Abstract

A surface structured extreme ultraviolet multilayer mirror was developed showing full band suppression of UV (λ=100400nm) and simultaneously a high reflectance of EUV light (λ=13.5nm). The surface structure consists of Si pyramids, which are substantially transparent for EUV but reflective for UV light. The reflected UV is filtered out by blazed diffraction, interference, and absorption. A first demonstration pyramid structure was fabricated on a multilayer by using a straightforward deposition technique. It shows an average suppression of 14 times over the whole UV range and an EUV reflectance of 56.2% at 13.5 nm. This robust scheme can be used as a spectral purity solution for all XUV sources that emit longer wavelength radiation as well.

© 2014 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. V. Y. Banine, K. N. Koshelev, G. H. P. M. Swinkels, J. Phys. D 44, 253001 (2011).
    [CrossRef]
  2. J. Lilensten, T. Dudok de Wit, M. Kretzschmar, P.-O. Amblard, S. Moussaoui, J. Aboudarham, F. Auchère, Ann. Geophys. 26, 269 (2008).
    [CrossRef]
  3. J. Seres, E. Seres, A. J. Verhoef, G. Tempea, C. Streli, P. Wobrauschek, V. Yakovlev, A. Scrinzi, C. Spielmann, F. Krausz, Nature, 433, 596 (2005).
    [CrossRef]
  4. C. Wagner, N. Harned, Nat. Photonics, 4, 24 (2010).
    [CrossRef]
  5. I. V. Fomenkov, D. C. Brandt, A. N. Bykanov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65173J (2007).
    [CrossRef]
  6. J. Fujimoto, T. Hori, T. Yanagida, T. Ohta, Y. Kawasuji, Y. Shiraishi, T. Abe, T. Kodama, H. Nakarai, T. Yamazaki, H. Mizoguchi, Proc. SPIE 8332, 83220F (2012).
    [CrossRef]
  7. R. Moors, V. Banine, G. Swinkels, F. Wortel, J. Micro/Nanolithogr. MEMS MOEMS 11, 021102 (2012).
    [CrossRef]
  8. V. V. Medvedev, A. J. R. van den Boogaard, R. van der Meer, A. E. Yakshin, E. Louis, V. M. Krivtsun, F. Bijkerk, Opt. Express, 21, 16964 (2013).
    [CrossRef]
  9. V. V. Medvedev, A. E. Yakshin, R. W. E. van de Kruijs, V. M. Krivtsun, A. M. Yakunin, K. N. Koshelev, F. Bijkerk, Opt. Lett. 37, 1169 (2012).
    [CrossRef]
  10. M. Trost, S. Schröder, A. Duparré, S. Risse, T. Feigl, U. D. Zeitner, A. Tünnermann, Opt. Express, 21, 27852 (2013).
    [CrossRef]
  11. W. A. Soer, P. Gawlitza, M. M. J. W. van Herpen, M. J. J. Jak, S. Braun, P. Muys, V. Y. Banine, Opt. Lett. 34, 3680 (2009).
    [CrossRef]
  12. J. Alexander Liddle, F. Salmassi, P. P. Naulleau, E. M. Gullikson, J. Vac. Sci. Technol. B 21, 2980 (2003).
    [CrossRef]
  13. A. J. R. van den Boogaard, F. A. van Goor, E. Louis, F. Bijkerk, Opt. Lett., 37, 160 (2012).
    [CrossRef]
  14. M. M. J. W. van Herpen, R. W. E. van de Kruijs, D. J. W. Klunder, E. Louis, A. E. Yakshin, S. Alonso van der Westen, F. Bijkerk, V. Banine, Opt. Lett. 33, 560 (2008).
    [CrossRef]
  15. S. P. Huber, R. W. E. van de Kruijs, A. E. Yakshin, E. Zoethout, F. Bijkerk, Proc. SPIE 8848, 884814 (2013).
    [CrossRef]
  16. N. I. Chkhalo, M. N. Drozdov, E. B. Kluenkov, A. Y. Lopatin, V. I. Luchin, N. N. Salashchenko, N. N. Tsybin, L. A. Sjmaenok, V. E. Banine, A. M. Yakunin, J. Micro/Nanolithogr. MEMS MOEMS 11, 021115 (2012).
    [CrossRef]
  17. I. A. Artyukov, A. I. Fedorenko, V. V. Kondratenko, S. A. Yulin, A. V. Vinogradov, Opt. Commun. 102, 401 (1993).
    [CrossRef]
  18. M. G. Moharam, T. K. Gaylord, J. Opt. Soc. Am. 73, 451 (1983).
    [CrossRef]
  19. S. K. Yao, J. Appl. Phys. 50, 3390 (1979).
    [CrossRef]
  20. R. Grunwald, U. Neumann, U. Griebner, G. Stibenz, S. Langer, G. Steinmeyer, V. Kebbel, M. Piché, Proc. SPIE 5827, 187 (2005).
    [CrossRef]
  21. D. M. Mattox, Handbook of Physical Vapor Deposition (PVD) Processing: Film Formation, Adhesion, Surface Preparation and Contamination Control (Noyes, 1998).
  22. W. M. Clift, L. E. Klebanoff, C. Tarrio, S. Grantham, O. R. Wood, S. Wurm, N. V. Edwards, Proc. SPIE 5374, 666 (2004).
    [CrossRef]
  23. I. V. Fomenkov, D. C. Brandt, N. R. Farrar, B. La Fontaine, N. R. Böwering, D. J. Brown, A. I. Ershov, D. W. Myers, Proc. SPIE 8679, 86792I (2013).
    [CrossRef]

2013 (4)

V. V. Medvedev, A. J. R. van den Boogaard, R. van der Meer, A. E. Yakshin, E. Louis, V. M. Krivtsun, F. Bijkerk, Opt. Express, 21, 16964 (2013).
[CrossRef]

M. Trost, S. Schröder, A. Duparré, S. Risse, T. Feigl, U. D. Zeitner, A. Tünnermann, Opt. Express, 21, 27852 (2013).
[CrossRef]

S. P. Huber, R. W. E. van de Kruijs, A. E. Yakshin, E. Zoethout, F. Bijkerk, Proc. SPIE 8848, 884814 (2013).
[CrossRef]

I. V. Fomenkov, D. C. Brandt, N. R. Farrar, B. La Fontaine, N. R. Böwering, D. J. Brown, A. I. Ershov, D. W. Myers, Proc. SPIE 8679, 86792I (2013).
[CrossRef]

2012 (5)

N. I. Chkhalo, M. N. Drozdov, E. B. Kluenkov, A. Y. Lopatin, V. I. Luchin, N. N. Salashchenko, N. N. Tsybin, L. A. Sjmaenok, V. E. Banine, A. M. Yakunin, J. Micro/Nanolithogr. MEMS MOEMS 11, 021115 (2012).
[CrossRef]

A. J. R. van den Boogaard, F. A. van Goor, E. Louis, F. Bijkerk, Opt. Lett., 37, 160 (2012).
[CrossRef]

V. V. Medvedev, A. E. Yakshin, R. W. E. van de Kruijs, V. M. Krivtsun, A. M. Yakunin, K. N. Koshelev, F. Bijkerk, Opt. Lett. 37, 1169 (2012).
[CrossRef]

J. Fujimoto, T. Hori, T. Yanagida, T. Ohta, Y. Kawasuji, Y. Shiraishi, T. Abe, T. Kodama, H. Nakarai, T. Yamazaki, H. Mizoguchi, Proc. SPIE 8332, 83220F (2012).
[CrossRef]

R. Moors, V. Banine, G. Swinkels, F. Wortel, J. Micro/Nanolithogr. MEMS MOEMS 11, 021102 (2012).
[CrossRef]

2011 (1)

V. Y. Banine, K. N. Koshelev, G. H. P. M. Swinkels, J. Phys. D 44, 253001 (2011).
[CrossRef]

2010 (1)

C. Wagner, N. Harned, Nat. Photonics, 4, 24 (2010).
[CrossRef]

2009 (1)

2008 (2)

M. M. J. W. van Herpen, R. W. E. van de Kruijs, D. J. W. Klunder, E. Louis, A. E. Yakshin, S. Alonso van der Westen, F. Bijkerk, V. Banine, Opt. Lett. 33, 560 (2008).
[CrossRef]

J. Lilensten, T. Dudok de Wit, M. Kretzschmar, P.-O. Amblard, S. Moussaoui, J. Aboudarham, F. Auchère, Ann. Geophys. 26, 269 (2008).
[CrossRef]

2007 (1)

I. V. Fomenkov, D. C. Brandt, A. N. Bykanov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65173J (2007).
[CrossRef]

2005 (2)

J. Seres, E. Seres, A. J. Verhoef, G. Tempea, C. Streli, P. Wobrauschek, V. Yakovlev, A. Scrinzi, C. Spielmann, F. Krausz, Nature, 433, 596 (2005).
[CrossRef]

R. Grunwald, U. Neumann, U. Griebner, G. Stibenz, S. Langer, G. Steinmeyer, V. Kebbel, M. Piché, Proc. SPIE 5827, 187 (2005).
[CrossRef]

2004 (1)

W. M. Clift, L. E. Klebanoff, C. Tarrio, S. Grantham, O. R. Wood, S. Wurm, N. V. Edwards, Proc. SPIE 5374, 666 (2004).
[CrossRef]

2003 (1)

J. Alexander Liddle, F. Salmassi, P. P. Naulleau, E. M. Gullikson, J. Vac. Sci. Technol. B 21, 2980 (2003).
[CrossRef]

1993 (1)

I. A. Artyukov, A. I. Fedorenko, V. V. Kondratenko, S. A. Yulin, A. V. Vinogradov, Opt. Commun. 102, 401 (1993).
[CrossRef]

1983 (1)

1979 (1)

S. K. Yao, J. Appl. Phys. 50, 3390 (1979).
[CrossRef]

Abe, T.

J. Fujimoto, T. Hori, T. Yanagida, T. Ohta, Y. Kawasuji, Y. Shiraishi, T. Abe, T. Kodama, H. Nakarai, T. Yamazaki, H. Mizoguchi, Proc. SPIE 8332, 83220F (2012).
[CrossRef]

Aboudarham, J.

J. Lilensten, T. Dudok de Wit, M. Kretzschmar, P.-O. Amblard, S. Moussaoui, J. Aboudarham, F. Auchère, Ann. Geophys. 26, 269 (2008).
[CrossRef]

Alexander Liddle, J.

J. Alexander Liddle, F. Salmassi, P. P. Naulleau, E. M. Gullikson, J. Vac. Sci. Technol. B 21, 2980 (2003).
[CrossRef]

Alonso van der Westen, S.

Amblard, P.-O.

J. Lilensten, T. Dudok de Wit, M. Kretzschmar, P.-O. Amblard, S. Moussaoui, J. Aboudarham, F. Auchère, Ann. Geophys. 26, 269 (2008).
[CrossRef]

Artyukov, I. A.

I. A. Artyukov, A. I. Fedorenko, V. V. Kondratenko, S. A. Yulin, A. V. Vinogradov, Opt. Commun. 102, 401 (1993).
[CrossRef]

Auchère, F.

J. Lilensten, T. Dudok de Wit, M. Kretzschmar, P.-O. Amblard, S. Moussaoui, J. Aboudarham, F. Auchère, Ann. Geophys. 26, 269 (2008).
[CrossRef]

Banine, V.

Banine, V. E.

N. I. Chkhalo, M. N. Drozdov, E. B. Kluenkov, A. Y. Lopatin, V. I. Luchin, N. N. Salashchenko, N. N. Tsybin, L. A. Sjmaenok, V. E. Banine, A. M. Yakunin, J. Micro/Nanolithogr. MEMS MOEMS 11, 021115 (2012).
[CrossRef]

Banine, V. Y.

Bijkerk, F.

Böwering, N. R.

I. V. Fomenkov, D. C. Brandt, N. R. Farrar, B. La Fontaine, N. R. Böwering, D. J. Brown, A. I. Ershov, D. W. Myers, Proc. SPIE 8679, 86792I (2013).
[CrossRef]

I. V. Fomenkov, D. C. Brandt, A. N. Bykanov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65173J (2007).
[CrossRef]

Brandt, D. C.

I. V. Fomenkov, D. C. Brandt, N. R. Farrar, B. La Fontaine, N. R. Böwering, D. J. Brown, A. I. Ershov, D. W. Myers, Proc. SPIE 8679, 86792I (2013).
[CrossRef]

I. V. Fomenkov, D. C. Brandt, A. N. Bykanov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65173J (2007).
[CrossRef]

Braun, S.

Brown, D. J.

I. V. Fomenkov, D. C. Brandt, N. R. Farrar, B. La Fontaine, N. R. Böwering, D. J. Brown, A. I. Ershov, D. W. Myers, Proc. SPIE 8679, 86792I (2013).
[CrossRef]

Bykanov, A. N.

I. V. Fomenkov, D. C. Brandt, A. N. Bykanov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65173J (2007).
[CrossRef]

Chavez, J. A.

I. V. Fomenkov, D. C. Brandt, A. N. Bykanov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65173J (2007).
[CrossRef]

Chkhalo, N. I.

N. I. Chkhalo, M. N. Drozdov, E. B. Kluenkov, A. Y. Lopatin, V. I. Luchin, N. N. Salashchenko, N. N. Tsybin, L. A. Sjmaenok, V. E. Banine, A. M. Yakunin, J. Micro/Nanolithogr. MEMS MOEMS 11, 021115 (2012).
[CrossRef]

Chrobak, C. P.

I. V. Fomenkov, D. C. Brandt, A. N. Bykanov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65173J (2007).
[CrossRef]

Clift, W. M.

W. M. Clift, L. E. Klebanoff, C. Tarrio, S. Grantham, O. R. Wood, S. Wurm, N. V. Edwards, Proc. SPIE 5374, 666 (2004).
[CrossRef]

Drozdov, M. N.

N. I. Chkhalo, M. N. Drozdov, E. B. Kluenkov, A. Y. Lopatin, V. I. Luchin, N. N. Salashchenko, N. N. Tsybin, L. A. Sjmaenok, V. E. Banine, A. M. Yakunin, J. Micro/Nanolithogr. MEMS MOEMS 11, 021115 (2012).
[CrossRef]

Dudok de Wit, T.

J. Lilensten, T. Dudok de Wit, M. Kretzschmar, P.-O. Amblard, S. Moussaoui, J. Aboudarham, F. Auchère, Ann. Geophys. 26, 269 (2008).
[CrossRef]

Duparré, A.

Edwards, N. V.

W. M. Clift, L. E. Klebanoff, C. Tarrio, S. Grantham, O. R. Wood, S. Wurm, N. V. Edwards, Proc. SPIE 5374, 666 (2004).
[CrossRef]

Ershov, A. I.

I. V. Fomenkov, D. C. Brandt, N. R. Farrar, B. La Fontaine, N. R. Böwering, D. J. Brown, A. I. Ershov, D. W. Myers, Proc. SPIE 8679, 86792I (2013).
[CrossRef]

I. V. Fomenkov, D. C. Brandt, A. N. Bykanov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65173J (2007).
[CrossRef]

Farrar, N. R.

I. V. Fomenkov, D. C. Brandt, N. R. Farrar, B. La Fontaine, N. R. Böwering, D. J. Brown, A. I. Ershov, D. W. Myers, Proc. SPIE 8679, 86792I (2013).
[CrossRef]

Fedorenko, A. I.

I. A. Artyukov, A. I. Fedorenko, V. V. Kondratenko, S. A. Yulin, A. V. Vinogradov, Opt. Commun. 102, 401 (1993).
[CrossRef]

Feigl, T.

Fomenkov, I. V.

I. V. Fomenkov, D. C. Brandt, N. R. Farrar, B. La Fontaine, N. R. Böwering, D. J. Brown, A. I. Ershov, D. W. Myers, Proc. SPIE 8679, 86792I (2013).
[CrossRef]

I. V. Fomenkov, D. C. Brandt, A. N. Bykanov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65173J (2007).
[CrossRef]

Fujimoto, J.

J. Fujimoto, T. Hori, T. Yanagida, T. Ohta, Y. Kawasuji, Y. Shiraishi, T. Abe, T. Kodama, H. Nakarai, T. Yamazaki, H. Mizoguchi, Proc. SPIE 8332, 83220F (2012).
[CrossRef]

Gawlitza, P.

Gaylord, T. K.

Grantham, S.

W. M. Clift, L. E. Klebanoff, C. Tarrio, S. Grantham, O. R. Wood, S. Wurm, N. V. Edwards, Proc. SPIE 5374, 666 (2004).
[CrossRef]

Griebner, U.

R. Grunwald, U. Neumann, U. Griebner, G. Stibenz, S. Langer, G. Steinmeyer, V. Kebbel, M. Piché, Proc. SPIE 5827, 187 (2005).
[CrossRef]

Grunwald, R.

R. Grunwald, U. Neumann, U. Griebner, G. Stibenz, S. Langer, G. Steinmeyer, V. Kebbel, M. Piché, Proc. SPIE 5827, 187 (2005).
[CrossRef]

Gullikson, E. M.

J. Alexander Liddle, F. Salmassi, P. P. Naulleau, E. M. Gullikson, J. Vac. Sci. Technol. B 21, 2980 (2003).
[CrossRef]

Harned, N.

C. Wagner, N. Harned, Nat. Photonics, 4, 24 (2010).
[CrossRef]

Hoffman, J. R.

I. V. Fomenkov, D. C. Brandt, A. N. Bykanov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65173J (2007).
[CrossRef]

Hori, T.

J. Fujimoto, T. Hori, T. Yanagida, T. Ohta, Y. Kawasuji, Y. Shiraishi, T. Abe, T. Kodama, H. Nakarai, T. Yamazaki, H. Mizoguchi, Proc. SPIE 8332, 83220F (2012).
[CrossRef]

Huber, S. P.

S. P. Huber, R. W. E. van de Kruijs, A. E. Yakshin, E. Zoethout, F. Bijkerk, Proc. SPIE 8848, 884814 (2013).
[CrossRef]

Jak, M. J. J.

Kawasuji, Y.

J. Fujimoto, T. Hori, T. Yanagida, T. Ohta, Y. Kawasuji, Y. Shiraishi, T. Abe, T. Kodama, H. Nakarai, T. Yamazaki, H. Mizoguchi, Proc. SPIE 8332, 83220F (2012).
[CrossRef]

Kebbel, V.

R. Grunwald, U. Neumann, U. Griebner, G. Stibenz, S. Langer, G. Steinmeyer, V. Kebbel, M. Piché, Proc. SPIE 5827, 187 (2005).
[CrossRef]

Khodykin, O. V.

I. V. Fomenkov, D. C. Brandt, A. N. Bykanov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65173J (2007).
[CrossRef]

Klebanoff, L. E.

W. M. Clift, L. E. Klebanoff, C. Tarrio, S. Grantham, O. R. Wood, S. Wurm, N. V. Edwards, Proc. SPIE 5374, 666 (2004).
[CrossRef]

Kluenkov, E. B.

N. I. Chkhalo, M. N. Drozdov, E. B. Kluenkov, A. Y. Lopatin, V. I. Luchin, N. N. Salashchenko, N. N. Tsybin, L. A. Sjmaenok, V. E. Banine, A. M. Yakunin, J. Micro/Nanolithogr. MEMS MOEMS 11, 021115 (2012).
[CrossRef]

Klunder, D. J. W.

Kodama, T.

J. Fujimoto, T. Hori, T. Yanagida, T. Ohta, Y. Kawasuji, Y. Shiraishi, T. Abe, T. Kodama, H. Nakarai, T. Yamazaki, H. Mizoguchi, Proc. SPIE 8332, 83220F (2012).
[CrossRef]

Kondratenko, V. V.

I. A. Artyukov, A. I. Fedorenko, V. V. Kondratenko, S. A. Yulin, A. V. Vinogradov, Opt. Commun. 102, 401 (1993).
[CrossRef]

Koshelev, K. N.

Krausz, F.

J. Seres, E. Seres, A. J. Verhoef, G. Tempea, C. Streli, P. Wobrauschek, V. Yakovlev, A. Scrinzi, C. Spielmann, F. Krausz, Nature, 433, 596 (2005).
[CrossRef]

Kretzschmar, M.

J. Lilensten, T. Dudok de Wit, M. Kretzschmar, P.-O. Amblard, S. Moussaoui, J. Aboudarham, F. Auchère, Ann. Geophys. 26, 269 (2008).
[CrossRef]

Krivtsun, V. M.

La Fontaine, B.

I. V. Fomenkov, D. C. Brandt, N. R. Farrar, B. La Fontaine, N. R. Böwering, D. J. Brown, A. I. Ershov, D. W. Myers, Proc. SPIE 8679, 86792I (2013).
[CrossRef]

Langer, S.

R. Grunwald, U. Neumann, U. Griebner, G. Stibenz, S. Langer, G. Steinmeyer, V. Kebbel, M. Piché, Proc. SPIE 5827, 187 (2005).
[CrossRef]

Lilensten, J.

J. Lilensten, T. Dudok de Wit, M. Kretzschmar, P.-O. Amblard, S. Moussaoui, J. Aboudarham, F. Auchère, Ann. Geophys. 26, 269 (2008).
[CrossRef]

Lopatin, A. Y.

N. I. Chkhalo, M. N. Drozdov, E. B. Kluenkov, A. Y. Lopatin, V. I. Luchin, N. N. Salashchenko, N. N. Tsybin, L. A. Sjmaenok, V. E. Banine, A. M. Yakunin, J. Micro/Nanolithogr. MEMS MOEMS 11, 021115 (2012).
[CrossRef]

Louis, E.

Luchin, V. I.

N. I. Chkhalo, M. N. Drozdov, E. B. Kluenkov, A. Y. Lopatin, V. I. Luchin, N. N. Salashchenko, N. N. Tsybin, L. A. Sjmaenok, V. E. Banine, A. M. Yakunin, J. Micro/Nanolithogr. MEMS MOEMS 11, 021115 (2012).
[CrossRef]

Mattox, D. M.

D. M. Mattox, Handbook of Physical Vapor Deposition (PVD) Processing: Film Formation, Adhesion, Surface Preparation and Contamination Control (Noyes, 1998).

Medvedev, V. V.

Mizoguchi, H.

J. Fujimoto, T. Hori, T. Yanagida, T. Ohta, Y. Kawasuji, Y. Shiraishi, T. Abe, T. Kodama, H. Nakarai, T. Yamazaki, H. Mizoguchi, Proc. SPIE 8332, 83220F (2012).
[CrossRef]

Moharam, M. G.

Moors, R.

R. Moors, V. Banine, G. Swinkels, F. Wortel, J. Micro/Nanolithogr. MEMS MOEMS 11, 021102 (2012).
[CrossRef]

Moussaoui, S.

J. Lilensten, T. Dudok de Wit, M. Kretzschmar, P.-O. Amblard, S. Moussaoui, J. Aboudarham, F. Auchère, Ann. Geophys. 26, 269 (2008).
[CrossRef]

Muys, P.

Myers, D. W.

I. V. Fomenkov, D. C. Brandt, N. R. Farrar, B. La Fontaine, N. R. Böwering, D. J. Brown, A. I. Ershov, D. W. Myers, Proc. SPIE 8679, 86792I (2013).
[CrossRef]

I. V. Fomenkov, D. C. Brandt, A. N. Bykanov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65173J (2007).
[CrossRef]

Nakarai, H.

J. Fujimoto, T. Hori, T. Yanagida, T. Ohta, Y. Kawasuji, Y. Shiraishi, T. Abe, T. Kodama, H. Nakarai, T. Yamazaki, H. Mizoguchi, Proc. SPIE 8332, 83220F (2012).
[CrossRef]

Naulleau, P. P.

J. Alexander Liddle, F. Salmassi, P. P. Naulleau, E. M. Gullikson, J. Vac. Sci. Technol. B 21, 2980 (2003).
[CrossRef]

Neumann, U.

R. Grunwald, U. Neumann, U. Griebner, G. Stibenz, S. Langer, G. Steinmeyer, V. Kebbel, M. Piché, Proc. SPIE 5827, 187 (2005).
[CrossRef]

Ohta, T.

J. Fujimoto, T. Hori, T. Yanagida, T. Ohta, Y. Kawasuji, Y. Shiraishi, T. Abe, T. Kodama, H. Nakarai, T. Yamazaki, H. Mizoguchi, Proc. SPIE 8332, 83220F (2012).
[CrossRef]

Partlo, W. N.

I. V. Fomenkov, D. C. Brandt, A. N. Bykanov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65173J (2007).
[CrossRef]

Piché, M.

R. Grunwald, U. Neumann, U. Griebner, G. Stibenz, S. Langer, G. Steinmeyer, V. Kebbel, M. Piché, Proc. SPIE 5827, 187 (2005).
[CrossRef]

Risse, S.

Salashchenko, N. N.

N. I. Chkhalo, M. N. Drozdov, E. B. Kluenkov, A. Y. Lopatin, V. I. Luchin, N. N. Salashchenko, N. N. Tsybin, L. A. Sjmaenok, V. E. Banine, A. M. Yakunin, J. Micro/Nanolithogr. MEMS MOEMS 11, 021115 (2012).
[CrossRef]

Salmassi, F.

J. Alexander Liddle, F. Salmassi, P. P. Naulleau, E. M. Gullikson, J. Vac. Sci. Technol. B 21, 2980 (2003).
[CrossRef]

Schröder, S.

Scrinzi, A.

J. Seres, E. Seres, A. J. Verhoef, G. Tempea, C. Streli, P. Wobrauschek, V. Yakovlev, A. Scrinzi, C. Spielmann, F. Krausz, Nature, 433, 596 (2005).
[CrossRef]

Seres, E.

J. Seres, E. Seres, A. J. Verhoef, G. Tempea, C. Streli, P. Wobrauschek, V. Yakovlev, A. Scrinzi, C. Spielmann, F. Krausz, Nature, 433, 596 (2005).
[CrossRef]

Seres, J.

J. Seres, E. Seres, A. J. Verhoef, G. Tempea, C. Streli, P. Wobrauschek, V. Yakovlev, A. Scrinzi, C. Spielmann, F. Krausz, Nature, 433, 596 (2005).
[CrossRef]

Shiraishi, Y.

J. Fujimoto, T. Hori, T. Yanagida, T. Ohta, Y. Kawasuji, Y. Shiraishi, T. Abe, T. Kodama, H. Nakarai, T. Yamazaki, H. Mizoguchi, Proc. SPIE 8332, 83220F (2012).
[CrossRef]

Simmons, R. D.

I. V. Fomenkov, D. C. Brandt, A. N. Bykanov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65173J (2007).
[CrossRef]

Sjmaenok, L. A.

N. I. Chkhalo, M. N. Drozdov, E. B. Kluenkov, A. Y. Lopatin, V. I. Luchin, N. N. Salashchenko, N. N. Tsybin, L. A. Sjmaenok, V. E. Banine, A. M. Yakunin, J. Micro/Nanolithogr. MEMS MOEMS 11, 021115 (2012).
[CrossRef]

Soer, W. A.

Spielmann, C.

J. Seres, E. Seres, A. J. Verhoef, G. Tempea, C. Streli, P. Wobrauschek, V. Yakovlev, A. Scrinzi, C. Spielmann, F. Krausz, Nature, 433, 596 (2005).
[CrossRef]

Steinmeyer, G.

R. Grunwald, U. Neumann, U. Griebner, G. Stibenz, S. Langer, G. Steinmeyer, V. Kebbel, M. Piché, Proc. SPIE 5827, 187 (2005).
[CrossRef]

Stibenz, G.

R. Grunwald, U. Neumann, U. Griebner, G. Stibenz, S. Langer, G. Steinmeyer, V. Kebbel, M. Piché, Proc. SPIE 5827, 187 (2005).
[CrossRef]

Streli, C.

J. Seres, E. Seres, A. J. Verhoef, G. Tempea, C. Streli, P. Wobrauschek, V. Yakovlev, A. Scrinzi, C. Spielmann, F. Krausz, Nature, 433, 596 (2005).
[CrossRef]

Swinkels, G.

R. Moors, V. Banine, G. Swinkels, F. Wortel, J. Micro/Nanolithogr. MEMS MOEMS 11, 021102 (2012).
[CrossRef]

Swinkels, G. H. P. M.

V. Y. Banine, K. N. Koshelev, G. H. P. M. Swinkels, J. Phys. D 44, 253001 (2011).
[CrossRef]

Tarrio, C.

W. M. Clift, L. E. Klebanoff, C. Tarrio, S. Grantham, O. R. Wood, S. Wurm, N. V. Edwards, Proc. SPIE 5374, 666 (2004).
[CrossRef]

Tempea, G.

J. Seres, E. Seres, A. J. Verhoef, G. Tempea, C. Streli, P. Wobrauschek, V. Yakovlev, A. Scrinzi, C. Spielmann, F. Krausz, Nature, 433, 596 (2005).
[CrossRef]

Trost, M.

Tsybin, N. N.

N. I. Chkhalo, M. N. Drozdov, E. B. Kluenkov, A. Y. Lopatin, V. I. Luchin, N. N. Salashchenko, N. N. Tsybin, L. A. Sjmaenok, V. E. Banine, A. M. Yakunin, J. Micro/Nanolithogr. MEMS MOEMS 11, 021115 (2012).
[CrossRef]

Tünnermann, A.

van de Kruijs, R. W. E.

van den Boogaard, A. J. R.

van der Meer, R.

van Goor, F. A.

van Herpen, M. M. J. W.

Vargas, E.

I. V. Fomenkov, D. C. Brandt, A. N. Bykanov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65173J (2007).
[CrossRef]

Vaschenko, G. O.

I. V. Fomenkov, D. C. Brandt, A. N. Bykanov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65173J (2007).
[CrossRef]

Verhoef, A. J.

J. Seres, E. Seres, A. J. Verhoef, G. Tempea, C. Streli, P. Wobrauschek, V. Yakovlev, A. Scrinzi, C. Spielmann, F. Krausz, Nature, 433, 596 (2005).
[CrossRef]

Vinogradov, A. V.

I. A. Artyukov, A. I. Fedorenko, V. V. Kondratenko, S. A. Yulin, A. V. Vinogradov, Opt. Commun. 102, 401 (1993).
[CrossRef]

Wagner, C.

C. Wagner, N. Harned, Nat. Photonics, 4, 24 (2010).
[CrossRef]

Wobrauschek, P.

J. Seres, E. Seres, A. J. Verhoef, G. Tempea, C. Streli, P. Wobrauschek, V. Yakovlev, A. Scrinzi, C. Spielmann, F. Krausz, Nature, 433, 596 (2005).
[CrossRef]

Wood, O. R.

W. M. Clift, L. E. Klebanoff, C. Tarrio, S. Grantham, O. R. Wood, S. Wurm, N. V. Edwards, Proc. SPIE 5374, 666 (2004).
[CrossRef]

Wortel, F.

R. Moors, V. Banine, G. Swinkels, F. Wortel, J. Micro/Nanolithogr. MEMS MOEMS 11, 021102 (2012).
[CrossRef]

Wurm, S.

W. M. Clift, L. E. Klebanoff, C. Tarrio, S. Grantham, O. R. Wood, S. Wurm, N. V. Edwards, Proc. SPIE 5374, 666 (2004).
[CrossRef]

Yakovlev, V.

J. Seres, E. Seres, A. J. Verhoef, G. Tempea, C. Streli, P. Wobrauschek, V. Yakovlev, A. Scrinzi, C. Spielmann, F. Krausz, Nature, 433, 596 (2005).
[CrossRef]

Yakshin, A. E.

Yakunin, A. M.

N. I. Chkhalo, M. N. Drozdov, E. B. Kluenkov, A. Y. Lopatin, V. I. Luchin, N. N. Salashchenko, N. N. Tsybin, L. A. Sjmaenok, V. E. Banine, A. M. Yakunin, J. Micro/Nanolithogr. MEMS MOEMS 11, 021115 (2012).
[CrossRef]

V. V. Medvedev, A. E. Yakshin, R. W. E. van de Kruijs, V. M. Krivtsun, A. M. Yakunin, K. N. Koshelev, F. Bijkerk, Opt. Lett. 37, 1169 (2012).
[CrossRef]

Yamazaki, T.

J. Fujimoto, T. Hori, T. Yanagida, T. Ohta, Y. Kawasuji, Y. Shiraishi, T. Abe, T. Kodama, H. Nakarai, T. Yamazaki, H. Mizoguchi, Proc. SPIE 8332, 83220F (2012).
[CrossRef]

Yanagida, T.

J. Fujimoto, T. Hori, T. Yanagida, T. Ohta, Y. Kawasuji, Y. Shiraishi, T. Abe, T. Kodama, H. Nakarai, T. Yamazaki, H. Mizoguchi, Proc. SPIE 8332, 83220F (2012).
[CrossRef]

Yao, S. K.

S. K. Yao, J. Appl. Phys. 50, 3390 (1979).
[CrossRef]

Yulin, S. A.

I. A. Artyukov, A. I. Fedorenko, V. V. Kondratenko, S. A. Yulin, A. V. Vinogradov, Opt. Commun. 102, 401 (1993).
[CrossRef]

Zeitner, U. D.

Zoethout, E.

S. P. Huber, R. W. E. van de Kruijs, A. E. Yakshin, E. Zoethout, F. Bijkerk, Proc. SPIE 8848, 884814 (2013).
[CrossRef]

Ann. Geophys. (1)

J. Lilensten, T. Dudok de Wit, M. Kretzschmar, P.-O. Amblard, S. Moussaoui, J. Aboudarham, F. Auchère, Ann. Geophys. 26, 269 (2008).
[CrossRef]

J. Appl. Phys. (1)

S. K. Yao, J. Appl. Phys. 50, 3390 (1979).
[CrossRef]

J. Micro/Nanolithogr. MEMS MOEMS (2)

R. Moors, V. Banine, G. Swinkels, F. Wortel, J. Micro/Nanolithogr. MEMS MOEMS 11, 021102 (2012).
[CrossRef]

N. I. Chkhalo, M. N. Drozdov, E. B. Kluenkov, A. Y. Lopatin, V. I. Luchin, N. N. Salashchenko, N. N. Tsybin, L. A. Sjmaenok, V. E. Banine, A. M. Yakunin, J. Micro/Nanolithogr. MEMS MOEMS 11, 021115 (2012).
[CrossRef]

J. Opt. Soc. Am. (1)

J. Phys. D (1)

V. Y. Banine, K. N. Koshelev, G. H. P. M. Swinkels, J. Phys. D 44, 253001 (2011).
[CrossRef]

J. Vac. Sci. Technol. B (1)

J. Alexander Liddle, F. Salmassi, P. P. Naulleau, E. M. Gullikson, J. Vac. Sci. Technol. B 21, 2980 (2003).
[CrossRef]

Nat. Photonics (1)

C. Wagner, N. Harned, Nat. Photonics, 4, 24 (2010).
[CrossRef]

Nature (1)

J. Seres, E. Seres, A. J. Verhoef, G. Tempea, C. Streli, P. Wobrauschek, V. Yakovlev, A. Scrinzi, C. Spielmann, F. Krausz, Nature, 433, 596 (2005).
[CrossRef]

Opt. Commun. (1)

I. A. Artyukov, A. I. Fedorenko, V. V. Kondratenko, S. A. Yulin, A. V. Vinogradov, Opt. Commun. 102, 401 (1993).
[CrossRef]

Opt. Express (2)

Opt. Lett. (4)

Proc. SPIE (6)

S. P. Huber, R. W. E. van de Kruijs, A. E. Yakshin, E. Zoethout, F. Bijkerk, Proc. SPIE 8848, 884814 (2013).
[CrossRef]

I. V. Fomenkov, D. C. Brandt, A. N. Bykanov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65173J (2007).
[CrossRef]

J. Fujimoto, T. Hori, T. Yanagida, T. Ohta, Y. Kawasuji, Y. Shiraishi, T. Abe, T. Kodama, H. Nakarai, T. Yamazaki, H. Mizoguchi, Proc. SPIE 8332, 83220F (2012).
[CrossRef]

R. Grunwald, U. Neumann, U. Griebner, G. Stibenz, S. Langer, G. Steinmeyer, V. Kebbel, M. Piché, Proc. SPIE 5827, 187 (2005).
[CrossRef]

W. M. Clift, L. E. Klebanoff, C. Tarrio, S. Grantham, O. R. Wood, S. Wurm, N. V. Edwards, Proc. SPIE 5374, 666 (2004).
[CrossRef]

I. V. Fomenkov, D. C. Brandt, N. R. Farrar, B. La Fontaine, N. R. Böwering, D. J. Brown, A. I. Ershov, D. W. Myers, Proc. SPIE 8679, 86792I (2013).
[CrossRef]

Other (1)

D. M. Mattox, Handbook of Physical Vapor Deposition (PVD) Processing: Film Formation, Adhesion, Surface Preparation and Contamination Control (Noyes, 1998).

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (6)

Fig. 1.
Fig. 1.

(a) Schematic of the pyramids-on-ML system. (b) Structural parameters of a single pyramid unit.

Fig. 2.
Fig. 2.

UV reflectance of pyramid-on-ML system with different height.

Fig. 3.
Fig. 3.

UV reflectance of pyramids-on-ML system with different top-flat and bottom widths.

Fig. 4.
Fig. 4.

AFM image of the fabricated pyramids.

Fig. 5.
Fig. 5.

Measured UV reflectance of the pyramid-on-ML system and the MLM. The reflectance curve in log scale is shown in the insertion.

Fig. 6.
Fig. 6.

Measured EUV reflectance of the pyramid-on-ML system and the MLM.

Tables (1)

Tables Icon

Table 1. Structural Parameters of the Pyramid

Metrics