Abstract

In this paper, the authors report on La/B4C multilayer mirrors designed for an incidence angle of 45° with both maximum reflectivity at a wavelength of 6.7 nm and reflectivity suppression at a wavelength of 20.1 nm. These mirrors were deposited for the EIS-TIMER at the FERMI@Elettra Free Electron Laser. The multilayer structure and optical properties were characterized using grazing incidence X-ray reflectometry with Cu-Kα radiation and EUV reflectometry in the spectral region of 6.5 - 21.0 nm. An anti-reflective coating designed at the wavelength of 20.1 nm had to be deposited on top of the high reflective La/B4C multilayer mirror optimized at a wavelength of 6.7 nm. Measured reflectivities of 53.4% at the wavelength of 6.72 nm and 0.15% at the wavelength of 20.1 nm were simultaneously achieved. It is shown that the reflectivity loss at the wavelength of 6.7 nm due to the utilization of antireflective coating designed at the wavelength of 20.1 nm can be minimized up to 1.0%.

© 2015 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article
OSA Recommended Articles
Extreme ultraviolet multilayer for the FERMI@Elettra free electron laser beam transport system

Alain Jody Corso, Paola Zuppella, David L. Windt, Marco Zangrando, and Maria Guglielmina Pelizzo
Opt. Express 20(7) 8006-8014 (2012)

Short period La/B and LaN/B multilayer mirrors for ~6.8 nm wavelength

Igor A. Makhotkin, Erwin Zoethout, Robbert van de Kruijs, Sergey N. Yakunin, Eric Louis, A. M. Yakunin, V. Banine, S. Müllender, and Fred Bijkerk
Opt. Express 21(24) 29894-29904 (2013)

Spectral properties of La/B - based multilayer mirrors near the boron K absorption edge

Igor A. Makhotkin, Erwin Zoethout, Eric Louis, Andrei M. Yakunin, Stephan Müllender, and Fred Bijkerk
Opt. Express 20(11) 11778-11786 (2012)

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. T. Tsarfati, R. W. E. van de Kruijs, E. Zoethout, E. Louis, and F. Bijkerk, “Reflective multilayer optics for 6.7nm wavelength radiation sources and next generation lithography,” Thin Solid Films 518(5), 1365–1368 (2009).
    [Crossref]
  2. N. I. Chkhalo, S. Künstner, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, F. Schäfers, and S. D. Starikov, “High performance La/B4C multilayer mirrors with barrier layers for the next generation lithography,” Appl. Phys. Lett. 102(1), 011602 (2013).
    [Crossref]
  3. I. A. Makhotkin, E. Zoethout, E. Louis, A. M. Yakunin, S. Müllender, and F. Bijkerk, “Spectral properties of La/B--based multilayer mirrors near the boron K absorption edge,” Opt. Express 20(11), 11778–11786 (2012).
    [Crossref] [PubMed]
  4. F. Bencivenga and C. Masciovecchio, “FEL-based transient grating spectroscopy to investigate nanoscale dynamics,” Nucl. Inst. Phys. Rev. A 606(3), 785–789 (2009).
    [Crossref]
  5. E. Allaria, C. Callegari, D. Cocco, W. M. Fawley, M. Kiskinova, C. Masciovecchio, and F. Parmaigiani, “The FERMI@Elettra free-electron-laser source for coherent x-ray physics: photon properties, beam transport system and applications,” New J. Phys. 12(7), 075002 (2010).
    [Crossref]
  6. F. Bencivenga, F. Capotondi, F. Casolari, F. Dallari, M. B. Danailov, G. De Ninno, D. Fausti, M. Kiskinova, M. Manfredda, C. Masciovecchio, and E. Pedersoli, “Multi-colour pulses from seeded free-electron-lasers: towards the development of non-linear core-level coherent spectroscopies,” Faraday Discuss. 171, 487–503 (2014).
    [Crossref] [PubMed]
  7. E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
    [Crossref]
  8. A. J. Corso, P. Zuppella, D. L. Windt, M. Zangrando, and M. G. Pelizzo, “Extreme ultraviolet multilayer for the FERMI@Elettra free electron laser beam transport system,” Opt. Express 20(7), 8006–8014 (2012).
    [Crossref] [PubMed]
  9. N. Kaiser, H. K. Pulker, Optical Interference Coatings (Springer-Verlag, 2003), Chap. “Multilayer Coatings for EUV/Soft X-ray Mirrors”.
  10. D. Attwood, Soft X-Rays and Extreme Ultraviolett Radiation: Principles and Applications (Cambridge University, 1999).
  11. F. Scholze, J. Tümmler, and G. Ulm, “High-accuracy radiometry in the EUV range at the PTB soft x-ray beamline,” Metrologia 40(1), 224–228 (2003).
    [Crossref]
  12. Film Wizard - Thin Film Software for Material Analysis and Design (Scientific Computing International, 2013). http://www.sci-soft.com/Film Wizard.htm .
  13. B. L. Henke, E. M. Gullikson, and J. C. Davis, “X-ray interactions: photoabsorption, scattering, transmission, and reflection at E=50-30000 eV, Z=1-92,” Atomic Data Nucl. Data 54(2), 181–342 (1993).
    [Crossref]
  14. I. A. Makhotkin, E. Zoethout, R. van de Kruijs, S. N. Yakunin, E. Louis, A. M. Yakunin, V. Banine, S. Müllender, and F. Bijkerk, “Short period La/B and LaN/B multilayer mirrors for ~6.8 nm wavelength,” Opt. Express 21(24), 29894–29904 (2013).
    [Crossref] [PubMed]
  15. T. Tsarfati, R. W. E. van de Kruijs, E. Zoethout, E. Louis, and F. Bijkerk, “Nitridation and contrast of B4C/La interfaces and X-ray multilayer optics,” Thin Solid Films 518(24), 7249–7252 (2010).
    [Crossref]
  16. S. Yulin, T. Feigl, T. Kuhlmann, N. Kaiser, A. I. Fedorenko, V. V. Kondratenko, O. V. Poltseva, V. A. Sevryukova, A. Yu. Zolotaryov, and E. N. Zubarev, “Interlayer transition zones in Mo/Si superlattices,” J. Appl. Phys. 92(3), 1216–1220 (2002).
    [Crossref]
  17. L. Quill, “Röntgenographische Untersuchungen des metallischen Lanthans, Cers und Neodyms,” Z. Anorg. Allg. Chem. 208(3), 273–281 (1932).
    [Crossref]
  18. P. Scherrer, “Bestimmung der Größe und der inneren Struktur von Kolloidteilchen mittels Röntgenstrahlen,” Göttinger Nachrichten Gesell. 2, 98–100 (1918).
  19. E. Spiller, Soft X-Ray Optics (SPIE Optical Engineering, 1994).

2014 (1)

F. Bencivenga, F. Capotondi, F. Casolari, F. Dallari, M. B. Danailov, G. De Ninno, D. Fausti, M. Kiskinova, M. Manfredda, C. Masciovecchio, and E. Pedersoli, “Multi-colour pulses from seeded free-electron-lasers: towards the development of non-linear core-level coherent spectroscopies,” Faraday Discuss. 171, 487–503 (2014).
[Crossref] [PubMed]

2013 (2)

N. I. Chkhalo, S. Künstner, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, F. Schäfers, and S. D. Starikov, “High performance La/B4C multilayer mirrors with barrier layers for the next generation lithography,” Appl. Phys. Lett. 102(1), 011602 (2013).
[Crossref]

I. A. Makhotkin, E. Zoethout, R. van de Kruijs, S. N. Yakunin, E. Louis, A. M. Yakunin, V. Banine, S. Müllender, and F. Bijkerk, “Short period La/B and LaN/B multilayer mirrors for ~6.8 nm wavelength,” Opt. Express 21(24), 29894–29904 (2013).
[Crossref] [PubMed]

2012 (3)

A. J. Corso, P. Zuppella, D. L. Windt, M. Zangrando, and M. G. Pelizzo, “Extreme ultraviolet multilayer for the FERMI@Elettra free electron laser beam transport system,” Opt. Express 20(7), 8006–8014 (2012).
[Crossref] [PubMed]

I. A. Makhotkin, E. Zoethout, E. Louis, A. M. Yakunin, S. Müllender, and F. Bijkerk, “Spectral properties of La/B--based multilayer mirrors near the boron K absorption edge,” Opt. Express 20(11), 11778–11786 (2012).
[Crossref] [PubMed]

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

2010 (2)

E. Allaria, C. Callegari, D. Cocco, W. M. Fawley, M. Kiskinova, C. Masciovecchio, and F. Parmaigiani, “The FERMI@Elettra free-electron-laser source for coherent x-ray physics: photon properties, beam transport system and applications,” New J. Phys. 12(7), 075002 (2010).
[Crossref]

T. Tsarfati, R. W. E. van de Kruijs, E. Zoethout, E. Louis, and F. Bijkerk, “Nitridation and contrast of B4C/La interfaces and X-ray multilayer optics,” Thin Solid Films 518(24), 7249–7252 (2010).
[Crossref]

2009 (2)

F. Bencivenga and C. Masciovecchio, “FEL-based transient grating spectroscopy to investigate nanoscale dynamics,” Nucl. Inst. Phys. Rev. A 606(3), 785–789 (2009).
[Crossref]

T. Tsarfati, R. W. E. van de Kruijs, E. Zoethout, E. Louis, and F. Bijkerk, “Reflective multilayer optics for 6.7nm wavelength radiation sources and next generation lithography,” Thin Solid Films 518(5), 1365–1368 (2009).
[Crossref]

2003 (1)

F. Scholze, J. Tümmler, and G. Ulm, “High-accuracy radiometry in the EUV range at the PTB soft x-ray beamline,” Metrologia 40(1), 224–228 (2003).
[Crossref]

2002 (1)

S. Yulin, T. Feigl, T. Kuhlmann, N. Kaiser, A. I. Fedorenko, V. V. Kondratenko, O. V. Poltseva, V. A. Sevryukova, A. Yu. Zolotaryov, and E. N. Zubarev, “Interlayer transition zones in Mo/Si superlattices,” J. Appl. Phys. 92(3), 1216–1220 (2002).
[Crossref]

1993 (1)

B. L. Henke, E. M. Gullikson, and J. C. Davis, “X-ray interactions: photoabsorption, scattering, transmission, and reflection at E=50-30000 eV, Z=1-92,” Atomic Data Nucl. Data 54(2), 181–342 (1993).
[Crossref]

1932 (1)

L. Quill, “Röntgenographische Untersuchungen des metallischen Lanthans, Cers und Neodyms,” Z. Anorg. Allg. Chem. 208(3), 273–281 (1932).
[Crossref]

1918 (1)

P. Scherrer, “Bestimmung der Größe und der inneren Struktur von Kolloidteilchen mittels Röntgenstrahlen,” Göttinger Nachrichten Gesell. 2, 98–100 (1918).

Allaria, E.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

E. Allaria, C. Callegari, D. Cocco, W. M. Fawley, M. Kiskinova, C. Masciovecchio, and F. Parmaigiani, “The FERMI@Elettra free-electron-laser source for coherent x-ray physics: photon properties, beam transport system and applications,” New J. Phys. 12(7), 075002 (2010).
[Crossref]

Appio, R.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Badano, L.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Banine, V.

Barletta, W. A.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Bassanese, S.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Bencivenga, F.

F. Bencivenga, F. Capotondi, F. Casolari, F. Dallari, M. B. Danailov, G. De Ninno, D. Fausti, M. Kiskinova, M. Manfredda, C. Masciovecchio, and E. Pedersoli, “Multi-colour pulses from seeded free-electron-lasers: towards the development of non-linear core-level coherent spectroscopies,” Faraday Discuss. 171, 487–503 (2014).
[Crossref] [PubMed]

F. Bencivenga and C. Masciovecchio, “FEL-based transient grating spectroscopy to investigate nanoscale dynamics,” Nucl. Inst. Phys. Rev. A 606(3), 785–789 (2009).
[Crossref]

Biedron, S. G.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Bijkerk, F.

I. A. Makhotkin, E. Zoethout, R. van de Kruijs, S. N. Yakunin, E. Louis, A. M. Yakunin, V. Banine, S. Müllender, and F. Bijkerk, “Short period La/B and LaN/B multilayer mirrors for ~6.8 nm wavelength,” Opt. Express 21(24), 29894–29904 (2013).
[Crossref] [PubMed]

I. A. Makhotkin, E. Zoethout, E. Louis, A. M. Yakunin, S. Müllender, and F. Bijkerk, “Spectral properties of La/B--based multilayer mirrors near the boron K absorption edge,” Opt. Express 20(11), 11778–11786 (2012).
[Crossref] [PubMed]

T. Tsarfati, R. W. E. van de Kruijs, E. Zoethout, E. Louis, and F. Bijkerk, “Nitridation and contrast of B4C/La interfaces and X-ray multilayer optics,” Thin Solid Films 518(24), 7249–7252 (2010).
[Crossref]

T. Tsarfati, R. W. E. van de Kruijs, E. Zoethout, E. Louis, and F. Bijkerk, “Reflective multilayer optics for 6.7nm wavelength radiation sources and next generation lithography,” Thin Solid Films 518(5), 1365–1368 (2009).
[Crossref]

Borga, A.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Busetto, E.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Callegari, C.

E. Allaria, C. Callegari, D. Cocco, W. M. Fawley, M. Kiskinova, C. Masciovecchio, and F. Parmaigiani, “The FERMI@Elettra free-electron-laser source for coherent x-ray physics: photon properties, beam transport system and applications,” New J. Phys. 12(7), 075002 (2010).
[Crossref]

Capotondi, F.

F. Bencivenga, F. Capotondi, F. Casolari, F. Dallari, M. B. Danailov, G. De Ninno, D. Fausti, M. Kiskinova, M. Manfredda, C. Masciovecchio, and E. Pedersoli, “Multi-colour pulses from seeded free-electron-lasers: towards the development of non-linear core-level coherent spectroscopies,” Faraday Discuss. 171, 487–503 (2014).
[Crossref] [PubMed]

Casolari, F.

F. Bencivenga, F. Capotondi, F. Casolari, F. Dallari, M. B. Danailov, G. De Ninno, D. Fausti, M. Kiskinova, M. Manfredda, C. Masciovecchio, and E. Pedersoli, “Multi-colour pulses from seeded free-electron-lasers: towards the development of non-linear core-level coherent spectroscopies,” Faraday Discuss. 171, 487–503 (2014).
[Crossref] [PubMed]

Castronovo, D.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Chkhalo, N. I.

N. I. Chkhalo, S. Künstner, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, F. Schäfers, and S. D. Starikov, “High performance La/B4C multilayer mirrors with barrier layers for the next generation lithography,” Appl. Phys. Lett. 102(1), 011602 (2013).
[Crossref]

Cinquegrana, P.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Cleva, S.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Cocco, D.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

E. Allaria, C. Callegari, D. Cocco, W. M. Fawley, M. Kiskinova, C. Masciovecchio, and F. Parmaigiani, “The FERMI@Elettra free-electron-laser source for coherent x-ray physics: photon properties, beam transport system and applications,” New J. Phys. 12(7), 075002 (2010).
[Crossref]

Cornacchia, M.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Corso, A. J.

Craievich, P.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Cudin, I.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

D’Auria, G.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Dal Forno, M.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Dallari, F.

F. Bencivenga, F. Capotondi, F. Casolari, F. Dallari, M. B. Danailov, G. De Ninno, D. Fausti, M. Kiskinova, M. Manfredda, C. Masciovecchio, and E. Pedersoli, “Multi-colour pulses from seeded free-electron-lasers: towards the development of non-linear core-level coherent spectroscopies,” Faraday Discuss. 171, 487–503 (2014).
[Crossref] [PubMed]

Danailov, M. B.

F. Bencivenga, F. Capotondi, F. Casolari, F. Dallari, M. B. Danailov, G. De Ninno, D. Fausti, M. Kiskinova, M. Manfredda, C. Masciovecchio, and E. Pedersoli, “Multi-colour pulses from seeded free-electron-lasers: towards the development of non-linear core-level coherent spectroscopies,” Faraday Discuss. 171, 487–503 (2014).
[Crossref] [PubMed]

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Davis, J. C.

B. L. Henke, E. M. Gullikson, and J. C. Davis, “X-ray interactions: photoabsorption, scattering, transmission, and reflection at E=50-30000 eV, Z=1-92,” Atomic Data Nucl. Data 54(2), 181–342 (1993).
[Crossref]

De Monte, R.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

De Ninno, G.

F. Bencivenga, F. Capotondi, F. Casolari, F. Dallari, M. B. Danailov, G. De Ninno, D. Fausti, M. Kiskinova, M. Manfredda, C. Masciovecchio, and E. Pedersoli, “Multi-colour pulses from seeded free-electron-lasers: towards the development of non-linear core-level coherent spectroscopies,” Faraday Discuss. 171, 487–503 (2014).
[Crossref] [PubMed]

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Delgiusto, P.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Demidovich, A.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Di Mitri, S.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Diviacco, B.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Fabris, A.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Fabris, R.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Fausti, D.

F. Bencivenga, F. Capotondi, F. Casolari, F. Dallari, M. B. Danailov, G. De Ninno, D. Fausti, M. Kiskinova, M. Manfredda, C. Masciovecchio, and E. Pedersoli, “Multi-colour pulses from seeded free-electron-lasers: towards the development of non-linear core-level coherent spectroscopies,” Faraday Discuss. 171, 487–503 (2014).
[Crossref] [PubMed]

Fawley, W.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Fawley, W. M.

E. Allaria, C. Callegari, D. Cocco, W. M. Fawley, M. Kiskinova, C. Masciovecchio, and F. Parmaigiani, “The FERMI@Elettra free-electron-laser source for coherent x-ray physics: photon properties, beam transport system and applications,” New J. Phys. 12(7), 075002 (2010).
[Crossref]

Fedorenko, A. I.

S. Yulin, T. Feigl, T. Kuhlmann, N. Kaiser, A. I. Fedorenko, V. V. Kondratenko, O. V. Poltseva, V. A. Sevryukova, A. Yu. Zolotaryov, and E. N. Zubarev, “Interlayer transition zones in Mo/Si superlattices,” J. Appl. Phys. 92(3), 1216–1220 (2002).
[Crossref]

Feigl, T.

S. Yulin, T. Feigl, T. Kuhlmann, N. Kaiser, A. I. Fedorenko, V. V. Kondratenko, O. V. Poltseva, V. A. Sevryukova, A. Yu. Zolotaryov, and E. N. Zubarev, “Interlayer transition zones in Mo/Si superlattices,” J. Appl. Phys. 92(3), 1216–1220 (2002).
[Crossref]

Ferianis, M.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Ferrari, E.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Ferry, S.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Froehlich, L.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Furlan, P.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Gaio, G.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Gelmetti, F.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Giannessi, L.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Giannini, M.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Gobessi, R.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Gullikson, E. M.

B. L. Henke, E. M. Gullikson, and J. C. Davis, “X-ray interactions: photoabsorption, scattering, transmission, and reflection at E=50-30000 eV, Z=1-92,” Atomic Data Nucl. Data 54(2), 181–342 (1993).
[Crossref]

Henke, B. L.

B. L. Henke, E. M. Gullikson, and J. C. Davis, “X-ray interactions: photoabsorption, scattering, transmission, and reflection at E=50-30000 eV, Z=1-92,” Atomic Data Nucl. Data 54(2), 181–342 (1993).
[Crossref]

Ivanov, R.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Kaiser, N.

S. Yulin, T. Feigl, T. Kuhlmann, N. Kaiser, A. I. Fedorenko, V. V. Kondratenko, O. V. Poltseva, V. A. Sevryukova, A. Yu. Zolotaryov, and E. N. Zubarev, “Interlayer transition zones in Mo/Si superlattices,” J. Appl. Phys. 92(3), 1216–1220 (2002).
[Crossref]

Karantzoulis, E.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Kiskinova, M.

F. Bencivenga, F. Capotondi, F. Casolari, F. Dallari, M. B. Danailov, G. De Ninno, D. Fausti, M. Kiskinova, M. Manfredda, C. Masciovecchio, and E. Pedersoli, “Multi-colour pulses from seeded free-electron-lasers: towards the development of non-linear core-level coherent spectroscopies,” Faraday Discuss. 171, 487–503 (2014).
[Crossref] [PubMed]

E. Allaria, C. Callegari, D. Cocco, W. M. Fawley, M. Kiskinova, C. Masciovecchio, and F. Parmaigiani, “The FERMI@Elettra free-electron-laser source for coherent x-ray physics: photon properties, beam transport system and applications,” New J. Phys. 12(7), 075002 (2010).
[Crossref]

Kondratenko, V. V.

S. Yulin, T. Feigl, T. Kuhlmann, N. Kaiser, A. I. Fedorenko, V. V. Kondratenko, O. V. Poltseva, V. A. Sevryukova, A. Yu. Zolotaryov, and E. N. Zubarev, “Interlayer transition zones in Mo/Si superlattices,” J. Appl. Phys. 92(3), 1216–1220 (2002).
[Crossref]

Kuhlmann, T.

S. Yulin, T. Feigl, T. Kuhlmann, N. Kaiser, A. I. Fedorenko, V. V. Kondratenko, O. V. Poltseva, V. A. Sevryukova, A. Yu. Zolotaryov, and E. N. Zubarev, “Interlayer transition zones in Mo/Si superlattices,” J. Appl. Phys. 92(3), 1216–1220 (2002).
[Crossref]

Künstner, S.

N. I. Chkhalo, S. Künstner, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, F. Schäfers, and S. D. Starikov, “High performance La/B4C multilayer mirrors with barrier layers for the next generation lithography,” Appl. Phys. Lett. 102(1), 011602 (2013).
[Crossref]

Lonza, M.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Louis, E.

I. A. Makhotkin, E. Zoethout, R. van de Kruijs, S. N. Yakunin, E. Louis, A. M. Yakunin, V. Banine, S. Müllender, and F. Bijkerk, “Short period La/B and LaN/B multilayer mirrors for ~6.8 nm wavelength,” Opt. Express 21(24), 29894–29904 (2013).
[Crossref] [PubMed]

I. A. Makhotkin, E. Zoethout, E. Louis, A. M. Yakunin, S. Müllender, and F. Bijkerk, “Spectral properties of La/B--based multilayer mirrors near the boron K absorption edge,” Opt. Express 20(11), 11778–11786 (2012).
[Crossref] [PubMed]

T. Tsarfati, R. W. E. van de Kruijs, E. Zoethout, E. Louis, and F. Bijkerk, “Nitridation and contrast of B4C/La interfaces and X-ray multilayer optics,” Thin Solid Films 518(24), 7249–7252 (2010).
[Crossref]

T. Tsarfati, R. W. E. van de Kruijs, E. Zoethout, E. Louis, and F. Bijkerk, “Reflective multilayer optics for 6.7nm wavelength radiation sources and next generation lithography,” Thin Solid Films 518(5), 1365–1368 (2009).
[Crossref]

Lutman, A.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Mahieu, B.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Makhotkin, I. A.

Manfredda, M.

F. Bencivenga, F. Capotondi, F. Casolari, F. Dallari, M. B. Danailov, G. De Ninno, D. Fausti, M. Kiskinova, M. Manfredda, C. Masciovecchio, and E. Pedersoli, “Multi-colour pulses from seeded free-electron-lasers: towards the development of non-linear core-level coherent spectroscopies,” Faraday Discuss. 171, 487–503 (2014).
[Crossref] [PubMed]

Masciovecchio, C.

F. Bencivenga, F. Capotondi, F. Casolari, F. Dallari, M. B. Danailov, G. De Ninno, D. Fausti, M. Kiskinova, M. Manfredda, C. Masciovecchio, and E. Pedersoli, “Multi-colour pulses from seeded free-electron-lasers: towards the development of non-linear core-level coherent spectroscopies,” Faraday Discuss. 171, 487–503 (2014).
[Crossref] [PubMed]

E. Allaria, C. Callegari, D. Cocco, W. M. Fawley, M. Kiskinova, C. Masciovecchio, and F. Parmaigiani, “The FERMI@Elettra free-electron-laser source for coherent x-ray physics: photon properties, beam transport system and applications,” New J. Phys. 12(7), 075002 (2010).
[Crossref]

F. Bencivenga and C. Masciovecchio, “FEL-based transient grating spectroscopy to investigate nanoscale dynamics,” Nucl. Inst. Phys. Rev. A 606(3), 785–789 (2009).
[Crossref]

Milloch, M.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Milton, S. V.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Müllender, S.

Musardo, M.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Nikolov, I.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Noe, S.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Parmaigiani, F.

E. Allaria, C. Callegari, D. Cocco, W. M. Fawley, M. Kiskinova, C. Masciovecchio, and F. Parmaigiani, “The FERMI@Elettra free-electron-laser source for coherent x-ray physics: photon properties, beam transport system and applications,” New J. Phys. 12(7), 075002 (2010).
[Crossref]

Parmigiani, F.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Pedersoli, E.

F. Bencivenga, F. Capotondi, F. Casolari, F. Dallari, M. B. Danailov, G. De Ninno, D. Fausti, M. Kiskinova, M. Manfredda, C. Masciovecchio, and E. Pedersoli, “Multi-colour pulses from seeded free-electron-lasers: towards the development of non-linear core-level coherent spectroscopies,” Faraday Discuss. 171, 487–503 (2014).
[Crossref] [PubMed]

Pelizzo, M. G.

Penco, G.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Petronio, M.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Pivetta, L.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Polkovnikov, V. N.

N. I. Chkhalo, S. Künstner, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, F. Schäfers, and S. D. Starikov, “High performance La/B4C multilayer mirrors with barrier layers for the next generation lithography,” Appl. Phys. Lett. 102(1), 011602 (2013).
[Crossref]

Poltseva, O. V.

S. Yulin, T. Feigl, T. Kuhlmann, N. Kaiser, A. I. Fedorenko, V. V. Kondratenko, O. V. Poltseva, V. A. Sevryukova, A. Yu. Zolotaryov, and E. N. Zubarev, “Interlayer transition zones in Mo/Si superlattices,” J. Appl. Phys. 92(3), 1216–1220 (2002).
[Crossref]

Predonzani, M.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Quill, L.

L. Quill, “Röntgenographische Untersuchungen des metallischen Lanthans, Cers und Neodyms,” Z. Anorg. Allg. Chem. 208(3), 273–281 (1932).
[Crossref]

Rossi, F.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Rumiz, L.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Salashchenko, N. N.

N. I. Chkhalo, S. Künstner, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, F. Schäfers, and S. D. Starikov, “High performance La/B4C multilayer mirrors with barrier layers for the next generation lithography,” Appl. Phys. Lett. 102(1), 011602 (2013).
[Crossref]

Salom, A.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Scafuri, C.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Schäfers, F.

N. I. Chkhalo, S. Künstner, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, F. Schäfers, and S. D. Starikov, “High performance La/B4C multilayer mirrors with barrier layers for the next generation lithography,” Appl. Phys. Lett. 102(1), 011602 (2013).
[Crossref]

Scherrer, P.

P. Scherrer, “Bestimmung der Größe und der inneren Struktur von Kolloidteilchen mittels Röntgenstrahlen,” Göttinger Nachrichten Gesell. 2, 98–100 (1918).

Scholze, F.

F. Scholze, J. Tümmler, and G. Ulm, “High-accuracy radiometry in the EUV range at the PTB soft x-ray beamline,” Metrologia 40(1), 224–228 (2003).
[Crossref]

Serpico, C.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Sevryukova, V. A.

S. Yulin, T. Feigl, T. Kuhlmann, N. Kaiser, A. I. Fedorenko, V. V. Kondratenko, O. V. Poltseva, V. A. Sevryukova, A. Yu. Zolotaryov, and E. N. Zubarev, “Interlayer transition zones in Mo/Si superlattices,” J. Appl. Phys. 92(3), 1216–1220 (2002).
[Crossref]

Sigalotti, P.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Spampinati, S.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Spezzani, C.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Starikov, S. D.

N. I. Chkhalo, S. Künstner, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, F. Schäfers, and S. D. Starikov, “High performance La/B4C multilayer mirrors with barrier layers for the next generation lithography,” Appl. Phys. Lett. 102(1), 011602 (2013).
[Crossref]

Svandrlik, M.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Svetina, C.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Tazzari, S.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Trovo, M.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Tsarfati, T.

T. Tsarfati, R. W. E. van de Kruijs, E. Zoethout, E. Louis, and F. Bijkerk, “Nitridation and contrast of B4C/La interfaces and X-ray multilayer optics,” Thin Solid Films 518(24), 7249–7252 (2010).
[Crossref]

T. Tsarfati, R. W. E. van de Kruijs, E. Zoethout, E. Louis, and F. Bijkerk, “Reflective multilayer optics for 6.7nm wavelength radiation sources and next generation lithography,” Thin Solid Films 518(5), 1365–1368 (2009).
[Crossref]

Tümmler, J.

F. Scholze, J. Tümmler, and G. Ulm, “High-accuracy radiometry in the EUV range at the PTB soft x-ray beamline,” Metrologia 40(1), 224–228 (2003).
[Crossref]

Ulm, G.

F. Scholze, J. Tümmler, and G. Ulm, “High-accuracy radiometry in the EUV range at the PTB soft x-ray beamline,” Metrologia 40(1), 224–228 (2003).
[Crossref]

Umer, R.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

van de Kruijs, R.

van de Kruijs, R. W. E.

T. Tsarfati, R. W. E. van de Kruijs, E. Zoethout, E. Louis, and F. Bijkerk, “Nitridation and contrast of B4C/La interfaces and X-ray multilayer optics,” Thin Solid Films 518(24), 7249–7252 (2010).
[Crossref]

T. Tsarfati, R. W. E. van de Kruijs, E. Zoethout, E. Louis, and F. Bijkerk, “Reflective multilayer optics for 6.7nm wavelength radiation sources and next generation lithography,” Thin Solid Films 518(5), 1365–1368 (2009).
[Crossref]

Vascotto, A.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Veronese, M.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Visintini, R.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Windt, D. L.

Yakunin, A. M.

Yakunin, S. N.

Yulin, S.

S. Yulin, T. Feigl, T. Kuhlmann, N. Kaiser, A. I. Fedorenko, V. V. Kondratenko, O. V. Poltseva, V. A. Sevryukova, A. Yu. Zolotaryov, and E. N. Zubarev, “Interlayer transition zones in Mo/Si superlattices,” J. Appl. Phys. 92(3), 1216–1220 (2002).
[Crossref]

Zaccaria, M.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Zangrando, D.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

Zangrando, M.

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

A. J. Corso, P. Zuppella, D. L. Windt, M. Zangrando, and M. G. Pelizzo, “Extreme ultraviolet multilayer for the FERMI@Elettra free electron laser beam transport system,” Opt. Express 20(7), 8006–8014 (2012).
[Crossref] [PubMed]

Zoethout, E.

I. A. Makhotkin, E. Zoethout, R. van de Kruijs, S. N. Yakunin, E. Louis, A. M. Yakunin, V. Banine, S. Müllender, and F. Bijkerk, “Short period La/B and LaN/B multilayer mirrors for ~6.8 nm wavelength,” Opt. Express 21(24), 29894–29904 (2013).
[Crossref] [PubMed]

I. A. Makhotkin, E. Zoethout, E. Louis, A. M. Yakunin, S. Müllender, and F. Bijkerk, “Spectral properties of La/B--based multilayer mirrors near the boron K absorption edge,” Opt. Express 20(11), 11778–11786 (2012).
[Crossref] [PubMed]

T. Tsarfati, R. W. E. van de Kruijs, E. Zoethout, E. Louis, and F. Bijkerk, “Nitridation and contrast of B4C/La interfaces and X-ray multilayer optics,” Thin Solid Films 518(24), 7249–7252 (2010).
[Crossref]

T. Tsarfati, R. W. E. van de Kruijs, E. Zoethout, E. Louis, and F. Bijkerk, “Reflective multilayer optics for 6.7nm wavelength radiation sources and next generation lithography,” Thin Solid Films 518(5), 1365–1368 (2009).
[Crossref]

Zolotaryov, A. Yu.

S. Yulin, T. Feigl, T. Kuhlmann, N. Kaiser, A. I. Fedorenko, V. V. Kondratenko, O. V. Poltseva, V. A. Sevryukova, A. Yu. Zolotaryov, and E. N. Zubarev, “Interlayer transition zones in Mo/Si superlattices,” J. Appl. Phys. 92(3), 1216–1220 (2002).
[Crossref]

Zubarev, E. N.

S. Yulin, T. Feigl, T. Kuhlmann, N. Kaiser, A. I. Fedorenko, V. V. Kondratenko, O. V. Poltseva, V. A. Sevryukova, A. Yu. Zolotaryov, and E. N. Zubarev, “Interlayer transition zones in Mo/Si superlattices,” J. Appl. Phys. 92(3), 1216–1220 (2002).
[Crossref]

Zuppella, P.

Appl. Phys. Lett. (1)

N. I. Chkhalo, S. Künstner, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, F. Schäfers, and S. D. Starikov, “High performance La/B4C multilayer mirrors with barrier layers for the next generation lithography,” Appl. Phys. Lett. 102(1), 011602 (2013).
[Crossref]

Atomic Data Nucl. Data (1)

B. L. Henke, E. M. Gullikson, and J. C. Davis, “X-ray interactions: photoabsorption, scattering, transmission, and reflection at E=50-30000 eV, Z=1-92,” Atomic Data Nucl. Data 54(2), 181–342 (1993).
[Crossref]

Faraday Discuss. (1)

F. Bencivenga, F. Capotondi, F. Casolari, F. Dallari, M. B. Danailov, G. De Ninno, D. Fausti, M. Kiskinova, M. Manfredda, C. Masciovecchio, and E. Pedersoli, “Multi-colour pulses from seeded free-electron-lasers: towards the development of non-linear core-level coherent spectroscopies,” Faraday Discuss. 171, 487–503 (2014).
[Crossref] [PubMed]

Göttinger Nachrichten Gesell. (1)

P. Scherrer, “Bestimmung der Größe und der inneren Struktur von Kolloidteilchen mittels Röntgenstrahlen,” Göttinger Nachrichten Gesell. 2, 98–100 (1918).

J. Appl. Phys. (1)

S. Yulin, T. Feigl, T. Kuhlmann, N. Kaiser, A. I. Fedorenko, V. V. Kondratenko, O. V. Poltseva, V. A. Sevryukova, A. Yu. Zolotaryov, and E. N. Zubarev, “Interlayer transition zones in Mo/Si superlattices,” J. Appl. Phys. 92(3), 1216–1220 (2002).
[Crossref]

Metrologia (1)

F. Scholze, J. Tümmler, and G. Ulm, “High-accuracy radiometry in the EUV range at the PTB soft x-ray beamline,” Metrologia 40(1), 224–228 (2003).
[Crossref]

Nat. Photonics (1)

E. Allaria, R. Appio, L. Badano, W. A. Barletta, S. Bassanese, S. G. Biedron, A. Borga, E. Busetto, D. Castronovo, P. Cinquegrana, S. Cleva, D. Cocco, M. Cornacchia, P. Craievich, I. Cudin, G. D’Auria, M. Dal Forno, M. B. Danailov, R. De Monte, G. De Ninno, P. Delgiusto, A. Demidovich, S. Di Mitri, B. Diviacco, A. Fabris, R. Fabris, W. Fawley, M. Ferianis, E. Ferrari, S. Ferry, L. Froehlich, P. Furlan, G. Gaio, F. Gelmetti, L. Giannessi, M. Giannini, R. Gobessi, R. Ivanov, E. Karantzoulis, M. Lonza, A. Lutman, B. Mahieu, M. Milloch, S. V. Milton, M. Musardo, I. Nikolov, S. Noe, F. Parmigiani, G. Penco, M. Petronio, L. Pivetta, M. Predonzani, F. Rossi, L. Rumiz, A. Salom, C. Scafuri, C. Serpico, P. Sigalotti, S. Spampinati, C. Spezzani, M. Svandrlik, C. Svetina, S. Tazzari, M. Trovo, R. Umer, A. Vascotto, M. Veronese, R. Visintini, M. Zaccaria, D. Zangrando, and M. Zangrando, “Highly coherent and stable pulses from the FERMI seeded free-electron laser in the extreme ultraviolet,” Nat. Photonics 6(10), 699–704 (2012).
[Crossref]

New J. Phys. (1)

E. Allaria, C. Callegari, D. Cocco, W. M. Fawley, M. Kiskinova, C. Masciovecchio, and F. Parmaigiani, “The FERMI@Elettra free-electron-laser source for coherent x-ray physics: photon properties, beam transport system and applications,” New J. Phys. 12(7), 075002 (2010).
[Crossref]

Nucl. Inst. Phys. Rev. A (1)

F. Bencivenga and C. Masciovecchio, “FEL-based transient grating spectroscopy to investigate nanoscale dynamics,” Nucl. Inst. Phys. Rev. A 606(3), 785–789 (2009).
[Crossref]

Opt. Express (3)

Thin Solid Films (2)

T. Tsarfati, R. W. E. van de Kruijs, E. Zoethout, E. Louis, and F. Bijkerk, “Nitridation and contrast of B4C/La interfaces and X-ray multilayer optics,” Thin Solid Films 518(24), 7249–7252 (2010).
[Crossref]

T. Tsarfati, R. W. E. van de Kruijs, E. Zoethout, E. Louis, and F. Bijkerk, “Reflective multilayer optics for 6.7nm wavelength radiation sources and next generation lithography,” Thin Solid Films 518(5), 1365–1368 (2009).
[Crossref]

Z. Anorg. Allg. Chem. (1)

L. Quill, “Röntgenographische Untersuchungen des metallischen Lanthans, Cers und Neodyms,” Z. Anorg. Allg. Chem. 208(3), 273–281 (1932).
[Crossref]

Other (4)

Film Wizard - Thin Film Software for Material Analysis and Design (Scientific Computing International, 2013). http://www.sci-soft.com/Film Wizard.htm .

N. Kaiser, H. K. Pulker, Optical Interference Coatings (Springer-Verlag, 2003), Chap. “Multilayer Coatings for EUV/Soft X-ray Mirrors”.

D. Attwood, Soft X-Rays and Extreme Ultraviolett Radiation: Principles and Applications (Cambridge University, 1999).

E. Spiller, Soft X-Ray Optics (SPIE Optical Engineering, 1994).

Cited By

OSA participates in Crossref's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (3)

Fig. 1
Fig. 1 Evolution of the reflective properties of La/B4C multilayers with different numbers of layers in the AR-coating. To achieve a reflection of less than 0.3% at the wavelength of 20.1 nm (marked as a continuous line), at least three layers have to be used in an optimized AR-coating.
Fig. 2
Fig. 2 Measured (dots) and fitted (dashed line) GIXR curves from La/B4C multilayers without (a) and with AR-coating (b). The conspicuous oscillations between the Bragg peaks in (b) are caused by the AR-coating.
Fig. 3
Fig. 3 Measured EUV reflectivities (points) and best fits (lines) of La/B4C multilayer mirrors with (triangles) and without (squares) AR-coating designed at the wavelength of 20.1 nm.

Tables (3)

Tables Icon

Table 1 Calculated designs and optical properties of multilayer mirrors with and without AR-coatings

Tables Icon

Table 2 Comparison of layer thicknesses extracted from GIXR simulations and targeted values

Tables Icon

Table 3 Comparison of calculated and measured EUVR data

Metrics