Abstract

We have designed photonic crystal suspended membranes with optimized optical and mechanical properties for cavity optomechanics. Such resonators sustain vibration modes in the megahertz range with quality factors of a few thousand. Thanks to a two-dimensional square lattice of holes, their reflectivity at normal incidence at 1064nm reaches values as high as 95%. These two features, combined with the very low mass of the membrane, open the way to the use of such periodic structures as deformable end mirrors in Fabry–Perot cavities for the investigation of cavity optomechanical effects.

© 2011 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. O. Arcizet, P.-F. Cohadon, T. Briant, M. Pinard, and A. Heidmann, Nature 444 (2006).
    [CrossRef] [PubMed]
  2. A. Schliesser, P. Del’Haye, N. Nooshi, K. J. Vahala, and T. J. Kippenberg, Phys. Rev. Lett. 97, 243905 (2006).
    [CrossRef]
  3. M. Eichenfield, J. Chan, R. Camacho, K. J. Vahala, and O. Painter, Nature 462, 78 (2009).
    [CrossRef] [PubMed]
  4. E. Gavartin, R. Braive, I. Sagnes, O. Arcizet, A. Beveratos, T. J. Kippenberg, and I. Robert-Philip, Phys. Rev. Lett. 106, 203902(2011).
    [CrossRef] [PubMed]
  5. Y.-G. Roh, T. Tanabe, A. Shinya, H. Taniyama, E. Kuramochi, S. Matsuo, T. Sato, and M. Notomi, Phys. Rev. B 81, 121101 (2010).
    [CrossRef]
  6. A. Talneau, K. H. Lee, S. Guilet, and I. Sagnes, Appl. Phys. Lett. 92, 061105 (2008).
    [CrossRef]
  7. S. Boutami, B. Benbakir, X. Letartre, J. L. Leclercq, P. Regreny, and P. Viktorovitch, Opt. Express 15, 12443(2007).
    [CrossRef] [PubMed]
  8. A. F. Oskooi, D. Roundy, M. Ibanescu, P. Bermel, J. D. Joannopoulos, and S. G. Johnson, Comput. Phys. Commun. 181, 687 (2010).
    [CrossRef]
  9. S. G. Johnson and J. D. Joannopoulos, Opt. Express 8, 173 (2001).
    [CrossRef] [PubMed]
  10. C. F. R. Mateus, M. C. Y. Huang, L. Chen, C. J. Chang-Hasnain, and Y. Suzuki, IEEE Photon. Technol. Lett. 16, 1676 (2004).
    [CrossRef]
  11. G. D. Cole, I. Wilson-Rae, K. Werbach, M. R. Vanner, and M. Aspelmeyer, Nat. Commun. 2, 231 (2011).
    [CrossRef] [PubMed]
  12. C. Zhang, G. Xu, and Q. Jiang, J. Micromech. Microeng. 14, 1302 (2004).
    [CrossRef]
  13. R. Lifshitz and M. L. Roukes, Phys. Rev. B 61, 5600(2000).
    [CrossRef]
  14. J. Gaspar, V. Chu, and J. P. Conde, Appl. Phys. Lett. 84, 622 (2004).
    [CrossRef]
  15. X. Liu, J. F. Vignola, H. J. Simpson, B. R. Lemon, B. H. Houston, and D. M. Photiadis, J. Appl. Phys. 97, 023524 (2005).
    [CrossRef]
  16. K. L. Ekinci and M. L. Roukes, Rev. Sci. Instrum. 76, 061101 (2005).
    [CrossRef]
  17. P. Mohanty, D. A. Harrington, K. L. Ekinci, Y. T. Yang, M. J. Murphy, and M. L. Roukes, Phys. Rev. B 66, 085416(2002).
    [CrossRef]
  18. D. Hunger, T. Steinmetz, Y. Colombe, C. Deutsch, T. W. Hänsch, and J. Reichel, New J. Phys. 12, 065038(2010).
    [CrossRef]
  19. J. D. Thompson, B. M. Zwickl, A. M. Jayich, F. Marquardt, S. M. Girvin, and J. G. E. Harris, Nature 452, 72(2008).
    [CrossRef] [PubMed]

2011

G. D. Cole, I. Wilson-Rae, K. Werbach, M. R. Vanner, and M. Aspelmeyer, Nat. Commun. 2, 231 (2011).
[CrossRef] [PubMed]

E. Gavartin, R. Braive, I. Sagnes, O. Arcizet, A. Beveratos, T. J. Kippenberg, and I. Robert-Philip, Phys. Rev. Lett. 106, 203902(2011).
[CrossRef] [PubMed]

2010

Y.-G. Roh, T. Tanabe, A. Shinya, H. Taniyama, E. Kuramochi, S. Matsuo, T. Sato, and M. Notomi, Phys. Rev. B 81, 121101 (2010).
[CrossRef]

A. F. Oskooi, D. Roundy, M. Ibanescu, P. Bermel, J. D. Joannopoulos, and S. G. Johnson, Comput. Phys. Commun. 181, 687 (2010).
[CrossRef]

D. Hunger, T. Steinmetz, Y. Colombe, C. Deutsch, T. W. Hänsch, and J. Reichel, New J. Phys. 12, 065038(2010).
[CrossRef]

2009

M. Eichenfield, J. Chan, R. Camacho, K. J. Vahala, and O. Painter, Nature 462, 78 (2009).
[CrossRef] [PubMed]

2008

A. Talneau, K. H. Lee, S. Guilet, and I. Sagnes, Appl. Phys. Lett. 92, 061105 (2008).
[CrossRef]

J. D. Thompson, B. M. Zwickl, A. M. Jayich, F. Marquardt, S. M. Girvin, and J. G. E. Harris, Nature 452, 72(2008).
[CrossRef] [PubMed]

2007

2006

O. Arcizet, P.-F. Cohadon, T. Briant, M. Pinard, and A. Heidmann, Nature 444 (2006).
[CrossRef] [PubMed]

A. Schliesser, P. Del’Haye, N. Nooshi, K. J. Vahala, and T. J. Kippenberg, Phys. Rev. Lett. 97, 243905 (2006).
[CrossRef]

2005

X. Liu, J. F. Vignola, H. J. Simpson, B. R. Lemon, B. H. Houston, and D. M. Photiadis, J. Appl. Phys. 97, 023524 (2005).
[CrossRef]

K. L. Ekinci and M. L. Roukes, Rev. Sci. Instrum. 76, 061101 (2005).
[CrossRef]

2004

C. Zhang, G. Xu, and Q. Jiang, J. Micromech. Microeng. 14, 1302 (2004).
[CrossRef]

C. F. R. Mateus, M. C. Y. Huang, L. Chen, C. J. Chang-Hasnain, and Y. Suzuki, IEEE Photon. Technol. Lett. 16, 1676 (2004).
[CrossRef]

J. Gaspar, V. Chu, and J. P. Conde, Appl. Phys. Lett. 84, 622 (2004).
[CrossRef]

2002

P. Mohanty, D. A. Harrington, K. L. Ekinci, Y. T. Yang, M. J. Murphy, and M. L. Roukes, Phys. Rev. B 66, 085416(2002).
[CrossRef]

2001

2000

R. Lifshitz and M. L. Roukes, Phys. Rev. B 61, 5600(2000).
[CrossRef]

Arcizet, O.

E. Gavartin, R. Braive, I. Sagnes, O. Arcizet, A. Beveratos, T. J. Kippenberg, and I. Robert-Philip, Phys. Rev. Lett. 106, 203902(2011).
[CrossRef] [PubMed]

O. Arcizet, P.-F. Cohadon, T. Briant, M. Pinard, and A. Heidmann, Nature 444 (2006).
[CrossRef] [PubMed]

Aspelmeyer, M.

G. D. Cole, I. Wilson-Rae, K. Werbach, M. R. Vanner, and M. Aspelmeyer, Nat. Commun. 2, 231 (2011).
[CrossRef] [PubMed]

Benbakir, B.

Bermel, P.

A. F. Oskooi, D. Roundy, M. Ibanescu, P. Bermel, J. D. Joannopoulos, and S. G. Johnson, Comput. Phys. Commun. 181, 687 (2010).
[CrossRef]

Beveratos, A.

E. Gavartin, R. Braive, I. Sagnes, O. Arcizet, A. Beveratos, T. J. Kippenberg, and I. Robert-Philip, Phys. Rev. Lett. 106, 203902(2011).
[CrossRef] [PubMed]

Boutami, S.

Braive, R.

E. Gavartin, R. Braive, I. Sagnes, O. Arcizet, A. Beveratos, T. J. Kippenberg, and I. Robert-Philip, Phys. Rev. Lett. 106, 203902(2011).
[CrossRef] [PubMed]

Briant, T.

O. Arcizet, P.-F. Cohadon, T. Briant, M. Pinard, and A. Heidmann, Nature 444 (2006).
[CrossRef] [PubMed]

Camacho, R.

M. Eichenfield, J. Chan, R. Camacho, K. J. Vahala, and O. Painter, Nature 462, 78 (2009).
[CrossRef] [PubMed]

Chan, J.

M. Eichenfield, J. Chan, R. Camacho, K. J. Vahala, and O. Painter, Nature 462, 78 (2009).
[CrossRef] [PubMed]

Chang-Hasnain, C. J.

C. F. R. Mateus, M. C. Y. Huang, L. Chen, C. J. Chang-Hasnain, and Y. Suzuki, IEEE Photon. Technol. Lett. 16, 1676 (2004).
[CrossRef]

Chen, L.

C. F. R. Mateus, M. C. Y. Huang, L. Chen, C. J. Chang-Hasnain, and Y. Suzuki, IEEE Photon. Technol. Lett. 16, 1676 (2004).
[CrossRef]

Chu, V.

J. Gaspar, V. Chu, and J. P. Conde, Appl. Phys. Lett. 84, 622 (2004).
[CrossRef]

Cohadon, P.-F.

O. Arcizet, P.-F. Cohadon, T. Briant, M. Pinard, and A. Heidmann, Nature 444 (2006).
[CrossRef] [PubMed]

Cole, G. D.

G. D. Cole, I. Wilson-Rae, K. Werbach, M. R. Vanner, and M. Aspelmeyer, Nat. Commun. 2, 231 (2011).
[CrossRef] [PubMed]

Colombe, Y.

D. Hunger, T. Steinmetz, Y. Colombe, C. Deutsch, T. W. Hänsch, and J. Reichel, New J. Phys. 12, 065038(2010).
[CrossRef]

Conde, J. P.

J. Gaspar, V. Chu, and J. P. Conde, Appl. Phys. Lett. 84, 622 (2004).
[CrossRef]

Del’Haye, P.

A. Schliesser, P. Del’Haye, N. Nooshi, K. J. Vahala, and T. J. Kippenberg, Phys. Rev. Lett. 97, 243905 (2006).
[CrossRef]

Deutsch, C.

D. Hunger, T. Steinmetz, Y. Colombe, C. Deutsch, T. W. Hänsch, and J. Reichel, New J. Phys. 12, 065038(2010).
[CrossRef]

Eichenfield, M.

M. Eichenfield, J. Chan, R. Camacho, K. J. Vahala, and O. Painter, Nature 462, 78 (2009).
[CrossRef] [PubMed]

Ekinci, K. L.

K. L. Ekinci and M. L. Roukes, Rev. Sci. Instrum. 76, 061101 (2005).
[CrossRef]

P. Mohanty, D. A. Harrington, K. L. Ekinci, Y. T. Yang, M. J. Murphy, and M. L. Roukes, Phys. Rev. B 66, 085416(2002).
[CrossRef]

Gaspar, J.

J. Gaspar, V. Chu, and J. P. Conde, Appl. Phys. Lett. 84, 622 (2004).
[CrossRef]

Gavartin, E.

E. Gavartin, R. Braive, I. Sagnes, O. Arcizet, A. Beveratos, T. J. Kippenberg, and I. Robert-Philip, Phys. Rev. Lett. 106, 203902(2011).
[CrossRef] [PubMed]

Girvin, S. M.

J. D. Thompson, B. M. Zwickl, A. M. Jayich, F. Marquardt, S. M. Girvin, and J. G. E. Harris, Nature 452, 72(2008).
[CrossRef] [PubMed]

Guilet, S.

A. Talneau, K. H. Lee, S. Guilet, and I. Sagnes, Appl. Phys. Lett. 92, 061105 (2008).
[CrossRef]

Hänsch, T. W.

D. Hunger, T. Steinmetz, Y. Colombe, C. Deutsch, T. W. Hänsch, and J. Reichel, New J. Phys. 12, 065038(2010).
[CrossRef]

Harrington, D. A.

P. Mohanty, D. A. Harrington, K. L. Ekinci, Y. T. Yang, M. J. Murphy, and M. L. Roukes, Phys. Rev. B 66, 085416(2002).
[CrossRef]

Harris, J. G. E.

J. D. Thompson, B. M. Zwickl, A. M. Jayich, F. Marquardt, S. M. Girvin, and J. G. E. Harris, Nature 452, 72(2008).
[CrossRef] [PubMed]

Heidmann, A.

O. Arcizet, P.-F. Cohadon, T. Briant, M. Pinard, and A. Heidmann, Nature 444 (2006).
[CrossRef] [PubMed]

Houston, B. H.

X. Liu, J. F. Vignola, H. J. Simpson, B. R. Lemon, B. H. Houston, and D. M. Photiadis, J. Appl. Phys. 97, 023524 (2005).
[CrossRef]

Huang, M. C. Y.

C. F. R. Mateus, M. C. Y. Huang, L. Chen, C. J. Chang-Hasnain, and Y. Suzuki, IEEE Photon. Technol. Lett. 16, 1676 (2004).
[CrossRef]

Hunger, D.

D. Hunger, T. Steinmetz, Y. Colombe, C. Deutsch, T. W. Hänsch, and J. Reichel, New J. Phys. 12, 065038(2010).
[CrossRef]

Ibanescu, M.

A. F. Oskooi, D. Roundy, M. Ibanescu, P. Bermel, J. D. Joannopoulos, and S. G. Johnson, Comput. Phys. Commun. 181, 687 (2010).
[CrossRef]

Jayich, A. M.

J. D. Thompson, B. M. Zwickl, A. M. Jayich, F. Marquardt, S. M. Girvin, and J. G. E. Harris, Nature 452, 72(2008).
[CrossRef] [PubMed]

Jiang, Q.

C. Zhang, G. Xu, and Q. Jiang, J. Micromech. Microeng. 14, 1302 (2004).
[CrossRef]

Joannopoulos, J. D.

A. F. Oskooi, D. Roundy, M. Ibanescu, P. Bermel, J. D. Joannopoulos, and S. G. Johnson, Comput. Phys. Commun. 181, 687 (2010).
[CrossRef]

S. G. Johnson and J. D. Joannopoulos, Opt. Express 8, 173 (2001).
[CrossRef] [PubMed]

Johnson, S. G.

A. F. Oskooi, D. Roundy, M. Ibanescu, P. Bermel, J. D. Joannopoulos, and S. G. Johnson, Comput. Phys. Commun. 181, 687 (2010).
[CrossRef]

S. G. Johnson and J. D. Joannopoulos, Opt. Express 8, 173 (2001).
[CrossRef] [PubMed]

Kippenberg, T. J.

E. Gavartin, R. Braive, I. Sagnes, O. Arcizet, A. Beveratos, T. J. Kippenberg, and I. Robert-Philip, Phys. Rev. Lett. 106, 203902(2011).
[CrossRef] [PubMed]

A. Schliesser, P. Del’Haye, N. Nooshi, K. J. Vahala, and T. J. Kippenberg, Phys. Rev. Lett. 97, 243905 (2006).
[CrossRef]

Kuramochi, E.

Y.-G. Roh, T. Tanabe, A. Shinya, H. Taniyama, E. Kuramochi, S. Matsuo, T. Sato, and M. Notomi, Phys. Rev. B 81, 121101 (2010).
[CrossRef]

Leclercq, J. L.

Lee, K. H.

A. Talneau, K. H. Lee, S. Guilet, and I. Sagnes, Appl. Phys. Lett. 92, 061105 (2008).
[CrossRef]

Lemon, B. R.

X. Liu, J. F. Vignola, H. J. Simpson, B. R. Lemon, B. H. Houston, and D. M. Photiadis, J. Appl. Phys. 97, 023524 (2005).
[CrossRef]

Letartre, X.

Lifshitz, R.

R. Lifshitz and M. L. Roukes, Phys. Rev. B 61, 5600(2000).
[CrossRef]

Liu, X.

X. Liu, J. F. Vignola, H. J. Simpson, B. R. Lemon, B. H. Houston, and D. M. Photiadis, J. Appl. Phys. 97, 023524 (2005).
[CrossRef]

Marquardt, F.

J. D. Thompson, B. M. Zwickl, A. M. Jayich, F. Marquardt, S. M. Girvin, and J. G. E. Harris, Nature 452, 72(2008).
[CrossRef] [PubMed]

Mateus, C. F. R.

C. F. R. Mateus, M. C. Y. Huang, L. Chen, C. J. Chang-Hasnain, and Y. Suzuki, IEEE Photon. Technol. Lett. 16, 1676 (2004).
[CrossRef]

Matsuo, S.

Y.-G. Roh, T. Tanabe, A. Shinya, H. Taniyama, E. Kuramochi, S. Matsuo, T. Sato, and M. Notomi, Phys. Rev. B 81, 121101 (2010).
[CrossRef]

Mohanty, P.

P. Mohanty, D. A. Harrington, K. L. Ekinci, Y. T. Yang, M. J. Murphy, and M. L. Roukes, Phys. Rev. B 66, 085416(2002).
[CrossRef]

Murphy, M. J.

P. Mohanty, D. A. Harrington, K. L. Ekinci, Y. T. Yang, M. J. Murphy, and M. L. Roukes, Phys. Rev. B 66, 085416(2002).
[CrossRef]

Nooshi, N.

A. Schliesser, P. Del’Haye, N. Nooshi, K. J. Vahala, and T. J. Kippenberg, Phys. Rev. Lett. 97, 243905 (2006).
[CrossRef]

Notomi, M.

Y.-G. Roh, T. Tanabe, A. Shinya, H. Taniyama, E. Kuramochi, S. Matsuo, T. Sato, and M. Notomi, Phys. Rev. B 81, 121101 (2010).
[CrossRef]

Oskooi, A. F.

A. F. Oskooi, D. Roundy, M. Ibanescu, P. Bermel, J. D. Joannopoulos, and S. G. Johnson, Comput. Phys. Commun. 181, 687 (2010).
[CrossRef]

Painter, O.

M. Eichenfield, J. Chan, R. Camacho, K. J. Vahala, and O. Painter, Nature 462, 78 (2009).
[CrossRef] [PubMed]

Photiadis, D. M.

X. Liu, J. F. Vignola, H. J. Simpson, B. R. Lemon, B. H. Houston, and D. M. Photiadis, J. Appl. Phys. 97, 023524 (2005).
[CrossRef]

Pinard, M.

O. Arcizet, P.-F. Cohadon, T. Briant, M. Pinard, and A. Heidmann, Nature 444 (2006).
[CrossRef] [PubMed]

Regreny, P.

Reichel, J.

D. Hunger, T. Steinmetz, Y. Colombe, C. Deutsch, T. W. Hänsch, and J. Reichel, New J. Phys. 12, 065038(2010).
[CrossRef]

Robert-Philip, I.

E. Gavartin, R. Braive, I. Sagnes, O. Arcizet, A. Beveratos, T. J. Kippenberg, and I. Robert-Philip, Phys. Rev. Lett. 106, 203902(2011).
[CrossRef] [PubMed]

Roh, Y.-G.

Y.-G. Roh, T. Tanabe, A. Shinya, H. Taniyama, E. Kuramochi, S. Matsuo, T. Sato, and M. Notomi, Phys. Rev. B 81, 121101 (2010).
[CrossRef]

Roukes, M. L.

K. L. Ekinci and M. L. Roukes, Rev. Sci. Instrum. 76, 061101 (2005).
[CrossRef]

P. Mohanty, D. A. Harrington, K. L. Ekinci, Y. T. Yang, M. J. Murphy, and M. L. Roukes, Phys. Rev. B 66, 085416(2002).
[CrossRef]

R. Lifshitz and M. L. Roukes, Phys. Rev. B 61, 5600(2000).
[CrossRef]

Roundy, D.

A. F. Oskooi, D. Roundy, M. Ibanescu, P. Bermel, J. D. Joannopoulos, and S. G. Johnson, Comput. Phys. Commun. 181, 687 (2010).
[CrossRef]

Sagnes, I.

E. Gavartin, R. Braive, I. Sagnes, O. Arcizet, A. Beveratos, T. J. Kippenberg, and I. Robert-Philip, Phys. Rev. Lett. 106, 203902(2011).
[CrossRef] [PubMed]

A. Talneau, K. H. Lee, S. Guilet, and I. Sagnes, Appl. Phys. Lett. 92, 061105 (2008).
[CrossRef]

Sato, T.

Y.-G. Roh, T. Tanabe, A. Shinya, H. Taniyama, E. Kuramochi, S. Matsuo, T. Sato, and M. Notomi, Phys. Rev. B 81, 121101 (2010).
[CrossRef]

Schliesser, A.

A. Schliesser, P. Del’Haye, N. Nooshi, K. J. Vahala, and T. J. Kippenberg, Phys. Rev. Lett. 97, 243905 (2006).
[CrossRef]

Shinya, A.

Y.-G. Roh, T. Tanabe, A. Shinya, H. Taniyama, E. Kuramochi, S. Matsuo, T. Sato, and M. Notomi, Phys. Rev. B 81, 121101 (2010).
[CrossRef]

Simpson, H. J.

X. Liu, J. F. Vignola, H. J. Simpson, B. R. Lemon, B. H. Houston, and D. M. Photiadis, J. Appl. Phys. 97, 023524 (2005).
[CrossRef]

Steinmetz, T.

D. Hunger, T. Steinmetz, Y. Colombe, C. Deutsch, T. W. Hänsch, and J. Reichel, New J. Phys. 12, 065038(2010).
[CrossRef]

Suzuki, Y.

C. F. R. Mateus, M. C. Y. Huang, L. Chen, C. J. Chang-Hasnain, and Y. Suzuki, IEEE Photon. Technol. Lett. 16, 1676 (2004).
[CrossRef]

Talneau, A.

A. Talneau, K. H. Lee, S. Guilet, and I. Sagnes, Appl. Phys. Lett. 92, 061105 (2008).
[CrossRef]

Tanabe, T.

Y.-G. Roh, T. Tanabe, A. Shinya, H. Taniyama, E. Kuramochi, S. Matsuo, T. Sato, and M. Notomi, Phys. Rev. B 81, 121101 (2010).
[CrossRef]

Taniyama, H.

Y.-G. Roh, T. Tanabe, A. Shinya, H. Taniyama, E. Kuramochi, S. Matsuo, T. Sato, and M. Notomi, Phys. Rev. B 81, 121101 (2010).
[CrossRef]

Thompson, J. D.

J. D. Thompson, B. M. Zwickl, A. M. Jayich, F. Marquardt, S. M. Girvin, and J. G. E. Harris, Nature 452, 72(2008).
[CrossRef] [PubMed]

Vahala, K. J.

M. Eichenfield, J. Chan, R. Camacho, K. J. Vahala, and O. Painter, Nature 462, 78 (2009).
[CrossRef] [PubMed]

A. Schliesser, P. Del’Haye, N. Nooshi, K. J. Vahala, and T. J. Kippenberg, Phys. Rev. Lett. 97, 243905 (2006).
[CrossRef]

Vanner, M. R.

G. D. Cole, I. Wilson-Rae, K. Werbach, M. R. Vanner, and M. Aspelmeyer, Nat. Commun. 2, 231 (2011).
[CrossRef] [PubMed]

Vignola, J. F.

X. Liu, J. F. Vignola, H. J. Simpson, B. R. Lemon, B. H. Houston, and D. M. Photiadis, J. Appl. Phys. 97, 023524 (2005).
[CrossRef]

Viktorovitch, P.

Werbach, K.

G. D. Cole, I. Wilson-Rae, K. Werbach, M. R. Vanner, and M. Aspelmeyer, Nat. Commun. 2, 231 (2011).
[CrossRef] [PubMed]

Wilson-Rae, I.

G. D. Cole, I. Wilson-Rae, K. Werbach, M. R. Vanner, and M. Aspelmeyer, Nat. Commun. 2, 231 (2011).
[CrossRef] [PubMed]

Xu, G.

C. Zhang, G. Xu, and Q. Jiang, J. Micromech. Microeng. 14, 1302 (2004).
[CrossRef]

Yang, Y. T.

P. Mohanty, D. A. Harrington, K. L. Ekinci, Y. T. Yang, M. J. Murphy, and M. L. Roukes, Phys. Rev. B 66, 085416(2002).
[CrossRef]

Zhang, C.

C. Zhang, G. Xu, and Q. Jiang, J. Micromech. Microeng. 14, 1302 (2004).
[CrossRef]

Zwickl, B. M.

J. D. Thompson, B. M. Zwickl, A. M. Jayich, F. Marquardt, S. M. Girvin, and J. G. E. Harris, Nature 452, 72(2008).
[CrossRef] [PubMed]

Appl. Phys. Lett.

J. Gaspar, V. Chu, and J. P. Conde, Appl. Phys. Lett. 84, 622 (2004).
[CrossRef]

A. Talneau, K. H. Lee, S. Guilet, and I. Sagnes, Appl. Phys. Lett. 92, 061105 (2008).
[CrossRef]

Comput. Phys. Commun.

A. F. Oskooi, D. Roundy, M. Ibanescu, P. Bermel, J. D. Joannopoulos, and S. G. Johnson, Comput. Phys. Commun. 181, 687 (2010).
[CrossRef]

IEEE Photon. Technol. Lett.

C. F. R. Mateus, M. C. Y. Huang, L. Chen, C. J. Chang-Hasnain, and Y. Suzuki, IEEE Photon. Technol. Lett. 16, 1676 (2004).
[CrossRef]

J. Appl. Phys.

X. Liu, J. F. Vignola, H. J. Simpson, B. R. Lemon, B. H. Houston, and D. M. Photiadis, J. Appl. Phys. 97, 023524 (2005).
[CrossRef]

J. Micromech. Microeng.

C. Zhang, G. Xu, and Q. Jiang, J. Micromech. Microeng. 14, 1302 (2004).
[CrossRef]

Nat. Commun.

G. D. Cole, I. Wilson-Rae, K. Werbach, M. R. Vanner, and M. Aspelmeyer, Nat. Commun. 2, 231 (2011).
[CrossRef] [PubMed]

Nature

J. D. Thompson, B. M. Zwickl, A. M. Jayich, F. Marquardt, S. M. Girvin, and J. G. E. Harris, Nature 452, 72(2008).
[CrossRef] [PubMed]

O. Arcizet, P.-F. Cohadon, T. Briant, M. Pinard, and A. Heidmann, Nature 444 (2006).
[CrossRef] [PubMed]

M. Eichenfield, J. Chan, R. Camacho, K. J. Vahala, and O. Painter, Nature 462, 78 (2009).
[CrossRef] [PubMed]

New J. Phys.

D. Hunger, T. Steinmetz, Y. Colombe, C. Deutsch, T. W. Hänsch, and J. Reichel, New J. Phys. 12, 065038(2010).
[CrossRef]

Opt. Express

Phys. Rev. B

P. Mohanty, D. A. Harrington, K. L. Ekinci, Y. T. Yang, M. J. Murphy, and M. L. Roukes, Phys. Rev. B 66, 085416(2002).
[CrossRef]

R. Lifshitz and M. L. Roukes, Phys. Rev. B 61, 5600(2000).
[CrossRef]

Y.-G. Roh, T. Tanabe, A. Shinya, H. Taniyama, E. Kuramochi, S. Matsuo, T. Sato, and M. Notomi, Phys. Rev. B 81, 121101 (2010).
[CrossRef]

Phys. Rev. Lett.

E. Gavartin, R. Braive, I. Sagnes, O. Arcizet, A. Beveratos, T. J. Kippenberg, and I. Robert-Philip, Phys. Rev. Lett. 106, 203902(2011).
[CrossRef] [PubMed]

A. Schliesser, P. Del’Haye, N. Nooshi, K. J. Vahala, and T. J. Kippenberg, Phys. Rev. Lett. 97, 243905 (2006).
[CrossRef]

Rev. Sci. Instrum.

K. L. Ekinci and M. L. Roukes, Rev. Sci. Instrum. 76, 061101 (2005).
[CrossRef]

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (3)

Fig. 1
Fig. 1

Left: scanning electron microscope close-up view of the photonic crystal structure. Right: measured (red dots) and simulated (black curve) reflectivity at 1064 nm of a 10 μm × 20 μm × 260 nm fully clamped photonic crystal.

Fig. 2
Fig. 2

Normalized experimental (red solid curve) and simulated (black dashed curve) reflectivities as a function of the wavelength, for a 30 μm × 30 μm × 260 nm fully clamped photonic crystal membrane with hole diameters of 372 nm (left) and 392 nm (right).

Fig. 3
Fig. 3

Displacement spectrum of a 10 μm × 20 μm × 210 nm photonic crystal membrane, clamped by four 8 - μm -long and 1 - μm -wide auxiliary bridges, as shown in the scanning electron microscope image. The simulated vibration profile is shown for each mechanical mode.

Equations (1)

Equations on this page are rendered with MathJax. Learn more.

δ x shot = λ 16 F I ¯ in T c + L T c ,

Metrics