Abstract

We present a simple setup that combines immersion lithography with a Lloyd’s mirror interferometer. Aiming for smaller structure sizes, we have replaced the usual Lloyd’s interferometer by a triangular Littrow prism with one metal-coated side, which acts as a mirror. Because of the higher refractive index of the prism, the wavelength and, thus, the attainable structure sizes, are decreased significantly. Using a laser with a wavelength of 244nm, we could produce line patterns with a period of less than 100nm and a width of 45nm. The introduced setup retains all the advantages of a Lloyd’s mirror interferometer, in particular the flexibility in periodicity.

© 2010 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. S. R. J. Brueck, Proc. IEEE 93, 1704 (2005).
    [CrossRef]
  2. J. Moon, J. Ford, and S. Yang, Polym. Adv. Technol. 17, 83 (2006).
    [CrossRef]
  3. J. de Boor, N. Geyer, U. Gösele, and V. Schmidt, Opt. Lett. 34, 1783 (2009).
    [CrossRef] [PubMed]
  4. C. G. Chen, R. K. Heilmann, C. Joo, P. T. Konkola, G. S. Pati, and M. L. Schattenburg, J. Vac. Sci. Technol. B 20, 3071 (2002).
    [CrossRef]
  5. D. S. Kim, R. Ji, H. J. Fan, F. Bertram, R. Scholz, A. Dadgar, K. Nielsch, A. Krost, J. Christen, U. Gösele, and M. Zacharias, Small 3, 76 (2007).
    [CrossRef] [PubMed]
  6. J. de Boor, N. Geyer, J. V. Wittemann, U. Gosele, and V. Schmidt, Nanotechnology 21, 095302 (2010).
    [CrossRef] [PubMed]
  7. W. K. Choi, T. H. Liew, M. K. Dawood, H. I. Smith, C. V. Thompson, and M. H. Hong, Nano Lett. 8, 3799 (2008).
    [CrossRef] [PubMed]
  8. Y. M. Song, J. S. Yu, and Y. T. Lee, Opt. Lett. 35, 276 (2010).
    [CrossRef] [PubMed]
  9. T. M. Bloomstein, M. F. Marchant, S. Deneault, D. E. Hardy, and M. Rothschild, Opt. Express 14, 6434 (2006).
    [CrossRef] [PubMed]
  10. J. A. Hoffnagle, W. D. Hinsberg, M. Sanchez, and F. A. Houle, J. Vac. Sci. Technol. 17, 3306 (1999).
    [CrossRef]
  11. A. K. Raub, A. Frauenglass, S. R. J. Brueck, W. Conley, R. R. Dammel, A. Romano, M. Sato, and W. Hinsberg, Proc. SPIE 5377, 306 (2004).
    [CrossRef]
  12. R. H. French, H. Sewell, M. K. Yang, S. Peng, D. McCafferty, W. Qiu, R. C. Wheland, M. F. Lemon, L. Markoya, and M. K. Crawford, J. Microlith. Microfab. Microsyst. 4, 031103(2005).
    [CrossRef]
  13. A. Bourov, Y. Fan, F. C. Cropanese, N. V. Lafferty, L. V. Zavyalova, H. Kang, and B. W. Smith, Proc. SPIE 5377, 1573 (2004).
    [CrossRef]
  14. M. E. Walsh, “On the design of lithographic interferometers and their application,” Ph.D. dissertation (MIT, 2004).
  15. B. Smith, J. Zhou, and P. Xie, Proc. SPIE 6924, 69240J(2008).
    [CrossRef]
  16. I. H. Malitson, J. Opt. Soc. Am. 55, 1205 (1965).
    [CrossRef]
  17. S. G. Kaplan and J. H. Burnett, Appl. Opt. 45, 1721 (2006).
    [CrossRef] [PubMed]
  18. H. H. Solak, D. He, W. Li, and F. Cerrina, J. Vac. Sci. Technol. B 17, 3052 (1999).
    [CrossRef]

2010

J. de Boor, N. Geyer, J. V. Wittemann, U. Gosele, and V. Schmidt, Nanotechnology 21, 095302 (2010).
[CrossRef] [PubMed]

Y. M. Song, J. S. Yu, and Y. T. Lee, Opt. Lett. 35, 276 (2010).
[CrossRef] [PubMed]

2009

2008

W. K. Choi, T. H. Liew, M. K. Dawood, H. I. Smith, C. V. Thompson, and M. H. Hong, Nano Lett. 8, 3799 (2008).
[CrossRef] [PubMed]

B. Smith, J. Zhou, and P. Xie, Proc. SPIE 6924, 69240J(2008).
[CrossRef]

2007

D. S. Kim, R. Ji, H. J. Fan, F. Bertram, R. Scholz, A. Dadgar, K. Nielsch, A. Krost, J. Christen, U. Gösele, and M. Zacharias, Small 3, 76 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

2006

2005

S. R. J. Brueck, Proc. IEEE 93, 1704 (2005).
[CrossRef]

R. H. French, H. Sewell, M. K. Yang, S. Peng, D. McCafferty, W. Qiu, R. C. Wheland, M. F. Lemon, L. Markoya, and M. K. Crawford, J. Microlith. Microfab. Microsyst. 4, 031103(2005).
[CrossRef]

2004

A. Bourov, Y. Fan, F. C. Cropanese, N. V. Lafferty, L. V. Zavyalova, H. Kang, and B. W. Smith, Proc. SPIE 5377, 1573 (2004).
[CrossRef]

M. E. Walsh, “On the design of lithographic interferometers and their application,” Ph.D. dissertation (MIT, 2004).

A. K. Raub, A. Frauenglass, S. R. J. Brueck, W. Conley, R. R. Dammel, A. Romano, M. Sato, and W. Hinsberg, Proc. SPIE 5377, 306 (2004).
[CrossRef]

2002

C. G. Chen, R. K. Heilmann, C. Joo, P. T. Konkola, G. S. Pati, and M. L. Schattenburg, J. Vac. Sci. Technol. B 20, 3071 (2002).
[CrossRef]

1999

J. A. Hoffnagle, W. D. Hinsberg, M. Sanchez, and F. A. Houle, J. Vac. Sci. Technol. 17, 3306 (1999).
[CrossRef]

H. H. Solak, D. He, W. Li, and F. Cerrina, J. Vac. Sci. Technol. B 17, 3052 (1999).
[CrossRef]

1965

Bertram, F.

D. S. Kim, R. Ji, H. J. Fan, F. Bertram, R. Scholz, A. Dadgar, K. Nielsch, A. Krost, J. Christen, U. Gösele, and M. Zacharias, Small 3, 76 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

Bloomstein, T. M.

Bourov, A.

A. Bourov, Y. Fan, F. C. Cropanese, N. V. Lafferty, L. V. Zavyalova, H. Kang, and B. W. Smith, Proc. SPIE 5377, 1573 (2004).
[CrossRef]

Brueck, S. R. J.

S. R. J. Brueck, Proc. IEEE 93, 1704 (2005).
[CrossRef]

A. K. Raub, A. Frauenglass, S. R. J. Brueck, W. Conley, R. R. Dammel, A. Romano, M. Sato, and W. Hinsberg, Proc. SPIE 5377, 306 (2004).
[CrossRef]

Burnett, J. H.

Cerrina, F.

H. H. Solak, D. He, W. Li, and F. Cerrina, J. Vac. Sci. Technol. B 17, 3052 (1999).
[CrossRef]

Chen, C. G.

C. G. Chen, R. K. Heilmann, C. Joo, P. T. Konkola, G. S. Pati, and M. L. Schattenburg, J. Vac. Sci. Technol. B 20, 3071 (2002).
[CrossRef]

Choi, W. K.

W. K. Choi, T. H. Liew, M. K. Dawood, H. I. Smith, C. V. Thompson, and M. H. Hong, Nano Lett. 8, 3799 (2008).
[CrossRef] [PubMed]

Christen, J.

D. S. Kim, R. Ji, H. J. Fan, F. Bertram, R. Scholz, A. Dadgar, K. Nielsch, A. Krost, J. Christen, U. Gösele, and M. Zacharias, Small 3, 76 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

Conley, W.

A. K. Raub, A. Frauenglass, S. R. J. Brueck, W. Conley, R. R. Dammel, A. Romano, M. Sato, and W. Hinsberg, Proc. SPIE 5377, 306 (2004).
[CrossRef]

Crawford, M. K.

R. H. French, H. Sewell, M. K. Yang, S. Peng, D. McCafferty, W. Qiu, R. C. Wheland, M. F. Lemon, L. Markoya, and M. K. Crawford, J. Microlith. Microfab. Microsyst. 4, 031103(2005).
[CrossRef]

Cropanese, F. C.

A. Bourov, Y. Fan, F. C. Cropanese, N. V. Lafferty, L. V. Zavyalova, H. Kang, and B. W. Smith, Proc. SPIE 5377, 1573 (2004).
[CrossRef]

Dadgar, A.

D. S. Kim, R. Ji, H. J. Fan, F. Bertram, R. Scholz, A. Dadgar, K. Nielsch, A. Krost, J. Christen, U. Gösele, and M. Zacharias, Small 3, 76 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

Dammel, R. R.

A. K. Raub, A. Frauenglass, S. R. J. Brueck, W. Conley, R. R. Dammel, A. Romano, M. Sato, and W. Hinsberg, Proc. SPIE 5377, 306 (2004).
[CrossRef]

Dawood, M. K.

W. K. Choi, T. H. Liew, M. K. Dawood, H. I. Smith, C. V. Thompson, and M. H. Hong, Nano Lett. 8, 3799 (2008).
[CrossRef] [PubMed]

de Boor, J.

J. de Boor, N. Geyer, J. V. Wittemann, U. Gosele, and V. Schmidt, Nanotechnology 21, 095302 (2010).
[CrossRef] [PubMed]

J. de Boor, N. Geyer, U. Gösele, and V. Schmidt, Opt. Lett. 34, 1783 (2009).
[CrossRef] [PubMed]

Deneault, S.

Fan, H. J.

D. S. Kim, R. Ji, H. J. Fan, F. Bertram, R. Scholz, A. Dadgar, K. Nielsch, A. Krost, J. Christen, U. Gösele, and M. Zacharias, Small 3, 76 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

Fan, Y.

A. Bourov, Y. Fan, F. C. Cropanese, N. V. Lafferty, L. V. Zavyalova, H. Kang, and B. W. Smith, Proc. SPIE 5377, 1573 (2004).
[CrossRef]

Ford, J.

J. Moon, J. Ford, and S. Yang, Polym. Adv. Technol. 17, 83 (2006).
[CrossRef]

Frauenglass, A.

A. K. Raub, A. Frauenglass, S. R. J. Brueck, W. Conley, R. R. Dammel, A. Romano, M. Sato, and W. Hinsberg, Proc. SPIE 5377, 306 (2004).
[CrossRef]

French, R. H.

R. H. French, H. Sewell, M. K. Yang, S. Peng, D. McCafferty, W. Qiu, R. C. Wheland, M. F. Lemon, L. Markoya, and M. K. Crawford, J. Microlith. Microfab. Microsyst. 4, 031103(2005).
[CrossRef]

Geyer, N.

J. de Boor, N. Geyer, J. V. Wittemann, U. Gosele, and V. Schmidt, Nanotechnology 21, 095302 (2010).
[CrossRef] [PubMed]

J. de Boor, N. Geyer, U. Gösele, and V. Schmidt, Opt. Lett. 34, 1783 (2009).
[CrossRef] [PubMed]

Gosele, U.

J. de Boor, N. Geyer, J. V. Wittemann, U. Gosele, and V. Schmidt, Nanotechnology 21, 095302 (2010).
[CrossRef] [PubMed]

Gösele, U.

J. de Boor, N. Geyer, U. Gösele, and V. Schmidt, Opt. Lett. 34, 1783 (2009).
[CrossRef] [PubMed]

D. S. Kim, R. Ji, H. J. Fan, F. Bertram, R. Scholz, A. Dadgar, K. Nielsch, A. Krost, J. Christen, U. Gösele, and M. Zacharias, Small 3, 76 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

Hardy, D. E.

He, D.

H. H. Solak, D. He, W. Li, and F. Cerrina, J. Vac. Sci. Technol. B 17, 3052 (1999).
[CrossRef]

Heilmann, R. K.

C. G. Chen, R. K. Heilmann, C. Joo, P. T. Konkola, G. S. Pati, and M. L. Schattenburg, J. Vac. Sci. Technol. B 20, 3071 (2002).
[CrossRef]

Hinsberg, W.

A. K. Raub, A. Frauenglass, S. R. J. Brueck, W. Conley, R. R. Dammel, A. Romano, M. Sato, and W. Hinsberg, Proc. SPIE 5377, 306 (2004).
[CrossRef]

Hinsberg, W. D.

J. A. Hoffnagle, W. D. Hinsberg, M. Sanchez, and F. A. Houle, J. Vac. Sci. Technol. 17, 3306 (1999).
[CrossRef]

Hoffnagle, J. A.

J. A. Hoffnagle, W. D. Hinsberg, M. Sanchez, and F. A. Houle, J. Vac. Sci. Technol. 17, 3306 (1999).
[CrossRef]

Hong, M. H.

W. K. Choi, T. H. Liew, M. K. Dawood, H. I. Smith, C. V. Thompson, and M. H. Hong, Nano Lett. 8, 3799 (2008).
[CrossRef] [PubMed]

Houle, F. A.

J. A. Hoffnagle, W. D. Hinsberg, M. Sanchez, and F. A. Houle, J. Vac. Sci. Technol. 17, 3306 (1999).
[CrossRef]

Ji, R.

D. S. Kim, R. Ji, H. J. Fan, F. Bertram, R. Scholz, A. Dadgar, K. Nielsch, A. Krost, J. Christen, U. Gösele, and M. Zacharias, Small 3, 76 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

Joo, C.

C. G. Chen, R. K. Heilmann, C. Joo, P. T. Konkola, G. S. Pati, and M. L. Schattenburg, J. Vac. Sci. Technol. B 20, 3071 (2002).
[CrossRef]

Kang, H.

A. Bourov, Y. Fan, F. C. Cropanese, N. V. Lafferty, L. V. Zavyalova, H. Kang, and B. W. Smith, Proc. SPIE 5377, 1573 (2004).
[CrossRef]

Kaplan, S. G.

Kim, D. S.

D. S. Kim, R. Ji, H. J. Fan, F. Bertram, R. Scholz, A. Dadgar, K. Nielsch, A. Krost, J. Christen, U. Gösele, and M. Zacharias, Small 3, 76 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

Konkola, P. T.

C. G. Chen, R. K. Heilmann, C. Joo, P. T. Konkola, G. S. Pati, and M. L. Schattenburg, J. Vac. Sci. Technol. B 20, 3071 (2002).
[CrossRef]

Krost, A.

D. S. Kim, R. Ji, H. J. Fan, F. Bertram, R. Scholz, A. Dadgar, K. Nielsch, A. Krost, J. Christen, U. Gösele, and M. Zacharias, Small 3, 76 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

Lafferty, N. V.

A. Bourov, Y. Fan, F. C. Cropanese, N. V. Lafferty, L. V. Zavyalova, H. Kang, and B. W. Smith, Proc. SPIE 5377, 1573 (2004).
[CrossRef]

Lee, Y. T.

Lemon, M. F.

R. H. French, H. Sewell, M. K. Yang, S. Peng, D. McCafferty, W. Qiu, R. C. Wheland, M. F. Lemon, L. Markoya, and M. K. Crawford, J. Microlith. Microfab. Microsyst. 4, 031103(2005).
[CrossRef]

Li, W.

H. H. Solak, D. He, W. Li, and F. Cerrina, J. Vac. Sci. Technol. B 17, 3052 (1999).
[CrossRef]

Liew, T. H.

W. K. Choi, T. H. Liew, M. K. Dawood, H. I. Smith, C. V. Thompson, and M. H. Hong, Nano Lett. 8, 3799 (2008).
[CrossRef] [PubMed]

Malitson, I. H.

Marchant, M. F.

Markoya, L.

R. H. French, H. Sewell, M. K. Yang, S. Peng, D. McCafferty, W. Qiu, R. C. Wheland, M. F. Lemon, L. Markoya, and M. K. Crawford, J. Microlith. Microfab. Microsyst. 4, 031103(2005).
[CrossRef]

McCafferty, D.

R. H. French, H. Sewell, M. K. Yang, S. Peng, D. McCafferty, W. Qiu, R. C. Wheland, M. F. Lemon, L. Markoya, and M. K. Crawford, J. Microlith. Microfab. Microsyst. 4, 031103(2005).
[CrossRef]

Moon, J.

J. Moon, J. Ford, and S. Yang, Polym. Adv. Technol. 17, 83 (2006).
[CrossRef]

Nielsch, K.

D. S. Kim, R. Ji, H. J. Fan, F. Bertram, R. Scholz, A. Dadgar, K. Nielsch, A. Krost, J. Christen, U. Gösele, and M. Zacharias, Small 3, 76 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

Pati, G. S.

C. G. Chen, R. K. Heilmann, C. Joo, P. T. Konkola, G. S. Pati, and M. L. Schattenburg, J. Vac. Sci. Technol. B 20, 3071 (2002).
[CrossRef]

Peng, S.

R. H. French, H. Sewell, M. K. Yang, S. Peng, D. McCafferty, W. Qiu, R. C. Wheland, M. F. Lemon, L. Markoya, and M. K. Crawford, J. Microlith. Microfab. Microsyst. 4, 031103(2005).
[CrossRef]

Qiu, W.

R. H. French, H. Sewell, M. K. Yang, S. Peng, D. McCafferty, W. Qiu, R. C. Wheland, M. F. Lemon, L. Markoya, and M. K. Crawford, J. Microlith. Microfab. Microsyst. 4, 031103(2005).
[CrossRef]

Raub, A. K.

A. K. Raub, A. Frauenglass, S. R. J. Brueck, W. Conley, R. R. Dammel, A. Romano, M. Sato, and W. Hinsberg, Proc. SPIE 5377, 306 (2004).
[CrossRef]

Romano, A.

A. K. Raub, A. Frauenglass, S. R. J. Brueck, W. Conley, R. R. Dammel, A. Romano, M. Sato, and W. Hinsberg, Proc. SPIE 5377, 306 (2004).
[CrossRef]

Rothschild, M.

Sanchez, M.

J. A. Hoffnagle, W. D. Hinsberg, M. Sanchez, and F. A. Houle, J. Vac. Sci. Technol. 17, 3306 (1999).
[CrossRef]

Sato, M.

A. K. Raub, A. Frauenglass, S. R. J. Brueck, W. Conley, R. R. Dammel, A. Romano, M. Sato, and W. Hinsberg, Proc. SPIE 5377, 306 (2004).
[CrossRef]

Schattenburg, M. L.

C. G. Chen, R. K. Heilmann, C. Joo, P. T. Konkola, G. S. Pati, and M. L. Schattenburg, J. Vac. Sci. Technol. B 20, 3071 (2002).
[CrossRef]

Schmidt, V.

J. de Boor, N. Geyer, J. V. Wittemann, U. Gosele, and V. Schmidt, Nanotechnology 21, 095302 (2010).
[CrossRef] [PubMed]

J. de Boor, N. Geyer, U. Gösele, and V. Schmidt, Opt. Lett. 34, 1783 (2009).
[CrossRef] [PubMed]

Scholz, R.

D. S. Kim, R. Ji, H. J. Fan, F. Bertram, R. Scholz, A. Dadgar, K. Nielsch, A. Krost, J. Christen, U. Gösele, and M. Zacharias, Small 3, 76 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

Sewell, H.

R. H. French, H. Sewell, M. K. Yang, S. Peng, D. McCafferty, W. Qiu, R. C. Wheland, M. F. Lemon, L. Markoya, and M. K. Crawford, J. Microlith. Microfab. Microsyst. 4, 031103(2005).
[CrossRef]

Smith, B.

B. Smith, J. Zhou, and P. Xie, Proc. SPIE 6924, 69240J(2008).
[CrossRef]

Smith, B. W.

A. Bourov, Y. Fan, F. C. Cropanese, N. V. Lafferty, L. V. Zavyalova, H. Kang, and B. W. Smith, Proc. SPIE 5377, 1573 (2004).
[CrossRef]

Smith, H. I.

W. K. Choi, T. H. Liew, M. K. Dawood, H. I. Smith, C. V. Thompson, and M. H. Hong, Nano Lett. 8, 3799 (2008).
[CrossRef] [PubMed]

Solak, H. H.

H. H. Solak, D. He, W. Li, and F. Cerrina, J. Vac. Sci. Technol. B 17, 3052 (1999).
[CrossRef]

Song, Y. M.

Thompson, C. V.

W. K. Choi, T. H. Liew, M. K. Dawood, H. I. Smith, C. V. Thompson, and M. H. Hong, Nano Lett. 8, 3799 (2008).
[CrossRef] [PubMed]

Walsh, M. E.

M. E. Walsh, “On the design of lithographic interferometers and their application,” Ph.D. dissertation (MIT, 2004).

Wheland, R. C.

R. H. French, H. Sewell, M. K. Yang, S. Peng, D. McCafferty, W. Qiu, R. C. Wheland, M. F. Lemon, L. Markoya, and M. K. Crawford, J. Microlith. Microfab. Microsyst. 4, 031103(2005).
[CrossRef]

Wittemann, J. V.

J. de Boor, N. Geyer, J. V. Wittemann, U. Gosele, and V. Schmidt, Nanotechnology 21, 095302 (2010).
[CrossRef] [PubMed]

Xie, P.

B. Smith, J. Zhou, and P. Xie, Proc. SPIE 6924, 69240J(2008).
[CrossRef]

Yang, M. K.

R. H. French, H. Sewell, M. K. Yang, S. Peng, D. McCafferty, W. Qiu, R. C. Wheland, M. F. Lemon, L. Markoya, and M. K. Crawford, J. Microlith. Microfab. Microsyst. 4, 031103(2005).
[CrossRef]

Yang, S.

J. Moon, J. Ford, and S. Yang, Polym. Adv. Technol. 17, 83 (2006).
[CrossRef]

Yu, J. S.

Zacharias, M.

D. S. Kim, R. Ji, H. J. Fan, F. Bertram, R. Scholz, A. Dadgar, K. Nielsch, A. Krost, J. Christen, U. Gösele, and M. Zacharias, Small 3, 76 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

Zavyalova, L. V.

A. Bourov, Y. Fan, F. C. Cropanese, N. V. Lafferty, L. V. Zavyalova, H. Kang, and B. W. Smith, Proc. SPIE 5377, 1573 (2004).
[CrossRef]

Zhou, J.

B. Smith, J. Zhou, and P. Xie, Proc. SPIE 6924, 69240J(2008).
[CrossRef]

Appl. Opt.

J. Microlith. Microfab. Microsyst.

R. H. French, H. Sewell, M. K. Yang, S. Peng, D. McCafferty, W. Qiu, R. C. Wheland, M. F. Lemon, L. Markoya, and M. K. Crawford, J. Microlith. Microfab. Microsyst. 4, 031103(2005).
[CrossRef]

J. Opt. Soc. Am.

J. Vac. Sci. Technol.

J. A. Hoffnagle, W. D. Hinsberg, M. Sanchez, and F. A. Houle, J. Vac. Sci. Technol. 17, 3306 (1999).
[CrossRef]

J. Vac. Sci. Technol. B

H. H. Solak, D. He, W. Li, and F. Cerrina, J. Vac. Sci. Technol. B 17, 3052 (1999).
[CrossRef]

C. G. Chen, R. K. Heilmann, C. Joo, P. T. Konkola, G. S. Pati, and M. L. Schattenburg, J. Vac. Sci. Technol. B 20, 3071 (2002).
[CrossRef]

Nano Lett.

W. K. Choi, T. H. Liew, M. K. Dawood, H. I. Smith, C. V. Thompson, and M. H. Hong, Nano Lett. 8, 3799 (2008).
[CrossRef] [PubMed]

Nanotechnology

J. de Boor, N. Geyer, J. V. Wittemann, U. Gosele, and V. Schmidt, Nanotechnology 21, 095302 (2010).
[CrossRef] [PubMed]

Opt. Express

Opt. Lett.

Polym. Adv. Technol.

J. Moon, J. Ford, and S. Yang, Polym. Adv. Technol. 17, 83 (2006).
[CrossRef]

Proc. IEEE

S. R. J. Brueck, Proc. IEEE 93, 1704 (2005).
[CrossRef]

Proc. SPIE

B. Smith, J. Zhou, and P. Xie, Proc. SPIE 6924, 69240J(2008).
[CrossRef]

A. K. Raub, A. Frauenglass, S. R. J. Brueck, W. Conley, R. R. Dammel, A. Romano, M. Sato, and W. Hinsberg, Proc. SPIE 5377, 306 (2004).
[CrossRef]

A. Bourov, Y. Fan, F. C. Cropanese, N. V. Lafferty, L. V. Zavyalova, H. Kang, and B. W. Smith, Proc. SPIE 5377, 1573 (2004).
[CrossRef]

Small

D. S. Kim, R. Ji, H. J. Fan, F. Bertram, R. Scholz, A. Dadgar, K. Nielsch, A. Krost, J. Christen, U. Gösele, and M. Zacharias, Small 3, 76 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

Other

M. E. Walsh, “On the design of lithographic interferometers and their application,” Ph.D. dissertation (MIT, 2004).

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (3)

Fig. 1
Fig. 1

(a) Standard Lloyd’s mirror interfero meter: a fraction of the light from an expanded laser beam reaches the sample directly, another fraction after reflection from a mirror (yellow), creating a sinusoidal intensity pattern across the sample. The substrate (dark gray) is coated with photoresist (red). (b) Immersion Lloyd’s mirror interferometer: the laser light is directed onto a triangular prism at an angle θ to the sample normal. Instead of by a separate mirror, the light is reflected by the metal coating (yellow) of the prism. The periodicity in (b) is smaller than that in (a) because of the refractive index of the prism. Total reflection at the bottom side of the prism is avoided by using an immersion liquid (blue).

Fig. 2
Fig. 2

Photoresist patterns after exposure and development. (a) Low magnification and (b) high magnification images of the pattern; the width of the resist lines is 43 ± 4 nm . (c) Silver lines after evaporation of 15 nm Ag and lift-off.

Fig. 3
Fig. 3

Periodicity as a function of the angle between substrate normal and laser beam in air; λ = 244 nm . Solid curve, result of Eq. (2). Diamonds, experimental data. Dashed curve, periodicity of a standard Lloyd’s interferometer. The smallest periodicity for a standard Lloyd’s interferometer is λ / 2 = 122 nm , while, with prism and immersion liquid, the working range is expanded well below 100 nm .

Equations (3)

Equations on this page are rendered with MathJax. Learn more.

p LIL = λ 2 n air sin θ air ,
p ILIL = λ 2 n prism sin θ ,
sin ( 60 ° θ ) sin ( 60 ° θ ) = n Prism n air ,

Metrics