Abstract

A new approach to measuring aberrations of an optical system with coherent illumination is introduced. The optical system is evaluated by use of a so-called weak phase object and by digital image recording and processing. Based on the contrast transfer function theory for coherent systems, the main aberrations of the optical system can be determined. This is a convenient approach to evaluating and measuring complex optical systems with numerous optical elements after assembly and can serve as a simple performance test of an optical instrument in the field.

© 2003 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. E. Menzel, Optik (Stuttgart) 15, 460 (1958).
  2. K.-J. Hanszen, Adv. Opt. Electron Microsc. 4, 1 (1971).
  3. M. Born and E. Wolf, Principles of Optics (Pergamon, London, 1959).
  4. L. Reimer, Transmission Electron Microscopy, Vol. 36 of Springer Series in Optical Sciences, 4th ed. (Springer-Verlag, Berlin, 1997).
    [CrossRef]
  5. F. Thon, Z. Naturforsch. Teil A 20, 154 (1965).
  6. F. Zemlin, K. Weiss, P. Schiske, W. Kunath, and K.-H. Herrmann, Ultramicroscopy 3, 49 (1978).
    [CrossRef]
  7. C. E. Thomas, Jr., T. M. Bahm, L. R. Baylor, P. R. Bingham, S. W. Burns, M. Chidley, L. Dai, R. J. Delahanty, C. J. Doti, A. El-Khashab, R. L. Fisher, J. M. Gilbert, J. S. Goddard, Jr., G. R. Hanson, J. D. Hickson, M. A. Hunt, K. W. Hylton, G. C. John, M. L. Jones, K. R. Macdonald, M. W. Mayo, I. McMackin, D. R. Patek, J. H. Price, D. A. Rasmussen, L. J. Schaefer, T. R. Scheidt, M. A. Schulze, P. D. Schumaker, B. Shen, R. G. Smith, A. N. Su, K. W. Tobin, Jr., W. R. Usry, E. Voelkl, K. S. Weber, P. G. Jones, and R. W. Owen, Proc. SPIE 4692, 180 (2002).
    [CrossRef]

2002 (1)

C. E. Thomas, Jr., T. M. Bahm, L. R. Baylor, P. R. Bingham, S. W. Burns, M. Chidley, L. Dai, R. J. Delahanty, C. J. Doti, A. El-Khashab, R. L. Fisher, J. M. Gilbert, J. S. Goddard, Jr., G. R. Hanson, J. D. Hickson, M. A. Hunt, K. W. Hylton, G. C. John, M. L. Jones, K. R. Macdonald, M. W. Mayo, I. McMackin, D. R. Patek, J. H. Price, D. A. Rasmussen, L. J. Schaefer, T. R. Scheidt, M. A. Schulze, P. D. Schumaker, B. Shen, R. G. Smith, A. N. Su, K. W. Tobin, Jr., W. R. Usry, E. Voelkl, K. S. Weber, P. G. Jones, and R. W. Owen, Proc. SPIE 4692, 180 (2002).
[CrossRef]

1978 (1)

F. Zemlin, K. Weiss, P. Schiske, W. Kunath, and K.-H. Herrmann, Ultramicroscopy 3, 49 (1978).
[CrossRef]

1971 (1)

K.-J. Hanszen, Adv. Opt. Electron Microsc. 4, 1 (1971).

1965 (1)

F. Thon, Z. Naturforsch. Teil A 20, 154 (1965).

1958 (1)

E. Menzel, Optik (Stuttgart) 15, 460 (1958).

Bahm, T. M.

C. E. Thomas, Jr., T. M. Bahm, L. R. Baylor, P. R. Bingham, S. W. Burns, M. Chidley, L. Dai, R. J. Delahanty, C. J. Doti, A. El-Khashab, R. L. Fisher, J. M. Gilbert, J. S. Goddard, Jr., G. R. Hanson, J. D. Hickson, M. A. Hunt, K. W. Hylton, G. C. John, M. L. Jones, K. R. Macdonald, M. W. Mayo, I. McMackin, D. R. Patek, J. H. Price, D. A. Rasmussen, L. J. Schaefer, T. R. Scheidt, M. A. Schulze, P. D. Schumaker, B. Shen, R. G. Smith, A. N. Su, K. W. Tobin, Jr., W. R. Usry, E. Voelkl, K. S. Weber, P. G. Jones, and R. W. Owen, Proc. SPIE 4692, 180 (2002).
[CrossRef]

Baylor, L. R.

C. E. Thomas, Jr., T. M. Bahm, L. R. Baylor, P. R. Bingham, S. W. Burns, M. Chidley, L. Dai, R. J. Delahanty, C. J. Doti, A. El-Khashab, R. L. Fisher, J. M. Gilbert, J. S. Goddard, Jr., G. R. Hanson, J. D. Hickson, M. A. Hunt, K. W. Hylton, G. C. John, M. L. Jones, K. R. Macdonald, M. W. Mayo, I. McMackin, D. R. Patek, J. H. Price, D. A. Rasmussen, L. J. Schaefer, T. R. Scheidt, M. A. Schulze, P. D. Schumaker, B. Shen, R. G. Smith, A. N. Su, K. W. Tobin, Jr., W. R. Usry, E. Voelkl, K. S. Weber, P. G. Jones, and R. W. Owen, Proc. SPIE 4692, 180 (2002).
[CrossRef]

Bingham, P. R.

C. E. Thomas, Jr., T. M. Bahm, L. R. Baylor, P. R. Bingham, S. W. Burns, M. Chidley, L. Dai, R. J. Delahanty, C. J. Doti, A. El-Khashab, R. L. Fisher, J. M. Gilbert, J. S. Goddard, Jr., G. R. Hanson, J. D. Hickson, M. A. Hunt, K. W. Hylton, G. C. John, M. L. Jones, K. R. Macdonald, M. W. Mayo, I. McMackin, D. R. Patek, J. H. Price, D. A. Rasmussen, L. J. Schaefer, T. R. Scheidt, M. A. Schulze, P. D. Schumaker, B. Shen, R. G. Smith, A. N. Su, K. W. Tobin, Jr., W. R. Usry, E. Voelkl, K. S. Weber, P. G. Jones, and R. W. Owen, Proc. SPIE 4692, 180 (2002).
[CrossRef]

Born, M.

M. Born and E. Wolf, Principles of Optics (Pergamon, London, 1959).

Burns, S. W.

C. E. Thomas, Jr., T. M. Bahm, L. R. Baylor, P. R. Bingham, S. W. Burns, M. Chidley, L. Dai, R. J. Delahanty, C. J. Doti, A. El-Khashab, R. L. Fisher, J. M. Gilbert, J. S. Goddard, Jr., G. R. Hanson, J. D. Hickson, M. A. Hunt, K. W. Hylton, G. C. John, M. L. Jones, K. R. Macdonald, M. W. Mayo, I. McMackin, D. R. Patek, J. H. Price, D. A. Rasmussen, L. J. Schaefer, T. R. Scheidt, M. A. Schulze, P. D. Schumaker, B. Shen, R. G. Smith, A. N. Su, K. W. Tobin, Jr., W. R. Usry, E. Voelkl, K. S. Weber, P. G. Jones, and R. W. Owen, Proc. SPIE 4692, 180 (2002).
[CrossRef]

Chidley, M.

C. E. Thomas, Jr., T. M. Bahm, L. R. Baylor, P. R. Bingham, S. W. Burns, M. Chidley, L. Dai, R. J. Delahanty, C. J. Doti, A. El-Khashab, R. L. Fisher, J. M. Gilbert, J. S. Goddard, Jr., G. R. Hanson, J. D. Hickson, M. A. Hunt, K. W. Hylton, G. C. John, M. L. Jones, K. R. Macdonald, M. W. Mayo, I. McMackin, D. R. Patek, J. H. Price, D. A. Rasmussen, L. J. Schaefer, T. R. Scheidt, M. A. Schulze, P. D. Schumaker, B. Shen, R. G. Smith, A. N. Su, K. W. Tobin, Jr., W. R. Usry, E. Voelkl, K. S. Weber, P. G. Jones, and R. W. Owen, Proc. SPIE 4692, 180 (2002).
[CrossRef]

Dai, L.

C. E. Thomas, Jr., T. M. Bahm, L. R. Baylor, P. R. Bingham, S. W. Burns, M. Chidley, L. Dai, R. J. Delahanty, C. J. Doti, A. El-Khashab, R. L. Fisher, J. M. Gilbert, J. S. Goddard, Jr., G. R. Hanson, J. D. Hickson, M. A. Hunt, K. W. Hylton, G. C. John, M. L. Jones, K. R. Macdonald, M. W. Mayo, I. McMackin, D. R. Patek, J. H. Price, D. A. Rasmussen, L. J. Schaefer, T. R. Scheidt, M. A. Schulze, P. D. Schumaker, B. Shen, R. G. Smith, A. N. Su, K. W. Tobin, Jr., W. R. Usry, E. Voelkl, K. S. Weber, P. G. Jones, and R. W. Owen, Proc. SPIE 4692, 180 (2002).
[CrossRef]

Delahanty, R. J.

C. E. Thomas, Jr., T. M. Bahm, L. R. Baylor, P. R. Bingham, S. W. Burns, M. Chidley, L. Dai, R. J. Delahanty, C. J. Doti, A. El-Khashab, R. L. Fisher, J. M. Gilbert, J. S. Goddard, Jr., G. R. Hanson, J. D. Hickson, M. A. Hunt, K. W. Hylton, G. C. John, M. L. Jones, K. R. Macdonald, M. W. Mayo, I. McMackin, D. R. Patek, J. H. Price, D. A. Rasmussen, L. J. Schaefer, T. R. Scheidt, M. A. Schulze, P. D. Schumaker, B. Shen, R. G. Smith, A. N. Su, K. W. Tobin, Jr., W. R. Usry, E. Voelkl, K. S. Weber, P. G. Jones, and R. W. Owen, Proc. SPIE 4692, 180 (2002).
[CrossRef]

Doti, C. J.

C. E. Thomas, Jr., T. M. Bahm, L. R. Baylor, P. R. Bingham, S. W. Burns, M. Chidley, L. Dai, R. J. Delahanty, C. J. Doti, A. El-Khashab, R. L. Fisher, J. M. Gilbert, J. S. Goddard, Jr., G. R. Hanson, J. D. Hickson, M. A. Hunt, K. W. Hylton, G. C. John, M. L. Jones, K. R. Macdonald, M. W. Mayo, I. McMackin, D. R. Patek, J. H. Price, D. A. Rasmussen, L. J. Schaefer, T. R. Scheidt, M. A. Schulze, P. D. Schumaker, B. Shen, R. G. Smith, A. N. Su, K. W. Tobin, Jr., W. R. Usry, E. Voelkl, K. S. Weber, P. G. Jones, and R. W. Owen, Proc. SPIE 4692, 180 (2002).
[CrossRef]

El-Khashab, A.

C. E. Thomas, Jr., T. M. Bahm, L. R. Baylor, P. R. Bingham, S. W. Burns, M. Chidley, L. Dai, R. J. Delahanty, C. J. Doti, A. El-Khashab, R. L. Fisher, J. M. Gilbert, J. S. Goddard, Jr., G. R. Hanson, J. D. Hickson, M. A. Hunt, K. W. Hylton, G. C. John, M. L. Jones, K. R. Macdonald, M. W. Mayo, I. McMackin, D. R. Patek, J. H. Price, D. A. Rasmussen, L. J. Schaefer, T. R. Scheidt, M. A. Schulze, P. D. Schumaker, B. Shen, R. G. Smith, A. N. Su, K. W. Tobin, Jr., W. R. Usry, E. Voelkl, K. S. Weber, P. G. Jones, and R. W. Owen, Proc. SPIE 4692, 180 (2002).
[CrossRef]

Fisher, R. L.

C. E. Thomas, Jr., T. M. Bahm, L. R. Baylor, P. R. Bingham, S. W. Burns, M. Chidley, L. Dai, R. J. Delahanty, C. J. Doti, A. El-Khashab, R. L. Fisher, J. M. Gilbert, J. S. Goddard, Jr., G. R. Hanson, J. D. Hickson, M. A. Hunt, K. W. Hylton, G. C. John, M. L. Jones, K. R. Macdonald, M. W. Mayo, I. McMackin, D. R. Patek, J. H. Price, D. A. Rasmussen, L. J. Schaefer, T. R. Scheidt, M. A. Schulze, P. D. Schumaker, B. Shen, R. G. Smith, A. N. Su, K. W. Tobin, Jr., W. R. Usry, E. Voelkl, K. S. Weber, P. G. Jones, and R. W. Owen, Proc. SPIE 4692, 180 (2002).
[CrossRef]

Gilbert, J. M.

C. E. Thomas, Jr., T. M. Bahm, L. R. Baylor, P. R. Bingham, S. W. Burns, M. Chidley, L. Dai, R. J. Delahanty, C. J. Doti, A. El-Khashab, R. L. Fisher, J. M. Gilbert, J. S. Goddard, Jr., G. R. Hanson, J. D. Hickson, M. A. Hunt, K. W. Hylton, G. C. John, M. L. Jones, K. R. Macdonald, M. W. Mayo, I. McMackin, D. R. Patek, J. H. Price, D. A. Rasmussen, L. J. Schaefer, T. R. Scheidt, M. A. Schulze, P. D. Schumaker, B. Shen, R. G. Smith, A. N. Su, K. W. Tobin, Jr., W. R. Usry, E. Voelkl, K. S. Weber, P. G. Jones, and R. W. Owen, Proc. SPIE 4692, 180 (2002).
[CrossRef]

Goddard, Jr., J. S.

C. E. Thomas, Jr., T. M. Bahm, L. R. Baylor, P. R. Bingham, S. W. Burns, M. Chidley, L. Dai, R. J. Delahanty, C. J. Doti, A. El-Khashab, R. L. Fisher, J. M. Gilbert, J. S. Goddard, Jr., G. R. Hanson, J. D. Hickson, M. A. Hunt, K. W. Hylton, G. C. John, M. L. Jones, K. R. Macdonald, M. W. Mayo, I. McMackin, D. R. Patek, J. H. Price, D. A. Rasmussen, L. J. Schaefer, T. R. Scheidt, M. A. Schulze, P. D. Schumaker, B. Shen, R. G. Smith, A. N. Su, K. W. Tobin, Jr., W. R. Usry, E. Voelkl, K. S. Weber, P. G. Jones, and R. W. Owen, Proc. SPIE 4692, 180 (2002).
[CrossRef]

Hanson, G. R.

C. E. Thomas, Jr., T. M. Bahm, L. R. Baylor, P. R. Bingham, S. W. Burns, M. Chidley, L. Dai, R. J. Delahanty, C. J. Doti, A. El-Khashab, R. L. Fisher, J. M. Gilbert, J. S. Goddard, Jr., G. R. Hanson, J. D. Hickson, M. A. Hunt, K. W. Hylton, G. C. John, M. L. Jones, K. R. Macdonald, M. W. Mayo, I. McMackin, D. R. Patek, J. H. Price, D. A. Rasmussen, L. J. Schaefer, T. R. Scheidt, M. A. Schulze, P. D. Schumaker, B. Shen, R. G. Smith, A. N. Su, K. W. Tobin, Jr., W. R. Usry, E. Voelkl, K. S. Weber, P. G. Jones, and R. W. Owen, Proc. SPIE 4692, 180 (2002).
[CrossRef]

Hanszen, K.-J.

K.-J. Hanszen, Adv. Opt. Electron Microsc. 4, 1 (1971).

Herrmann, K.-H.

F. Zemlin, K. Weiss, P. Schiske, W. Kunath, and K.-H. Herrmann, Ultramicroscopy 3, 49 (1978).
[CrossRef]

Hickson, J. D.

C. E. Thomas, Jr., T. M. Bahm, L. R. Baylor, P. R. Bingham, S. W. Burns, M. Chidley, L. Dai, R. J. Delahanty, C. J. Doti, A. El-Khashab, R. L. Fisher, J. M. Gilbert, J. S. Goddard, Jr., G. R. Hanson, J. D. Hickson, M. A. Hunt, K. W. Hylton, G. C. John, M. L. Jones, K. R. Macdonald, M. W. Mayo, I. McMackin, D. R. Patek, J. H. Price, D. A. Rasmussen, L. J. Schaefer, T. R. Scheidt, M. A. Schulze, P. D. Schumaker, B. Shen, R. G. Smith, A. N. Su, K. W. Tobin, Jr., W. R. Usry, E. Voelkl, K. S. Weber, P. G. Jones, and R. W. Owen, Proc. SPIE 4692, 180 (2002).
[CrossRef]

Hunt, M. A.

C. E. Thomas, Jr., T. M. Bahm, L. R. Baylor, P. R. Bingham, S. W. Burns, M. Chidley, L. Dai, R. J. Delahanty, C. J. Doti, A. El-Khashab, R. L. Fisher, J. M. Gilbert, J. S. Goddard, Jr., G. R. Hanson, J. D. Hickson, M. A. Hunt, K. W. Hylton, G. C. John, M. L. Jones, K. R. Macdonald, M. W. Mayo, I. McMackin, D. R. Patek, J. H. Price, D. A. Rasmussen, L. J. Schaefer, T. R. Scheidt, M. A. Schulze, P. D. Schumaker, B. Shen, R. G. Smith, A. N. Su, K. W. Tobin, Jr., W. R. Usry, E. Voelkl, K. S. Weber, P. G. Jones, and R. W. Owen, Proc. SPIE 4692, 180 (2002).
[CrossRef]

Hylton, K. W.

C. E. Thomas, Jr., T. M. Bahm, L. R. Baylor, P. R. Bingham, S. W. Burns, M. Chidley, L. Dai, R. J. Delahanty, C. J. Doti, A. El-Khashab, R. L. Fisher, J. M. Gilbert, J. S. Goddard, Jr., G. R. Hanson, J. D. Hickson, M. A. Hunt, K. W. Hylton, G. C. John, M. L. Jones, K. R. Macdonald, M. W. Mayo, I. McMackin, D. R. Patek, J. H. Price, D. A. Rasmussen, L. J. Schaefer, T. R. Scheidt, M. A. Schulze, P. D. Schumaker, B. Shen, R. G. Smith, A. N. Su, K. W. Tobin, Jr., W. R. Usry, E. Voelkl, K. S. Weber, P. G. Jones, and R. W. Owen, Proc. SPIE 4692, 180 (2002).
[CrossRef]

John, G. C.

C. E. Thomas, Jr., T. M. Bahm, L. R. Baylor, P. R. Bingham, S. W. Burns, M. Chidley, L. Dai, R. J. Delahanty, C. J. Doti, A. El-Khashab, R. L. Fisher, J. M. Gilbert, J. S. Goddard, Jr., G. R. Hanson, J. D. Hickson, M. A. Hunt, K. W. Hylton, G. C. John, M. L. Jones, K. R. Macdonald, M. W. Mayo, I. McMackin, D. R. Patek, J. H. Price, D. A. Rasmussen, L. J. Schaefer, T. R. Scheidt, M. A. Schulze, P. D. Schumaker, B. Shen, R. G. Smith, A. N. Su, K. W. Tobin, Jr., W. R. Usry, E. Voelkl, K. S. Weber, P. G. Jones, and R. W. Owen, Proc. SPIE 4692, 180 (2002).
[CrossRef]

Jones, M. L.

C. E. Thomas, Jr., T. M. Bahm, L. R. Baylor, P. R. Bingham, S. W. Burns, M. Chidley, L. Dai, R. J. Delahanty, C. J. Doti, A. El-Khashab, R. L. Fisher, J. M. Gilbert, J. S. Goddard, Jr., G. R. Hanson, J. D. Hickson, M. A. Hunt, K. W. Hylton, G. C. John, M. L. Jones, K. R. Macdonald, M. W. Mayo, I. McMackin, D. R. Patek, J. H. Price, D. A. Rasmussen, L. J. Schaefer, T. R. Scheidt, M. A. Schulze, P. D. Schumaker, B. Shen, R. G. Smith, A. N. Su, K. W. Tobin, Jr., W. R. Usry, E. Voelkl, K. S. Weber, P. G. Jones, and R. W. Owen, Proc. SPIE 4692, 180 (2002).
[CrossRef]

Jones, P. G.

C. E. Thomas, Jr., T. M. Bahm, L. R. Baylor, P. R. Bingham, S. W. Burns, M. Chidley, L. Dai, R. J. Delahanty, C. J. Doti, A. El-Khashab, R. L. Fisher, J. M. Gilbert, J. S. Goddard, Jr., G. R. Hanson, J. D. Hickson, M. A. Hunt, K. W. Hylton, G. C. John, M. L. Jones, K. R. Macdonald, M. W. Mayo, I. McMackin, D. R. Patek, J. H. Price, D. A. Rasmussen, L. J. Schaefer, T. R. Scheidt, M. A. Schulze, P. D. Schumaker, B. Shen, R. G. Smith, A. N. Su, K. W. Tobin, Jr., W. R. Usry, E. Voelkl, K. S. Weber, P. G. Jones, and R. W. Owen, Proc. SPIE 4692, 180 (2002).
[CrossRef]

Kunath, W.

F. Zemlin, K. Weiss, P. Schiske, W. Kunath, and K.-H. Herrmann, Ultramicroscopy 3, 49 (1978).
[CrossRef]

Macdonald, K. R.

C. E. Thomas, Jr., T. M. Bahm, L. R. Baylor, P. R. Bingham, S. W. Burns, M. Chidley, L. Dai, R. J. Delahanty, C. J. Doti, A. El-Khashab, R. L. Fisher, J. M. Gilbert, J. S. Goddard, Jr., G. R. Hanson, J. D. Hickson, M. A. Hunt, K. W. Hylton, G. C. John, M. L. Jones, K. R. Macdonald, M. W. Mayo, I. McMackin, D. R. Patek, J. H. Price, D. A. Rasmussen, L. J. Schaefer, T. R. Scheidt, M. A. Schulze, P. D. Schumaker, B. Shen, R. G. Smith, A. N. Su, K. W. Tobin, Jr., W. R. Usry, E. Voelkl, K. S. Weber, P. G. Jones, and R. W. Owen, Proc. SPIE 4692, 180 (2002).
[CrossRef]

Mayo, M. W.

C. E. Thomas, Jr., T. M. Bahm, L. R. Baylor, P. R. Bingham, S. W. Burns, M. Chidley, L. Dai, R. J. Delahanty, C. J. Doti, A. El-Khashab, R. L. Fisher, J. M. Gilbert, J. S. Goddard, Jr., G. R. Hanson, J. D. Hickson, M. A. Hunt, K. W. Hylton, G. C. John, M. L. Jones, K. R. Macdonald, M. W. Mayo, I. McMackin, D. R. Patek, J. H. Price, D. A. Rasmussen, L. J. Schaefer, T. R. Scheidt, M. A. Schulze, P. D. Schumaker, B. Shen, R. G. Smith, A. N. Su, K. W. Tobin, Jr., W. R. Usry, E. Voelkl, K. S. Weber, P. G. Jones, and R. W. Owen, Proc. SPIE 4692, 180 (2002).
[CrossRef]

McMackin, I.

C. E. Thomas, Jr., T. M. Bahm, L. R. Baylor, P. R. Bingham, S. W. Burns, M. Chidley, L. Dai, R. J. Delahanty, C. J. Doti, A. El-Khashab, R. L. Fisher, J. M. Gilbert, J. S. Goddard, Jr., G. R. Hanson, J. D. Hickson, M. A. Hunt, K. W. Hylton, G. C. John, M. L. Jones, K. R. Macdonald, M. W. Mayo, I. McMackin, D. R. Patek, J. H. Price, D. A. Rasmussen, L. J. Schaefer, T. R. Scheidt, M. A. Schulze, P. D. Schumaker, B. Shen, R. G. Smith, A. N. Su, K. W. Tobin, Jr., W. R. Usry, E. Voelkl, K. S. Weber, P. G. Jones, and R. W. Owen, Proc. SPIE 4692, 180 (2002).
[CrossRef]

Menzel, E.

E. Menzel, Optik (Stuttgart) 15, 460 (1958).

Owen, R. W.

C. E. Thomas, Jr., T. M. Bahm, L. R. Baylor, P. R. Bingham, S. W. Burns, M. Chidley, L. Dai, R. J. Delahanty, C. J. Doti, A. El-Khashab, R. L. Fisher, J. M. Gilbert, J. S. Goddard, Jr., G. R. Hanson, J. D. Hickson, M. A. Hunt, K. W. Hylton, G. C. John, M. L. Jones, K. R. Macdonald, M. W. Mayo, I. McMackin, D. R. Patek, J. H. Price, D. A. Rasmussen, L. J. Schaefer, T. R. Scheidt, M. A. Schulze, P. D. Schumaker, B. Shen, R. G. Smith, A. N. Su, K. W. Tobin, Jr., W. R. Usry, E. Voelkl, K. S. Weber, P. G. Jones, and R. W. Owen, Proc. SPIE 4692, 180 (2002).
[CrossRef]

Patek, D. R.

C. E. Thomas, Jr., T. M. Bahm, L. R. Baylor, P. R. Bingham, S. W. Burns, M. Chidley, L. Dai, R. J. Delahanty, C. J. Doti, A. El-Khashab, R. L. Fisher, J. M. Gilbert, J. S. Goddard, Jr., G. R. Hanson, J. D. Hickson, M. A. Hunt, K. W. Hylton, G. C. John, M. L. Jones, K. R. Macdonald, M. W. Mayo, I. McMackin, D. R. Patek, J. H. Price, D. A. Rasmussen, L. J. Schaefer, T. R. Scheidt, M. A. Schulze, P. D. Schumaker, B. Shen, R. G. Smith, A. N. Su, K. W. Tobin, Jr., W. R. Usry, E. Voelkl, K. S. Weber, P. G. Jones, and R. W. Owen, Proc. SPIE 4692, 180 (2002).
[CrossRef]

Price, J. H.

C. E. Thomas, Jr., T. M. Bahm, L. R. Baylor, P. R. Bingham, S. W. Burns, M. Chidley, L. Dai, R. J. Delahanty, C. J. Doti, A. El-Khashab, R. L. Fisher, J. M. Gilbert, J. S. Goddard, Jr., G. R. Hanson, J. D. Hickson, M. A. Hunt, K. W. Hylton, G. C. John, M. L. Jones, K. R. Macdonald, M. W. Mayo, I. McMackin, D. R. Patek, J. H. Price, D. A. Rasmussen, L. J. Schaefer, T. R. Scheidt, M. A. Schulze, P. D. Schumaker, B. Shen, R. G. Smith, A. N. Su, K. W. Tobin, Jr., W. R. Usry, E. Voelkl, K. S. Weber, P. G. Jones, and R. W. Owen, Proc. SPIE 4692, 180 (2002).
[CrossRef]

Rasmussen, D. A.

C. E. Thomas, Jr., T. M. Bahm, L. R. Baylor, P. R. Bingham, S. W. Burns, M. Chidley, L. Dai, R. J. Delahanty, C. J. Doti, A. El-Khashab, R. L. Fisher, J. M. Gilbert, J. S. Goddard, Jr., G. R. Hanson, J. D. Hickson, M. A. Hunt, K. W. Hylton, G. C. John, M. L. Jones, K. R. Macdonald, M. W. Mayo, I. McMackin, D. R. Patek, J. H. Price, D. A. Rasmussen, L. J. Schaefer, T. R. Scheidt, M. A. Schulze, P. D. Schumaker, B. Shen, R. G. Smith, A. N. Su, K. W. Tobin, Jr., W. R. Usry, E. Voelkl, K. S. Weber, P. G. Jones, and R. W. Owen, Proc. SPIE 4692, 180 (2002).
[CrossRef]

Reimer, L.

L. Reimer, Transmission Electron Microscopy, Vol. 36 of Springer Series in Optical Sciences, 4th ed. (Springer-Verlag, Berlin, 1997).
[CrossRef]

Schaefer, L. J.

C. E. Thomas, Jr., T. M. Bahm, L. R. Baylor, P. R. Bingham, S. W. Burns, M. Chidley, L. Dai, R. J. Delahanty, C. J. Doti, A. El-Khashab, R. L. Fisher, J. M. Gilbert, J. S. Goddard, Jr., G. R. Hanson, J. D. Hickson, M. A. Hunt, K. W. Hylton, G. C. John, M. L. Jones, K. R. Macdonald, M. W. Mayo, I. McMackin, D. R. Patek, J. H. Price, D. A. Rasmussen, L. J. Schaefer, T. R. Scheidt, M. A. Schulze, P. D. Schumaker, B. Shen, R. G. Smith, A. N. Su, K. W. Tobin, Jr., W. R. Usry, E. Voelkl, K. S. Weber, P. G. Jones, and R. W. Owen, Proc. SPIE 4692, 180 (2002).
[CrossRef]

Scheidt, T. R.

C. E. Thomas, Jr., T. M. Bahm, L. R. Baylor, P. R. Bingham, S. W. Burns, M. Chidley, L. Dai, R. J. Delahanty, C. J. Doti, A. El-Khashab, R. L. Fisher, J. M. Gilbert, J. S. Goddard, Jr., G. R. Hanson, J. D. Hickson, M. A. Hunt, K. W. Hylton, G. C. John, M. L. Jones, K. R. Macdonald, M. W. Mayo, I. McMackin, D. R. Patek, J. H. Price, D. A. Rasmussen, L. J. Schaefer, T. R. Scheidt, M. A. Schulze, P. D. Schumaker, B. Shen, R. G. Smith, A. N. Su, K. W. Tobin, Jr., W. R. Usry, E. Voelkl, K. S. Weber, P. G. Jones, and R. W. Owen, Proc. SPIE 4692, 180 (2002).
[CrossRef]

Schiske, P.

F. Zemlin, K. Weiss, P. Schiske, W. Kunath, and K.-H. Herrmann, Ultramicroscopy 3, 49 (1978).
[CrossRef]

Schulze, M. A.

C. E. Thomas, Jr., T. M. Bahm, L. R. Baylor, P. R. Bingham, S. W. Burns, M. Chidley, L. Dai, R. J. Delahanty, C. J. Doti, A. El-Khashab, R. L. Fisher, J. M. Gilbert, J. S. Goddard, Jr., G. R. Hanson, J. D. Hickson, M. A. Hunt, K. W. Hylton, G. C. John, M. L. Jones, K. R. Macdonald, M. W. Mayo, I. McMackin, D. R. Patek, J. H. Price, D. A. Rasmussen, L. J. Schaefer, T. R. Scheidt, M. A. Schulze, P. D. Schumaker, B. Shen, R. G. Smith, A. N. Su, K. W. Tobin, Jr., W. R. Usry, E. Voelkl, K. S. Weber, P. G. Jones, and R. W. Owen, Proc. SPIE 4692, 180 (2002).
[CrossRef]

Schumaker, P. D.

C. E. Thomas, Jr., T. M. Bahm, L. R. Baylor, P. R. Bingham, S. W. Burns, M. Chidley, L. Dai, R. J. Delahanty, C. J. Doti, A. El-Khashab, R. L. Fisher, J. M. Gilbert, J. S. Goddard, Jr., G. R. Hanson, J. D. Hickson, M. A. Hunt, K. W. Hylton, G. C. John, M. L. Jones, K. R. Macdonald, M. W. Mayo, I. McMackin, D. R. Patek, J. H. Price, D. A. Rasmussen, L. J. Schaefer, T. R. Scheidt, M. A. Schulze, P. D. Schumaker, B. Shen, R. G. Smith, A. N. Su, K. W. Tobin, Jr., W. R. Usry, E. Voelkl, K. S. Weber, P. G. Jones, and R. W. Owen, Proc. SPIE 4692, 180 (2002).
[CrossRef]

Shen, B.

C. E. Thomas, Jr., T. M. Bahm, L. R. Baylor, P. R. Bingham, S. W. Burns, M. Chidley, L. Dai, R. J. Delahanty, C. J. Doti, A. El-Khashab, R. L. Fisher, J. M. Gilbert, J. S. Goddard, Jr., G. R. Hanson, J. D. Hickson, M. A. Hunt, K. W. Hylton, G. C. John, M. L. Jones, K. R. Macdonald, M. W. Mayo, I. McMackin, D. R. Patek, J. H. Price, D. A. Rasmussen, L. J. Schaefer, T. R. Scheidt, M. A. Schulze, P. D. Schumaker, B. Shen, R. G. Smith, A. N. Su, K. W. Tobin, Jr., W. R. Usry, E. Voelkl, K. S. Weber, P. G. Jones, and R. W. Owen, Proc. SPIE 4692, 180 (2002).
[CrossRef]

Smith, R. G.

C. E. Thomas, Jr., T. M. Bahm, L. R. Baylor, P. R. Bingham, S. W. Burns, M. Chidley, L. Dai, R. J. Delahanty, C. J. Doti, A. El-Khashab, R. L. Fisher, J. M. Gilbert, J. S. Goddard, Jr., G. R. Hanson, J. D. Hickson, M. A. Hunt, K. W. Hylton, G. C. John, M. L. Jones, K. R. Macdonald, M. W. Mayo, I. McMackin, D. R. Patek, J. H. Price, D. A. Rasmussen, L. J. Schaefer, T. R. Scheidt, M. A. Schulze, P. D. Schumaker, B. Shen, R. G. Smith, A. N. Su, K. W. Tobin, Jr., W. R. Usry, E. Voelkl, K. S. Weber, P. G. Jones, and R. W. Owen, Proc. SPIE 4692, 180 (2002).
[CrossRef]

Su, A. N.

C. E. Thomas, Jr., T. M. Bahm, L. R. Baylor, P. R. Bingham, S. W. Burns, M. Chidley, L. Dai, R. J. Delahanty, C. J. Doti, A. El-Khashab, R. L. Fisher, J. M. Gilbert, J. S. Goddard, Jr., G. R. Hanson, J. D. Hickson, M. A. Hunt, K. W. Hylton, G. C. John, M. L. Jones, K. R. Macdonald, M. W. Mayo, I. McMackin, D. R. Patek, J. H. Price, D. A. Rasmussen, L. J. Schaefer, T. R. Scheidt, M. A. Schulze, P. D. Schumaker, B. Shen, R. G. Smith, A. N. Su, K. W. Tobin, Jr., W. R. Usry, E. Voelkl, K. S. Weber, P. G. Jones, and R. W. Owen, Proc. SPIE 4692, 180 (2002).
[CrossRef]

Thomas, Jr., C. E.

C. E. Thomas, Jr., T. M. Bahm, L. R. Baylor, P. R. Bingham, S. W. Burns, M. Chidley, L. Dai, R. J. Delahanty, C. J. Doti, A. El-Khashab, R. L. Fisher, J. M. Gilbert, J. S. Goddard, Jr., G. R. Hanson, J. D. Hickson, M. A. Hunt, K. W. Hylton, G. C. John, M. L. Jones, K. R. Macdonald, M. W. Mayo, I. McMackin, D. R. Patek, J. H. Price, D. A. Rasmussen, L. J. Schaefer, T. R. Scheidt, M. A. Schulze, P. D. Schumaker, B. Shen, R. G. Smith, A. N. Su, K. W. Tobin, Jr., W. R. Usry, E. Voelkl, K. S. Weber, P. G. Jones, and R. W. Owen, Proc. SPIE 4692, 180 (2002).
[CrossRef]

Thon, F.

F. Thon, Z. Naturforsch. Teil A 20, 154 (1965).

Tobin, Jr., K. W.

C. E. Thomas, Jr., T. M. Bahm, L. R. Baylor, P. R. Bingham, S. W. Burns, M. Chidley, L. Dai, R. J. Delahanty, C. J. Doti, A. El-Khashab, R. L. Fisher, J. M. Gilbert, J. S. Goddard, Jr., G. R. Hanson, J. D. Hickson, M. A. Hunt, K. W. Hylton, G. C. John, M. L. Jones, K. R. Macdonald, M. W. Mayo, I. McMackin, D. R. Patek, J. H. Price, D. A. Rasmussen, L. J. Schaefer, T. R. Scheidt, M. A. Schulze, P. D. Schumaker, B. Shen, R. G. Smith, A. N. Su, K. W. Tobin, Jr., W. R. Usry, E. Voelkl, K. S. Weber, P. G. Jones, and R. W. Owen, Proc. SPIE 4692, 180 (2002).
[CrossRef]

Usry, W. R.

C. E. Thomas, Jr., T. M. Bahm, L. R. Baylor, P. R. Bingham, S. W. Burns, M. Chidley, L. Dai, R. J. Delahanty, C. J. Doti, A. El-Khashab, R. L. Fisher, J. M. Gilbert, J. S. Goddard, Jr., G. R. Hanson, J. D. Hickson, M. A. Hunt, K. W. Hylton, G. C. John, M. L. Jones, K. R. Macdonald, M. W. Mayo, I. McMackin, D. R. Patek, J. H. Price, D. A. Rasmussen, L. J. Schaefer, T. R. Scheidt, M. A. Schulze, P. D. Schumaker, B. Shen, R. G. Smith, A. N. Su, K. W. Tobin, Jr., W. R. Usry, E. Voelkl, K. S. Weber, P. G. Jones, and R. W. Owen, Proc. SPIE 4692, 180 (2002).
[CrossRef]

Voelkl, E.

C. E. Thomas, Jr., T. M. Bahm, L. R. Baylor, P. R. Bingham, S. W. Burns, M. Chidley, L. Dai, R. J. Delahanty, C. J. Doti, A. El-Khashab, R. L. Fisher, J. M. Gilbert, J. S. Goddard, Jr., G. R. Hanson, J. D. Hickson, M. A. Hunt, K. W. Hylton, G. C. John, M. L. Jones, K. R. Macdonald, M. W. Mayo, I. McMackin, D. R. Patek, J. H. Price, D. A. Rasmussen, L. J. Schaefer, T. R. Scheidt, M. A. Schulze, P. D. Schumaker, B. Shen, R. G. Smith, A. N. Su, K. W. Tobin, Jr., W. R. Usry, E. Voelkl, K. S. Weber, P. G. Jones, and R. W. Owen, Proc. SPIE 4692, 180 (2002).
[CrossRef]

Weber, K. S.

C. E. Thomas, Jr., T. M. Bahm, L. R. Baylor, P. R. Bingham, S. W. Burns, M. Chidley, L. Dai, R. J. Delahanty, C. J. Doti, A. El-Khashab, R. L. Fisher, J. M. Gilbert, J. S. Goddard, Jr., G. R. Hanson, J. D. Hickson, M. A. Hunt, K. W. Hylton, G. C. John, M. L. Jones, K. R. Macdonald, M. W. Mayo, I. McMackin, D. R. Patek, J. H. Price, D. A. Rasmussen, L. J. Schaefer, T. R. Scheidt, M. A. Schulze, P. D. Schumaker, B. Shen, R. G. Smith, A. N. Su, K. W. Tobin, Jr., W. R. Usry, E. Voelkl, K. S. Weber, P. G. Jones, and R. W. Owen, Proc. SPIE 4692, 180 (2002).
[CrossRef]

Weiss, K.

F. Zemlin, K. Weiss, P. Schiske, W. Kunath, and K.-H. Herrmann, Ultramicroscopy 3, 49 (1978).
[CrossRef]

Wolf, E.

M. Born and E. Wolf, Principles of Optics (Pergamon, London, 1959).

Zemlin, F.

F. Zemlin, K. Weiss, P. Schiske, W. Kunath, and K.-H. Herrmann, Ultramicroscopy 3, 49 (1978).
[CrossRef]

Adv. Opt. Electron Microsc. (1)

K.-J. Hanszen, Adv. Opt. Electron Microsc. 4, 1 (1971).

Optik (Stuttgart) (1)

E. Menzel, Optik (Stuttgart) 15, 460 (1958).

Proc. SPIE (1)

C. E. Thomas, Jr., T. M. Bahm, L. R. Baylor, P. R. Bingham, S. W. Burns, M. Chidley, L. Dai, R. J. Delahanty, C. J. Doti, A. El-Khashab, R. L. Fisher, J. M. Gilbert, J. S. Goddard, Jr., G. R. Hanson, J. D. Hickson, M. A. Hunt, K. W. Hylton, G. C. John, M. L. Jones, K. R. Macdonald, M. W. Mayo, I. McMackin, D. R. Patek, J. H. Price, D. A. Rasmussen, L. J. Schaefer, T. R. Scheidt, M. A. Schulze, P. D. Schumaker, B. Shen, R. G. Smith, A. N. Su, K. W. Tobin, Jr., W. R. Usry, E. Voelkl, K. S. Weber, P. G. Jones, and R. W. Owen, Proc. SPIE 4692, 180 (2002).
[CrossRef]

Springer Series in Optical Sciences (1)

L. Reimer, Transmission Electron Microscopy, Vol. 36 of Springer Series in Optical Sciences, 4th ed. (Springer-Verlag, Berlin, 1997).
[CrossRef]

Ultramicroscopy (1)

F. Zemlin, K. Weiss, P. Schiske, W. Kunath, and K.-H. Herrmann, Ultramicroscopy 3, 49 (1978).
[CrossRef]

Z. Naturforsch. Teil A (1)

F. Thon, Z. Naturforsch. Teil A 20, 154 (1965).

Other (1)

M. Born and E. Wolf, Principles of Optics (Pergamon, London, 1959).

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (2)

Fig. 1
Fig. 1

Diffractogram of the image in Fig. 2. The dark rings in the image indicate the spatial frequencies with no information transfer, whenever the symmetric transfer function sin χSq=0. The appearance of the ring structure indicates qualitatively twofold axial astigmatism.

Fig. 2
Fig. 2

Digital image from a semiconductor wafer. This specific area behaves as a weak phase object and as such provides a good test object for determination of aberration. The image was recorded on the nLine Fathom tool at 266 nm with a numerical aperture of 0.5 nA.

Equations (8)

Equations on this page are rendered with MathJax. Learn more.

ψr=arexpiφr,
Ir=IFFTFFTarexpiφrexpiχq2,
ψ˜r1-r+iφr+,
ψr=1+iφ0 cos2πq0r-αφ,
Ir=1+2φ0 sinχSqcos2πq0r+χAq.
Ir=1+2qφq sinχSqcos2πqr+χAq+,
FFTIr2=FFT1+2qφq sinχSq×cos2πqr+χAq2,
FFTIrS2=FFT1+2qφq sinχSq×cos2πqr2

Metrics