Abstract

A soft-x-ray optical system based on multilayer mirrors was designed and fabricated for the production of magnified images of micro-objects with a spatial resolution of ~0.2 μm at a wavelength λ ≈ 20 nm. The system consists of a laser-produced plasma source, a condenser mirror, a 20× Schwarzschild objective, a filter set, and a detector. The quality of the x-ray optics and the precision of the system adjustment enabled us to achieve, for the first time to our knowledge, ~0.2-μm resolution using the full aperture (numerical aperture 0.2) of the objective and a single shot of a frequency-doubled Nd laser (pulse energy ~0.5 J, pulse duration ~1.5 ns).

© 1995 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. I. Lovas, W. Santy, E. Spiller, R. Tibbetts, J. Wilczynski, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum Eng. 316, 90 (1981).
  2. J. P. Chauvineau, J. P. Marioge, F. Bridou, G. Tissot, L. Valiergue, B. Bonino, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 733, 301 (1986).
  3. R. B. Hoover, D. L. Shealy, D. R. Gabardi, A. B. C. Walker, F. Lindblom, T. W. Barbee, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 984, 234 (1988).
  4. K. A. Tanaka, M. Kado, R. Kodama, M. Ohtani, S. Kitamoto, T. Yamanaka, K. Yamashita, S. Nakai, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 1140, 502 (1989).
  5. J. Trail, R. Byer, Opt. Lett. 14, 539 (1989).
    [Crossref] [PubMed]
  6. M. Kado, K. A. Tanaka, R. Kodama, T. Yamanaka, S. Nakai, K. Yamashita, M. Ohtani, S. Kitamoto, Opt. Lett. 16, 109 (1991).
    [Crossref] [PubMed]
  7. D. S. DiCicco, D. Kim, R. Rosser, S. Suckewer, Opt. Lett. 17, 157 (1992).
    [Crossref] [PubMed]
  8. S. Masui, S. Mochimaru, N. Watanabe, Y. Horikawa, H. Yamada, H. Kihara, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 1741, 94 (1992).
  9. I. A. Artyukov, A. I. Fedorenko, V. V. Kondratenko, S. A. Yulin, A. V. Vinogradov, Opt. Commun. 102, 401 (1993).
    [Crossref]
  10. J. F. Seeley, J. E. Holland, J. V. Giasson, Appl. Opt. 32, 6294 (1993).
    [Crossref]
  11. K. Murakami, T. Oshino, H. Nakamura, M. Ohtani, H. Nagata, Appl. Opt. 32, 7057 (1993).
    [Crossref] [PubMed]
  12. F. Cerrina, G. Margaritondo, J. H. Underwood, M. Hettrick, M. A. Green, L. J. Brillson, A. Franciosi, H. Hochst, P. M. Deluca, M. N. Gould, Nucl. Instrum. Methods A 266, 303 (1988).
    [Crossref]
  13. G. D. Kubiak, D. A. Tichenor, M. E. Malinowski, R. H. Stulen, S. J. Haney, K. W. Berger, L. A. Brown, J. E. Bjorkholm, R. R. Freeman, W. M. Mansfield, D. M. Tennant, O. R. Wood, J. Boker, T. E. Jewell, D. J. Windt, W. K. Waskiewicz, J. Vac. Sci. Technol. B 9, 3184 (1991).
    [Crossref]
  14. A. V. Vinogradov, I. V. Kozhevnikov, V. E. Levashov, S. I. Sagitov, V. A. Chirkov, V. V. Kondratenko, I. F. Michailov, A. I. Fedorenko, I. I. Lyakhovskaya, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 1140, 530 (1989).
  15. I. A. Artioukov, V. E. Asadchikov, A. V. Vinogradov, Yu. S. Kas’yanov, V. V. Kondratenko, R. V. Serov, A. I. Fedoenko, S. A. Yulin, Kvantovaya Elektron. 9, 7 (1995).

1995 (1)

I. A. Artioukov, V. E. Asadchikov, A. V. Vinogradov, Yu. S. Kas’yanov, V. V. Kondratenko, R. V. Serov, A. I. Fedoenko, S. A. Yulin, Kvantovaya Elektron. 9, 7 (1995).

1993 (3)

1992 (2)

D. S. DiCicco, D. Kim, R. Rosser, S. Suckewer, Opt. Lett. 17, 157 (1992).
[Crossref] [PubMed]

S. Masui, S. Mochimaru, N. Watanabe, Y. Horikawa, H. Yamada, H. Kihara, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 1741, 94 (1992).

1991 (2)

M. Kado, K. A. Tanaka, R. Kodama, T. Yamanaka, S. Nakai, K. Yamashita, M. Ohtani, S. Kitamoto, Opt. Lett. 16, 109 (1991).
[Crossref] [PubMed]

G. D. Kubiak, D. A. Tichenor, M. E. Malinowski, R. H. Stulen, S. J. Haney, K. W. Berger, L. A. Brown, J. E. Bjorkholm, R. R. Freeman, W. M. Mansfield, D. M. Tennant, O. R. Wood, J. Boker, T. E. Jewell, D. J. Windt, W. K. Waskiewicz, J. Vac. Sci. Technol. B 9, 3184 (1991).
[Crossref]

1989 (3)

A. V. Vinogradov, I. V. Kozhevnikov, V. E. Levashov, S. I. Sagitov, V. A. Chirkov, V. V. Kondratenko, I. F. Michailov, A. I. Fedorenko, I. I. Lyakhovskaya, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 1140, 530 (1989).

K. A. Tanaka, M. Kado, R. Kodama, M. Ohtani, S. Kitamoto, T. Yamanaka, K. Yamashita, S. Nakai, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 1140, 502 (1989).

J. Trail, R. Byer, Opt. Lett. 14, 539 (1989).
[Crossref] [PubMed]

1988 (2)

R. B. Hoover, D. L. Shealy, D. R. Gabardi, A. B. C. Walker, F. Lindblom, T. W. Barbee, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 984, 234 (1988).

F. Cerrina, G. Margaritondo, J. H. Underwood, M. Hettrick, M. A. Green, L. J. Brillson, A. Franciosi, H. Hochst, P. M. Deluca, M. N. Gould, Nucl. Instrum. Methods A 266, 303 (1988).
[Crossref]

1986 (1)

J. P. Chauvineau, J. P. Marioge, F. Bridou, G. Tissot, L. Valiergue, B. Bonino, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 733, 301 (1986).

1981 (1)

I. Lovas, W. Santy, E. Spiller, R. Tibbetts, J. Wilczynski, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum Eng. 316, 90 (1981).

Artioukov, I. A.

I. A. Artioukov, V. E. Asadchikov, A. V. Vinogradov, Yu. S. Kas’yanov, V. V. Kondratenko, R. V. Serov, A. I. Fedoenko, S. A. Yulin, Kvantovaya Elektron. 9, 7 (1995).

Artyukov, I. A.

I. A. Artyukov, A. I. Fedorenko, V. V. Kondratenko, S. A. Yulin, A. V. Vinogradov, Opt. Commun. 102, 401 (1993).
[Crossref]

Asadchikov, V. E.

I. A. Artioukov, V. E. Asadchikov, A. V. Vinogradov, Yu. S. Kas’yanov, V. V. Kondratenko, R. V. Serov, A. I. Fedoenko, S. A. Yulin, Kvantovaya Elektron. 9, 7 (1995).

Barbee, T. W.

R. B. Hoover, D. L. Shealy, D. R. Gabardi, A. B. C. Walker, F. Lindblom, T. W. Barbee, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 984, 234 (1988).

Berger, K. W.

G. D. Kubiak, D. A. Tichenor, M. E. Malinowski, R. H. Stulen, S. J. Haney, K. W. Berger, L. A. Brown, J. E. Bjorkholm, R. R. Freeman, W. M. Mansfield, D. M. Tennant, O. R. Wood, J. Boker, T. E. Jewell, D. J. Windt, W. K. Waskiewicz, J. Vac. Sci. Technol. B 9, 3184 (1991).
[Crossref]

Bjorkholm, J. E.

G. D. Kubiak, D. A. Tichenor, M. E. Malinowski, R. H. Stulen, S. J. Haney, K. W. Berger, L. A. Brown, J. E. Bjorkholm, R. R. Freeman, W. M. Mansfield, D. M. Tennant, O. R. Wood, J. Boker, T. E. Jewell, D. J. Windt, W. K. Waskiewicz, J. Vac. Sci. Technol. B 9, 3184 (1991).
[Crossref]

Boker, J.

G. D. Kubiak, D. A. Tichenor, M. E. Malinowski, R. H. Stulen, S. J. Haney, K. W. Berger, L. A. Brown, J. E. Bjorkholm, R. R. Freeman, W. M. Mansfield, D. M. Tennant, O. R. Wood, J. Boker, T. E. Jewell, D. J. Windt, W. K. Waskiewicz, J. Vac. Sci. Technol. B 9, 3184 (1991).
[Crossref]

Bonino, B.

J. P. Chauvineau, J. P. Marioge, F. Bridou, G. Tissot, L. Valiergue, B. Bonino, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 733, 301 (1986).

Bridou, F.

J. P. Chauvineau, J. P. Marioge, F. Bridou, G. Tissot, L. Valiergue, B. Bonino, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 733, 301 (1986).

Brillson, L. J.

F. Cerrina, G. Margaritondo, J. H. Underwood, M. Hettrick, M. A. Green, L. J. Brillson, A. Franciosi, H. Hochst, P. M. Deluca, M. N. Gould, Nucl. Instrum. Methods A 266, 303 (1988).
[Crossref]

Brown, L. A.

G. D. Kubiak, D. A. Tichenor, M. E. Malinowski, R. H. Stulen, S. J. Haney, K. W. Berger, L. A. Brown, J. E. Bjorkholm, R. R. Freeman, W. M. Mansfield, D. M. Tennant, O. R. Wood, J. Boker, T. E. Jewell, D. J. Windt, W. K. Waskiewicz, J. Vac. Sci. Technol. B 9, 3184 (1991).
[Crossref]

Byer, R.

Cerrina, F.

F. Cerrina, G. Margaritondo, J. H. Underwood, M. Hettrick, M. A. Green, L. J. Brillson, A. Franciosi, H. Hochst, P. M. Deluca, M. N. Gould, Nucl. Instrum. Methods A 266, 303 (1988).
[Crossref]

Chauvineau, J. P.

J. P. Chauvineau, J. P. Marioge, F. Bridou, G. Tissot, L. Valiergue, B. Bonino, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 733, 301 (1986).

Chirkov, V. A.

A. V. Vinogradov, I. V. Kozhevnikov, V. E. Levashov, S. I. Sagitov, V. A. Chirkov, V. V. Kondratenko, I. F. Michailov, A. I. Fedorenko, I. I. Lyakhovskaya, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 1140, 530 (1989).

Deluca, P. M.

F. Cerrina, G. Margaritondo, J. H. Underwood, M. Hettrick, M. A. Green, L. J. Brillson, A. Franciosi, H. Hochst, P. M. Deluca, M. N. Gould, Nucl. Instrum. Methods A 266, 303 (1988).
[Crossref]

DiCicco, D. S.

Fedoenko, A. I.

I. A. Artioukov, V. E. Asadchikov, A. V. Vinogradov, Yu. S. Kas’yanov, V. V. Kondratenko, R. V. Serov, A. I. Fedoenko, S. A. Yulin, Kvantovaya Elektron. 9, 7 (1995).

Fedorenko, A. I.

I. A. Artyukov, A. I. Fedorenko, V. V. Kondratenko, S. A. Yulin, A. V. Vinogradov, Opt. Commun. 102, 401 (1993).
[Crossref]

A. V. Vinogradov, I. V. Kozhevnikov, V. E. Levashov, S. I. Sagitov, V. A. Chirkov, V. V. Kondratenko, I. F. Michailov, A. I. Fedorenko, I. I. Lyakhovskaya, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 1140, 530 (1989).

Franciosi, A.

F. Cerrina, G. Margaritondo, J. H. Underwood, M. Hettrick, M. A. Green, L. J. Brillson, A. Franciosi, H. Hochst, P. M. Deluca, M. N. Gould, Nucl. Instrum. Methods A 266, 303 (1988).
[Crossref]

Freeman, R. R.

G. D. Kubiak, D. A. Tichenor, M. E. Malinowski, R. H. Stulen, S. J. Haney, K. W. Berger, L. A. Brown, J. E. Bjorkholm, R. R. Freeman, W. M. Mansfield, D. M. Tennant, O. R. Wood, J. Boker, T. E. Jewell, D. J. Windt, W. K. Waskiewicz, J. Vac. Sci. Technol. B 9, 3184 (1991).
[Crossref]

Gabardi, D. R.

R. B. Hoover, D. L. Shealy, D. R. Gabardi, A. B. C. Walker, F. Lindblom, T. W. Barbee, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 984, 234 (1988).

Giasson, J. V.

Gould, M. N.

F. Cerrina, G. Margaritondo, J. H. Underwood, M. Hettrick, M. A. Green, L. J. Brillson, A. Franciosi, H. Hochst, P. M. Deluca, M. N. Gould, Nucl. Instrum. Methods A 266, 303 (1988).
[Crossref]

Green, M. A.

F. Cerrina, G. Margaritondo, J. H. Underwood, M. Hettrick, M. A. Green, L. J. Brillson, A. Franciosi, H. Hochst, P. M. Deluca, M. N. Gould, Nucl. Instrum. Methods A 266, 303 (1988).
[Crossref]

Haney, S. J.

G. D. Kubiak, D. A. Tichenor, M. E. Malinowski, R. H. Stulen, S. J. Haney, K. W. Berger, L. A. Brown, J. E. Bjorkholm, R. R. Freeman, W. M. Mansfield, D. M. Tennant, O. R. Wood, J. Boker, T. E. Jewell, D. J. Windt, W. K. Waskiewicz, J. Vac. Sci. Technol. B 9, 3184 (1991).
[Crossref]

Hettrick, M.

F. Cerrina, G. Margaritondo, J. H. Underwood, M. Hettrick, M. A. Green, L. J. Brillson, A. Franciosi, H. Hochst, P. M. Deluca, M. N. Gould, Nucl. Instrum. Methods A 266, 303 (1988).
[Crossref]

Hochst, H.

F. Cerrina, G. Margaritondo, J. H. Underwood, M. Hettrick, M. A. Green, L. J. Brillson, A. Franciosi, H. Hochst, P. M. Deluca, M. N. Gould, Nucl. Instrum. Methods A 266, 303 (1988).
[Crossref]

Holland, J. E.

Hoover, R. B.

R. B. Hoover, D. L. Shealy, D. R. Gabardi, A. B. C. Walker, F. Lindblom, T. W. Barbee, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 984, 234 (1988).

Horikawa, Y.

S. Masui, S. Mochimaru, N. Watanabe, Y. Horikawa, H. Yamada, H. Kihara, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 1741, 94 (1992).

Jewell, T. E.

G. D. Kubiak, D. A. Tichenor, M. E. Malinowski, R. H. Stulen, S. J. Haney, K. W. Berger, L. A. Brown, J. E. Bjorkholm, R. R. Freeman, W. M. Mansfield, D. M. Tennant, O. R. Wood, J. Boker, T. E. Jewell, D. J. Windt, W. K. Waskiewicz, J. Vac. Sci. Technol. B 9, 3184 (1991).
[Crossref]

Kado, M.

M. Kado, K. A. Tanaka, R. Kodama, T. Yamanaka, S. Nakai, K. Yamashita, M. Ohtani, S. Kitamoto, Opt. Lett. 16, 109 (1991).
[Crossref] [PubMed]

K. A. Tanaka, M. Kado, R. Kodama, M. Ohtani, S. Kitamoto, T. Yamanaka, K. Yamashita, S. Nakai, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 1140, 502 (1989).

Kas’yanov, Yu. S.

I. A. Artioukov, V. E. Asadchikov, A. V. Vinogradov, Yu. S. Kas’yanov, V. V. Kondratenko, R. V. Serov, A. I. Fedoenko, S. A. Yulin, Kvantovaya Elektron. 9, 7 (1995).

Kihara, H.

S. Masui, S. Mochimaru, N. Watanabe, Y. Horikawa, H. Yamada, H. Kihara, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 1741, 94 (1992).

Kim, D.

Kitamoto, S.

M. Kado, K. A. Tanaka, R. Kodama, T. Yamanaka, S. Nakai, K. Yamashita, M. Ohtani, S. Kitamoto, Opt. Lett. 16, 109 (1991).
[Crossref] [PubMed]

K. A. Tanaka, M. Kado, R. Kodama, M. Ohtani, S. Kitamoto, T. Yamanaka, K. Yamashita, S. Nakai, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 1140, 502 (1989).

Kodama, R.

M. Kado, K. A. Tanaka, R. Kodama, T. Yamanaka, S. Nakai, K. Yamashita, M. Ohtani, S. Kitamoto, Opt. Lett. 16, 109 (1991).
[Crossref] [PubMed]

K. A. Tanaka, M. Kado, R. Kodama, M. Ohtani, S. Kitamoto, T. Yamanaka, K. Yamashita, S. Nakai, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 1140, 502 (1989).

Kondratenko, V. V.

I. A. Artioukov, V. E. Asadchikov, A. V. Vinogradov, Yu. S. Kas’yanov, V. V. Kondratenko, R. V. Serov, A. I. Fedoenko, S. A. Yulin, Kvantovaya Elektron. 9, 7 (1995).

I. A. Artyukov, A. I. Fedorenko, V. V. Kondratenko, S. A. Yulin, A. V. Vinogradov, Opt. Commun. 102, 401 (1993).
[Crossref]

A. V. Vinogradov, I. V. Kozhevnikov, V. E. Levashov, S. I. Sagitov, V. A. Chirkov, V. V. Kondratenko, I. F. Michailov, A. I. Fedorenko, I. I. Lyakhovskaya, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 1140, 530 (1989).

Kozhevnikov, I. V.

A. V. Vinogradov, I. V. Kozhevnikov, V. E. Levashov, S. I. Sagitov, V. A. Chirkov, V. V. Kondratenko, I. F. Michailov, A. I. Fedorenko, I. I. Lyakhovskaya, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 1140, 530 (1989).

Kubiak, G. D.

G. D. Kubiak, D. A. Tichenor, M. E. Malinowski, R. H. Stulen, S. J. Haney, K. W. Berger, L. A. Brown, J. E. Bjorkholm, R. R. Freeman, W. M. Mansfield, D. M. Tennant, O. R. Wood, J. Boker, T. E. Jewell, D. J. Windt, W. K. Waskiewicz, J. Vac. Sci. Technol. B 9, 3184 (1991).
[Crossref]

Levashov, V. E.

A. V. Vinogradov, I. V. Kozhevnikov, V. E. Levashov, S. I. Sagitov, V. A. Chirkov, V. V. Kondratenko, I. F. Michailov, A. I. Fedorenko, I. I. Lyakhovskaya, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 1140, 530 (1989).

Lindblom, F.

R. B. Hoover, D. L. Shealy, D. R. Gabardi, A. B. C. Walker, F. Lindblom, T. W. Barbee, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 984, 234 (1988).

Lovas, I.

I. Lovas, W. Santy, E. Spiller, R. Tibbetts, J. Wilczynski, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum Eng. 316, 90 (1981).

Lyakhovskaya, I. I.

A. V. Vinogradov, I. V. Kozhevnikov, V. E. Levashov, S. I. Sagitov, V. A. Chirkov, V. V. Kondratenko, I. F. Michailov, A. I. Fedorenko, I. I. Lyakhovskaya, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 1140, 530 (1989).

Malinowski, M. E.

G. D. Kubiak, D. A. Tichenor, M. E. Malinowski, R. H. Stulen, S. J. Haney, K. W. Berger, L. A. Brown, J. E. Bjorkholm, R. R. Freeman, W. M. Mansfield, D. M. Tennant, O. R. Wood, J. Boker, T. E. Jewell, D. J. Windt, W. K. Waskiewicz, J. Vac. Sci. Technol. B 9, 3184 (1991).
[Crossref]

Mansfield, W. M.

G. D. Kubiak, D. A. Tichenor, M. E. Malinowski, R. H. Stulen, S. J. Haney, K. W. Berger, L. A. Brown, J. E. Bjorkholm, R. R. Freeman, W. M. Mansfield, D. M. Tennant, O. R. Wood, J. Boker, T. E. Jewell, D. J. Windt, W. K. Waskiewicz, J. Vac. Sci. Technol. B 9, 3184 (1991).
[Crossref]

Margaritondo, G.

F. Cerrina, G. Margaritondo, J. H. Underwood, M. Hettrick, M. A. Green, L. J. Brillson, A. Franciosi, H. Hochst, P. M. Deluca, M. N. Gould, Nucl. Instrum. Methods A 266, 303 (1988).
[Crossref]

Marioge, J. P.

J. P. Chauvineau, J. P. Marioge, F. Bridou, G. Tissot, L. Valiergue, B. Bonino, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 733, 301 (1986).

Masui, S.

S. Masui, S. Mochimaru, N. Watanabe, Y. Horikawa, H. Yamada, H. Kihara, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 1741, 94 (1992).

Michailov, I. F.

A. V. Vinogradov, I. V. Kozhevnikov, V. E. Levashov, S. I. Sagitov, V. A. Chirkov, V. V. Kondratenko, I. F. Michailov, A. I. Fedorenko, I. I. Lyakhovskaya, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 1140, 530 (1989).

Mochimaru, S.

S. Masui, S. Mochimaru, N. Watanabe, Y. Horikawa, H. Yamada, H. Kihara, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 1741, 94 (1992).

Murakami, K.

Nagata, H.

Nakai, S.

M. Kado, K. A. Tanaka, R. Kodama, T. Yamanaka, S. Nakai, K. Yamashita, M. Ohtani, S. Kitamoto, Opt. Lett. 16, 109 (1991).
[Crossref] [PubMed]

K. A. Tanaka, M. Kado, R. Kodama, M. Ohtani, S. Kitamoto, T. Yamanaka, K. Yamashita, S. Nakai, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 1140, 502 (1989).

Nakamura, H.

Ohtani, M.

Oshino, T.

Rosser, R.

Sagitov, S. I.

A. V. Vinogradov, I. V. Kozhevnikov, V. E. Levashov, S. I. Sagitov, V. A. Chirkov, V. V. Kondratenko, I. F. Michailov, A. I. Fedorenko, I. I. Lyakhovskaya, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 1140, 530 (1989).

Santy, W.

I. Lovas, W. Santy, E. Spiller, R. Tibbetts, J. Wilczynski, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum Eng. 316, 90 (1981).

Seeley, J. F.

Serov, R. V.

I. A. Artioukov, V. E. Asadchikov, A. V. Vinogradov, Yu. S. Kas’yanov, V. V. Kondratenko, R. V. Serov, A. I. Fedoenko, S. A. Yulin, Kvantovaya Elektron. 9, 7 (1995).

Shealy, D. L.

R. B. Hoover, D. L. Shealy, D. R. Gabardi, A. B. C. Walker, F. Lindblom, T. W. Barbee, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 984, 234 (1988).

Spiller, E.

I. Lovas, W. Santy, E. Spiller, R. Tibbetts, J. Wilczynski, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum Eng. 316, 90 (1981).

Stulen, R. H.

G. D. Kubiak, D. A. Tichenor, M. E. Malinowski, R. H. Stulen, S. J. Haney, K. W. Berger, L. A. Brown, J. E. Bjorkholm, R. R. Freeman, W. M. Mansfield, D. M. Tennant, O. R. Wood, J. Boker, T. E. Jewell, D. J. Windt, W. K. Waskiewicz, J. Vac. Sci. Technol. B 9, 3184 (1991).
[Crossref]

Suckewer, S.

Tanaka, K. A.

M. Kado, K. A. Tanaka, R. Kodama, T. Yamanaka, S. Nakai, K. Yamashita, M. Ohtani, S. Kitamoto, Opt. Lett. 16, 109 (1991).
[Crossref] [PubMed]

K. A. Tanaka, M. Kado, R. Kodama, M. Ohtani, S. Kitamoto, T. Yamanaka, K. Yamashita, S. Nakai, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 1140, 502 (1989).

Tennant, D. M.

G. D. Kubiak, D. A. Tichenor, M. E. Malinowski, R. H. Stulen, S. J. Haney, K. W. Berger, L. A. Brown, J. E. Bjorkholm, R. R. Freeman, W. M. Mansfield, D. M. Tennant, O. R. Wood, J. Boker, T. E. Jewell, D. J. Windt, W. K. Waskiewicz, J. Vac. Sci. Technol. B 9, 3184 (1991).
[Crossref]

Tibbetts, R.

I. Lovas, W. Santy, E. Spiller, R. Tibbetts, J. Wilczynski, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum Eng. 316, 90 (1981).

Tichenor, D. A.

G. D. Kubiak, D. A. Tichenor, M. E. Malinowski, R. H. Stulen, S. J. Haney, K. W. Berger, L. A. Brown, J. E. Bjorkholm, R. R. Freeman, W. M. Mansfield, D. M. Tennant, O. R. Wood, J. Boker, T. E. Jewell, D. J. Windt, W. K. Waskiewicz, J. Vac. Sci. Technol. B 9, 3184 (1991).
[Crossref]

Tissot, G.

J. P. Chauvineau, J. P. Marioge, F. Bridou, G. Tissot, L. Valiergue, B. Bonino, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 733, 301 (1986).

Trail, J.

Underwood, J. H.

F. Cerrina, G. Margaritondo, J. H. Underwood, M. Hettrick, M. A. Green, L. J. Brillson, A. Franciosi, H. Hochst, P. M. Deluca, M. N. Gould, Nucl. Instrum. Methods A 266, 303 (1988).
[Crossref]

Valiergue, L.

J. P. Chauvineau, J. P. Marioge, F. Bridou, G. Tissot, L. Valiergue, B. Bonino, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 733, 301 (1986).

Vinogradov, A. V.

I. A. Artioukov, V. E. Asadchikov, A. V. Vinogradov, Yu. S. Kas’yanov, V. V. Kondratenko, R. V. Serov, A. I. Fedoenko, S. A. Yulin, Kvantovaya Elektron. 9, 7 (1995).

I. A. Artyukov, A. I. Fedorenko, V. V. Kondratenko, S. A. Yulin, A. V. Vinogradov, Opt. Commun. 102, 401 (1993).
[Crossref]

A. V. Vinogradov, I. V. Kozhevnikov, V. E. Levashov, S. I. Sagitov, V. A. Chirkov, V. V. Kondratenko, I. F. Michailov, A. I. Fedorenko, I. I. Lyakhovskaya, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 1140, 530 (1989).

Walker, A. B. C.

R. B. Hoover, D. L. Shealy, D. R. Gabardi, A. B. C. Walker, F. Lindblom, T. W. Barbee, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 984, 234 (1988).

Waskiewicz, W. K.

G. D. Kubiak, D. A. Tichenor, M. E. Malinowski, R. H. Stulen, S. J. Haney, K. W. Berger, L. A. Brown, J. E. Bjorkholm, R. R. Freeman, W. M. Mansfield, D. M. Tennant, O. R. Wood, J. Boker, T. E. Jewell, D. J. Windt, W. K. Waskiewicz, J. Vac. Sci. Technol. B 9, 3184 (1991).
[Crossref]

Watanabe, N.

S. Masui, S. Mochimaru, N. Watanabe, Y. Horikawa, H. Yamada, H. Kihara, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 1741, 94 (1992).

Wilczynski, J.

I. Lovas, W. Santy, E. Spiller, R. Tibbetts, J. Wilczynski, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum Eng. 316, 90 (1981).

Windt, D. J.

G. D. Kubiak, D. A. Tichenor, M. E. Malinowski, R. H. Stulen, S. J. Haney, K. W. Berger, L. A. Brown, J. E. Bjorkholm, R. R. Freeman, W. M. Mansfield, D. M. Tennant, O. R. Wood, J. Boker, T. E. Jewell, D. J. Windt, W. K. Waskiewicz, J. Vac. Sci. Technol. B 9, 3184 (1991).
[Crossref]

Wood, O. R.

G. D. Kubiak, D. A. Tichenor, M. E. Malinowski, R. H. Stulen, S. J. Haney, K. W. Berger, L. A. Brown, J. E. Bjorkholm, R. R. Freeman, W. M. Mansfield, D. M. Tennant, O. R. Wood, J. Boker, T. E. Jewell, D. J. Windt, W. K. Waskiewicz, J. Vac. Sci. Technol. B 9, 3184 (1991).
[Crossref]

Yamada, H.

S. Masui, S. Mochimaru, N. Watanabe, Y. Horikawa, H. Yamada, H. Kihara, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 1741, 94 (1992).

Yamanaka, T.

M. Kado, K. A. Tanaka, R. Kodama, T. Yamanaka, S. Nakai, K. Yamashita, M. Ohtani, S. Kitamoto, Opt. Lett. 16, 109 (1991).
[Crossref] [PubMed]

K. A. Tanaka, M. Kado, R. Kodama, M. Ohtani, S. Kitamoto, T. Yamanaka, K. Yamashita, S. Nakai, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 1140, 502 (1989).

Yamashita, K.

M. Kado, K. A. Tanaka, R. Kodama, T. Yamanaka, S. Nakai, K. Yamashita, M. Ohtani, S. Kitamoto, Opt. Lett. 16, 109 (1991).
[Crossref] [PubMed]

K. A. Tanaka, M. Kado, R. Kodama, M. Ohtani, S. Kitamoto, T. Yamanaka, K. Yamashita, S. Nakai, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 1140, 502 (1989).

Yulin, S. A.

I. A. Artioukov, V. E. Asadchikov, A. V. Vinogradov, Yu. S. Kas’yanov, V. V. Kondratenko, R. V. Serov, A. I. Fedoenko, S. A. Yulin, Kvantovaya Elektron. 9, 7 (1995).

I. A. Artyukov, A. I. Fedorenko, V. V. Kondratenko, S. A. Yulin, A. V. Vinogradov, Opt. Commun. 102, 401 (1993).
[Crossref]

Appl. Opt. (2)

J. Vac. Sci. Technol. B (1)

G. D. Kubiak, D. A. Tichenor, M. E. Malinowski, R. H. Stulen, S. J. Haney, K. W. Berger, L. A. Brown, J. E. Bjorkholm, R. R. Freeman, W. M. Mansfield, D. M. Tennant, O. R. Wood, J. Boker, T. E. Jewell, D. J. Windt, W. K. Waskiewicz, J. Vac. Sci. Technol. B 9, 3184 (1991).
[Crossref]

Kvantovaya Elektron. (1)

I. A. Artioukov, V. E. Asadchikov, A. V. Vinogradov, Yu. S. Kas’yanov, V. V. Kondratenko, R. V. Serov, A. I. Fedoenko, S. A. Yulin, Kvantovaya Elektron. 9, 7 (1995).

Nucl. Instrum. Methods A (1)

F. Cerrina, G. Margaritondo, J. H. Underwood, M. Hettrick, M. A. Green, L. J. Brillson, A. Franciosi, H. Hochst, P. M. Deluca, M. N. Gould, Nucl. Instrum. Methods A 266, 303 (1988).
[Crossref]

Opt. Commun. (1)

I. A. Artyukov, A. I. Fedorenko, V. V. Kondratenko, S. A. Yulin, A. V. Vinogradov, Opt. Commun. 102, 401 (1993).
[Crossref]

Opt. Lett. (3)

Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum Eng. (1)

I. Lovas, W. Santy, E. Spiller, R. Tibbetts, J. Wilczynski, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum Eng. 316, 90 (1981).

Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. (5)

J. P. Chauvineau, J. P. Marioge, F. Bridou, G. Tissot, L. Valiergue, B. Bonino, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 733, 301 (1986).

R. B. Hoover, D. L. Shealy, D. R. Gabardi, A. B. C. Walker, F. Lindblom, T. W. Barbee, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 984, 234 (1988).

K. A. Tanaka, M. Kado, R. Kodama, M. Ohtani, S. Kitamoto, T. Yamanaka, K. Yamashita, S. Nakai, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 1140, 502 (1989).

S. Masui, S. Mochimaru, N. Watanabe, Y. Horikawa, H. Yamada, H. Kihara, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 1741, 94 (1992).

A. V. Vinogradov, I. V. Kozhevnikov, V. E. Levashov, S. I. Sagitov, V. A. Chirkov, V. V. Kondratenko, I. F. Michailov, A. I. Fedorenko, I. I. Lyakhovskaya, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 1140, 530 (1989).

Cited By

OSA participates in Crossref's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (3)

Fig. 1
Fig. 1

Soft-x-ray microscope: 1, Re target; 2, laser-plasma x-ray source; 3, condenser mirror; 4, Al filters of thicknesses 0.4–0.5 μm; 5, test object; 6, film UF-4; 7, Schwarzschild objective; L, focusing objective.

Fig. 2
Fig. 2

Soft-x-ray images of Au gratings: (a) a grating with period 1.4 μm, (b) a grating with period 0.2 μm. To produce Fig. 3(b) the image was computer processed in order to decrease distortions caused by film imperfections.

Fig. 3
Fig. 3

Images of the same Au gratings as in Fig. 2 but produced by the scanning electron microscope: the grating periods are (a) 1.4 μm and (b) 0.2 μm.

Tables (1)

Tables Icon

Table 1 Main Parameters of the Schwarzschild Objective Used

Metrics