Abstract

Generic InP foundry processes allow monolithic integration of active and passive elements into a common p-n doped layerstack. The passive loss can be greatly reduced by restricting the p-dopant to active regions. We report on a localized Zn-diffusion process based on MOVPE, which allows to reduce waveguide loss from 2 dB/cm to below 0.4 dB/cm. We confirm this value by fabrication of a 73 mm long spiral ring resonator, with a record quality factor of 1.2 million and an extinction ratio of 9.7 dB.

© 2015 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article
OSA Recommended Articles
Homogeneous photonic integration of mid-infrared quantum cascade lasers with low-loss passive waveguides on an InP platform

Seungyong Jung, Daniele Palaferri, Kevin Zhang, Feng Xie, Yae Okuno, Christopher Pinzone, Kevin Lascola, and Mikhail A. Belkin
Optica 6(8) 1023-1030 (2019)

Regrowth-free high-gain InGaAsP/InP active-passive platform via ion implantation

John S. Parker, Abirami Sivananthan, Erik Norberg, and Larry A. Coldren
Opt. Express 20(18) 19946-19955 (2012)

Low-loss TeO2-coated Si3N4 waveguides for application in photonic integrated circuits

Henry C. Frankis, Khadijeh Miarabbas Kiani, Dawson B. Bonneville, Chenglin Zhang, Samuel Norris, Richard Mateman, Arne Leinse, Nabil D. Bassim, Andrew P. Knights, and Jonathan D. B. Bradley
Opt. Express 27(9) 12529-12540 (2019)

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. R. Nagarajan, C. H. Joyner, R. P. Schneider, J. S. Bostak, T. Butrie, A. G. Dentai, V. G. Dominic, P. W. Evans, M. Kato, M. Kauffman, D. J. H. Lambert, S. K. Mathis, A. Mathur, R. H. Miles, M. L. Mitchell, M. J. Missey, S. Murthy, A. C. Nilsson, F. H. Peters, S. C. Pennypacker, J. L. Pleumeekers, R. A. Salvatore, R. K. Schlenker, R. B. Taylor, T. Huan-Shang, M. F. Van Leeuwen, J. Webjorn, M. Ziari, D. Perkins, J. Singh, S. G. Grubb, M. S. Reffle, D. G. Mehuys, F. A. Kish, and D. F. Welch, “Large-scale photonic integrated circuits,” IEEE J. Sel. Top. in Quantum Electron,  11(1), 50–65 (2005).
    [Crossref]
  2. R. Stabile, A. Rohit, and K. A. Williams, “Wavelength selective cross-connect,” J. Lightwave. Technol. 32(2), 201–207 (2014).
    [Crossref]
  3. C. Ciminelli, F. Dell’Olio, C. E. Campanella, and M.N. Armenise, “Photonic technologies for angular velocity sensing,” Adv. Opt. Photonics 2(3), 370 (2010).
    [Crossref]
  4. C. Ciminelli, F. Dell’Olio, M. N. Armenise, F. M. Soares, and W. Passenberg, “High performance InP ring resonator for new generation monolithically integrated optical gyroscopes,” Opt. Express 21(1), 302–305 (2013).
    [Crossref]
  5. N. Futakuchi, S. Xueliang, D. Miyashita, M. Kato, and Y. Nakano., “Fabrication of InGaAsP/InP Mach-Zehnder interferometer optical amplifier switches by metalorganic vapor phase selective area epitaxy,” in Proceedings of IEEE International Conference on Indium Phosphide and Related Materials (IEEE, 2001), pp. 583–586
  6. V. Tolstikhin, “Regrowth-Free Multi-Guide Vertical Integration in InP for Optical Communications Multi-guide vertical integration Building block approach,” in Proceedings of IEEE International Conference on Indium Phosphide and Related Materials (IEEE, 2011), pp. 3–6.
  7. J. Wallin, G. Landgren, K. Streubel, S. Nilsson, and M. Oberg., “Selective Area Regrowth of Butt-joint Coupled Waveguides in Multi-section DBR Lasers,” in Proceedings of IEEE Sixth International Conference on Metalorganic Vapor Phase Epitaxy (IEEE, 1992), pp. 73–74.
    [Crossref]
  8. M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
    [Crossref]
  9. E. Bitincka, G. Gilardi, and M. K. Smit, “On-wafer optical loss measurements using ring resonators with integrated sources and detectors,” IEEE Photon. J. 6(5), 1–12 (2014).
    [Crossref]
  10. T. Touam, C. Wu, Y. Gigase, M. Belanger, J. F. Currie, and S. I. Najafi., “Fabrication, characterization, and analysis of zinc-diffused GaAs waveguides,” IEEE J. Quantum Electron. 25(5), 850–853 (1989).
    [Crossref]
  11. M. H. Ettenberg, M. J. Lange, A. R. Sugg, M. J. Cohen, and G. H. Olsen, “Zinc diffusion in InAsP/InGaAs heterostructures,” J. Electron. Mater. 28, 1433–1439 (1999).
    [Crossref]
  12. M. Wada, M. Seko, K. Sakakibara, and Y. Sekiguchi, “Zn diffusion into InP using dimethylzinc as a Zn source,” Jpn. J. Appl. Phys. 28, 1700–1703 (1989).
    [Crossref]
  13. K. Vanhollebeke, M. D’Hondt, I. Moerman, P. Daele, and P. Demeester, “Zn doping of InP, InAsP/InP, and InAsP/InGaAs heterostructures through metalorganic vapor phase diffusion (MOVPD),” J. Electron. Mater. 30(8), 951–959 (2001).
    [Crossref]
  14. D. Franke, F.W. Reier, and N. Grote, “Post-growth Zn diffusion into InGaAs/InP in a LP-MOVPE reactor,” J. Cryst. Growth,  195(1–4), 112–116 (1998).
    [Crossref]
  15. J. P. Weber, “Optimization of the carrier-induced effective index change in InGaAsP waveguides - application to tunable Bragg filters,” IEEE J. Quantum Electron. 30(8), 1801–1816 (1994).
    [Crossref]
  16. W. Walukiewicz, J. Lagowski, L. Jastrzebski, P. Rava, M. Lichtensteiger, C. H. Gatos, and H. C. Gatos, “Electron mobility and free-carrier absorption in InP; determination of the compensation ratio,” J. Appl. Phys. 51(5), 2659 (1980).
    [Crossref]
  17. F. P. Payne and J. P. R. Lacey, “A theoretical analysis of scattering loss from planar optical waveguides,” Opt. Quant. Electron. 26, 977–986 (1994).
    [Crossref]
  18. K. P. Yap, A. Delage, J. Lapointe, B. Lamontagne, J.H. Schmid, Philip Waldron, B.A. Syrett, and S. Janz, “Correlation of scattering loss, sidewall roughness and waveguide width in Silicon-on-Insulator (SOI) ridge waveguides,” J. Lightwave. Technol. 27(18), 3999–4008 (2009).
    [Crossref]
  19. A. Yamaguchi and O. Komuro, “Characterization of line edge roughness in resist patterns by using fourier analysis and auto-correlation function,” Jpn. J. Appl. Phys. 42, 3763–3770 (2003).
    [Crossref]
  20. T. Feuchter and C. Thirstrup, “High precision planar waveguide propagation loss measurement technique using a Fabry-Perot cavity,” IEEE Photon. Techn. Lett. 6, 4–7 (1994).
    [Crossref]
  21. W. Bogaerts, P. De Heyn, T. Van Vaerenbergh, K. De Vos, S. Kumar Selvaraja, T. Claes, P. Dumon, P. Bienstman, D. Van Thourhout, and R. Baets, “Silicon microring resonators,” Laser & Photon. Rev. 6(1), 47–73 (2012).
    [Crossref]
  22. D. X. Xu, A. Densmore, P. Waldron, J. Lapointe, E. Post, A. Delâge, S. Janz, P. Cheben, J. Schmid, and B. Lamontagne, “High bandwidth SOI photonic wire ring resonators using MMI couplers,” Opt. Express 15(6), 3149–3155 (2007).
    [Crossref] [PubMed]
  23. C. Ciminelli, F. Dell’Olio, C. E. Campanella, and M. N. Armenise, “Numerical and experimental investigation of an optical high-Q spiral resonator gyroscope,” in Proceedings of IEEE International Conference on Transparent Optical Networks (IEEE, 2012), pp. 1–4.
  24. M. T Hill, X. J. M. Leijtens, G. D. Khoe, and M. K. Smit, “Optimizing Imbalance and Loss in 2×2 3-dB multi-mode interference couplers via access waveguide width,” J. Lightwave. Technol. 21(10), 2305–2313 (2003).
    [Crossref]
  25. M. Bachmann, P. A. Besse, and H Melchior, “Overlapping-image multimode interference couplers with a reduced number of self-images for uniform and nonuniform power splitting,” Appl. Opt. 34(30), 6898–6910 (1995).
    [Crossref] [PubMed]
  26. E. Bitincka, Emil Kleijn, and Meint K. Smit, “Accuracy analysis of the fabry-perot measurement method,” in Advanced Photonics 2013, OSA Technical Digest Series (Optical Society of America, 2013), paper JT3A.10.
    [Crossref]

2014 (3)

R. Stabile, A. Rohit, and K. A. Williams, “Wavelength selective cross-connect,” J. Lightwave. Technol. 32(2), 201–207 (2014).
[Crossref]

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

E. Bitincka, G. Gilardi, and M. K. Smit, “On-wafer optical loss measurements using ring resonators with integrated sources and detectors,” IEEE Photon. J. 6(5), 1–12 (2014).
[Crossref]

2013 (1)

C. Ciminelli, F. Dell’Olio, M. N. Armenise, F. M. Soares, and W. Passenberg, “High performance InP ring resonator for new generation monolithically integrated optical gyroscopes,” Opt. Express 21(1), 302–305 (2013).
[Crossref]

2012 (1)

W. Bogaerts, P. De Heyn, T. Van Vaerenbergh, K. De Vos, S. Kumar Selvaraja, T. Claes, P. Dumon, P. Bienstman, D. Van Thourhout, and R. Baets, “Silicon microring resonators,” Laser & Photon. Rev. 6(1), 47–73 (2012).
[Crossref]

2010 (1)

C. Ciminelli, F. Dell’Olio, C. E. Campanella, and M.N. Armenise, “Photonic technologies for angular velocity sensing,” Adv. Opt. Photonics 2(3), 370 (2010).
[Crossref]

2009 (1)

K. P. Yap, A. Delage, J. Lapointe, B. Lamontagne, J.H. Schmid, Philip Waldron, B.A. Syrett, and S. Janz, “Correlation of scattering loss, sidewall roughness and waveguide width in Silicon-on-Insulator (SOI) ridge waveguides,” J. Lightwave. Technol. 27(18), 3999–4008 (2009).
[Crossref]

2007 (1)

2005 (1)

R. Nagarajan, C. H. Joyner, R. P. Schneider, J. S. Bostak, T. Butrie, A. G. Dentai, V. G. Dominic, P. W. Evans, M. Kato, M. Kauffman, D. J. H. Lambert, S. K. Mathis, A. Mathur, R. H. Miles, M. L. Mitchell, M. J. Missey, S. Murthy, A. C. Nilsson, F. H. Peters, S. C. Pennypacker, J. L. Pleumeekers, R. A. Salvatore, R. K. Schlenker, R. B. Taylor, T. Huan-Shang, M. F. Van Leeuwen, J. Webjorn, M. Ziari, D. Perkins, J. Singh, S. G. Grubb, M. S. Reffle, D. G. Mehuys, F. A. Kish, and D. F. Welch, “Large-scale photonic integrated circuits,” IEEE J. Sel. Top. in Quantum Electron,  11(1), 50–65 (2005).
[Crossref]

2003 (2)

M. T Hill, X. J. M. Leijtens, G. D. Khoe, and M. K. Smit, “Optimizing Imbalance and Loss in 2×2 3-dB multi-mode interference couplers via access waveguide width,” J. Lightwave. Technol. 21(10), 2305–2313 (2003).
[Crossref]

A. Yamaguchi and O. Komuro, “Characterization of line edge roughness in resist patterns by using fourier analysis and auto-correlation function,” Jpn. J. Appl. Phys. 42, 3763–3770 (2003).
[Crossref]

2001 (1)

K. Vanhollebeke, M. D’Hondt, I. Moerman, P. Daele, and P. Demeester, “Zn doping of InP, InAsP/InP, and InAsP/InGaAs heterostructures through metalorganic vapor phase diffusion (MOVPD),” J. Electron. Mater. 30(8), 951–959 (2001).
[Crossref]

1999 (1)

M. H. Ettenberg, M. J. Lange, A. R. Sugg, M. J. Cohen, and G. H. Olsen, “Zinc diffusion in InAsP/InGaAs heterostructures,” J. Electron. Mater. 28, 1433–1439 (1999).
[Crossref]

1998 (1)

D. Franke, F.W. Reier, and N. Grote, “Post-growth Zn diffusion into InGaAs/InP in a LP-MOVPE reactor,” J. Cryst. Growth,  195(1–4), 112–116 (1998).
[Crossref]

1995 (1)

1994 (3)

J. P. Weber, “Optimization of the carrier-induced effective index change in InGaAsP waveguides - application to tunable Bragg filters,” IEEE J. Quantum Electron. 30(8), 1801–1816 (1994).
[Crossref]

T. Feuchter and C. Thirstrup, “High precision planar waveguide propagation loss measurement technique using a Fabry-Perot cavity,” IEEE Photon. Techn. Lett. 6, 4–7 (1994).
[Crossref]

F. P. Payne and J. P. R. Lacey, “A theoretical analysis of scattering loss from planar optical waveguides,” Opt. Quant. Electron. 26, 977–986 (1994).
[Crossref]

1989 (2)

M. Wada, M. Seko, K. Sakakibara, and Y. Sekiguchi, “Zn diffusion into InP using dimethylzinc as a Zn source,” Jpn. J. Appl. Phys. 28, 1700–1703 (1989).
[Crossref]

T. Touam, C. Wu, Y. Gigase, M. Belanger, J. F. Currie, and S. I. Najafi., “Fabrication, characterization, and analysis of zinc-diffused GaAs waveguides,” IEEE J. Quantum Electron. 25(5), 850–853 (1989).
[Crossref]

1980 (1)

W. Walukiewicz, J. Lagowski, L. Jastrzebski, P. Rava, M. Lichtensteiger, C. H. Gatos, and H. C. Gatos, “Electron mobility and free-carrier absorption in InP; determination of the compensation ratio,” J. Appl. Phys. 51(5), 2659 (1980).
[Crossref]

Achouche, M.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Ambrosius, H. P. M. M.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Armenise, M. N.

C. Ciminelli, F. Dell’Olio, M. N. Armenise, F. M. Soares, and W. Passenberg, “High performance InP ring resonator for new generation monolithically integrated optical gyroscopes,” Opt. Express 21(1), 302–305 (2013).
[Crossref]

C. Ciminelli, F. Dell’Olio, C. E. Campanella, and M. N. Armenise, “Numerical and experimental investigation of an optical high-Q spiral resonator gyroscope,” in Proceedings of IEEE International Conference on Transparent Optical Networks (IEEE, 2012), pp. 1–4.

Armenise, M.N.

C. Ciminelli, F. Dell’Olio, C. E. Campanella, and M.N. Armenise, “Photonic technologies for angular velocity sensing,” Adv. Opt. Photonics 2(3), 370 (2010).
[Crossref]

Augustin, L.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Bachmann, M.

Baets, R.

W. Bogaerts, P. De Heyn, T. Van Vaerenbergh, K. De Vos, S. Kumar Selvaraja, T. Claes, P. Dumon, P. Bienstman, D. Van Thourhout, and R. Baets, “Silicon microring resonators,” Laser & Photon. Rev. 6(1), 47–73 (2012).
[Crossref]

Bakker, A.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Belanger, M.

T. Touam, C. Wu, Y. Gigase, M. Belanger, J. F. Currie, and S. I. Najafi., “Fabrication, characterization, and analysis of zinc-diffused GaAs waveguides,” IEEE J. Quantum Electron. 25(5), 850–853 (1989).
[Crossref]

Bente, E.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Besse, P. A.

Bhat, S.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Bienstman, P.

W. Bogaerts, P. De Heyn, T. Van Vaerenbergh, K. De Vos, S. Kumar Selvaraja, T. Claes, P. Dumon, P. Bienstman, D. Van Thourhout, and R. Baets, “Silicon microring resonators,” Laser & Photon. Rev. 6(1), 47–73 (2012).
[Crossref]

Bitincka, E.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

E. Bitincka, G. Gilardi, and M. K. Smit, “On-wafer optical loss measurements using ring resonators with integrated sources and detectors,” IEEE Photon. J. 6(5), 1–12 (2014).
[Crossref]

E. Bitincka, Emil Kleijn, and Meint K. Smit, “Accuracy analysis of the fabry-perot measurement method,” in Advanced Photonics 2013, OSA Technical Digest Series (Optical Society of America, 2013), paper JT3A.10.
[Crossref]

Bogaerts, W.

W. Bogaerts, P. De Heyn, T. Van Vaerenbergh, K. De Vos, S. Kumar Selvaraja, T. Claes, P. Dumon, P. Bienstman, D. Van Thourhout, and R. Baets, “Silicon microring resonators,” Laser & Photon. Rev. 6(1), 47–73 (2012).
[Crossref]

Bolk, J.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Bostak, J. S.

R. Nagarajan, C. H. Joyner, R. P. Schneider, J. S. Bostak, T. Butrie, A. G. Dentai, V. G. Dominic, P. W. Evans, M. Kato, M. Kauffman, D. J. H. Lambert, S. K. Mathis, A. Mathur, R. H. Miles, M. L. Mitchell, M. J. Missey, S. Murthy, A. C. Nilsson, F. H. Peters, S. C. Pennypacker, J. L. Pleumeekers, R. A. Salvatore, R. K. Schlenker, R. B. Taylor, T. Huan-Shang, M. F. Van Leeuwen, J. Webjorn, M. Ziari, D. Perkins, J. Singh, S. G. Grubb, M. S. Reffle, D. G. Mehuys, F. A. Kish, and D. F. Welch, “Large-scale photonic integrated circuits,” IEEE J. Sel. Top. in Quantum Electron,  11(1), 50–65 (2005).
[Crossref]

Broeke, R.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Butrie, T.

R. Nagarajan, C. H. Joyner, R. P. Schneider, J. S. Bostak, T. Butrie, A. G. Dentai, V. G. Dominic, P. W. Evans, M. Kato, M. Kauffman, D. J. H. Lambert, S. K. Mathis, A. Mathur, R. H. Miles, M. L. Mitchell, M. J. Missey, S. Murthy, A. C. Nilsson, F. H. Peters, S. C. Pennypacker, J. L. Pleumeekers, R. A. Salvatore, R. K. Schlenker, R. B. Taylor, T. Huan-Shang, M. F. Van Leeuwen, J. Webjorn, M. Ziari, D. Perkins, J. Singh, S. G. Grubb, M. S. Reffle, D. G. Mehuys, F. A. Kish, and D. F. Welch, “Large-scale photonic integrated circuits,” IEEE J. Sel. Top. in Quantum Electron,  11(1), 50–65 (2005).
[Crossref]

Campanella, C. E.

C. Ciminelli, F. Dell’Olio, C. E. Campanella, and M.N. Armenise, “Photonic technologies for angular velocity sensing,” Adv. Opt. Photonics 2(3), 370 (2010).
[Crossref]

C. Ciminelli, F. Dell’Olio, C. E. Campanella, and M. N. Armenise, “Numerical and experimental investigation of an optical high-Q spiral resonator gyroscope,” in Proceedings of IEEE International Conference on Transparent Optical Networks (IEEE, 2012), pp. 1–4.

Cheben, P.

Ciminelli, C.

C. Ciminelli, F. Dell’Olio, M. N. Armenise, F. M. Soares, and W. Passenberg, “High performance InP ring resonator for new generation monolithically integrated optical gyroscopes,” Opt. Express 21(1), 302–305 (2013).
[Crossref]

C. Ciminelli, F. Dell’Olio, C. E. Campanella, and M.N. Armenise, “Photonic technologies for angular velocity sensing,” Adv. Opt. Photonics 2(3), 370 (2010).
[Crossref]

C. Ciminelli, F. Dell’Olio, C. E. Campanella, and M. N. Armenise, “Numerical and experimental investigation of an optical high-Q spiral resonator gyroscope,” in Proceedings of IEEE International Conference on Transparent Optical Networks (IEEE, 2012), pp. 1–4.

Claes, T.

W. Bogaerts, P. De Heyn, T. Van Vaerenbergh, K. De Vos, S. Kumar Selvaraja, T. Claes, P. Dumon, P. Bienstman, D. Van Thourhout, and R. Baets, “Silicon microring resonators,” Laser & Photon. Rev. 6(1), 47–73 (2012).
[Crossref]

Cohen, M. J.

M. H. Ettenberg, M. J. Lange, A. R. Sugg, M. J. Cohen, and G. H. Olsen, “Zinc diffusion in InAsP/InGaAs heterostructures,” J. Electron. Mater. 28, 1433–1439 (1999).
[Crossref]

Corradi, A.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Currie, J. F.

T. Touam, C. Wu, Y. Gigase, M. Belanger, J. F. Currie, and S. I. Najafi., “Fabrication, characterization, and analysis of zinc-diffused GaAs waveguides,” IEEE J. Quantum Electron. 25(5), 850–853 (1989).
[Crossref]

D’Agostino, D.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

D’Hondt, M.

K. Vanhollebeke, M. D’Hondt, I. Moerman, P. Daele, and P. Demeester, “Zn doping of InP, InAsP/InP, and InAsP/InGaAs heterostructures through metalorganic vapor phase diffusion (MOVPD),” J. Electron. Mater. 30(8), 951–959 (2001).
[Crossref]

Dabbs, A.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Daele, P.

K. Vanhollebeke, M. D’Hondt, I. Moerman, P. Daele, and P. Demeester, “Zn doping of InP, InAsP/InP, and InAsP/InGaAs heterostructures through metalorganic vapor phase diffusion (MOVPD),” J. Electron. Mater. 30(8), 951–959 (2001).
[Crossref]

De Heyn, P.

W. Bogaerts, P. De Heyn, T. Van Vaerenbergh, K. De Vos, S. Kumar Selvaraja, T. Claes, P. Dumon, P. Bienstman, D. Van Thourhout, and R. Baets, “Silicon microring resonators,” Laser & Photon. Rev. 6(1), 47–73 (2012).
[Crossref]

De Vos, K.

W. Bogaerts, P. De Heyn, T. Van Vaerenbergh, K. De Vos, S. Kumar Selvaraja, T. Claes, P. Dumon, P. Bienstman, D. Van Thourhout, and R. Baets, “Silicon microring resonators,” Laser & Photon. Rev. 6(1), 47–73 (2012).
[Crossref]

de Vries, T.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Debregeas, H.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Delage, A.

K. P. Yap, A. Delage, J. Lapointe, B. Lamontagne, J.H. Schmid, Philip Waldron, B.A. Syrett, and S. Janz, “Correlation of scattering loss, sidewall roughness and waveguide width in Silicon-on-Insulator (SOI) ridge waveguides,” J. Lightwave. Technol. 27(18), 3999–4008 (2009).
[Crossref]

Delâge, A.

Dell’Olio, F.

C. Ciminelli, F. Dell’Olio, M. N. Armenise, F. M. Soares, and W. Passenberg, “High performance InP ring resonator for new generation monolithically integrated optical gyroscopes,” Opt. Express 21(1), 302–305 (2013).
[Crossref]

C. Ciminelli, F. Dell’Olio, C. E. Campanella, and M.N. Armenise, “Photonic technologies for angular velocity sensing,” Adv. Opt. Photonics 2(3), 370 (2010).
[Crossref]

C. Ciminelli, F. Dell’Olio, C. E. Campanella, and M. N. Armenise, “Numerical and experimental investigation of an optical high-Q spiral resonator gyroscope,” in Proceedings of IEEE International Conference on Transparent Optical Networks (IEEE, 2012), pp. 1–4.

Demeester, P.

K. Vanhollebeke, M. D’Hondt, I. Moerman, P. Daele, and P. Demeester, “Zn doping of InP, InAsP/InP, and InAsP/InGaAs heterostructures through metalorganic vapor phase diffusion (MOVPD),” J. Electron. Mater. 30(8), 951–959 (2001).
[Crossref]

Densmore, A.

Dentai, A. G.

R. Nagarajan, C. H. Joyner, R. P. Schneider, J. S. Bostak, T. Butrie, A. G. Dentai, V. G. Dominic, P. W. Evans, M. Kato, M. Kauffman, D. J. H. Lambert, S. K. Mathis, A. Mathur, R. H. Miles, M. L. Mitchell, M. J. Missey, S. Murthy, A. C. Nilsson, F. H. Peters, S. C. Pennypacker, J. L. Pleumeekers, R. A. Salvatore, R. K. Schlenker, R. B. Taylor, T. Huan-Shang, M. F. Van Leeuwen, J. Webjorn, M. Ziari, D. Perkins, J. Singh, S. G. Grubb, M. S. Reffle, D. G. Mehuys, F. A. Kish, and D. F. Welch, “Large-scale photonic integrated circuits,” IEEE J. Sel. Top. in Quantum Electron,  11(1), 50–65 (2005).
[Crossref]

Dominic, V. G.

R. Nagarajan, C. H. Joyner, R. P. Schneider, J. S. Bostak, T. Butrie, A. G. Dentai, V. G. Dominic, P. W. Evans, M. Kato, M. Kauffman, D. J. H. Lambert, S. K. Mathis, A. Mathur, R. H. Miles, M. L. Mitchell, M. J. Missey, S. Murthy, A. C. Nilsson, F. H. Peters, S. C. Pennypacker, J. L. Pleumeekers, R. A. Salvatore, R. K. Schlenker, R. B. Taylor, T. Huan-Shang, M. F. Van Leeuwen, J. Webjorn, M. Ziari, D. Perkins, J. Singh, S. G. Grubb, M. S. Reffle, D. G. Mehuys, F. A. Kish, and D. F. Welch, “Large-scale photonic integrated circuits,” IEEE J. Sel. Top. in Quantum Electron,  11(1), 50–65 (2005).
[Crossref]

Dumon, P.

W. Bogaerts, P. De Heyn, T. Van Vaerenbergh, K. De Vos, S. Kumar Selvaraja, T. Claes, P. Dumon, P. Bienstman, D. Van Thourhout, and R. Baets, “Silicon microring resonators,” Laser & Photon. Rev. 6(1), 47–73 (2012).
[Crossref]

Dzibrou, D.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Ettenberg, M. H.

M. H. Ettenberg, M. J. Lange, A. R. Sugg, M. J. Cohen, and G. H. Olsen, “Zinc diffusion in InAsP/InGaAs heterostructures,” J. Electron. Mater. 28, 1433–1439 (1999).
[Crossref]

Evans, P. W.

R. Nagarajan, C. H. Joyner, R. P. Schneider, J. S. Bostak, T. Butrie, A. G. Dentai, V. G. Dominic, P. W. Evans, M. Kato, M. Kauffman, D. J. H. Lambert, S. K. Mathis, A. Mathur, R. H. Miles, M. L. Mitchell, M. J. Missey, S. Murthy, A. C. Nilsson, F. H. Peters, S. C. Pennypacker, J. L. Pleumeekers, R. A. Salvatore, R. K. Schlenker, R. B. Taylor, T. Huan-Shang, M. F. Van Leeuwen, J. Webjorn, M. Ziari, D. Perkins, J. Singh, S. G. Grubb, M. S. Reffle, D. G. Mehuys, F. A. Kish, and D. F. Welch, “Large-scale photonic integrated circuits,” IEEE J. Sel. Top. in Quantum Electron,  11(1), 50–65 (2005).
[Crossref]

Felicetti, M.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Feuchter, T.

T. Feuchter and C. Thirstrup, “High precision planar waveguide propagation loss measurement technique using a Fabry-Perot cavity,” IEEE Photon. Techn. Lett. 6, 4–7 (1994).
[Crossref]

Firth, P.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Franke, D.

D. Franke, F.W. Reier, and N. Grote, “Post-growth Zn diffusion into InGaAs/InP in a LP-MOVPE reactor,” J. Cryst. Growth,  195(1–4), 112–116 (1998).
[Crossref]

Futakuchi, N.

N. Futakuchi, S. Xueliang, D. Miyashita, M. Kato, and Y. Nakano., “Fabrication of InGaAsP/InP Mach-Zehnder interferometer optical amplifier switches by metalorganic vapor phase selective area epitaxy,” in Proceedings of IEEE International Conference on Indium Phosphide and Related Materials (IEEE, 2001), pp. 583–586

Gallagher, D.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Gatos, C. H.

W. Walukiewicz, J. Lagowski, L. Jastrzebski, P. Rava, M. Lichtensteiger, C. H. Gatos, and H. C. Gatos, “Electron mobility and free-carrier absorption in InP; determination of the compensation ratio,” J. Appl. Phys. 51(5), 2659 (1980).
[Crossref]

Gatos, H. C.

W. Walukiewicz, J. Lagowski, L. Jastrzebski, P. Rava, M. Lichtensteiger, C. H. Gatos, and H. C. Gatos, “Electron mobility and free-carrier absorption in InP; determination of the compensation ratio,” J. Appl. Phys. 51(5), 2659 (1980).
[Crossref]

Geluk, E. J.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Gentner, J. L.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Gigase, Y.

T. Touam, C. Wu, Y. Gigase, M. Belanger, J. F. Currie, and S. I. Najafi., “Fabrication, characterization, and analysis of zinc-diffused GaAs waveguides,” IEEE J. Quantum Electron. 25(5), 850–853 (1989).
[Crossref]

Gilardi, G.

E. Bitincka, G. Gilardi, and M. K. Smit, “On-wafer optical loss measurements using ring resonators with integrated sources and detectors,” IEEE Photon. J. 6(5), 1–12 (2014).
[Crossref]

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Grote, N.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

D. Franke, F.W. Reier, and N. Grote, “Post-growth Zn diffusion into InGaAs/InP in a LP-MOVPE reactor,” J. Cryst. Growth,  195(1–4), 112–116 (1998).
[Crossref]

Grubb, S. G.

R. Nagarajan, C. H. Joyner, R. P. Schneider, J. S. Bostak, T. Butrie, A. G. Dentai, V. G. Dominic, P. W. Evans, M. Kato, M. Kauffman, D. J. H. Lambert, S. K. Mathis, A. Mathur, R. H. Miles, M. L. Mitchell, M. J. Missey, S. Murthy, A. C. Nilsson, F. H. Peters, S. C. Pennypacker, J. L. Pleumeekers, R. A. Salvatore, R. K. Schlenker, R. B. Taylor, T. Huan-Shang, M. F. Van Leeuwen, J. Webjorn, M. Ziari, D. Perkins, J. Singh, S. G. Grubb, M. S. Reffle, D. G. Mehuys, F. A. Kish, and D. F. Welch, “Large-scale photonic integrated circuits,” IEEE J. Sel. Top. in Quantum Electron,  11(1), 50–65 (2005).
[Crossref]

Heiss, D.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Hill, M. T

M. T Hill, X. J. M. Leijtens, G. D. Khoe, and M. K. Smit, “Optimizing Imbalance and Loss in 2×2 3-dB multi-mode interference couplers via access waveguide width,” J. Lightwave. Technol. 21(10), 2305–2313 (2003).
[Crossref]

Huan-Shang, T.

R. Nagarajan, C. H. Joyner, R. P. Schneider, J. S. Bostak, T. Butrie, A. G. Dentai, V. G. Dominic, P. W. Evans, M. Kato, M. Kauffman, D. J. H. Lambert, S. K. Mathis, A. Mathur, R. H. Miles, M. L. Mitchell, M. J. Missey, S. Murthy, A. C. Nilsson, F. H. Peters, S. C. Pennypacker, J. L. Pleumeekers, R. A. Salvatore, R. K. Schlenker, R. B. Taylor, T. Huan-Shang, M. F. Van Leeuwen, J. Webjorn, M. Ziari, D. Perkins, J. Singh, S. G. Grubb, M. S. Reffle, D. G. Mehuys, F. A. Kish, and D. F. Welch, “Large-scale photonic integrated circuits,” IEEE J. Sel. Top. in Quantum Electron,  11(1), 50–65 (2005).
[Crossref]

Janz, S.

K. P. Yap, A. Delage, J. Lapointe, B. Lamontagne, J.H. Schmid, Philip Waldron, B.A. Syrett, and S. Janz, “Correlation of scattering loss, sidewall roughness and waveguide width in Silicon-on-Insulator (SOI) ridge waveguides,” J. Lightwave. Technol. 27(18), 3999–4008 (2009).
[Crossref]

D. X. Xu, A. Densmore, P. Waldron, J. Lapointe, E. Post, A. Delâge, S. Janz, P. Cheben, J. Schmid, and B. Lamontagne, “High bandwidth SOI photonic wire ring resonators using MMI couplers,” Opt. Express 15(6), 3149–3155 (2007).
[Crossref] [PubMed]

Jastrzebski, L.

W. Walukiewicz, J. Lagowski, L. Jastrzebski, P. Rava, M. Lichtensteiger, C. H. Gatos, and H. C. Gatos, “Electron mobility and free-carrier absorption in InP; determination of the compensation ratio,” J. Appl. Phys. 51(5), 2659 (1980).
[Crossref]

Jiao, Y.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Joyner, C. H.

R. Nagarajan, C. H. Joyner, R. P. Schneider, J. S. Bostak, T. Butrie, A. G. Dentai, V. G. Dominic, P. W. Evans, M. Kato, M. Kauffman, D. J. H. Lambert, S. K. Mathis, A. Mathur, R. H. Miles, M. L. Mitchell, M. J. Missey, S. Murthy, A. C. Nilsson, F. H. Peters, S. C. Pennypacker, J. L. Pleumeekers, R. A. Salvatore, R. K. Schlenker, R. B. Taylor, T. Huan-Shang, M. F. Van Leeuwen, J. Webjorn, M. Ziari, D. Perkins, J. Singh, S. G. Grubb, M. S. Reffle, D. G. Mehuys, F. A. Kish, and D. F. Welch, “Large-scale photonic integrated circuits,” IEEE J. Sel. Top. in Quantum Electron,  11(1), 50–65 (2005).
[Crossref]

Kato, M.

R. Nagarajan, C. H. Joyner, R. P. Schneider, J. S. Bostak, T. Butrie, A. G. Dentai, V. G. Dominic, P. W. Evans, M. Kato, M. Kauffman, D. J. H. Lambert, S. K. Mathis, A. Mathur, R. H. Miles, M. L. Mitchell, M. J. Missey, S. Murthy, A. C. Nilsson, F. H. Peters, S. C. Pennypacker, J. L. Pleumeekers, R. A. Salvatore, R. K. Schlenker, R. B. Taylor, T. Huan-Shang, M. F. Van Leeuwen, J. Webjorn, M. Ziari, D. Perkins, J. Singh, S. G. Grubb, M. S. Reffle, D. G. Mehuys, F. A. Kish, and D. F. Welch, “Large-scale photonic integrated circuits,” IEEE J. Sel. Top. in Quantum Electron,  11(1), 50–65 (2005).
[Crossref]

N. Futakuchi, S. Xueliang, D. Miyashita, M. Kato, and Y. Nakano., “Fabrication of InGaAsP/InP Mach-Zehnder interferometer optical amplifier switches by metalorganic vapor phase selective area epitaxy,” in Proceedings of IEEE International Conference on Indium Phosphide and Related Materials (IEEE, 2001), pp. 583–586

Kauffman, M.

R. Nagarajan, C. H. Joyner, R. P. Schneider, J. S. Bostak, T. Butrie, A. G. Dentai, V. G. Dominic, P. W. Evans, M. Kato, M. Kauffman, D. J. H. Lambert, S. K. Mathis, A. Mathur, R. H. Miles, M. L. Mitchell, M. J. Missey, S. Murthy, A. C. Nilsson, F. H. Peters, S. C. Pennypacker, J. L. Pleumeekers, R. A. Salvatore, R. K. Schlenker, R. B. Taylor, T. Huan-Shang, M. F. Van Leeuwen, J. Webjorn, M. Ziari, D. Perkins, J. Singh, S. G. Grubb, M. S. Reffle, D. G. Mehuys, F. A. Kish, and D. F. Welch, “Large-scale photonic integrated circuits,” IEEE J. Sel. Top. in Quantum Electron,  11(1), 50–65 (2005).
[Crossref]

Khoe, G. D.

M. T Hill, X. J. M. Leijtens, G. D. Khoe, and M. K. Smit, “Optimizing Imbalance and Loss in 2×2 3-dB multi-mode interference couplers via access waveguide width,” J. Lightwave. Technol. 21(10), 2305–2313 (2003).
[Crossref]

Kish, F. A.

R. Nagarajan, C. H. Joyner, R. P. Schneider, J. S. Bostak, T. Butrie, A. G. Dentai, V. G. Dominic, P. W. Evans, M. Kato, M. Kauffman, D. J. H. Lambert, S. K. Mathis, A. Mathur, R. H. Miles, M. L. Mitchell, M. J. Missey, S. Murthy, A. C. Nilsson, F. H. Peters, S. C. Pennypacker, J. L. Pleumeekers, R. A. Salvatore, R. K. Schlenker, R. B. Taylor, T. Huan-Shang, M. F. Van Leeuwen, J. Webjorn, M. Ziari, D. Perkins, J. Singh, S. G. Grubb, M. S. Reffle, D. G. Mehuys, F. A. Kish, and D. F. Welch, “Large-scale photonic integrated circuits,” IEEE J. Sel. Top. in Quantum Electron,  11(1), 50–65 (2005).
[Crossref]

Kleijn, E.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Kleijn, Emil

E. Bitincka, Emil Kleijn, and Meint K. Smit, “Accuracy analysis of the fabry-perot measurement method,” in Advanced Photonics 2013, OSA Technical Digest Series (Optical Society of America, 2013), paper JT3A.10.
[Crossref]

Komuro, O.

A. Yamaguchi and O. Komuro, “Characterization of line edge roughness in resist patterns by using fourier analysis and auto-correlation function,” Jpn. J. Appl. Phys. 42, 3763–3770 (2003).
[Crossref]

Korthorst, T.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Kuindersma, P.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Kumar Selvaraja, S.

W. Bogaerts, P. De Heyn, T. Van Vaerenbergh, K. De Vos, S. Kumar Selvaraja, T. Claes, P. Dumon, P. Bienstman, D. Van Thourhout, and R. Baets, “Silicon microring resonators,” Laser & Photon. Rev. 6(1), 47–73 (2012).
[Crossref]

Lacey, J. P. R.

F. P. Payne and J. P. R. Lacey, “A theoretical analysis of scattering loss from planar optical waveguides,” Opt. Quant. Electron. 26, 977–986 (1994).
[Crossref]

Lagowski, J.

W. Walukiewicz, J. Lagowski, L. Jastrzebski, P. Rava, M. Lichtensteiger, C. H. Gatos, and H. C. Gatos, “Electron mobility and free-carrier absorption in InP; determination of the compensation ratio,” J. Appl. Phys. 51(5), 2659 (1980).
[Crossref]

Lambert, D. J. H.

R. Nagarajan, C. H. Joyner, R. P. Schneider, J. S. Bostak, T. Butrie, A. G. Dentai, V. G. Dominic, P. W. Evans, M. Kato, M. Kauffman, D. J. H. Lambert, S. K. Mathis, A. Mathur, R. H. Miles, M. L. Mitchell, M. J. Missey, S. Murthy, A. C. Nilsson, F. H. Peters, S. C. Pennypacker, J. L. Pleumeekers, R. A. Salvatore, R. K. Schlenker, R. B. Taylor, T. Huan-Shang, M. F. Van Leeuwen, J. Webjorn, M. Ziari, D. Perkins, J. Singh, S. G. Grubb, M. S. Reffle, D. G. Mehuys, F. A. Kish, and D. F. Welch, “Large-scale photonic integrated circuits,” IEEE J. Sel. Top. in Quantum Electron,  11(1), 50–65 (2005).
[Crossref]

Lamontagne, B.

K. P. Yap, A. Delage, J. Lapointe, B. Lamontagne, J.H. Schmid, Philip Waldron, B.A. Syrett, and S. Janz, “Correlation of scattering loss, sidewall roughness and waveguide width in Silicon-on-Insulator (SOI) ridge waveguides,” J. Lightwave. Technol. 27(18), 3999–4008 (2009).
[Crossref]

D. X. Xu, A. Densmore, P. Waldron, J. Lapointe, E. Post, A. Delâge, S. Janz, P. Cheben, J. Schmid, and B. Lamontagne, “High bandwidth SOI photonic wire ring resonators using MMI couplers,” Opt. Express 15(6), 3149–3155 (2007).
[Crossref] [PubMed]

Landgren, G.

J. Wallin, G. Landgren, K. Streubel, S. Nilsson, and M. Oberg., “Selective Area Regrowth of Butt-joint Coupled Waveguides in Multi-section DBR Lasers,” in Proceedings of IEEE Sixth International Conference on Metalorganic Vapor Phase Epitaxy (IEEE, 1992), pp. 73–74.
[Crossref]

Lange, M. J.

M. H. Ettenberg, M. J. Lange, A. R. Sugg, M. J. Cohen, and G. H. Olsen, “Zinc diffusion in InAsP/InGaAs heterostructures,” J. Electron. Mater. 28, 1433–1439 (1999).
[Crossref]

Lapointe, J.

K. P. Yap, A. Delage, J. Lapointe, B. Lamontagne, J.H. Schmid, Philip Waldron, B.A. Syrett, and S. Janz, “Correlation of scattering loss, sidewall roughness and waveguide width in Silicon-on-Insulator (SOI) ridge waveguides,” J. Lightwave. Technol. 27(18), 3999–4008 (2009).
[Crossref]

D. X. Xu, A. Densmore, P. Waldron, J. Lapointe, E. Post, A. Delâge, S. Janz, P. Cheben, J. Schmid, and B. Lamontagne, “High bandwidth SOI photonic wire ring resonators using MMI couplers,” Opt. Express 15(6), 3149–3155 (2007).
[Crossref] [PubMed]

Lawniczuk, K.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Leijtens, X. J. M.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

M. T Hill, X. J. M. Leijtens, G. D. Khoe, and M. K. Smit, “Optimizing Imbalance and Loss in 2×2 3-dB multi-mode interference couplers via access waveguide width,” J. Lightwave. Technol. 21(10), 2305–2313 (2003).
[Crossref]

Lichtensteiger, M.

W. Walukiewicz, J. Lagowski, L. Jastrzebski, P. Rava, M. Lichtensteiger, C. H. Gatos, and H. C. Gatos, “Electron mobility and free-carrier absorption in InP; determination of the compensation ratio,” J. Appl. Phys. 51(5), 2659 (1980).
[Crossref]

Mathis, S. K.

R. Nagarajan, C. H. Joyner, R. P. Schneider, J. S. Bostak, T. Butrie, A. G. Dentai, V. G. Dominic, P. W. Evans, M. Kato, M. Kauffman, D. J. H. Lambert, S. K. Mathis, A. Mathur, R. H. Miles, M. L. Mitchell, M. J. Missey, S. Murthy, A. C. Nilsson, F. H. Peters, S. C. Pennypacker, J. L. Pleumeekers, R. A. Salvatore, R. K. Schlenker, R. B. Taylor, T. Huan-Shang, M. F. Van Leeuwen, J. Webjorn, M. Ziari, D. Perkins, J. Singh, S. G. Grubb, M. S. Reffle, D. G. Mehuys, F. A. Kish, and D. F. Welch, “Large-scale photonic integrated circuits,” IEEE J. Sel. Top. in Quantum Electron,  11(1), 50–65 (2005).
[Crossref]

Mathur, A.

R. Nagarajan, C. H. Joyner, R. P. Schneider, J. S. Bostak, T. Butrie, A. G. Dentai, V. G. Dominic, P. W. Evans, M. Kato, M. Kauffman, D. J. H. Lambert, S. K. Mathis, A. Mathur, R. H. Miles, M. L. Mitchell, M. J. Missey, S. Murthy, A. C. Nilsson, F. H. Peters, S. C. Pennypacker, J. L. Pleumeekers, R. A. Salvatore, R. K. Schlenker, R. B. Taylor, T. Huan-Shang, M. F. Van Leeuwen, J. Webjorn, M. Ziari, D. Perkins, J. Singh, S. G. Grubb, M. S. Reffle, D. G. Mehuys, F. A. Kish, and D. F. Welch, “Large-scale photonic integrated circuits,” IEEE J. Sel. Top. in Quantum Electron,  11(1), 50–65 (2005).
[Crossref]

Mehuys, D. G.

R. Nagarajan, C. H. Joyner, R. P. Schneider, J. S. Bostak, T. Butrie, A. G. Dentai, V. G. Dominic, P. W. Evans, M. Kato, M. Kauffman, D. J. H. Lambert, S. K. Mathis, A. Mathur, R. H. Miles, M. L. Mitchell, M. J. Missey, S. Murthy, A. C. Nilsson, F. H. Peters, S. C. Pennypacker, J. L. Pleumeekers, R. A. Salvatore, R. K. Schlenker, R. B. Taylor, T. Huan-Shang, M. F. Van Leeuwen, J. Webjorn, M. Ziari, D. Perkins, J. Singh, S. G. Grubb, M. S. Reffle, D. G. Mehuys, F. A. Kish, and D. F. Welch, “Large-scale photonic integrated circuits,” IEEE J. Sel. Top. in Quantum Electron,  11(1), 50–65 (2005).
[Crossref]

Melati, D.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Melchior, H

Melloni, A.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Miles, R. H.

R. Nagarajan, C. H. Joyner, R. P. Schneider, J. S. Bostak, T. Butrie, A. G. Dentai, V. G. Dominic, P. W. Evans, M. Kato, M. Kauffman, D. J. H. Lambert, S. K. Mathis, A. Mathur, R. H. Miles, M. L. Mitchell, M. J. Missey, S. Murthy, A. C. Nilsson, F. H. Peters, S. C. Pennypacker, J. L. Pleumeekers, R. A. Salvatore, R. K. Schlenker, R. B. Taylor, T. Huan-Shang, M. F. Van Leeuwen, J. Webjorn, M. Ziari, D. Perkins, J. Singh, S. G. Grubb, M. S. Reffle, D. G. Mehuys, F. A. Kish, and D. F. Welch, “Large-scale photonic integrated circuits,” IEEE J. Sel. Top. in Quantum Electron,  11(1), 50–65 (2005).
[Crossref]

Missey, M. J.

R. Nagarajan, C. H. Joyner, R. P. Schneider, J. S. Bostak, T. Butrie, A. G. Dentai, V. G. Dominic, P. W. Evans, M. Kato, M. Kauffman, D. J. H. Lambert, S. K. Mathis, A. Mathur, R. H. Miles, M. L. Mitchell, M. J. Missey, S. Murthy, A. C. Nilsson, F. H. Peters, S. C. Pennypacker, J. L. Pleumeekers, R. A. Salvatore, R. K. Schlenker, R. B. Taylor, T. Huan-Shang, M. F. Van Leeuwen, J. Webjorn, M. Ziari, D. Perkins, J. Singh, S. G. Grubb, M. S. Reffle, D. G. Mehuys, F. A. Kish, and D. F. Welch, “Large-scale photonic integrated circuits,” IEEE J. Sel. Top. in Quantum Electron,  11(1), 50–65 (2005).
[Crossref]

Mitchell, M. L.

R. Nagarajan, C. H. Joyner, R. P. Schneider, J. S. Bostak, T. Butrie, A. G. Dentai, V. G. Dominic, P. W. Evans, M. Kato, M. Kauffman, D. J. H. Lambert, S. K. Mathis, A. Mathur, R. H. Miles, M. L. Mitchell, M. J. Missey, S. Murthy, A. C. Nilsson, F. H. Peters, S. C. Pennypacker, J. L. Pleumeekers, R. A. Salvatore, R. K. Schlenker, R. B. Taylor, T. Huan-Shang, M. F. Van Leeuwen, J. Webjorn, M. Ziari, D. Perkins, J. Singh, S. G. Grubb, M. S. Reffle, D. G. Mehuys, F. A. Kish, and D. F. Welch, “Large-scale photonic integrated circuits,” IEEE J. Sel. Top. in Quantum Electron,  11(1), 50–65 (2005).
[Crossref]

Miyashita, D.

N. Futakuchi, S. Xueliang, D. Miyashita, M. Kato, and Y. Nakano., “Fabrication of InGaAsP/InP Mach-Zehnder interferometer optical amplifier switches by metalorganic vapor phase selective area epitaxy,” in Proceedings of IEEE International Conference on Indium Phosphide and Related Materials (IEEE, 2001), pp. 583–586

Moerman, I.

K. Vanhollebeke, M. D’Hondt, I. Moerman, P. Daele, and P. Demeester, “Zn doping of InP, InAsP/InP, and InAsP/InGaAs heterostructures through metalorganic vapor phase diffusion (MOVPD),” J. Electron. Mater. 30(8), 951–959 (2001).
[Crossref]

Morichetti, F.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Moskalenko, V.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Murthy, S.

R. Nagarajan, C. H. Joyner, R. P. Schneider, J. S. Bostak, T. Butrie, A. G. Dentai, V. G. Dominic, P. W. Evans, M. Kato, M. Kauffman, D. J. H. Lambert, S. K. Mathis, A. Mathur, R. H. Miles, M. L. Mitchell, M. J. Missey, S. Murthy, A. C. Nilsson, F. H. Peters, S. C. Pennypacker, J. L. Pleumeekers, R. A. Salvatore, R. K. Schlenker, R. B. Taylor, T. Huan-Shang, M. F. Van Leeuwen, J. Webjorn, M. Ziari, D. Perkins, J. Singh, S. G. Grubb, M. S. Reffle, D. G. Mehuys, F. A. Kish, and D. F. Welch, “Large-scale photonic integrated circuits,” IEEE J. Sel. Top. in Quantum Electron,  11(1), 50–65 (2005).
[Crossref]

Musk, B.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Nagarajan, R.

R. Nagarajan, C. H. Joyner, R. P. Schneider, J. S. Bostak, T. Butrie, A. G. Dentai, V. G. Dominic, P. W. Evans, M. Kato, M. Kauffman, D. J. H. Lambert, S. K. Mathis, A. Mathur, R. H. Miles, M. L. Mitchell, M. J. Missey, S. Murthy, A. C. Nilsson, F. H. Peters, S. C. Pennypacker, J. L. Pleumeekers, R. A. Salvatore, R. K. Schlenker, R. B. Taylor, T. Huan-Shang, M. F. Van Leeuwen, J. Webjorn, M. Ziari, D. Perkins, J. Singh, S. G. Grubb, M. S. Reffle, D. G. Mehuys, F. A. Kish, and D. F. Welch, “Large-scale photonic integrated circuits,” IEEE J. Sel. Top. in Quantum Electron,  11(1), 50–65 (2005).
[Crossref]

Najafi., S. I.

T. Touam, C. Wu, Y. Gigase, M. Belanger, J. F. Currie, and S. I. Najafi., “Fabrication, characterization, and analysis of zinc-diffused GaAs waveguides,” IEEE J. Quantum Electron. 25(5), 850–853 (1989).
[Crossref]

Nakano., Y.

N. Futakuchi, S. Xueliang, D. Miyashita, M. Kato, and Y. Nakano., “Fabrication of InGaAsP/InP Mach-Zehnder interferometer optical amplifier switches by metalorganic vapor phase selective area epitaxy,” in Proceedings of IEEE International Conference on Indium Phosphide and Related Materials (IEEE, 2001), pp. 583–586

Nilsson, A. C.

R. Nagarajan, C. H. Joyner, R. P. Schneider, J. S. Bostak, T. Butrie, A. G. Dentai, V. G. Dominic, P. W. Evans, M. Kato, M. Kauffman, D. J. H. Lambert, S. K. Mathis, A. Mathur, R. H. Miles, M. L. Mitchell, M. J. Missey, S. Murthy, A. C. Nilsson, F. H. Peters, S. C. Pennypacker, J. L. Pleumeekers, R. A. Salvatore, R. K. Schlenker, R. B. Taylor, T. Huan-Shang, M. F. Van Leeuwen, J. Webjorn, M. Ziari, D. Perkins, J. Singh, S. G. Grubb, M. S. Reffle, D. G. Mehuys, F. A. Kish, and D. F. Welch, “Large-scale photonic integrated circuits,” IEEE J. Sel. Top. in Quantum Electron,  11(1), 50–65 (2005).
[Crossref]

Nilsson, S.

J. Wallin, G. Landgren, K. Streubel, S. Nilsson, and M. Oberg., “Selective Area Regrowth of Butt-joint Coupled Waveguides in Multi-section DBR Lasers,” in Proceedings of IEEE Sixth International Conference on Metalorganic Vapor Phase Epitaxy (IEEE, 1992), pp. 73–74.
[Crossref]

Oberg., M.

J. Wallin, G. Landgren, K. Streubel, S. Nilsson, and M. Oberg., “Selective Area Regrowth of Butt-joint Coupled Waveguides in Multi-section DBR Lasers,” in Proceedings of IEEE Sixth International Conference on Metalorganic Vapor Phase Epitaxy (IEEE, 1992), pp. 73–74.
[Crossref]

Olsen, G. H.

M. H. Ettenberg, M. J. Lange, A. R. Sugg, M. J. Cohen, and G. H. Olsen, “Zinc diffusion in InAsP/InGaAs heterostructures,” J. Electron. Mater. 28, 1433–1439 (1999).
[Crossref]

Passenberg, W.

C. Ciminelli, F. Dell’Olio, M. N. Armenise, F. M. Soares, and W. Passenberg, “High performance InP ring resonator for new generation monolithically integrated optical gyroscopes,” Opt. Express 21(1), 302–305 (2013).
[Crossref]

Payne, F. P.

F. P. Payne and J. P. R. Lacey, “A theoretical analysis of scattering loss from planar optical waveguides,” Opt. Quant. Electron. 26, 977–986 (1994).
[Crossref]

Pello, J.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Pennypacker, S. C.

R. Nagarajan, C. H. Joyner, R. P. Schneider, J. S. Bostak, T. Butrie, A. G. Dentai, V. G. Dominic, P. W. Evans, M. Kato, M. Kauffman, D. J. H. Lambert, S. K. Mathis, A. Mathur, R. H. Miles, M. L. Mitchell, M. J. Missey, S. Murthy, A. C. Nilsson, F. H. Peters, S. C. Pennypacker, J. L. Pleumeekers, R. A. Salvatore, R. K. Schlenker, R. B. Taylor, T. Huan-Shang, M. F. Van Leeuwen, J. Webjorn, M. Ziari, D. Perkins, J. Singh, S. G. Grubb, M. S. Reffle, D. G. Mehuys, F. A. Kish, and D. F. Welch, “Large-scale photonic integrated circuits,” IEEE J. Sel. Top. in Quantum Electron,  11(1), 50–65 (2005).
[Crossref]

Penty, R.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Perkins, D.

R. Nagarajan, C. H. Joyner, R. P. Schneider, J. S. Bostak, T. Butrie, A. G. Dentai, V. G. Dominic, P. W. Evans, M. Kato, M. Kauffman, D. J. H. Lambert, S. K. Mathis, A. Mathur, R. H. Miles, M. L. Mitchell, M. J. Missey, S. Murthy, A. C. Nilsson, F. H. Peters, S. C. Pennypacker, J. L. Pleumeekers, R. A. Salvatore, R. K. Schlenker, R. B. Taylor, T. Huan-Shang, M. F. Van Leeuwen, J. Webjorn, M. Ziari, D. Perkins, J. Singh, S. G. Grubb, M. S. Reffle, D. G. Mehuys, F. A. Kish, and D. F. Welch, “Large-scale photonic integrated circuits,” IEEE J. Sel. Top. in Quantum Electron,  11(1), 50–65 (2005).
[Crossref]

Peters, F. H.

R. Nagarajan, C. H. Joyner, R. P. Schneider, J. S. Bostak, T. Butrie, A. G. Dentai, V. G. Dominic, P. W. Evans, M. Kato, M. Kauffman, D. J. H. Lambert, S. K. Mathis, A. Mathur, R. H. Miles, M. L. Mitchell, M. J. Missey, S. Murthy, A. C. Nilsson, F. H. Peters, S. C. Pennypacker, J. L. Pleumeekers, R. A. Salvatore, R. K. Schlenker, R. B. Taylor, T. Huan-Shang, M. F. Van Leeuwen, J. Webjorn, M. Ziari, D. Perkins, J. Singh, S. G. Grubb, M. S. Reffle, D. G. Mehuys, F. A. Kish, and D. F. Welch, “Large-scale photonic integrated circuits,” IEEE J. Sel. Top. in Quantum Electron,  11(1), 50–65 (2005).
[Crossref]

Pleumeekers, J. L.

R. Nagarajan, C. H. Joyner, R. P. Schneider, J. S. Bostak, T. Butrie, A. G. Dentai, V. G. Dominic, P. W. Evans, M. Kato, M. Kauffman, D. J. H. Lambert, S. K. Mathis, A. Mathur, R. H. Miles, M. L. Mitchell, M. J. Missey, S. Murthy, A. C. Nilsson, F. H. Peters, S. C. Pennypacker, J. L. Pleumeekers, R. A. Salvatore, R. K. Schlenker, R. B. Taylor, T. Huan-Shang, M. F. Van Leeuwen, J. Webjorn, M. Ziari, D. Perkins, J. Singh, S. G. Grubb, M. S. Reffle, D. G. Mehuys, F. A. Kish, and D. F. Welch, “Large-scale photonic integrated circuits,” IEEE J. Sel. Top. in Quantum Electron,  11(1), 50–65 (2005).
[Crossref]

Post, E.

Rabbani, H.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Rava, P.

W. Walukiewicz, J. Lagowski, L. Jastrzebski, P. Rava, M. Lichtensteiger, C. H. Gatos, and H. C. Gatos, “Electron mobility and free-carrier absorption in InP; determination of the compensation ratio,” J. Appl. Phys. 51(5), 2659 (1980).
[Crossref]

Reffle, M. S.

R. Nagarajan, C. H. Joyner, R. P. Schneider, J. S. Bostak, T. Butrie, A. G. Dentai, V. G. Dominic, P. W. Evans, M. Kato, M. Kauffman, D. J. H. Lambert, S. K. Mathis, A. Mathur, R. H. Miles, M. L. Mitchell, M. J. Missey, S. Murthy, A. C. Nilsson, F. H. Peters, S. C. Pennypacker, J. L. Pleumeekers, R. A. Salvatore, R. K. Schlenker, R. B. Taylor, T. Huan-Shang, M. F. Van Leeuwen, J. Webjorn, M. Ziari, D. Perkins, J. Singh, S. G. Grubb, M. S. Reffle, D. G. Mehuys, F. A. Kish, and D. F. Welch, “Large-scale photonic integrated circuits,” IEEE J. Sel. Top. in Quantum Electron,  11(1), 50–65 (2005).
[Crossref]

Reier, F.W.

D. Franke, F.W. Reier, and N. Grote, “Post-growth Zn diffusion into InGaAs/InP in a LP-MOVPE reactor,” J. Cryst. Growth,  195(1–4), 112–116 (1998).
[Crossref]

Robbins, D.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Roelkens, G.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Rohit, A.

R. Stabile, A. Rohit, and K. A. Williams, “Wavelength selective cross-connect,” J. Lightwave. Technol. 32(2), 201–207 (2014).
[Crossref]

Sakakibara, K.

M. Wada, M. Seko, K. Sakakibara, and Y. Sekiguchi, “Zn diffusion into InP using dimethylzinc as a Zn source,” Jpn. J. Appl. Phys. 28, 1700–1703 (1989).
[Crossref]

Salvatore, R. A.

R. Nagarajan, C. H. Joyner, R. P. Schneider, J. S. Bostak, T. Butrie, A. G. Dentai, V. G. Dominic, P. W. Evans, M. Kato, M. Kauffman, D. J. H. Lambert, S. K. Mathis, A. Mathur, R. H. Miles, M. L. Mitchell, M. J. Missey, S. Murthy, A. C. Nilsson, F. H. Peters, S. C. Pennypacker, J. L. Pleumeekers, R. A. Salvatore, R. K. Schlenker, R. B. Taylor, T. Huan-Shang, M. F. Van Leeuwen, J. Webjorn, M. Ziari, D. Perkins, J. Singh, S. G. Grubb, M. S. Reffle, D. G. Mehuys, F. A. Kish, and D. F. Welch, “Large-scale photonic integrated circuits,” IEEE J. Sel. Top. in Quantum Electron,  11(1), 50–65 (2005).
[Crossref]

Santos, R.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Schell, M.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Schlenker, R. K.

R. Nagarajan, C. H. Joyner, R. P. Schneider, J. S. Bostak, T. Butrie, A. G. Dentai, V. G. Dominic, P. W. Evans, M. Kato, M. Kauffman, D. J. H. Lambert, S. K. Mathis, A. Mathur, R. H. Miles, M. L. Mitchell, M. J. Missey, S. Murthy, A. C. Nilsson, F. H. Peters, S. C. Pennypacker, J. L. Pleumeekers, R. A. Salvatore, R. K. Schlenker, R. B. Taylor, T. Huan-Shang, M. F. Van Leeuwen, J. Webjorn, M. Ziari, D. Perkins, J. Singh, S. G. Grubb, M. S. Reffle, D. G. Mehuys, F. A. Kish, and D. F. Welch, “Large-scale photonic integrated circuits,” IEEE J. Sel. Top. in Quantum Electron,  11(1), 50–65 (2005).
[Crossref]

Schmid, J.

Schmid, J.H.

K. P. Yap, A. Delage, J. Lapointe, B. Lamontagne, J.H. Schmid, Philip Waldron, B.A. Syrett, and S. Janz, “Correlation of scattering loss, sidewall roughness and waveguide width in Silicon-on-Insulator (SOI) ridge waveguides,” J. Lightwave. Technol. 27(18), 3999–4008 (2009).
[Crossref]

Schneider, R. P.

R. Nagarajan, C. H. Joyner, R. P. Schneider, J. S. Bostak, T. Butrie, A. G. Dentai, V. G. Dominic, P. W. Evans, M. Kato, M. Kauffman, D. J. H. Lambert, S. K. Mathis, A. Mathur, R. H. Miles, M. L. Mitchell, M. J. Missey, S. Murthy, A. C. Nilsson, F. H. Peters, S. C. Pennypacker, J. L. Pleumeekers, R. A. Salvatore, R. K. Schlenker, R. B. Taylor, T. Huan-Shang, M. F. Van Leeuwen, J. Webjorn, M. Ziari, D. Perkins, J. Singh, S. G. Grubb, M. S. Reffle, D. G. Mehuys, F. A. Kish, and D. F. Welch, “Large-scale photonic integrated circuits,” IEEE J. Sel. Top. in Quantum Electron,  11(1), 50–65 (2005).
[Crossref]

Sekiguchi, Y.

M. Wada, M. Seko, K. Sakakibara, and Y. Sekiguchi, “Zn diffusion into InP using dimethylzinc as a Zn source,” Jpn. J. Appl. Phys. 28, 1700–1703 (1989).
[Crossref]

Seko, M.

M. Wada, M. Seko, K. Sakakibara, and Y. Sekiguchi, “Zn diffusion into InP using dimethylzinc as a Zn source,” Jpn. J. Appl. Phys. 28, 1700–1703 (1989).
[Crossref]

Singh, J.

R. Nagarajan, C. H. Joyner, R. P. Schneider, J. S. Bostak, T. Butrie, A. G. Dentai, V. G. Dominic, P. W. Evans, M. Kato, M. Kauffman, D. J. H. Lambert, S. K. Mathis, A. Mathur, R. H. Miles, M. L. Mitchell, M. J. Missey, S. Murthy, A. C. Nilsson, F. H. Peters, S. C. Pennypacker, J. L. Pleumeekers, R. A. Salvatore, R. K. Schlenker, R. B. Taylor, T. Huan-Shang, M. F. Van Leeuwen, J. Webjorn, M. Ziari, D. Perkins, J. Singh, S. G. Grubb, M. S. Reffle, D. G. Mehuys, F. A. Kish, and D. F. Welch, “Large-scale photonic integrated circuits,” IEEE J. Sel. Top. in Quantum Electron,  11(1), 50–65 (2005).
[Crossref]

Smalbrugge, B.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Smit, M. K.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

E. Bitincka, G. Gilardi, and M. K. Smit, “On-wafer optical loss measurements using ring resonators with integrated sources and detectors,” IEEE Photon. J. 6(5), 1–12 (2014).
[Crossref]

M. T Hill, X. J. M. Leijtens, G. D. Khoe, and M. K. Smit, “Optimizing Imbalance and Loss in 2×2 3-dB multi-mode interference couplers via access waveguide width,” J. Lightwave. Technol. 21(10), 2305–2313 (2003).
[Crossref]

Smit, Meint K.

E. Bitincka, Emil Kleijn, and Meint K. Smit, “Accuracy analysis of the fabry-perot measurement method,” in Advanced Photonics 2013, OSA Technical Digest Series (Optical Society of America, 2013), paper JT3A.10.
[Crossref]

Soares, F. M.

C. Ciminelli, F. Dell’Olio, M. N. Armenise, F. M. Soares, and W. Passenberg, “High performance InP ring resonator for new generation monolithically integrated optical gyroscopes,” Opt. Express 21(1), 302–305 (2013).
[Crossref]

Soares, F.M.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Stabile, P.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Stabile, R.

R. Stabile, A. Rohit, and K. A. Williams, “Wavelength selective cross-connect,” J. Lightwave. Technol. 32(2), 201–207 (2014).
[Crossref]

Stopinski, S.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Streubel, K.

J. Wallin, G. Landgren, K. Streubel, S. Nilsson, and M. Oberg., “Selective Area Regrowth of Butt-joint Coupled Waveguides in Multi-section DBR Lasers,” in Proceedings of IEEE Sixth International Conference on Metalorganic Vapor Phase Epitaxy (IEEE, 1992), pp. 73–74.
[Crossref]

Sugg, A. R.

M. H. Ettenberg, M. J. Lange, A. R. Sugg, M. J. Cohen, and G. H. Olsen, “Zinc diffusion in InAsP/InGaAs heterostructures,” J. Electron. Mater. 28, 1433–1439 (1999).
[Crossref]

Syrett, B.A.

K. P. Yap, A. Delage, J. Lapointe, B. Lamontagne, J.H. Schmid, Philip Waldron, B.A. Syrett, and S. Janz, “Correlation of scattering loss, sidewall roughness and waveguide width in Silicon-on-Insulator (SOI) ridge waveguides,” J. Lightwave. Technol. 27(18), 3999–4008 (2009).
[Crossref]

Tahvili, S.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Taylor, R. B.

R. Nagarajan, C. H. Joyner, R. P. Schneider, J. S. Bostak, T. Butrie, A. G. Dentai, V. G. Dominic, P. W. Evans, M. Kato, M. Kauffman, D. J. H. Lambert, S. K. Mathis, A. Mathur, R. H. Miles, M. L. Mitchell, M. J. Missey, S. Murthy, A. C. Nilsson, F. H. Peters, S. C. Pennypacker, J. L. Pleumeekers, R. A. Salvatore, R. K. Schlenker, R. B. Taylor, T. Huan-Shang, M. F. Van Leeuwen, J. Webjorn, M. Ziari, D. Perkins, J. Singh, S. G. Grubb, M. S. Reffle, D. G. Mehuys, F. A. Kish, and D. F. Welch, “Large-scale photonic integrated circuits,” IEEE J. Sel. Top. in Quantum Electron,  11(1), 50–65 (2005).
[Crossref]

Thijs, P.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Thirstrup, C.

T. Feuchter and C. Thirstrup, “High precision planar waveguide propagation loss measurement technique using a Fabry-Perot cavity,” IEEE Photon. Techn. Lett. 6, 4–7 (1994).
[Crossref]

Tolstikhin, V.

V. Tolstikhin, “Regrowth-Free Multi-Guide Vertical Integration in InP for Optical Communications Multi-guide vertical integration Building block approach,” in Proceedings of IEEE International Conference on Indium Phosphide and Related Materials (IEEE, 2011), pp. 3–6.

Touam, T.

T. Touam, C. Wu, Y. Gigase, M. Belanger, J. F. Currie, and S. I. Najafi., “Fabrication, characterization, and analysis of zinc-diffused GaAs waveguides,” IEEE J. Quantum Electron. 25(5), 850–853 (1989).
[Crossref]

van der Tol, J.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Van Leeuwen, M. F.

R. Nagarajan, C. H. Joyner, R. P. Schneider, J. S. Bostak, T. Butrie, A. G. Dentai, V. G. Dominic, P. W. Evans, M. Kato, M. Kauffman, D. J. H. Lambert, S. K. Mathis, A. Mathur, R. H. Miles, M. L. Mitchell, M. J. Missey, S. Murthy, A. C. Nilsson, F. H. Peters, S. C. Pennypacker, J. L. Pleumeekers, R. A. Salvatore, R. K. Schlenker, R. B. Taylor, T. Huan-Shang, M. F. Van Leeuwen, J. Webjorn, M. Ziari, D. Perkins, J. Singh, S. G. Grubb, M. S. Reffle, D. G. Mehuys, F. A. Kish, and D. F. Welch, “Large-scale photonic integrated circuits,” IEEE J. Sel. Top. in Quantum Electron,  11(1), 50–65 (2005).
[Crossref]

Van Thourhout, D.

W. Bogaerts, P. De Heyn, T. Van Vaerenbergh, K. De Vos, S. Kumar Selvaraja, T. Claes, P. Dumon, P. Bienstman, D. Van Thourhout, and R. Baets, “Silicon microring resonators,” Laser & Photon. Rev. 6(1), 47–73 (2012).
[Crossref]

Van Vaerenbergh, T.

W. Bogaerts, P. De Heyn, T. Van Vaerenbergh, K. De Vos, S. Kumar Selvaraja, T. Claes, P. Dumon, P. Bienstman, D. Van Thourhout, and R. Baets, “Silicon microring resonators,” Laser & Photon. Rev. 6(1), 47–73 (2012).
[Crossref]

van Veldhoven, R.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Vanhollebeke, K.

K. Vanhollebeke, M. D’Hondt, I. Moerman, P. Daele, and P. Demeester, “Zn doping of InP, InAsP/InP, and InAsP/InGaAs heterostructures through metalorganic vapor phase diffusion (MOVPD),” J. Electron. Mater. 30(8), 951–959 (2001).
[Crossref]

Wada, M.

M. Wada, M. Seko, K. Sakakibara, and Y. Sekiguchi, “Zn diffusion into InP using dimethylzinc as a Zn source,” Jpn. J. Appl. Phys. 28, 1700–1703 (1989).
[Crossref]

Waldron, P.

Waldron, Philip

K. P. Yap, A. Delage, J. Lapointe, B. Lamontagne, J.H. Schmid, Philip Waldron, B.A. Syrett, and S. Janz, “Correlation of scattering loss, sidewall roughness and waveguide width in Silicon-on-Insulator (SOI) ridge waveguides,” J. Lightwave. Technol. 27(18), 3999–4008 (2009).
[Crossref]

Wale, M. J.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Wallin, J.

J. Wallin, G. Landgren, K. Streubel, S. Nilsson, and M. Oberg., “Selective Area Regrowth of Butt-joint Coupled Waveguides in Multi-section DBR Lasers,” in Proceedings of IEEE Sixth International Conference on Metalorganic Vapor Phase Epitaxy (IEEE, 1992), pp. 73–74.
[Crossref]

Walukiewicz, W.

W. Walukiewicz, J. Lagowski, L. Jastrzebski, P. Rava, M. Lichtensteiger, C. H. Gatos, and H. C. Gatos, “Electron mobility and free-carrier absorption in InP; determination of the compensation ratio,” J. Appl. Phys. 51(5), 2659 (1980).
[Crossref]

Weber, J. P.

J. P. Weber, “Optimization of the carrier-induced effective index change in InGaAsP waveguides - application to tunable Bragg filters,” IEEE J. Quantum Electron. 30(8), 1801–1816 (1994).
[Crossref]

Webjorn, J.

R. Nagarajan, C. H. Joyner, R. P. Schneider, J. S. Bostak, T. Butrie, A. G. Dentai, V. G. Dominic, P. W. Evans, M. Kato, M. Kauffman, D. J. H. Lambert, S. K. Mathis, A. Mathur, R. H. Miles, M. L. Mitchell, M. J. Missey, S. Murthy, A. C. Nilsson, F. H. Peters, S. C. Pennypacker, J. L. Pleumeekers, R. A. Salvatore, R. K. Schlenker, R. B. Taylor, T. Huan-Shang, M. F. Van Leeuwen, J. Webjorn, M. Ziari, D. Perkins, J. Singh, S. G. Grubb, M. S. Reffle, D. G. Mehuys, F. A. Kish, and D. F. Welch, “Large-scale photonic integrated circuits,” IEEE J. Sel. Top. in Quantum Electron,  11(1), 50–65 (2005).
[Crossref]

Welch, D. F.

R. Nagarajan, C. H. Joyner, R. P. Schneider, J. S. Bostak, T. Butrie, A. G. Dentai, V. G. Dominic, P. W. Evans, M. Kato, M. Kauffman, D. J. H. Lambert, S. K. Mathis, A. Mathur, R. H. Miles, M. L. Mitchell, M. J. Missey, S. Murthy, A. C. Nilsson, F. H. Peters, S. C. Pennypacker, J. L. Pleumeekers, R. A. Salvatore, R. K. Schlenker, R. B. Taylor, T. Huan-Shang, M. F. Van Leeuwen, J. Webjorn, M. Ziari, D. Perkins, J. Singh, S. G. Grubb, M. S. Reffle, D. G. Mehuys, F. A. Kish, and D. F. Welch, “Large-scale photonic integrated circuits,” IEEE J. Sel. Top. in Quantum Electron,  11(1), 50–65 (2005).
[Crossref]

Williams, K.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Williams, K. A.

R. Stabile, A. Rohit, and K. A. Williams, “Wavelength selective cross-connect,” J. Lightwave. Technol. 32(2), 201–207 (2014).
[Crossref]

Wonfor, A.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Wu, C.

T. Touam, C. Wu, Y. Gigase, M. Belanger, J. F. Currie, and S. I. Najafi., “Fabrication, characterization, and analysis of zinc-diffused GaAs waveguides,” IEEE J. Quantum Electron. 25(5), 850–853 (1989).
[Crossref]

Xu, D. X.

Xueliang, S.

N. Futakuchi, S. Xueliang, D. Miyashita, M. Kato, and Y. Nakano., “Fabrication of InGaAsP/InP Mach-Zehnder interferometer optical amplifier switches by metalorganic vapor phase selective area epitaxy,” in Proceedings of IEEE International Conference on Indium Phosphide and Related Materials (IEEE, 2001), pp. 583–586

Yamaguchi, A.

A. Yamaguchi and O. Komuro, “Characterization of line edge roughness in resist patterns by using fourier analysis and auto-correlation function,” Jpn. J. Appl. Phys. 42, 3763–3770 (2003).
[Crossref]

Yao, W.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Yap, K. P.

K. P. Yap, A. Delage, J. Lapointe, B. Lamontagne, J.H. Schmid, Philip Waldron, B.A. Syrett, and S. Janz, “Correlation of scattering loss, sidewall roughness and waveguide width in Silicon-on-Insulator (SOI) ridge waveguides,” J. Lightwave. Technol. 27(18), 3999–4008 (2009).
[Crossref]

Zhao, J.

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Ziari, M.

R. Nagarajan, C. H. Joyner, R. P. Schneider, J. S. Bostak, T. Butrie, A. G. Dentai, V. G. Dominic, P. W. Evans, M. Kato, M. Kauffman, D. J. H. Lambert, S. K. Mathis, A. Mathur, R. H. Miles, M. L. Mitchell, M. J. Missey, S. Murthy, A. C. Nilsson, F. H. Peters, S. C. Pennypacker, J. L. Pleumeekers, R. A. Salvatore, R. K. Schlenker, R. B. Taylor, T. Huan-Shang, M. F. Van Leeuwen, J. Webjorn, M. Ziari, D. Perkins, J. Singh, S. G. Grubb, M. S. Reffle, D. G. Mehuys, F. A. Kish, and D. F. Welch, “Large-scale photonic integrated circuits,” IEEE J. Sel. Top. in Quantum Electron,  11(1), 50–65 (2005).
[Crossref]

Adv. Opt. Photonics (1)

C. Ciminelli, F. Dell’Olio, C. E. Campanella, and M.N. Armenise, “Photonic technologies for angular velocity sensing,” Adv. Opt. Photonics 2(3), 370 (2010).
[Crossref]

Appl. Opt. (1)

IEEE J. Quantum Electron. (2)

T. Touam, C. Wu, Y. Gigase, M. Belanger, J. F. Currie, and S. I. Najafi., “Fabrication, characterization, and analysis of zinc-diffused GaAs waveguides,” IEEE J. Quantum Electron. 25(5), 850–853 (1989).
[Crossref]

J. P. Weber, “Optimization of the carrier-induced effective index change in InGaAsP waveguides - application to tunable Bragg filters,” IEEE J. Quantum Electron. 30(8), 1801–1816 (1994).
[Crossref]

IEEE J. Sel. Top. in Quantum Electron (1)

R. Nagarajan, C. H. Joyner, R. P. Schneider, J. S. Bostak, T. Butrie, A. G. Dentai, V. G. Dominic, P. W. Evans, M. Kato, M. Kauffman, D. J. H. Lambert, S. K. Mathis, A. Mathur, R. H. Miles, M. L. Mitchell, M. J. Missey, S. Murthy, A. C. Nilsson, F. H. Peters, S. C. Pennypacker, J. L. Pleumeekers, R. A. Salvatore, R. K. Schlenker, R. B. Taylor, T. Huan-Shang, M. F. Van Leeuwen, J. Webjorn, M. Ziari, D. Perkins, J. Singh, S. G. Grubb, M. S. Reffle, D. G. Mehuys, F. A. Kish, and D. F. Welch, “Large-scale photonic integrated circuits,” IEEE J. Sel. Top. in Quantum Electron,  11(1), 50–65 (2005).
[Crossref]

IEEE Photon. J. (1)

E. Bitincka, G. Gilardi, and M. K. Smit, “On-wafer optical loss measurements using ring resonators with integrated sources and detectors,” IEEE Photon. J. 6(5), 1–12 (2014).
[Crossref]

IEEE Photon. Techn. Lett. (1)

T. Feuchter and C. Thirstrup, “High precision planar waveguide propagation loss measurement technique using a Fabry-Perot cavity,” IEEE Photon. Techn. Lett. 6, 4–7 (1994).
[Crossref]

J. Appl. Phys. (1)

W. Walukiewicz, J. Lagowski, L. Jastrzebski, P. Rava, M. Lichtensteiger, C. H. Gatos, and H. C. Gatos, “Electron mobility and free-carrier absorption in InP; determination of the compensation ratio,” J. Appl. Phys. 51(5), 2659 (1980).
[Crossref]

J. Cryst. Growth (1)

D. Franke, F.W. Reier, and N. Grote, “Post-growth Zn diffusion into InGaAs/InP in a LP-MOVPE reactor,” J. Cryst. Growth,  195(1–4), 112–116 (1998).
[Crossref]

J. Electron. Mater. (2)

K. Vanhollebeke, M. D’Hondt, I. Moerman, P. Daele, and P. Demeester, “Zn doping of InP, InAsP/InP, and InAsP/InGaAs heterostructures through metalorganic vapor phase diffusion (MOVPD),” J. Electron. Mater. 30(8), 951–959 (2001).
[Crossref]

M. H. Ettenberg, M. J. Lange, A. R. Sugg, M. J. Cohen, and G. H. Olsen, “Zinc diffusion in InAsP/InGaAs heterostructures,” J. Electron. Mater. 28, 1433–1439 (1999).
[Crossref]

J. Lightwave. Technol. (3)

K. P. Yap, A. Delage, J. Lapointe, B. Lamontagne, J.H. Schmid, Philip Waldron, B.A. Syrett, and S. Janz, “Correlation of scattering loss, sidewall roughness and waveguide width in Silicon-on-Insulator (SOI) ridge waveguides,” J. Lightwave. Technol. 27(18), 3999–4008 (2009).
[Crossref]

R. Stabile, A. Rohit, and K. A. Williams, “Wavelength selective cross-connect,” J. Lightwave. Technol. 32(2), 201–207 (2014).
[Crossref]

M. T Hill, X. J. M. Leijtens, G. D. Khoe, and M. K. Smit, “Optimizing Imbalance and Loss in 2×2 3-dB multi-mode interference couplers via access waveguide width,” J. Lightwave. Technol. 21(10), 2305–2313 (2003).
[Crossref]

Jpn. J. Appl. Phys. (2)

A. Yamaguchi and O. Komuro, “Characterization of line edge roughness in resist patterns by using fourier analysis and auto-correlation function,” Jpn. J. Appl. Phys. 42, 3763–3770 (2003).
[Crossref]

M. Wada, M. Seko, K. Sakakibara, and Y. Sekiguchi, “Zn diffusion into InP using dimethylzinc as a Zn source,” Jpn. J. Appl. Phys. 28, 1700–1703 (1989).
[Crossref]

Laser & Photon. Rev. (1)

W. Bogaerts, P. De Heyn, T. Van Vaerenbergh, K. De Vos, S. Kumar Selvaraja, T. Claes, P. Dumon, P. Bienstman, D. Van Thourhout, and R. Baets, “Silicon microring resonators,” Laser & Photon. Rev. 6(1), 47–73 (2012).
[Crossref]

Opt. Express (2)

D. X. Xu, A. Densmore, P. Waldron, J. Lapointe, E. Post, A. Delâge, S. Janz, P. Cheben, J. Schmid, and B. Lamontagne, “High bandwidth SOI photonic wire ring resonators using MMI couplers,” Opt. Express 15(6), 3149–3155 (2007).
[Crossref] [PubMed]

C. Ciminelli, F. Dell’Olio, M. N. Armenise, F. M. Soares, and W. Passenberg, “High performance InP ring resonator for new generation monolithically integrated optical gyroscopes,” Opt. Express 21(1), 302–305 (2013).
[Crossref]

Opt. Quant. Electron. (1)

F. P. Payne and J. P. R. Lacey, “A theoretical analysis of scattering loss from planar optical waveguides,” Opt. Quant. Electron. 26, 977–986 (1994).
[Crossref]

Semicond. Sci. Technol. (1)

M. K. Smit, X. J. M. Leijtens, H. P. M. M. Ambrosius, E. Bente, J. van der Tol, B. Smalbrugge, T. de Vries, E. J. Geluk, J. Bolk, R. van Veldhoven, L. Augustin, P. Thijs, D. D’Agostino, H. Rabbani, K. Lawniczuk, S. Stopinski, S. Tahvili, A. Corradi, E. Kleijn, D. Dzibrou, M. Felicetti, E. Bitincka, V. Moskalenko, J. Zhao, R. Santos, G. Gilardi, W. Yao, K. Williams, P. Stabile, P. Kuindersma, J. Pello, S. Bhat, Y. Jiao, D. Heiss, G. Roelkens, M. J. Wale, P. Firth, F.M. Soares, N. Grote, M. Schell, H. Debregeas, M. Achouche, J. L. Gentner, A. Bakker, T. Korthorst, D. Gallagher, A. Dabbs, A. Melloni, F. Morichetti, D. Melati, A. Wonfor, R. Penty, R. Broeke, B. Musk, and D. Robbins, “An introduction to InP-based generic integration technology,” Semicond. Sci. Technol. 29, 083001 (2014).
[Crossref]

Other (5)

N. Futakuchi, S. Xueliang, D. Miyashita, M. Kato, and Y. Nakano., “Fabrication of InGaAsP/InP Mach-Zehnder interferometer optical amplifier switches by metalorganic vapor phase selective area epitaxy,” in Proceedings of IEEE International Conference on Indium Phosphide and Related Materials (IEEE, 2001), pp. 583–586

V. Tolstikhin, “Regrowth-Free Multi-Guide Vertical Integration in InP for Optical Communications Multi-guide vertical integration Building block approach,” in Proceedings of IEEE International Conference on Indium Phosphide and Related Materials (IEEE, 2011), pp. 3–6.

J. Wallin, G. Landgren, K. Streubel, S. Nilsson, and M. Oberg., “Selective Area Regrowth of Butt-joint Coupled Waveguides in Multi-section DBR Lasers,” in Proceedings of IEEE Sixth International Conference on Metalorganic Vapor Phase Epitaxy (IEEE, 1992), pp. 73–74.
[Crossref]

C. Ciminelli, F. Dell’Olio, C. E. Campanella, and M. N. Armenise, “Numerical and experimental investigation of an optical high-Q spiral resonator gyroscope,” in Proceedings of IEEE International Conference on Transparent Optical Networks (IEEE, 2012), pp. 1–4.

E. Bitincka, Emil Kleijn, and Meint K. Smit, “Accuracy analysis of the fabry-perot measurement method,” in Advanced Photonics 2013, OSA Technical Digest Series (Optical Society of America, 2013), paper JT3A.10.
[Crossref]

Cited By

OSA participates in Crossref's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (15)

Fig. 1
Fig. 1 Standard COBRA cross-sections used for phase modulators (EOPM) and passive waveguide fabrication. In the passive sections the 300 nm contact layer is removed to avoid bandgap absorption.
Fig. 2
Fig. 2 Schematic diffusion process for the definition of localized p-n regions. Diffusion takes place in between epitaxy and waveguide fabrication.
Fig. 3
Fig. 3 Measured diffusion profiles for different exposure times. Dashed lines indicate the COBRA insitu target doping profile.
Fig. 4
Fig. 4 SEM image of wafer crossection through a diffusion area.
Fig. 5
Fig. 5 Test structures for characterization of the waveguide loss.
Fig. 6
Fig. 6 Measured waveguides of fixed length which are guided through diffusion areas of different length. The solid line represents a fit to the measurement with the result given as inset.
Fig. 7
Fig. 7 Simulations for different coupling coefficients and a ring circumference of 5 cm.
Fig. 8
Fig. 8 Simulation of an MMI-coupler with r2=0.72. The access waveguides are shallow and the multimode region is deeply etched.
Fig. 9
Fig. 9 MMI coupling element.
Fig. 10
Fig. 10 Transmission and coupling coefficients of the MMI-coupler. Solid lines represent BPM simulations for a 10.75 μm wide coupler.
Fig. 11
Fig. 11 BPM simulation of modefilter for different propagation modes.
Fig. 12
Fig. 12 Spatial modefilter. Solid lines represent simulated loss for a 9.75 μm wide MMI.
Fig. 13
Fig. 13 Characterization setup for a fabricated ring resonator. The spiral of the ring is etched shallow, while MMI and modefilter are deep.
Fig. 14
Fig. 14 Transmission of ring resonator with 73 mm circumference. The derived insertion loss from the fit is given in the caption based on the assumption of αc=0.4 dB for both MMIs.
Fig. 15
Fig. 15 Measurement of ring resonators with different circumference. The lines represent fits to analytical equations, with the derived insertion loss given in the legends. Starting guess for αc was 0.4 dB which includes both MMIs.

Tables (1)

Tables Icon

Table 1 Waveguide loss in dB/cm for waveguides with different core thickness and polarization, λ =1.55 μm.

Equations (12)

Equations on this page are rendered with MathJax. Learn more.

α = α n + Λ α p + α s
α L = ln ( 1 R γ 1 γ + 1 )
α ( Λ = 0 ) = α n + α s
α ( Λ 1 ) α ( Λ 2 ) = α p ( Λ 1 Λ 2 ) = 1 L ln ( γ 1 1 γ 1 + 1 γ 2 + 1 γ 2 1 )
T = a 2 2 racos ( ϕ ) + r 2 1 2 racos ( ϕ ) + ( ra 2 )
a 2 = α c e ( α s + α n ) L
ER = T max T min = ( a + r ) 2 ( 1 + ra ) 2 ( 1 ra ) 2 ( a r ) 2
α = 1 L ln ( a 2 α c )
Δ α = 1 L ln ( α c α co )
Δ α 2 L ln ( r r o )
Q = λ 0 Δ λ = π n g L ra λ 0 ( 1 ra )
r 2 = T 1 / ( T 1 + T 2 ) κ 2 = T 2 / ( T 1 + T 2 )

Metrics