Abstract

We report the first demonstration of a cavity optoelectromechanical system integrated monolithically with a high-efficiency germanium photodetector on a CMOS-compatible platform. Mechanical resonances are recorded from 0.177 to 2.003 GHz with quality factor up to 4810. These monolithically integrated devices have paved the way for a new category of on-chip optoelectronic components that take the advantage of the resonant properties of the mechanical element and enables new applications such as ultracompact microwave oscillators, optomechanical sensors, and phase shifters.

© 2014 Optical Society of America

PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. X. M. H. Huang, C. A. Zorman, M. Mehregany, and M. L. Roukes, Nature 421, 496 (2003).
    [CrossRef]
  2. P. A. Truitt, J. B. Hertzberg, C. C. Huang, K. L. Ekinci, and K. C. Schwab, Nano Lett. 7, 120 (2007).
  3. M. Li, W. H. P. Pernice, and H. X. Tang, Appl. Phys. Lett. 97, 183110 (2010).
    [CrossRef]
  4. X. K. Sun, X. F. Zhang, and H. X. Tang, Appl. Phys. Lett. 100, 173116 (2012).
    [CrossRef]
  5. W. C. Jiang, X. Y. Lu, J. D. Zhang, and Q. Lin, Opt. Express 20, 15991 (2012).
    [CrossRef]
  6. X. K. Sun, J. J. Zheng, M. Poot, C. W. Wong, and H. X. Tang, Nano Lett. 12, 2299 (2012).
  7. J. Chan, A. H. Safavi-Naeini, J. T. Hill, S. Meenehan, and O. Painter, Appl. Phys. Lett. 101, 081115 (2012).
    [CrossRef]
  8. X. K. Sun, X. F. Zhang, M. Poot, C. Xiong, and H. X. Tang, Appl. Phys. Lett. 101, 221116 (2012).
    [CrossRef]
  9. V. T. K. Sauer, Z. Diao, M. R. Freeman, and W. K. Hiebert, Appl. Phys. Lett. 100, 261102 (2012).
    [CrossRef]
  10. P. H. Kim, C. Doolin, B. D. Hauer, A. J. R. MacDonald, M. R. Freeman, P. E. Barclay, and J. P. Davis, Appl. Phys. Lett. 102, 053102 (2013).
    [CrossRef]
  11. K. Y. Fong, W. H. P. Pernice, M. Li, and H. X. Tang, Appl. Phys. Lett. 97, 073112 (2010).
    [CrossRef]
  12. D. Kleckner, B. Pepper, E. Jeffrey, P. Sonin, S. M. Thon, and D. Bouwmeester, Opt. Express 19, 19708 (2011).
    [CrossRef]
  13. S. Tallur, S. Sridaran, and S. A. Bhave, Opt. Express 19, 24522 (2011).
    [CrossRef]
  14. T. P. Purdy, R. W. Peterson, P. L. Yu, and C. A. Regal, New J. Phys. 14, 115021 (2012).
    [CrossRef]
  15. Y. Liu, M. Davanco, V. Aksyuk, and K. Srinivasan, Phys. Rev. Lett. 110, 223603 (2013).
    [CrossRef]
  16. C. Xiong, X. K. Sun, K. Y. Fong, and H. X. Tang, Appl. Phys. Lett. 100, 171111 (2012).
    [CrossRef]
  17. L. Ding, C. Baker, P. Senellart, A. Lemaitre, S. Ducci, G. Leo, and I. Favero, Appl. Phys. Lett. 98, 113108 (2011).
    [CrossRef]
  18. M. Mitchell, A. C. Hryciw, and P. E. Barclay, “Cavity optomechanics in gallium phosphide microdisks,” arXiv:1309.6300 (2013).
  19. P. Rath, S. Khasminskaya, C. Nebel, C. Wild, and W. H. P. Pernice, Nat. Commun. 4, 1690 (2013).
    [CrossRef]
  20. S. Liao, N.-N. Feng, D. Feng, P. Dong, R. Shafiiha, C.-C. Kung, H. Liang, W. Qian, Y. Liu, J. Fong, J. E. Cunningham, Y. Luo, and M. Asghari, Opt. Express 19, 10967 (2011).
    [CrossRef]
  21. L. Vivien, A. Polzer, D. Marris-Morini, J. Osmond, J. M. Hartmann, P. Crozat, E. Cassan, C. Kopp, H. Zimmermann, and J. M. Fedeli, Opt. Express 20, 1096 (2012).
    [CrossRef]
  22. http://opsisfoundry.org/ .
  23. X. K. Sun, K. Y. Fong, C. Xiong, W. H. P. Pernice, and H. X. Tang, Opt. Express 19, 22316 (2011).
    [CrossRef]
  24. Y. Xie, S.-S. Li, Y.-W. Lin, Z. Ren, and C. T. C. Nguyen, IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control 55, 890 (2008).
    [CrossRef]
  25. X. S. Yao and L. Maleki, J. Opt. Soc. Am. B 13, 1725 (1996).
    [CrossRef]
  26. S. Sridaran and S. A. Bhave, “1.12  GHz opto-acoustic oscillator,” in 25th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2012), Paris, France (IEEE, 2012), pp. 664–667.
  27. M. Poot and H. X. Tang, Appl. Phys. Lett. 104, 061101 (2014).
    [CrossRef]

2014 (1)

M. Poot and H. X. Tang, Appl. Phys. Lett. 104, 061101 (2014).
[CrossRef]

2013 (3)

P. Rath, S. Khasminskaya, C. Nebel, C. Wild, and W. H. P. Pernice, Nat. Commun. 4, 1690 (2013).
[CrossRef]

Y. Liu, M. Davanco, V. Aksyuk, and K. Srinivasan, Phys. Rev. Lett. 110, 223603 (2013).
[CrossRef]

P. H. Kim, C. Doolin, B. D. Hauer, A. J. R. MacDonald, M. R. Freeman, P. E. Barclay, and J. P. Davis, Appl. Phys. Lett. 102, 053102 (2013).
[CrossRef]

2012 (9)

X. K. Sun, J. J. Zheng, M. Poot, C. W. Wong, and H. X. Tang, Nano Lett. 12, 2299 (2012).

J. Chan, A. H. Safavi-Naeini, J. T. Hill, S. Meenehan, and O. Painter, Appl. Phys. Lett. 101, 081115 (2012).
[CrossRef]

X. K. Sun, X. F. Zhang, M. Poot, C. Xiong, and H. X. Tang, Appl. Phys. Lett. 101, 221116 (2012).
[CrossRef]

V. T. K. Sauer, Z. Diao, M. R. Freeman, and W. K. Hiebert, Appl. Phys. Lett. 100, 261102 (2012).
[CrossRef]

C. Xiong, X. K. Sun, K. Y. Fong, and H. X. Tang, Appl. Phys. Lett. 100, 171111 (2012).
[CrossRef]

X. K. Sun, X. F. Zhang, and H. X. Tang, Appl. Phys. Lett. 100, 173116 (2012).
[CrossRef]

T. P. Purdy, R. W. Peterson, P. L. Yu, and C. A. Regal, New J. Phys. 14, 115021 (2012).
[CrossRef]

L. Vivien, A. Polzer, D. Marris-Morini, J. Osmond, J. M. Hartmann, P. Crozat, E. Cassan, C. Kopp, H. Zimmermann, and J. M. Fedeli, Opt. Express 20, 1096 (2012).
[CrossRef]

W. C. Jiang, X. Y. Lu, J. D. Zhang, and Q. Lin, Opt. Express 20, 15991 (2012).
[CrossRef]

2011 (5)

2010 (2)

K. Y. Fong, W. H. P. Pernice, M. Li, and H. X. Tang, Appl. Phys. Lett. 97, 073112 (2010).
[CrossRef]

M. Li, W. H. P. Pernice, and H. X. Tang, Appl. Phys. Lett. 97, 183110 (2010).
[CrossRef]

2008 (1)

Y. Xie, S.-S. Li, Y.-W. Lin, Z. Ren, and C. T. C. Nguyen, IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control 55, 890 (2008).
[CrossRef]

2007 (1)

P. A. Truitt, J. B. Hertzberg, C. C. Huang, K. L. Ekinci, and K. C. Schwab, Nano Lett. 7, 120 (2007).

2003 (1)

X. M. H. Huang, C. A. Zorman, M. Mehregany, and M. L. Roukes, Nature 421, 496 (2003).
[CrossRef]

1996 (1)

Aksyuk, V.

Y. Liu, M. Davanco, V. Aksyuk, and K. Srinivasan, Phys. Rev. Lett. 110, 223603 (2013).
[CrossRef]

Asghari, M.

Baker, C.

L. Ding, C. Baker, P. Senellart, A. Lemaitre, S. Ducci, G. Leo, and I. Favero, Appl. Phys. Lett. 98, 113108 (2011).
[CrossRef]

Barclay, P. E.

P. H. Kim, C. Doolin, B. D. Hauer, A. J. R. MacDonald, M. R. Freeman, P. E. Barclay, and J. P. Davis, Appl. Phys. Lett. 102, 053102 (2013).
[CrossRef]

M. Mitchell, A. C. Hryciw, and P. E. Barclay, “Cavity optomechanics in gallium phosphide microdisks,” arXiv:1309.6300 (2013).

Bhave, S. A.

S. Tallur, S. Sridaran, and S. A. Bhave, Opt. Express 19, 24522 (2011).
[CrossRef]

S. Sridaran and S. A. Bhave, “1.12  GHz opto-acoustic oscillator,” in 25th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2012), Paris, France (IEEE, 2012), pp. 664–667.

Bouwmeester, D.

Cassan, E.

Chan, J.

J. Chan, A. H. Safavi-Naeini, J. T. Hill, S. Meenehan, and O. Painter, Appl. Phys. Lett. 101, 081115 (2012).
[CrossRef]

Crozat, P.

Cunningham, J. E.

Davanco, M.

Y. Liu, M. Davanco, V. Aksyuk, and K. Srinivasan, Phys. Rev. Lett. 110, 223603 (2013).
[CrossRef]

Davis, J. P.

P. H. Kim, C. Doolin, B. D. Hauer, A. J. R. MacDonald, M. R. Freeman, P. E. Barclay, and J. P. Davis, Appl. Phys. Lett. 102, 053102 (2013).
[CrossRef]

Diao, Z.

V. T. K. Sauer, Z. Diao, M. R. Freeman, and W. K. Hiebert, Appl. Phys. Lett. 100, 261102 (2012).
[CrossRef]

Ding, L.

L. Ding, C. Baker, P. Senellart, A. Lemaitre, S. Ducci, G. Leo, and I. Favero, Appl. Phys. Lett. 98, 113108 (2011).
[CrossRef]

Dong, P.

Doolin, C.

P. H. Kim, C. Doolin, B. D. Hauer, A. J. R. MacDonald, M. R. Freeman, P. E. Barclay, and J. P. Davis, Appl. Phys. Lett. 102, 053102 (2013).
[CrossRef]

Ducci, S.

L. Ding, C. Baker, P. Senellart, A. Lemaitre, S. Ducci, G. Leo, and I. Favero, Appl. Phys. Lett. 98, 113108 (2011).
[CrossRef]

Ekinci, K. L.

P. A. Truitt, J. B. Hertzberg, C. C. Huang, K. L. Ekinci, and K. C. Schwab, Nano Lett. 7, 120 (2007).

Favero, I.

L. Ding, C. Baker, P. Senellart, A. Lemaitre, S. Ducci, G. Leo, and I. Favero, Appl. Phys. Lett. 98, 113108 (2011).
[CrossRef]

Fedeli, J. M.

Feng, D.

Feng, N.-N.

Fong, J.

Fong, K. Y.

C. Xiong, X. K. Sun, K. Y. Fong, and H. X. Tang, Appl. Phys. Lett. 100, 171111 (2012).
[CrossRef]

X. K. Sun, K. Y. Fong, C. Xiong, W. H. P. Pernice, and H. X. Tang, Opt. Express 19, 22316 (2011).
[CrossRef]

K. Y. Fong, W. H. P. Pernice, M. Li, and H. X. Tang, Appl. Phys. Lett. 97, 073112 (2010).
[CrossRef]

Freeman, M. R.

P. H. Kim, C. Doolin, B. D. Hauer, A. J. R. MacDonald, M. R. Freeman, P. E. Barclay, and J. P. Davis, Appl. Phys. Lett. 102, 053102 (2013).
[CrossRef]

V. T. K. Sauer, Z. Diao, M. R. Freeman, and W. K. Hiebert, Appl. Phys. Lett. 100, 261102 (2012).
[CrossRef]

Hartmann, J. M.

Hauer, B. D.

P. H. Kim, C. Doolin, B. D. Hauer, A. J. R. MacDonald, M. R. Freeman, P. E. Barclay, and J. P. Davis, Appl. Phys. Lett. 102, 053102 (2013).
[CrossRef]

Hertzberg, J. B.

P. A. Truitt, J. B. Hertzberg, C. C. Huang, K. L. Ekinci, and K. C. Schwab, Nano Lett. 7, 120 (2007).

Hiebert, W. K.

V. T. K. Sauer, Z. Diao, M. R. Freeman, and W. K. Hiebert, Appl. Phys. Lett. 100, 261102 (2012).
[CrossRef]

Hill, J. T.

J. Chan, A. H. Safavi-Naeini, J. T. Hill, S. Meenehan, and O. Painter, Appl. Phys. Lett. 101, 081115 (2012).
[CrossRef]

Hryciw, A. C.

M. Mitchell, A. C. Hryciw, and P. E. Barclay, “Cavity optomechanics in gallium phosphide microdisks,” arXiv:1309.6300 (2013).

Huang, C. C.

P. A. Truitt, J. B. Hertzberg, C. C. Huang, K. L. Ekinci, and K. C. Schwab, Nano Lett. 7, 120 (2007).

Huang, X. M. H.

X. M. H. Huang, C. A. Zorman, M. Mehregany, and M. L. Roukes, Nature 421, 496 (2003).
[CrossRef]

Jeffrey, E.

Jiang, W. C.

Khasminskaya, S.

P. Rath, S. Khasminskaya, C. Nebel, C. Wild, and W. H. P. Pernice, Nat. Commun. 4, 1690 (2013).
[CrossRef]

Kim, P. H.

P. H. Kim, C. Doolin, B. D. Hauer, A. J. R. MacDonald, M. R. Freeman, P. E. Barclay, and J. P. Davis, Appl. Phys. Lett. 102, 053102 (2013).
[CrossRef]

Kleckner, D.

Kopp, C.

Kung, C.-C.

Lemaitre, A.

L. Ding, C. Baker, P. Senellart, A. Lemaitre, S. Ducci, G. Leo, and I. Favero, Appl. Phys. Lett. 98, 113108 (2011).
[CrossRef]

Leo, G.

L. Ding, C. Baker, P. Senellart, A. Lemaitre, S. Ducci, G. Leo, and I. Favero, Appl. Phys. Lett. 98, 113108 (2011).
[CrossRef]

Li, M.

M. Li, W. H. P. Pernice, and H. X. Tang, Appl. Phys. Lett. 97, 183110 (2010).
[CrossRef]

K. Y. Fong, W. H. P. Pernice, M. Li, and H. X. Tang, Appl. Phys. Lett. 97, 073112 (2010).
[CrossRef]

Li, S.-S.

Y. Xie, S.-S. Li, Y.-W. Lin, Z. Ren, and C. T. C. Nguyen, IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control 55, 890 (2008).
[CrossRef]

Liang, H.

Liao, S.

Lin, Q.

Lin, Y.-W.

Y. Xie, S.-S. Li, Y.-W. Lin, Z. Ren, and C. T. C. Nguyen, IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control 55, 890 (2008).
[CrossRef]

Liu, Y.

Lu, X. Y.

Luo, Y.

MacDonald, A. J. R.

P. H. Kim, C. Doolin, B. D. Hauer, A. J. R. MacDonald, M. R. Freeman, P. E. Barclay, and J. P. Davis, Appl. Phys. Lett. 102, 053102 (2013).
[CrossRef]

Maleki, L.

Marris-Morini, D.

Meenehan, S.

J. Chan, A. H. Safavi-Naeini, J. T. Hill, S. Meenehan, and O. Painter, Appl. Phys. Lett. 101, 081115 (2012).
[CrossRef]

Mehregany, M.

X. M. H. Huang, C. A. Zorman, M. Mehregany, and M. L. Roukes, Nature 421, 496 (2003).
[CrossRef]

Mitchell, M.

M. Mitchell, A. C. Hryciw, and P. E. Barclay, “Cavity optomechanics in gallium phosphide microdisks,” arXiv:1309.6300 (2013).

Nebel, C.

P. Rath, S. Khasminskaya, C. Nebel, C. Wild, and W. H. P. Pernice, Nat. Commun. 4, 1690 (2013).
[CrossRef]

Nguyen, C. T. C.

Y. Xie, S.-S. Li, Y.-W. Lin, Z. Ren, and C. T. C. Nguyen, IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control 55, 890 (2008).
[CrossRef]

Osmond, J.

Painter, O.

J. Chan, A. H. Safavi-Naeini, J. T. Hill, S. Meenehan, and O. Painter, Appl. Phys. Lett. 101, 081115 (2012).
[CrossRef]

Pepper, B.

Pernice, W. H. P.

P. Rath, S. Khasminskaya, C. Nebel, C. Wild, and W. H. P. Pernice, Nat. Commun. 4, 1690 (2013).
[CrossRef]

X. K. Sun, K. Y. Fong, C. Xiong, W. H. P. Pernice, and H. X. Tang, Opt. Express 19, 22316 (2011).
[CrossRef]

M. Li, W. H. P. Pernice, and H. X. Tang, Appl. Phys. Lett. 97, 183110 (2010).
[CrossRef]

K. Y. Fong, W. H. P. Pernice, M. Li, and H. X. Tang, Appl. Phys. Lett. 97, 073112 (2010).
[CrossRef]

Peterson, R. W.

T. P. Purdy, R. W. Peterson, P. L. Yu, and C. A. Regal, New J. Phys. 14, 115021 (2012).
[CrossRef]

Polzer, A.

Poot, M.

M. Poot and H. X. Tang, Appl. Phys. Lett. 104, 061101 (2014).
[CrossRef]

X. K. Sun, X. F. Zhang, M. Poot, C. Xiong, and H. X. Tang, Appl. Phys. Lett. 101, 221116 (2012).
[CrossRef]

X. K. Sun, J. J. Zheng, M. Poot, C. W. Wong, and H. X. Tang, Nano Lett. 12, 2299 (2012).

Purdy, T. P.

T. P. Purdy, R. W. Peterson, P. L. Yu, and C. A. Regal, New J. Phys. 14, 115021 (2012).
[CrossRef]

Qian, W.

Rath, P.

P. Rath, S. Khasminskaya, C. Nebel, C. Wild, and W. H. P. Pernice, Nat. Commun. 4, 1690 (2013).
[CrossRef]

Regal, C. A.

T. P. Purdy, R. W. Peterson, P. L. Yu, and C. A. Regal, New J. Phys. 14, 115021 (2012).
[CrossRef]

Ren, Z.

Y. Xie, S.-S. Li, Y.-W. Lin, Z. Ren, and C. T. C. Nguyen, IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control 55, 890 (2008).
[CrossRef]

Roukes, M. L.

X. M. H. Huang, C. A. Zorman, M. Mehregany, and M. L. Roukes, Nature 421, 496 (2003).
[CrossRef]

Safavi-Naeini, A. H.

J. Chan, A. H. Safavi-Naeini, J. T. Hill, S. Meenehan, and O. Painter, Appl. Phys. Lett. 101, 081115 (2012).
[CrossRef]

Sauer, V. T. K.

V. T. K. Sauer, Z. Diao, M. R. Freeman, and W. K. Hiebert, Appl. Phys. Lett. 100, 261102 (2012).
[CrossRef]

Schwab, K. C.

P. A. Truitt, J. B. Hertzberg, C. C. Huang, K. L. Ekinci, and K. C. Schwab, Nano Lett. 7, 120 (2007).

Senellart, P.

L. Ding, C. Baker, P. Senellart, A. Lemaitre, S. Ducci, G. Leo, and I. Favero, Appl. Phys. Lett. 98, 113108 (2011).
[CrossRef]

Shafiiha, R.

Sonin, P.

Sridaran, S.

S. Tallur, S. Sridaran, and S. A. Bhave, Opt. Express 19, 24522 (2011).
[CrossRef]

S. Sridaran and S. A. Bhave, “1.12  GHz opto-acoustic oscillator,” in 25th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2012), Paris, France (IEEE, 2012), pp. 664–667.

Srinivasan, K.

Y. Liu, M. Davanco, V. Aksyuk, and K. Srinivasan, Phys. Rev. Lett. 110, 223603 (2013).
[CrossRef]

Sun, X. K.

X. K. Sun, X. F. Zhang, and H. X. Tang, Appl. Phys. Lett. 100, 173116 (2012).
[CrossRef]

X. K. Sun, J. J. Zheng, M. Poot, C. W. Wong, and H. X. Tang, Nano Lett. 12, 2299 (2012).

C. Xiong, X. K. Sun, K. Y. Fong, and H. X. Tang, Appl. Phys. Lett. 100, 171111 (2012).
[CrossRef]

X. K. Sun, X. F. Zhang, M. Poot, C. Xiong, and H. X. Tang, Appl. Phys. Lett. 101, 221116 (2012).
[CrossRef]

X. K. Sun, K. Y. Fong, C. Xiong, W. H. P. Pernice, and H. X. Tang, Opt. Express 19, 22316 (2011).
[CrossRef]

Tallur, S.

Tang, H. X.

M. Poot and H. X. Tang, Appl. Phys. Lett. 104, 061101 (2014).
[CrossRef]

X. K. Sun, X. F. Zhang, M. Poot, C. Xiong, and H. X. Tang, Appl. Phys. Lett. 101, 221116 (2012).
[CrossRef]

X. K. Sun, J. J. Zheng, M. Poot, C. W. Wong, and H. X. Tang, Nano Lett. 12, 2299 (2012).

C. Xiong, X. K. Sun, K. Y. Fong, and H. X. Tang, Appl. Phys. Lett. 100, 171111 (2012).
[CrossRef]

X. K. Sun, X. F. Zhang, and H. X. Tang, Appl. Phys. Lett. 100, 173116 (2012).
[CrossRef]

X. K. Sun, K. Y. Fong, C. Xiong, W. H. P. Pernice, and H. X. Tang, Opt. Express 19, 22316 (2011).
[CrossRef]

M. Li, W. H. P. Pernice, and H. X. Tang, Appl. Phys. Lett. 97, 183110 (2010).
[CrossRef]

K. Y. Fong, W. H. P. Pernice, M. Li, and H. X. Tang, Appl. Phys. Lett. 97, 073112 (2010).
[CrossRef]

Thon, S. M.

Truitt, P. A.

P. A. Truitt, J. B. Hertzberg, C. C. Huang, K. L. Ekinci, and K. C. Schwab, Nano Lett. 7, 120 (2007).

Vivien, L.

Wild, C.

P. Rath, S. Khasminskaya, C. Nebel, C. Wild, and W. H. P. Pernice, Nat. Commun. 4, 1690 (2013).
[CrossRef]

Wong, C. W.

X. K. Sun, J. J. Zheng, M. Poot, C. W. Wong, and H. X. Tang, Nano Lett. 12, 2299 (2012).

Xie, Y.

Y. Xie, S.-S. Li, Y.-W. Lin, Z. Ren, and C. T. C. Nguyen, IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control 55, 890 (2008).
[CrossRef]

Xiong, C.

C. Xiong, X. K. Sun, K. Y. Fong, and H. X. Tang, Appl. Phys. Lett. 100, 171111 (2012).
[CrossRef]

X. K. Sun, X. F. Zhang, M. Poot, C. Xiong, and H. X. Tang, Appl. Phys. Lett. 101, 221116 (2012).
[CrossRef]

X. K. Sun, K. Y. Fong, C. Xiong, W. H. P. Pernice, and H. X. Tang, Opt. Express 19, 22316 (2011).
[CrossRef]

Yao, X. S.

Yu, P. L.

T. P. Purdy, R. W. Peterson, P. L. Yu, and C. A. Regal, New J. Phys. 14, 115021 (2012).
[CrossRef]

Zhang, J. D.

Zhang, X. F.

X. K. Sun, X. F. Zhang, and H. X. Tang, Appl. Phys. Lett. 100, 173116 (2012).
[CrossRef]

X. K. Sun, X. F. Zhang, M. Poot, C. Xiong, and H. X. Tang, Appl. Phys. Lett. 101, 221116 (2012).
[CrossRef]

Zheng, J. J.

X. K. Sun, J. J. Zheng, M. Poot, C. W. Wong, and H. X. Tang, Nano Lett. 12, 2299 (2012).

Zimmermann, H.

Zorman, C. A.

X. M. H. Huang, C. A. Zorman, M. Mehregany, and M. L. Roukes, Nature 421, 496 (2003).
[CrossRef]

Appl. Phys. Lett. (10)

J. Chan, A. H. Safavi-Naeini, J. T. Hill, S. Meenehan, and O. Painter, Appl. Phys. Lett. 101, 081115 (2012).
[CrossRef]

X. K. Sun, X. F. Zhang, M. Poot, C. Xiong, and H. X. Tang, Appl. Phys. Lett. 101, 221116 (2012).
[CrossRef]

V. T. K. Sauer, Z. Diao, M. R. Freeman, and W. K. Hiebert, Appl. Phys. Lett. 100, 261102 (2012).
[CrossRef]

P. H. Kim, C. Doolin, B. D. Hauer, A. J. R. MacDonald, M. R. Freeman, P. E. Barclay, and J. P. Davis, Appl. Phys. Lett. 102, 053102 (2013).
[CrossRef]

K. Y. Fong, W. H. P. Pernice, M. Li, and H. X. Tang, Appl. Phys. Lett. 97, 073112 (2010).
[CrossRef]

C. Xiong, X. K. Sun, K. Y. Fong, and H. X. Tang, Appl. Phys. Lett. 100, 171111 (2012).
[CrossRef]

L. Ding, C. Baker, P. Senellart, A. Lemaitre, S. Ducci, G. Leo, and I. Favero, Appl. Phys. Lett. 98, 113108 (2011).
[CrossRef]

M. Poot and H. X. Tang, Appl. Phys. Lett. 104, 061101 (2014).
[CrossRef]

M. Li, W. H. P. Pernice, and H. X. Tang, Appl. Phys. Lett. 97, 183110 (2010).
[CrossRef]

X. K. Sun, X. F. Zhang, and H. X. Tang, Appl. Phys. Lett. 100, 173116 (2012).
[CrossRef]

IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control (1)

Y. Xie, S.-S. Li, Y.-W. Lin, Z. Ren, and C. T. C. Nguyen, IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control 55, 890 (2008).
[CrossRef]

J. Opt. Soc. Am. B (1)

Nano Lett. (2)

X. K. Sun, J. J. Zheng, M. Poot, C. W. Wong, and H. X. Tang, Nano Lett. 12, 2299 (2012).

P. A. Truitt, J. B. Hertzberg, C. C. Huang, K. L. Ekinci, and K. C. Schwab, Nano Lett. 7, 120 (2007).

Nat. Commun. (1)

P. Rath, S. Khasminskaya, C. Nebel, C. Wild, and W. H. P. Pernice, Nat. Commun. 4, 1690 (2013).
[CrossRef]

Nature (1)

X. M. H. Huang, C. A. Zorman, M. Mehregany, and M. L. Roukes, Nature 421, 496 (2003).
[CrossRef]

New J. Phys. (1)

T. P. Purdy, R. W. Peterson, P. L. Yu, and C. A. Regal, New J. Phys. 14, 115021 (2012).
[CrossRef]

Opt. Express (6)

Phys. Rev. Lett. (1)

Y. Liu, M. Davanco, V. Aksyuk, and K. Srinivasan, Phys. Rev. Lett. 110, 223603 (2013).
[CrossRef]

Other (3)

M. Mitchell, A. C. Hryciw, and P. E. Barclay, “Cavity optomechanics in gallium phosphide microdisks,” arXiv:1309.6300 (2013).

http://opsisfoundry.org/ .

S. Sridaran and S. A. Bhave, “1.12  GHz opto-acoustic oscillator,” in 25th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2012), Paris, France (IEEE, 2012), pp. 664–667.

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Metrics