Abstract

Vertically coupled microring resonator channel-dropping filters are demonstrated in the GaInAsP–InP material system. These devices were fabricated without regrowth. In this method, low-loss single-mode waveguides are removed from the growth substrate and bonded to a GaAs transfer substrate with benzocyclobutene. This permits fabrication of vertically coupled waveguides on both sides of the epilayer. Optical quality facets are obtained by cleaving through the transfer substrate. Operation of single-mode, single-ring optical channel-dropping filters is demonstrated.

© 2001 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. B. E. Little, S. T. Chu, W. Pan, and Y. Kokubun, IEEE Photon. Technol. Lett. 12, 323 (2000).
    [CrossRef]
  2. B. E. Little, J. S. Foresi, G. Steinmeyer, E. R. Thoen, S. T. Chu, H. A. Hans, E. P. Ippen, L. C. Kimerling, and W. Greene, IEEE Photon. Technol. Lett. 10, 549 (1998).
    [CrossRef]
  3. P. P. Absil, J. V. Hryniewicz, B. E. Little, R. A. Wilson, L. G. Joneckis, and P.-T. Ho, IEEE Photon. Technol. Lett. 12, 398 (2000).
    [CrossRef]
  4. J. V. Hryniewicz, P. P. Absil, B. E. Little, and P. T. Ho, IEEE Photon. Technol. Lett. 12, 320 (2000).
    [CrossRef]
  5. P. P. Absil, J. V. Hryniewicz, B. E. Little, P. S. Cho, R. A. Wilson, L. G. Joneckis, and P.-T. Ho, Opt. Lett. 25, 554 (2000).
    [CrossRef]
  6. B. E. Little, S. T. Chu, W. Pan, D. Ripin, T. Kaneko, Y. Kokubun, and E. Ippen, IEEE Photon. Technol. Lett. 11, 215 (1999).
    [CrossRef]
  7. D. V. Tishinin, P. D. Dapkus, A. E. Bond, I. Kim, C. K. Lin, and J. O’Brien, IEEE Photon. Technol. Lett. 11, 1003 (1999).
    [CrossRef]
  8. P. P. Absil, J. V. Hryniewicz, B. E. Little, F. G. Johnson, K. Ritter, and P.-T. Ho, IEEE Photon. Technol. Lett. 13, 49 (2001).
    [CrossRef]
  9. S. B. Phatak and G. Kelner, J. Electrochem. Soc. 126, 287 (1979).
    [CrossRef]
  10. S. R. Sakamoto, C. Ozturk, Y. T. Byun, J. Ko, and N. Dagli, IEEE Photon. Technol. Lett. 10, 985 (1998).
    [CrossRef]
  11. M. V. Sullivan and G. A. Kolb, J. Electrochem. Soc. 110, 585 (1963).
    [CrossRef]
  12. G. A. Ferrante, J. P. Donnelly, and C. P. Armiento, J. Electrochem. Soc. 130, 1222 (1983).
    [CrossRef]

2001 (1)

P. P. Absil, J. V. Hryniewicz, B. E. Little, F. G. Johnson, K. Ritter, and P.-T. Ho, IEEE Photon. Technol. Lett. 13, 49 (2001).
[CrossRef]

2000 (4)

B. E. Little, S. T. Chu, W. Pan, and Y. Kokubun, IEEE Photon. Technol. Lett. 12, 323 (2000).
[CrossRef]

P. P. Absil, J. V. Hryniewicz, B. E. Little, R. A. Wilson, L. G. Joneckis, and P.-T. Ho, IEEE Photon. Technol. Lett. 12, 398 (2000).
[CrossRef]

J. V. Hryniewicz, P. P. Absil, B. E. Little, and P. T. Ho, IEEE Photon. Technol. Lett. 12, 320 (2000).
[CrossRef]

P. P. Absil, J. V. Hryniewicz, B. E. Little, P. S. Cho, R. A. Wilson, L. G. Joneckis, and P.-T. Ho, Opt. Lett. 25, 554 (2000).
[CrossRef]

1999 (2)

B. E. Little, S. T. Chu, W. Pan, D. Ripin, T. Kaneko, Y. Kokubun, and E. Ippen, IEEE Photon. Technol. Lett. 11, 215 (1999).
[CrossRef]

D. V. Tishinin, P. D. Dapkus, A. E. Bond, I. Kim, C. K. Lin, and J. O’Brien, IEEE Photon. Technol. Lett. 11, 1003 (1999).
[CrossRef]

1998 (2)

B. E. Little, J. S. Foresi, G. Steinmeyer, E. R. Thoen, S. T. Chu, H. A. Hans, E. P. Ippen, L. C. Kimerling, and W. Greene, IEEE Photon. Technol. Lett. 10, 549 (1998).
[CrossRef]

S. R. Sakamoto, C. Ozturk, Y. T. Byun, J. Ko, and N. Dagli, IEEE Photon. Technol. Lett. 10, 985 (1998).
[CrossRef]

1983 (1)

G. A. Ferrante, J. P. Donnelly, and C. P. Armiento, J. Electrochem. Soc. 130, 1222 (1983).
[CrossRef]

1979 (1)

S. B. Phatak and G. Kelner, J. Electrochem. Soc. 126, 287 (1979).
[CrossRef]

1963 (1)

M. V. Sullivan and G. A. Kolb, J. Electrochem. Soc. 110, 585 (1963).
[CrossRef]

Absil, P. P.

P. P. Absil, J. V. Hryniewicz, B. E. Little, F. G. Johnson, K. Ritter, and P.-T. Ho, IEEE Photon. Technol. Lett. 13, 49 (2001).
[CrossRef]

P. P. Absil, J. V. Hryniewicz, B. E. Little, R. A. Wilson, L. G. Joneckis, and P.-T. Ho, IEEE Photon. Technol. Lett. 12, 398 (2000).
[CrossRef]

J. V. Hryniewicz, P. P. Absil, B. E. Little, and P. T. Ho, IEEE Photon. Technol. Lett. 12, 320 (2000).
[CrossRef]

P. P. Absil, J. V. Hryniewicz, B. E. Little, P. S. Cho, R. A. Wilson, L. G. Joneckis, and P.-T. Ho, Opt. Lett. 25, 554 (2000).
[CrossRef]

Armiento, C. P.

G. A. Ferrante, J. P. Donnelly, and C. P. Armiento, J. Electrochem. Soc. 130, 1222 (1983).
[CrossRef]

Bond, A. E.

D. V. Tishinin, P. D. Dapkus, A. E. Bond, I. Kim, C. K. Lin, and J. O’Brien, IEEE Photon. Technol. Lett. 11, 1003 (1999).
[CrossRef]

Byun, Y. T.

S. R. Sakamoto, C. Ozturk, Y. T. Byun, J. Ko, and N. Dagli, IEEE Photon. Technol. Lett. 10, 985 (1998).
[CrossRef]

Cho, P. S.

Chu, S. T.

B. E. Little, S. T. Chu, W. Pan, and Y. Kokubun, IEEE Photon. Technol. Lett. 12, 323 (2000).
[CrossRef]

B. E. Little, S. T. Chu, W. Pan, D. Ripin, T. Kaneko, Y. Kokubun, and E. Ippen, IEEE Photon. Technol. Lett. 11, 215 (1999).
[CrossRef]

B. E. Little, J. S. Foresi, G. Steinmeyer, E. R. Thoen, S. T. Chu, H. A. Hans, E. P. Ippen, L. C. Kimerling, and W. Greene, IEEE Photon. Technol. Lett. 10, 549 (1998).
[CrossRef]

Dagli, N.

S. R. Sakamoto, C. Ozturk, Y. T. Byun, J. Ko, and N. Dagli, IEEE Photon. Technol. Lett. 10, 985 (1998).
[CrossRef]

Dapkus, P. D.

D. V. Tishinin, P. D. Dapkus, A. E. Bond, I. Kim, C. K. Lin, and J. O’Brien, IEEE Photon. Technol. Lett. 11, 1003 (1999).
[CrossRef]

Donnelly, J. P.

G. A. Ferrante, J. P. Donnelly, and C. P. Armiento, J. Electrochem. Soc. 130, 1222 (1983).
[CrossRef]

Ferrante, G. A.

G. A. Ferrante, J. P. Donnelly, and C. P. Armiento, J. Electrochem. Soc. 130, 1222 (1983).
[CrossRef]

Foresi, J. S.

B. E. Little, J. S. Foresi, G. Steinmeyer, E. R. Thoen, S. T. Chu, H. A. Hans, E. P. Ippen, L. C. Kimerling, and W. Greene, IEEE Photon. Technol. Lett. 10, 549 (1998).
[CrossRef]

Greene, W.

B. E. Little, J. S. Foresi, G. Steinmeyer, E. R. Thoen, S. T. Chu, H. A. Hans, E. P. Ippen, L. C. Kimerling, and W. Greene, IEEE Photon. Technol. Lett. 10, 549 (1998).
[CrossRef]

Hans, H. A.

B. E. Little, J. S. Foresi, G. Steinmeyer, E. R. Thoen, S. T. Chu, H. A. Hans, E. P. Ippen, L. C. Kimerling, and W. Greene, IEEE Photon. Technol. Lett. 10, 549 (1998).
[CrossRef]

Ho, P. T.

J. V. Hryniewicz, P. P. Absil, B. E. Little, and P. T. Ho, IEEE Photon. Technol. Lett. 12, 320 (2000).
[CrossRef]

Ho, P.-T.

P. P. Absil, J. V. Hryniewicz, B. E. Little, F. G. Johnson, K. Ritter, and P.-T. Ho, IEEE Photon. Technol. Lett. 13, 49 (2001).
[CrossRef]

P. P. Absil, J. V. Hryniewicz, B. E. Little, R. A. Wilson, L. G. Joneckis, and P.-T. Ho, IEEE Photon. Technol. Lett. 12, 398 (2000).
[CrossRef]

P. P. Absil, J. V. Hryniewicz, B. E. Little, P. S. Cho, R. A. Wilson, L. G. Joneckis, and P.-T. Ho, Opt. Lett. 25, 554 (2000).
[CrossRef]

Hryniewicz, J. V.

P. P. Absil, J. V. Hryniewicz, B. E. Little, F. G. Johnson, K. Ritter, and P.-T. Ho, IEEE Photon. Technol. Lett. 13, 49 (2001).
[CrossRef]

J. V. Hryniewicz, P. P. Absil, B. E. Little, and P. T. Ho, IEEE Photon. Technol. Lett. 12, 320 (2000).
[CrossRef]

P. P. Absil, J. V. Hryniewicz, B. E. Little, P. S. Cho, R. A. Wilson, L. G. Joneckis, and P.-T. Ho, Opt. Lett. 25, 554 (2000).
[CrossRef]

P. P. Absil, J. V. Hryniewicz, B. E. Little, R. A. Wilson, L. G. Joneckis, and P.-T. Ho, IEEE Photon. Technol. Lett. 12, 398 (2000).
[CrossRef]

Ippen, E.

B. E. Little, S. T. Chu, W. Pan, D. Ripin, T. Kaneko, Y. Kokubun, and E. Ippen, IEEE Photon. Technol. Lett. 11, 215 (1999).
[CrossRef]

Ippen, E. P.

B. E. Little, J. S. Foresi, G. Steinmeyer, E. R. Thoen, S. T. Chu, H. A. Hans, E. P. Ippen, L. C. Kimerling, and W. Greene, IEEE Photon. Technol. Lett. 10, 549 (1998).
[CrossRef]

Johnson, F. G.

P. P. Absil, J. V. Hryniewicz, B. E. Little, F. G. Johnson, K. Ritter, and P.-T. Ho, IEEE Photon. Technol. Lett. 13, 49 (2001).
[CrossRef]

Joneckis, L. G.

P. P. Absil, J. V. Hryniewicz, B. E. Little, P. S. Cho, R. A. Wilson, L. G. Joneckis, and P.-T. Ho, Opt. Lett. 25, 554 (2000).
[CrossRef]

P. P. Absil, J. V. Hryniewicz, B. E. Little, R. A. Wilson, L. G. Joneckis, and P.-T. Ho, IEEE Photon. Technol. Lett. 12, 398 (2000).
[CrossRef]

Kaneko, T.

B. E. Little, S. T. Chu, W. Pan, D. Ripin, T. Kaneko, Y. Kokubun, and E. Ippen, IEEE Photon. Technol. Lett. 11, 215 (1999).
[CrossRef]

Kelner, G.

S. B. Phatak and G. Kelner, J. Electrochem. Soc. 126, 287 (1979).
[CrossRef]

Kim, I.

D. V. Tishinin, P. D. Dapkus, A. E. Bond, I. Kim, C. K. Lin, and J. O’Brien, IEEE Photon. Technol. Lett. 11, 1003 (1999).
[CrossRef]

Kimerling, L. C.

B. E. Little, J. S. Foresi, G. Steinmeyer, E. R. Thoen, S. T. Chu, H. A. Hans, E. P. Ippen, L. C. Kimerling, and W. Greene, IEEE Photon. Technol. Lett. 10, 549 (1998).
[CrossRef]

Ko, J.

S. R. Sakamoto, C. Ozturk, Y. T. Byun, J. Ko, and N. Dagli, IEEE Photon. Technol. Lett. 10, 985 (1998).
[CrossRef]

Kokubun, Y.

B. E. Little, S. T. Chu, W. Pan, and Y. Kokubun, IEEE Photon. Technol. Lett. 12, 323 (2000).
[CrossRef]

B. E. Little, S. T. Chu, W. Pan, D. Ripin, T. Kaneko, Y. Kokubun, and E. Ippen, IEEE Photon. Technol. Lett. 11, 215 (1999).
[CrossRef]

Kolb, G. A.

M. V. Sullivan and G. A. Kolb, J. Electrochem. Soc. 110, 585 (1963).
[CrossRef]

Lin, C. K.

D. V. Tishinin, P. D. Dapkus, A. E. Bond, I. Kim, C. K. Lin, and J. O’Brien, IEEE Photon. Technol. Lett. 11, 1003 (1999).
[CrossRef]

Little, B. E.

P. P. Absil, J. V. Hryniewicz, B. E. Little, F. G. Johnson, K. Ritter, and P.-T. Ho, IEEE Photon. Technol. Lett. 13, 49 (2001).
[CrossRef]

P. P. Absil, J. V. Hryniewicz, B. E. Little, P. S. Cho, R. A. Wilson, L. G. Joneckis, and P.-T. Ho, Opt. Lett. 25, 554 (2000).
[CrossRef]

J. V. Hryniewicz, P. P. Absil, B. E. Little, and P. T. Ho, IEEE Photon. Technol. Lett. 12, 320 (2000).
[CrossRef]

P. P. Absil, J. V. Hryniewicz, B. E. Little, R. A. Wilson, L. G. Joneckis, and P.-T. Ho, IEEE Photon. Technol. Lett. 12, 398 (2000).
[CrossRef]

B. E. Little, S. T. Chu, W. Pan, and Y. Kokubun, IEEE Photon. Technol. Lett. 12, 323 (2000).
[CrossRef]

B. E. Little, S. T. Chu, W. Pan, D. Ripin, T. Kaneko, Y. Kokubun, and E. Ippen, IEEE Photon. Technol. Lett. 11, 215 (1999).
[CrossRef]

B. E. Little, J. S. Foresi, G. Steinmeyer, E. R. Thoen, S. T. Chu, H. A. Hans, E. P. Ippen, L. C. Kimerling, and W. Greene, IEEE Photon. Technol. Lett. 10, 549 (1998).
[CrossRef]

O’Brien, J.

D. V. Tishinin, P. D. Dapkus, A. E. Bond, I. Kim, C. K. Lin, and J. O’Brien, IEEE Photon. Technol. Lett. 11, 1003 (1999).
[CrossRef]

Ozturk, C.

S. R. Sakamoto, C. Ozturk, Y. T. Byun, J. Ko, and N. Dagli, IEEE Photon. Technol. Lett. 10, 985 (1998).
[CrossRef]

Pan, W.

B. E. Little, S. T. Chu, W. Pan, and Y. Kokubun, IEEE Photon. Technol. Lett. 12, 323 (2000).
[CrossRef]

B. E. Little, S. T. Chu, W. Pan, D. Ripin, T. Kaneko, Y. Kokubun, and E. Ippen, IEEE Photon. Technol. Lett. 11, 215 (1999).
[CrossRef]

Phatak, S. B.

S. B. Phatak and G. Kelner, J. Electrochem. Soc. 126, 287 (1979).
[CrossRef]

Ripin, D.

B. E. Little, S. T. Chu, W. Pan, D. Ripin, T. Kaneko, Y. Kokubun, and E. Ippen, IEEE Photon. Technol. Lett. 11, 215 (1999).
[CrossRef]

Ritter, K.

P. P. Absil, J. V. Hryniewicz, B. E. Little, F. G. Johnson, K. Ritter, and P.-T. Ho, IEEE Photon. Technol. Lett. 13, 49 (2001).
[CrossRef]

Sakamoto, S. R.

S. R. Sakamoto, C. Ozturk, Y. T. Byun, J. Ko, and N. Dagli, IEEE Photon. Technol. Lett. 10, 985 (1998).
[CrossRef]

Steinmeyer, G.

B. E. Little, J. S. Foresi, G. Steinmeyer, E. R. Thoen, S. T. Chu, H. A. Hans, E. P. Ippen, L. C. Kimerling, and W. Greene, IEEE Photon. Technol. Lett. 10, 549 (1998).
[CrossRef]

Sullivan, M. V.

M. V. Sullivan and G. A. Kolb, J. Electrochem. Soc. 110, 585 (1963).
[CrossRef]

Thoen, E. R.

B. E. Little, J. S. Foresi, G. Steinmeyer, E. R. Thoen, S. T. Chu, H. A. Hans, E. P. Ippen, L. C. Kimerling, and W. Greene, IEEE Photon. Technol. Lett. 10, 549 (1998).
[CrossRef]

Tishinin, D. V.

D. V. Tishinin, P. D. Dapkus, A. E. Bond, I. Kim, C. K. Lin, and J. O’Brien, IEEE Photon. Technol. Lett. 11, 1003 (1999).
[CrossRef]

Wilson, R. A.

P. P. Absil, J. V. Hryniewicz, B. E. Little, R. A. Wilson, L. G. Joneckis, and P.-T. Ho, IEEE Photon. Technol. Lett. 12, 398 (2000).
[CrossRef]

P. P. Absil, J. V. Hryniewicz, B. E. Little, P. S. Cho, R. A. Wilson, L. G. Joneckis, and P.-T. Ho, Opt. Lett. 25, 554 (2000).
[CrossRef]

IEEE Photon. Technol. Lett. (8)

B. E. Little, S. T. Chu, W. Pan, and Y. Kokubun, IEEE Photon. Technol. Lett. 12, 323 (2000).
[CrossRef]

B. E. Little, J. S. Foresi, G. Steinmeyer, E. R. Thoen, S. T. Chu, H. A. Hans, E. P. Ippen, L. C. Kimerling, and W. Greene, IEEE Photon. Technol. Lett. 10, 549 (1998).
[CrossRef]

P. P. Absil, J. V. Hryniewicz, B. E. Little, R. A. Wilson, L. G. Joneckis, and P.-T. Ho, IEEE Photon. Technol. Lett. 12, 398 (2000).
[CrossRef]

J. V. Hryniewicz, P. P. Absil, B. E. Little, and P. T. Ho, IEEE Photon. Technol. Lett. 12, 320 (2000).
[CrossRef]

B. E. Little, S. T. Chu, W. Pan, D. Ripin, T. Kaneko, Y. Kokubun, and E. Ippen, IEEE Photon. Technol. Lett. 11, 215 (1999).
[CrossRef]

D. V. Tishinin, P. D. Dapkus, A. E. Bond, I. Kim, C. K. Lin, and J. O’Brien, IEEE Photon. Technol. Lett. 11, 1003 (1999).
[CrossRef]

P. P. Absil, J. V. Hryniewicz, B. E. Little, F. G. Johnson, K. Ritter, and P.-T. Ho, IEEE Photon. Technol. Lett. 13, 49 (2001).
[CrossRef]

S. R. Sakamoto, C. Ozturk, Y. T. Byun, J. Ko, and N. Dagli, IEEE Photon. Technol. Lett. 10, 985 (1998).
[CrossRef]

J. Electrochem. Soc. (3)

M. V. Sullivan and G. A. Kolb, J. Electrochem. Soc. 110, 585 (1963).
[CrossRef]

G. A. Ferrante, J. P. Donnelly, and C. P. Armiento, J. Electrochem. Soc. 130, 1222 (1983).
[CrossRef]

S. B. Phatak and G. Kelner, J. Electrochem. Soc. 126, 287 (1979).
[CrossRef]

Opt. Lett. (1)

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (5)

Fig. 1
Fig. 1

Schematic and layer structure of the fabricated device.

Fig. 2
Fig. 2

Scanning-electron micrograph of a ring showing smooth and vertical sidewalls. The rough feature at the top is etch residue, which is left behind after removal of SiO2.

Fig. 3
Fig. 3

Vertically coupled GaInAsP–InP single-microring resonator add–drop filter.

Fig. 4
Fig. 4

Vertically coupled GaInAsP–InP single microring resonator add–drop filter spectrum at the drop port.

Fig. 5
Fig. 5

Fine scan about a resonance for a 10μm-radius single-ring add–drop filter. The peaks on either side of the drop port resonance peak are from scattered light, as there are no corresponding dips for the throughput port.

Metrics