Abstract

We describe the coded aperture detector, a novel image sensor based on uniformly redundant arrays (URAs) with customizable pixel size, resolution, and operating photon energy regime. In this sensor, a coded aperture is scanned laterally at the image plane of an optical system, and the transmitted intensity is measured by a photodiode. The image intensity is then digitally reconstructed using a simple convolution. We present results from a proof-of-principle optical prototype, demonstrating high-fidelity image sensing comparable to a CCD. A 20-nm half-pitch URA fabricated by the Center for X-ray Optics (CXRO) nano-fabrication laboratory is presented that is suitable for high-resolution image sensing at EUV and soft X-ray wavelengths.

© 2014 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article
OSA Recommended Articles
Time-resolved and energy-resolved coded aperture images with URA tagging

E. E. Fenimore
Appl. Opt. 26(14) 2760-2769 (1987)

Resolution improvement of integral imaging based on time multiplexing sub-pixel coding method on common display panel

Yujiao Chen, Xiaorui Wang, Jianlei Zhang, Shuo Yu, Qiping Zhang, and Bingtao Guo
Opt. Express 22(15) 17897-17907 (2014)

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. C. Wagner, J. Bacelar, N. Harned, E. Loopstra, S. Hendriks, I. de Jong, P. Kuerz, L. Levasier, M. van de Kerkhof, M. Lowisch, H. Meiling, D. Ockwell, R. Peeters, E. van Setten, J. Stoeldraijer, S. Young, J. Zimmerman, and R. Kool, “EUV lithography at chipmakers has started: performance validation of ASML’s NXE:3100,” Proc. SPIE 7969, 79691F (April, 2011).
    [Crossref]
  2. R. Hain, C. J. Kushler, and C Tropea., “Comparison of CCD, CMOS and intensified cameras,” Exp. Fluids 42(3) 403–411 (2007).
    [Crossref]
  3. P. E. Murphy, J. Fleig, G. Forbes, and M. Tricard., “High precision metrology of domes and aspheric optics,” Proc. SPIE5786 (May2005)
    [Crossref]
  4. J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
    [Crossref]
  5. D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)
  6. R. Accorsi, F. Gasparini, and R. C. Lanza., “A coded aperture for high-resolution nuclear medicine planar imaging with a conventional Anger camera: experimental results,” IEEE Trans. Nucl. Sci. 48(6) 2411–2417 (2001).
    [Crossref]
  7. S. Eisebitt, “X-ray holography: the hole story,” Nature Photon. 2529–530 (2008).
    [Crossref]
  8. S. R. Gottesman and E. E. Fenimore, “New family of binary arrays for coded aperture imaging,” Appl. Opt. 28(20) 4344–4352 (1989).
    [Crossref] [PubMed]

2011 (1)

C. Wagner, J. Bacelar, N. Harned, E. Loopstra, S. Hendriks, I. de Jong, P. Kuerz, L. Levasier, M. van de Kerkhof, M. Lowisch, H. Meiling, D. Ockwell, R. Peeters, E. van Setten, J. Stoeldraijer, S. Young, J. Zimmerman, and R. Kool, “EUV lithography at chipmakers has started: performance validation of ASML’s NXE:3100,” Proc. SPIE 7969, 79691F (April, 2011).
[Crossref]

2008 (1)

S. Eisebitt, “X-ray holography: the hole story,” Nature Photon. 2529–530 (2008).
[Crossref]

2007 (2)

R. Hain, C. J. Kushler, and C Tropea., “Comparison of CCD, CMOS and intensified cameras,” Exp. Fluids 42(3) 403–411 (2007).
[Crossref]

J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]

2002 (1)

D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)

2001 (1)

R. Accorsi, F. Gasparini, and R. C. Lanza., “A coded aperture for high-resolution nuclear medicine planar imaging with a conventional Anger camera: experimental results,” IEEE Trans. Nucl. Sci. 48(6) 2411–2417 (2001).
[Crossref]

1989 (1)

Accorsi, R.

R. Accorsi, F. Gasparini, and R. C. Lanza., “A coded aperture for high-resolution nuclear medicine planar imaging with a conventional Anger camera: experimental results,” IEEE Trans. Nucl. Sci. 48(6) 2411–2417 (2001).
[Crossref]

Al-Janabi, K.

J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]

Attwood, D. T.

D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)

Bacelar, J.

C. Wagner, J. Bacelar, N. Harned, E. Loopstra, S. Hendriks, I. de Jong, P. Kuerz, L. Levasier, M. van de Kerkhof, M. Lowisch, H. Meiling, D. Ockwell, R. Peeters, E. van Setten, J. Stoeldraijer, S. Young, J. Zimmerman, and R. Kool, “EUV lithography at chipmakers has started: performance validation of ASML’s NXE:3100,” Proc. SPIE 7969, 79691F (April, 2011).
[Crossref]

Ballard, W.

D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)

Bradley, L. J.

J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]

Brown, C. M.

J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]

Castelli, C. M.

J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]

Chapman, H.

D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)

Chaudry, R. A.

J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]

Culhane, J. L.

J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]

Davila, J.

J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]

de Jong, I.

C. Wagner, J. Bacelar, N. Harned, E. Loopstra, S. Hendriks, I. de Jong, P. Kuerz, L. Levasier, M. van de Kerkhof, M. Lowisch, H. Meiling, D. Ockwell, R. Peeters, E. van Setten, J. Stoeldraijer, S. Young, J. Zimmerman, and R. Kool, “EUV lithography at chipmakers has started: performance validation of ASML’s NXE:3100,” Proc. SPIE 7969, 79691F (April, 2011).
[Crossref]

Dere, K.

J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]

Doschek, G. A.

J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]

Eisebitt, S.

S. Eisebitt, “X-ray holography: the hole story,” Nature Photon. 2529–530 (2008).
[Crossref]

Fenimore, E. E.

Fleig, J.

P. E. Murphy, J. Fleig, G. Forbes, and M. Tricard., “High precision metrology of domes and aspheric optics,” Proc. SPIE5786 (May2005)
[Crossref]

Folta, J.

D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)

Forbes, G.

P. E. Murphy, J. Fleig, G. Forbes, and M. Tricard., “High precision metrology of domes and aspheric optics,” Proc. SPIE5786 (May2005)
[Crossref]

Gasparini, F.

R. Accorsi, F. Gasparini, and R. C. Lanza., “A coded aperture for high-resolution nuclear medicine planar imaging with a conventional Anger camera: experimental results,” IEEE Trans. Nucl. Sci. 48(6) 2411–2417 (2001).
[Crossref]

Goldberg, K.

D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)

Goldsmith, S. J.

D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)

Gottesman, S. R.

Graham, J.

D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)

Gullikson, E.

D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)

Hagood, R.

J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]

Hain, R.

R. Hain, C. J. Kushler, and C Tropea., “Comparison of CCD, CMOS and intensified cameras,” Exp. Fluids 42(3) 403–411 (2007).
[Crossref]

Hale, L.

D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)

Hansteen., V.

J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]

Hara, H.

J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]

Harned, N.

C. Wagner, J. Bacelar, N. Harned, E. Loopstra, S. Hendriks, I. de Jong, P. Kuerz, L. Levasier, M. van de Kerkhof, M. Lowisch, H. Meiling, D. Ockwell, R. Peeters, E. van Setten, J. Stoeldraijer, S. Young, J. Zimmerman, and R. Kool, “EUV lithography at chipmakers has started: performance validation of ASML’s NXE:3100,” Proc. SPIE 7969, 79691F (April, 2011).
[Crossref]

Harra, L. K.

J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]

Hendriks, S.

C. Wagner, J. Bacelar, N. Harned, E. Loopstra, S. Hendriks, I. de Jong, P. Kuerz, L. Levasier, M. van de Kerkhof, M. Lowisch, H. Meiling, D. Ockwell, R. Peeters, E. van Setten, J. Stoeldraijer, S. Young, J. Zimmerman, and R. Kool, “EUV lithography at chipmakers has started: performance validation of ASML’s NXE:3100,” Proc. SPIE 7969, 79691F (April, 2011).
[Crossref]

James, A. M.

J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]

Jefferson, M. K.

D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)

Johnson, T.

D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)

Kent, B. J.

J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]

Klebanoff, L.

D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)

Kool, R.

C. Wagner, J. Bacelar, N. Harned, E. Loopstra, S. Hendriks, I. de Jong, P. Kuerz, L. Levasier, M. van de Kerkhof, M. Lowisch, H. Meiling, D. Ockwell, R. Peeters, E. van Setten, J. Stoeldraijer, S. Young, J. Zimmerman, and R. Kool, “EUV lithography at chipmakers has started: performance validation of ASML’s NXE:3100,” Proc. SPIE 7969, 79691F (April, 2011).
[Crossref]

Korendyke, C. M.

J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]

Kosugi, T.

J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]

Kubiak, G.

D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)

Kuerz, P.

C. Wagner, J. Bacelar, N. Harned, E. Loopstra, S. Hendriks, I. de Jong, P. Kuerz, L. Levasier, M. van de Kerkhof, M. Lowisch, H. Meiling, D. Ockwell, R. Peeters, E. van Setten, J. Stoeldraijer, S. Young, J. Zimmerman, and R. Kool, “EUV lithography at chipmakers has started: performance validation of ASML’s NXE:3100,” Proc. SPIE 7969, 79691F (April, 2011).
[Crossref]

Kushler, C. J.

R. Hain, C. J. Kushler, and C Tropea., “Comparison of CCD, CMOS and intensified cameras,” Exp. Fluids 42(3) 403–411 (2007).
[Crossref]

Lang, J.

J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]

Lanza., R. C.

R. Accorsi, F. Gasparini, and R. C. Lanza., “A coded aperture for high-resolution nuclear medicine planar imaging with a conventional Anger camera: experimental results,” IEEE Trans. Nucl. Sci. 48(6) 2411–2417 (2001).
[Crossref]

Lee, S. H.

D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)

Leung, A.

D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)

Levasier, L.

C. Wagner, J. Bacelar, N. Harned, E. Loopstra, S. Hendriks, I. de Jong, P. Kuerz, L. Levasier, M. van de Kerkhof, M. Lowisch, H. Meiling, D. Ockwell, R. Peeters, E. van Setten, J. Stoeldraijer, S. Young, J. Zimmerman, and R. Kool, “EUV lithography at chipmakers has started: performance validation of ASML’s NXE:3100,” Proc. SPIE 7969, 79691F (April, 2011).
[Crossref]

Loopstra, E.

C. Wagner, J. Bacelar, N. Harned, E. Loopstra, S. Hendriks, I. de Jong, P. Kuerz, L. Levasier, M. van de Kerkhof, M. Lowisch, H. Meiling, D. Ockwell, R. Peeters, E. van Setten, J. Stoeldraijer, S. Young, J. Zimmerman, and R. Kool, “EUV lithography at chipmakers has started: performance validation of ASML’s NXE:3100,” Proc. SPIE 7969, 79691F (April, 2011).
[Crossref]

Lowisch, M.

C. Wagner, J. Bacelar, N. Harned, E. Loopstra, S. Hendriks, I. de Jong, P. Kuerz, L. Levasier, M. van de Kerkhof, M. Lowisch, H. Meiling, D. Ockwell, R. Peeters, E. van Setten, J. Stoeldraijer, S. Young, J. Zimmerman, and R. Kool, “EUV lithography at chipmakers has started: performance validation of ASML’s NXE:3100,” Proc. SPIE 7969, 79691F (April, 2011).
[Crossref]

Mahmoud, S.

J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]

Mapson-Menard, H.

J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]

Mariska, J.

J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]

Matsuzaki, K.

J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]

Meiling, H.

C. Wagner, J. Bacelar, N. Harned, E. Loopstra, S. Hendriks, I. de Jong, P. Kuerz, L. Levasier, M. van de Kerkhof, M. Lowisch, H. Meiling, D. Ockwell, R. Peeters, E. van Setten, J. Stoeldraijer, S. Young, J. Zimmerman, and R. Kool, “EUV lithography at chipmakers has started: performance validation of ASML’s NXE:3100,” Proc. SPIE 7969, 79691F (April, 2011).
[Crossref]

Moye, R.

J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]

Murphy, P. E.

P. E. Murphy, J. Fleig, G. Forbes, and M. Tricard., “High precision metrology of domes and aspheric optics,” Proc. SPIE5786 (May2005)
[Crossref]

Myers, S.

J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]

Naulleau, P.

D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)

Ockwell, D.

C. Wagner, J. Bacelar, N. Harned, E. Loopstra, S. Hendriks, I. de Jong, P. Kuerz, L. Levasier, M. van de Kerkhof, M. Lowisch, H. Meiling, D. Ockwell, R. Peeters, E. van Setten, J. Stoeldraijer, S. Young, J. Zimmerman, and R. Kool, “EUV lithography at chipmakers has started: performance validation of ASML’s NXE:3100,” Proc. SPIE 7969, 79691F (April, 2011).
[Crossref]

Peeters, R.

C. Wagner, J. Bacelar, N. Harned, E. Loopstra, S. Hendriks, I. de Jong, P. Kuerz, L. Levasier, M. van de Kerkhof, M. Lowisch, H. Meiling, D. Ockwell, R. Peeters, E. van Setten, J. Stoeldraijer, S. Young, J. Zimmerman, and R. Kool, “EUV lithography at chipmakers has started: performance validation of ASML’s NXE:3100,” Proc. SPIE 7969, 79691F (April, 2011).
[Crossref]

Probyn, B. J.

J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]

Rees, K.

J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]

Replogle, A. W.

D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)

Seely, J.

J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]

Shaughnessy, B. M.

J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]

Shea, J.

J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]

Shields, H.

D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)

Simnett, G. M.

J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]

Smith, T.

D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)

Sommargren, G.

D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)

Stoeldraijer, J.

C. Wagner, J. Bacelar, N. Harned, E. Loopstra, S. Hendriks, I. de Jong, P. Kuerz, L. Levasier, M. van de Kerkhof, M. Lowisch, H. Meiling, D. Ockwell, R. Peeters, E. van Setten, J. Stoeldraijer, S. Young, J. Zimmerman, and R. Kool, “EUV lithography at chipmakers has started: performance validation of ASML’s NXE:3100,” Proc. SPIE 7969, 79691F (April, 2011).
[Crossref]

Sweeney, D.

D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)

Tandy, J. A.

J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]

Taylor, J.

D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)

Thomas, P.

J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]

Thomas, R. J.

J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]

Tichenor, D.

D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)

Tricard., M.

P. E. Murphy, J. Fleig, G. Forbes, and M. Tricard., “High precision metrology of domes and aspheric optics,” Proc. SPIE5786 (May2005)
[Crossref]

Tropea., C

R. Hain, C. J. Kushler, and C Tropea., “Comparison of CCD, CMOS and intensified cameras,” Exp. Fluids 42(3) 403–411 (2007).
[Crossref]

van de Kerkhof, M.

C. Wagner, J. Bacelar, N. Harned, E. Loopstra, S. Hendriks, I. de Jong, P. Kuerz, L. Levasier, M. van de Kerkhof, M. Lowisch, H. Meiling, D. Ockwell, R. Peeters, E. van Setten, J. Stoeldraijer, S. Young, J. Zimmerman, and R. Kool, “EUV lithography at chipmakers has started: performance validation of ASML’s NXE:3100,” Proc. SPIE 7969, 79691F (April, 2011).
[Crossref]

van Setten, E.

C. Wagner, J. Bacelar, N. Harned, E. Loopstra, S. Hendriks, I. de Jong, P. Kuerz, L. Levasier, M. van de Kerkhof, M. Lowisch, H. Meiling, D. Ockwell, R. Peeters, E. van Setten, J. Stoeldraijer, S. Young, J. Zimmerman, and R. Kool, “EUV lithography at chipmakers has started: performance validation of ASML’s NXE:3100,” Proc. SPIE 7969, 79691F (April, 2011).
[Crossref]

Wagner, C.

C. Wagner, J. Bacelar, N. Harned, E. Loopstra, S. Hendriks, I. de Jong, P. Kuerz, L. Levasier, M. van de Kerkhof, M. Lowisch, H. Meiling, D. Ockwell, R. Peeters, E. van Setten, J. Stoeldraijer, S. Young, J. Zimmerman, and R. Kool, “EUV lithography at chipmakers has started: performance validation of ASML’s NXE:3100,” Proc. SPIE 7969, 79691F (April, 2011).
[Crossref]

Watanabe, T.

J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]

Whillock, M. C. R.

J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]

Wikstol.,

J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]

Windt, D.

J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]

Winter, B.

J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]

Wronosky, J.

D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)

Young, P. R.

J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]

Young, S.

C. Wagner, J. Bacelar, N. Harned, E. Loopstra, S. Hendriks, I. de Jong, P. Kuerz, L. Levasier, M. van de Kerkhof, M. Lowisch, H. Meiling, D. Ockwell, R. Peeters, E. van Setten, J. Stoeldraijer, S. Young, J. Zimmerman, and R. Kool, “EUV lithography at chipmakers has started: performance validation of ASML’s NXE:3100,” Proc. SPIE 7969, 79691F (April, 2011).
[Crossref]

Zimmerman, J.

C. Wagner, J. Bacelar, N. Harned, E. Loopstra, S. Hendriks, I. de Jong, P. Kuerz, L. Levasier, M. van de Kerkhof, M. Lowisch, H. Meiling, D. Ockwell, R. Peeters, E. van Setten, J. Stoeldraijer, S. Young, J. Zimmerman, and R. Kool, “EUV lithography at chipmakers has started: performance validation of ASML’s NXE:3100,” Proc. SPIE 7969, 79691F (April, 2011).
[Crossref]

Appl. Opt. (1)

Exp. Fluids (1)

R. Hain, C. J. Kushler, and C Tropea., “Comparison of CCD, CMOS and intensified cameras,” Exp. Fluids 42(3) 403–411 (2007).
[Crossref]

IEEE Trans. Nucl. Sci. (1)

R. Accorsi, F. Gasparini, and R. C. Lanza., “A coded aperture for high-resolution nuclear medicine planar imaging with a conventional Anger camera: experimental results,” IEEE Trans. Nucl. Sci. 48(6) 2411–2417 (2001).
[Crossref]

Nature Photon. (1)

S. Eisebitt, “X-ray holography: the hole story,” Nature Photon. 2529–530 (2008).
[Crossref]

Proc. SPIE (2)

D. Tichenor, A. W. Replogle, S. H. Lee, W. Ballard, A. Leung, G. Kubiak, L. Klebanoff, J. Graham, S. J. Goldsmith, M. K. Jefferson, J. Wronosky, T. Smith, T. Johnson, H. Shields, L. Hale, H. Chapman, J. Taylor, D. Sweeney, J. Folta, G. Sommargren, K. Goldberg, P. Naulleau, D. T. Attwood, and E. Gullikson, “Performance upgrades in the EUV engineering test stand,” Proc. SPIE4688 (July2002)

C. Wagner, J. Bacelar, N. Harned, E. Loopstra, S. Hendriks, I. de Jong, P. Kuerz, L. Levasier, M. van de Kerkhof, M. Lowisch, H. Meiling, D. Ockwell, R. Peeters, E. van Setten, J. Stoeldraijer, S. Young, J. Zimmerman, and R. Kool, “EUV lithography at chipmakers has started: performance validation of ASML’s NXE:3100,” Proc. SPIE 7969, 79691F (April, 2011).
[Crossref]

Sol. Phys. (1)

J. L. Culhane, L. K. Harra, A. M. James, K. Al-Janabi, L. J. Bradley, R. A. Chaudry, K. Rees, J. A. Tandy, P. Thomas, M. C. R. Whillock, B. Winter, G. A. Doschek, C. M. Korendyke, C. M. Brown, S. Myers, J. Mariska, J. Seely, J. Lang, B. J. Kent, B. M. Shaughnessy, P. R. Young, G. M. Simnett, C. M. Castelli, S. Mahmoud, H. Mapson-Menard, B. J. Probyn, R. J. Thomas, J. Davila, K. Dere, D. Windt, J. Shea, R. Hagood, R. Moye, H. Hara, T. Watanabe, K. Matsuzaki, T. Kosugi, V. Hansteen., and Wikstol., “The EUV imaging spectrometer for Hinode,” Sol. Phys. 243(1) 19–61 (2007).
[Crossref]

Other (1)

P. E. Murphy, J. Fleig, G. Forbes, and M. Tricard., “High precision metrology of domes and aspheric optics,” Proc. SPIE5786 (May2005)
[Crossref]

Cited By

OSA participates in Crossref's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (3)

Fig. 1
Fig. 1 SEM image of a URA fabricated at the Center for X-ray Optics demonstrating 20-nm resolution. The pattern consists of a 80-nm gold absorber on a silicon nitride membrane
Fig. 2
Fig. 2 Schematic of visible light prototype.
Fig. 3
Fig. 3 (a)–(b) Pictures of the object patterns taken through an optical microscope, (c)–(d) Signal captured on the diode, and (e)–(f) Reconstructed images after processing.

Tables (1)

Tables Icon

Table 1 Estimation of PSF widths.

Equations (7)

Equations on this page are rendered with MathJax. Learn more.

i ( x , y ) = ( a * t ) ( x , y )
( u u ) ( x , y ) = δ ( x , y )
u T ( x , y ) = u ( x mod N , y mod N )
i ( x , y ) = ( a * u T ) ( x , y ) = ( a u ) ( x , y )
( i u ) ( x , y ) = [ ( a u ) u ] ( x , y ) = [ a ( u u ) ] ( x , y ) = [ a δ ] ( x , y ) = a ( x , y )
PSF ( x , y , σ x , σ y ) = A exp { ( x 2 2 σ x 2 y 2 2 σ y 2 ) }
E ( σ x , σ y ) = x , y | ( i ideal * PSF ) ( x , y , σ x , σ y ) i measured ( x , y ) | 2

Metrics