. Brown, G. A. Doschek, U. Feldman, T. W. Barbee, W. R. Hunter, G. E. Holland, and C. N. Boyer, Proc. SPIE 1945, 164 (1993).
[CrossRef]

Seely, J. F.

Stearns, D. G.

Stock, H. J.

U. Kleineberg, H. J. Stock, A. Kloidt, K. Osterried, D. Menke, B. Schmiedeskamp, U. Heinzmann, D. Fuchs, P. Muller, F. Scholze, G. Ulm, K. F. Heidemann, and B. Nelles, J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 80, 389 (1996).
[CrossRef]

B. Schmiedeskamp, A. Kloidt, H. J. Stock, U. Kleineberg, T. Dohring, M. Propper, S. Rahn, K. Hilgers, B. Heidemann, T. Tappe, U. Heinzmann, M. K. Krumrey, P. Muller, F. Scholze, and K. F. Heidemann, Opt. Eng. 33, 1314 (1994).
[CrossRef]

Stolt, K. G.

Tappe, T.

B. Schmiedeskamp, A. Kloidt, H. J. Stock, U. Kleineberg, T. Dohring, M. Propper, S. Rahn, K. Hilgers, B. Heidemann, T. Tappe, U. Heinzmann, M. K. Krumrey, P. Muller, F. Scholze, and K. F. Heidemann, Opt. Eng. 33, 1314 (1994).
[CrossRef]

Ulm, G.

U. Kleineberg, H. J. Stock, A. Kloidt, K. Osterried, D. Menke, B. Schmiedeskamp, U. Heinzmann, D. Fuchs, P. Muller, F. Scholze, G. Ulm, K. F. Heidemann, and B. Nelles, J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 80, 389 (1996).
[CrossRef]

Vernon, S. P.

Williams, R. T.

J. C. Rife, W. R. Hunter, and R. T. Williams, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 246, 252 (1986).
[CrossRef]

Appl. Opt. (6)

J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. (1)

U. Kleineberg, H. J. Stock, A. Kloidt, K. Osterried, D. Menke, B. Schmiedeskamp, U. Heinzmann, D. Fuchs, P. Muller, F. Scholze, G. Ulm, K. F. Heidemann, and B. Nelles, J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 80, 389 (1996).
[CrossRef]

Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A (2)

W. R. Hunter and J. C. Rife, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 246, 465 (1986).
[CrossRef]

J. C. Rife, W. R. Hunter, and R. T. Williams, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 246, 252 (1986).
[CrossRef]

Opt. Eng. (1)

B. Schmiedeskamp, A. Kloidt, H. J. Stock, U. Kleineberg, T. Dohring, M. Propper, S. Rahn, K. Hilgers, B. Heidemann, T. Tappe, U. Heinzmann, M. K. Krumrey, P. Muller, F. Scholze, and K. F. Heidemann, Opt. Eng. 33, 1314 (1994).
[CrossRef]

Phys. Scr. (1)

R. G. Cruddace, T. W. Barbee, J. C. Rife, and W. R. Hunter, Phys. Scr. 41, 396 (1990).
[CrossRef]

Proc. SPIE (1)

M. P. Kowalski, J. C. Seely, R. G. Cruddace, J. C. Rife, C. M. Brown, G. A. Doschek, U. Feldman, T. W. Barbee, W. R. Hunter, G. E. Holland, and C. N. Boyer, Proc. SPIE 1945, 164 (1993).
[CrossRef]

Rev. Sci. Instrum. (1)

J. C. Rife, H. R. Sadeghi, and W. R. Hunter, Rev. Sci. Instrum. 60, 2064 (1989).
[CrossRef]

Z. Phys. (1)

K. H. Hellwege, Z. Phys. 106, 588 (1937).
[CrossRef]

Other (1)

M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, J. F. Seely, J. C. Rife, and W. R. Hunter, (Naval Research Laboratory, Washington, D.C., 1995).

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (2)

Fig. 1
Fig. 1

Efficiency of the Mo/Si multilayer laminar grating measured at an angle of incidence of 10° from normal and for a wavelength of 15.12  nm. The inside orders (m>0) and the outside orders (m<0) are identified. The detector occulted the incident light beam for diffraction angles less than 1°. (a) The linear y-scale plot emphasizes the dominance of the first orders and the high degree of suppression for zero and even orders. (b) The semi-log y scale shows the level of scattered light between the orders.

Fig. 2
Fig. 2

Efficiency in the inside (squares) and outside (triangles) first orders measured at an angle of incidence of 10°. We measured the curves with open data points by fixing the detector at the angle of the peak wavelength for the inside or outside first order, respectively, and then scanning the monochromator in wavelength. We derived the filled data points by fixing the monochromator at a given wavelength and scanning the detector over the orders. Both sets of data are normalized to the direct beam intensity.

Tables (1)

Tables Icon

Table 1 Grating Surface Measurements

Metrics