Abstract

We demonstrate an innovative method for fabrication of high-spatial-frequency grating structures. This technique makes use of the near-field diffraction patterns from computer-generated phase holograms for lithographic fabrication of grating structures with periods that are one half that of the phase hologram mask. Linear, rectilinear, and circular gratings were fabricated with this technique. Experimental results from gratings with periods to 0.5 μm and feature sizes to ~0.2 μm are presented.

© 1999 Optical Society of America

PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. R. C. Enger and S. K. Case, Appl. Opt. 22, 3220 (1983).
  2. R. Magnusson, D. Shin, and Z. S. Liu, Opt. Lett. 23, 612 (1998).
  3. K. O. Hill, B. Malo, F. Bilodeau, D. C. Johnson, and J. Albert, Appl. Phys. Lett. 62, 1035 (1993).
  4. D. M. Tennant, T. L. Koch, P. P. Mulgrew, R. P. Gnall, F. Ostermeyer, and J.-M. Verdiell, J. Vac. Sci. Technol. B 10, 2530 (1992).
  5. J. M. Verdiell, T. L. Koch, D. M. Tennant, K. Feder, R. P. Gnall, M. G. Young, B. I. Miller, U. Koren, M. A. Newkirk, and B. Tell, IEEE Photon. Technol. Lett. 5, 619 (1993).
  6. D. M. Tennant, K. F. Dreyer, K. Feder, R. P. Gnall, T. L. Koch, U. Koren, B. I. Miller, C. Vartuli, and M. G. Young, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3689 (1994).
  7. P. I. Jensen and A. Sudbo, IEEE Photon. Technol. Lett. 7, 783 (1995).
  8. M. Okai, S. Tsuji, N. Chinone, and T. Harada, Appl. Phys. Lett. 55, 415 (1989).
  9. P. Pakulski, R. Moore, C. Maritan, F. Shepherd, M. Fallahi, I. Templeton, and G. Champion, Appl. Phys. Lett. 62, 222 (1993).
  10. T. Erdogan, O. King, G. W. Wicks, D. G. Hall, C. L. Dennis, and M. J. Rooks, Appl. Phys. Lett. 60, 1773 (1992).
  11. T. Erdogan, O. King, G. W. Wicks, D. G. Hall, E. H. Anderson, and M. J. Rooks, Appl. Phys. Lett. 60, 1921 (1992).
  12. C. Olson, P. L. Greene, G. W. Wicks, D. G. Hall, and S. Rishton, Appl. Phys. Lett. 72, 1284 (1998).
  13. M. G. Moharam and T. K. Gaylord, J. Opt. Soc. Am. 72, 1385 (1982).

1998

C. Olson, P. L. Greene, G. W. Wicks, D. G. Hall, and S. Rishton, Appl. Phys. Lett. 72, 1284 (1998).

R. Magnusson, D. Shin, and Z. S. Liu, Opt. Lett. 23, 612 (1998).

1995

P. I. Jensen and A. Sudbo, IEEE Photon. Technol. Lett. 7, 783 (1995).

1994

D. M. Tennant, K. F. Dreyer, K. Feder, R. P. Gnall, T. L. Koch, U. Koren, B. I. Miller, C. Vartuli, and M. G. Young, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3689 (1994).

1993

J. M. Verdiell, T. L. Koch, D. M. Tennant, K. Feder, R. P. Gnall, M. G. Young, B. I. Miller, U. Koren, M. A. Newkirk, and B. Tell, IEEE Photon. Technol. Lett. 5, 619 (1993).

K. O. Hill, B. Malo, F. Bilodeau, D. C. Johnson, and J. Albert, Appl. Phys. Lett. 62, 1035 (1993).

P. Pakulski, R. Moore, C. Maritan, F. Shepherd, M. Fallahi, I. Templeton, and G. Champion, Appl. Phys. Lett. 62, 222 (1993).

1992

T. Erdogan, O. King, G. W. Wicks, D. G. Hall, C. L. Dennis, and M. J. Rooks, Appl. Phys. Lett. 60, 1773 (1992).

T. Erdogan, O. King, G. W. Wicks, D. G. Hall, E. H. Anderson, and M. J. Rooks, Appl. Phys. Lett. 60, 1921 (1992).

D. M. Tennant, T. L. Koch, P. P. Mulgrew, R. P. Gnall, F. Ostermeyer, and J.-M. Verdiell, J. Vac. Sci. Technol. B 10, 2530 (1992).

1989

M. Okai, S. Tsuji, N. Chinone, and T. Harada, Appl. Phys. Lett. 55, 415 (1989).

1983

1982

Albert, J.

K. O. Hill, B. Malo, F. Bilodeau, D. C. Johnson, and J. Albert, Appl. Phys. Lett. 62, 1035 (1993).

Anderson, E. H.

T. Erdogan, O. King, G. W. Wicks, D. G. Hall, E. H. Anderson, and M. J. Rooks, Appl. Phys. Lett. 60, 1921 (1992).

Bilodeau, F.

K. O. Hill, B. Malo, F. Bilodeau, D. C. Johnson, and J. Albert, Appl. Phys. Lett. 62, 1035 (1993).

Case, S. K.

Champion, G.

P. Pakulski, R. Moore, C. Maritan, F. Shepherd, M. Fallahi, I. Templeton, and G. Champion, Appl. Phys. Lett. 62, 222 (1993).

Chinone, N.

M. Okai, S. Tsuji, N. Chinone, and T. Harada, Appl. Phys. Lett. 55, 415 (1989).

Dennis, C. L.

T. Erdogan, O. King, G. W. Wicks, D. G. Hall, C. L. Dennis, and M. J. Rooks, Appl. Phys. Lett. 60, 1773 (1992).

Dreyer, K. F.

D. M. Tennant, K. F. Dreyer, K. Feder, R. P. Gnall, T. L. Koch, U. Koren, B. I. Miller, C. Vartuli, and M. G. Young, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3689 (1994).

Enger, R. C.

Erdogan, T.

T. Erdogan, O. King, G. W. Wicks, D. G. Hall, E. H. Anderson, and M. J. Rooks, Appl. Phys. Lett. 60, 1921 (1992).

T. Erdogan, O. King, G. W. Wicks, D. G. Hall, C. L. Dennis, and M. J. Rooks, Appl. Phys. Lett. 60, 1773 (1992).

Fallahi, M.

P. Pakulski, R. Moore, C. Maritan, F. Shepherd, M. Fallahi, I. Templeton, and G. Champion, Appl. Phys. Lett. 62, 222 (1993).

Feder, K.

D. M. Tennant, K. F. Dreyer, K. Feder, R. P. Gnall, T. L. Koch, U. Koren, B. I. Miller, C. Vartuli, and M. G. Young, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3689 (1994).

J. M. Verdiell, T. L. Koch, D. M. Tennant, K. Feder, R. P. Gnall, M. G. Young, B. I. Miller, U. Koren, M. A. Newkirk, and B. Tell, IEEE Photon. Technol. Lett. 5, 619 (1993).

Gaylord, T. K.

Gnall, R. P.

D. M. Tennant, K. F. Dreyer, K. Feder, R. P. Gnall, T. L. Koch, U. Koren, B. I. Miller, C. Vartuli, and M. G. Young, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3689 (1994).

J. M. Verdiell, T. L. Koch, D. M. Tennant, K. Feder, R. P. Gnall, M. G. Young, B. I. Miller, U. Koren, M. A. Newkirk, and B. Tell, IEEE Photon. Technol. Lett. 5, 619 (1993).

D. M. Tennant, T. L. Koch, P. P. Mulgrew, R. P. Gnall, F. Ostermeyer, and J.-M. Verdiell, J. Vac. Sci. Technol. B 10, 2530 (1992).

Greene, P. L.

C. Olson, P. L. Greene, G. W. Wicks, D. G. Hall, and S. Rishton, Appl. Phys. Lett. 72, 1284 (1998).

Hall, D. G.

C. Olson, P. L. Greene, G. W. Wicks, D. G. Hall, and S. Rishton, Appl. Phys. Lett. 72, 1284 (1998).

T. Erdogan, O. King, G. W. Wicks, D. G. Hall, C. L. Dennis, and M. J. Rooks, Appl. Phys. Lett. 60, 1773 (1992).

T. Erdogan, O. King, G. W. Wicks, D. G. Hall, E. H. Anderson, and M. J. Rooks, Appl. Phys. Lett. 60, 1921 (1992).

Harada, T.

M. Okai, S. Tsuji, N. Chinone, and T. Harada, Appl. Phys. Lett. 55, 415 (1989).

Hill, K. O.

K. O. Hill, B. Malo, F. Bilodeau, D. C. Johnson, and J. Albert, Appl. Phys. Lett. 62, 1035 (1993).

Jensen, P. I.

P. I. Jensen and A. Sudbo, IEEE Photon. Technol. Lett. 7, 783 (1995).

Johnson, D. C.

K. O. Hill, B. Malo, F. Bilodeau, D. C. Johnson, and J. Albert, Appl. Phys. Lett. 62, 1035 (1993).

King, O.

T. Erdogan, O. King, G. W. Wicks, D. G. Hall, C. L. Dennis, and M. J. Rooks, Appl. Phys. Lett. 60, 1773 (1992).

T. Erdogan, O. King, G. W. Wicks, D. G. Hall, E. H. Anderson, and M. J. Rooks, Appl. Phys. Lett. 60, 1921 (1992).

Koch, T. L.

D. M. Tennant, K. F. Dreyer, K. Feder, R. P. Gnall, T. L. Koch, U. Koren, B. I. Miller, C. Vartuli, and M. G. Young, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3689 (1994).

J. M. Verdiell, T. L. Koch, D. M. Tennant, K. Feder, R. P. Gnall, M. G. Young, B. I. Miller, U. Koren, M. A. Newkirk, and B. Tell, IEEE Photon. Technol. Lett. 5, 619 (1993).

D. M. Tennant, T. L. Koch, P. P. Mulgrew, R. P. Gnall, F. Ostermeyer, and J.-M. Verdiell, J. Vac. Sci. Technol. B 10, 2530 (1992).

Koren, U.

D. M. Tennant, K. F. Dreyer, K. Feder, R. P. Gnall, T. L. Koch, U. Koren, B. I. Miller, C. Vartuli, and M. G. Young, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3689 (1994).

J. M. Verdiell, T. L. Koch, D. M. Tennant, K. Feder, R. P. Gnall, M. G. Young, B. I. Miller, U. Koren, M. A. Newkirk, and B. Tell, IEEE Photon. Technol. Lett. 5, 619 (1993).

Liu, Z. S.

Magnusson, R.

Malo, B.

K. O. Hill, B. Malo, F. Bilodeau, D. C. Johnson, and J. Albert, Appl. Phys. Lett. 62, 1035 (1993).

Maritan, C.

P. Pakulski, R. Moore, C. Maritan, F. Shepherd, M. Fallahi, I. Templeton, and G. Champion, Appl. Phys. Lett. 62, 222 (1993).

Miller, B. I.

D. M. Tennant, K. F. Dreyer, K. Feder, R. P. Gnall, T. L. Koch, U. Koren, B. I. Miller, C. Vartuli, and M. G. Young, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3689 (1994).

J. M. Verdiell, T. L. Koch, D. M. Tennant, K. Feder, R. P. Gnall, M. G. Young, B. I. Miller, U. Koren, M. A. Newkirk, and B. Tell, IEEE Photon. Technol. Lett. 5, 619 (1993).

Moharam, M. G.

Moore, R.

P. Pakulski, R. Moore, C. Maritan, F. Shepherd, M. Fallahi, I. Templeton, and G. Champion, Appl. Phys. Lett. 62, 222 (1993).

Mulgrew, P. P.

D. M. Tennant, T. L. Koch, P. P. Mulgrew, R. P. Gnall, F. Ostermeyer, and J.-M. Verdiell, J. Vac. Sci. Technol. B 10, 2530 (1992).

Newkirk, M. A.

J. M. Verdiell, T. L. Koch, D. M. Tennant, K. Feder, R. P. Gnall, M. G. Young, B. I. Miller, U. Koren, M. A. Newkirk, and B. Tell, IEEE Photon. Technol. Lett. 5, 619 (1993).

Okai, M.

M. Okai, S. Tsuji, N. Chinone, and T. Harada, Appl. Phys. Lett. 55, 415 (1989).

Olson, C.

C. Olson, P. L. Greene, G. W. Wicks, D. G. Hall, and S. Rishton, Appl. Phys. Lett. 72, 1284 (1998).

Ostermeyer, F.

D. M. Tennant, T. L. Koch, P. P. Mulgrew, R. P. Gnall, F. Ostermeyer, and J.-M. Verdiell, J. Vac. Sci. Technol. B 10, 2530 (1992).

Pakulski, P.

P. Pakulski, R. Moore, C. Maritan, F. Shepherd, M. Fallahi, I. Templeton, and G. Champion, Appl. Phys. Lett. 62, 222 (1993).

Rishton, S.

C. Olson, P. L. Greene, G. W. Wicks, D. G. Hall, and S. Rishton, Appl. Phys. Lett. 72, 1284 (1998).

Rooks, M. J.

T. Erdogan, O. King, G. W. Wicks, D. G. Hall, C. L. Dennis, and M. J. Rooks, Appl. Phys. Lett. 60, 1773 (1992).

T. Erdogan, O. King, G. W. Wicks, D. G. Hall, E. H. Anderson, and M. J. Rooks, Appl. Phys. Lett. 60, 1921 (1992).

Shepherd, F.

P. Pakulski, R. Moore, C. Maritan, F. Shepherd, M. Fallahi, I. Templeton, and G. Champion, Appl. Phys. Lett. 62, 222 (1993).

Shin, D.

Sudbo, A.

P. I. Jensen and A. Sudbo, IEEE Photon. Technol. Lett. 7, 783 (1995).

Tell, B.

J. M. Verdiell, T. L. Koch, D. M. Tennant, K. Feder, R. P. Gnall, M. G. Young, B. I. Miller, U. Koren, M. A. Newkirk, and B. Tell, IEEE Photon. Technol. Lett. 5, 619 (1993).

Templeton, I.

P. Pakulski, R. Moore, C. Maritan, F. Shepherd, M. Fallahi, I. Templeton, and G. Champion, Appl. Phys. Lett. 62, 222 (1993).

Tennant, D. M.

D. M. Tennant, K. F. Dreyer, K. Feder, R. P. Gnall, T. L. Koch, U. Koren, B. I. Miller, C. Vartuli, and M. G. Young, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3689 (1994).

J. M. Verdiell, T. L. Koch, D. M. Tennant, K. Feder, R. P. Gnall, M. G. Young, B. I. Miller, U. Koren, M. A. Newkirk, and B. Tell, IEEE Photon. Technol. Lett. 5, 619 (1993).

D. M. Tennant, T. L. Koch, P. P. Mulgrew, R. P. Gnall, F. Ostermeyer, and J.-M. Verdiell, J. Vac. Sci. Technol. B 10, 2530 (1992).

Tsuji, S.

M. Okai, S. Tsuji, N. Chinone, and T. Harada, Appl. Phys. Lett. 55, 415 (1989).

Vartuli, C.

D. M. Tennant, K. F. Dreyer, K. Feder, R. P. Gnall, T. L. Koch, U. Koren, B. I. Miller, C. Vartuli, and M. G. Young, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3689 (1994).

Verdiell, J. M.

J. M. Verdiell, T. L. Koch, D. M. Tennant, K. Feder, R. P. Gnall, M. G. Young, B. I. Miller, U. Koren, M. A. Newkirk, and B. Tell, IEEE Photon. Technol. Lett. 5, 619 (1993).

Verdiell, J.-M.

D. M. Tennant, T. L. Koch, P. P. Mulgrew, R. P. Gnall, F. Ostermeyer, and J.-M. Verdiell, J. Vac. Sci. Technol. B 10, 2530 (1992).

Wicks, G. W.

C. Olson, P. L. Greene, G. W. Wicks, D. G. Hall, and S. Rishton, Appl. Phys. Lett. 72, 1284 (1998).

T. Erdogan, O. King, G. W. Wicks, D. G. Hall, C. L. Dennis, and M. J. Rooks, Appl. Phys. Lett. 60, 1773 (1992).

T. Erdogan, O. King, G. W. Wicks, D. G. Hall, E. H. Anderson, and M. J. Rooks, Appl. Phys. Lett. 60, 1921 (1992).

Young, M. G.

D. M. Tennant, K. F. Dreyer, K. Feder, R. P. Gnall, T. L. Koch, U. Koren, B. I. Miller, C. Vartuli, and M. G. Young, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3689 (1994).

J. M. Verdiell, T. L. Koch, D. M. Tennant, K. Feder, R. P. Gnall, M. G. Young, B. I. Miller, U. Koren, M. A. Newkirk, and B. Tell, IEEE Photon. Technol. Lett. 5, 619 (1993).

Appl. Opt.

Appl. Phys. Lett.

K. O. Hill, B. Malo, F. Bilodeau, D. C. Johnson, and J. Albert, Appl. Phys. Lett. 62, 1035 (1993).

M. Okai, S. Tsuji, N. Chinone, and T. Harada, Appl. Phys. Lett. 55, 415 (1989).

P. Pakulski, R. Moore, C. Maritan, F. Shepherd, M. Fallahi, I. Templeton, and G. Champion, Appl. Phys. Lett. 62, 222 (1993).

T. Erdogan, O. King, G. W. Wicks, D. G. Hall, C. L. Dennis, and M. J. Rooks, Appl. Phys. Lett. 60, 1773 (1992).

T. Erdogan, O. King, G. W. Wicks, D. G. Hall, E. H. Anderson, and M. J. Rooks, Appl. Phys. Lett. 60, 1921 (1992).

C. Olson, P. L. Greene, G. W. Wicks, D. G. Hall, and S. Rishton, Appl. Phys. Lett. 72, 1284 (1998).

IEEE Photon. Technol. Lett.

J. M. Verdiell, T. L. Koch, D. M. Tennant, K. Feder, R. P. Gnall, M. G. Young, B. I. Miller, U. Koren, M. A. Newkirk, and B. Tell, IEEE Photon. Technol. Lett. 5, 619 (1993).

P. I. Jensen and A. Sudbo, IEEE Photon. Technol. Lett. 7, 783 (1995).

J. Opt. Soc. Am.

J. Vac. Sci. Technol. B

D. M. Tennant, K. F. Dreyer, K. Feder, R. P. Gnall, T. L. Koch, U. Koren, B. I. Miller, C. Vartuli, and M. G. Young, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3689 (1994).

D. M. Tennant, T. L. Koch, P. P. Mulgrew, R. P. Gnall, F. Ostermeyer, and J.-M. Verdiell, J. Vac. Sci. Technol. B 10, 2530 (1992).

Opt. Lett.

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Metrics