Abstract

We constructed a master oscillator power amplifier CO2 laser system using a transverse-flow, RF-pumped CW CO2 laser. We carried out an amplification test at a 100% duty cycle of pumping discharge with the electrical input for the discharge up to 60 kW. An output power of 1.90 kW was achieved at the oscillator repetition rate of 100 kHz and the optical input power of 13 W. The electrical-to-optical efficiency was 3.1%.

© 2012 Optical Society of America

PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. H. Tanaka, K. Akinaga, A. Takahashi, and T. Okada, Proc. SPIE 5448, 737 (2004).
    [CrossRef]
  2. H. Tanaka, K. Akinaga, A. Takahashi, and T. Okada, Proc. SPIE 5662, 313 (2004).
    [CrossRef]
  3. Y. Ueno, G. Soumagne, A. Sumitani, and A. Endo, Appl. Phys. Lett. 91, 231501 (2007).
    [CrossRef]
  4. J. Fujimoto, T. Ohta, K. M. Nowak, T. Suganuma, H. Kameda, M. Moriya, T. Yokoduka, K. Fujitaka, A. Sumitani, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7969, 79692S (2011).
    [CrossRef]
  5. H. Mizoguchi, T. Abe, Y. Watanabe, T. Ishihara, T. Ohta, T. Hori, T. Yanagida, H. Nagano, T. Yabu, S. Nagai, G. Soumagne, A. Kurosu, K. M. Nowak, T. Suganuma, M. Moriya, K. Kakizaki, A. Sumitani, H. Kameda, H. Nakarai, and J. Fujimoto, Proc. SPIE 7969, 796908(2011).
    [CrossRef]
  6. A. E. Hill, Appl. Phys. Lett. 12, 324 (1968).
    [CrossRef]
  7. A. J. Beaulieu, Appl. Phys. Lett. 16, 504 (1970).
    [CrossRef]
  8. T. Sakai and N. Hamada, Proc. SPIE 2502, 25 (1992).
    [CrossRef]
  9. U. Bielesch, M. Budde, M. Fischbach, B. Freisinger, J. H. Schaefer, J. Uhlenbusch, and W. Viol, Proc. SPIE 1810, 57 (1992).
    [CrossRef]
  10. D. C. Brandt, I. V. Fomenkov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, A. N. Bykanov, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, L. E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65170Q (2007).
    [CrossRef]
  11. H. Hoshino, T. Suganuma, T. Asayama, K. M. Nowak, M. Moriya, T. Abe, A. Endo, and A. Sumitani, Proc. SPIE 6921, 692131 (2008).
    [CrossRef]
  12. A. Endo, in CO2 Laser: Optimisation and ApplicationD. C. Dumitras, ed. (InTech, 2012), pp. 163–178.
  13. K. M. Nowak, T. Ohta, J. Fujimoto, H. Mizoguchi, and A. Endo, presented at the EUVL Workshop, UCD Dublin, Ireland, 7–9November2011.
  14. T. J. Bridges and P. K. Cheo, Appl. Phys. Lett. 14, 262 (1969).
    [CrossRef]

2011 (2)

J. Fujimoto, T. Ohta, K. M. Nowak, T. Suganuma, H. Kameda, M. Moriya, T. Yokoduka, K. Fujitaka, A. Sumitani, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7969, 79692S (2011).
[CrossRef]

H. Mizoguchi, T. Abe, Y. Watanabe, T. Ishihara, T. Ohta, T. Hori, T. Yanagida, H. Nagano, T. Yabu, S. Nagai, G. Soumagne, A. Kurosu, K. M. Nowak, T. Suganuma, M. Moriya, K. Kakizaki, A. Sumitani, H. Kameda, H. Nakarai, and J. Fujimoto, Proc. SPIE 7969, 796908(2011).
[CrossRef]

2008 (1)

H. Hoshino, T. Suganuma, T. Asayama, K. M. Nowak, M. Moriya, T. Abe, A. Endo, and A. Sumitani, Proc. SPIE 6921, 692131 (2008).
[CrossRef]

2007 (2)

D. C. Brandt, I. V. Fomenkov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, A. N. Bykanov, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, L. E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65170Q (2007).
[CrossRef]

Y. Ueno, G. Soumagne, A. Sumitani, and A. Endo, Appl. Phys. Lett. 91, 231501 (2007).
[CrossRef]

2004 (2)

H. Tanaka, K. Akinaga, A. Takahashi, and T. Okada, Proc. SPIE 5448, 737 (2004).
[CrossRef]

H. Tanaka, K. Akinaga, A. Takahashi, and T. Okada, Proc. SPIE 5662, 313 (2004).
[CrossRef]

1992 (2)

T. Sakai and N. Hamada, Proc. SPIE 2502, 25 (1992).
[CrossRef]

U. Bielesch, M. Budde, M. Fischbach, B. Freisinger, J. H. Schaefer, J. Uhlenbusch, and W. Viol, Proc. SPIE 1810, 57 (1992).
[CrossRef]

1970 (1)

A. J. Beaulieu, Appl. Phys. Lett. 16, 504 (1970).
[CrossRef]

1969 (1)

T. J. Bridges and P. K. Cheo, Appl. Phys. Lett. 14, 262 (1969).
[CrossRef]

1968 (1)

A. E. Hill, Appl. Phys. Lett. 12, 324 (1968).
[CrossRef]

Abe, T.

H. Mizoguchi, T. Abe, Y. Watanabe, T. Ishihara, T. Ohta, T. Hori, T. Yanagida, H. Nagano, T. Yabu, S. Nagai, G. Soumagne, A. Kurosu, K. M. Nowak, T. Suganuma, M. Moriya, K. Kakizaki, A. Sumitani, H. Kameda, H. Nakarai, and J. Fujimoto, Proc. SPIE 7969, 796908(2011).
[CrossRef]

H. Hoshino, T. Suganuma, T. Asayama, K. M. Nowak, M. Moriya, T. Abe, A. Endo, and A. Sumitani, Proc. SPIE 6921, 692131 (2008).
[CrossRef]

Akinaga, K.

H. Tanaka, K. Akinaga, A. Takahashi, and T. Okada, Proc. SPIE 5448, 737 (2004).
[CrossRef]

H. Tanaka, K. Akinaga, A. Takahashi, and T. Okada, Proc. SPIE 5662, 313 (2004).
[CrossRef]

Asayama, T.

H. Hoshino, T. Suganuma, T. Asayama, K. M. Nowak, M. Moriya, T. Abe, A. Endo, and A. Sumitani, Proc. SPIE 6921, 692131 (2008).
[CrossRef]

Beaulieu, A. J.

A. J. Beaulieu, Appl. Phys. Lett. 16, 504 (1970).
[CrossRef]

Bielesch, U.

U. Bielesch, M. Budde, M. Fischbach, B. Freisinger, J. H. Schaefer, J. Uhlenbusch, and W. Viol, Proc. SPIE 1810, 57 (1992).
[CrossRef]

Böwering, N. R.

D. C. Brandt, I. V. Fomenkov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, A. N. Bykanov, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, L. E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65170Q (2007).
[CrossRef]

Brandt, D. C.

D. C. Brandt, I. V. Fomenkov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, A. N. Bykanov, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, L. E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65170Q (2007).
[CrossRef]

Bridges, T. J.

T. J. Bridges and P. K. Cheo, Appl. Phys. Lett. 14, 262 (1969).
[CrossRef]

Budde, M.

U. Bielesch, M. Budde, M. Fischbach, B. Freisinger, J. H. Schaefer, J. Uhlenbusch, and W. Viol, Proc. SPIE 1810, 57 (1992).
[CrossRef]

Bykanov, A. N.

D. C. Brandt, I. V. Fomenkov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, A. N. Bykanov, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, L. E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65170Q (2007).
[CrossRef]

Chavez, J. A.

D. C. Brandt, I. V. Fomenkov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, A. N. Bykanov, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, L. E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65170Q (2007).
[CrossRef]

Cheo, P. K.

T. J. Bridges and P. K. Cheo, Appl. Phys. Lett. 14, 262 (1969).
[CrossRef]

Chrobak, C. P.

D. C. Brandt, I. V. Fomenkov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, A. N. Bykanov, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, L. E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65170Q (2007).
[CrossRef]

Endo, A.

H. Hoshino, T. Suganuma, T. Asayama, K. M. Nowak, M. Moriya, T. Abe, A. Endo, and A. Sumitani, Proc. SPIE 6921, 692131 (2008).
[CrossRef]

Y. Ueno, G. Soumagne, A. Sumitani, and A. Endo, Appl. Phys. Lett. 91, 231501 (2007).
[CrossRef]

A. Endo, in CO2 Laser: Optimisation and ApplicationD. C. Dumitras, ed. (InTech, 2012), pp. 163–178.

K. M. Nowak, T. Ohta, J. Fujimoto, H. Mizoguchi, and A. Endo, presented at the EUVL Workshop, UCD Dublin, Ireland, 7–9November2011.

Ershov, A. I.

D. C. Brandt, I. V. Fomenkov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, A. N. Bykanov, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, L. E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65170Q (2007).
[CrossRef]

Fischbach, M.

U. Bielesch, M. Budde, M. Fischbach, B. Freisinger, J. H. Schaefer, J. Uhlenbusch, and W. Viol, Proc. SPIE 1810, 57 (1992).
[CrossRef]

Fomenkov, I. V.

D. C. Brandt, I. V. Fomenkov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, A. N. Bykanov, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, L. E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65170Q (2007).
[CrossRef]

Freisinger, B.

U. Bielesch, M. Budde, M. Fischbach, B. Freisinger, J. H. Schaefer, J. Uhlenbusch, and W. Viol, Proc. SPIE 1810, 57 (1992).
[CrossRef]

Fujimoto, J.

J. Fujimoto, T. Ohta, K. M. Nowak, T. Suganuma, H. Kameda, M. Moriya, T. Yokoduka, K. Fujitaka, A. Sumitani, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7969, 79692S (2011).
[CrossRef]

H. Mizoguchi, T. Abe, Y. Watanabe, T. Ishihara, T. Ohta, T. Hori, T. Yanagida, H. Nagano, T. Yabu, S. Nagai, G. Soumagne, A. Kurosu, K. M. Nowak, T. Suganuma, M. Moriya, K. Kakizaki, A. Sumitani, H. Kameda, H. Nakarai, and J. Fujimoto, Proc. SPIE 7969, 796908(2011).
[CrossRef]

K. M. Nowak, T. Ohta, J. Fujimoto, H. Mizoguchi, and A. Endo, presented at the EUVL Workshop, UCD Dublin, Ireland, 7–9November2011.

Fujitaka, K.

J. Fujimoto, T. Ohta, K. M. Nowak, T. Suganuma, H. Kameda, M. Moriya, T. Yokoduka, K. Fujitaka, A. Sumitani, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7969, 79692S (2011).
[CrossRef]

Hamada, N.

T. Sakai and N. Hamada, Proc. SPIE 2502, 25 (1992).
[CrossRef]

Hill, A. E.

A. E. Hill, Appl. Phys. Lett. 12, 324 (1968).
[CrossRef]

Hoffman, J. R.

D. C. Brandt, I. V. Fomenkov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, A. N. Bykanov, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, L. E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65170Q (2007).
[CrossRef]

Hori, T.

H. Mizoguchi, T. Abe, Y. Watanabe, T. Ishihara, T. Ohta, T. Hori, T. Yanagida, H. Nagano, T. Yabu, S. Nagai, G. Soumagne, A. Kurosu, K. M. Nowak, T. Suganuma, M. Moriya, K. Kakizaki, A. Sumitani, H. Kameda, H. Nakarai, and J. Fujimoto, Proc. SPIE 7969, 796908(2011).
[CrossRef]

Hoshino, H.

H. Hoshino, T. Suganuma, T. Asayama, K. M. Nowak, M. Moriya, T. Abe, A. Endo, and A. Sumitani, Proc. SPIE 6921, 692131 (2008).
[CrossRef]

Ishihara, T.

H. Mizoguchi, T. Abe, Y. Watanabe, T. Ishihara, T. Ohta, T. Hori, T. Yanagida, H. Nagano, T. Yabu, S. Nagai, G. Soumagne, A. Kurosu, K. M. Nowak, T. Suganuma, M. Moriya, K. Kakizaki, A. Sumitani, H. Kameda, H. Nakarai, and J. Fujimoto, Proc. SPIE 7969, 796908(2011).
[CrossRef]

Kakizaki, K.

H. Mizoguchi, T. Abe, Y. Watanabe, T. Ishihara, T. Ohta, T. Hori, T. Yanagida, H. Nagano, T. Yabu, S. Nagai, G. Soumagne, A. Kurosu, K. M. Nowak, T. Suganuma, M. Moriya, K. Kakizaki, A. Sumitani, H. Kameda, H. Nakarai, and J. Fujimoto, Proc. SPIE 7969, 796908(2011).
[CrossRef]

Kameda, H.

H. Mizoguchi, T. Abe, Y. Watanabe, T. Ishihara, T. Ohta, T. Hori, T. Yanagida, H. Nagano, T. Yabu, S. Nagai, G. Soumagne, A. Kurosu, K. M. Nowak, T. Suganuma, M. Moriya, K. Kakizaki, A. Sumitani, H. Kameda, H. Nakarai, and J. Fujimoto, Proc. SPIE 7969, 796908(2011).
[CrossRef]

J. Fujimoto, T. Ohta, K. M. Nowak, T. Suganuma, H. Kameda, M. Moriya, T. Yokoduka, K. Fujitaka, A. Sumitani, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7969, 79692S (2011).
[CrossRef]

Khodykin, O. V.

D. C. Brandt, I. V. Fomenkov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, A. N. Bykanov, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, L. E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65170Q (2007).
[CrossRef]

Kurosu, A.

H. Mizoguchi, T. Abe, Y. Watanabe, T. Ishihara, T. Ohta, T. Hori, T. Yanagida, H. Nagano, T. Yabu, S. Nagai, G. Soumagne, A. Kurosu, K. M. Nowak, T. Suganuma, M. Moriya, K. Kakizaki, A. Sumitani, H. Kameda, H. Nakarai, and J. Fujimoto, Proc. SPIE 7969, 796908(2011).
[CrossRef]

Mizoguchi, H.

H. Mizoguchi, T. Abe, Y. Watanabe, T. Ishihara, T. Ohta, T. Hori, T. Yanagida, H. Nagano, T. Yabu, S. Nagai, G. Soumagne, A. Kurosu, K. M. Nowak, T. Suganuma, M. Moriya, K. Kakizaki, A. Sumitani, H. Kameda, H. Nakarai, and J. Fujimoto, Proc. SPIE 7969, 796908(2011).
[CrossRef]

J. Fujimoto, T. Ohta, K. M. Nowak, T. Suganuma, H. Kameda, M. Moriya, T. Yokoduka, K. Fujitaka, A. Sumitani, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7969, 79692S (2011).
[CrossRef]

K. M. Nowak, T. Ohta, J. Fujimoto, H. Mizoguchi, and A. Endo, presented at the EUVL Workshop, UCD Dublin, Ireland, 7–9November2011.

Moriya, M.

J. Fujimoto, T. Ohta, K. M. Nowak, T. Suganuma, H. Kameda, M. Moriya, T. Yokoduka, K. Fujitaka, A. Sumitani, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7969, 79692S (2011).
[CrossRef]

H. Mizoguchi, T. Abe, Y. Watanabe, T. Ishihara, T. Ohta, T. Hori, T. Yanagida, H. Nagano, T. Yabu, S. Nagai, G. Soumagne, A. Kurosu, K. M. Nowak, T. Suganuma, M. Moriya, K. Kakizaki, A. Sumitani, H. Kameda, H. Nakarai, and J. Fujimoto, Proc. SPIE 7969, 796908(2011).
[CrossRef]

H. Hoshino, T. Suganuma, T. Asayama, K. M. Nowak, M. Moriya, T. Abe, A. Endo, and A. Sumitani, Proc. SPIE 6921, 692131 (2008).
[CrossRef]

Myers, D. W.

D. C. Brandt, I. V. Fomenkov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, A. N. Bykanov, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, L. E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65170Q (2007).
[CrossRef]

Nagai, S.

H. Mizoguchi, T. Abe, Y. Watanabe, T. Ishihara, T. Ohta, T. Hori, T. Yanagida, H. Nagano, T. Yabu, S. Nagai, G. Soumagne, A. Kurosu, K. M. Nowak, T. Suganuma, M. Moriya, K. Kakizaki, A. Sumitani, H. Kameda, H. Nakarai, and J. Fujimoto, Proc. SPIE 7969, 796908(2011).
[CrossRef]

Nagano, H.

H. Mizoguchi, T. Abe, Y. Watanabe, T. Ishihara, T. Ohta, T. Hori, T. Yanagida, H. Nagano, T. Yabu, S. Nagai, G. Soumagne, A. Kurosu, K. M. Nowak, T. Suganuma, M. Moriya, K. Kakizaki, A. Sumitani, H. Kameda, H. Nakarai, and J. Fujimoto, Proc. SPIE 7969, 796908(2011).
[CrossRef]

Nakarai, H.

H. Mizoguchi, T. Abe, Y. Watanabe, T. Ishihara, T. Ohta, T. Hori, T. Yanagida, H. Nagano, T. Yabu, S. Nagai, G. Soumagne, A. Kurosu, K. M. Nowak, T. Suganuma, M. Moriya, K. Kakizaki, A. Sumitani, H. Kameda, H. Nakarai, and J. Fujimoto, Proc. SPIE 7969, 796908(2011).
[CrossRef]

Nowak, K. M.

H. Mizoguchi, T. Abe, Y. Watanabe, T. Ishihara, T. Ohta, T. Hori, T. Yanagida, H. Nagano, T. Yabu, S. Nagai, G. Soumagne, A. Kurosu, K. M. Nowak, T. Suganuma, M. Moriya, K. Kakizaki, A. Sumitani, H. Kameda, H. Nakarai, and J. Fujimoto, Proc. SPIE 7969, 796908(2011).
[CrossRef]

J. Fujimoto, T. Ohta, K. M. Nowak, T. Suganuma, H. Kameda, M. Moriya, T. Yokoduka, K. Fujitaka, A. Sumitani, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7969, 79692S (2011).
[CrossRef]

H. Hoshino, T. Suganuma, T. Asayama, K. M. Nowak, M. Moriya, T. Abe, A. Endo, and A. Sumitani, Proc. SPIE 6921, 692131 (2008).
[CrossRef]

K. M. Nowak, T. Ohta, J. Fujimoto, H. Mizoguchi, and A. Endo, presented at the EUVL Workshop, UCD Dublin, Ireland, 7–9November2011.

Ohta, T.

J. Fujimoto, T. Ohta, K. M. Nowak, T. Suganuma, H. Kameda, M. Moriya, T. Yokoduka, K. Fujitaka, A. Sumitani, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7969, 79692S (2011).
[CrossRef]

H. Mizoguchi, T. Abe, Y. Watanabe, T. Ishihara, T. Ohta, T. Hori, T. Yanagida, H. Nagano, T. Yabu, S. Nagai, G. Soumagne, A. Kurosu, K. M. Nowak, T. Suganuma, M. Moriya, K. Kakizaki, A. Sumitani, H. Kameda, H. Nakarai, and J. Fujimoto, Proc. SPIE 7969, 796908(2011).
[CrossRef]

K. M. Nowak, T. Ohta, J. Fujimoto, H. Mizoguchi, and A. Endo, presented at the EUVL Workshop, UCD Dublin, Ireland, 7–9November2011.

Okada, T.

H. Tanaka, K. Akinaga, A. Takahashi, and T. Okada, Proc. SPIE 5662, 313 (2004).
[CrossRef]

H. Tanaka, K. Akinaga, A. Takahashi, and T. Okada, Proc. SPIE 5448, 737 (2004).
[CrossRef]

Partlo, W. N.

D. C. Brandt, I. V. Fomenkov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, A. N. Bykanov, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, L. E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65170Q (2007).
[CrossRef]

Sakai, T.

T. Sakai and N. Hamada, Proc. SPIE 2502, 25 (1992).
[CrossRef]

Schaefer, J. H.

U. Bielesch, M. Budde, M. Fischbach, B. Freisinger, J. H. Schaefer, J. Uhlenbusch, and W. Viol, Proc. SPIE 1810, 57 (1992).
[CrossRef]

Simmons, R. D.

D. C. Brandt, I. V. Fomenkov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, A. N. Bykanov, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, L. E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65170Q (2007).
[CrossRef]

Soumagne, G.

H. Mizoguchi, T. Abe, Y. Watanabe, T. Ishihara, T. Ohta, T. Hori, T. Yanagida, H. Nagano, T. Yabu, S. Nagai, G. Soumagne, A. Kurosu, K. M. Nowak, T. Suganuma, M. Moriya, K. Kakizaki, A. Sumitani, H. Kameda, H. Nakarai, and J. Fujimoto, Proc. SPIE 7969, 796908(2011).
[CrossRef]

Y. Ueno, G. Soumagne, A. Sumitani, and A. Endo, Appl. Phys. Lett. 91, 231501 (2007).
[CrossRef]

Suganuma, T.

H. Mizoguchi, T. Abe, Y. Watanabe, T. Ishihara, T. Ohta, T. Hori, T. Yanagida, H. Nagano, T. Yabu, S. Nagai, G. Soumagne, A. Kurosu, K. M. Nowak, T. Suganuma, M. Moriya, K. Kakizaki, A. Sumitani, H. Kameda, H. Nakarai, and J. Fujimoto, Proc. SPIE 7969, 796908(2011).
[CrossRef]

J. Fujimoto, T. Ohta, K. M. Nowak, T. Suganuma, H. Kameda, M. Moriya, T. Yokoduka, K. Fujitaka, A. Sumitani, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7969, 79692S (2011).
[CrossRef]

H. Hoshino, T. Suganuma, T. Asayama, K. M. Nowak, M. Moriya, T. Abe, A. Endo, and A. Sumitani, Proc. SPIE 6921, 692131 (2008).
[CrossRef]

Sumitani, A.

H. Mizoguchi, T. Abe, Y. Watanabe, T. Ishihara, T. Ohta, T. Hori, T. Yanagida, H. Nagano, T. Yabu, S. Nagai, G. Soumagne, A. Kurosu, K. M. Nowak, T. Suganuma, M. Moriya, K. Kakizaki, A. Sumitani, H. Kameda, H. Nakarai, and J. Fujimoto, Proc. SPIE 7969, 796908(2011).
[CrossRef]

J. Fujimoto, T. Ohta, K. M. Nowak, T. Suganuma, H. Kameda, M. Moriya, T. Yokoduka, K. Fujitaka, A. Sumitani, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7969, 79692S (2011).
[CrossRef]

H. Hoshino, T. Suganuma, T. Asayama, K. M. Nowak, M. Moriya, T. Abe, A. Endo, and A. Sumitani, Proc. SPIE 6921, 692131 (2008).
[CrossRef]

Y. Ueno, G. Soumagne, A. Sumitani, and A. Endo, Appl. Phys. Lett. 91, 231501 (2007).
[CrossRef]

Takahashi, A.

H. Tanaka, K. Akinaga, A. Takahashi, and T. Okada, Proc. SPIE 5448, 737 (2004).
[CrossRef]

H. Tanaka, K. Akinaga, A. Takahashi, and T. Okada, Proc. SPIE 5662, 313 (2004).
[CrossRef]

Tanaka, H.

H. Tanaka, K. Akinaga, A. Takahashi, and T. Okada, Proc. SPIE 5662, 313 (2004).
[CrossRef]

H. Tanaka, K. Akinaga, A. Takahashi, and T. Okada, Proc. SPIE 5448, 737 (2004).
[CrossRef]

Ueno, Y.

Y. Ueno, G. Soumagne, A. Sumitani, and A. Endo, Appl. Phys. Lett. 91, 231501 (2007).
[CrossRef]

Uhlenbusch, J.

U. Bielesch, M. Budde, M. Fischbach, B. Freisinger, J. H. Schaefer, J. Uhlenbusch, and W. Viol, Proc. SPIE 1810, 57 (1992).
[CrossRef]

Vargas, L. E.

D. C. Brandt, I. V. Fomenkov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, A. N. Bykanov, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, L. E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65170Q (2007).
[CrossRef]

Vaschenko, G. O.

D. C. Brandt, I. V. Fomenkov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, A. N. Bykanov, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, L. E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65170Q (2007).
[CrossRef]

Viol, W.

U. Bielesch, M. Budde, M. Fischbach, B. Freisinger, J. H. Schaefer, J. Uhlenbusch, and W. Viol, Proc. SPIE 1810, 57 (1992).
[CrossRef]

Watanabe, Y.

H. Mizoguchi, T. Abe, Y. Watanabe, T. Ishihara, T. Ohta, T. Hori, T. Yanagida, H. Nagano, T. Yabu, S. Nagai, G. Soumagne, A. Kurosu, K. M. Nowak, T. Suganuma, M. Moriya, K. Kakizaki, A. Sumitani, H. Kameda, H. Nakarai, and J. Fujimoto, Proc. SPIE 7969, 796908(2011).
[CrossRef]

Yabu, T.

H. Mizoguchi, T. Abe, Y. Watanabe, T. Ishihara, T. Ohta, T. Hori, T. Yanagida, H. Nagano, T. Yabu, S. Nagai, G. Soumagne, A. Kurosu, K. M. Nowak, T. Suganuma, M. Moriya, K. Kakizaki, A. Sumitani, H. Kameda, H. Nakarai, and J. Fujimoto, Proc. SPIE 7969, 796908(2011).
[CrossRef]

Yanagida, T.

H. Mizoguchi, T. Abe, Y. Watanabe, T. Ishihara, T. Ohta, T. Hori, T. Yanagida, H. Nagano, T. Yabu, S. Nagai, G. Soumagne, A. Kurosu, K. M. Nowak, T. Suganuma, M. Moriya, K. Kakizaki, A. Sumitani, H. Kameda, H. Nakarai, and J. Fujimoto, Proc. SPIE 7969, 796908(2011).
[CrossRef]

Yokoduka, T.

J. Fujimoto, T. Ohta, K. M. Nowak, T. Suganuma, H. Kameda, M. Moriya, T. Yokoduka, K. Fujitaka, A. Sumitani, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7969, 79692S (2011).
[CrossRef]

Appl. Phys. Lett. (4)

A. E. Hill, Appl. Phys. Lett. 12, 324 (1968).
[CrossRef]

A. J. Beaulieu, Appl. Phys. Lett. 16, 504 (1970).
[CrossRef]

Y. Ueno, G. Soumagne, A. Sumitani, and A. Endo, Appl. Phys. Lett. 91, 231501 (2007).
[CrossRef]

T. J. Bridges and P. K. Cheo, Appl. Phys. Lett. 14, 262 (1969).
[CrossRef]

Proc. SPIE (8)

J. Fujimoto, T. Ohta, K. M. Nowak, T. Suganuma, H. Kameda, M. Moriya, T. Yokoduka, K. Fujitaka, A. Sumitani, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7969, 79692S (2011).
[CrossRef]

H. Mizoguchi, T. Abe, Y. Watanabe, T. Ishihara, T. Ohta, T. Hori, T. Yanagida, H. Nagano, T. Yabu, S. Nagai, G. Soumagne, A. Kurosu, K. M. Nowak, T. Suganuma, M. Moriya, K. Kakizaki, A. Sumitani, H. Kameda, H. Nakarai, and J. Fujimoto, Proc. SPIE 7969, 796908(2011).
[CrossRef]

H. Tanaka, K. Akinaga, A. Takahashi, and T. Okada, Proc. SPIE 5448, 737 (2004).
[CrossRef]

H. Tanaka, K. Akinaga, A. Takahashi, and T. Okada, Proc. SPIE 5662, 313 (2004).
[CrossRef]

T. Sakai and N. Hamada, Proc. SPIE 2502, 25 (1992).
[CrossRef]

U. Bielesch, M. Budde, M. Fischbach, B. Freisinger, J. H. Schaefer, J. Uhlenbusch, and W. Viol, Proc. SPIE 1810, 57 (1992).
[CrossRef]

D. C. Brandt, I. V. Fomenkov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, A. N. Bykanov, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, L. E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65170Q (2007).
[CrossRef]

H. Hoshino, T. Suganuma, T. Asayama, K. M. Nowak, M. Moriya, T. Abe, A. Endo, and A. Sumitani, Proc. SPIE 6921, 692131 (2008).
[CrossRef]

Other (2)

A. Endo, in CO2 Laser: Optimisation and ApplicationD. C. Dumitras, ed. (InTech, 2012), pp. 163–178.

K. M. Nowak, T. Ohta, J. Fujimoto, H. Mizoguchi, and A. Endo, presented at the EUVL Workshop, UCD Dublin, Ireland, 7–9November2011.

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Metrics