R. Accorsi, F. Gasparini, and R. C. Lanza., “A coded aperture for high-resolution nuclear medicine planar imaging with a conventional Anger camera: experimental results,” IEEE Trans. Nucl. Sci. 48(6) 2411–2417 (2001).
[Crossref]
J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]
D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)
C. Wagner, J. Bacelar, N. Harned, E. Loopstra, S. Hendriks, I. de Jong, P. Kuerz, L. Levasier, M. van de Kerkhof, M. Lowisch, H. Meiling, D. Ockwell, R. Peeters, E. van Setten, J. Stoeldraijer, S. Young, J. Zimmerman, and R. Kool, “EUV lithography at chipmakers has started: performance validation of ASML’s NXE:3100,” Proc. SPIE 7969, 79691F (April, 2011).
[Crossref]
D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)
J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]
J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]
J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]
D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)
J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]
J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]
J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]
C. Wagner, J. Bacelar, N. Harned, E. Loopstra, S. Hendriks, I. de Jong, P. Kuerz, L. Levasier, M. van de Kerkhof, M. Lowisch, H. Meiling, D. Ockwell, R. Peeters, E. van Setten, J. Stoeldraijer, S. Young, J. Zimmerman, and R. Kool, “EUV lithography at chipmakers has started: performance validation of ASML’s NXE:3100,” Proc. SPIE 7969, 79691F (April, 2011).
[Crossref]
J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]
J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]
S. Eisebitt, “X-ray holography: the hole story,” Nature Photon. 2529–530 (2008).
[Crossref]
P. E. Murphy, J. Fleig, G. Forbes, and M. Tricard., “High precision metrology of domes and aspheric optics,” Proc. SPIE5786 (May2005)
[Crossref]
D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)
P. E. Murphy, J. Fleig, G. Forbes, and M. Tricard., “High precision metrology of domes and aspheric optics,” Proc. SPIE5786 (May2005)
[Crossref]
R. Accorsi, F. Gasparini, and R. C. Lanza., “A coded aperture for high-resolution nuclear medicine planar imaging with a conventional Anger camera: experimental results,” IEEE Trans. Nucl. Sci. 48(6) 2411–2417 (2001).
[Crossref]
D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)
D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)
D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)
D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)
J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]
R. Hain, C. J. Kushler, and C Tropea., “Comparison of CCD, CMOS and intensified cameras,” Exp. Fluids 42(3) 403–411 (2007).
[Crossref]
D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)
J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]
J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]
C. Wagner, J. Bacelar, N. Harned, E. Loopstra, S. Hendriks, I. de Jong, P. Kuerz, L. Levasier, M. van de Kerkhof, M. Lowisch, H. Meiling, D. Ockwell, R. Peeters, E. van Setten, J. Stoeldraijer, S. Young, J. Zimmerman, and R. Kool, “EUV lithography at chipmakers has started: performance validation of ASML’s NXE:3100,” Proc. SPIE 7969, 79691F (April, 2011).
[Crossref]
J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]
C. Wagner, J. Bacelar, N. Harned, E. Loopstra, S. Hendriks, I. de Jong, P. Kuerz, L. Levasier, M. van de Kerkhof, M. Lowisch, H. Meiling, D. Ockwell, R. Peeters, E. van Setten, J. Stoeldraijer, S. Young, J. Zimmerman, and R. Kool, “EUV lithography at chipmakers has started: performance validation of ASML’s NXE:3100,” Proc. SPIE 7969, 79691F (April, 2011).
[Crossref]
J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]
D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)
D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)
J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]
D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)
C. Wagner, J. Bacelar, N. Harned, E. Loopstra, S. Hendriks, I. de Jong, P. Kuerz, L. Levasier, M. van de Kerkhof, M. Lowisch, H. Meiling, D. Ockwell, R. Peeters, E. van Setten, J. Stoeldraijer, S. Young, J. Zimmerman, and R. Kool, “EUV lithography at chipmakers has started: performance validation of ASML’s NXE:3100,” Proc. SPIE 7969, 79691F (April, 2011).
[Crossref]
J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]
J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]
D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)
C. Wagner, J. Bacelar, N. Harned, E. Loopstra, S. Hendriks, I. de Jong, P. Kuerz, L. Levasier, M. van de Kerkhof, M. Lowisch, H. Meiling, D. Ockwell, R. Peeters, E. van Setten, J. Stoeldraijer, S. Young, J. Zimmerman, and R. Kool, “EUV lithography at chipmakers has started: performance validation of ASML’s NXE:3100,” Proc. SPIE 7969, 79691F (April, 2011).
[Crossref]
R. Hain, C. J. Kushler, and C Tropea., “Comparison of CCD, CMOS and intensified cameras,” Exp. Fluids 42(3) 403–411 (2007).
[Crossref]
J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]
R. Accorsi, F. Gasparini, and R. C. Lanza., “A coded aperture for high-resolution nuclear medicine planar imaging with a conventional Anger camera: experimental results,” IEEE Trans. Nucl. Sci. 48(6) 2411–2417 (2001).
[Crossref]
D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)
D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)
C. Wagner, J. Bacelar, N. Harned, E. Loopstra, S. Hendriks, I. de Jong, P. Kuerz, L. Levasier, M. van de Kerkhof, M. Lowisch, H. Meiling, D. Ockwell, R. Peeters, E. van Setten, J. Stoeldraijer, S. Young, J. Zimmerman, and R. Kool, “EUV lithography at chipmakers has started: performance validation of ASML’s NXE:3100,” Proc. SPIE 7969, 79691F (April, 2011).
[Crossref]
C. Wagner, J. Bacelar, N. Harned, E. Loopstra, S. Hendriks, I. de Jong, P. Kuerz, L. Levasier, M. van de Kerkhof, M. Lowisch, H. Meiling, D. Ockwell, R. Peeters, E. van Setten, J. Stoeldraijer, S. Young, J. Zimmerman, and R. Kool, “EUV lithography at chipmakers has started: performance validation of ASML’s NXE:3100,” Proc. SPIE 7969, 79691F (April, 2011).
[Crossref]
C. Wagner, J. Bacelar, N. Harned, E. Loopstra, S. Hendriks, I. de Jong, P. Kuerz, L. Levasier, M. van de Kerkhof, M. Lowisch, H. Meiling, D. Ockwell, R. Peeters, E. van Setten, J. Stoeldraijer, S. Young, J. Zimmerman, and R. Kool, “EUV lithography at chipmakers has started: performance validation of ASML’s NXE:3100,” Proc. SPIE 7969, 79691F (April, 2011).
[Crossref]
J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]
J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]
J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]
J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]
C. Wagner, J. Bacelar, N. Harned, E. Loopstra, S. Hendriks, I. de Jong, P. Kuerz, L. Levasier, M. van de Kerkhof, M. Lowisch, H. Meiling, D. Ockwell, R. Peeters, E. van Setten, J. Stoeldraijer, S. Young, J. Zimmerman, and R. Kool, “EUV lithography at chipmakers has started: performance validation of ASML’s NXE:3100,” Proc. SPIE 7969, 79691F (April, 2011).
[Crossref]
J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]
P. E. Murphy, J. Fleig, G. Forbes, and M. Tricard., “High precision metrology of domes and aspheric optics,” Proc. SPIE5786 (May2005)
[Crossref]
J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]
D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)
C. Wagner, J. Bacelar, N. Harned, E. Loopstra, S. Hendriks, I. de Jong, P. Kuerz, L. Levasier, M. van de Kerkhof, M. Lowisch, H. Meiling, D. Ockwell, R. Peeters, E. van Setten, J. Stoeldraijer, S. Young, J. Zimmerman, and R. Kool, “EUV lithography at chipmakers has started: performance validation of ASML’s NXE:3100,” Proc. SPIE 7969, 79691F (April, 2011).
[Crossref]
C. Wagner, J. Bacelar, N. Harned, E. Loopstra, S. Hendriks, I. de Jong, P. Kuerz, L. Levasier, M. van de Kerkhof, M. Lowisch, H. Meiling, D. Ockwell, R. Peeters, E. van Setten, J. Stoeldraijer, S. Young, J. Zimmerman, and R. Kool, “EUV lithography at chipmakers has started: performance validation of ASML’s NXE:3100,” Proc. SPIE 7969, 79691F (April, 2011).
[Crossref]
J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]
J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]
D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)
J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]
J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]
J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]
D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)
J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]
D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)
D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)
C. Wagner, J. Bacelar, N. Harned, E. Loopstra, S. Hendriks, I. de Jong, P. Kuerz, L. Levasier, M. van de Kerkhof, M. Lowisch, H. Meiling, D. Ockwell, R. Peeters, E. van Setten, J. Stoeldraijer, S. Young, J. Zimmerman, and R. Kool, “EUV lithography at chipmakers has started: performance validation of ASML’s NXE:3100,” Proc. SPIE 7969, 79691F (April, 2011).
[Crossref]
D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)
J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]
D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)
J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]
J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]
D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)
P. E. Murphy, J. Fleig, G. Forbes, and M. Tricard., “High precision metrology of domes and aspheric optics,” Proc. SPIE5786 (May2005)
[Crossref]
R. Hain, C. J. Kushler, and C Tropea., “Comparison of CCD, CMOS and intensified cameras,” Exp. Fluids 42(3) 403–411 (2007).
[Crossref]
C. Wagner, J. Bacelar, N. Harned, E. Loopstra, S. Hendriks, I. de Jong, P. Kuerz, L. Levasier, M. van de Kerkhof, M. Lowisch, H. Meiling, D. Ockwell, R. Peeters, E. van Setten, J. Stoeldraijer, S. Young, J. Zimmerman, and R. Kool, “EUV lithography at chipmakers has started: performance validation of ASML’s NXE:3100,” Proc. SPIE 7969, 79691F (April, 2011).
[Crossref]
C. Wagner, J. Bacelar, N. Harned, E. Loopstra, S. Hendriks, I. de Jong, P. Kuerz, L. Levasier, M. van de Kerkhof, M. Lowisch, H. Meiling, D. Ockwell, R. Peeters, E. van Setten, J. Stoeldraijer, S. Young, J. Zimmerman, and R. Kool, “EUV lithography at chipmakers has started: performance validation of ASML’s NXE:3100,” Proc. SPIE 7969, 79691F (April, 2011).
[Crossref]
C. Wagner, J. Bacelar, N. Harned, E. Loopstra, S. Hendriks, I. de Jong, P. Kuerz, L. Levasier, M. van de Kerkhof, M. Lowisch, H. Meiling, D. Ockwell, R. Peeters, E. van Setten, J. Stoeldraijer, S. Young, J. Zimmerman, and R. Kool, “EUV lithography at chipmakers has started: performance validation of ASML’s NXE:3100,” Proc. SPIE 7969, 79691F (April, 2011).
[Crossref]
J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]
J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]
J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]
J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]
J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]
D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)
J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]
C. Wagner, J. Bacelar, N. Harned, E. Loopstra, S. Hendriks, I. de Jong, P. Kuerz, L. Levasier, M. van de Kerkhof, M. Lowisch, H. Meiling, D. Ockwell, R. Peeters, E. van Setten, J. Stoeldraijer, S. Young, J. Zimmerman, and R. Kool, “EUV lithography at chipmakers has started: performance validation of ASML’s NXE:3100,” Proc. SPIE 7969, 79691F (April, 2011).
[Crossref]
C. Wagner, J. Bacelar, N. Harned, E. Loopstra, S. Hendriks, I. de Jong, P. Kuerz, L. Levasier, M. van de Kerkhof, M. Lowisch, H. Meiling, D. Ockwell, R. Peeters, E. van Setten, J. Stoeldraijer, S. Young, J. Zimmerman, and R. Kool, “EUV lithography at chipmakers has started: performance validation of ASML’s NXE:3100,” Proc. SPIE 7969, 79691F (April, 2011).
[Crossref]