Abstract

Lynx, a next generation X-ray observatory concept currently under study, requires lightweight, high spatial resolution X-ray mirrors. Here we detail the development and fabrication of one of the candidate technologies for Lynx, piezoelectric adjustable X-ray optics. These X-ray mirrors are thin glass shell mirrors with Cr/Ir X-ray reflective coatings on the mirror side and piezoelectric thin film actuators on the actuator side. Magnetron sputtering was used to deposit metal electrodes and metal-oxide piezoelectric layers. The piezoelectric (Pb0.995(Zr0.52Ti0.48)0.99Nb0.01O3) was divided into 112 independent piezoelectric actuators, with 100% yield achieved. We discuss the fabrication procedure, residual thermal stresses and tuning of the Cr/Ir coating stress for the purposes of stress balancing.

© 2018 Optical Society of America under the terms of the OSA Open Access Publishing Agreement

Full Article  |  PDF Article
OSA Recommended Articles
Stress manipulated coating for fabricating lightweight X-ray telescope mirrors

Youwei Yao, Xiaoli Wang, Jian Cao, and Melville Ulmer
Opt. Express 23(22) 28605-28618 (2015)

1 m long multilayer-coated deformable piezoelectric bimorph mirror for adjustable focusing of high-energy X-rays

John P. Sutter, Philip A. Chater, Riccardo Signorato, Dean S. Keeble, Michael R. Hillman, Matthew G. Tucker, Simon G. Alcock, Ioana-Theodora Nistea, and Heribert Wilhelm
Opt. Express 27(11) 16121-16142 (2019)

Coating stress analysis and compensation for iridium-based x-ray mirrors

Anne-Catherine Probst, Thomas Begou, Thorsten Döhring, Sebastian Zeising, Manfred Stollenwerk, Johannes Stadtmüller, Florian Emmerich, and Julien Lumeau
Appl. Opt. 57(29) 8775-8779 (2018)

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).
  2. R. H. T. Wilke, R. L. Johnson-Wilke, V. Cotroneo, W. N. Davis, P. B. Reid, D. A. Schwartz, and S. Trolier-McKinstry, “Sputter deposition of PZT piezoelectric films on thin glass substrates for adjustable x-ray optics,” Appl. Opt. 52(14), 3412–3419 (2013).
    [Crossref] [PubMed]
  3. D. A. Schwartz, R. Allured, J. A. Bookbinder, V. Cotroneo, W. R. Forman, M. D. Freeman, S. McMuldroch, P. B. Reid, H. Tananbaum, A. A. Vikhlinin, R. L. Johnson-Wilke, S. E. Trolier-McKinstry, R. T. H. Wilke, T. N. Jackson, J. I. Ramirez, M. V. Gubarev, J. J. Kolodziejczak, S. L. O’Dell, and B. D. Ramsey, “Technology Requirements for a Square Meter, Arcsecond Resolution Telescope for X-Rays: The SMART-X Mission,” Proc. SPIE 9208, 920806 (2014).
  4. V. Cotroneo, R. Allured, C. T. DeRoo, K. L. Gurski, V. Marquez, P. B. Reid, and E. D. Schwartz, “Thermal forming of glass substrates for adjustable optics,” Proc. SPIE 10399, 10399 (2017).
  5. R. T. H. Wilke, R. L. Johnson-Wilke, V. Cotroneo, S. McMuldroch, P. B. Reid, D. A. Schwartz, and S. Trolier-McKinstry, “Fabrication of adjustable cylindrical mirror segments for the smart-X telescope,” IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control 61(8), 1386–1392 (2014).
    [Crossref]
  6. R. L. Johnson-Wilke, R. T. H. Wilke, V. Cotroneo, W. N. Davis, P. B. Reid, D. A. Schwartz, and S. Trolier-McKinstry, “Improving yield of PZT piezoelectric devices on glass substrates,” Proc. SPIE 8503, 85030A (2012).
    [Crossref]
  7. M. Wallace, “Performance of PZT based MEMS devices with integrated ZnO Electronics,” PhD doctoral dissertation, Pennsylvania State University, Department of Materials Science and Engineering (2016).
  8. J. Walker, T. Liu, M. Tendulkar, D. Burrows, C. T. DeRoo, R. Allured, E. Hertz, V. Cotroneo, P. Reid, E. D. Schwartz, T. N. Jackson, and S. Trolier-McKinstry, “Design and fabrication of adjustable x-ray optics using piezoelectric thin films,” Proc. SPIE 10399, 103991K (2017).
  9. C. T. DeRoo, R. Allured, V. Cotroneo, E. N. Hertz, V. Marquez, P. B. Reid, E. D. Schwartz, A. A. Vikhlinin, S. Trolier-McKinstry, J. Walker, T. N. Jackson, T. Liu, and M. Tendulkar, “Deterministic figure correction of piezoelectrically adjustable slumped glass optics,” J. Astron. Telesc. Instrum. Syst. 4(1), 019004 (2018).
    [Crossref]
  10. N. N. Rogacheva, The Theory of Piezoelectric Shells and Plates (Taylor and Francis Group, 1994).
  11. H. Liu, B. Lu, Y. Ding, Y. Tang, and D. Li, “A motor-piezo actuator for nano-scale positioning based on dual servo loop and nonlinearity compensation,” J. Micromech. Microeng. 13(2), 295–299 (2003).
    [Crossref]
  12. P. Muralt, R. G. Polcawich, and S. Trolier-McKinstry, “Piezoelectric thin films for sensors, actuators, and energy harvesting,” MRS Bull. 34(9), 658–664 (2009).
    [Crossref]
  13. S. Trolier-McKinstry and P. Muralt, “Thin film piezoelectrics for MEMS,” J. Electroceram. 12(1), 7–17 (2004).
    [Crossref]
  14. J. F. Shepard, P. J. Moses, and S. Trolier-McKinstry, “The wafer flexure technique for the determination of the transverse piezoelectric coefficient (d31) of PZT thin films,” Sens. Actuators A Phys. 71(1-2), 133–138 (1998).
    [Crossref]
  15. N. Izyumskaya, Y.-I. Alivov, S.-J. Cho, H. Morkoc, H. Lee, and Y.-S. Kang, “Processing, structure, properties, and applications pf PZT thin films,” Crit. Rev. Solid State Mater. Sci. 32(3-4), 111–202 (2007).
    [Crossref]
  16. V. Stancu, M. Lisca, I. Boerasu, L. Pintilie, and M. Kosec, “Effects of porosity on ferroelectric properties of Pb(Zr0.2Ti0.8)O3 films,” Thin Solid Films 515(16), 6557–6561 (2007).
    [Crossref]
  17. P. B. Reid, T. L. Aldcroft, R. Allured, V. Cotroneo, R. L. Johnson-Wilke, V. Marquez, S. McMuldroch, S. L. O’Dell, B. D. Ramsey, and, D. A. Schwartz, “Development status of adjustable rgazing incidence optics for 0.5 arcsecond X-ray imaging”, NASA Tech. Rep. 20140016821, M15–4150, (2014).
  18. M.-J. Yim and K.-W. Paik, “Design and understanding of anisotropic conductive films (ACFs) for LCD packaging,” in Proc. IEEE Polymer Electronics Packaging (IEEE, 1997), paper 5920142.
  19. S.-M. Chang, J.-H. Jou, A. Hsieh, T.-H. Chen, C.-Y. Chang, Y.-H. Wang, and C.-M. Huang, “Characteristic study of anisotropic-conductive film for chip-on-film packaging,” Microelectron. Reliab. 41(12), 2001–2009 (2001).
    [Crossref]
  20. S. C. Tan, Y. C. Chan, Y. W. Chiu, and C. W. Tan, “Thermal stability performance of anisotropic conductive film at different bonding temperatures,” Microelectron. Reliab. 44(3), 495–503 (2004).
    [Crossref]
  21. R. Allured, E. Hertz, V. Marquez, V. Cotroneo, M. Wallace, B. Salmaso, M. M. Civitani, S. Trolier-McKinstry, A. A. Vikhlinin, G. Pareschi, and P. B. Reid, “Laboratory demonstration of the piezoelectric figure correction of a cylindrical slumped glass optic,” Proc. SPIE 9905, 990554 (2016).
    [Crossref]
  22. G. G. Stoney, “The tension of metallic films depositied by electrolysis”, Proceedings of the Royal Soc. London, Series A., 172–175 (1909).
  23. G. C. A. M. Janssen, M. M. Abdalla, F. van Keulen, B. R. Pujada, and B. van Venrooy, “Celebrating the 100th anniversary of the Stoney equation for film stress: Developments from polycrystalline steel strips to single crystal silicon wafers,” Thin Solid Films 517(6), 1858–1867 (2009).
    [Crossref]
  24. G. A. C. M. Spierings, G. J. M. Dormans, W. G. J. Moors, M. J. E. Ulenaers, and P. K. Larsen, “Stress in Pt/Pb(Zr,Ti)O3/Pt thin-film stacks for integrated ferroelectric capacitors,” J. Appl. Phys. 78(3), 1926–1933 (1995).
    [Crossref]
  25. S. S. Sengupta, S. M. Park, D. A. Payne, and L. H. Allen, “Origins and evolution of stress development in sol-gel derived thin layers and multideposited coatings of lead titanate,” J. Appl. Phys. 83(4), 2291–2296 (1997).
    [Crossref]
  26. R. J. Ong, D. A. Payne, and N. R. Sottos, “Processing effects for integrated PZT: Residual stress, thickness, and dielectric properties,” J. Am. Ceram. Soc. 88(10), 2839–2847 (2005).
    [Crossref]
  27. B. A. Tuttle and R. W. Schwartz, “Solution deposition of ferroelectric thin films,” MRS Bull. 21(6), 49–54 (1996).
    [Crossref]
  28. B. A. Tuttle, T. J. Garino, J. A. Voigt, T. J. Headley, D. Dimos, and, M. O. Eatough, in Science and Technology of Electroceramic Thin Films, edited by O. Auciello and R. Waser (Kluwer Academic Publishers, Dordrecht, The Netherlands, 1995) p. 117.
  29. B. Noheda, D. E. Cox, G. Shirane, J. A. Gonzalo, L. E. Cross, and S.-E. Park, “A monoclinic ferroelectric phase in the Pb(Zr1-xTix)O3 solid solution,” Appl. Phys. Lett. 74(14), 2059–2061 (1999).
    [Crossref]
  30. C. B. Yeager and S. Trolier-McKinstry, “Epitaxial Pb(Zrx,Ti1-x)O3 (0.30<x<0.63) films on (100)MgO substrates for energy harvesting applications,” J. Appl. Phys. 112(074107), 1–7 (2012).
    [Crossref]
  31. G. Fox, S. Trolier-McKinstry, S. B. Krupanidhi, and L. M. Casas, “Pt/Ti/SiO2/Si substrates,” J. Mater. Res. 10(06), 1508–1515 (1995).
    [Crossref]
  32. H. Windischmann, “An intrinsic stress scaling law for polycrystalline thin films prepared by ion beam sputtering,” J. Appl. Phys. 62(5), 1800–1807 (1987).
    [Crossref]
  33. J. A. Thornton, “Influence of apparatus geometry and deposition conditions on the structure and topography of thick sputtered coatings,” J. Vac. Sci. Technol. 11(4), 666–670 (1974).
    [Crossref]
  34. J. A. Thornton, “The microstructure of sputter-deposited coatings,” J. Vac. Sci. Technol. A 4(6), 3059–3065 (1986).
    [Crossref]
  35. G. Carter, “Peening in ion-assisted thin-film deposition: a generalized model,” J. Phys. D Appl. Phys. 27(5), 1046–1055 (1994).
    [Crossref]
  36. H. Gao, L. Zhang, W. D. Nix, C.V. Thompson, and E. Arzt, “Crack-line grain-boundary diffusion wedges in thin metal films,” Acta Mater. 47(10), 2865–2878 (1999).
    [Crossref]
  37. M. D. Thouless, J. Gupta, and J. M. E. Harper, “Stress development and relaxation in copper films during thermal cycling,” J. Mater. Res. 8(8), 1845–1852 (1993).
    [Crossref]
  38. A. Etenko, T. McKechnie, A. Shchetkovskiy, and A. Smirnov, “Oxidation-protective iridium and iridium-rhodium coatings produced by electrodeposition from molten salts,” ECS Trans. 3(14), 151–157 (2007).
  39. D. M. Broadway, J. Weimer, D. Gurgew, T. Lis, B. D. Ramsey, S. L. O’Dell, M. Gubarev, A. Ames, and R. Bruni, “Achieving zero stress in iridium, chromium, and nickel thin films,” Proc. SPIE 9510, 95100E (2015).

2018 (1)

C. T. DeRoo, R. Allured, V. Cotroneo, E. N. Hertz, V. Marquez, P. B. Reid, E. D. Schwartz, A. A. Vikhlinin, S. Trolier-McKinstry, J. Walker, T. N. Jackson, T. Liu, and M. Tendulkar, “Deterministic figure correction of piezoelectrically adjustable slumped glass optics,” J. Astron. Telesc. Instrum. Syst. 4(1), 019004 (2018).
[Crossref]

2017 (3)

V. Cotroneo, R. Allured, C. T. DeRoo, K. L. Gurski, V. Marquez, P. B. Reid, and E. D. Schwartz, “Thermal forming of glass substrates for adjustable optics,” Proc. SPIE 10399, 10399 (2017).

J. Walker, T. Liu, M. Tendulkar, D. Burrows, C. T. DeRoo, R. Allured, E. Hertz, V. Cotroneo, P. Reid, E. D. Schwartz, T. N. Jackson, and S. Trolier-McKinstry, “Design and fabrication of adjustable x-ray optics using piezoelectric thin films,” Proc. SPIE 10399, 103991K (2017).

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

2016 (1)

R. Allured, E. Hertz, V. Marquez, V. Cotroneo, M. Wallace, B. Salmaso, M. M. Civitani, S. Trolier-McKinstry, A. A. Vikhlinin, G. Pareschi, and P. B. Reid, “Laboratory demonstration of the piezoelectric figure correction of a cylindrical slumped glass optic,” Proc. SPIE 9905, 990554 (2016).
[Crossref]

2015 (1)

D. M. Broadway, J. Weimer, D. Gurgew, T. Lis, B. D. Ramsey, S. L. O’Dell, M. Gubarev, A. Ames, and R. Bruni, “Achieving zero stress in iridium, chromium, and nickel thin films,” Proc. SPIE 9510, 95100E (2015).

2014 (2)

D. A. Schwartz, R. Allured, J. A. Bookbinder, V. Cotroneo, W. R. Forman, M. D. Freeman, S. McMuldroch, P. B. Reid, H. Tananbaum, A. A. Vikhlinin, R. L. Johnson-Wilke, S. E. Trolier-McKinstry, R. T. H. Wilke, T. N. Jackson, J. I. Ramirez, M. V. Gubarev, J. J. Kolodziejczak, S. L. O’Dell, and B. D. Ramsey, “Technology Requirements for a Square Meter, Arcsecond Resolution Telescope for X-Rays: The SMART-X Mission,” Proc. SPIE 9208, 920806 (2014).

R. T. H. Wilke, R. L. Johnson-Wilke, V. Cotroneo, S. McMuldroch, P. B. Reid, D. A. Schwartz, and S. Trolier-McKinstry, “Fabrication of adjustable cylindrical mirror segments for the smart-X telescope,” IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control 61(8), 1386–1392 (2014).
[Crossref]

2013 (1)

2012 (2)

C. B. Yeager and S. Trolier-McKinstry, “Epitaxial Pb(Zrx,Ti1-x)O3 (0.30<x<0.63) films on (100)MgO substrates for energy harvesting applications,” J. Appl. Phys. 112(074107), 1–7 (2012).
[Crossref]

R. L. Johnson-Wilke, R. T. H. Wilke, V. Cotroneo, W. N. Davis, P. B. Reid, D. A. Schwartz, and S. Trolier-McKinstry, “Improving yield of PZT piezoelectric devices on glass substrates,” Proc. SPIE 8503, 85030A (2012).
[Crossref]

2009 (2)

P. Muralt, R. G. Polcawich, and S. Trolier-McKinstry, “Piezoelectric thin films for sensors, actuators, and energy harvesting,” MRS Bull. 34(9), 658–664 (2009).
[Crossref]

G. C. A. M. Janssen, M. M. Abdalla, F. van Keulen, B. R. Pujada, and B. van Venrooy, “Celebrating the 100th anniversary of the Stoney equation for film stress: Developments from polycrystalline steel strips to single crystal silicon wafers,” Thin Solid Films 517(6), 1858–1867 (2009).
[Crossref]

2007 (3)

N. Izyumskaya, Y.-I. Alivov, S.-J. Cho, H. Morkoc, H. Lee, and Y.-S. Kang, “Processing, structure, properties, and applications pf PZT thin films,” Crit. Rev. Solid State Mater. Sci. 32(3-4), 111–202 (2007).
[Crossref]

V. Stancu, M. Lisca, I. Boerasu, L. Pintilie, and M. Kosec, “Effects of porosity on ferroelectric properties of Pb(Zr0.2Ti0.8)O3 films,” Thin Solid Films 515(16), 6557–6561 (2007).
[Crossref]

A. Etenko, T. McKechnie, A. Shchetkovskiy, and A. Smirnov, “Oxidation-protective iridium and iridium-rhodium coatings produced by electrodeposition from molten salts,” ECS Trans. 3(14), 151–157 (2007).

2005 (1)

R. J. Ong, D. A. Payne, and N. R. Sottos, “Processing effects for integrated PZT: Residual stress, thickness, and dielectric properties,” J. Am. Ceram. Soc. 88(10), 2839–2847 (2005).
[Crossref]

2004 (2)

S. C. Tan, Y. C. Chan, Y. W. Chiu, and C. W. Tan, “Thermal stability performance of anisotropic conductive film at different bonding temperatures,” Microelectron. Reliab. 44(3), 495–503 (2004).
[Crossref]

S. Trolier-McKinstry and P. Muralt, “Thin film piezoelectrics for MEMS,” J. Electroceram. 12(1), 7–17 (2004).
[Crossref]

2003 (1)

H. Liu, B. Lu, Y. Ding, Y. Tang, and D. Li, “A motor-piezo actuator for nano-scale positioning based on dual servo loop and nonlinearity compensation,” J. Micromech. Microeng. 13(2), 295–299 (2003).
[Crossref]

2001 (1)

S.-M. Chang, J.-H. Jou, A. Hsieh, T.-H. Chen, C.-Y. Chang, Y.-H. Wang, and C.-M. Huang, “Characteristic study of anisotropic-conductive film for chip-on-film packaging,” Microelectron. Reliab. 41(12), 2001–2009 (2001).
[Crossref]

1999 (2)

B. Noheda, D. E. Cox, G. Shirane, J. A. Gonzalo, L. E. Cross, and S.-E. Park, “A monoclinic ferroelectric phase in the Pb(Zr1-xTix)O3 solid solution,” Appl. Phys. Lett. 74(14), 2059–2061 (1999).
[Crossref]

H. Gao, L. Zhang, W. D. Nix, C.V. Thompson, and E. Arzt, “Crack-line grain-boundary diffusion wedges in thin metal films,” Acta Mater. 47(10), 2865–2878 (1999).
[Crossref]

1998 (1)

J. F. Shepard, P. J. Moses, and S. Trolier-McKinstry, “The wafer flexure technique for the determination of the transverse piezoelectric coefficient (d31) of PZT thin films,” Sens. Actuators A Phys. 71(1-2), 133–138 (1998).
[Crossref]

1997 (1)

S. S. Sengupta, S. M. Park, D. A. Payne, and L. H. Allen, “Origins and evolution of stress development in sol-gel derived thin layers and multideposited coatings of lead titanate,” J. Appl. Phys. 83(4), 2291–2296 (1997).
[Crossref]

1996 (1)

B. A. Tuttle and R. W. Schwartz, “Solution deposition of ferroelectric thin films,” MRS Bull. 21(6), 49–54 (1996).
[Crossref]

1995 (2)

G. A. C. M. Spierings, G. J. M. Dormans, W. G. J. Moors, M. J. E. Ulenaers, and P. K. Larsen, “Stress in Pt/Pb(Zr,Ti)O3/Pt thin-film stacks for integrated ferroelectric capacitors,” J. Appl. Phys. 78(3), 1926–1933 (1995).
[Crossref]

G. Fox, S. Trolier-McKinstry, S. B. Krupanidhi, and L. M. Casas, “Pt/Ti/SiO2/Si substrates,” J. Mater. Res. 10(06), 1508–1515 (1995).
[Crossref]

1994 (1)

G. Carter, “Peening in ion-assisted thin-film deposition: a generalized model,” J. Phys. D Appl. Phys. 27(5), 1046–1055 (1994).
[Crossref]

1993 (1)

M. D. Thouless, J. Gupta, and J. M. E. Harper, “Stress development and relaxation in copper films during thermal cycling,” J. Mater. Res. 8(8), 1845–1852 (1993).
[Crossref]

1987 (1)

H. Windischmann, “An intrinsic stress scaling law for polycrystalline thin films prepared by ion beam sputtering,” J. Appl. Phys. 62(5), 1800–1807 (1987).
[Crossref]

1986 (1)

J. A. Thornton, “The microstructure of sputter-deposited coatings,” J. Vac. Sci. Technol. A 4(6), 3059–3065 (1986).
[Crossref]

1974 (1)

J. A. Thornton, “Influence of apparatus geometry and deposition conditions on the structure and topography of thick sputtered coatings,” J. Vac. Sci. Technol. 11(4), 666–670 (1974).
[Crossref]

Abdalla, M. M.

G. C. A. M. Janssen, M. M. Abdalla, F. van Keulen, B. R. Pujada, and B. van Venrooy, “Celebrating the 100th anniversary of the Stoney equation for film stress: Developments from polycrystalline steel strips to single crystal silicon wafers,” Thin Solid Films 517(6), 1858–1867 (2009).
[Crossref]

Alivov, Y.-I.

N. Izyumskaya, Y.-I. Alivov, S.-J. Cho, H. Morkoc, H. Lee, and Y.-S. Kang, “Processing, structure, properties, and applications pf PZT thin films,” Crit. Rev. Solid State Mater. Sci. 32(3-4), 111–202 (2007).
[Crossref]

Allen, L. H.

S. S. Sengupta, S. M. Park, D. A. Payne, and L. H. Allen, “Origins and evolution of stress development in sol-gel derived thin layers and multideposited coatings of lead titanate,” J. Appl. Phys. 83(4), 2291–2296 (1997).
[Crossref]

Allured, R.

C. T. DeRoo, R. Allured, V. Cotroneo, E. N. Hertz, V. Marquez, P. B. Reid, E. D. Schwartz, A. A. Vikhlinin, S. Trolier-McKinstry, J. Walker, T. N. Jackson, T. Liu, and M. Tendulkar, “Deterministic figure correction of piezoelectrically adjustable slumped glass optics,” J. Astron. Telesc. Instrum. Syst. 4(1), 019004 (2018).
[Crossref]

J. Walker, T. Liu, M. Tendulkar, D. Burrows, C. T. DeRoo, R. Allured, E. Hertz, V. Cotroneo, P. Reid, E. D. Schwartz, T. N. Jackson, and S. Trolier-McKinstry, “Design and fabrication of adjustable x-ray optics using piezoelectric thin films,” Proc. SPIE 10399, 103991K (2017).

V. Cotroneo, R. Allured, C. T. DeRoo, K. L. Gurski, V. Marquez, P. B. Reid, and E. D. Schwartz, “Thermal forming of glass substrates for adjustable optics,” Proc. SPIE 10399, 10399 (2017).

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

R. Allured, E. Hertz, V. Marquez, V. Cotroneo, M. Wallace, B. Salmaso, M. M. Civitani, S. Trolier-McKinstry, A. A. Vikhlinin, G. Pareschi, and P. B. Reid, “Laboratory demonstration of the piezoelectric figure correction of a cylindrical slumped glass optic,” Proc. SPIE 9905, 990554 (2016).
[Crossref]

D. A. Schwartz, R. Allured, J. A. Bookbinder, V. Cotroneo, W. R. Forman, M. D. Freeman, S. McMuldroch, P. B. Reid, H. Tananbaum, A. A. Vikhlinin, R. L. Johnson-Wilke, S. E. Trolier-McKinstry, R. T. H. Wilke, T. N. Jackson, J. I. Ramirez, M. V. Gubarev, J. J. Kolodziejczak, S. L. O’Dell, and B. D. Ramsey, “Technology Requirements for a Square Meter, Arcsecond Resolution Telescope for X-Rays: The SMART-X Mission,” Proc. SPIE 9208, 920806 (2014).

Ames, A.

D. M. Broadway, J. Weimer, D. Gurgew, T. Lis, B. D. Ramsey, S. L. O’Dell, M. Gubarev, A. Ames, and R. Bruni, “Achieving zero stress in iridium, chromium, and nickel thin films,” Proc. SPIE 9510, 95100E (2015).

Arzt, E.

H. Gao, L. Zhang, W. D. Nix, C.V. Thompson, and E. Arzt, “Crack-line grain-boundary diffusion wedges in thin metal films,” Acta Mater. 47(10), 2865–2878 (1999).
[Crossref]

Bandler, S. R.

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

Basso, S.

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

Bautz, M. W.

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

Baysinger, M. F.

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

Biskach, M. P.

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

Boerasu, I.

V. Stancu, M. Lisca, I. Boerasu, L. Pintilie, and M. Kosec, “Effects of porosity on ferroelectric properties of Pb(Zr0.2Ti0.8)O3 films,” Thin Solid Films 515(16), 6557–6561 (2007).
[Crossref]

Bookbinder, J. A.

D. A. Schwartz, R. Allured, J. A. Bookbinder, V. Cotroneo, W. R. Forman, M. D. Freeman, S. McMuldroch, P. B. Reid, H. Tananbaum, A. A. Vikhlinin, R. L. Johnson-Wilke, S. E. Trolier-McKinstry, R. T. H. Wilke, T. N. Jackson, J. I. Ramirez, M. V. Gubarev, J. J. Kolodziejczak, S. L. O’Dell, and B. D. Ramsey, “Technology Requirements for a Square Meter, Arcsecond Resolution Telescope for X-Rays: The SMART-X Mission,” Proc. SPIE 9208, 920806 (2014).

Boswell, T. M.

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

Broadway, D. M.

D. M. Broadway, J. Weimer, D. Gurgew, T. Lis, B. D. Ramsey, S. L. O’Dell, M. Gubarev, A. Ames, and R. Bruni, “Achieving zero stress in iridium, chromium, and nickel thin films,” Proc. SPIE 9510, 95100E (2015).

Bruni, R.

D. M. Broadway, J. Weimer, D. Gurgew, T. Lis, B. D. Ramsey, S. L. O’Dell, M. Gubarev, A. Ames, and R. Bruni, “Achieving zero stress in iridium, chromium, and nickel thin films,” Proc. SPIE 9510, 95100E (2015).

Burrows, D.

J. Walker, T. Liu, M. Tendulkar, D. Burrows, C. T. DeRoo, R. Allured, E. Hertz, V. Cotroneo, P. Reid, E. D. Schwartz, T. N. Jackson, and S. Trolier-McKinstry, “Design and fabrication of adjustable x-ray optics using piezoelectric thin films,” Proc. SPIE 10399, 103991K (2017).

Capizzo, P. D.

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

Carter, G.

G. Carter, “Peening in ion-assisted thin-film deposition: a generalized model,” J. Phys. D Appl. Phys. 27(5), 1046–1055 (1994).
[Crossref]

Casas, L. M.

G. Fox, S. Trolier-McKinstry, S. B. Krupanidhi, and L. M. Casas, “Pt/Ti/SiO2/Si substrates,” J. Mater. Res. 10(06), 1508–1515 (1995).
[Crossref]

Chan, K.-W.

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

Chan, Y. C.

S. C. Tan, Y. C. Chan, Y. W. Chiu, and C. W. Tan, “Thermal stability performance of anisotropic conductive film at different bonding temperatures,” Microelectron. Reliab. 44(3), 495–503 (2004).
[Crossref]

Chang, C.-Y.

S.-M. Chang, J.-H. Jou, A. Hsieh, T.-H. Chen, C.-Y. Chang, Y.-H. Wang, and C.-M. Huang, “Characteristic study of anisotropic-conductive film for chip-on-film packaging,” Microelectron. Reliab. 41(12), 2001–2009 (2001).
[Crossref]

Chang, S.-M.

S.-M. Chang, J.-H. Jou, A. Hsieh, T.-H. Chen, C.-Y. Chang, Y.-H. Wang, and C.-M. Huang, “Characteristic study of anisotropic-conductive film for chip-on-film packaging,” Microelectron. Reliab. 41(12), 2001–2009 (2001).
[Crossref]

Chen, T.-H.

S.-M. Chang, J.-H. Jou, A. Hsieh, T.-H. Chen, C.-Y. Chang, Y.-H. Wang, and C.-M. Huang, “Characteristic study of anisotropic-conductive film for chip-on-film packaging,” Microelectron. Reliab. 41(12), 2001–2009 (2001).
[Crossref]

Chiu, Y. W.

S. C. Tan, Y. C. Chan, Y. W. Chiu, and C. W. Tan, “Thermal stability performance of anisotropic conductive film at different bonding temperatures,” Microelectron. Reliab. 44(3), 495–503 (2004).
[Crossref]

Cho, S.-J.

N. Izyumskaya, Y.-I. Alivov, S.-J. Cho, H. Morkoc, H. Lee, and Y.-S. Kang, “Processing, structure, properties, and applications pf PZT thin films,” Crit. Rev. Solid State Mater. Sci. 32(3-4), 111–202 (2007).
[Crossref]

Civitani, M. M.

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

R. Allured, E. Hertz, V. Marquez, V. Cotroneo, M. Wallace, B. Salmaso, M. M. Civitani, S. Trolier-McKinstry, A. A. Vikhlinin, G. Pareschi, and P. B. Reid, “Laboratory demonstration of the piezoelectric figure correction of a cylindrical slumped glass optic,” Proc. SPIE 9905, 990554 (2016).
[Crossref]

Cohen, L. M.

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

Cotroneo, V.

C. T. DeRoo, R. Allured, V. Cotroneo, E. N. Hertz, V. Marquez, P. B. Reid, E. D. Schwartz, A. A. Vikhlinin, S. Trolier-McKinstry, J. Walker, T. N. Jackson, T. Liu, and M. Tendulkar, “Deterministic figure correction of piezoelectrically adjustable slumped glass optics,” J. Astron. Telesc. Instrum. Syst. 4(1), 019004 (2018).
[Crossref]

J. Walker, T. Liu, M. Tendulkar, D. Burrows, C. T. DeRoo, R. Allured, E. Hertz, V. Cotroneo, P. Reid, E. D. Schwartz, T. N. Jackson, and S. Trolier-McKinstry, “Design and fabrication of adjustable x-ray optics using piezoelectric thin films,” Proc. SPIE 10399, 103991K (2017).

V. Cotroneo, R. Allured, C. T. DeRoo, K. L. Gurski, V. Marquez, P. B. Reid, and E. D. Schwartz, “Thermal forming of glass substrates for adjustable optics,” Proc. SPIE 10399, 10399 (2017).

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

R. Allured, E. Hertz, V. Marquez, V. Cotroneo, M. Wallace, B. Salmaso, M. M. Civitani, S. Trolier-McKinstry, A. A. Vikhlinin, G. Pareschi, and P. B. Reid, “Laboratory demonstration of the piezoelectric figure correction of a cylindrical slumped glass optic,” Proc. SPIE 9905, 990554 (2016).
[Crossref]

R. T. H. Wilke, R. L. Johnson-Wilke, V. Cotroneo, S. McMuldroch, P. B. Reid, D. A. Schwartz, and S. Trolier-McKinstry, “Fabrication of adjustable cylindrical mirror segments for the smart-X telescope,” IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control 61(8), 1386–1392 (2014).
[Crossref]

D. A. Schwartz, R. Allured, J. A. Bookbinder, V. Cotroneo, W. R. Forman, M. D. Freeman, S. McMuldroch, P. B. Reid, H. Tananbaum, A. A. Vikhlinin, R. L. Johnson-Wilke, S. E. Trolier-McKinstry, R. T. H. Wilke, T. N. Jackson, J. I. Ramirez, M. V. Gubarev, J. J. Kolodziejczak, S. L. O’Dell, and B. D. Ramsey, “Technology Requirements for a Square Meter, Arcsecond Resolution Telescope for X-Rays: The SMART-X Mission,” Proc. SPIE 9208, 920806 (2014).

R. H. T. Wilke, R. L. Johnson-Wilke, V. Cotroneo, W. N. Davis, P. B. Reid, D. A. Schwartz, and S. Trolier-McKinstry, “Sputter deposition of PZT piezoelectric films on thin glass substrates for adjustable x-ray optics,” Appl. Opt. 52(14), 3412–3419 (2013).
[Crossref] [PubMed]

R. L. Johnson-Wilke, R. T. H. Wilke, V. Cotroneo, W. N. Davis, P. B. Reid, D. A. Schwartz, and S. Trolier-McKinstry, “Improving yield of PZT piezoelectric devices on glass substrates,” Proc. SPIE 8503, 85030A (2012).
[Crossref]

Cox, D. E.

B. Noheda, D. E. Cox, G. Shirane, J. A. Gonzalo, L. E. Cross, and S.-E. Park, “A monoclinic ferroelectric phase in the Pb(Zr1-xTix)O3 solid solution,” Appl. Phys. Lett. 74(14), 2059–2061 (1999).
[Crossref]

Cross, L. E.

B. Noheda, D. E. Cox, G. Shirane, J. A. Gonzalo, L. E. Cross, and S.-E. Park, “A monoclinic ferroelectric phase in the Pb(Zr1-xTix)O3 solid solution,” Appl. Phys. Lett. 74(14), 2059–2061 (1999).
[Crossref]

Davis, J. M.

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

Davis, W. N.

R. H. T. Wilke, R. L. Johnson-Wilke, V. Cotroneo, W. N. Davis, P. B. Reid, D. A. Schwartz, and S. Trolier-McKinstry, “Sputter deposition of PZT piezoelectric films on thin glass substrates for adjustable x-ray optics,” Appl. Opt. 52(14), 3412–3419 (2013).
[Crossref] [PubMed]

R. L. Johnson-Wilke, R. T. H. Wilke, V. Cotroneo, W. N. Davis, P. B. Reid, D. A. Schwartz, and S. Trolier-McKinstry, “Improving yield of PZT piezoelectric devices on glass substrates,” Proc. SPIE 8503, 85030A (2012).
[Crossref]

DeRoo, C. T.

C. T. DeRoo, R. Allured, V. Cotroneo, E. N. Hertz, V. Marquez, P. B. Reid, E. D. Schwartz, A. A. Vikhlinin, S. Trolier-McKinstry, J. Walker, T. N. Jackson, T. Liu, and M. Tendulkar, “Deterministic figure correction of piezoelectrically adjustable slumped glass optics,” J. Astron. Telesc. Instrum. Syst. 4(1), 019004 (2018).
[Crossref]

J. Walker, T. Liu, M. Tendulkar, D. Burrows, C. T. DeRoo, R. Allured, E. Hertz, V. Cotroneo, P. Reid, E. D. Schwartz, T. N. Jackson, and S. Trolier-McKinstry, “Design and fabrication of adjustable x-ray optics using piezoelectric thin films,” Proc. SPIE 10399, 103991K (2017).

V. Cotroneo, R. Allured, C. T. DeRoo, K. L. Gurski, V. Marquez, P. B. Reid, and E. D. Schwartz, “Thermal forming of glass substrates for adjustable optics,” Proc. SPIE 10399, 10399 (2017).

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

Ding, Y.

H. Liu, B. Lu, Y. Ding, Y. Tang, and D. Li, “A motor-piezo actuator for nano-scale positioning based on dual servo loop and nonlinearity compensation,” J. Micromech. Microeng. 13(2), 295–299 (2003).
[Crossref]

DiPirro, M. J.

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

Dominguez, A.

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

Dormans, G. J. M.

G. A. C. M. Spierings, G. J. M. Dormans, W. G. J. Moors, M. J. E. Ulenaers, and P. K. Larsen, “Stress in Pt/Pb(Zr,Ti)O3/Pt thin-film stacks for integrated ferroelectric capacitors,” J. Appl. Phys. 78(3), 1926–1933 (1995).
[Crossref]

Etenko, A.

A. Etenko, T. McKechnie, A. Shchetkovskiy, and A. Smirnov, “Oxidation-protective iridium and iridium-rhodium coatings produced by electrodeposition from molten salts,” ECS Trans. 3(14), 151–157 (2007).

Fabisinski, L. L.

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

Falcone, A. D.

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

Figueroa-Feliciano, E.

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

Forman, W. R.

D. A. Schwartz, R. Allured, J. A. Bookbinder, V. Cotroneo, W. R. Forman, M. D. Freeman, S. McMuldroch, P. B. Reid, H. Tananbaum, A. A. Vikhlinin, R. L. Johnson-Wilke, S. E. Trolier-McKinstry, R. T. H. Wilke, T. N. Jackson, J. I. Ramirez, M. V. Gubarev, J. J. Kolodziejczak, S. L. O’Dell, and B. D. Ramsey, “Technology Requirements for a Square Meter, Arcsecond Resolution Telescope for X-Rays: The SMART-X Mission,” Proc. SPIE 9208, 920806 (2014).

Fox, G.

G. Fox, S. Trolier-McKinstry, S. B. Krupanidhi, and L. M. Casas, “Pt/Ti/SiO2/Si substrates,” J. Mater. Res. 10(06), 1508–1515 (1995).
[Crossref]

Freeman, M. D.

D. A. Schwartz, R. Allured, J. A. Bookbinder, V. Cotroneo, W. R. Forman, M. D. Freeman, S. McMuldroch, P. B. Reid, H. Tananbaum, A. A. Vikhlinin, R. L. Johnson-Wilke, S. E. Trolier-McKinstry, R. T. H. Wilke, T. N. Jackson, J. I. Ramirez, M. V. Gubarev, J. J. Kolodziejczak, S. L. O’Dell, and B. D. Ramsey, “Technology Requirements for a Square Meter, Arcsecond Resolution Telescope for X-Rays: The SMART-X Mission,” Proc. SPIE 9208, 920806 (2014).

Gao, H.

H. Gao, L. Zhang, W. D. Nix, C.V. Thompson, and E. Arzt, “Crack-line grain-boundary diffusion wedges in thin metal films,” Acta Mater. 47(10), 2865–2878 (1999).
[Crossref]

Garcia, J. C.

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

Gaskin, J. A.

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

Gelmis, K. E.

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

Gonzalo, J. A.

B. Noheda, D. E. Cox, G. Shirane, J. A. Gonzalo, L. E. Cross, and S.-E. Park, “A monoclinic ferroelectric phase in the Pb(Zr1-xTix)O3 solid solution,” Appl. Phys. Lett. 74(14), 2059–2061 (1999).
[Crossref]

Gubarev, M.

D. M. Broadway, J. Weimer, D. Gurgew, T. Lis, B. D. Ramsey, S. L. O’Dell, M. Gubarev, A. Ames, and R. Bruni, “Achieving zero stress in iridium, chromium, and nickel thin films,” Proc. SPIE 9510, 95100E (2015).

Gubarev, M. V.

D. A. Schwartz, R. Allured, J. A. Bookbinder, V. Cotroneo, W. R. Forman, M. D. Freeman, S. McMuldroch, P. B. Reid, H. Tananbaum, A. A. Vikhlinin, R. L. Johnson-Wilke, S. E. Trolier-McKinstry, R. T. H. Wilke, T. N. Jackson, J. I. Ramirez, M. V. Gubarev, J. J. Kolodziejczak, S. L. O’Dell, and B. D. Ramsey, “Technology Requirements for a Square Meter, Arcsecond Resolution Telescope for X-Rays: The SMART-X Mission,” Proc. SPIE 9208, 920806 (2014).

Gupta, J.

M. D. Thouless, J. Gupta, and J. M. E. Harper, “Stress development and relaxation in copper films during thermal cycling,” J. Mater. Res. 8(8), 1845–1852 (1993).
[Crossref]

Gurgew, D.

D. M. Broadway, J. Weimer, D. Gurgew, T. Lis, B. D. Ramsey, S. L. O’Dell, M. Gubarev, A. Ames, and R. Bruni, “Achieving zero stress in iridium, chromium, and nickel thin films,” Proc. SPIE 9510, 95100E (2015).

Gurski, K. L.

V. Cotroneo, R. Allured, C. T. DeRoo, K. L. Gurski, V. Marquez, P. B. Reid, and E. D. Schwartz, “Thermal forming of glass substrates for adjustable optics,” Proc. SPIE 10399, 10399 (2017).

Harper, J. M. E.

M. D. Thouless, J. Gupta, and J. M. E. Harper, “Stress development and relaxation in copper films during thermal cycling,” J. Mater. Res. 8(8), 1845–1852 (1993).
[Crossref]

Heilmann, R. K.

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

Hertz, E.

J. Walker, T. Liu, M. Tendulkar, D. Burrows, C. T. DeRoo, R. Allured, E. Hertz, V. Cotroneo, P. Reid, E. D. Schwartz, T. N. Jackson, and S. Trolier-McKinstry, “Design and fabrication of adjustable x-ray optics using piezoelectric thin films,” Proc. SPIE 10399, 103991K (2017).

R. Allured, E. Hertz, V. Marquez, V. Cotroneo, M. Wallace, B. Salmaso, M. M. Civitani, S. Trolier-McKinstry, A. A. Vikhlinin, G. Pareschi, and P. B. Reid, “Laboratory demonstration of the piezoelectric figure correction of a cylindrical slumped glass optic,” Proc. SPIE 9905, 990554 (2016).
[Crossref]

Hertz, E. N.

C. T. DeRoo, R. Allured, V. Cotroneo, E. N. Hertz, V. Marquez, P. B. Reid, E. D. Schwartz, A. A. Vikhlinin, S. Trolier-McKinstry, J. Walker, T. N. Jackson, T. Liu, and M. Tendulkar, “Deterministic figure correction of piezoelectrically adjustable slumped glass optics,” J. Astron. Telesc. Instrum. Syst. 4(1), 019004 (2018).
[Crossref]

Hopkins, R. C.

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

Hsieh, A.

S.-M. Chang, J.-H. Jou, A. Hsieh, T.-H. Chen, C.-Y. Chang, Y.-H. Wang, and C.-M. Huang, “Characteristic study of anisotropic-conductive film for chip-on-film packaging,” Microelectron. Reliab. 41(12), 2001–2009 (2001).
[Crossref]

Huang, C.-M.

S.-M. Chang, J.-H. Jou, A. Hsieh, T.-H. Chen, C.-Y. Chang, Y.-H. Wang, and C.-M. Huang, “Characteristic study of anisotropic-conductive film for chip-on-film packaging,” Microelectron. Reliab. 41(12), 2001–2009 (2001).
[Crossref]

Izyumskaya, N.

N. Izyumskaya, Y.-I. Alivov, S.-J. Cho, H. Morkoc, H. Lee, and Y.-S. Kang, “Processing, structure, properties, and applications pf PZT thin films,” Crit. Rev. Solid State Mater. Sci. 32(3-4), 111–202 (2007).
[Crossref]

Jackson, T.

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

Jackson, T. N.

C. T. DeRoo, R. Allured, V. Cotroneo, E. N. Hertz, V. Marquez, P. B. Reid, E. D. Schwartz, A. A. Vikhlinin, S. Trolier-McKinstry, J. Walker, T. N. Jackson, T. Liu, and M. Tendulkar, “Deterministic figure correction of piezoelectrically adjustable slumped glass optics,” J. Astron. Telesc. Instrum. Syst. 4(1), 019004 (2018).
[Crossref]

J. Walker, T. Liu, M. Tendulkar, D. Burrows, C. T. DeRoo, R. Allured, E. Hertz, V. Cotroneo, P. Reid, E. D. Schwartz, T. N. Jackson, and S. Trolier-McKinstry, “Design and fabrication of adjustable x-ray optics using piezoelectric thin films,” Proc. SPIE 10399, 103991K (2017).

D. A. Schwartz, R. Allured, J. A. Bookbinder, V. Cotroneo, W. R. Forman, M. D. Freeman, S. McMuldroch, P. B. Reid, H. Tananbaum, A. A. Vikhlinin, R. L. Johnson-Wilke, S. E. Trolier-McKinstry, R. T. H. Wilke, T. N. Jackson, J. I. Ramirez, M. V. Gubarev, J. J. Kolodziejczak, S. L. O’Dell, and B. D. Ramsey, “Technology Requirements for a Square Meter, Arcsecond Resolution Telescope for X-Rays: The SMART-X Mission,” Proc. SPIE 9208, 920806 (2014).

Janssen, G. C. A. M.

G. C. A. M. Janssen, M. M. Abdalla, F. van Keulen, B. R. Pujada, and B. van Venrooy, “Celebrating the 100th anniversary of the Stoney equation for film stress: Developments from polycrystalline steel strips to single crystal silicon wafers,” Thin Solid Films 517(6), 1858–1867 (2009).
[Crossref]

Johnson-Wilke, R. L.

D. A. Schwartz, R. Allured, J. A. Bookbinder, V. Cotroneo, W. R. Forman, M. D. Freeman, S. McMuldroch, P. B. Reid, H. Tananbaum, A. A. Vikhlinin, R. L. Johnson-Wilke, S. E. Trolier-McKinstry, R. T. H. Wilke, T. N. Jackson, J. I. Ramirez, M. V. Gubarev, J. J. Kolodziejczak, S. L. O’Dell, and B. D. Ramsey, “Technology Requirements for a Square Meter, Arcsecond Resolution Telescope for X-Rays: The SMART-X Mission,” Proc. SPIE 9208, 920806 (2014).

R. T. H. Wilke, R. L. Johnson-Wilke, V. Cotroneo, S. McMuldroch, P. B. Reid, D. A. Schwartz, and S. Trolier-McKinstry, “Fabrication of adjustable cylindrical mirror segments for the smart-X telescope,” IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control 61(8), 1386–1392 (2014).
[Crossref]

R. H. T. Wilke, R. L. Johnson-Wilke, V. Cotroneo, W. N. Davis, P. B. Reid, D. A. Schwartz, and S. Trolier-McKinstry, “Sputter deposition of PZT piezoelectric films on thin glass substrates for adjustable x-ray optics,” Appl. Opt. 52(14), 3412–3419 (2013).
[Crossref] [PubMed]

R. L. Johnson-Wilke, R. T. H. Wilke, V. Cotroneo, W. N. Davis, P. B. Reid, D. A. Schwartz, and S. Trolier-McKinstry, “Improving yield of PZT piezoelectric devices on glass substrates,” Proc. SPIE 8503, 85030A (2012).
[Crossref]

Jou, J.-H.

S.-M. Chang, J.-H. Jou, A. Hsieh, T.-H. Chen, C.-Y. Chang, Y.-H. Wang, and C.-M. Huang, “Characteristic study of anisotropic-conductive film for chip-on-film packaging,” Microelectron. Reliab. 41(12), 2001–2009 (2001).
[Crossref]

Kang, Y.-S.

N. Izyumskaya, Y.-I. Alivov, S.-J. Cho, H. Morkoc, H. Lee, and Y.-S. Kang, “Processing, structure, properties, and applications pf PZT thin films,” Crit. Rev. Solid State Mater. Sci. 32(3-4), 111–202 (2007).
[Crossref]

Kilaru, K.

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

Kolodziejczak, J. J.

D. A. Schwartz, R. Allured, J. A. Bookbinder, V. Cotroneo, W. R. Forman, M. D. Freeman, S. McMuldroch, P. B. Reid, H. Tananbaum, A. A. Vikhlinin, R. L. Johnson-Wilke, S. E. Trolier-McKinstry, R. T. H. Wilke, T. N. Jackson, J. I. Ramirez, M. V. Gubarev, J. J. Kolodziejczak, S. L. O’Dell, and B. D. Ramsey, “Technology Requirements for a Square Meter, Arcsecond Resolution Telescope for X-Rays: The SMART-X Mission,” Proc. SPIE 9208, 920806 (2014).

Kosec, M.

V. Stancu, M. Lisca, I. Boerasu, L. Pintilie, and M. Kosec, “Effects of porosity on ferroelectric properties of Pb(Zr0.2Ti0.8)O3 films,” Thin Solid Films 515(16), 6557–6561 (2007).
[Crossref]

Kraft, R. P.

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

Krupanidhi, S. B.

G. Fox, S. Trolier-McKinstry, S. B. Krupanidhi, and L. M. Casas, “Pt/Ti/SiO2/Si substrates,” J. Mater. Res. 10(06), 1508–1515 (1995).
[Crossref]

Larsen, P. K.

G. A. C. M. Spierings, G. J. M. Dormans, W. G. J. Moors, M. J. E. Ulenaers, and P. K. Larsen, “Stress in Pt/Pb(Zr,Ti)O3/Pt thin-film stacks for integrated ferroelectric capacitors,” J. Appl. Phys. 78(3), 1926–1933 (1995).
[Crossref]

Lee, H.

N. Izyumskaya, Y.-I. Alivov, S.-J. Cho, H. Morkoc, H. Lee, and Y.-S. Kang, “Processing, structure, properties, and applications pf PZT thin films,” Crit. Rev. Solid State Mater. Sci. 32(3-4), 111–202 (2007).
[Crossref]

Li, D.

H. Liu, B. Lu, Y. Ding, Y. Tang, and D. Li, “A motor-piezo actuator for nano-scale positioning based on dual servo loop and nonlinearity compensation,” J. Micromech. Microeng. 13(2), 295–299 (2003).
[Crossref]

Lis, T.

D. M. Broadway, J. Weimer, D. Gurgew, T. Lis, B. D. Ramsey, S. L. O’Dell, M. Gubarev, A. Ames, and R. Bruni, “Achieving zero stress in iridium, chromium, and nickel thin films,” Proc. SPIE 9510, 95100E (2015).

Lisca, M.

V. Stancu, M. Lisca, I. Boerasu, L. Pintilie, and M. Kosec, “Effects of porosity on ferroelectric properties of Pb(Zr0.2Ti0.8)O3 films,” Thin Solid Films 515(16), 6557–6561 (2007).
[Crossref]

Liu, H.

H. Liu, B. Lu, Y. Ding, Y. Tang, and D. Li, “A motor-piezo actuator for nano-scale positioning based on dual servo loop and nonlinearity compensation,” J. Micromech. Microeng. 13(2), 295–299 (2003).
[Crossref]

Liu, T.

C. T. DeRoo, R. Allured, V. Cotroneo, E. N. Hertz, V. Marquez, P. B. Reid, E. D. Schwartz, A. A. Vikhlinin, S. Trolier-McKinstry, J. Walker, T. N. Jackson, T. Liu, and M. Tendulkar, “Deterministic figure correction of piezoelectrically adjustable slumped glass optics,” J. Astron. Telesc. Instrum. Syst. 4(1), 019004 (2018).
[Crossref]

J. Walker, T. Liu, M. Tendulkar, D. Burrows, C. T. DeRoo, R. Allured, E. Hertz, V. Cotroneo, P. Reid, E. D. Schwartz, T. N. Jackson, and S. Trolier-McKinstry, “Design and fabrication of adjustable x-ray optics using piezoelectric thin films,” Proc. SPIE 10399, 103991K (2017).

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

Lu, B.

H. Liu, B. Lu, Y. Ding, Y. Tang, and D. Li, “A motor-piezo actuator for nano-scale positioning based on dual servo loop and nonlinearity compensation,” J. Micromech. Microeng. 13(2), 295–299 (2003).
[Crossref]

Marquez, V.

C. T. DeRoo, R. Allured, V. Cotroneo, E. N. Hertz, V. Marquez, P. B. Reid, E. D. Schwartz, A. A. Vikhlinin, S. Trolier-McKinstry, J. Walker, T. N. Jackson, T. Liu, and M. Tendulkar, “Deterministic figure correction of piezoelectrically adjustable slumped glass optics,” J. Astron. Telesc. Instrum. Syst. 4(1), 019004 (2018).
[Crossref]

V. Cotroneo, R. Allured, C. T. DeRoo, K. L. Gurski, V. Marquez, P. B. Reid, and E. D. Schwartz, “Thermal forming of glass substrates for adjustable optics,” Proc. SPIE 10399, 10399 (2017).

R. Allured, E. Hertz, V. Marquez, V. Cotroneo, M. Wallace, B. Salmaso, M. M. Civitani, S. Trolier-McKinstry, A. A. Vikhlinin, G. Pareschi, and P. B. Reid, “Laboratory demonstration of the piezoelectric figure correction of a cylindrical slumped glass optic,” Proc. SPIE 9905, 990554 (2016).
[Crossref]

McCarley, K. S.

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

McClelland, R. S.

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

McEntaffer, R. L.

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

McKechnie, T.

A. Etenko, T. McKechnie, A. Shchetkovskiy, and A. Smirnov, “Oxidation-protective iridium and iridium-rhodium coatings produced by electrodeposition from molten salts,” ECS Trans. 3(14), 151–157 (2007).

McMuldroch, S.

R. T. H. Wilke, R. L. Johnson-Wilke, V. Cotroneo, S. McMuldroch, P. B. Reid, D. A. Schwartz, and S. Trolier-McKinstry, “Fabrication of adjustable cylindrical mirror segments for the smart-X telescope,” IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control 61(8), 1386–1392 (2014).
[Crossref]

D. A. Schwartz, R. Allured, J. A. Bookbinder, V. Cotroneo, W. R. Forman, M. D. Freeman, S. McMuldroch, P. B. Reid, H. Tananbaum, A. A. Vikhlinin, R. L. Johnson-Wilke, S. E. Trolier-McKinstry, R. T. H. Wilke, T. N. Jackson, J. I. Ramirez, M. V. Gubarev, J. J. Kolodziejczak, S. L. O’Dell, and B. D. Ramsey, “Technology Requirements for a Square Meter, Arcsecond Resolution Telescope for X-Rays: The SMART-X Mission,” Proc. SPIE 9208, 920806 (2014).

Moors, W. G. J.

G. A. C. M. Spierings, G. J. M. Dormans, W. G. J. Moors, M. J. E. Ulenaers, and P. K. Larsen, “Stress in Pt/Pb(Zr,Ti)O3/Pt thin-film stacks for integrated ferroelectric capacitors,” J. Appl. Phys. 78(3), 1926–1933 (1995).
[Crossref]

Morkoc, H.

N. Izyumskaya, Y.-I. Alivov, S.-J. Cho, H. Morkoc, H. Lee, and Y.-S. Kang, “Processing, structure, properties, and applications pf PZT thin films,” Crit. Rev. Solid State Mater. Sci. 32(3-4), 111–202 (2007).
[Crossref]

Moses, P. J.

J. F. Shepard, P. J. Moses, and S. Trolier-McKinstry, “The wafer flexure technique for the determination of the transverse piezoelectric coefficient (d31) of PZT thin films,” Sens. Actuators A Phys. 71(1-2), 133–138 (1998).
[Crossref]

Mulqueen, J. A.

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

Muralt, P.

P. Muralt, R. G. Polcawich, and S. Trolier-McKinstry, “Piezoelectric thin films for sensors, actuators, and energy harvesting,” MRS Bull. 34(9), 658–664 (2009).
[Crossref]

S. Trolier-McKinstry and P. Muralt, “Thin film piezoelectrics for MEMS,” J. Electroceram. 12(1), 7–17 (2004).
[Crossref]

Nix, W. D.

H. Gao, L. Zhang, W. D. Nix, C.V. Thompson, and E. Arzt, “Crack-line grain-boundary diffusion wedges in thin metal films,” Acta Mater. 47(10), 2865–2878 (1999).
[Crossref]

Noheda, B.

B. Noheda, D. E. Cox, G. Shirane, J. A. Gonzalo, L. E. Cross, and S.-E. Park, “A monoclinic ferroelectric phase in the Pb(Zr1-xTix)O3 solid solution,” Appl. Phys. Lett. 74(14), 2059–2061 (1999).
[Crossref]

O’Dell, S. L.

D. M. Broadway, J. Weimer, D. Gurgew, T. Lis, B. D. Ramsey, S. L. O’Dell, M. Gubarev, A. Ames, and R. Bruni, “Achieving zero stress in iridium, chromium, and nickel thin films,” Proc. SPIE 9510, 95100E (2015).

D. A. Schwartz, R. Allured, J. A. Bookbinder, V. Cotroneo, W. R. Forman, M. D. Freeman, S. McMuldroch, P. B. Reid, H. Tananbaum, A. A. Vikhlinin, R. L. Johnson-Wilke, S. E. Trolier-McKinstry, R. T. H. Wilke, T. N. Jackson, J. I. Ramirez, M. V. Gubarev, J. J. Kolodziejczak, S. L. O’Dell, and B. D. Ramsey, “Technology Requirements for a Square Meter, Arcsecond Resolution Telescope for X-Rays: The SMART-X Mission,” Proc. SPIE 9208, 920806 (2014).

Ong, R. J.

R. J. Ong, D. A. Payne, and N. R. Sottos, “Processing effects for integrated PZT: Residual stress, thickness, and dielectric properties,” J. Am. Ceram. Soc. 88(10), 2839–2847 (2005).
[Crossref]

Özel, F.

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

Paik, K.-W.

M.-J. Yim and K.-W. Paik, “Design and understanding of anisotropic conductive films (ACFs) for LCD packaging,” in Proc. IEEE Polymer Electronics Packaging (IEEE, 1997), paper 5920142.

Pareschi, G.

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

R. Allured, E. Hertz, V. Marquez, V. Cotroneo, M. Wallace, B. Salmaso, M. M. Civitani, S. Trolier-McKinstry, A. A. Vikhlinin, G. Pareschi, and P. B. Reid, “Laboratory demonstration of the piezoelectric figure correction of a cylindrical slumped glass optic,” Proc. SPIE 9905, 990554 (2016).
[Crossref]

Park, S. M.

S. S. Sengupta, S. M. Park, D. A. Payne, and L. H. Allen, “Origins and evolution of stress development in sol-gel derived thin layers and multideposited coatings of lead titanate,” J. Appl. Phys. 83(4), 2291–2296 (1997).
[Crossref]

Park, S.-E.

B. Noheda, D. E. Cox, G. Shirane, J. A. Gonzalo, L. E. Cross, and S.-E. Park, “A monoclinic ferroelectric phase in the Pb(Zr1-xTix)O3 solid solution,” Appl. Phys. Lett. 74(14), 2059–2061 (1999).
[Crossref]

Payne, D. A.

R. J. Ong, D. A. Payne, and N. R. Sottos, “Processing effects for integrated PZT: Residual stress, thickness, and dielectric properties,” J. Am. Ceram. Soc. 88(10), 2839–2847 (2005).
[Crossref]

S. S. Sengupta, S. M. Park, D. A. Payne, and L. H. Allen, “Origins and evolution of stress development in sol-gel derived thin layers and multideposited coatings of lead titanate,” J. Appl. Phys. 83(4), 2291–2296 (1997).
[Crossref]

Pintilie, L.

V. Stancu, M. Lisca, I. Boerasu, L. Pintilie, and M. Kosec, “Effects of porosity on ferroelectric properties of Pb(Zr0.2Ti0.8)O3 films,” Thin Solid Films 515(16), 6557–6561 (2007).
[Crossref]

Polcawich, R. G.

P. Muralt, R. G. Polcawich, and S. Trolier-McKinstry, “Piezoelectric thin films for sensors, actuators, and energy harvesting,” MRS Bull. 34(9), 658–664 (2009).
[Crossref]

Pujada, B. R.

G. C. A. M. Janssen, M. M. Abdalla, F. van Keulen, B. R. Pujada, and B. van Venrooy, “Celebrating the 100th anniversary of the Stoney equation for film stress: Developments from polycrystalline steel strips to single crystal silicon wafers,” Thin Solid Films 517(6), 1858–1867 (2009).
[Crossref]

Ramirez, J. I.

D. A. Schwartz, R. Allured, J. A. Bookbinder, V. Cotroneo, W. R. Forman, M. D. Freeman, S. McMuldroch, P. B. Reid, H. Tananbaum, A. A. Vikhlinin, R. L. Johnson-Wilke, S. E. Trolier-McKinstry, R. T. H. Wilke, T. N. Jackson, J. I. Ramirez, M. V. Gubarev, J. J. Kolodziejczak, S. L. O’Dell, and B. D. Ramsey, “Technology Requirements for a Square Meter, Arcsecond Resolution Telescope for X-Rays: The SMART-X Mission,” Proc. SPIE 9208, 920806 (2014).

Ramsey, B. D.

D. M. Broadway, J. Weimer, D. Gurgew, T. Lis, B. D. Ramsey, S. L. O’Dell, M. Gubarev, A. Ames, and R. Bruni, “Achieving zero stress in iridium, chromium, and nickel thin films,” Proc. SPIE 9510, 95100E (2015).

D. A. Schwartz, R. Allured, J. A. Bookbinder, V. Cotroneo, W. R. Forman, M. D. Freeman, S. McMuldroch, P. B. Reid, H. Tananbaum, A. A. Vikhlinin, R. L. Johnson-Wilke, S. E. Trolier-McKinstry, R. T. H. Wilke, T. N. Jackson, J. I. Ramirez, M. V. Gubarev, J. J. Kolodziejczak, S. L. O’Dell, and B. D. Ramsey, “Technology Requirements for a Square Meter, Arcsecond Resolution Telescope for X-Rays: The SMART-X Mission,” Proc. SPIE 9208, 920806 (2014).

Reid, P.

J. Walker, T. Liu, M. Tendulkar, D. Burrows, C. T. DeRoo, R. Allured, E. Hertz, V. Cotroneo, P. Reid, E. D. Schwartz, T. N. Jackson, and S. Trolier-McKinstry, “Design and fabrication of adjustable x-ray optics using piezoelectric thin films,” Proc. SPIE 10399, 103991K (2017).

Reid, P. B.

C. T. DeRoo, R. Allured, V. Cotroneo, E. N. Hertz, V. Marquez, P. B. Reid, E. D. Schwartz, A. A. Vikhlinin, S. Trolier-McKinstry, J. Walker, T. N. Jackson, T. Liu, and M. Tendulkar, “Deterministic figure correction of piezoelectrically adjustable slumped glass optics,” J. Astron. Telesc. Instrum. Syst. 4(1), 019004 (2018).
[Crossref]

V. Cotroneo, R. Allured, C. T. DeRoo, K. L. Gurski, V. Marquez, P. B. Reid, and E. D. Schwartz, “Thermal forming of glass substrates for adjustable optics,” Proc. SPIE 10399, 10399 (2017).

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

R. Allured, E. Hertz, V. Marquez, V. Cotroneo, M. Wallace, B. Salmaso, M. M. Civitani, S. Trolier-McKinstry, A. A. Vikhlinin, G. Pareschi, and P. B. Reid, “Laboratory demonstration of the piezoelectric figure correction of a cylindrical slumped glass optic,” Proc. SPIE 9905, 990554 (2016).
[Crossref]

R. T. H. Wilke, R. L. Johnson-Wilke, V. Cotroneo, S. McMuldroch, P. B. Reid, D. A. Schwartz, and S. Trolier-McKinstry, “Fabrication of adjustable cylindrical mirror segments for the smart-X telescope,” IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control 61(8), 1386–1392 (2014).
[Crossref]

D. A. Schwartz, R. Allured, J. A. Bookbinder, V. Cotroneo, W. R. Forman, M. D. Freeman, S. McMuldroch, P. B. Reid, H. Tananbaum, A. A. Vikhlinin, R. L. Johnson-Wilke, S. E. Trolier-McKinstry, R. T. H. Wilke, T. N. Jackson, J. I. Ramirez, M. V. Gubarev, J. J. Kolodziejczak, S. L. O’Dell, and B. D. Ramsey, “Technology Requirements for a Square Meter, Arcsecond Resolution Telescope for X-Rays: The SMART-X Mission,” Proc. SPIE 9208, 920806 (2014).

R. H. T. Wilke, R. L. Johnson-Wilke, V. Cotroneo, W. N. Davis, P. B. Reid, D. A. Schwartz, and S. Trolier-McKinstry, “Sputter deposition of PZT piezoelectric films on thin glass substrates for adjustable x-ray optics,” Appl. Opt. 52(14), 3412–3419 (2013).
[Crossref] [PubMed]

R. L. Johnson-Wilke, R. T. H. Wilke, V. Cotroneo, W. N. Davis, P. B. Reid, D. A. Schwartz, and S. Trolier-McKinstry, “Improving yield of PZT piezoelectric devices on glass substrates,” Proc. SPIE 8503, 85030A (2012).
[Crossref]

Riveros, R. E.

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

Rodriguez, M. A.

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

Rowe, J. W.

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

Saha, T. T.

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

Salmaso, B.

R. Allured, E. Hertz, V. Marquez, V. Cotroneo, M. Wallace, B. Salmaso, M. M. Civitani, S. Trolier-McKinstry, A. A. Vikhlinin, G. Pareschi, and P. B. Reid, “Laboratory demonstration of the piezoelectric figure correction of a cylindrical slumped glass optic,” Proc. SPIE 9905, 990554 (2016).
[Crossref]

Schattenburg, M. L.

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

Schnell, A. R.

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

Schwartz, D. A.

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

D. A. Schwartz, R. Allured, J. A. Bookbinder, V. Cotroneo, W. R. Forman, M. D. Freeman, S. McMuldroch, P. B. Reid, H. Tananbaum, A. A. Vikhlinin, R. L. Johnson-Wilke, S. E. Trolier-McKinstry, R. T. H. Wilke, T. N. Jackson, J. I. Ramirez, M. V. Gubarev, J. J. Kolodziejczak, S. L. O’Dell, and B. D. Ramsey, “Technology Requirements for a Square Meter, Arcsecond Resolution Telescope for X-Rays: The SMART-X Mission,” Proc. SPIE 9208, 920806 (2014).

R. T. H. Wilke, R. L. Johnson-Wilke, V. Cotroneo, S. McMuldroch, P. B. Reid, D. A. Schwartz, and S. Trolier-McKinstry, “Fabrication of adjustable cylindrical mirror segments for the smart-X telescope,” IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control 61(8), 1386–1392 (2014).
[Crossref]

R. H. T. Wilke, R. L. Johnson-Wilke, V. Cotroneo, W. N. Davis, P. B. Reid, D. A. Schwartz, and S. Trolier-McKinstry, “Sputter deposition of PZT piezoelectric films on thin glass substrates for adjustable x-ray optics,” Appl. Opt. 52(14), 3412–3419 (2013).
[Crossref] [PubMed]

R. L. Johnson-Wilke, R. T. H. Wilke, V. Cotroneo, W. N. Davis, P. B. Reid, D. A. Schwartz, and S. Trolier-McKinstry, “Improving yield of PZT piezoelectric devices on glass substrates,” Proc. SPIE 8503, 85030A (2012).
[Crossref]

Schwartz, E. D.

C. T. DeRoo, R. Allured, V. Cotroneo, E. N. Hertz, V. Marquez, P. B. Reid, E. D. Schwartz, A. A. Vikhlinin, S. Trolier-McKinstry, J. Walker, T. N. Jackson, T. Liu, and M. Tendulkar, “Deterministic figure correction of piezoelectrically adjustable slumped glass optics,” J. Astron. Telesc. Instrum. Syst. 4(1), 019004 (2018).
[Crossref]

J. Walker, T. Liu, M. Tendulkar, D. Burrows, C. T. DeRoo, R. Allured, E. Hertz, V. Cotroneo, P. Reid, E. D. Schwartz, T. N. Jackson, and S. Trolier-McKinstry, “Design and fabrication of adjustable x-ray optics using piezoelectric thin films,” Proc. SPIE 10399, 103991K (2017).

V. Cotroneo, R. Allured, C. T. DeRoo, K. L. Gurski, V. Marquez, P. B. Reid, and E. D. Schwartz, “Thermal forming of glass substrates for adjustable optics,” Proc. SPIE 10399, 10399 (2017).

Schwartz, R. W.

B. A. Tuttle and R. W. Schwartz, “Solution deposition of ferroelectric thin films,” MRS Bull. 21(6), 49–54 (1996).
[Crossref]

Sengupta, S. S.

S. S. Sengupta, S. M. Park, D. A. Payne, and L. H. Allen, “Origins and evolution of stress development in sol-gel derived thin layers and multideposited coatings of lead titanate,” J. Appl. Phys. 83(4), 2291–2296 (1997).
[Crossref]

Shchetkovskiy, A.

A. Etenko, T. McKechnie, A. Shchetkovskiy, and A. Smirnov, “Oxidation-protective iridium and iridium-rhodium coatings produced by electrodeposition from molten salts,” ECS Trans. 3(14), 151–157 (2007).

Shepard, J. F.

J. F. Shepard, P. J. Moses, and S. Trolier-McKinstry, “The wafer flexure technique for the determination of the transverse piezoelectric coefficient (d31) of PZT thin films,” Sens. Actuators A Phys. 71(1-2), 133–138 (1998).
[Crossref]

Shirane, G.

B. Noheda, D. E. Cox, G. Shirane, J. A. Gonzalo, L. E. Cross, and S.-E. Park, “A monoclinic ferroelectric phase in the Pb(Zr1-xTix)O3 solid solution,” Appl. Phys. Lett. 74(14), 2059–2061 (1999).
[Crossref]

Smirnov, A.

A. Etenko, T. McKechnie, A. Shchetkovskiy, and A. Smirnov, “Oxidation-protective iridium and iridium-rhodium coatings produced by electrodeposition from molten salts,” ECS Trans. 3(14), 151–157 (2007).

Solly, P. M.

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

Sottos, N. R.

R. J. Ong, D. A. Payne, and N. R. Sottos, “Processing effects for integrated PZT: Residual stress, thickness, and dielectric properties,” J. Am. Ceram. Soc. 88(10), 2839–2847 (2005).
[Crossref]

Spierings, G. A. C. M.

G. A. C. M. Spierings, G. J. M. Dormans, W. G. J. Moors, M. J. E. Ulenaers, and P. K. Larsen, “Stress in Pt/Pb(Zr,Ti)O3/Pt thin-film stacks for integrated ferroelectric capacitors,” J. Appl. Phys. 78(3), 1926–1933 (1995).
[Crossref]

Stancu, V.

V. Stancu, M. Lisca, I. Boerasu, L. Pintilie, and M. Kosec, “Effects of porosity on ferroelectric properties of Pb(Zr0.2Ti0.8)O3 films,” Thin Solid Films 515(16), 6557–6561 (2007).
[Crossref]

Suggs, R. M.

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

Sutherlin, S. G.

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

Swartz, D. A.

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

Tan, C. W.

S. C. Tan, Y. C. Chan, Y. W. Chiu, and C. W. Tan, “Thermal stability performance of anisotropic conductive film at different bonding temperatures,” Microelectron. Reliab. 44(3), 495–503 (2004).
[Crossref]

Tan, S. C.

S. C. Tan, Y. C. Chan, Y. W. Chiu, and C. W. Tan, “Thermal stability performance of anisotropic conductive film at different bonding temperatures,” Microelectron. Reliab. 44(3), 495–503 (2004).
[Crossref]

Tananbaum, H.

D. A. Schwartz, R. Allured, J. A. Bookbinder, V. Cotroneo, W. R. Forman, M. D. Freeman, S. McMuldroch, P. B. Reid, H. Tananbaum, A. A. Vikhlinin, R. L. Johnson-Wilke, S. E. Trolier-McKinstry, R. T. H. Wilke, T. N. Jackson, J. I. Ramirez, M. V. Gubarev, J. J. Kolodziejczak, S. L. O’Dell, and B. D. Ramsey, “Technology Requirements for a Square Meter, Arcsecond Resolution Telescope for X-Rays: The SMART-X Mission,” Proc. SPIE 9208, 920806 (2014).

Tang, Y.

H. Liu, B. Lu, Y. Ding, Y. Tang, and D. Li, “A motor-piezo actuator for nano-scale positioning based on dual servo loop and nonlinearity compensation,” J. Micromech. Microeng. 13(2), 295–299 (2003).
[Crossref]

Tendulkar, M.

C. T. DeRoo, R. Allured, V. Cotroneo, E. N. Hertz, V. Marquez, P. B. Reid, E. D. Schwartz, A. A. Vikhlinin, S. Trolier-McKinstry, J. Walker, T. N. Jackson, T. Liu, and M. Tendulkar, “Deterministic figure correction of piezoelectrically adjustable slumped glass optics,” J. Astron. Telesc. Instrum. Syst. 4(1), 019004 (2018).
[Crossref]

J. Walker, T. Liu, M. Tendulkar, D. Burrows, C. T. DeRoo, R. Allured, E. Hertz, V. Cotroneo, P. Reid, E. D. Schwartz, T. N. Jackson, and S. Trolier-McKinstry, “Design and fabrication of adjustable x-ray optics using piezoelectric thin films,” Proc. SPIE 10399, 103991K (2017).

Thompson, C.V.

H. Gao, L. Zhang, W. D. Nix, C.V. Thompson, and E. Arzt, “Crack-line grain-boundary diffusion wedges in thin metal films,” Acta Mater. 47(10), 2865–2878 (1999).
[Crossref]

Thornton, J. A.

J. A. Thornton, “The microstructure of sputter-deposited coatings,” J. Vac. Sci. Technol. A 4(6), 3059–3065 (1986).
[Crossref]

J. A. Thornton, “Influence of apparatus geometry and deposition conditions on the structure and topography of thick sputtered coatings,” J. Vac. Sci. Technol. 11(4), 666–670 (1974).
[Crossref]

Thouless, M. D.

M. D. Thouless, J. Gupta, and J. M. E. Harper, “Stress development and relaxation in copper films during thermal cycling,” J. Mater. Res. 8(8), 1845–1852 (1993).
[Crossref]

Trolier-McKinstry, S.

C. T. DeRoo, R. Allured, V. Cotroneo, E. N. Hertz, V. Marquez, P. B. Reid, E. D. Schwartz, A. A. Vikhlinin, S. Trolier-McKinstry, J. Walker, T. N. Jackson, T. Liu, and M. Tendulkar, “Deterministic figure correction of piezoelectrically adjustable slumped glass optics,” J. Astron. Telesc. Instrum. Syst. 4(1), 019004 (2018).
[Crossref]

J. Walker, T. Liu, M. Tendulkar, D. Burrows, C. T. DeRoo, R. Allured, E. Hertz, V. Cotroneo, P. Reid, E. D. Schwartz, T. N. Jackson, and S. Trolier-McKinstry, “Design and fabrication of adjustable x-ray optics using piezoelectric thin films,” Proc. SPIE 10399, 103991K (2017).

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

R. Allured, E. Hertz, V. Marquez, V. Cotroneo, M. Wallace, B. Salmaso, M. M. Civitani, S. Trolier-McKinstry, A. A. Vikhlinin, G. Pareschi, and P. B. Reid, “Laboratory demonstration of the piezoelectric figure correction of a cylindrical slumped glass optic,” Proc. SPIE 9905, 990554 (2016).
[Crossref]

R. T. H. Wilke, R. L. Johnson-Wilke, V. Cotroneo, S. McMuldroch, P. B. Reid, D. A. Schwartz, and S. Trolier-McKinstry, “Fabrication of adjustable cylindrical mirror segments for the smart-X telescope,” IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control 61(8), 1386–1392 (2014).
[Crossref]

R. H. T. Wilke, R. L. Johnson-Wilke, V. Cotroneo, W. N. Davis, P. B. Reid, D. A. Schwartz, and S. Trolier-McKinstry, “Sputter deposition of PZT piezoelectric films on thin glass substrates for adjustable x-ray optics,” Appl. Opt. 52(14), 3412–3419 (2013).
[Crossref] [PubMed]

R. L. Johnson-Wilke, R. T. H. Wilke, V. Cotroneo, W. N. Davis, P. B. Reid, D. A. Schwartz, and S. Trolier-McKinstry, “Improving yield of PZT piezoelectric devices on glass substrates,” Proc. SPIE 8503, 85030A (2012).
[Crossref]

C. B. Yeager and S. Trolier-McKinstry, “Epitaxial Pb(Zrx,Ti1-x)O3 (0.30<x<0.63) films on (100)MgO substrates for energy harvesting applications,” J. Appl. Phys. 112(074107), 1–7 (2012).
[Crossref]

P. Muralt, R. G. Polcawich, and S. Trolier-McKinstry, “Piezoelectric thin films for sensors, actuators, and energy harvesting,” MRS Bull. 34(9), 658–664 (2009).
[Crossref]

S. Trolier-McKinstry and P. Muralt, “Thin film piezoelectrics for MEMS,” J. Electroceram. 12(1), 7–17 (2004).
[Crossref]

J. F. Shepard, P. J. Moses, and S. Trolier-McKinstry, “The wafer flexure technique for the determination of the transverse piezoelectric coefficient (d31) of PZT thin films,” Sens. Actuators A Phys. 71(1-2), 133–138 (1998).
[Crossref]

G. Fox, S. Trolier-McKinstry, S. B. Krupanidhi, and L. M. Casas, “Pt/Ti/SiO2/Si substrates,” J. Mater. Res. 10(06), 1508–1515 (1995).
[Crossref]

Trolier-McKinstry, S. E.

D. A. Schwartz, R. Allured, J. A. Bookbinder, V. Cotroneo, W. R. Forman, M. D. Freeman, S. McMuldroch, P. B. Reid, H. Tananbaum, A. A. Vikhlinin, R. L. Johnson-Wilke, S. E. Trolier-McKinstry, R. T. H. Wilke, T. N. Jackson, J. I. Ramirez, M. V. Gubarev, J. J. Kolodziejczak, S. L. O’Dell, and B. D. Ramsey, “Technology Requirements for a Square Meter, Arcsecond Resolution Telescope for X-Rays: The SMART-X Mission,” Proc. SPIE 9208, 920806 (2014).

Tutt, J. H.

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

Tuttle, B. A.

B. A. Tuttle and R. W. Schwartz, “Solution deposition of ferroelectric thin films,” MRS Bull. 21(6), 49–54 (1996).
[Crossref]

Ulenaers, M. J. E.

G. A. C. M. Spierings, G. J. M. Dormans, W. G. J. Moors, M. J. E. Ulenaers, and P. K. Larsen, “Stress in Pt/Pb(Zr,Ti)O3/Pt thin-film stacks for integrated ferroelectric capacitors,” J. Appl. Phys. 78(3), 1926–1933 (1995).
[Crossref]

van Keulen, F.

G. C. A. M. Janssen, M. M. Abdalla, F. van Keulen, B. R. Pujada, and B. van Venrooy, “Celebrating the 100th anniversary of the Stoney equation for film stress: Developments from polycrystalline steel strips to single crystal silicon wafers,” Thin Solid Films 517(6), 1858–1867 (2009).
[Crossref]

van Venrooy, B.

G. C. A. M. Janssen, M. M. Abdalla, F. van Keulen, B. R. Pujada, and B. van Venrooy, “Celebrating the 100th anniversary of the Stoney equation for film stress: Developments from polycrystalline steel strips to single crystal silicon wafers,” Thin Solid Films 517(6), 1858–1867 (2009).
[Crossref]

Vikhlinin, A.

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

Vikhlinin, A. A.

C. T. DeRoo, R. Allured, V. Cotroneo, E. N. Hertz, V. Marquez, P. B. Reid, E. D. Schwartz, A. A. Vikhlinin, S. Trolier-McKinstry, J. Walker, T. N. Jackson, T. Liu, and M. Tendulkar, “Deterministic figure correction of piezoelectrically adjustable slumped glass optics,” J. Astron. Telesc. Instrum. Syst. 4(1), 019004 (2018).
[Crossref]

R. Allured, E. Hertz, V. Marquez, V. Cotroneo, M. Wallace, B. Salmaso, M. M. Civitani, S. Trolier-McKinstry, A. A. Vikhlinin, G. Pareschi, and P. B. Reid, “Laboratory demonstration of the piezoelectric figure correction of a cylindrical slumped glass optic,” Proc. SPIE 9905, 990554 (2016).
[Crossref]

D. A. Schwartz, R. Allured, J. A. Bookbinder, V. Cotroneo, W. R. Forman, M. D. Freeman, S. McMuldroch, P. B. Reid, H. Tananbaum, A. A. Vikhlinin, R. L. Johnson-Wilke, S. E. Trolier-McKinstry, R. T. H. Wilke, T. N. Jackson, J. I. Ramirez, M. V. Gubarev, J. J. Kolodziejczak, S. L. O’Dell, and B. D. Ramsey, “Technology Requirements for a Square Meter, Arcsecond Resolution Telescope for X-Rays: The SMART-X Mission,” Proc. SPIE 9208, 920806 (2014).

Walker, J.

C. T. DeRoo, R. Allured, V. Cotroneo, E. N. Hertz, V. Marquez, P. B. Reid, E. D. Schwartz, A. A. Vikhlinin, S. Trolier-McKinstry, J. Walker, T. N. Jackson, T. Liu, and M. Tendulkar, “Deterministic figure correction of piezoelectrically adjustable slumped glass optics,” J. Astron. Telesc. Instrum. Syst. 4(1), 019004 (2018).
[Crossref]

J. Walker, T. Liu, M. Tendulkar, D. Burrows, C. T. DeRoo, R. Allured, E. Hertz, V. Cotroneo, P. Reid, E. D. Schwartz, T. N. Jackson, and S. Trolier-McKinstry, “Design and fabrication of adjustable x-ray optics using piezoelectric thin films,” Proc. SPIE 10399, 103991K (2017).

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

Wallace, M.

R. Allured, E. Hertz, V. Marquez, V. Cotroneo, M. Wallace, B. Salmaso, M. M. Civitani, S. Trolier-McKinstry, A. A. Vikhlinin, G. Pareschi, and P. B. Reid, “Laboratory demonstration of the piezoelectric figure correction of a cylindrical slumped glass optic,” Proc. SPIE 9905, 990554 (2016).
[Crossref]

Wang, Y.-H.

S.-M. Chang, J.-H. Jou, A. Hsieh, T.-H. Chen, C.-Y. Chang, Y.-H. Wang, and C.-M. Huang, “Characteristic study of anisotropic-conductive film for chip-on-film packaging,” Microelectron. Reliab. 41(12), 2001–2009 (2001).
[Crossref]

Weimer, J.

D. M. Broadway, J. Weimer, D. Gurgew, T. Lis, B. D. Ramsey, S. L. O’Dell, M. Gubarev, A. Ames, and R. Bruni, “Achieving zero stress in iridium, chromium, and nickel thin films,” Proc. SPIE 9510, 95100E (2015).

Wilke, R. H. T.

Wilke, R. T. H.

R. T. H. Wilke, R. L. Johnson-Wilke, V. Cotroneo, S. McMuldroch, P. B. Reid, D. A. Schwartz, and S. Trolier-McKinstry, “Fabrication of adjustable cylindrical mirror segments for the smart-X telescope,” IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control 61(8), 1386–1392 (2014).
[Crossref]

D. A. Schwartz, R. Allured, J. A. Bookbinder, V. Cotroneo, W. R. Forman, M. D. Freeman, S. McMuldroch, P. B. Reid, H. Tananbaum, A. A. Vikhlinin, R. L. Johnson-Wilke, S. E. Trolier-McKinstry, R. T. H. Wilke, T. N. Jackson, J. I. Ramirez, M. V. Gubarev, J. J. Kolodziejczak, S. L. O’Dell, and B. D. Ramsey, “Technology Requirements for a Square Meter, Arcsecond Resolution Telescope for X-Rays: The SMART-X Mission,” Proc. SPIE 9208, 920806 (2014).

R. L. Johnson-Wilke, R. T. H. Wilke, V. Cotroneo, W. N. Davis, P. B. Reid, D. A. Schwartz, and S. Trolier-McKinstry, “Improving yield of PZT piezoelectric devices on glass substrates,” Proc. SPIE 8503, 85030A (2012).
[Crossref]

Windischmann, H.

H. Windischmann, “An intrinsic stress scaling law for polycrystalline thin films prepared by ion beam sputtering,” J. Appl. Phys. 62(5), 1800–1807 (1987).
[Crossref]

Yeager, C. B.

C. B. Yeager and S. Trolier-McKinstry, “Epitaxial Pb(Zrx,Ti1-x)O3 (0.30<x<0.63) films on (100)MgO substrates for energy harvesting applications,” J. Appl. Phys. 112(074107), 1–7 (2012).
[Crossref]

Yim, M.-J.

M.-J. Yim and K.-W. Paik, “Design and understanding of anisotropic conductive films (ACFs) for LCD packaging,” in Proc. IEEE Polymer Electronics Packaging (IEEE, 1997), paper 5920142.

Yoon, W.

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

Zhang, L.

H. Gao, L. Zhang, W. D. Nix, C.V. Thompson, and E. Arzt, “Crack-line grain-boundary diffusion wedges in thin metal films,” Acta Mater. 47(10), 2865–2878 (1999).
[Crossref]

Zhang, W. W.

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

Acta Mater. (1)

H. Gao, L. Zhang, W. D. Nix, C.V. Thompson, and E. Arzt, “Crack-line grain-boundary diffusion wedges in thin metal films,” Acta Mater. 47(10), 2865–2878 (1999).
[Crossref]

Appl. Opt. (1)

Appl. Phys. Lett. (1)

B. Noheda, D. E. Cox, G. Shirane, J. A. Gonzalo, L. E. Cross, and S.-E. Park, “A monoclinic ferroelectric phase in the Pb(Zr1-xTix)O3 solid solution,” Appl. Phys. Lett. 74(14), 2059–2061 (1999).
[Crossref]

Crit. Rev. Solid State Mater. Sci. (1)

N. Izyumskaya, Y.-I. Alivov, S.-J. Cho, H. Morkoc, H. Lee, and Y.-S. Kang, “Processing, structure, properties, and applications pf PZT thin films,” Crit. Rev. Solid State Mater. Sci. 32(3-4), 111–202 (2007).
[Crossref]

ECS Trans. (1)

A. Etenko, T. McKechnie, A. Shchetkovskiy, and A. Smirnov, “Oxidation-protective iridium and iridium-rhodium coatings produced by electrodeposition from molten salts,” ECS Trans. 3(14), 151–157 (2007).

IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control (1)

R. T. H. Wilke, R. L. Johnson-Wilke, V. Cotroneo, S. McMuldroch, P. B. Reid, D. A. Schwartz, and S. Trolier-McKinstry, “Fabrication of adjustable cylindrical mirror segments for the smart-X telescope,” IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control 61(8), 1386–1392 (2014).
[Crossref]

J. Am. Ceram. Soc. (1)

R. J. Ong, D. A. Payne, and N. R. Sottos, “Processing effects for integrated PZT: Residual stress, thickness, and dielectric properties,” J. Am. Ceram. Soc. 88(10), 2839–2847 (2005).
[Crossref]

J. Appl. Phys. (4)

G. A. C. M. Spierings, G. J. M. Dormans, W. G. J. Moors, M. J. E. Ulenaers, and P. K. Larsen, “Stress in Pt/Pb(Zr,Ti)O3/Pt thin-film stacks for integrated ferroelectric capacitors,” J. Appl. Phys. 78(3), 1926–1933 (1995).
[Crossref]

S. S. Sengupta, S. M. Park, D. A. Payne, and L. H. Allen, “Origins and evolution of stress development in sol-gel derived thin layers and multideposited coatings of lead titanate,” J. Appl. Phys. 83(4), 2291–2296 (1997).
[Crossref]

C. B. Yeager and S. Trolier-McKinstry, “Epitaxial Pb(Zrx,Ti1-x)O3 (0.30<x<0.63) films on (100)MgO substrates for energy harvesting applications,” J. Appl. Phys. 112(074107), 1–7 (2012).
[Crossref]

H. Windischmann, “An intrinsic stress scaling law for polycrystalline thin films prepared by ion beam sputtering,” J. Appl. Phys. 62(5), 1800–1807 (1987).
[Crossref]

J. Astron. Telesc. Instrum. Syst. (1)

C. T. DeRoo, R. Allured, V. Cotroneo, E. N. Hertz, V. Marquez, P. B. Reid, E. D. Schwartz, A. A. Vikhlinin, S. Trolier-McKinstry, J. Walker, T. N. Jackson, T. Liu, and M. Tendulkar, “Deterministic figure correction of piezoelectrically adjustable slumped glass optics,” J. Astron. Telesc. Instrum. Syst. 4(1), 019004 (2018).
[Crossref]

J. Electroceram. (1)

S. Trolier-McKinstry and P. Muralt, “Thin film piezoelectrics for MEMS,” J. Electroceram. 12(1), 7–17 (2004).
[Crossref]

J. Mater. Res. (2)

G. Fox, S. Trolier-McKinstry, S. B. Krupanidhi, and L. M. Casas, “Pt/Ti/SiO2/Si substrates,” J. Mater. Res. 10(06), 1508–1515 (1995).
[Crossref]

M. D. Thouless, J. Gupta, and J. M. E. Harper, “Stress development and relaxation in copper films during thermal cycling,” J. Mater. Res. 8(8), 1845–1852 (1993).
[Crossref]

J. Micromech. Microeng. (1)

H. Liu, B. Lu, Y. Ding, Y. Tang, and D. Li, “A motor-piezo actuator for nano-scale positioning based on dual servo loop and nonlinearity compensation,” J. Micromech. Microeng. 13(2), 295–299 (2003).
[Crossref]

J. Phys. D Appl. Phys. (1)

G. Carter, “Peening in ion-assisted thin-film deposition: a generalized model,” J. Phys. D Appl. Phys. 27(5), 1046–1055 (1994).
[Crossref]

J. Vac. Sci. Technol. (1)

J. A. Thornton, “Influence of apparatus geometry and deposition conditions on the structure and topography of thick sputtered coatings,” J. Vac. Sci. Technol. 11(4), 666–670 (1974).
[Crossref]

J. Vac. Sci. Technol. A (1)

J. A. Thornton, “The microstructure of sputter-deposited coatings,” J. Vac. Sci. Technol. A 4(6), 3059–3065 (1986).
[Crossref]

Microelectron. Reliab. (2)

S.-M. Chang, J.-H. Jou, A. Hsieh, T.-H. Chen, C.-Y. Chang, Y.-H. Wang, and C.-M. Huang, “Characteristic study of anisotropic-conductive film for chip-on-film packaging,” Microelectron. Reliab. 41(12), 2001–2009 (2001).
[Crossref]

S. C. Tan, Y. C. Chan, Y. W. Chiu, and C. W. Tan, “Thermal stability performance of anisotropic conductive film at different bonding temperatures,” Microelectron. Reliab. 44(3), 495–503 (2004).
[Crossref]

MRS Bull. (2)

P. Muralt, R. G. Polcawich, and S. Trolier-McKinstry, “Piezoelectric thin films for sensors, actuators, and energy harvesting,” MRS Bull. 34(9), 658–664 (2009).
[Crossref]

B. A. Tuttle and R. W. Schwartz, “Solution deposition of ferroelectric thin films,” MRS Bull. 21(6), 49–54 (1996).
[Crossref]

Proc. SPIE (7)

J. Walker, T. Liu, M. Tendulkar, D. Burrows, C. T. DeRoo, R. Allured, E. Hertz, V. Cotroneo, P. Reid, E. D. Schwartz, T. N. Jackson, and S. Trolier-McKinstry, “Design and fabrication of adjustable x-ray optics using piezoelectric thin films,” Proc. SPIE 10399, 103991K (2017).

D. M. Broadway, J. Weimer, D. Gurgew, T. Lis, B. D. Ramsey, S. L. O’Dell, M. Gubarev, A. Ames, and R. Bruni, “Achieving zero stress in iridium, chromium, and nickel thin films,” Proc. SPIE 9510, 95100E (2015).

J. A. Gaskin, R. Allured, S. R. Bandler, S. Basso, M. W. Bautz, M. F. Baysinger, M. P. Biskach, T. M. Boswell, P. D. Capizzo, K.-W. Chan, M. M. Civitani, L. M. Cohen, V. Cotroneo, J. M. Davis, C. T. DeRoo, M. J. DiPirro, A. Dominguez, L. L. Fabisinski, A. D. Falcone, E. Figueroa-Feliciano, J. C. Garcia, K. E. Gelmis, R. K. Heilmann, R. C. Hopkins, T. Jackson, K. Kilaru, R. P. Kraft, T. Liu, R. S. McClelland, R. L. McEntaffer, K. S. McCarley, J. A. Mulqueen, F. Özel, G. Pareschi, P. B. Reid, R. E. Riveros, M. A. Rodriguez, J. W. Rowe, T. T. Saha, M. L. Schattenburg, A. R. Schnell, D. A. Schwartz, P. M. Solly, R. M. Suggs, S. G. Sutherlin, D. A. Swartz, S. Trolier-McKinstry, J. H. Tutt, A. Vikhlinin, J. Walker, W. Yoon, and W. W. Zhang, “Lynx Mission Concept Status,” Proc. SPIE 10397, 103970S (2017).

R. L. Johnson-Wilke, R. T. H. Wilke, V. Cotroneo, W. N. Davis, P. B. Reid, D. A. Schwartz, and S. Trolier-McKinstry, “Improving yield of PZT piezoelectric devices on glass substrates,” Proc. SPIE 8503, 85030A (2012).
[Crossref]

D. A. Schwartz, R. Allured, J. A. Bookbinder, V. Cotroneo, W. R. Forman, M. D. Freeman, S. McMuldroch, P. B. Reid, H. Tananbaum, A. A. Vikhlinin, R. L. Johnson-Wilke, S. E. Trolier-McKinstry, R. T. H. Wilke, T. N. Jackson, J. I. Ramirez, M. V. Gubarev, J. J. Kolodziejczak, S. L. O’Dell, and B. D. Ramsey, “Technology Requirements for a Square Meter, Arcsecond Resolution Telescope for X-Rays: The SMART-X Mission,” Proc. SPIE 9208, 920806 (2014).

V. Cotroneo, R. Allured, C. T. DeRoo, K. L. Gurski, V. Marquez, P. B. Reid, and E. D. Schwartz, “Thermal forming of glass substrates for adjustable optics,” Proc. SPIE 10399, 10399 (2017).

R. Allured, E. Hertz, V. Marquez, V. Cotroneo, M. Wallace, B. Salmaso, M. M. Civitani, S. Trolier-McKinstry, A. A. Vikhlinin, G. Pareschi, and P. B. Reid, “Laboratory demonstration of the piezoelectric figure correction of a cylindrical slumped glass optic,” Proc. SPIE 9905, 990554 (2016).
[Crossref]

Sens. Actuators A Phys. (1)

J. F. Shepard, P. J. Moses, and S. Trolier-McKinstry, “The wafer flexure technique for the determination of the transverse piezoelectric coefficient (d31) of PZT thin films,” Sens. Actuators A Phys. 71(1-2), 133–138 (1998).
[Crossref]

Thin Solid Films (2)

G. C. A. M. Janssen, M. M. Abdalla, F. van Keulen, B. R. Pujada, and B. van Venrooy, “Celebrating the 100th anniversary of the Stoney equation for film stress: Developments from polycrystalline steel strips to single crystal silicon wafers,” Thin Solid Films 517(6), 1858–1867 (2009).
[Crossref]

V. Stancu, M. Lisca, I. Boerasu, L. Pintilie, and M. Kosec, “Effects of porosity on ferroelectric properties of Pb(Zr0.2Ti0.8)O3 films,” Thin Solid Films 515(16), 6557–6561 (2007).
[Crossref]

Other (6)

P. B. Reid, T. L. Aldcroft, R. Allured, V. Cotroneo, R. L. Johnson-Wilke, V. Marquez, S. McMuldroch, S. L. O’Dell, B. D. Ramsey, and, D. A. Schwartz, “Development status of adjustable rgazing incidence optics for 0.5 arcsecond X-ray imaging”, NASA Tech. Rep. 20140016821, M15–4150, (2014).

M.-J. Yim and K.-W. Paik, “Design and understanding of anisotropic conductive films (ACFs) for LCD packaging,” in Proc. IEEE Polymer Electronics Packaging (IEEE, 1997), paper 5920142.

G. G. Stoney, “The tension of metallic films depositied by electrolysis”, Proceedings of the Royal Soc. London, Series A., 172–175 (1909).

M. Wallace, “Performance of PZT based MEMS devices with integrated ZnO Electronics,” PhD doctoral dissertation, Pennsylvania State University, Department of Materials Science and Engineering (2016).

N. N. Rogacheva, The Theory of Piezoelectric Shells and Plates (Taylor and Francis Group, 1994).

B. A. Tuttle, T. J. Garino, J. A. Voigt, T. J. Headley, D. Dimos, and, M. O. Eatough, in Science and Technology of Electroceramic Thin Films, edited by O. Auciello and R. Waser (Kluwer Academic Publishers, Dordrecht, The Netherlands, 1995) p. 117.

Cited By

OSA participates in Crossref's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (6)

Fig. 1
Fig. 1 A schematic of the piezoelectric adjustable optic mirror separated into the individual layers. Each layer is labelled according to the material. The glass substrate is denoted as zero, the layers on the actuator side (convex side) increase from 1 to 4 in the order in which they are deposited, and the layers on the mirror side are given decreasing (negative) integers, −1 and −2.
Fig. 2
Fig. 2 a) Surface SEM micrograph of an as-deposited layer 1, the 0.02 µm thick Ti adhesion layer. b) Surface SEM micrograph of an as-deposited layer 2, the 0.10 µm thick Pt bottom electrode layer 0.10 µm thick. c) XRD pattern of 3 layer 1.5 µm thick crystallized PZT. PZT peaks are labeled by their pseudo-cubic Mindices and the single platinum peak is labelled. Asterisks indicate peaks from other X-ray wavelengths. d) surface SEM of PZT layer microstructure. e) AFM topography image of a 4 x 4 µm region of the PZT surface. f) SEM of a cross section of the Pt/PZT/Pt actuator.
Fig. 3
Fig. 3 Pt top electrode layer patterned by photolithography. a) An image of the full electrode pattern design for prototype mirrors. b) A magnified optical image of Pt deposited on a clear curved glass substrate patterned for the top electrode piezoelectric cell array. The three key components of the pattern are labeled, piezoelectric cell, traces and electrical contacts. c) A photograph of the finished PAXO mirror prototype with bonded ACF cables.
Fig. 4
Fig. 4 a) Temperature-time profiles for the two heating schedules used to crystallize PZT during the stress study. b) Integrated stress after each processing step of a PAXO mirror for samples crystallized by the two temperature-time profiles. The total stress was determined from the final change in the ROC of the sample after the third crystallization. The numbers denote the deposition layer and the temperature cycle.
Fig. 5
Fig. 5 a) Stress as a function of Ar chamber pressure during deposition of 100 nm Ir films at room temperature, measured immediately after deposition and eight weeks after deposition. b) The stress and percentage of stress relaxation of a 100 nm thick Ir film deposited at 11 mTorr with stress measured periodically as a function of time. The black dashed lines are exponential function fits to the data added as a guide to the eye. c) Integrated stress as a function of total thickness for 20 nm Cr films deposited at 7.5 mTorr plus Ir films deposited at 11 mTorr where the Ir thickness was varied to increase the total integrated stress. Integrated stress data were measured immediately after deposition and the relaxed integrated stress was measured eight weeks after deposition.
Fig. 6
Fig. 6 a) Out-of-plane (z direction) displacement spatial distribution map of the PAXO mirror prototype measured by optical metrology during application of 10 V to a single poled piezoelectric cell. Inset (i) shows the z displacement in the azimuthal direction occurring in the plane represented by the horizontal (black) dashed line. Inset (ii) shows the z displacement in the axial direction in the plane represented by the vertical (red) dashed line. The displacement was normalized to the mirror figure at zero applied voltage. b) Photograph of the mounted prototype PAXO mirror used for assessing optical performance and out-of-plane displacement of the optical surface during actuation of piezoelectric actuators [10].

Equations (2)

Equations on this page are rendered with MathJax. Learn more.

σ f = E s h s 2 h f 6( 1 ϑ s )κ ,
σ Therm = E f ( α f α s ) ΔT ( 1 ϑ f ) ,

Metrics