Abstract

Efficient generation of extreme UV (EUV) light at λ=13.5nm from a bulk Sn target has been demonstrated by using a fiber laser. The conversion efficiency from the 1064nm IR to the EUV was measured to be around 0.9% into 2π steradians within a 2% bandwidth. To the best of our knowledge, this is the first time an all-fiber system was used to generate EUV or soft x rays.

© 2006 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. F. Jin and M. Richardson, Appl. Opt. 34, 5750 (1995).
    [CrossRef] [PubMed]
  2. A. Krol, A. Ikhlef, J. C. Kieffer, D. A. Bassano, C. C. Chamberlain, Z. Jiang, H. Pepin, and S. C. Prasad, Med. Phys. 24, 725 (1997).
    [CrossRef] [PubMed]
  3. A. Rousse, C. Rischel, and J.-C. Gauthier, Rev. Mod. Phys. 73, 17 (2001).
    [CrossRef]
  4. R. D. Edwards, M. A. Sinclair, T. J. Goldsack, K. Krushelnick, F. N. Beg, E. L. Clark, A. E. Dangor, Z. Najmudin, M. Tatarakis, B. Walton, M. Zepf, K. W. D. Ledingham, I. Spencer, P. A. Norreys, R. J. Clarke, R. Kodama, Y. Toyama, and M. Tampo, Appl. Phys. Lett. 80, 2129 (2002).
    [CrossRef]
  5. C. Gahn, G. D. Tsakiris, G. Pretzler, K. J. Witte, P. Thirolf, D. Habs, C. Delfin, and C.-G. Wahlström, Phys. Plasmas 9, 987 (2002).
    [CrossRef]
  6. A. Maksimchuk, S. Gu, K. Flippo, D. Umstadter, and V. Yu. Bychenkov, Phys. Rev. Lett. 84, 4108 (2000).
    [CrossRef] [PubMed]
  7. M.-Y. Cheng, Y.-C. Chang, A. Galvanauskas, P. Mamidipudi, R. Changkakoti, and P. Gatchell, Opt. Lett. 30, 358 (2005).
    [CrossRef] [PubMed]
  8. V. P. Gapontsev, D. V. Gapontsev, N. S. Platonov, O. Shkurikhin, V. Fomin, A. Mashkin, M. Abramov, and S. Ferin, in Proceedings of the European Conference on Lasers and Electro-Optics (2005), paper CJ1-1.
  9. D. Attwood, Soft X-Rays and Extreme Ultraviolet Radiation: Principles and Applications (Cambridge U. Press, 2000).
  10. R. C. Spitzer, T. J. Orzechowski, D. W. Phillion, R. L. Kauffman, and C. Cerjan, J. Appl. Phys. 79, 2251 (1996).
    [CrossRef]
  11. C.-S. Koay, S. George, K. Takenoshita, R. Bernath, E. Fujiwara, M. Richardson, and Vi. Bakshi, Proc. SPIE 5751, 279 (2005).
    [CrossRef]
  12. T. Tomie, T. Aota, Y. Ueno, G. Niimi, H. Yashiro, J. Q. Lin, I. Matsushima, K. Komiyama, D.-H. Lee, K. Nishigori, and H. Yokota, in Proc. SPIE 5037, 147 (2003).
    [CrossRef]
  13. N. Nakano, H. Kuroda, T. Kita, and T. Harada, Appl. Opt. 23, 2386 (1984).
    [CrossRef] [PubMed]
  14. M. Krumrey, E. Tegeler, J. Barth, M. Krisch, F. Schäfers, and R. Wolf, Appl. Opt. 27, 4336 (1988).
    [CrossRef] [PubMed]

2005 (2)

C.-S. Koay, S. George, K. Takenoshita, R. Bernath, E. Fujiwara, M. Richardson, and Vi. Bakshi, Proc. SPIE 5751, 279 (2005).
[CrossRef]

M.-Y. Cheng, Y.-C. Chang, A. Galvanauskas, P. Mamidipudi, R. Changkakoti, and P. Gatchell, Opt. Lett. 30, 358 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

2003 (1)

T. Tomie, T. Aota, Y. Ueno, G. Niimi, H. Yashiro, J. Q. Lin, I. Matsushima, K. Komiyama, D.-H. Lee, K. Nishigori, and H. Yokota, in Proc. SPIE 5037, 147 (2003).
[CrossRef]

2002 (2)

R. D. Edwards, M. A. Sinclair, T. J. Goldsack, K. Krushelnick, F. N. Beg, E. L. Clark, A. E. Dangor, Z. Najmudin, M. Tatarakis, B. Walton, M. Zepf, K. W. D. Ledingham, I. Spencer, P. A. Norreys, R. J. Clarke, R. Kodama, Y. Toyama, and M. Tampo, Appl. Phys. Lett. 80, 2129 (2002).
[CrossRef]

C. Gahn, G. D. Tsakiris, G. Pretzler, K. J. Witte, P. Thirolf, D. Habs, C. Delfin, and C.-G. Wahlström, Phys. Plasmas 9, 987 (2002).
[CrossRef]

2001 (1)

A. Rousse, C. Rischel, and J.-C. Gauthier, Rev. Mod. Phys. 73, 17 (2001).
[CrossRef]

2000 (1)

A. Maksimchuk, S. Gu, K. Flippo, D. Umstadter, and V. Yu. Bychenkov, Phys. Rev. Lett. 84, 4108 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

1997 (1)

A. Krol, A. Ikhlef, J. C. Kieffer, D. A. Bassano, C. C. Chamberlain, Z. Jiang, H. Pepin, and S. C. Prasad, Med. Phys. 24, 725 (1997).
[CrossRef] [PubMed]

1996 (1)

R. C. Spitzer, T. J. Orzechowski, D. W. Phillion, R. L. Kauffman, and C. Cerjan, J. Appl. Phys. 79, 2251 (1996).
[CrossRef]

1995 (1)

1988 (1)

1984 (1)

Abramov, M.

V. P. Gapontsev, D. V. Gapontsev, N. S. Platonov, O. Shkurikhin, V. Fomin, A. Mashkin, M. Abramov, and S. Ferin, in Proceedings of the European Conference on Lasers and Electro-Optics (2005), paper CJ1-1.

Aota, T.

T. Tomie, T. Aota, Y. Ueno, G. Niimi, H. Yashiro, J. Q. Lin, I. Matsushima, K. Komiyama, D.-H. Lee, K. Nishigori, and H. Yokota, in Proc. SPIE 5037, 147 (2003).
[CrossRef]

Attwood, D.

D. Attwood, Soft X-Rays and Extreme Ultraviolet Radiation: Principles and Applications (Cambridge U. Press, 2000).

Bakshi, Vi.

C.-S. Koay, S. George, K. Takenoshita, R. Bernath, E. Fujiwara, M. Richardson, and Vi. Bakshi, Proc. SPIE 5751, 279 (2005).
[CrossRef]

Barth, J.

Bassano, D. A.

A. Krol, A. Ikhlef, J. C. Kieffer, D. A. Bassano, C. C. Chamberlain, Z. Jiang, H. Pepin, and S. C. Prasad, Med. Phys. 24, 725 (1997).
[CrossRef] [PubMed]

Beg, F. N.

R. D. Edwards, M. A. Sinclair, T. J. Goldsack, K. Krushelnick, F. N. Beg, E. L. Clark, A. E. Dangor, Z. Najmudin, M. Tatarakis, B. Walton, M. Zepf, K. W. D. Ledingham, I. Spencer, P. A. Norreys, R. J. Clarke, R. Kodama, Y. Toyama, and M. Tampo, Appl. Phys. Lett. 80, 2129 (2002).
[CrossRef]

Bernath, R.

C.-S. Koay, S. George, K. Takenoshita, R. Bernath, E. Fujiwara, M. Richardson, and Vi. Bakshi, Proc. SPIE 5751, 279 (2005).
[CrossRef]

Bychenkov, V. Yu.

A. Maksimchuk, S. Gu, K. Flippo, D. Umstadter, and V. Yu. Bychenkov, Phys. Rev. Lett. 84, 4108 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

Cerjan, C.

R. C. Spitzer, T. J. Orzechowski, D. W. Phillion, R. L. Kauffman, and C. Cerjan, J. Appl. Phys. 79, 2251 (1996).
[CrossRef]

Chamberlain, C. C.

A. Krol, A. Ikhlef, J. C. Kieffer, D. A. Bassano, C. C. Chamberlain, Z. Jiang, H. Pepin, and S. C. Prasad, Med. Phys. 24, 725 (1997).
[CrossRef] [PubMed]

Chang, Y.-C.

Changkakoti, R.

Cheng, M.-Y.

Clark, E. L.

R. D. Edwards, M. A. Sinclair, T. J. Goldsack, K. Krushelnick, F. N. Beg, E. L. Clark, A. E. Dangor, Z. Najmudin, M. Tatarakis, B. Walton, M. Zepf, K. W. D. Ledingham, I. Spencer, P. A. Norreys, R. J. Clarke, R. Kodama, Y. Toyama, and M. Tampo, Appl. Phys. Lett. 80, 2129 (2002).
[CrossRef]

Clarke, R. J.

R. D. Edwards, M. A. Sinclair, T. J. Goldsack, K. Krushelnick, F. N. Beg, E. L. Clark, A. E. Dangor, Z. Najmudin, M. Tatarakis, B. Walton, M. Zepf, K. W. D. Ledingham, I. Spencer, P. A. Norreys, R. J. Clarke, R. Kodama, Y. Toyama, and M. Tampo, Appl. Phys. Lett. 80, 2129 (2002).
[CrossRef]

Dangor, A. E.

R. D. Edwards, M. A. Sinclair, T. J. Goldsack, K. Krushelnick, F. N. Beg, E. L. Clark, A. E. Dangor, Z. Najmudin, M. Tatarakis, B. Walton, M. Zepf, K. W. D. Ledingham, I. Spencer, P. A. Norreys, R. J. Clarke, R. Kodama, Y. Toyama, and M. Tampo, Appl. Phys. Lett. 80, 2129 (2002).
[CrossRef]

Delfin, C.

C. Gahn, G. D. Tsakiris, G. Pretzler, K. J. Witte, P. Thirolf, D. Habs, C. Delfin, and C.-G. Wahlström, Phys. Plasmas 9, 987 (2002).
[CrossRef]

Edwards, R. D.

R. D. Edwards, M. A. Sinclair, T. J. Goldsack, K. Krushelnick, F. N. Beg, E. L. Clark, A. E. Dangor, Z. Najmudin, M. Tatarakis, B. Walton, M. Zepf, K. W. D. Ledingham, I. Spencer, P. A. Norreys, R. J. Clarke, R. Kodama, Y. Toyama, and M. Tampo, Appl. Phys. Lett. 80, 2129 (2002).
[CrossRef]

Ferin, S.

V. P. Gapontsev, D. V. Gapontsev, N. S. Platonov, O. Shkurikhin, V. Fomin, A. Mashkin, M. Abramov, and S. Ferin, in Proceedings of the European Conference on Lasers and Electro-Optics (2005), paper CJ1-1.

Flippo, K.

A. Maksimchuk, S. Gu, K. Flippo, D. Umstadter, and V. Yu. Bychenkov, Phys. Rev. Lett. 84, 4108 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

Fomin, V.

V. P. Gapontsev, D. V. Gapontsev, N. S. Platonov, O. Shkurikhin, V. Fomin, A. Mashkin, M. Abramov, and S. Ferin, in Proceedings of the European Conference on Lasers and Electro-Optics (2005), paper CJ1-1.

Fujiwara, E.

C.-S. Koay, S. George, K. Takenoshita, R. Bernath, E. Fujiwara, M. Richardson, and Vi. Bakshi, Proc. SPIE 5751, 279 (2005).
[CrossRef]

Gahn, C.

C. Gahn, G. D. Tsakiris, G. Pretzler, K. J. Witte, P. Thirolf, D. Habs, C. Delfin, and C.-G. Wahlström, Phys. Plasmas 9, 987 (2002).
[CrossRef]

Galvanauskas, A.

Gapontsev, D. V.

V. P. Gapontsev, D. V. Gapontsev, N. S. Platonov, O. Shkurikhin, V. Fomin, A. Mashkin, M. Abramov, and S. Ferin, in Proceedings of the European Conference on Lasers and Electro-Optics (2005), paper CJ1-1.

Gapontsev, V. P.

V. P. Gapontsev, D. V. Gapontsev, N. S. Platonov, O. Shkurikhin, V. Fomin, A. Mashkin, M. Abramov, and S. Ferin, in Proceedings of the European Conference on Lasers and Electro-Optics (2005), paper CJ1-1.

Gatchell, P.

Gauthier, J.-C.

A. Rousse, C. Rischel, and J.-C. Gauthier, Rev. Mod. Phys. 73, 17 (2001).
[CrossRef]

George, S.

C.-S. Koay, S. George, K. Takenoshita, R. Bernath, E. Fujiwara, M. Richardson, and Vi. Bakshi, Proc. SPIE 5751, 279 (2005).
[CrossRef]

Goldsack, T. J.

R. D. Edwards, M. A. Sinclair, T. J. Goldsack, K. Krushelnick, F. N. Beg, E. L. Clark, A. E. Dangor, Z. Najmudin, M. Tatarakis, B. Walton, M. Zepf, K. W. D. Ledingham, I. Spencer, P. A. Norreys, R. J. Clarke, R. Kodama, Y. Toyama, and M. Tampo, Appl. Phys. Lett. 80, 2129 (2002).
[CrossRef]

Gu, S.

A. Maksimchuk, S. Gu, K. Flippo, D. Umstadter, and V. Yu. Bychenkov, Phys. Rev. Lett. 84, 4108 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

Habs, D.

C. Gahn, G. D. Tsakiris, G. Pretzler, K. J. Witte, P. Thirolf, D. Habs, C. Delfin, and C.-G. Wahlström, Phys. Plasmas 9, 987 (2002).
[CrossRef]

Harada, T.

Ikhlef, A.

A. Krol, A. Ikhlef, J. C. Kieffer, D. A. Bassano, C. C. Chamberlain, Z. Jiang, H. Pepin, and S. C. Prasad, Med. Phys. 24, 725 (1997).
[CrossRef] [PubMed]

Jiang, Z.

A. Krol, A. Ikhlef, J. C. Kieffer, D. A. Bassano, C. C. Chamberlain, Z. Jiang, H. Pepin, and S. C. Prasad, Med. Phys. 24, 725 (1997).
[CrossRef] [PubMed]

Jin, F.

Kauffman, R. L.

R. C. Spitzer, T. J. Orzechowski, D. W. Phillion, R. L. Kauffman, and C. Cerjan, J. Appl. Phys. 79, 2251 (1996).
[CrossRef]

Kieffer, J. C.

A. Krol, A. Ikhlef, J. C. Kieffer, D. A. Bassano, C. C. Chamberlain, Z. Jiang, H. Pepin, and S. C. Prasad, Med. Phys. 24, 725 (1997).
[CrossRef] [PubMed]

Kita, T.

Koay, C.-S.

C.-S. Koay, S. George, K. Takenoshita, R. Bernath, E. Fujiwara, M. Richardson, and Vi. Bakshi, Proc. SPIE 5751, 279 (2005).
[CrossRef]

Kodama, R.

R. D. Edwards, M. A. Sinclair, T. J. Goldsack, K. Krushelnick, F. N. Beg, E. L. Clark, A. E. Dangor, Z. Najmudin, M. Tatarakis, B. Walton, M. Zepf, K. W. D. Ledingham, I. Spencer, P. A. Norreys, R. J. Clarke, R. Kodama, Y. Toyama, and M. Tampo, Appl. Phys. Lett. 80, 2129 (2002).
[CrossRef]

Komiyama, K.

T. Tomie, T. Aota, Y. Ueno, G. Niimi, H. Yashiro, J. Q. Lin, I. Matsushima, K. Komiyama, D.-H. Lee, K. Nishigori, and H. Yokota, in Proc. SPIE 5037, 147 (2003).
[CrossRef]

Krisch, M.

Krol, A.

A. Krol, A. Ikhlef, J. C. Kieffer, D. A. Bassano, C. C. Chamberlain, Z. Jiang, H. Pepin, and S. C. Prasad, Med. Phys. 24, 725 (1997).
[CrossRef] [PubMed]

Krumrey, M.

Krushelnick, K.

R. D. Edwards, M. A. Sinclair, T. J. Goldsack, K. Krushelnick, F. N. Beg, E. L. Clark, A. E. Dangor, Z. Najmudin, M. Tatarakis, B. Walton, M. Zepf, K. W. D. Ledingham, I. Spencer, P. A. Norreys, R. J. Clarke, R. Kodama, Y. Toyama, and M. Tampo, Appl. Phys. Lett. 80, 2129 (2002).
[CrossRef]

Kuroda, H.

Ledingham, K. W. D.

R. D. Edwards, M. A. Sinclair, T. J. Goldsack, K. Krushelnick, F. N. Beg, E. L. Clark, A. E. Dangor, Z. Najmudin, M. Tatarakis, B. Walton, M. Zepf, K. W. D. Ledingham, I. Spencer, P. A. Norreys, R. J. Clarke, R. Kodama, Y. Toyama, and M. Tampo, Appl. Phys. Lett. 80, 2129 (2002).
[CrossRef]

Lee, D.-H.

T. Tomie, T. Aota, Y. Ueno, G. Niimi, H. Yashiro, J. Q. Lin, I. Matsushima, K. Komiyama, D.-H. Lee, K. Nishigori, and H. Yokota, in Proc. SPIE 5037, 147 (2003).
[CrossRef]

Lin, J. Q.

T. Tomie, T. Aota, Y. Ueno, G. Niimi, H. Yashiro, J. Q. Lin, I. Matsushima, K. Komiyama, D.-H. Lee, K. Nishigori, and H. Yokota, in Proc. SPIE 5037, 147 (2003).
[CrossRef]

Maksimchuk, A.

A. Maksimchuk, S. Gu, K. Flippo, D. Umstadter, and V. Yu. Bychenkov, Phys. Rev. Lett. 84, 4108 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

Mamidipudi, P.

Mashkin, A.

V. P. Gapontsev, D. V. Gapontsev, N. S. Platonov, O. Shkurikhin, V. Fomin, A. Mashkin, M. Abramov, and S. Ferin, in Proceedings of the European Conference on Lasers and Electro-Optics (2005), paper CJ1-1.

Matsushima, I.

T. Tomie, T. Aota, Y. Ueno, G. Niimi, H. Yashiro, J. Q. Lin, I. Matsushima, K. Komiyama, D.-H. Lee, K. Nishigori, and H. Yokota, in Proc. SPIE 5037, 147 (2003).
[CrossRef]

Najmudin, Z.

R. D. Edwards, M. A. Sinclair, T. J. Goldsack, K. Krushelnick, F. N. Beg, E. L. Clark, A. E. Dangor, Z. Najmudin, M. Tatarakis, B. Walton, M. Zepf, K. W. D. Ledingham, I. Spencer, P. A. Norreys, R. J. Clarke, R. Kodama, Y. Toyama, and M. Tampo, Appl. Phys. Lett. 80, 2129 (2002).
[CrossRef]

Nakano, N.

Niimi, G.

T. Tomie, T. Aota, Y. Ueno, G. Niimi, H. Yashiro, J. Q. Lin, I. Matsushima, K. Komiyama, D.-H. Lee, K. Nishigori, and H. Yokota, in Proc. SPIE 5037, 147 (2003).
[CrossRef]

Nishigori, K.

T. Tomie, T. Aota, Y. Ueno, G. Niimi, H. Yashiro, J. Q. Lin, I. Matsushima, K. Komiyama, D.-H. Lee, K. Nishigori, and H. Yokota, in Proc. SPIE 5037, 147 (2003).
[CrossRef]

Norreys, P. A.

R. D. Edwards, M. A. Sinclair, T. J. Goldsack, K. Krushelnick, F. N. Beg, E. L. Clark, A. E. Dangor, Z. Najmudin, M. Tatarakis, B. Walton, M. Zepf, K. W. D. Ledingham, I. Spencer, P. A. Norreys, R. J. Clarke, R. Kodama, Y. Toyama, and M. Tampo, Appl. Phys. Lett. 80, 2129 (2002).
[CrossRef]

Orzechowski, T. J.

R. C. Spitzer, T. J. Orzechowski, D. W. Phillion, R. L. Kauffman, and C. Cerjan, J. Appl. Phys. 79, 2251 (1996).
[CrossRef]

Pepin, H.

A. Krol, A. Ikhlef, J. C. Kieffer, D. A. Bassano, C. C. Chamberlain, Z. Jiang, H. Pepin, and S. C. Prasad, Med. Phys. 24, 725 (1997).
[CrossRef] [PubMed]

Phillion, D. W.

R. C. Spitzer, T. J. Orzechowski, D. W. Phillion, R. L. Kauffman, and C. Cerjan, J. Appl. Phys. 79, 2251 (1996).
[CrossRef]

Platonov, N. S.

V. P. Gapontsev, D. V. Gapontsev, N. S. Platonov, O. Shkurikhin, V. Fomin, A. Mashkin, M. Abramov, and S. Ferin, in Proceedings of the European Conference on Lasers and Electro-Optics (2005), paper CJ1-1.

Prasad, S. C.

A. Krol, A. Ikhlef, J. C. Kieffer, D. A. Bassano, C. C. Chamberlain, Z. Jiang, H. Pepin, and S. C. Prasad, Med. Phys. 24, 725 (1997).
[CrossRef] [PubMed]

Pretzler, G.

C. Gahn, G. D. Tsakiris, G. Pretzler, K. J. Witte, P. Thirolf, D. Habs, C. Delfin, and C.-G. Wahlström, Phys. Plasmas 9, 987 (2002).
[CrossRef]

Richardson, M.

C.-S. Koay, S. George, K. Takenoshita, R. Bernath, E. Fujiwara, M. Richardson, and Vi. Bakshi, Proc. SPIE 5751, 279 (2005).
[CrossRef]

F. Jin and M. Richardson, Appl. Opt. 34, 5750 (1995).
[CrossRef] [PubMed]

Rischel, C.

A. Rousse, C. Rischel, and J.-C. Gauthier, Rev. Mod. Phys. 73, 17 (2001).
[CrossRef]

Rousse, A.

A. Rousse, C. Rischel, and J.-C. Gauthier, Rev. Mod. Phys. 73, 17 (2001).
[CrossRef]

Schäfers, F.

Shkurikhin, O.

V. P. Gapontsev, D. V. Gapontsev, N. S. Platonov, O. Shkurikhin, V. Fomin, A. Mashkin, M. Abramov, and S. Ferin, in Proceedings of the European Conference on Lasers and Electro-Optics (2005), paper CJ1-1.

Sinclair, M. A.

R. D. Edwards, M. A. Sinclair, T. J. Goldsack, K. Krushelnick, F. N. Beg, E. L. Clark, A. E. Dangor, Z. Najmudin, M. Tatarakis, B. Walton, M. Zepf, K. W. D. Ledingham, I. Spencer, P. A. Norreys, R. J. Clarke, R. Kodama, Y. Toyama, and M. Tampo, Appl. Phys. Lett. 80, 2129 (2002).
[CrossRef]

Spencer, I.

R. D. Edwards, M. A. Sinclair, T. J. Goldsack, K. Krushelnick, F. N. Beg, E. L. Clark, A. E. Dangor, Z. Najmudin, M. Tatarakis, B. Walton, M. Zepf, K. W. D. Ledingham, I. Spencer, P. A. Norreys, R. J. Clarke, R. Kodama, Y. Toyama, and M. Tampo, Appl. Phys. Lett. 80, 2129 (2002).
[CrossRef]

Spitzer, R. C.

R. C. Spitzer, T. J. Orzechowski, D. W. Phillion, R. L. Kauffman, and C. Cerjan, J. Appl. Phys. 79, 2251 (1996).
[CrossRef]

Takenoshita, K.

C.-S. Koay, S. George, K. Takenoshita, R. Bernath, E. Fujiwara, M. Richardson, and Vi. Bakshi, Proc. SPIE 5751, 279 (2005).
[CrossRef]

Tampo, M.

R. D. Edwards, M. A. Sinclair, T. J. Goldsack, K. Krushelnick, F. N. Beg, E. L. Clark, A. E. Dangor, Z. Najmudin, M. Tatarakis, B. Walton, M. Zepf, K. W. D. Ledingham, I. Spencer, P. A. Norreys, R. J. Clarke, R. Kodama, Y. Toyama, and M. Tampo, Appl. Phys. Lett. 80, 2129 (2002).
[CrossRef]

Tatarakis, M.

R. D. Edwards, M. A. Sinclair, T. J. Goldsack, K. Krushelnick, F. N. Beg, E. L. Clark, A. E. Dangor, Z. Najmudin, M. Tatarakis, B. Walton, M. Zepf, K. W. D. Ledingham, I. Spencer, P. A. Norreys, R. J. Clarke, R. Kodama, Y. Toyama, and M. Tampo, Appl. Phys. Lett. 80, 2129 (2002).
[CrossRef]

Tegeler, E.

Thirolf, P.

C. Gahn, G. D. Tsakiris, G. Pretzler, K. J. Witte, P. Thirolf, D. Habs, C. Delfin, and C.-G. Wahlström, Phys. Plasmas 9, 987 (2002).
[CrossRef]

Tomie, T.

T. Tomie, T. Aota, Y. Ueno, G. Niimi, H. Yashiro, J. Q. Lin, I. Matsushima, K. Komiyama, D.-H. Lee, K. Nishigori, and H. Yokota, in Proc. SPIE 5037, 147 (2003).
[CrossRef]

Toyama, Y.

R. D. Edwards, M. A. Sinclair, T. J. Goldsack, K. Krushelnick, F. N. Beg, E. L. Clark, A. E. Dangor, Z. Najmudin, M. Tatarakis, B. Walton, M. Zepf, K. W. D. Ledingham, I. Spencer, P. A. Norreys, R. J. Clarke, R. Kodama, Y. Toyama, and M. Tampo, Appl. Phys. Lett. 80, 2129 (2002).
[CrossRef]

Tsakiris, G. D.

C. Gahn, G. D. Tsakiris, G. Pretzler, K. J. Witte, P. Thirolf, D. Habs, C. Delfin, and C.-G. Wahlström, Phys. Plasmas 9, 987 (2002).
[CrossRef]

Ueno, Y.

T. Tomie, T. Aota, Y. Ueno, G. Niimi, H. Yashiro, J. Q. Lin, I. Matsushima, K. Komiyama, D.-H. Lee, K. Nishigori, and H. Yokota, in Proc. SPIE 5037, 147 (2003).
[CrossRef]

Umstadter, D.

A. Maksimchuk, S. Gu, K. Flippo, D. Umstadter, and V. Yu. Bychenkov, Phys. Rev. Lett. 84, 4108 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

Wahlström, C.-G.

C. Gahn, G. D. Tsakiris, G. Pretzler, K. J. Witte, P. Thirolf, D. Habs, C. Delfin, and C.-G. Wahlström, Phys. Plasmas 9, 987 (2002).
[CrossRef]

Walton, B.

R. D. Edwards, M. A. Sinclair, T. J. Goldsack, K. Krushelnick, F. N. Beg, E. L. Clark, A. E. Dangor, Z. Najmudin, M. Tatarakis, B. Walton, M. Zepf, K. W. D. Ledingham, I. Spencer, P. A. Norreys, R. J. Clarke, R. Kodama, Y. Toyama, and M. Tampo, Appl. Phys. Lett. 80, 2129 (2002).
[CrossRef]

Witte, K. J.

C. Gahn, G. D. Tsakiris, G. Pretzler, K. J. Witte, P. Thirolf, D. Habs, C. Delfin, and C.-G. Wahlström, Phys. Plasmas 9, 987 (2002).
[CrossRef]

Wolf, R.

Yashiro, H.

T. Tomie, T. Aota, Y. Ueno, G. Niimi, H. Yashiro, J. Q. Lin, I. Matsushima, K. Komiyama, D.-H. Lee, K. Nishigori, and H. Yokota, in Proc. SPIE 5037, 147 (2003).
[CrossRef]

Yokota, H.

T. Tomie, T. Aota, Y. Ueno, G. Niimi, H. Yashiro, J. Q. Lin, I. Matsushima, K. Komiyama, D.-H. Lee, K. Nishigori, and H. Yokota, in Proc. SPIE 5037, 147 (2003).
[CrossRef]

Zepf, M.

R. D. Edwards, M. A. Sinclair, T. J. Goldsack, K. Krushelnick, F. N. Beg, E. L. Clark, A. E. Dangor, Z. Najmudin, M. Tatarakis, B. Walton, M. Zepf, K. W. D. Ledingham, I. Spencer, P. A. Norreys, R. J. Clarke, R. Kodama, Y. Toyama, and M. Tampo, Appl. Phys. Lett. 80, 2129 (2002).
[CrossRef]

Appl. Opt. (3)

Appl. Phys. Lett. (1)

R. D. Edwards, M. A. Sinclair, T. J. Goldsack, K. Krushelnick, F. N. Beg, E. L. Clark, A. E. Dangor, Z. Najmudin, M. Tatarakis, B. Walton, M. Zepf, K. W. D. Ledingham, I. Spencer, P. A. Norreys, R. J. Clarke, R. Kodama, Y. Toyama, and M. Tampo, Appl. Phys. Lett. 80, 2129 (2002).
[CrossRef]

J. Appl. Phys. (1)

R. C. Spitzer, T. J. Orzechowski, D. W. Phillion, R. L. Kauffman, and C. Cerjan, J. Appl. Phys. 79, 2251 (1996).
[CrossRef]

Med. Phys. (1)

A. Krol, A. Ikhlef, J. C. Kieffer, D. A. Bassano, C. C. Chamberlain, Z. Jiang, H. Pepin, and S. C. Prasad, Med. Phys. 24, 725 (1997).
[CrossRef] [PubMed]

Opt. Lett. (1)

Phys. Plasmas (1)

C. Gahn, G. D. Tsakiris, G. Pretzler, K. J. Witte, P. Thirolf, D. Habs, C. Delfin, and C.-G. Wahlström, Phys. Plasmas 9, 987 (2002).
[CrossRef]

Phys. Rev. Lett. (1)

A. Maksimchuk, S. Gu, K. Flippo, D. Umstadter, and V. Yu. Bychenkov, Phys. Rev. Lett. 84, 4108 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

Proc. SPIE (2)

C.-S. Koay, S. George, K. Takenoshita, R. Bernath, E. Fujiwara, M. Richardson, and Vi. Bakshi, Proc. SPIE 5751, 279 (2005).
[CrossRef]

T. Tomie, T. Aota, Y. Ueno, G. Niimi, H. Yashiro, J. Q. Lin, I. Matsushima, K. Komiyama, D.-H. Lee, K. Nishigori, and H. Yokota, in Proc. SPIE 5037, 147 (2003).
[CrossRef]

Rev. Mod. Phys. (1)

A. Rousse, C. Rischel, and J.-C. Gauthier, Rev. Mod. Phys. 73, 17 (2001).
[CrossRef]

Other (2)

V. P. Gapontsev, D. V. Gapontsev, N. S. Platonov, O. Shkurikhin, V. Fomin, A. Mashkin, M. Abramov, and S. Ferin, in Proceedings of the European Conference on Lasers and Electro-Optics (2005), paper CJ1-1.

D. Attwood, Soft X-Rays and Extreme Ultraviolet Radiation: Principles and Applications (Cambridge U. Press, 2000).

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (3)

Fig. 1
Fig. 1

Experimental setup for the EUV generation described in the text.

Fig. 2
Fig. 2

EUV spectrometer setup. The plasma is imaged onto an MCP for the spectral range 6 30 nm . The Zr filter was replaced with a Al filter for wavelength calibration with the Al 17 nm absorption line as a reference point.

Fig. 3
Fig. 3

Time-integrated EUV spectrum of bulk Sn irradiated with 1.2 × 10 10 W cm 2 using a Zr filter (solid curve) and Al filter (dashed curve), alternately.

Metrics