Abstract

We constructed a master oscillator power amplifier CO2 laser system using a transverse-flow, RF-pumped CW CO2 laser. We carried out an amplification test at a 100% duty cycle of pumping discharge with the electrical input for the discharge up to 60 kW. An output power of 1.90 kW was achieved at the oscillator repetition rate of 100 kHz and the optical input power of 13 W. The electrical-to-optical efficiency was 3.1%.

© 2012 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. H. Tanaka, K. Akinaga, A. Takahashi, and T. Okada, Proc. SPIE 5448, 737 (2004).
    [CrossRef]
  2. H. Tanaka, K. Akinaga, A. Takahashi, and T. Okada, Proc. SPIE 5662, 313 (2004).
    [CrossRef]
  3. Y. Ueno, G. Soumagne, A. Sumitani, and A. Endo, Appl. Phys. Lett. 91, 231501 (2007).
    [CrossRef]
  4. J. Fujimoto, T. Ohta, K. M. Nowak, T. Suganuma, H. Kameda, M. Moriya, T. Yokoduka, K. Fujitaka, A. Sumitani, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7969, 79692S (2011).
    [CrossRef]
  5. H. Mizoguchi, T. Abe, Y. Watanabe, T. Ishihara, T. Ohta, T. Hori, T. Yanagida, H. Nagano, T. Yabu, S. Nagai, G. Soumagne, A. Kurosu, K. M. Nowak, T. Suganuma, M. Moriya, K. Kakizaki, A. Sumitani, H. Kameda, H. Nakarai, and J. Fujimoto, Proc. SPIE 7969, 796908(2011).
    [CrossRef]
  6. A. E. Hill, Appl. Phys. Lett. 12, 324 (1968).
    [CrossRef]
  7. A. J. Beaulieu, Appl. Phys. Lett. 16, 504 (1970).
    [CrossRef]
  8. T. Sakai and N. Hamada, Proc. SPIE 2502, 25 (1992).
    [CrossRef]
  9. U. Bielesch, M. Budde, M. Fischbach, B. Freisinger, J. H. Schaefer, J. Uhlenbusch, and W. Viol, Proc. SPIE 1810, 57 (1992).
    [CrossRef]
  10. D. C. Brandt, I. V. Fomenkov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, A. N. Bykanov, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, L. E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65170Q (2007).
    [CrossRef]
  11. H. Hoshino, T. Suganuma, T. Asayama, K. M. Nowak, M. Moriya, T. Abe, A. Endo, and A. Sumitani, Proc. SPIE 6921, 692131 (2008).
    [CrossRef]
  12. A. Endo, in CO2 Laser: Optimisation and ApplicationD. C. Dumitras, ed. (InTech, 2012), pp. 163–178.
  13. K. M. Nowak, T. Ohta, J. Fujimoto, H. Mizoguchi, and A. Endo, presented at the EUVL Workshop, UCD Dublin, Ireland, 7–9November2011.
  14. T. J. Bridges and P. K. Cheo, Appl. Phys. Lett. 14, 262 (1969).
    [CrossRef]

2011 (2)

J. Fujimoto, T. Ohta, K. M. Nowak, T. Suganuma, H. Kameda, M. Moriya, T. Yokoduka, K. Fujitaka, A. Sumitani, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7969, 79692S (2011).
[CrossRef]

H. Mizoguchi, T. Abe, Y. Watanabe, T. Ishihara, T. Ohta, T. Hori, T. Yanagida, H. Nagano, T. Yabu, S. Nagai, G. Soumagne, A. Kurosu, K. M. Nowak, T. Suganuma, M. Moriya, K. Kakizaki, A. Sumitani, H. Kameda, H. Nakarai, and J. Fujimoto, Proc. SPIE 7969, 796908(2011).
[CrossRef]

2008 (1)

H. Hoshino, T. Suganuma, T. Asayama, K. M. Nowak, M. Moriya, T. Abe, A. Endo, and A. Sumitani, Proc. SPIE 6921, 692131 (2008).
[CrossRef]

2007 (2)

D. C. Brandt, I. V. Fomenkov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, A. N. Bykanov, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, L. E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65170Q (2007).
[CrossRef]

Y. Ueno, G. Soumagne, A. Sumitani, and A. Endo, Appl. Phys. Lett. 91, 231501 (2007).
[CrossRef]

2004 (2)

H. Tanaka, K. Akinaga, A. Takahashi, and T. Okada, Proc. SPIE 5448, 737 (2004).
[CrossRef]

H. Tanaka, K. Akinaga, A. Takahashi, and T. Okada, Proc. SPIE 5662, 313 (2004).
[CrossRef]

1992 (2)

T. Sakai and N. Hamada, Proc. SPIE 2502, 25 (1992).
[CrossRef]

U. Bielesch, M. Budde, M. Fischbach, B. Freisinger, J. H. Schaefer, J. Uhlenbusch, and W. Viol, Proc. SPIE 1810, 57 (1992).
[CrossRef]

1970 (1)

A. J. Beaulieu, Appl. Phys. Lett. 16, 504 (1970).
[CrossRef]

1969 (1)

T. J. Bridges and P. K. Cheo, Appl. Phys. Lett. 14, 262 (1969).
[CrossRef]

1968 (1)

A. E. Hill, Appl. Phys. Lett. 12, 324 (1968).
[CrossRef]

Abe, T.

H. Mizoguchi, T. Abe, Y. Watanabe, T. Ishihara, T. Ohta, T. Hori, T. Yanagida, H. Nagano, T. Yabu, S. Nagai, G. Soumagne, A. Kurosu, K. M. Nowak, T. Suganuma, M. Moriya, K. Kakizaki, A. Sumitani, H. Kameda, H. Nakarai, and J. Fujimoto, Proc. SPIE 7969, 796908(2011).
[CrossRef]

H. Hoshino, T. Suganuma, T. Asayama, K. M. Nowak, M. Moriya, T. Abe, A. Endo, and A. Sumitani, Proc. SPIE 6921, 692131 (2008).
[CrossRef]

Akinaga, K.

H. Tanaka, K. Akinaga, A. Takahashi, and T. Okada, Proc. SPIE 5448, 737 (2004).
[CrossRef]

H. Tanaka, K. Akinaga, A. Takahashi, and T. Okada, Proc. SPIE 5662, 313 (2004).
[CrossRef]

Asayama, T.

H. Hoshino, T. Suganuma, T. Asayama, K. M. Nowak, M. Moriya, T. Abe, A. Endo, and A. Sumitani, Proc. SPIE 6921, 692131 (2008).
[CrossRef]

Beaulieu, A. J.

A. J. Beaulieu, Appl. Phys. Lett. 16, 504 (1970).
[CrossRef]

Bielesch, U.

U. Bielesch, M. Budde, M. Fischbach, B. Freisinger, J. H. Schaefer, J. Uhlenbusch, and W. Viol, Proc. SPIE 1810, 57 (1992).
[CrossRef]

Böwering, N. R.

D. C. Brandt, I. V. Fomenkov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, A. N. Bykanov, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, L. E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65170Q (2007).
[CrossRef]

Brandt, D. C.

D. C. Brandt, I. V. Fomenkov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, A. N. Bykanov, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, L. E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65170Q (2007).
[CrossRef]

Bridges, T. J.

T. J. Bridges and P. K. Cheo, Appl. Phys. Lett. 14, 262 (1969).
[CrossRef]

Budde, M.

U. Bielesch, M. Budde, M. Fischbach, B. Freisinger, J. H. Schaefer, J. Uhlenbusch, and W. Viol, Proc. SPIE 1810, 57 (1992).
[CrossRef]

Bykanov, A. N.

D. C. Brandt, I. V. Fomenkov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, A. N. Bykanov, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, L. E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65170Q (2007).
[CrossRef]

Chavez, J. A.

D. C. Brandt, I. V. Fomenkov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, A. N. Bykanov, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, L. E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65170Q (2007).
[CrossRef]

Cheo, P. K.

T. J. Bridges and P. K. Cheo, Appl. Phys. Lett. 14, 262 (1969).
[CrossRef]

Chrobak, C. P.

D. C. Brandt, I. V. Fomenkov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, A. N. Bykanov, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, L. E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65170Q (2007).
[CrossRef]

Endo, A.

H. Hoshino, T. Suganuma, T. Asayama, K. M. Nowak, M. Moriya, T. Abe, A. Endo, and A. Sumitani, Proc. SPIE 6921, 692131 (2008).
[CrossRef]

Y. Ueno, G. Soumagne, A. Sumitani, and A. Endo, Appl. Phys. Lett. 91, 231501 (2007).
[CrossRef]

A. Endo, in CO2 Laser: Optimisation and ApplicationD. C. Dumitras, ed. (InTech, 2012), pp. 163–178.

K. M. Nowak, T. Ohta, J. Fujimoto, H. Mizoguchi, and A. Endo, presented at the EUVL Workshop, UCD Dublin, Ireland, 7–9November2011.

Ershov, A. I.

D. C. Brandt, I. V. Fomenkov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, A. N. Bykanov, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, L. E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65170Q (2007).
[CrossRef]

Fischbach, M.

U. Bielesch, M. Budde, M. Fischbach, B. Freisinger, J. H. Schaefer, J. Uhlenbusch, and W. Viol, Proc. SPIE 1810, 57 (1992).
[CrossRef]

Fomenkov, I. V.

D. C. Brandt, I. V. Fomenkov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, A. N. Bykanov, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, L. E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65170Q (2007).
[CrossRef]

Freisinger, B.

U. Bielesch, M. Budde, M. Fischbach, B. Freisinger, J. H. Schaefer, J. Uhlenbusch, and W. Viol, Proc. SPIE 1810, 57 (1992).
[CrossRef]

Fujimoto, J.

H. Mizoguchi, T. Abe, Y. Watanabe, T. Ishihara, T. Ohta, T. Hori, T. Yanagida, H. Nagano, T. Yabu, S. Nagai, G. Soumagne, A. Kurosu, K. M. Nowak, T. Suganuma, M. Moriya, K. Kakizaki, A. Sumitani, H. Kameda, H. Nakarai, and J. Fujimoto, Proc. SPIE 7969, 796908(2011).
[CrossRef]

J. Fujimoto, T. Ohta, K. M. Nowak, T. Suganuma, H. Kameda, M. Moriya, T. Yokoduka, K. Fujitaka, A. Sumitani, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7969, 79692S (2011).
[CrossRef]

K. M. Nowak, T. Ohta, J. Fujimoto, H. Mizoguchi, and A. Endo, presented at the EUVL Workshop, UCD Dublin, Ireland, 7–9November2011.

Fujitaka, K.

J. Fujimoto, T. Ohta, K. M. Nowak, T. Suganuma, H. Kameda, M. Moriya, T. Yokoduka, K. Fujitaka, A. Sumitani, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7969, 79692S (2011).
[CrossRef]

Hamada, N.

T. Sakai and N. Hamada, Proc. SPIE 2502, 25 (1992).
[CrossRef]

Hill, A. E.

A. E. Hill, Appl. Phys. Lett. 12, 324 (1968).
[CrossRef]

Hoffman, J. R.

D. C. Brandt, I. V. Fomenkov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, A. N. Bykanov, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, L. E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65170Q (2007).
[CrossRef]

Hori, T.

H. Mizoguchi, T. Abe, Y. Watanabe, T. Ishihara, T. Ohta, T. Hori, T. Yanagida, H. Nagano, T. Yabu, S. Nagai, G. Soumagne, A. Kurosu, K. M. Nowak, T. Suganuma, M. Moriya, K. Kakizaki, A. Sumitani, H. Kameda, H. Nakarai, and J. Fujimoto, Proc. SPIE 7969, 796908(2011).
[CrossRef]

Hoshino, H.

H. Hoshino, T. Suganuma, T. Asayama, K. M. Nowak, M. Moriya, T. Abe, A. Endo, and A. Sumitani, Proc. SPIE 6921, 692131 (2008).
[CrossRef]

Ishihara, T.

H. Mizoguchi, T. Abe, Y. Watanabe, T. Ishihara, T. Ohta, T. Hori, T. Yanagida, H. Nagano, T. Yabu, S. Nagai, G. Soumagne, A. Kurosu, K. M. Nowak, T. Suganuma, M. Moriya, K. Kakizaki, A. Sumitani, H. Kameda, H. Nakarai, and J. Fujimoto, Proc. SPIE 7969, 796908(2011).
[CrossRef]

Kakizaki, K.

H. Mizoguchi, T. Abe, Y. Watanabe, T. Ishihara, T. Ohta, T. Hori, T. Yanagida, H. Nagano, T. Yabu, S. Nagai, G. Soumagne, A. Kurosu, K. M. Nowak, T. Suganuma, M. Moriya, K. Kakizaki, A. Sumitani, H. Kameda, H. Nakarai, and J. Fujimoto, Proc. SPIE 7969, 796908(2011).
[CrossRef]

Kameda, H.

H. Mizoguchi, T. Abe, Y. Watanabe, T. Ishihara, T. Ohta, T. Hori, T. Yanagida, H. Nagano, T. Yabu, S. Nagai, G. Soumagne, A. Kurosu, K. M. Nowak, T. Suganuma, M. Moriya, K. Kakizaki, A. Sumitani, H. Kameda, H. Nakarai, and J. Fujimoto, Proc. SPIE 7969, 796908(2011).
[CrossRef]

J. Fujimoto, T. Ohta, K. M. Nowak, T. Suganuma, H. Kameda, M. Moriya, T. Yokoduka, K. Fujitaka, A. Sumitani, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7969, 79692S (2011).
[CrossRef]

Khodykin, O. V.

D. C. Brandt, I. V. Fomenkov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, A. N. Bykanov, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, L. E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65170Q (2007).
[CrossRef]

Kurosu, A.

H. Mizoguchi, T. Abe, Y. Watanabe, T. Ishihara, T. Ohta, T. Hori, T. Yanagida, H. Nagano, T. Yabu, S. Nagai, G. Soumagne, A. Kurosu, K. M. Nowak, T. Suganuma, M. Moriya, K. Kakizaki, A. Sumitani, H. Kameda, H. Nakarai, and J. Fujimoto, Proc. SPIE 7969, 796908(2011).
[CrossRef]

Mizoguchi, H.

J. Fujimoto, T. Ohta, K. M. Nowak, T. Suganuma, H. Kameda, M. Moriya, T. Yokoduka, K. Fujitaka, A. Sumitani, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7969, 79692S (2011).
[CrossRef]

H. Mizoguchi, T. Abe, Y. Watanabe, T. Ishihara, T. Ohta, T. Hori, T. Yanagida, H. Nagano, T. Yabu, S. Nagai, G. Soumagne, A. Kurosu, K. M. Nowak, T. Suganuma, M. Moriya, K. Kakizaki, A. Sumitani, H. Kameda, H. Nakarai, and J. Fujimoto, Proc. SPIE 7969, 796908(2011).
[CrossRef]

K. M. Nowak, T. Ohta, J. Fujimoto, H. Mizoguchi, and A. Endo, presented at the EUVL Workshop, UCD Dublin, Ireland, 7–9November2011.

Moriya, M.

J. Fujimoto, T. Ohta, K. M. Nowak, T. Suganuma, H. Kameda, M. Moriya, T. Yokoduka, K. Fujitaka, A. Sumitani, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7969, 79692S (2011).
[CrossRef]

H. Mizoguchi, T. Abe, Y. Watanabe, T. Ishihara, T. Ohta, T. Hori, T. Yanagida, H. Nagano, T. Yabu, S. Nagai, G. Soumagne, A. Kurosu, K. M. Nowak, T. Suganuma, M. Moriya, K. Kakizaki, A. Sumitani, H. Kameda, H. Nakarai, and J. Fujimoto, Proc. SPIE 7969, 796908(2011).
[CrossRef]

H. Hoshino, T. Suganuma, T. Asayama, K. M. Nowak, M. Moriya, T. Abe, A. Endo, and A. Sumitani, Proc. SPIE 6921, 692131 (2008).
[CrossRef]

Myers, D. W.

D. C. Brandt, I. V. Fomenkov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, A. N. Bykanov, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, L. E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65170Q (2007).
[CrossRef]

Nagai, S.

H. Mizoguchi, T. Abe, Y. Watanabe, T. Ishihara, T. Ohta, T. Hori, T. Yanagida, H. Nagano, T. Yabu, S. Nagai, G. Soumagne, A. Kurosu, K. M. Nowak, T. Suganuma, M. Moriya, K. Kakizaki, A. Sumitani, H. Kameda, H. Nakarai, and J. Fujimoto, Proc. SPIE 7969, 796908(2011).
[CrossRef]

Nagano, H.

H. Mizoguchi, T. Abe, Y. Watanabe, T. Ishihara, T. Ohta, T. Hori, T. Yanagida, H. Nagano, T. Yabu, S. Nagai, G. Soumagne, A. Kurosu, K. M. Nowak, T. Suganuma, M. Moriya, K. Kakizaki, A. Sumitani, H. Kameda, H. Nakarai, and J. Fujimoto, Proc. SPIE 7969, 796908(2011).
[CrossRef]

Nakarai, H.

H. Mizoguchi, T. Abe, Y. Watanabe, T. Ishihara, T. Ohta, T. Hori, T. Yanagida, H. Nagano, T. Yabu, S. Nagai, G. Soumagne, A. Kurosu, K. M. Nowak, T. Suganuma, M. Moriya, K. Kakizaki, A. Sumitani, H. Kameda, H. Nakarai, and J. Fujimoto, Proc. SPIE 7969, 796908(2011).
[CrossRef]

Nowak, K. M.

H. Mizoguchi, T. Abe, Y. Watanabe, T. Ishihara, T. Ohta, T. Hori, T. Yanagida, H. Nagano, T. Yabu, S. Nagai, G. Soumagne, A. Kurosu, K. M. Nowak, T. Suganuma, M. Moriya, K. Kakizaki, A. Sumitani, H. Kameda, H. Nakarai, and J. Fujimoto, Proc. SPIE 7969, 796908(2011).
[CrossRef]

J. Fujimoto, T. Ohta, K. M. Nowak, T. Suganuma, H. Kameda, M. Moriya, T. Yokoduka, K. Fujitaka, A. Sumitani, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7969, 79692S (2011).
[CrossRef]

H. Hoshino, T. Suganuma, T. Asayama, K. M. Nowak, M. Moriya, T. Abe, A. Endo, and A. Sumitani, Proc. SPIE 6921, 692131 (2008).
[CrossRef]

K. M. Nowak, T. Ohta, J. Fujimoto, H. Mizoguchi, and A. Endo, presented at the EUVL Workshop, UCD Dublin, Ireland, 7–9November2011.

Ohta, T.

J. Fujimoto, T. Ohta, K. M. Nowak, T. Suganuma, H. Kameda, M. Moriya, T. Yokoduka, K. Fujitaka, A. Sumitani, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7969, 79692S (2011).
[CrossRef]

H. Mizoguchi, T. Abe, Y. Watanabe, T. Ishihara, T. Ohta, T. Hori, T. Yanagida, H. Nagano, T. Yabu, S. Nagai, G. Soumagne, A. Kurosu, K. M. Nowak, T. Suganuma, M. Moriya, K. Kakizaki, A. Sumitani, H. Kameda, H. Nakarai, and J. Fujimoto, Proc. SPIE 7969, 796908(2011).
[CrossRef]

K. M. Nowak, T. Ohta, J. Fujimoto, H. Mizoguchi, and A. Endo, presented at the EUVL Workshop, UCD Dublin, Ireland, 7–9November2011.

Okada, T.

H. Tanaka, K. Akinaga, A. Takahashi, and T. Okada, Proc. SPIE 5662, 313 (2004).
[CrossRef]

H. Tanaka, K. Akinaga, A. Takahashi, and T. Okada, Proc. SPIE 5448, 737 (2004).
[CrossRef]

Partlo, W. N.

D. C. Brandt, I. V. Fomenkov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, A. N. Bykanov, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, L. E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65170Q (2007).
[CrossRef]

Sakai, T.

T. Sakai and N. Hamada, Proc. SPIE 2502, 25 (1992).
[CrossRef]

Schaefer, J. H.

U. Bielesch, M. Budde, M. Fischbach, B. Freisinger, J. H. Schaefer, J. Uhlenbusch, and W. Viol, Proc. SPIE 1810, 57 (1992).
[CrossRef]

Simmons, R. D.

D. C. Brandt, I. V. Fomenkov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, A. N. Bykanov, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, L. E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65170Q (2007).
[CrossRef]

Soumagne, G.

H. Mizoguchi, T. Abe, Y. Watanabe, T. Ishihara, T. Ohta, T. Hori, T. Yanagida, H. Nagano, T. Yabu, S. Nagai, G. Soumagne, A. Kurosu, K. M. Nowak, T. Suganuma, M. Moriya, K. Kakizaki, A. Sumitani, H. Kameda, H. Nakarai, and J. Fujimoto, Proc. SPIE 7969, 796908(2011).
[CrossRef]

Y. Ueno, G. Soumagne, A. Sumitani, and A. Endo, Appl. Phys. Lett. 91, 231501 (2007).
[CrossRef]

Suganuma, T.

J. Fujimoto, T. Ohta, K. M. Nowak, T. Suganuma, H. Kameda, M. Moriya, T. Yokoduka, K. Fujitaka, A. Sumitani, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7969, 79692S (2011).
[CrossRef]

H. Mizoguchi, T. Abe, Y. Watanabe, T. Ishihara, T. Ohta, T. Hori, T. Yanagida, H. Nagano, T. Yabu, S. Nagai, G. Soumagne, A. Kurosu, K. M. Nowak, T. Suganuma, M. Moriya, K. Kakizaki, A. Sumitani, H. Kameda, H. Nakarai, and J. Fujimoto, Proc. SPIE 7969, 796908(2011).
[CrossRef]

H. Hoshino, T. Suganuma, T. Asayama, K. M. Nowak, M. Moriya, T. Abe, A. Endo, and A. Sumitani, Proc. SPIE 6921, 692131 (2008).
[CrossRef]

Sumitani, A.

H. Mizoguchi, T. Abe, Y. Watanabe, T. Ishihara, T. Ohta, T. Hori, T. Yanagida, H. Nagano, T. Yabu, S. Nagai, G. Soumagne, A. Kurosu, K. M. Nowak, T. Suganuma, M. Moriya, K. Kakizaki, A. Sumitani, H. Kameda, H. Nakarai, and J. Fujimoto, Proc. SPIE 7969, 796908(2011).
[CrossRef]

J. Fujimoto, T. Ohta, K. M. Nowak, T. Suganuma, H. Kameda, M. Moriya, T. Yokoduka, K. Fujitaka, A. Sumitani, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7969, 79692S (2011).
[CrossRef]

H. Hoshino, T. Suganuma, T. Asayama, K. M. Nowak, M. Moriya, T. Abe, A. Endo, and A. Sumitani, Proc. SPIE 6921, 692131 (2008).
[CrossRef]

Y. Ueno, G. Soumagne, A. Sumitani, and A. Endo, Appl. Phys. Lett. 91, 231501 (2007).
[CrossRef]

Takahashi, A.

H. Tanaka, K. Akinaga, A. Takahashi, and T. Okada, Proc. SPIE 5448, 737 (2004).
[CrossRef]

H. Tanaka, K. Akinaga, A. Takahashi, and T. Okada, Proc. SPIE 5662, 313 (2004).
[CrossRef]

Tanaka, H.

H. Tanaka, K. Akinaga, A. Takahashi, and T. Okada, Proc. SPIE 5662, 313 (2004).
[CrossRef]

H. Tanaka, K. Akinaga, A. Takahashi, and T. Okada, Proc. SPIE 5448, 737 (2004).
[CrossRef]

Ueno, Y.

Y. Ueno, G. Soumagne, A. Sumitani, and A. Endo, Appl. Phys. Lett. 91, 231501 (2007).
[CrossRef]

Uhlenbusch, J.

U. Bielesch, M. Budde, M. Fischbach, B. Freisinger, J. H. Schaefer, J. Uhlenbusch, and W. Viol, Proc. SPIE 1810, 57 (1992).
[CrossRef]

Vargas, L. E.

D. C. Brandt, I. V. Fomenkov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, A. N. Bykanov, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, L. E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65170Q (2007).
[CrossRef]

Vaschenko, G. O.

D. C. Brandt, I. V. Fomenkov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, A. N. Bykanov, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, L. E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65170Q (2007).
[CrossRef]

Viol, W.

U. Bielesch, M. Budde, M. Fischbach, B. Freisinger, J. H. Schaefer, J. Uhlenbusch, and W. Viol, Proc. SPIE 1810, 57 (1992).
[CrossRef]

Watanabe, Y.

H. Mizoguchi, T. Abe, Y. Watanabe, T. Ishihara, T. Ohta, T. Hori, T. Yanagida, H. Nagano, T. Yabu, S. Nagai, G. Soumagne, A. Kurosu, K. M. Nowak, T. Suganuma, M. Moriya, K. Kakizaki, A. Sumitani, H. Kameda, H. Nakarai, and J. Fujimoto, Proc. SPIE 7969, 796908(2011).
[CrossRef]

Yabu, T.

H. Mizoguchi, T. Abe, Y. Watanabe, T. Ishihara, T. Ohta, T. Hori, T. Yanagida, H. Nagano, T. Yabu, S. Nagai, G. Soumagne, A. Kurosu, K. M. Nowak, T. Suganuma, M. Moriya, K. Kakizaki, A. Sumitani, H. Kameda, H. Nakarai, and J. Fujimoto, Proc. SPIE 7969, 796908(2011).
[CrossRef]

Yanagida, T.

H. Mizoguchi, T. Abe, Y. Watanabe, T. Ishihara, T. Ohta, T. Hori, T. Yanagida, H. Nagano, T. Yabu, S. Nagai, G. Soumagne, A. Kurosu, K. M. Nowak, T. Suganuma, M. Moriya, K. Kakizaki, A. Sumitani, H. Kameda, H. Nakarai, and J. Fujimoto, Proc. SPIE 7969, 796908(2011).
[CrossRef]

Yokoduka, T.

J. Fujimoto, T. Ohta, K. M. Nowak, T. Suganuma, H. Kameda, M. Moriya, T. Yokoduka, K. Fujitaka, A. Sumitani, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7969, 79692S (2011).
[CrossRef]

Appl. Phys. Lett. (4)

A. E. Hill, Appl. Phys. Lett. 12, 324 (1968).
[CrossRef]

A. J. Beaulieu, Appl. Phys. Lett. 16, 504 (1970).
[CrossRef]

Y. Ueno, G. Soumagne, A. Sumitani, and A. Endo, Appl. Phys. Lett. 91, 231501 (2007).
[CrossRef]

T. J. Bridges and P. K. Cheo, Appl. Phys. Lett. 14, 262 (1969).
[CrossRef]

Proc. SPIE (8)

J. Fujimoto, T. Ohta, K. M. Nowak, T. Suganuma, H. Kameda, M. Moriya, T. Yokoduka, K. Fujitaka, A. Sumitani, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7969, 79692S (2011).
[CrossRef]

H. Mizoguchi, T. Abe, Y. Watanabe, T. Ishihara, T. Ohta, T. Hori, T. Yanagida, H. Nagano, T. Yabu, S. Nagai, G. Soumagne, A. Kurosu, K. M. Nowak, T. Suganuma, M. Moriya, K. Kakizaki, A. Sumitani, H. Kameda, H. Nakarai, and J. Fujimoto, Proc. SPIE 7969, 796908(2011).
[CrossRef]

H. Tanaka, K. Akinaga, A. Takahashi, and T. Okada, Proc. SPIE 5448, 737 (2004).
[CrossRef]

H. Tanaka, K. Akinaga, A. Takahashi, and T. Okada, Proc. SPIE 5662, 313 (2004).
[CrossRef]

T. Sakai and N. Hamada, Proc. SPIE 2502, 25 (1992).
[CrossRef]

U. Bielesch, M. Budde, M. Fischbach, B. Freisinger, J. H. Schaefer, J. Uhlenbusch, and W. Viol, Proc. SPIE 1810, 57 (1992).
[CrossRef]

D. C. Brandt, I. V. Fomenkov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, A. N. Bykanov, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, L. E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65170Q (2007).
[CrossRef]

H. Hoshino, T. Suganuma, T. Asayama, K. M. Nowak, M. Moriya, T. Abe, A. Endo, and A. Sumitani, Proc. SPIE 6921, 692131 (2008).
[CrossRef]

Other (2)

A. Endo, in CO2 Laser: Optimisation and ApplicationD. C. Dumitras, ed. (InTech, 2012), pp. 163–178.

K. M. Nowak, T. Ohta, J. Fujimoto, H. Mizoguchi, and A. Endo, presented at the EUVL Workshop, UCD Dublin, Ireland, 7–9November2011.

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (3)

Fig. 1.
Fig. 1.

(a) Configuration of the experimental setup and (b) oscillator detail chart. EOM: electro-optic modulator; TFP: thin film polarizer; V-block: V-block mirror explained in the text.

Fig. 2.
Fig. 2.

Measured output power versus electrical input for the discharge.

Fig. 3.
Fig. 3.

Measured temporal pulse profile of amplified laser beam. The intensity drop pointed out by the arrow corresponds to the turn-off of Q switching.

Metrics