E. Louis, E. Spiller, S. Abdali, F. E. Christensen, H. J. Voorma, N. B. Koster, P. K. Frederiksen, C. Tarrio, E. M. Gullikson, and F. Bijkerk, “Multilayer x-ray mirrors for the objective crystal spectrometer on the Spectrum Röntgen Gamma satellite,” Proc. SPIE 2515, 194–203 (1995).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
J.-F. Adam, J.-P. Moy, and J. Susini, “Table-top water window transmission x-ray microscopy: Review of the key issues, and conceptual design of an instrument for biology,” Rev. Sci. Instrum. 76(9), 091301 (2005).
[Crossref]
J. Gaudin, O. Peyrusse, J. Chalupsky, M. Toufarova, L. Vysın, V. Hajkova, R. Sobierajski, T. Burian, Sh. Dastjani-Farahani, A. Graf, M. Amati, L. Gregoratti, S. P. Hau-Riege, G. Hoffmann, L. Juha, J. Krzywinski, R. A. London, S. Moeller, H. Sinn, S. Schorb, M. Stoermer, Th. Tschentscher, V. Vorlıcek, H. Vu, J. Bozek, and C. Bostedt, “Amorphous to crystalline phase transition in carbon induced by intense femtosecond x-ray free-electron laser pulses,” Phys. Rev. B 86(2), 024103 (2012).
[Crossref]
W. Chao, B. D. Harteneck, J. A. Liddle, E. H. Anderson, and D. T. Attwood, “Soft X-ray microscopy at a spatial resolution better than 15 nm,” Nature 435(7046), 1210–1213 (2005).
[Crossref]
[PubMed]
F. Eriksson, N. Ghafoor, F. Schäfers, E. M. Gullikson, S. Aouadi, S. Rohde, L. Hultman, and J. Birch, “Atomic scale interface engineering by modulated ion-assisted deposition applied to soft x-ray multilayer optics,” Appl. Opt. 47(23), 4196–4204 (2008).
[Crossref]
[PubMed]
M.-C. Chen, P. Arpin, T. Popmintchev, M. Gerrity, B. Zhang, M. Seaberg, D. Popmintchev, M. M. Murnane, and H. C. Kapteyn, “Bright, coherent, ultrafast soft x-ray harmonics spanning the water window from a tabletop light source,” Phys. Rev. Lett. 105(17), 173901 (2010).
[Crossref]
[PubMed]
Y. P. Pershyn, E. N. Zubarev, D. L. Voronov, V. A. Sevryukova, V. V. Kondratenko, G. Vaschenko, M. Grisham, C. S. Menoni, J. J. Rocca, I. A. Artioukov, Y. A. Uspenskii, and A. V. Vinogradov, “Mechanisms of radiation damage to Sc/Si multilayer mirrors under EUV laser irradiation,” J. Phys. D Appl. Phys. 42(12), 125407 (2009).
[Crossref]
I. A. Artyukov, Y. Bugayev, O. Y. Devizenko, R. M. Feschenko, Y. S. Kasyanov, V. V. Kondratenko, S. A. Romanova, S. V. Saveliev, F. Schäfers, T. Feig, Y. A. Uspenski, and A. V. Vinogradov, “Carbon window soft x-ray imaging using multilayer optics,” Proc. SPIE 5919, 59190E (2005).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
A. Sakdinawat and D. Attwood, “Nanoscale X-ray imaging,” Nat. Photonics 4(12), 840–848 (2010).
[Crossref]
W. Chao, B. D. Harteneck, J. A. Liddle, E. H. Anderson, and D. T. Attwood, “Soft X-ray microscopy at a spatial resolution better than 15 nm,” Nature 435(7046), 1210–1213 (2005).
[Crossref]
[PubMed]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
H. M. Hertz, O. von Hofsten, M. Bertilson, U. Vogt, A. Holmberg, J. Reinspach, D. Martz, M. Selin, A. E. Christakou, J. Jerlström-Hultqvist, and S. Svärd, “Laboratory cryo soft X-ray microscopy,” J. Struct. Biol. 177(2), 267–272 (2012).
[Crossref]
[PubMed]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
I. A. Makhotkin, E. Zoethout, E. Louis, A. M. Yakunin, S. Müllender, and F. Bijkerk, “Spectral properties of La/B-based multilayer mirrors near the boron K absorption edge,” Opt. Express 20(11), 11778–11786 (2012).
[Crossref]
[PubMed]
R. A. Loch, A. Dubrouil, R. Sobierajski, D. Descamps, B. Fabre, P. Lidon, R. W. E. van de Kruijs, F. Boekhout, E. Gullikson, J. Gaudin, E. Louis, F. Bijkerk, E. Mével, S. Petit, E. Constant, and Y. Mairesse, “Phase characterization of the reflection on an extreme UV multilayer: comparison between attosecond metrology and standing wave measurements,” Opt. Lett. 36(17), 3386–3388 (2011).
[Crossref]
[PubMed]
R. Sobierajski, S. Bruijn, A. R. Khorsand, E. Louis, R. W. E. van de Kruijs, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, A. Gleeson, J. Grzonka, E. M. Gullikson, V. Hajkova, S. Hau-Riege, L. Juha, M. Jurek, D. Klinger, J. Krzywinski, R. London, J. B. Pelka, T. Płociński, M. Rasiński, K. Tiedtke, S. Toleikis, L. Vysin, H. Wabnitz, and F. Bijkerk, “Damage mechanisms of MoN/SiN multilayer optics for next-generation pulsed XUV light sources,” Opt. Express 19(1), 193–205 (2011).
[Crossref]
[PubMed]
E. Louis, A. E. Yakshin, T. Tsarfati, and F. Bijkerk, “Nanometer interface and materials control for multilayer EUV-optical applications,” Prog. Surf. Sci. 86(11-12), 255–294 (2011).
[Crossref]
A. R. Khorsand, R. Sobierajski, E. Louis, S. Bruijn, E. D. van Hattum, R. W. E. van de Kruijs, M. Jurek, D. Klinger, J. B. Pelka, L. Juha, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, V. Hajkova, L. Vysin, U. Jastrow, N. Stojanovic, S. Toleikis, H. Wabnitz, K. Tiedtke, K. Sokolowski-Tinten, U. Shymanovich, J. Krzywinski, S. Hau-Riege, R. London, A. Gleeson, E. M. Gullikson, and F. Bijkerk, “Single shot damage mechanism of Mo/Si multilayer optics under intense pulsed XUV-exposure,” Opt. Express 18(2), 700–712 (2010).
[Crossref]
[PubMed]
E. Louis, E. Spiller, S. Abdali, F. E. Christensen, H. J. Voorma, N. B. Koster, P. K. Frederiksen, C. Tarrio, E. M. Gullikson, and F. Bijkerk, “Multilayer x-ray mirrors for the objective crystal spectrometer on the Spectrum Röntgen Gamma satellite,” Proc. SPIE 2515, 194–203 (1995).
[Crossref]
F. Eriksson, N. Ghafoor, F. Schäfers, E. M. Gullikson, S. Aouadi, S. Rohde, L. Hultman, and J. Birch, “Atomic scale interface engineering by modulated ion-assisted deposition applied to soft x-ray multilayer optics,” Appl. Opt. 47(23), 4196–4204 (2008).
[Crossref]
[PubMed]
A. Ullrich, M. Bobeth, and W. Pompe, “Evolution of Coherent Interphase Boundaries during Annealing of Multilayers: A Monte Carlo Study,” Interface Sci. 12(2/3), 249–257 (2004).
[Crossref]
R. A. Loch, A. Dubrouil, R. Sobierajski, D. Descamps, B. Fabre, P. Lidon, R. W. E. van de Kruijs, F. Boekhout, E. Gullikson, J. Gaudin, E. Louis, F. Bijkerk, E. Mével, S. Petit, E. Constant, and Y. Mairesse, “Phase characterization of the reflection on an extreme UV multilayer: comparison between attosecond metrology and standing wave measurements,” Opt. Lett. 36(17), 3386–3388 (2011).
[Crossref]
[PubMed]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
T. Mocek, B. Rus, M. Kozlova, J. Polan, P. Homer, K. Jakubczak, M. Stupka, D. Snopek, J. Nejdl, M. H. Edwards, D. S. Whittaker, G. J. Tallents, P. Mistry, G. J. Pert, N. Booth, Z. Zhai, M. Fajardo, P. Zeitoun, J. Chalupsky, V. Hajkova, and L. Juha, “Plasma-based X-ray laser at 21 nm for multidisciplinary applications,” Eur. Phys. J. D 54(2), 439–444 (2009).
[Crossref]
J. Gaudin, O. Peyrusse, J. Chalupsky, M. Toufarova, L. Vysın, V. Hajkova, R. Sobierajski, T. Burian, Sh. Dastjani-Farahani, A. Graf, M. Amati, L. Gregoratti, S. P. Hau-Riege, G. Hoffmann, L. Juha, J. Krzywinski, R. A. London, S. Moeller, H. Sinn, S. Schorb, M. Stoermer, Th. Tschentscher, V. Vorlıcek, H. Vu, J. Bozek, and C. Bostedt, “Amorphous to crystalline phase transition in carbon induced by intense femtosecond x-ray free-electron laser pulses,” Phys. Rev. B 86(2), 024103 (2012).
[Crossref]
J. Gaudin, O. Peyrusse, J. Chalupsky, M. Toufarova, L. Vysın, V. Hajkova, R. Sobierajski, T. Burian, Sh. Dastjani-Farahani, A. Graf, M. Amati, L. Gregoratti, S. P. Hau-Riege, G. Hoffmann, L. Juha, J. Krzywinski, R. A. London, S. Moeller, H. Sinn, S. Schorb, M. Stoermer, Th. Tschentscher, V. Vorlıcek, H. Vu, J. Bozek, and C. Bostedt, “Amorphous to crystalline phase transition in carbon induced by intense femtosecond x-ray free-electron laser pulses,” Phys. Rev. B 86(2), 024103 (2012).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
R. Sobierajski, S. Bruijn, A. R. Khorsand, E. Louis, R. W. E. van de Kruijs, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, A. Gleeson, J. Grzonka, E. M. Gullikson, V. Hajkova, S. Hau-Riege, L. Juha, M. Jurek, D. Klinger, J. Krzywinski, R. London, J. B. Pelka, T. Płociński, M. Rasiński, K. Tiedtke, S. Toleikis, L. Vysin, H. Wabnitz, and F. Bijkerk, “Damage mechanisms of MoN/SiN multilayer optics for next-generation pulsed XUV light sources,” Opt. Express 19(1), 193–205 (2011).
[Crossref]
[PubMed]
A. R. Khorsand, R. Sobierajski, E. Louis, S. Bruijn, E. D. van Hattum, R. W. E. van de Kruijs, M. Jurek, D. Klinger, J. B. Pelka, L. Juha, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, V. Hajkova, L. Vysin, U. Jastrow, N. Stojanovic, S. Toleikis, H. Wabnitz, K. Tiedtke, K. Sokolowski-Tinten, U. Shymanovich, J. Krzywinski, S. Hau-Riege, R. London, A. Gleeson, E. M. Gullikson, and F. Bijkerk, “Single shot damage mechanism of Mo/Si multilayer optics under intense pulsed XUV-exposure,” Opt. Express 18(2), 700–712 (2010).
[Crossref]
[PubMed]
I. A. Artyukov, Y. Bugayev, O. Y. Devizenko, R. M. Feschenko, Y. S. Kasyanov, V. V. Kondratenko, S. A. Romanova, S. V. Saveliev, F. Schäfers, T. Feig, Y. A. Uspenski, and A. V. Vinogradov, “Carbon window soft x-ray imaging using multilayer optics,” Proc. SPIE 5919, 59190E (2005).
[Crossref]
J. Gaudin, O. Peyrusse, J. Chalupsky, M. Toufarova, L. Vysın, V. Hajkova, R. Sobierajski, T. Burian, Sh. Dastjani-Farahani, A. Graf, M. Amati, L. Gregoratti, S. P. Hau-Riege, G. Hoffmann, L. Juha, J. Krzywinski, R. A. London, S. Moeller, H. Sinn, S. Schorb, M. Stoermer, Th. Tschentscher, V. Vorlıcek, H. Vu, J. Bozek, and C. Bostedt, “Amorphous to crystalline phase transition in carbon induced by intense femtosecond x-ray free-electron laser pulses,” Phys. Rev. B 86(2), 024103 (2012).
[Crossref]
R. Sobierajski, S. Bruijn, A. R. Khorsand, E. Louis, R. W. E. van de Kruijs, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, A. Gleeson, J. Grzonka, E. M. Gullikson, V. Hajkova, S. Hau-Riege, L. Juha, M. Jurek, D. Klinger, J. Krzywinski, R. London, J. B. Pelka, T. Płociński, M. Rasiński, K. Tiedtke, S. Toleikis, L. Vysin, H. Wabnitz, and F. Bijkerk, “Damage mechanisms of MoN/SiN multilayer optics for next-generation pulsed XUV light sources,” Opt. Express 19(1), 193–205 (2011).
[Crossref]
[PubMed]
A. R. Khorsand, R. Sobierajski, E. Louis, S. Bruijn, E. D. van Hattum, R. W. E. van de Kruijs, M. Jurek, D. Klinger, J. B. Pelka, L. Juha, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, V. Hajkova, L. Vysin, U. Jastrow, N. Stojanovic, S. Toleikis, H. Wabnitz, K. Tiedtke, K. Sokolowski-Tinten, U. Shymanovich, J. Krzywinski, S. Hau-Riege, R. London, A. Gleeson, E. M. Gullikson, and F. Bijkerk, “Single shot damage mechanism of Mo/Si multilayer optics under intense pulsed XUV-exposure,” Opt. Express 18(2), 700–712 (2010).
[Crossref]
[PubMed]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
C. Montcalm, P. A. Kearney, J. M. Slaughter, B. T. Sullivan, M. Chaker, H. Pépin, and C. M. Falco, “Survey of Ti-, B-, and Y-based soft x-ray-extreme ultraviolet multilayer mirrors for the 2- to 12-nm wavelength region,” Appl. Opt. 35(25), 5134–5147 (1996).
[Crossref]
[PubMed]
J. Gaudin, O. Peyrusse, J. Chalupsky, M. Toufarova, L. Vysın, V. Hajkova, R. Sobierajski, T. Burian, Sh. Dastjani-Farahani, A. Graf, M. Amati, L. Gregoratti, S. P. Hau-Riege, G. Hoffmann, L. Juha, J. Krzywinski, R. A. London, S. Moeller, H. Sinn, S. Schorb, M. Stoermer, Th. Tschentscher, V. Vorlıcek, H. Vu, J. Bozek, and C. Bostedt, “Amorphous to crystalline phase transition in carbon induced by intense femtosecond x-ray free-electron laser pulses,” Phys. Rev. B 86(2), 024103 (2012).
[Crossref]
R. Sobierajski, S. Bruijn, A. R. Khorsand, E. Louis, R. W. E. van de Kruijs, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, A. Gleeson, J. Grzonka, E. M. Gullikson, V. Hajkova, S. Hau-Riege, L. Juha, M. Jurek, D. Klinger, J. Krzywinski, R. London, J. B. Pelka, T. Płociński, M. Rasiński, K. Tiedtke, S. Toleikis, L. Vysin, H. Wabnitz, and F. Bijkerk, “Damage mechanisms of MoN/SiN multilayer optics for next-generation pulsed XUV light sources,” Opt. Express 19(1), 193–205 (2011).
[Crossref]
[PubMed]
A. R. Khorsand, R. Sobierajski, E. Louis, S. Bruijn, E. D. van Hattum, R. W. E. van de Kruijs, M. Jurek, D. Klinger, J. B. Pelka, L. Juha, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, V. Hajkova, L. Vysin, U. Jastrow, N. Stojanovic, S. Toleikis, H. Wabnitz, K. Tiedtke, K. Sokolowski-Tinten, U. Shymanovich, J. Krzywinski, S. Hau-Riege, R. London, A. Gleeson, E. M. Gullikson, and F. Bijkerk, “Single shot damage mechanism of Mo/Si multilayer optics under intense pulsed XUV-exposure,” Opt. Express 18(2), 700–712 (2010).
[Crossref]
[PubMed]
T. Mocek, B. Rus, M. Kozlova, J. Polan, P. Homer, K. Jakubczak, M. Stupka, D. Snopek, J. Nejdl, M. H. Edwards, D. S. Whittaker, G. J. Tallents, P. Mistry, G. J. Pert, N. Booth, Z. Zhai, M. Fajardo, P. Zeitoun, J. Chalupsky, V. Hajkova, and L. Juha, “Plasma-based X-ray laser at 21 nm for multidisciplinary applications,” Eur. Phys. J. D 54(2), 439–444 (2009).
[Crossref]
W. Chao, B. D. Harteneck, J. A. Liddle, E. H. Anderson, and D. T. Attwood, “Soft X-ray microscopy at a spatial resolution better than 15 nm,” Nature 435(7046), 1210–1213 (2005).
[Crossref]
[PubMed]
M.-C. Chen, P. Arpin, T. Popmintchev, M. Gerrity, B. Zhang, M. Seaberg, D. Popmintchev, M. M. Murnane, and H. C. Kapteyn, “Bright, coherent, ultrafast soft x-ray harmonics spanning the water window from a tabletop light source,” Phys. Rev. Lett. 105(17), 173901 (2010).
[Crossref]
[PubMed]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
V. V. Kondratenko, Y. P. Pershin, O. V. Poltseva, A. I. Fedorenko, E. N. Zubarev, S. A. Yulin, V. Kozhevnikov, S. I. Sagitov, V. A. Chirkov, V. E. Levashov, and A. V. Vinogradov, “Thermal stability of soft x-ray Mo-Si and MoSi2-Si multilayer mirrors,” Appl. Opt. 32(10), 1811–1816 (1993).
[Crossref]
[PubMed]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
H. M. Hertz, O. von Hofsten, M. Bertilson, U. Vogt, A. Holmberg, J. Reinspach, D. Martz, M. Selin, A. E. Christakou, J. Jerlström-Hultqvist, and S. Svärd, “Laboratory cryo soft X-ray microscopy,” J. Struct. Biol. 177(2), 267–272 (2012).
[Crossref]
[PubMed]
E. Louis, E. Spiller, S. Abdali, F. E. Christensen, H. J. Voorma, N. B. Koster, P. K. Frederiksen, C. Tarrio, E. M. Gullikson, and F. Bijkerk, “Multilayer x-ray mirrors for the objective crystal spectrometer on the Spectrum Röntgen Gamma satellite,” Proc. SPIE 2515, 194–203 (1995).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
R. Sobierajski, S. Bruijn, A. R. Khorsand, E. Louis, R. W. E. van de Kruijs, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, A. Gleeson, J. Grzonka, E. M. Gullikson, V. Hajkova, S. Hau-Riege, L. Juha, M. Jurek, D. Klinger, J. Krzywinski, R. London, J. B. Pelka, T. Płociński, M. Rasiński, K. Tiedtke, S. Toleikis, L. Vysin, H. Wabnitz, and F. Bijkerk, “Damage mechanisms of MoN/SiN multilayer optics for next-generation pulsed XUV light sources,” Opt. Express 19(1), 193–205 (2011).
[Crossref]
[PubMed]
A. R. Khorsand, R. Sobierajski, E. Louis, S. Bruijn, E. D. van Hattum, R. W. E. van de Kruijs, M. Jurek, D. Klinger, J. B. Pelka, L. Juha, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, V. Hajkova, L. Vysin, U. Jastrow, N. Stojanovic, S. Toleikis, H. Wabnitz, K. Tiedtke, K. Sokolowski-Tinten, U. Shymanovich, J. Krzywinski, S. Hau-Riege, R. London, A. Gleeson, E. M. Gullikson, and F. Bijkerk, “Single shot damage mechanism of Mo/Si multilayer optics under intense pulsed XUV-exposure,” Opt. Express 18(2), 700–712 (2010).
[Crossref]
[PubMed]
R. A. Loch, A. Dubrouil, R. Sobierajski, D. Descamps, B. Fabre, P. Lidon, R. W. E. van de Kruijs, F. Boekhout, E. Gullikson, J. Gaudin, E. Louis, F. Bijkerk, E. Mével, S. Petit, E. Constant, and Y. Mairesse, “Phase characterization of the reflection on an extreme UV multilayer: comparison between attosecond metrology and standing wave measurements,” Opt. Lett. 36(17), 3386–3388 (2011).
[Crossref]
[PubMed]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
J. Gaudin, O. Peyrusse, J. Chalupsky, M. Toufarova, L. Vysın, V. Hajkova, R. Sobierajski, T. Burian, Sh. Dastjani-Farahani, A. Graf, M. Amati, L. Gregoratti, S. P. Hau-Riege, G. Hoffmann, L. Juha, J. Krzywinski, R. A. London, S. Moeller, H. Sinn, S. Schorb, M. Stoermer, Th. Tschentscher, V. Vorlıcek, H. Vu, J. Bozek, and C. Bostedt, “Amorphous to crystalline phase transition in carbon induced by intense femtosecond x-ray free-electron laser pulses,” Phys. Rev. B 86(2), 024103 (2012).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
R. A. Loch, A. Dubrouil, R. Sobierajski, D. Descamps, B. Fabre, P. Lidon, R. W. E. van de Kruijs, F. Boekhout, E. Gullikson, J. Gaudin, E. Louis, F. Bijkerk, E. Mével, S. Petit, E. Constant, and Y. Mairesse, “Phase characterization of the reflection on an extreme UV multilayer: comparison between attosecond metrology and standing wave measurements,” Opt. Lett. 36(17), 3386–3388 (2011).
[Crossref]
[PubMed]
I. A. Artyukov, Y. Bugayev, O. Y. Devizenko, R. M. Feschenko, Y. S. Kasyanov, V. V. Kondratenko, S. A. Romanova, S. V. Saveliev, F. Schäfers, T. Feig, Y. A. Uspenski, and A. V. Vinogradov, “Carbon window soft x-ray imaging using multilayer optics,” Proc. SPIE 5919, 59190E (2005).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
R. A. Loch, A. Dubrouil, R. Sobierajski, D. Descamps, B. Fabre, P. Lidon, R. W. E. van de Kruijs, F. Boekhout, E. Gullikson, J. Gaudin, E. Louis, F. Bijkerk, E. Mével, S. Petit, E. Constant, and Y. Mairesse, “Phase characterization of the reflection on an extreme UV multilayer: comparison between attosecond metrology and standing wave measurements,” Opt. Lett. 36(17), 3386–3388 (2011).
[Crossref]
[PubMed]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
T. Mocek, B. Rus, M. Kozlova, J. Polan, P. Homer, K. Jakubczak, M. Stupka, D. Snopek, J. Nejdl, M. H. Edwards, D. S. Whittaker, G. J. Tallents, P. Mistry, G. J. Pert, N. Booth, Z. Zhai, M. Fajardo, P. Zeitoun, J. Chalupsky, V. Hajkova, and L. Juha, “Plasma-based X-ray laser at 21 nm for multidisciplinary applications,” Eur. Phys. J. D 54(2), 439–444 (2009).
[Crossref]
F. Eriksson, N. Ghafoor, F. Schäfers, E. M. Gullikson, S. Aouadi, S. Rohde, L. Hultman, and J. Birch, “Atomic scale interface engineering by modulated ion-assisted deposition applied to soft x-ray multilayer optics,” Appl. Opt. 47(23), 4196–4204 (2008).
[Crossref]
[PubMed]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
R. A. Loch, A. Dubrouil, R. Sobierajski, D. Descamps, B. Fabre, P. Lidon, R. W. E. van de Kruijs, F. Boekhout, E. Gullikson, J. Gaudin, E. Louis, F. Bijkerk, E. Mével, S. Petit, E. Constant, and Y. Mairesse, “Phase characterization of the reflection on an extreme UV multilayer: comparison between attosecond metrology and standing wave measurements,” Opt. Lett. 36(17), 3386–3388 (2011).
[Crossref]
[PubMed]
T. Mocek, B. Rus, M. Kozlova, J. Polan, P. Homer, K. Jakubczak, M. Stupka, D. Snopek, J. Nejdl, M. H. Edwards, D. S. Whittaker, G. J. Tallents, P. Mistry, G. J. Pert, N. Booth, Z. Zhai, M. Fajardo, P. Zeitoun, J. Chalupsky, V. Hajkova, and L. Juha, “Plasma-based X-ray laser at 21 nm for multidisciplinary applications,” Eur. Phys. J. D 54(2), 439–444 (2009).
[Crossref]
C. Montcalm, P. A. Kearney, J. M. Slaughter, B. T. Sullivan, M. Chaker, H. Pépin, and C. M. Falco, “Survey of Ti-, B-, and Y-based soft x-ray-extreme ultraviolet multilayer mirrors for the 2- to 12-nm wavelength region,” Appl. Opt. 35(25), 5134–5147 (1996).
[Crossref]
[PubMed]
I. A. Kopylets, V. V. Kondratenko, and A. I. Fedorenko, “Thermal durability of the Mo-B4C and Mo2B5-B4C multilayer x-ray mirror,” Met. Phys. Adv. Tech. 17, 717–723 (1998).
V. V. Kondratenko, Y. P. Pershin, O. V. Poltseva, A. I. Fedorenko, E. N. Zubarev, S. A. Yulin, V. Kozhevnikov, S. I. Sagitov, V. A. Chirkov, V. E. Levashov, and A. V. Vinogradov, “Thermal stability of soft x-ray Mo-Si and MoSi2-Si multilayer mirrors,” Appl. Opt. 32(10), 1811–1816 (1993).
[Crossref]
[PubMed]
I. A. Artyukov, Y. Bugayev, O. Y. Devizenko, R. M. Feschenko, Y. S. Kasyanov, V. V. Kondratenko, S. A. Romanova, S. V. Saveliev, F. Schäfers, T. Feig, Y. A. Uspenski, and A. V. Vinogradov, “Carbon window soft x-ray imaging using multilayer optics,” Proc. SPIE 5919, 59190E (2005).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
I. A. Artyukov, Y. Bugayev, O. Y. Devizenko, R. M. Feschenko, Y. S. Kasyanov, V. V. Kondratenko, S. A. Romanova, S. V. Saveliev, F. Schäfers, T. Feig, Y. A. Uspenski, and A. V. Vinogradov, “Carbon window soft x-ray imaging using multilayer optics,” Proc. SPIE 5919, 59190E (2005).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
E. Louis, E. Spiller, S. Abdali, F. E. Christensen, H. J. Voorma, N. B. Koster, P. K. Frederiksen, C. Tarrio, E. M. Gullikson, and F. Bijkerk, “Multilayer x-ray mirrors for the objective crystal spectrometer on the Spectrum Röntgen Gamma satellite,” Proc. SPIE 2515, 194–203 (1995).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
J. Gaudin, O. Peyrusse, J. Chalupsky, M. Toufarova, L. Vysın, V. Hajkova, R. Sobierajski, T. Burian, Sh. Dastjani-Farahani, A. Graf, M. Amati, L. Gregoratti, S. P. Hau-Riege, G. Hoffmann, L. Juha, J. Krzywinski, R. A. London, S. Moeller, H. Sinn, S. Schorb, M. Stoermer, Th. Tschentscher, V. Vorlıcek, H. Vu, J. Bozek, and C. Bostedt, “Amorphous to crystalline phase transition in carbon induced by intense femtosecond x-ray free-electron laser pulses,” Phys. Rev. B 86(2), 024103 (2012).
[Crossref]
R. A. Loch, A. Dubrouil, R. Sobierajski, D. Descamps, B. Fabre, P. Lidon, R. W. E. van de Kruijs, F. Boekhout, E. Gullikson, J. Gaudin, E. Louis, F. Bijkerk, E. Mével, S. Petit, E. Constant, and Y. Mairesse, “Phase characterization of the reflection on an extreme UV multilayer: comparison between attosecond metrology and standing wave measurements,” Opt. Lett. 36(17), 3386–3388 (2011).
[Crossref]
[PubMed]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
M.-C. Chen, P. Arpin, T. Popmintchev, M. Gerrity, B. Zhang, M. Seaberg, D. Popmintchev, M. M. Murnane, and H. C. Kapteyn, “Bright, coherent, ultrafast soft x-ray harmonics spanning the water window from a tabletop light source,” Phys. Rev. Lett. 105(17), 173901 (2010).
[Crossref]
[PubMed]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
F. Eriksson, N. Ghafoor, F. Schäfers, E. M. Gullikson, S. Aouadi, S. Rohde, L. Hultman, and J. Birch, “Atomic scale interface engineering by modulated ion-assisted deposition applied to soft x-ray multilayer optics,” Appl. Opt. 47(23), 4196–4204 (2008).
[Crossref]
[PubMed]
R. Sobierajski, S. Bruijn, A. R. Khorsand, E. Louis, R. W. E. van de Kruijs, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, A. Gleeson, J. Grzonka, E. M. Gullikson, V. Hajkova, S. Hau-Riege, L. Juha, M. Jurek, D. Klinger, J. Krzywinski, R. London, J. B. Pelka, T. Płociński, M. Rasiński, K. Tiedtke, S. Toleikis, L. Vysin, H. Wabnitz, and F. Bijkerk, “Damage mechanisms of MoN/SiN multilayer optics for next-generation pulsed XUV light sources,” Opt. Express 19(1), 193–205 (2011).
[Crossref]
[PubMed]
A. R. Khorsand, R. Sobierajski, E. Louis, S. Bruijn, E. D. van Hattum, R. W. E. van de Kruijs, M. Jurek, D. Klinger, J. B. Pelka, L. Juha, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, V. Hajkova, L. Vysin, U. Jastrow, N. Stojanovic, S. Toleikis, H. Wabnitz, K. Tiedtke, K. Sokolowski-Tinten, U. Shymanovich, J. Krzywinski, S. Hau-Riege, R. London, A. Gleeson, E. M. Gullikson, and F. Bijkerk, “Single shot damage mechanism of Mo/Si multilayer optics under intense pulsed XUV-exposure,” Opt. Express 18(2), 700–712 (2010).
[Crossref]
[PubMed]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
J. Gaudin, O. Peyrusse, J. Chalupsky, M. Toufarova, L. Vysın, V. Hajkova, R. Sobierajski, T. Burian, Sh. Dastjani-Farahani, A. Graf, M. Amati, L. Gregoratti, S. P. Hau-Riege, G. Hoffmann, L. Juha, J. Krzywinski, R. A. London, S. Moeller, H. Sinn, S. Schorb, M. Stoermer, Th. Tschentscher, V. Vorlıcek, H. Vu, J. Bozek, and C. Bostedt, “Amorphous to crystalline phase transition in carbon induced by intense femtosecond x-ray free-electron laser pulses,” Phys. Rev. B 86(2), 024103 (2012).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
J. Gaudin, O. Peyrusse, J. Chalupsky, M. Toufarova, L. Vysın, V. Hajkova, R. Sobierajski, T. Burian, Sh. Dastjani-Farahani, A. Graf, M. Amati, L. Gregoratti, S. P. Hau-Riege, G. Hoffmann, L. Juha, J. Krzywinski, R. A. London, S. Moeller, H. Sinn, S. Schorb, M. Stoermer, Th. Tschentscher, V. Vorlıcek, H. Vu, J. Bozek, and C. Bostedt, “Amorphous to crystalline phase transition in carbon induced by intense femtosecond x-ray free-electron laser pulses,” Phys. Rev. B 86(2), 024103 (2012).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
Y. P. Pershyn, E. N. Zubarev, D. L. Voronov, V. A. Sevryukova, V. V. Kondratenko, G. Vaschenko, M. Grisham, C. S. Menoni, J. J. Rocca, I. A. Artioukov, Y. A. Uspenskii, and A. V. Vinogradov, “Mechanisms of radiation damage to Sc/Si multilayer mirrors under EUV laser irradiation,” J. Phys. D Appl. Phys. 42(12), 125407 (2009).
[Crossref]
S. Heinbuch, M. Grisham, D. Martz, and J. J. Rocca, “Demonstration of a desk-top size high repetition rate soft x-ray laser,” Opt. Express 13(11), 4050–4055 (2005).
[Crossref]
[PubMed]
R. Sobierajski, S. Bruijn, A. R. Khorsand, E. Louis, R. W. E. van de Kruijs, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, A. Gleeson, J. Grzonka, E. M. Gullikson, V. Hajkova, S. Hau-Riege, L. Juha, M. Jurek, D. Klinger, J. Krzywinski, R. London, J. B. Pelka, T. Płociński, M. Rasiński, K. Tiedtke, S. Toleikis, L. Vysin, H. Wabnitz, and F. Bijkerk, “Damage mechanisms of MoN/SiN multilayer optics for next-generation pulsed XUV light sources,” Opt. Express 19(1), 193–205 (2011).
[Crossref]
[PubMed]
R. A. Loch, A. Dubrouil, R. Sobierajski, D. Descamps, B. Fabre, P. Lidon, R. W. E. van de Kruijs, F. Boekhout, E. Gullikson, J. Gaudin, E. Louis, F. Bijkerk, E. Mével, S. Petit, E. Constant, and Y. Mairesse, “Phase characterization of the reflection on an extreme UV multilayer: comparison between attosecond metrology and standing wave measurements,” Opt. Lett. 36(17), 3386–3388 (2011).
[Crossref]
[PubMed]
Y. Platonov, J. Rodriguez, M. Kriese, E. Gullikson, T. Harada, T. Watanabe, and H. Kinoshita, “Multilayers for next generation EUVL at 6.Xnm,” Proc. SPIE 8076, 80760N–80760N-9 (2011).
[Crossref]
R. Sobierajski, S. Bruijn, A. R. Khorsand, E. Louis, R. W. E. van de Kruijs, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, A. Gleeson, J. Grzonka, E. M. Gullikson, V. Hajkova, S. Hau-Riege, L. Juha, M. Jurek, D. Klinger, J. Krzywinski, R. London, J. B. Pelka, T. Płociński, M. Rasiński, K. Tiedtke, S. Toleikis, L. Vysin, H. Wabnitz, and F. Bijkerk, “Damage mechanisms of MoN/SiN multilayer optics for next-generation pulsed XUV light sources,” Opt. Express 19(1), 193–205 (2011).
[Crossref]
[PubMed]
A. R. Khorsand, R. Sobierajski, E. Louis, S. Bruijn, E. D. van Hattum, R. W. E. van de Kruijs, M. Jurek, D. Klinger, J. B. Pelka, L. Juha, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, V. Hajkova, L. Vysin, U. Jastrow, N. Stojanovic, S. Toleikis, H. Wabnitz, K. Tiedtke, K. Sokolowski-Tinten, U. Shymanovich, J. Krzywinski, S. Hau-Riege, R. London, A. Gleeson, E. M. Gullikson, and F. Bijkerk, “Single shot damage mechanism of Mo/Si multilayer optics under intense pulsed XUV-exposure,” Opt. Express 18(2), 700–712 (2010).
[Crossref]
[PubMed]
F. Eriksson, N. Ghafoor, F. Schäfers, E. M. Gullikson, S. Aouadi, S. Rohde, L. Hultman, and J. Birch, “Atomic scale interface engineering by modulated ion-assisted deposition applied to soft x-ray multilayer optics,” Appl. Opt. 47(23), 4196–4204 (2008).
[Crossref]
[PubMed]
E. Louis, E. Spiller, S. Abdali, F. E. Christensen, H. J. Voorma, N. B. Koster, P. K. Frederiksen, C. Tarrio, E. M. Gullikson, and F. Bijkerk, “Multilayer x-ray mirrors for the objective crystal spectrometer on the Spectrum Röntgen Gamma satellite,” Proc. SPIE 2515, 194–203 (1995).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
B. Ziaja, R. A. London, and J. Hajdu, “Ionization by impact electrons in solids: electron mean free path fitted over a wide energy range,” J. Appl. Phys. 99(3), 033514 (2006).
[Crossref]
J. Gaudin, O. Peyrusse, J. Chalupsky, M. Toufarova, L. Vysın, V. Hajkova, R. Sobierajski, T. Burian, Sh. Dastjani-Farahani, A. Graf, M. Amati, L. Gregoratti, S. P. Hau-Riege, G. Hoffmann, L. Juha, J. Krzywinski, R. A. London, S. Moeller, H. Sinn, S. Schorb, M. Stoermer, Th. Tschentscher, V. Vorlıcek, H. Vu, J. Bozek, and C. Bostedt, “Amorphous to crystalline phase transition in carbon induced by intense femtosecond x-ray free-electron laser pulses,” Phys. Rev. B 86(2), 024103 (2012).
[Crossref]
R. Sobierajski, S. Bruijn, A. R. Khorsand, E. Louis, R. W. E. van de Kruijs, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, A. Gleeson, J. Grzonka, E. M. Gullikson, V. Hajkova, S. Hau-Riege, L. Juha, M. Jurek, D. Klinger, J. Krzywinski, R. London, J. B. Pelka, T. Płociński, M. Rasiński, K. Tiedtke, S. Toleikis, L. Vysin, H. Wabnitz, and F. Bijkerk, “Damage mechanisms of MoN/SiN multilayer optics for next-generation pulsed XUV light sources,” Opt. Express 19(1), 193–205 (2011).
[Crossref]
[PubMed]
A. R. Khorsand, R. Sobierajski, E. Louis, S. Bruijn, E. D. van Hattum, R. W. E. van de Kruijs, M. Jurek, D. Klinger, J. B. Pelka, L. Juha, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, V. Hajkova, L. Vysin, U. Jastrow, N. Stojanovic, S. Toleikis, H. Wabnitz, K. Tiedtke, K. Sokolowski-Tinten, U. Shymanovich, J. Krzywinski, S. Hau-Riege, R. London, A. Gleeson, E. M. Gullikson, and F. Bijkerk, “Single shot damage mechanism of Mo/Si multilayer optics under intense pulsed XUV-exposure,” Opt. Express 18(2), 700–712 (2010).
[Crossref]
[PubMed]
T. Mocek, B. Rus, M. Kozlova, J. Polan, P. Homer, K. Jakubczak, M. Stupka, D. Snopek, J. Nejdl, M. H. Edwards, D. S. Whittaker, G. J. Tallents, P. Mistry, G. J. Pert, N. Booth, Z. Zhai, M. Fajardo, P. Zeitoun, J. Chalupsky, V. Hajkova, and L. Juha, “Plasma-based X-ray laser at 21 nm for multidisciplinary applications,” Eur. Phys. J. D 54(2), 439–444 (2009).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
Y. Platonov, J. Rodriguez, M. Kriese, E. Gullikson, T. Harada, T. Watanabe, and H. Kinoshita, “Multilayers for next generation EUVL at 6.Xnm,” Proc. SPIE 8076, 80760N–80760N-9 (2011).
[Crossref]
W. Chao, B. D. Harteneck, J. A. Liddle, E. H. Anderson, and D. T. Attwood, “Soft X-ray microscopy at a spatial resolution better than 15 nm,” Nature 435(7046), 1210–1213 (2005).
[Crossref]
[PubMed]
R. Sobierajski, S. Bruijn, A. R. Khorsand, E. Louis, R. W. E. van de Kruijs, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, A. Gleeson, J. Grzonka, E. M. Gullikson, V. Hajkova, S. Hau-Riege, L. Juha, M. Jurek, D. Klinger, J. Krzywinski, R. London, J. B. Pelka, T. Płociński, M. Rasiński, K. Tiedtke, S. Toleikis, L. Vysin, H. Wabnitz, and F. Bijkerk, “Damage mechanisms of MoN/SiN multilayer optics for next-generation pulsed XUV light sources,” Opt. Express 19(1), 193–205 (2011).
[Crossref]
[PubMed]
A. R. Khorsand, R. Sobierajski, E. Louis, S. Bruijn, E. D. van Hattum, R. W. E. van de Kruijs, M. Jurek, D. Klinger, J. B. Pelka, L. Juha, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, V. Hajkova, L. Vysin, U. Jastrow, N. Stojanovic, S. Toleikis, H. Wabnitz, K. Tiedtke, K. Sokolowski-Tinten, U. Shymanovich, J. Krzywinski, S. Hau-Riege, R. London, A. Gleeson, E. M. Gullikson, and F. Bijkerk, “Single shot damage mechanism of Mo/Si multilayer optics under intense pulsed XUV-exposure,” Opt. Express 18(2), 700–712 (2010).
[Crossref]
[PubMed]
J. Gaudin, O. Peyrusse, J. Chalupsky, M. Toufarova, L. Vysın, V. Hajkova, R. Sobierajski, T. Burian, Sh. Dastjani-Farahani, A. Graf, M. Amati, L. Gregoratti, S. P. Hau-Riege, G. Hoffmann, L. Juha, J. Krzywinski, R. A. London, S. Moeller, H. Sinn, S. Schorb, M. Stoermer, Th. Tschentscher, V. Vorlıcek, H. Vu, J. Bozek, and C. Bostedt, “Amorphous to crystalline phase transition in carbon induced by intense femtosecond x-ray free-electron laser pulses,” Phys. Rev. B 86(2), 024103 (2012).
[Crossref]
H. M. Hertz, O. von Hofsten, M. Bertilson, U. Vogt, A. Holmberg, J. Reinspach, D. Martz, M. Selin, A. E. Christakou, J. Jerlström-Hultqvist, and S. Svärd, “Laboratory cryo soft X-ray microscopy,” J. Struct. Biol. 177(2), 267–272 (2012).
[Crossref]
[PubMed]
J. Gaudin, O. Peyrusse, J. Chalupsky, M. Toufarova, L. Vysın, V. Hajkova, R. Sobierajski, T. Burian, Sh. Dastjani-Farahani, A. Graf, M. Amati, L. Gregoratti, S. P. Hau-Riege, G. Hoffmann, L. Juha, J. Krzywinski, R. A. London, S. Moeller, H. Sinn, S. Schorb, M. Stoermer, Th. Tschentscher, V. Vorlıcek, H. Vu, J. Bozek, and C. Bostedt, “Amorphous to crystalline phase transition in carbon induced by intense femtosecond x-ray free-electron laser pulses,” Phys. Rev. B 86(2), 024103 (2012).
[Crossref]
H. M. Hertz, O. von Hofsten, M. Bertilson, U. Vogt, A. Holmberg, J. Reinspach, D. Martz, M. Selin, A. E. Christakou, J. Jerlström-Hultqvist, and S. Svärd, “Laboratory cryo soft X-ray microscopy,” J. Struct. Biol. 177(2), 267–272 (2012).
[Crossref]
[PubMed]
T. Mocek, B. Rus, M. Kozlova, J. Polan, P. Homer, K. Jakubczak, M. Stupka, D. Snopek, J. Nejdl, M. H. Edwards, D. S. Whittaker, G. J. Tallents, P. Mistry, G. J. Pert, N. Booth, Z. Zhai, M. Fajardo, P. Zeitoun, J. Chalupsky, V. Hajkova, and L. Juha, “Plasma-based X-ray laser at 21 nm for multidisciplinary applications,” Eur. Phys. J. D 54(2), 439–444 (2009).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
J. Kirz, C. Jacobsen, and M. Howells, “Soft X-ray microscopes and their biological applications,” Quarterly Rev. Biophys. 28(1), 33–130 (1995).
[Crossref]
[PubMed]
F. Eriksson, N. Ghafoor, F. Schäfers, E. M. Gullikson, S. Aouadi, S. Rohde, L. Hultman, and J. Birch, “Atomic scale interface engineering by modulated ion-assisted deposition applied to soft x-ray multilayer optics,” Appl. Opt. 47(23), 4196–4204 (2008).
[Crossref]
[PubMed]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
J. Kirz, C. Jacobsen, and M. Howells, “Soft X-ray microscopes and their biological applications,” Quarterly Rev. Biophys. 28(1), 33–130 (1995).
[Crossref]
[PubMed]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
T. Mocek, B. Rus, M. Kozlova, J. Polan, P. Homer, K. Jakubczak, M. Stupka, D. Snopek, J. Nejdl, M. H. Edwards, D. S. Whittaker, G. J. Tallents, P. Mistry, G. J. Pert, N. Booth, Z. Zhai, M. Fajardo, P. Zeitoun, J. Chalupsky, V. Hajkova, and L. Juha, “Plasma-based X-ray laser at 21 nm for multidisciplinary applications,” Eur. Phys. J. D 54(2), 439–444 (2009).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
A. R. Khorsand, R. Sobierajski, E. Louis, S. Bruijn, E. D. van Hattum, R. W. E. van de Kruijs, M. Jurek, D. Klinger, J. B. Pelka, L. Juha, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, V. Hajkova, L. Vysin, U. Jastrow, N. Stojanovic, S. Toleikis, H. Wabnitz, K. Tiedtke, K. Sokolowski-Tinten, U. Shymanovich, J. Krzywinski, S. Hau-Riege, R. London, A. Gleeson, E. M. Gullikson, and F. Bijkerk, “Single shot damage mechanism of Mo/Si multilayer optics under intense pulsed XUV-exposure,” Opt. Express 18(2), 700–712 (2010).
[Crossref]
[PubMed]
H. M. Hertz, O. von Hofsten, M. Bertilson, U. Vogt, A. Holmberg, J. Reinspach, D. Martz, M. Selin, A. E. Christakou, J. Jerlström-Hultqvist, and S. Svärd, “Laboratory cryo soft X-ray microscopy,” J. Struct. Biol. 177(2), 267–272 (2012).
[Crossref]
[PubMed]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
J. Gaudin, O. Peyrusse, J. Chalupsky, M. Toufarova, L. Vysın, V. Hajkova, R. Sobierajski, T. Burian, Sh. Dastjani-Farahani, A. Graf, M. Amati, L. Gregoratti, S. P. Hau-Riege, G. Hoffmann, L. Juha, J. Krzywinski, R. A. London, S. Moeller, H. Sinn, S. Schorb, M. Stoermer, Th. Tschentscher, V. Vorlıcek, H. Vu, J. Bozek, and C. Bostedt, “Amorphous to crystalline phase transition in carbon induced by intense femtosecond x-ray free-electron laser pulses,” Phys. Rev. B 86(2), 024103 (2012).
[Crossref]
R. Sobierajski, S. Bruijn, A. R. Khorsand, E. Louis, R. W. E. van de Kruijs, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, A. Gleeson, J. Grzonka, E. M. Gullikson, V. Hajkova, S. Hau-Riege, L. Juha, M. Jurek, D. Klinger, J. Krzywinski, R. London, J. B. Pelka, T. Płociński, M. Rasiński, K. Tiedtke, S. Toleikis, L. Vysin, H. Wabnitz, and F. Bijkerk, “Damage mechanisms of MoN/SiN multilayer optics for next-generation pulsed XUV light sources,” Opt. Express 19(1), 193–205 (2011).
[Crossref]
[PubMed]
A. R. Khorsand, R. Sobierajski, E. Louis, S. Bruijn, E. D. van Hattum, R. W. E. van de Kruijs, M. Jurek, D. Klinger, J. B. Pelka, L. Juha, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, V. Hajkova, L. Vysin, U. Jastrow, N. Stojanovic, S. Toleikis, H. Wabnitz, K. Tiedtke, K. Sokolowski-Tinten, U. Shymanovich, J. Krzywinski, S. Hau-Riege, R. London, A. Gleeson, E. M. Gullikson, and F. Bijkerk, “Single shot damage mechanism of Mo/Si multilayer optics under intense pulsed XUV-exposure,” Opt. Express 18(2), 700–712 (2010).
[Crossref]
[PubMed]
T. Mocek, B. Rus, M. Kozlova, J. Polan, P. Homer, K. Jakubczak, M. Stupka, D. Snopek, J. Nejdl, M. H. Edwards, D. S. Whittaker, G. J. Tallents, P. Mistry, G. J. Pert, N. Booth, Z. Zhai, M. Fajardo, P. Zeitoun, J. Chalupsky, V. Hajkova, and L. Juha, “Plasma-based X-ray laser at 21 nm for multidisciplinary applications,” Eur. Phys. J. D 54(2), 439–444 (2009).
[Crossref]
R. Sobierajski, S. Bruijn, A. R. Khorsand, E. Louis, R. W. E. van de Kruijs, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, A. Gleeson, J. Grzonka, E. M. Gullikson, V. Hajkova, S. Hau-Riege, L. Juha, M. Jurek, D. Klinger, J. Krzywinski, R. London, J. B. Pelka, T. Płociński, M. Rasiński, K. Tiedtke, S. Toleikis, L. Vysin, H. Wabnitz, and F. Bijkerk, “Damage mechanisms of MoN/SiN multilayer optics for next-generation pulsed XUV light sources,” Opt. Express 19(1), 193–205 (2011).
[Crossref]
[PubMed]
A. R. Khorsand, R. Sobierajski, E. Louis, S. Bruijn, E. D. van Hattum, R. W. E. van de Kruijs, M. Jurek, D. Klinger, J. B. Pelka, L. Juha, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, V. Hajkova, L. Vysin, U. Jastrow, N. Stojanovic, S. Toleikis, H. Wabnitz, K. Tiedtke, K. Sokolowski-Tinten, U. Shymanovich, J. Krzywinski, S. Hau-Riege, R. London, A. Gleeson, E. M. Gullikson, and F. Bijkerk, “Single shot damage mechanism of Mo/Si multilayer optics under intense pulsed XUV-exposure,” Opt. Express 18(2), 700–712 (2010).
[Crossref]
[PubMed]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
M.-C. Chen, P. Arpin, T. Popmintchev, M. Gerrity, B. Zhang, M. Seaberg, D. Popmintchev, M. M. Murnane, and H. C. Kapteyn, “Bright, coherent, ultrafast soft x-ray harmonics spanning the water window from a tabletop light source,” Phys. Rev. Lett. 105(17), 173901 (2010).
[Crossref]
[PubMed]
I. A. Artyukov, Y. Bugayev, O. Y. Devizenko, R. M. Feschenko, Y. S. Kasyanov, V. V. Kondratenko, S. A. Romanova, S. V. Saveliev, F. Schäfers, T. Feig, Y. A. Uspenski, and A. V. Vinogradov, “Carbon window soft x-ray imaging using multilayer optics,” Proc. SPIE 5919, 59190E (2005).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
C. Montcalm, P. A. Kearney, J. M. Slaughter, B. T. Sullivan, M. Chaker, H. Pépin, and C. M. Falco, “Survey of Ti-, B-, and Y-based soft x-ray-extreme ultraviolet multilayer mirrors for the 2- to 12-nm wavelength region,” Appl. Opt. 35(25), 5134–5147 (1996).
[Crossref]
[PubMed]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
R. Sobierajski, S. Bruijn, A. R. Khorsand, E. Louis, R. W. E. van de Kruijs, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, A. Gleeson, J. Grzonka, E. M. Gullikson, V. Hajkova, S. Hau-Riege, L. Juha, M. Jurek, D. Klinger, J. Krzywinski, R. London, J. B. Pelka, T. Płociński, M. Rasiński, K. Tiedtke, S. Toleikis, L. Vysin, H. Wabnitz, and F. Bijkerk, “Damage mechanisms of MoN/SiN multilayer optics for next-generation pulsed XUV light sources,” Opt. Express 19(1), 193–205 (2011).
[Crossref]
[PubMed]
A. R. Khorsand, R. Sobierajski, E. Louis, S. Bruijn, E. D. van Hattum, R. W. E. van de Kruijs, M. Jurek, D. Klinger, J. B. Pelka, L. Juha, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, V. Hajkova, L. Vysin, U. Jastrow, N. Stojanovic, S. Toleikis, H. Wabnitz, K. Tiedtke, K. Sokolowski-Tinten, U. Shymanovich, J. Krzywinski, S. Hau-Riege, R. London, A. Gleeson, E. M. Gullikson, and F. Bijkerk, “Single shot damage mechanism of Mo/Si multilayer optics under intense pulsed XUV-exposure,” Opt. Express 18(2), 700–712 (2010).
[Crossref]
[PubMed]
Y. Platonov, J. Rodriguez, M. Kriese, E. Gullikson, T. Harada, T. Watanabe, and H. Kinoshita, “Multilayers for next generation EUVL at 6.Xnm,” Proc. SPIE 8076, 80760N–80760N-9 (2011).
[Crossref]
J. Kirz, C. Jacobsen, and M. Howells, “Soft X-ray microscopes and their biological applications,” Quarterly Rev. Biophys. 28(1), 33–130 (1995).
[Crossref]
[PubMed]
R. Sobierajski, S. Bruijn, A. R. Khorsand, E. Louis, R. W. E. van de Kruijs, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, A. Gleeson, J. Grzonka, E. M. Gullikson, V. Hajkova, S. Hau-Riege, L. Juha, M. Jurek, D. Klinger, J. Krzywinski, R. London, J. B. Pelka, T. Płociński, M. Rasiński, K. Tiedtke, S. Toleikis, L. Vysin, H. Wabnitz, and F. Bijkerk, “Damage mechanisms of MoN/SiN multilayer optics for next-generation pulsed XUV light sources,” Opt. Express 19(1), 193–205 (2011).
[Crossref]
[PubMed]
A. R. Khorsand, R. Sobierajski, E. Louis, S. Bruijn, E. D. van Hattum, R. W. E. van de Kruijs, M. Jurek, D. Klinger, J. B. Pelka, L. Juha, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, V. Hajkova, L. Vysin, U. Jastrow, N. Stojanovic, S. Toleikis, H. Wabnitz, K. Tiedtke, K. Sokolowski-Tinten, U. Shymanovich, J. Krzywinski, S. Hau-Riege, R. London, A. Gleeson, E. M. Gullikson, and F. Bijkerk, “Single shot damage mechanism of Mo/Si multilayer optics under intense pulsed XUV-exposure,” Opt. Express 18(2), 700–712 (2010).
[Crossref]
[PubMed]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
Y. P. Pershyn, E. N. Zubarev, D. L. Voronov, V. A. Sevryukova, V. V. Kondratenko, G. Vaschenko, M. Grisham, C. S. Menoni, J. J. Rocca, I. A. Artioukov, Y. A. Uspenskii, and A. V. Vinogradov, “Mechanisms of radiation damage to Sc/Si multilayer mirrors under EUV laser irradiation,” J. Phys. D Appl. Phys. 42(12), 125407 (2009).
[Crossref]
I. A. Artyukov, Y. Bugayev, O. Y. Devizenko, R. M. Feschenko, Y. S. Kasyanov, V. V. Kondratenko, S. A. Romanova, S. V. Saveliev, F. Schäfers, T. Feig, Y. A. Uspenski, and A. V. Vinogradov, “Carbon window soft x-ray imaging using multilayer optics,” Proc. SPIE 5919, 59190E (2005).
[Crossref]
I. A. Kopylets, V. V. Kondratenko, and A. I. Fedorenko, “Thermal durability of the Mo-B4C and Mo2B5-B4C multilayer x-ray mirror,” Met. Phys. Adv. Tech. 17, 717–723 (1998).
V. V. Kondratenko, Y. P. Pershin, O. V. Poltseva, A. I. Fedorenko, E. N. Zubarev, S. A. Yulin, V. Kozhevnikov, S. I. Sagitov, V. A. Chirkov, V. E. Levashov, and A. V. Vinogradov, “Thermal stability of soft x-ray Mo-Si and MoSi2-Si multilayer mirrors,” Appl. Opt. 32(10), 1811–1816 (1993).
[Crossref]
[PubMed]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
I. A. Kopylets, V. V. Kondratenko, and A. I. Fedorenko, “Thermal durability of the Mo-B4C and Mo2B5-B4C multilayer x-ray mirror,” Met. Phys. Adv. Tech. 17, 717–723 (1998).
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
E. Louis, E. Spiller, S. Abdali, F. E. Christensen, H. J. Voorma, N. B. Koster, P. K. Frederiksen, C. Tarrio, E. M. Gullikson, and F. Bijkerk, “Multilayer x-ray mirrors for the objective crystal spectrometer on the Spectrum Röntgen Gamma satellite,” Proc. SPIE 2515, 194–203 (1995).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
V. V. Kondratenko, Y. P. Pershin, O. V. Poltseva, A. I. Fedorenko, E. N. Zubarev, S. A. Yulin, V. Kozhevnikov, S. I. Sagitov, V. A. Chirkov, V. E. Levashov, and A. V. Vinogradov, “Thermal stability of soft x-ray Mo-Si and MoSi2-Si multilayer mirrors,” Appl. Opt. 32(10), 1811–1816 (1993).
[Crossref]
[PubMed]
T. Mocek, B. Rus, M. Kozlova, J. Polan, P. Homer, K. Jakubczak, M. Stupka, D. Snopek, J. Nejdl, M. H. Edwards, D. S. Whittaker, G. J. Tallents, P. Mistry, G. J. Pert, N. Booth, Z. Zhai, M. Fajardo, P. Zeitoun, J. Chalupsky, V. Hajkova, and L. Juha, “Plasma-based X-ray laser at 21 nm for multidisciplinary applications,” Eur. Phys. J. D 54(2), 439–444 (2009).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
Y. Platonov, J. Rodriguez, M. Kriese, E. Gullikson, T. Harada, T. Watanabe, and H. Kinoshita, “Multilayers for next generation EUVL at 6.Xnm,” Proc. SPIE 8076, 80760N–80760N-9 (2011).
[Crossref]
J. Gaudin, O. Peyrusse, J. Chalupsky, M. Toufarova, L. Vysın, V. Hajkova, R. Sobierajski, T. Burian, Sh. Dastjani-Farahani, A. Graf, M. Amati, L. Gregoratti, S. P. Hau-Riege, G. Hoffmann, L. Juha, J. Krzywinski, R. A. London, S. Moeller, H. Sinn, S. Schorb, M. Stoermer, Th. Tschentscher, V. Vorlıcek, H. Vu, J. Bozek, and C. Bostedt, “Amorphous to crystalline phase transition in carbon induced by intense femtosecond x-ray free-electron laser pulses,” Phys. Rev. B 86(2), 024103 (2012).
[Crossref]
R. Sobierajski, S. Bruijn, A. R. Khorsand, E. Louis, R. W. E. van de Kruijs, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, A. Gleeson, J. Grzonka, E. M. Gullikson, V. Hajkova, S. Hau-Riege, L. Juha, M. Jurek, D. Klinger, J. Krzywinski, R. London, J. B. Pelka, T. Płociński, M. Rasiński, K. Tiedtke, S. Toleikis, L. Vysin, H. Wabnitz, and F. Bijkerk, “Damage mechanisms of MoN/SiN multilayer optics for next-generation pulsed XUV light sources,” Opt. Express 19(1), 193–205 (2011).
[Crossref]
[PubMed]
A. R. Khorsand, R. Sobierajski, E. Louis, S. Bruijn, E. D. van Hattum, R. W. E. van de Kruijs, M. Jurek, D. Klinger, J. B. Pelka, L. Juha, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, V. Hajkova, L. Vysin, U. Jastrow, N. Stojanovic, S. Toleikis, H. Wabnitz, K. Tiedtke, K. Sokolowski-Tinten, U. Shymanovich, J. Krzywinski, S. Hau-Riege, R. London, A. Gleeson, E. M. Gullikson, and F. Bijkerk, “Single shot damage mechanism of Mo/Si multilayer optics under intense pulsed XUV-exposure,” Opt. Express 18(2), 700–712 (2010).
[Crossref]
[PubMed]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
V. V. Kondratenko, Y. P. Pershin, O. V. Poltseva, A. I. Fedorenko, E. N. Zubarev, S. A. Yulin, V. Kozhevnikov, S. I. Sagitov, V. A. Chirkov, V. E. Levashov, and A. V. Vinogradov, “Thermal stability of soft x-ray Mo-Si and MoSi2-Si multilayer mirrors,” Appl. Opt. 32(10), 1811–1816 (1993).
[Crossref]
[PubMed]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Chao, B. D. Harteneck, J. A. Liddle, E. H. Anderson, and D. T. Attwood, “Soft X-ray microscopy at a spatial resolution better than 15 nm,” Nature 435(7046), 1210–1213 (2005).
[Crossref]
[PubMed]
R. A. Loch, A. Dubrouil, R. Sobierajski, D. Descamps, B. Fabre, P. Lidon, R. W. E. van de Kruijs, F. Boekhout, E. Gullikson, J. Gaudin, E. Louis, F. Bijkerk, E. Mével, S. Petit, E. Constant, and Y. Mairesse, “Phase characterization of the reflection on an extreme UV multilayer: comparison between attosecond metrology and standing wave measurements,” Opt. Lett. 36(17), 3386–3388 (2011).
[Crossref]
[PubMed]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
R. A. Loch, A. Dubrouil, R. Sobierajski, D. Descamps, B. Fabre, P. Lidon, R. W. E. van de Kruijs, F. Boekhout, E. Gullikson, J. Gaudin, E. Louis, F. Bijkerk, E. Mével, S. Petit, E. Constant, and Y. Mairesse, “Phase characterization of the reflection on an extreme UV multilayer: comparison between attosecond metrology and standing wave measurements,” Opt. Lett. 36(17), 3386–3388 (2011).
[Crossref]
[PubMed]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
R. Sobierajski, S. Bruijn, A. R. Khorsand, E. Louis, R. W. E. van de Kruijs, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, A. Gleeson, J. Grzonka, E. M. Gullikson, V. Hajkova, S. Hau-Riege, L. Juha, M. Jurek, D. Klinger, J. Krzywinski, R. London, J. B. Pelka, T. Płociński, M. Rasiński, K. Tiedtke, S. Toleikis, L. Vysin, H. Wabnitz, and F. Bijkerk, “Damage mechanisms of MoN/SiN multilayer optics for next-generation pulsed XUV light sources,” Opt. Express 19(1), 193–205 (2011).
[Crossref]
[PubMed]
A. R. Khorsand, R. Sobierajski, E. Louis, S. Bruijn, E. D. van Hattum, R. W. E. van de Kruijs, M. Jurek, D. Klinger, J. B. Pelka, L. Juha, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, V. Hajkova, L. Vysin, U. Jastrow, N. Stojanovic, S. Toleikis, H. Wabnitz, K. Tiedtke, K. Sokolowski-Tinten, U. Shymanovich, J. Krzywinski, S. Hau-Riege, R. London, A. Gleeson, E. M. Gullikson, and F. Bijkerk, “Single shot damage mechanism of Mo/Si multilayer optics under intense pulsed XUV-exposure,” Opt. Express 18(2), 700–712 (2010).
[Crossref]
[PubMed]
J. Gaudin, O. Peyrusse, J. Chalupsky, M. Toufarova, L. Vysın, V. Hajkova, R. Sobierajski, T. Burian, Sh. Dastjani-Farahani, A. Graf, M. Amati, L. Gregoratti, S. P. Hau-Riege, G. Hoffmann, L. Juha, J. Krzywinski, R. A. London, S. Moeller, H. Sinn, S. Schorb, M. Stoermer, Th. Tschentscher, V. Vorlıcek, H. Vu, J. Bozek, and C. Bostedt, “Amorphous to crystalline phase transition in carbon induced by intense femtosecond x-ray free-electron laser pulses,” Phys. Rev. B 86(2), 024103 (2012).
[Crossref]
B. Ziaja, R. A. London, and J. Hajdu, “Ionization by impact electrons in solids: electron mean free path fitted over a wide energy range,” J. Appl. Phys. 99(3), 033514 (2006).
[Crossref]
I. A. Makhotkin, E. Zoethout, E. Louis, A. M. Yakunin, S. Müllender, and F. Bijkerk, “Spectral properties of La/B-based multilayer mirrors near the boron K absorption edge,” Opt. Express 20(11), 11778–11786 (2012).
[Crossref]
[PubMed]
R. Sobierajski, S. Bruijn, A. R. Khorsand, E. Louis, R. W. E. van de Kruijs, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, A. Gleeson, J. Grzonka, E. M. Gullikson, V. Hajkova, S. Hau-Riege, L. Juha, M. Jurek, D. Klinger, J. Krzywinski, R. London, J. B. Pelka, T. Płociński, M. Rasiński, K. Tiedtke, S. Toleikis, L. Vysin, H. Wabnitz, and F. Bijkerk, “Damage mechanisms of MoN/SiN multilayer optics for next-generation pulsed XUV light sources,” Opt. Express 19(1), 193–205 (2011).
[Crossref]
[PubMed]
R. A. Loch, A. Dubrouil, R. Sobierajski, D. Descamps, B. Fabre, P. Lidon, R. W. E. van de Kruijs, F. Boekhout, E. Gullikson, J. Gaudin, E. Louis, F. Bijkerk, E. Mével, S. Petit, E. Constant, and Y. Mairesse, “Phase characterization of the reflection on an extreme UV multilayer: comparison between attosecond metrology and standing wave measurements,” Opt. Lett. 36(17), 3386–3388 (2011).
[Crossref]
[PubMed]
E. Louis, A. E. Yakshin, T. Tsarfati, and F. Bijkerk, “Nanometer interface and materials control for multilayer EUV-optical applications,” Prog. Surf. Sci. 86(11-12), 255–294 (2011).
[Crossref]
A. R. Khorsand, R. Sobierajski, E. Louis, S. Bruijn, E. D. van Hattum, R. W. E. van de Kruijs, M. Jurek, D. Klinger, J. B. Pelka, L. Juha, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, V. Hajkova, L. Vysin, U. Jastrow, N. Stojanovic, S. Toleikis, H. Wabnitz, K. Tiedtke, K. Sokolowski-Tinten, U. Shymanovich, J. Krzywinski, S. Hau-Riege, R. London, A. Gleeson, E. M. Gullikson, and F. Bijkerk, “Single shot damage mechanism of Mo/Si multilayer optics under intense pulsed XUV-exposure,” Opt. Express 18(2), 700–712 (2010).
[Crossref]
[PubMed]
E. Louis, E. Spiller, S. Abdali, F. E. Christensen, H. J. Voorma, N. B. Koster, P. K. Frederiksen, C. Tarrio, E. M. Gullikson, and F. Bijkerk, “Multilayer x-ray mirrors for the objective crystal spectrometer on the Spectrum Röntgen Gamma satellite,” Proc. SPIE 2515, 194–203 (1995).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
R. A. Loch, A. Dubrouil, R. Sobierajski, D. Descamps, B. Fabre, P. Lidon, R. W. E. van de Kruijs, F. Boekhout, E. Gullikson, J. Gaudin, E. Louis, F. Bijkerk, E. Mével, S. Petit, E. Constant, and Y. Mairesse, “Phase characterization of the reflection on an extreme UV multilayer: comparison between attosecond metrology and standing wave measurements,” Opt. Lett. 36(17), 3386–3388 (2011).
[Crossref]
[PubMed]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
H. M. Hertz, O. von Hofsten, M. Bertilson, U. Vogt, A. Holmberg, J. Reinspach, D. Martz, M. Selin, A. E. Christakou, J. Jerlström-Hultqvist, and S. Svärd, “Laboratory cryo soft X-ray microscopy,” J. Struct. Biol. 177(2), 267–272 (2012).
[Crossref]
[PubMed]
S. Heinbuch, M. Grisham, D. Martz, and J. J. Rocca, “Demonstration of a desk-top size high repetition rate soft x-ray laser,” Opt. Express 13(11), 4050–4055 (2005).
[Crossref]
[PubMed]
Y. P. Pershyn, E. N. Zubarev, D. L. Voronov, V. A. Sevryukova, V. V. Kondratenko, G. Vaschenko, M. Grisham, C. S. Menoni, J. J. Rocca, I. A. Artioukov, Y. A. Uspenskii, and A. V. Vinogradov, “Mechanisms of radiation damage to Sc/Si multilayer mirrors under EUV laser irradiation,” J. Phys. D Appl. Phys. 42(12), 125407 (2009).
[Crossref]
R. A. Loch, A. Dubrouil, R. Sobierajski, D. Descamps, B. Fabre, P. Lidon, R. W. E. van de Kruijs, F. Boekhout, E. Gullikson, J. Gaudin, E. Louis, F. Bijkerk, E. Mével, S. Petit, E. Constant, and Y. Mairesse, “Phase characterization of the reflection on an extreme UV multilayer: comparison between attosecond metrology and standing wave measurements,” Opt. Lett. 36(17), 3386–3388 (2011).
[Crossref]
[PubMed]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
T. Mocek, B. Rus, M. Kozlova, J. Polan, P. Homer, K. Jakubczak, M. Stupka, D. Snopek, J. Nejdl, M. H. Edwards, D. S. Whittaker, G. J. Tallents, P. Mistry, G. J. Pert, N. Booth, Z. Zhai, M. Fajardo, P. Zeitoun, J. Chalupsky, V. Hajkova, and L. Juha, “Plasma-based X-ray laser at 21 nm for multidisciplinary applications,” Eur. Phys. J. D 54(2), 439–444 (2009).
[Crossref]
T. Mocek, B. Rus, M. Kozlova, J. Polan, P. Homer, K. Jakubczak, M. Stupka, D. Snopek, J. Nejdl, M. H. Edwards, D. S. Whittaker, G. J. Tallents, P. Mistry, G. J. Pert, N. Booth, Z. Zhai, M. Fajardo, P. Zeitoun, J. Chalupsky, V. Hajkova, and L. Juha, “Plasma-based X-ray laser at 21 nm for multidisciplinary applications,” Eur. Phys. J. D 54(2), 439–444 (2009).
[Crossref]
J. Gaudin, O. Peyrusse, J. Chalupsky, M. Toufarova, L. Vysın, V. Hajkova, R. Sobierajski, T. Burian, Sh. Dastjani-Farahani, A. Graf, M. Amati, L. Gregoratti, S. P. Hau-Riege, G. Hoffmann, L. Juha, J. Krzywinski, R. A. London, S. Moeller, H. Sinn, S. Schorb, M. Stoermer, Th. Tschentscher, V. Vorlıcek, H. Vu, J. Bozek, and C. Bostedt, “Amorphous to crystalline phase transition in carbon induced by intense femtosecond x-ray free-electron laser pulses,” Phys. Rev. B 86(2), 024103 (2012).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
C. Montcalm, P. A. Kearney, J. M. Slaughter, B. T. Sullivan, M. Chaker, H. Pépin, and C. M. Falco, “Survey of Ti-, B-, and Y-based soft x-ray-extreme ultraviolet multilayer mirrors for the 2- to 12-nm wavelength region,” Appl. Opt. 35(25), 5134–5147 (1996).
[Crossref]
[PubMed]
J.-F. Adam, J.-P. Moy, and J. Susini, “Table-top water window transmission x-ray microscopy: Review of the key issues, and conceptual design of an instrument for biology,” Rev. Sci. Instrum. 76(9), 091301 (2005).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
M.-C. Chen, P. Arpin, T. Popmintchev, M. Gerrity, B. Zhang, M. Seaberg, D. Popmintchev, M. M. Murnane, and H. C. Kapteyn, “Bright, coherent, ultrafast soft x-ray harmonics spanning the water window from a tabletop light source,” Phys. Rev. Lett. 105(17), 173901 (2010).
[Crossref]
[PubMed]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
T. Mocek, B. Rus, M. Kozlova, J. Polan, P. Homer, K. Jakubczak, M. Stupka, D. Snopek, J. Nejdl, M. H. Edwards, D. S. Whittaker, G. J. Tallents, P. Mistry, G. J. Pert, N. Booth, Z. Zhai, M. Fajardo, P. Zeitoun, J. Chalupsky, V. Hajkova, and L. Juha, “Plasma-based X-ray laser at 21 nm for multidisciplinary applications,” Eur. Phys. J. D 54(2), 439–444 (2009).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
R. Sobierajski, S. Bruijn, A. R. Khorsand, E. Louis, R. W. E. van de Kruijs, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, A. Gleeson, J. Grzonka, E. M. Gullikson, V. Hajkova, S. Hau-Riege, L. Juha, M. Jurek, D. Klinger, J. Krzywinski, R. London, J. B. Pelka, T. Płociński, M. Rasiński, K. Tiedtke, S. Toleikis, L. Vysin, H. Wabnitz, and F. Bijkerk, “Damage mechanisms of MoN/SiN multilayer optics for next-generation pulsed XUV light sources,” Opt. Express 19(1), 193–205 (2011).
[Crossref]
[PubMed]
A. R. Khorsand, R. Sobierajski, E. Louis, S. Bruijn, E. D. van Hattum, R. W. E. van de Kruijs, M. Jurek, D. Klinger, J. B. Pelka, L. Juha, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, V. Hajkova, L. Vysin, U. Jastrow, N. Stojanovic, S. Toleikis, H. Wabnitz, K. Tiedtke, K. Sokolowski-Tinten, U. Shymanovich, J. Krzywinski, S. Hau-Riege, R. London, A. Gleeson, E. M. Gullikson, and F. Bijkerk, “Single shot damage mechanism of Mo/Si multilayer optics under intense pulsed XUV-exposure,” Opt. Express 18(2), 700–712 (2010).
[Crossref]
[PubMed]
C. Montcalm, P. A. Kearney, J. M. Slaughter, B. T. Sullivan, M. Chaker, H. Pépin, and C. M. Falco, “Survey of Ti-, B-, and Y-based soft x-ray-extreme ultraviolet multilayer mirrors for the 2- to 12-nm wavelength region,” Appl. Opt. 35(25), 5134–5147 (1996).
[Crossref]
[PubMed]
V. V. Kondratenko, Y. P. Pershin, O. V. Poltseva, A. I. Fedorenko, E. N. Zubarev, S. A. Yulin, V. Kozhevnikov, S. I. Sagitov, V. A. Chirkov, V. E. Levashov, and A. V. Vinogradov, “Thermal stability of soft x-ray Mo-Si and MoSi2-Si multilayer mirrors,” Appl. Opt. 32(10), 1811–1816 (1993).
[Crossref]
[PubMed]
Y. P. Pershyn, E. N. Zubarev, D. L. Voronov, V. A. Sevryukova, V. V. Kondratenko, G. Vaschenko, M. Grisham, C. S. Menoni, J. J. Rocca, I. A. Artioukov, Y. A. Uspenskii, and A. V. Vinogradov, “Mechanisms of radiation damage to Sc/Si multilayer mirrors under EUV laser irradiation,” J. Phys. D Appl. Phys. 42(12), 125407 (2009).
[Crossref]
T. Mocek, B. Rus, M. Kozlova, J. Polan, P. Homer, K. Jakubczak, M. Stupka, D. Snopek, J. Nejdl, M. H. Edwards, D. S. Whittaker, G. J. Tallents, P. Mistry, G. J. Pert, N. Booth, Z. Zhai, M. Fajardo, P. Zeitoun, J. Chalupsky, V. Hajkova, and L. Juha, “Plasma-based X-ray laser at 21 nm for multidisciplinary applications,” Eur. Phys. J. D 54(2), 439–444 (2009).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
R. A. Loch, A. Dubrouil, R. Sobierajski, D. Descamps, B. Fabre, P. Lidon, R. W. E. van de Kruijs, F. Boekhout, E. Gullikson, J. Gaudin, E. Louis, F. Bijkerk, E. Mével, S. Petit, E. Constant, and Y. Mairesse, “Phase characterization of the reflection on an extreme UV multilayer: comparison between attosecond metrology and standing wave measurements,” Opt. Lett. 36(17), 3386–3388 (2011).
[Crossref]
[PubMed]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
J. Gaudin, O. Peyrusse, J. Chalupsky, M. Toufarova, L. Vysın, V. Hajkova, R. Sobierajski, T. Burian, Sh. Dastjani-Farahani, A. Graf, M. Amati, L. Gregoratti, S. P. Hau-Riege, G. Hoffmann, L. Juha, J. Krzywinski, R. A. London, S. Moeller, H. Sinn, S. Schorb, M. Stoermer, Th. Tschentscher, V. Vorlıcek, H. Vu, J. Bozek, and C. Bostedt, “Amorphous to crystalline phase transition in carbon induced by intense femtosecond x-ray free-electron laser pulses,” Phys. Rev. B 86(2), 024103 (2012).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
Y. Platonov, J. Rodriguez, M. Kriese, E. Gullikson, T. Harada, T. Watanabe, and H. Kinoshita, “Multilayers for next generation EUVL at 6.Xnm,” Proc. SPIE 8076, 80760N–80760N-9 (2011).
[Crossref]
R. Sobierajski, S. Bruijn, A. R. Khorsand, E. Louis, R. W. E. van de Kruijs, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, A. Gleeson, J. Grzonka, E. M. Gullikson, V. Hajkova, S. Hau-Riege, L. Juha, M. Jurek, D. Klinger, J. Krzywinski, R. London, J. B. Pelka, T. Płociński, M. Rasiński, K. Tiedtke, S. Toleikis, L. Vysin, H. Wabnitz, and F. Bijkerk, “Damage mechanisms of MoN/SiN multilayer optics for next-generation pulsed XUV light sources,” Opt. Express 19(1), 193–205 (2011).
[Crossref]
[PubMed]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
T. Mocek, B. Rus, M. Kozlova, J. Polan, P. Homer, K. Jakubczak, M. Stupka, D. Snopek, J. Nejdl, M. H. Edwards, D. S. Whittaker, G. J. Tallents, P. Mistry, G. J. Pert, N. Booth, Z. Zhai, M. Fajardo, P. Zeitoun, J. Chalupsky, V. Hajkova, and L. Juha, “Plasma-based X-ray laser at 21 nm for multidisciplinary applications,” Eur. Phys. J. D 54(2), 439–444 (2009).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
V. V. Kondratenko, Y. P. Pershin, O. V. Poltseva, A. I. Fedorenko, E. N. Zubarev, S. A. Yulin, V. Kozhevnikov, S. I. Sagitov, V. A. Chirkov, V. E. Levashov, and A. V. Vinogradov, “Thermal stability of soft x-ray Mo-Si and MoSi2-Si multilayer mirrors,” Appl. Opt. 32(10), 1811–1816 (1993).
[Crossref]
[PubMed]
A. Ullrich, M. Bobeth, and W. Pompe, “Evolution of Coherent Interphase Boundaries during Annealing of Multilayers: A Monte Carlo Study,” Interface Sci. 12(2/3), 249–257 (2004).
[Crossref]
M.-C. Chen, P. Arpin, T. Popmintchev, M. Gerrity, B. Zhang, M. Seaberg, D. Popmintchev, M. M. Murnane, and H. C. Kapteyn, “Bright, coherent, ultrafast soft x-ray harmonics spanning the water window from a tabletop light source,” Phys. Rev. Lett. 105(17), 173901 (2010).
[Crossref]
[PubMed]
M.-C. Chen, P. Arpin, T. Popmintchev, M. Gerrity, B. Zhang, M. Seaberg, D. Popmintchev, M. M. Murnane, and H. C. Kapteyn, “Bright, coherent, ultrafast soft x-ray harmonics spanning the water window from a tabletop light source,” Phys. Rev. Lett. 105(17), 173901 (2010).
[Crossref]
[PubMed]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
R. Sobierajski, S. Bruijn, A. R. Khorsand, E. Louis, R. W. E. van de Kruijs, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, A. Gleeson, J. Grzonka, E. M. Gullikson, V. Hajkova, S. Hau-Riege, L. Juha, M. Jurek, D. Klinger, J. Krzywinski, R. London, J. B. Pelka, T. Płociński, M. Rasiński, K. Tiedtke, S. Toleikis, L. Vysin, H. Wabnitz, and F. Bijkerk, “Damage mechanisms of MoN/SiN multilayer optics for next-generation pulsed XUV light sources,” Opt. Express 19(1), 193–205 (2011).
[Crossref]
[PubMed]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
H. M. Hertz, O. von Hofsten, M. Bertilson, U. Vogt, A. Holmberg, J. Reinspach, D. Martz, M. Selin, A. E. Christakou, J. Jerlström-Hultqvist, and S. Svärd, “Laboratory cryo soft X-ray microscopy,” J. Struct. Biol. 177(2), 267–272 (2012).
[Crossref]
[PubMed]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
Y. P. Pershyn, E. N. Zubarev, D. L. Voronov, V. A. Sevryukova, V. V. Kondratenko, G. Vaschenko, M. Grisham, C. S. Menoni, J. J. Rocca, I. A. Artioukov, Y. A. Uspenskii, and A. V. Vinogradov, “Mechanisms of radiation damage to Sc/Si multilayer mirrors under EUV laser irradiation,” J. Phys. D Appl. Phys. 42(12), 125407 (2009).
[Crossref]
S. Heinbuch, M. Grisham, D. Martz, and J. J. Rocca, “Demonstration of a desk-top size high repetition rate soft x-ray laser,” Opt. Express 13(11), 4050–4055 (2005).
[Crossref]
[PubMed]
Y. Platonov, J. Rodriguez, M. Kriese, E. Gullikson, T. Harada, T. Watanabe, and H. Kinoshita, “Multilayers for next generation EUVL at 6.Xnm,” Proc. SPIE 8076, 80760N–80760N-9 (2011).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
F. Eriksson, N. Ghafoor, F. Schäfers, E. M. Gullikson, S. Aouadi, S. Rohde, L. Hultman, and J. Birch, “Atomic scale interface engineering by modulated ion-assisted deposition applied to soft x-ray multilayer optics,” Appl. Opt. 47(23), 4196–4204 (2008).
[Crossref]
[PubMed]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
I. A. Artyukov, Y. Bugayev, O. Y. Devizenko, R. M. Feschenko, Y. S. Kasyanov, V. V. Kondratenko, S. A. Romanova, S. V. Saveliev, F. Schäfers, T. Feig, Y. A. Uspenski, and A. V. Vinogradov, “Carbon window soft x-ray imaging using multilayer optics,” Proc. SPIE 5919, 59190E (2005).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
T. Mocek, B. Rus, M. Kozlova, J. Polan, P. Homer, K. Jakubczak, M. Stupka, D. Snopek, J. Nejdl, M. H. Edwards, D. S. Whittaker, G. J. Tallents, P. Mistry, G. J. Pert, N. Booth, Z. Zhai, M. Fajardo, P. Zeitoun, J. Chalupsky, V. Hajkova, and L. Juha, “Plasma-based X-ray laser at 21 nm for multidisciplinary applications,” Eur. Phys. J. D 54(2), 439–444 (2009).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
V. V. Kondratenko, Y. P. Pershin, O. V. Poltseva, A. I. Fedorenko, E. N. Zubarev, S. A. Yulin, V. Kozhevnikov, S. I. Sagitov, V. A. Chirkov, V. E. Levashov, and A. V. Vinogradov, “Thermal stability of soft x-ray Mo-Si and MoSi2-Si multilayer mirrors,” Appl. Opt. 32(10), 1811–1816 (1993).
[Crossref]
[PubMed]
A. Sakdinawat and D. Attwood, “Nanoscale X-ray imaging,” Nat. Photonics 4(12), 840–848 (2010).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
I. A. Artyukov, Y. Bugayev, O. Y. Devizenko, R. M. Feschenko, Y. S. Kasyanov, V. V. Kondratenko, S. A. Romanova, S. V. Saveliev, F. Schäfers, T. Feig, Y. A. Uspenski, and A. V. Vinogradov, “Carbon window soft x-ray imaging using multilayer optics,” Proc. SPIE 5919, 59190E (2005).
[Crossref]
F. Eriksson, N. Ghafoor, F. Schäfers, E. M. Gullikson, S. Aouadi, S. Rohde, L. Hultman, and J. Birch, “Atomic scale interface engineering by modulated ion-assisted deposition applied to soft x-ray multilayer optics,” Appl. Opt. 47(23), 4196–4204 (2008).
[Crossref]
[PubMed]
I. A. Artyukov, Y. Bugayev, O. Y. Devizenko, R. M. Feschenko, Y. S. Kasyanov, V. V. Kondratenko, S. A. Romanova, S. V. Saveliev, F. Schäfers, T. Feig, Y. A. Uspenski, and A. V. Vinogradov, “Carbon window soft x-ray imaging using multilayer optics,” Proc. SPIE 5919, 59190E (2005).
[Crossref]
F. Schäfers, “Multilayers for the EUV/soft X-ray range,” Physica B 283(1-3), 119–124 (2000).
[Crossref]
F. Schäfers, H. C. Mertins, F. Schmolla, I. Packe, N. N. Salashchenko, and E. A. Shamov, “Cr /sc multilayers for the soft-x-ray range,” Appl. Opt. 37(4), 719–728 (1998).
[Crossref]
[PubMed]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
J. Gaudin, O. Peyrusse, J. Chalupsky, M. Toufarova, L. Vysın, V. Hajkova, R. Sobierajski, T. Burian, Sh. Dastjani-Farahani, A. Graf, M. Amati, L. Gregoratti, S. P. Hau-Riege, G. Hoffmann, L. Juha, J. Krzywinski, R. A. London, S. Moeller, H. Sinn, S. Schorb, M. Stoermer, Th. Tschentscher, V. Vorlıcek, H. Vu, J. Bozek, and C. Bostedt, “Amorphous to crystalline phase transition in carbon induced by intense femtosecond x-ray free-electron laser pulses,” Phys. Rev. B 86(2), 024103 (2012).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
M.-C. Chen, P. Arpin, T. Popmintchev, M. Gerrity, B. Zhang, M. Seaberg, D. Popmintchev, M. M. Murnane, and H. C. Kapteyn, “Bright, coherent, ultrafast soft x-ray harmonics spanning the water window from a tabletop light source,” Phys. Rev. Lett. 105(17), 173901 (2010).
[Crossref]
[PubMed]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
H. M. Hertz, O. von Hofsten, M. Bertilson, U. Vogt, A. Holmberg, J. Reinspach, D. Martz, M. Selin, A. E. Christakou, J. Jerlström-Hultqvist, and S. Svärd, “Laboratory cryo soft X-ray microscopy,” J. Struct. Biol. 177(2), 267–272 (2012).
[Crossref]
[PubMed]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
Y. P. Pershyn, E. N. Zubarev, D. L. Voronov, V. A. Sevryukova, V. V. Kondratenko, G. Vaschenko, M. Grisham, C. S. Menoni, J. J. Rocca, I. A. Artioukov, Y. A. Uspenskii, and A. V. Vinogradov, “Mechanisms of radiation damage to Sc/Si multilayer mirrors under EUV laser irradiation,” J. Phys. D Appl. Phys. 42(12), 125407 (2009).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
A. R. Khorsand, R. Sobierajski, E. Louis, S. Bruijn, E. D. van Hattum, R. W. E. van de Kruijs, M. Jurek, D. Klinger, J. B. Pelka, L. Juha, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, V. Hajkova, L. Vysin, U. Jastrow, N. Stojanovic, S. Toleikis, H. Wabnitz, K. Tiedtke, K. Sokolowski-Tinten, U. Shymanovich, J. Krzywinski, S. Hau-Riege, R. London, A. Gleeson, E. M. Gullikson, and F. Bijkerk, “Single shot damage mechanism of Mo/Si multilayer optics under intense pulsed XUV-exposure,” Opt. Express 18(2), 700–712 (2010).
[Crossref]
[PubMed]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
J. Gaudin, O. Peyrusse, J. Chalupsky, M. Toufarova, L. Vysın, V. Hajkova, R. Sobierajski, T. Burian, Sh. Dastjani-Farahani, A. Graf, M. Amati, L. Gregoratti, S. P. Hau-Riege, G. Hoffmann, L. Juha, J. Krzywinski, R. A. London, S. Moeller, H. Sinn, S. Schorb, M. Stoermer, Th. Tschentscher, V. Vorlıcek, H. Vu, J. Bozek, and C. Bostedt, “Amorphous to crystalline phase transition in carbon induced by intense femtosecond x-ray free-electron laser pulses,” Phys. Rev. B 86(2), 024103 (2012).
[Crossref]
C. Montcalm, P. A. Kearney, J. M. Slaughter, B. T. Sullivan, M. Chaker, H. Pépin, and C. M. Falco, “Survey of Ti-, B-, and Y-based soft x-ray-extreme ultraviolet multilayer mirrors for the 2- to 12-nm wavelength region,” Appl. Opt. 35(25), 5134–5147 (1996).
[Crossref]
[PubMed]
T. Mocek, B. Rus, M. Kozlova, J. Polan, P. Homer, K. Jakubczak, M. Stupka, D. Snopek, J. Nejdl, M. H. Edwards, D. S. Whittaker, G. J. Tallents, P. Mistry, G. J. Pert, N. Booth, Z. Zhai, M. Fajardo, P. Zeitoun, J. Chalupsky, V. Hajkova, and L. Juha, “Plasma-based X-ray laser at 21 nm for multidisciplinary applications,” Eur. Phys. J. D 54(2), 439–444 (2009).
[Crossref]
J. Gaudin, O. Peyrusse, J. Chalupsky, M. Toufarova, L. Vysın, V. Hajkova, R. Sobierajski, T. Burian, Sh. Dastjani-Farahani, A. Graf, M. Amati, L. Gregoratti, S. P. Hau-Riege, G. Hoffmann, L. Juha, J. Krzywinski, R. A. London, S. Moeller, H. Sinn, S. Schorb, M. Stoermer, Th. Tschentscher, V. Vorlıcek, H. Vu, J. Bozek, and C. Bostedt, “Amorphous to crystalline phase transition in carbon induced by intense femtosecond x-ray free-electron laser pulses,” Phys. Rev. B 86(2), 024103 (2012).
[Crossref]
R. Sobierajski, S. Bruijn, A. R. Khorsand, E. Louis, R. W. E. van de Kruijs, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, A. Gleeson, J. Grzonka, E. M. Gullikson, V. Hajkova, S. Hau-Riege, L. Juha, M. Jurek, D. Klinger, J. Krzywinski, R. London, J. B. Pelka, T. Płociński, M. Rasiński, K. Tiedtke, S. Toleikis, L. Vysin, H. Wabnitz, and F. Bijkerk, “Damage mechanisms of MoN/SiN multilayer optics for next-generation pulsed XUV light sources,” Opt. Express 19(1), 193–205 (2011).
[Crossref]
[PubMed]
R. A. Loch, A. Dubrouil, R. Sobierajski, D. Descamps, B. Fabre, P. Lidon, R. W. E. van de Kruijs, F. Boekhout, E. Gullikson, J. Gaudin, E. Louis, F. Bijkerk, E. Mével, S. Petit, E. Constant, and Y. Mairesse, “Phase characterization of the reflection on an extreme UV multilayer: comparison between attosecond metrology and standing wave measurements,” Opt. Lett. 36(17), 3386–3388 (2011).
[Crossref]
[PubMed]
A. R. Khorsand, R. Sobierajski, E. Louis, S. Bruijn, E. D. van Hattum, R. W. E. van de Kruijs, M. Jurek, D. Klinger, J. B. Pelka, L. Juha, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, V. Hajkova, L. Vysin, U. Jastrow, N. Stojanovic, S. Toleikis, H. Wabnitz, K. Tiedtke, K. Sokolowski-Tinten, U. Shymanovich, J. Krzywinski, S. Hau-Riege, R. London, A. Gleeson, E. M. Gullikson, and F. Bijkerk, “Single shot damage mechanism of Mo/Si multilayer optics under intense pulsed XUV-exposure,” Opt. Express 18(2), 700–712 (2010).
[Crossref]
[PubMed]
A. R. Khorsand, R. Sobierajski, E. Louis, S. Bruijn, E. D. van Hattum, R. W. E. van de Kruijs, M. Jurek, D. Klinger, J. B. Pelka, L. Juha, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, V. Hajkova, L. Vysin, U. Jastrow, N. Stojanovic, S. Toleikis, H. Wabnitz, K. Tiedtke, K. Sokolowski-Tinten, U. Shymanovich, J. Krzywinski, S. Hau-Riege, R. London, A. Gleeson, E. M. Gullikson, and F. Bijkerk, “Single shot damage mechanism of Mo/Si multilayer optics under intense pulsed XUV-exposure,” Opt. Express 18(2), 700–712 (2010).
[Crossref]
[PubMed]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
E. Louis, E. Spiller, S. Abdali, F. E. Christensen, H. J. Voorma, N. B. Koster, P. K. Frederiksen, C. Tarrio, E. M. Gullikson, and F. Bijkerk, “Multilayer x-ray mirrors for the objective crystal spectrometer on the Spectrum Röntgen Gamma satellite,” Proc. SPIE 2515, 194–203 (1995).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
J. Gaudin, O. Peyrusse, J. Chalupsky, M. Toufarova, L. Vysın, V. Hajkova, R. Sobierajski, T. Burian, Sh. Dastjani-Farahani, A. Graf, M. Amati, L. Gregoratti, S. P. Hau-Riege, G. Hoffmann, L. Juha, J. Krzywinski, R. A. London, S. Moeller, H. Sinn, S. Schorb, M. Stoermer, Th. Tschentscher, V. Vorlıcek, H. Vu, J. Bozek, and C. Bostedt, “Amorphous to crystalline phase transition in carbon induced by intense femtosecond x-ray free-electron laser pulses,” Phys. Rev. B 86(2), 024103 (2012).
[Crossref]
A. R. Khorsand, R. Sobierajski, E. Louis, S. Bruijn, E. D. van Hattum, R. W. E. van de Kruijs, M. Jurek, D. Klinger, J. B. Pelka, L. Juha, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, V. Hajkova, L. Vysin, U. Jastrow, N. Stojanovic, S. Toleikis, H. Wabnitz, K. Tiedtke, K. Sokolowski-Tinten, U. Shymanovich, J. Krzywinski, S. Hau-Riege, R. London, A. Gleeson, E. M. Gullikson, and F. Bijkerk, “Single shot damage mechanism of Mo/Si multilayer optics under intense pulsed XUV-exposure,” Opt. Express 18(2), 700–712 (2010).
[Crossref]
[PubMed]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
T. Mocek, B. Rus, M. Kozlova, J. Polan, P. Homer, K. Jakubczak, M. Stupka, D. Snopek, J. Nejdl, M. H. Edwards, D. S. Whittaker, G. J. Tallents, P. Mistry, G. J. Pert, N. Booth, Z. Zhai, M. Fajardo, P. Zeitoun, J. Chalupsky, V. Hajkova, and L. Juha, “Plasma-based X-ray laser at 21 nm for multidisciplinary applications,” Eur. Phys. J. D 54(2), 439–444 (2009).
[Crossref]
C. Montcalm, P. A. Kearney, J. M. Slaughter, B. T. Sullivan, M. Chaker, H. Pépin, and C. M. Falco, “Survey of Ti-, B-, and Y-based soft x-ray-extreme ultraviolet multilayer mirrors for the 2- to 12-nm wavelength region,” Appl. Opt. 35(25), 5134–5147 (1996).
[Crossref]
[PubMed]
J.-F. Adam, J.-P. Moy, and J. Susini, “Table-top water window transmission x-ray microscopy: Review of the key issues, and conceptual design of an instrument for biology,” Rev. Sci. Instrum. 76(9), 091301 (2005).
[Crossref]
H. M. Hertz, O. von Hofsten, M. Bertilson, U. Vogt, A. Holmberg, J. Reinspach, D. Martz, M. Selin, A. E. Christakou, J. Jerlström-Hultqvist, and S. Svärd, “Laboratory cryo soft X-ray microscopy,” J. Struct. Biol. 177(2), 267–272 (2012).
[Crossref]
[PubMed]
T. Mocek, B. Rus, M. Kozlova, J. Polan, P. Homer, K. Jakubczak, M. Stupka, D. Snopek, J. Nejdl, M. H. Edwards, D. S. Whittaker, G. J. Tallents, P. Mistry, G. J. Pert, N. Booth, Z. Zhai, M. Fajardo, P. Zeitoun, J. Chalupsky, V. Hajkova, and L. Juha, “Plasma-based X-ray laser at 21 nm for multidisciplinary applications,” Eur. Phys. J. D 54(2), 439–444 (2009).
[Crossref]
E. Louis, E. Spiller, S. Abdali, F. E. Christensen, H. J. Voorma, N. B. Koster, P. K. Frederiksen, C. Tarrio, E. M. Gullikson, and F. Bijkerk, “Multilayer x-ray mirrors for the objective crystal spectrometer on the Spectrum Röntgen Gamma satellite,” Proc. SPIE 2515, 194–203 (1995).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
R. Sobierajski, S. Bruijn, A. R. Khorsand, E. Louis, R. W. E. van de Kruijs, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, A. Gleeson, J. Grzonka, E. M. Gullikson, V. Hajkova, S. Hau-Riege, L. Juha, M. Jurek, D. Klinger, J. Krzywinski, R. London, J. B. Pelka, T. Płociński, M. Rasiński, K. Tiedtke, S. Toleikis, L. Vysin, H. Wabnitz, and F. Bijkerk, “Damage mechanisms of MoN/SiN multilayer optics for next-generation pulsed XUV light sources,” Opt. Express 19(1), 193–205 (2011).
[Crossref]
[PubMed]
A. R. Khorsand, R. Sobierajski, E. Louis, S. Bruijn, E. D. van Hattum, R. W. E. van de Kruijs, M. Jurek, D. Klinger, J. B. Pelka, L. Juha, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, V. Hajkova, L. Vysin, U. Jastrow, N. Stojanovic, S. Toleikis, H. Wabnitz, K. Tiedtke, K. Sokolowski-Tinten, U. Shymanovich, J. Krzywinski, S. Hau-Riege, R. London, A. Gleeson, E. M. Gullikson, and F. Bijkerk, “Single shot damage mechanism of Mo/Si multilayer optics under intense pulsed XUV-exposure,” Opt. Express 18(2), 700–712 (2010).
[Crossref]
[PubMed]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
R. Sobierajski, S. Bruijn, A. R. Khorsand, E. Louis, R. W. E. van de Kruijs, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, A. Gleeson, J. Grzonka, E. M. Gullikson, V. Hajkova, S. Hau-Riege, L. Juha, M. Jurek, D. Klinger, J. Krzywinski, R. London, J. B. Pelka, T. Płociński, M. Rasiński, K. Tiedtke, S. Toleikis, L. Vysin, H. Wabnitz, and F. Bijkerk, “Damage mechanisms of MoN/SiN multilayer optics for next-generation pulsed XUV light sources,” Opt. Express 19(1), 193–205 (2011).
[Crossref]
[PubMed]
A. R. Khorsand, R. Sobierajski, E. Louis, S. Bruijn, E. D. van Hattum, R. W. E. van de Kruijs, M. Jurek, D. Klinger, J. B. Pelka, L. Juha, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, V. Hajkova, L. Vysin, U. Jastrow, N. Stojanovic, S. Toleikis, H. Wabnitz, K. Tiedtke, K. Sokolowski-Tinten, U. Shymanovich, J. Krzywinski, S. Hau-Riege, R. London, A. Gleeson, E. M. Gullikson, and F. Bijkerk, “Single shot damage mechanism of Mo/Si multilayer optics under intense pulsed XUV-exposure,” Opt. Express 18(2), 700–712 (2010).
[Crossref]
[PubMed]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
J. Gaudin, O. Peyrusse, J. Chalupsky, M. Toufarova, L. Vysın, V. Hajkova, R. Sobierajski, T. Burian, Sh. Dastjani-Farahani, A. Graf, M. Amati, L. Gregoratti, S. P. Hau-Riege, G. Hoffmann, L. Juha, J. Krzywinski, R. A. London, S. Moeller, H. Sinn, S. Schorb, M. Stoermer, Th. Tschentscher, V. Vorlıcek, H. Vu, J. Bozek, and C. Bostedt, “Amorphous to crystalline phase transition in carbon induced by intense femtosecond x-ray free-electron laser pulses,” Phys. Rev. B 86(2), 024103 (2012).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
E. Louis, A. E. Yakshin, T. Tsarfati, and F. Bijkerk, “Nanometer interface and materials control for multilayer EUV-optical applications,” Prog. Surf. Sci. 86(11-12), 255–294 (2011).
[Crossref]
J. Gaudin, O. Peyrusse, J. Chalupsky, M. Toufarova, L. Vysın, V. Hajkova, R. Sobierajski, T. Burian, Sh. Dastjani-Farahani, A. Graf, M. Amati, L. Gregoratti, S. P. Hau-Riege, G. Hoffmann, L. Juha, J. Krzywinski, R. A. London, S. Moeller, H. Sinn, S. Schorb, M. Stoermer, Th. Tschentscher, V. Vorlıcek, H. Vu, J. Bozek, and C. Bostedt, “Amorphous to crystalline phase transition in carbon induced by intense femtosecond x-ray free-electron laser pulses,” Phys. Rev. B 86(2), 024103 (2012).
[Crossref]
A. Ullrich, M. Bobeth, and W. Pompe, “Evolution of Coherent Interphase Boundaries during Annealing of Multilayers: A Monte Carlo Study,” Interface Sci. 12(2/3), 249–257 (2004).
[Crossref]
I. A. Artyukov, Y. Bugayev, O. Y. Devizenko, R. M. Feschenko, Y. S. Kasyanov, V. V. Kondratenko, S. A. Romanova, S. V. Saveliev, F. Schäfers, T. Feig, Y. A. Uspenski, and A. V. Vinogradov, “Carbon window soft x-ray imaging using multilayer optics,” Proc. SPIE 5919, 59190E (2005).
[Crossref]
Y. P. Pershyn, E. N. Zubarev, D. L. Voronov, V. A. Sevryukova, V. V. Kondratenko, G. Vaschenko, M. Grisham, C. S. Menoni, J. J. Rocca, I. A. Artioukov, Y. A. Uspenskii, and A. V. Vinogradov, “Mechanisms of radiation damage to Sc/Si multilayer mirrors under EUV laser irradiation,” J. Phys. D Appl. Phys. 42(12), 125407 (2009).
[Crossref]
R. A. Loch, A. Dubrouil, R. Sobierajski, D. Descamps, B. Fabre, P. Lidon, R. W. E. van de Kruijs, F. Boekhout, E. Gullikson, J. Gaudin, E. Louis, F. Bijkerk, E. Mével, S. Petit, E. Constant, and Y. Mairesse, “Phase characterization of the reflection on an extreme UV multilayer: comparison between attosecond metrology and standing wave measurements,” Opt. Lett. 36(17), 3386–3388 (2011).
[Crossref]
[PubMed]
R. Sobierajski, S. Bruijn, A. R. Khorsand, E. Louis, R. W. E. van de Kruijs, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, A. Gleeson, J. Grzonka, E. M. Gullikson, V. Hajkova, S. Hau-Riege, L. Juha, M. Jurek, D. Klinger, J. Krzywinski, R. London, J. B. Pelka, T. Płociński, M. Rasiński, K. Tiedtke, S. Toleikis, L. Vysin, H. Wabnitz, and F. Bijkerk, “Damage mechanisms of MoN/SiN multilayer optics for next-generation pulsed XUV light sources,” Opt. Express 19(1), 193–205 (2011).
[Crossref]
[PubMed]
A. R. Khorsand, R. Sobierajski, E. Louis, S. Bruijn, E. D. van Hattum, R. W. E. van de Kruijs, M. Jurek, D. Klinger, J. B. Pelka, L. Juha, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, V. Hajkova, L. Vysin, U. Jastrow, N. Stojanovic, S. Toleikis, H. Wabnitz, K. Tiedtke, K. Sokolowski-Tinten, U. Shymanovich, J. Krzywinski, S. Hau-Riege, R. London, A. Gleeson, E. M. Gullikson, and F. Bijkerk, “Single shot damage mechanism of Mo/Si multilayer optics under intense pulsed XUV-exposure,” Opt. Express 18(2), 700–712 (2010).
[Crossref]
[PubMed]
A. R. Khorsand, R. Sobierajski, E. Louis, S. Bruijn, E. D. van Hattum, R. W. E. van de Kruijs, M. Jurek, D. Klinger, J. B. Pelka, L. Juha, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, V. Hajkova, L. Vysin, U. Jastrow, N. Stojanovic, S. Toleikis, H. Wabnitz, K. Tiedtke, K. Sokolowski-Tinten, U. Shymanovich, J. Krzywinski, S. Hau-Riege, R. London, A. Gleeson, E. M. Gullikson, and F. Bijkerk, “Single shot damage mechanism of Mo/Si multilayer optics under intense pulsed XUV-exposure,” Opt. Express 18(2), 700–712 (2010).
[Crossref]
[PubMed]
Y. P. Pershyn, E. N. Zubarev, D. L. Voronov, V. A. Sevryukova, V. V. Kondratenko, G. Vaschenko, M. Grisham, C. S. Menoni, J. J. Rocca, I. A. Artioukov, Y. A. Uspenskii, and A. V. Vinogradov, “Mechanisms of radiation damage to Sc/Si multilayer mirrors under EUV laser irradiation,” J. Phys. D Appl. Phys. 42(12), 125407 (2009).
[Crossref]
K. Vestli and E. Ziegler, “Optimization of multilayer reflectivity and bandpass for soft to hard x-ray applications [0.1-200 keV],” Rev. Sci. Instrum. 67(9), 3356–3360 (1996).
[Crossref]
Y. P. Pershyn, E. N. Zubarev, D. L. Voronov, V. A. Sevryukova, V. V. Kondratenko, G. Vaschenko, M. Grisham, C. S. Menoni, J. J. Rocca, I. A. Artioukov, Y. A. Uspenskii, and A. V. Vinogradov, “Mechanisms of radiation damage to Sc/Si multilayer mirrors under EUV laser irradiation,” J. Phys. D Appl. Phys. 42(12), 125407 (2009).
[Crossref]
I. A. Artyukov, Y. Bugayev, O. Y. Devizenko, R. M. Feschenko, Y. S. Kasyanov, V. V. Kondratenko, S. A. Romanova, S. V. Saveliev, F. Schäfers, T. Feig, Y. A. Uspenski, and A. V. Vinogradov, “Carbon window soft x-ray imaging using multilayer optics,” Proc. SPIE 5919, 59190E (2005).
[Crossref]
V. V. Kondratenko, Y. P. Pershin, O. V. Poltseva, A. I. Fedorenko, E. N. Zubarev, S. A. Yulin, V. Kozhevnikov, S. I. Sagitov, V. A. Chirkov, V. E. Levashov, and A. V. Vinogradov, “Thermal stability of soft x-ray Mo-Si and MoSi2-Si multilayer mirrors,” Appl. Opt. 32(10), 1811–1816 (1993).
[Crossref]
[PubMed]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
H. M. Hertz, O. von Hofsten, M. Bertilson, U. Vogt, A. Holmberg, J. Reinspach, D. Martz, M. Selin, A. E. Christakou, J. Jerlström-Hultqvist, and S. Svärd, “Laboratory cryo soft X-ray microscopy,” J. Struct. Biol. 177(2), 267–272 (2012).
[Crossref]
[PubMed]
H. M. Hertz, O. von Hofsten, M. Bertilson, U. Vogt, A. Holmberg, J. Reinspach, D. Martz, M. Selin, A. E. Christakou, J. Jerlström-Hultqvist, and S. Svärd, “Laboratory cryo soft X-ray microscopy,” J. Struct. Biol. 177(2), 267–272 (2012).
[Crossref]
[PubMed]
E. Louis, E. Spiller, S. Abdali, F. E. Christensen, H. J. Voorma, N. B. Koster, P. K. Frederiksen, C. Tarrio, E. M. Gullikson, and F. Bijkerk, “Multilayer x-ray mirrors for the objective crystal spectrometer on the Spectrum Röntgen Gamma satellite,” Proc. SPIE 2515, 194–203 (1995).
[Crossref]
J. Gaudin, O. Peyrusse, J. Chalupsky, M. Toufarova, L. Vysın, V. Hajkova, R. Sobierajski, T. Burian, Sh. Dastjani-Farahani, A. Graf, M. Amati, L. Gregoratti, S. P. Hau-Riege, G. Hoffmann, L. Juha, J. Krzywinski, R. A. London, S. Moeller, H. Sinn, S. Schorb, M. Stoermer, Th. Tschentscher, V. Vorlıcek, H. Vu, J. Bozek, and C. Bostedt, “Amorphous to crystalline phase transition in carbon induced by intense femtosecond x-ray free-electron laser pulses,” Phys. Rev. B 86(2), 024103 (2012).
[Crossref]
Y. P. Pershyn, E. N. Zubarev, D. L. Voronov, V. A. Sevryukova, V. V. Kondratenko, G. Vaschenko, M. Grisham, C. S. Menoni, J. J. Rocca, I. A. Artioukov, Y. A. Uspenskii, and A. V. Vinogradov, “Mechanisms of radiation damage to Sc/Si multilayer mirrors under EUV laser irradiation,” J. Phys. D Appl. Phys. 42(12), 125407 (2009).
[Crossref]
J. Gaudin, O. Peyrusse, J. Chalupsky, M. Toufarova, L. Vysın, V. Hajkova, R. Sobierajski, T. Burian, Sh. Dastjani-Farahani, A. Graf, M. Amati, L. Gregoratti, S. P. Hau-Riege, G. Hoffmann, L. Juha, J. Krzywinski, R. A. London, S. Moeller, H. Sinn, S. Schorb, M. Stoermer, Th. Tschentscher, V. Vorlıcek, H. Vu, J. Bozek, and C. Bostedt, “Amorphous to crystalline phase transition in carbon induced by intense femtosecond x-ray free-electron laser pulses,” Phys. Rev. B 86(2), 024103 (2012).
[Crossref]
J. Gaudin, O. Peyrusse, J. Chalupsky, M. Toufarova, L. Vysın, V. Hajkova, R. Sobierajski, T. Burian, Sh. Dastjani-Farahani, A. Graf, M. Amati, L. Gregoratti, S. P. Hau-Riege, G. Hoffmann, L. Juha, J. Krzywinski, R. A. London, S. Moeller, H. Sinn, S. Schorb, M. Stoermer, Th. Tschentscher, V. Vorlıcek, H. Vu, J. Bozek, and C. Bostedt, “Amorphous to crystalline phase transition in carbon induced by intense femtosecond x-ray free-electron laser pulses,” Phys. Rev. B 86(2), 024103 (2012).
[Crossref]
R. Sobierajski, S. Bruijn, A. R. Khorsand, E. Louis, R. W. E. van de Kruijs, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, A. Gleeson, J. Grzonka, E. M. Gullikson, V. Hajkova, S. Hau-Riege, L. Juha, M. Jurek, D. Klinger, J. Krzywinski, R. London, J. B. Pelka, T. Płociński, M. Rasiński, K. Tiedtke, S. Toleikis, L. Vysin, H. Wabnitz, and F. Bijkerk, “Damage mechanisms of MoN/SiN multilayer optics for next-generation pulsed XUV light sources,” Opt. Express 19(1), 193–205 (2011).
[Crossref]
[PubMed]
A. R. Khorsand, R. Sobierajski, E. Louis, S. Bruijn, E. D. van Hattum, R. W. E. van de Kruijs, M. Jurek, D. Klinger, J. B. Pelka, L. Juha, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, V. Hajkova, L. Vysin, U. Jastrow, N. Stojanovic, S. Toleikis, H. Wabnitz, K. Tiedtke, K. Sokolowski-Tinten, U. Shymanovich, J. Krzywinski, S. Hau-Riege, R. London, A. Gleeson, E. M. Gullikson, and F. Bijkerk, “Single shot damage mechanism of Mo/Si multilayer optics under intense pulsed XUV-exposure,” Opt. Express 18(2), 700–712 (2010).
[Crossref]
[PubMed]
R. Sobierajski, S. Bruijn, A. R. Khorsand, E. Louis, R. W. E. van de Kruijs, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, A. Gleeson, J. Grzonka, E. M. Gullikson, V. Hajkova, S. Hau-Riege, L. Juha, M. Jurek, D. Klinger, J. Krzywinski, R. London, J. B. Pelka, T. Płociński, M. Rasiński, K. Tiedtke, S. Toleikis, L. Vysin, H. Wabnitz, and F. Bijkerk, “Damage mechanisms of MoN/SiN multilayer optics for next-generation pulsed XUV light sources,” Opt. Express 19(1), 193–205 (2011).
[Crossref]
[PubMed]
A. R. Khorsand, R. Sobierajski, E. Louis, S. Bruijn, E. D. van Hattum, R. W. E. van de Kruijs, M. Jurek, D. Klinger, J. B. Pelka, L. Juha, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, V. Hajkova, L. Vysin, U. Jastrow, N. Stojanovic, S. Toleikis, H. Wabnitz, K. Tiedtke, K. Sokolowski-Tinten, U. Shymanovich, J. Krzywinski, S. Hau-Riege, R. London, A. Gleeson, E. M. Gullikson, and F. Bijkerk, “Single shot damage mechanism of Mo/Si multilayer optics under intense pulsed XUV-exposure,” Opt. Express 18(2), 700–712 (2010).
[Crossref]
[PubMed]
Y. Platonov, J. Rodriguez, M. Kriese, E. Gullikson, T. Harada, T. Watanabe, and H. Kinoshita, “Multilayers for next generation EUVL at 6.Xnm,” Proc. SPIE 8076, 80760N–80760N-9 (2011).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
T. Mocek, B. Rus, M. Kozlova, J. Polan, P. Homer, K. Jakubczak, M. Stupka, D. Snopek, J. Nejdl, M. H. Edwards, D. S. Whittaker, G. J. Tallents, P. Mistry, G. J. Pert, N. Booth, Z. Zhai, M. Fajardo, P. Zeitoun, J. Chalupsky, V. Hajkova, and L. Juha, “Plasma-based X-ray laser at 21 nm for multidisciplinary applications,” Eur. Phys. J. D 54(2), 439–444 (2009).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
D. L. Windt, “IMD - Software for modeling the optical properties of multilayer films,” Comput. Phys. 12(4), 360–370 (1998).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
E. Louis, A. E. Yakshin, T. Tsarfati, and F. Bijkerk, “Nanometer interface and materials control for multilayer EUV-optical applications,” Prog. Surf. Sci. 86(11-12), 255–294 (2011).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
V. V. Kondratenko, Y. P. Pershin, O. V. Poltseva, A. I. Fedorenko, E. N. Zubarev, S. A. Yulin, V. Kozhevnikov, S. I. Sagitov, V. A. Chirkov, V. E. Levashov, and A. V. Vinogradov, “Thermal stability of soft x-ray Mo-Si and MoSi2-Si multilayer mirrors,” Appl. Opt. 32(10), 1811–1816 (1993).
[Crossref]
[PubMed]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
W. Ackermann, G. Asova, V. Ayvazyan, A. Azima, N. Baboi, J. Bahr, V. Balandin, B. Beutner, A. Brandt, A. Bolzmann, R. Brinkmann, O. I. Brovko, M. Castellano, P. Castro, L. Catani, E. Chiadroni, S. Choroba, A. Cianchi, J. T. Costello, D. Cubaynes, J. Dardis, W. Decking, H. Delsim Hashemi, A. Delserieys, G. Di Pirro, M. Dohlus, S. Dusterer, A. Eckhardt, H. T. Edwards, B. Faatz, J. Feldhaus, K. Flottmann, J. Frisch, L. Frohlich, T. Garvey, U. Gensch, C. Gerth, M. Gorler, N. Golubeva, H. J. Grabosch, M. Grecki, O. Grimm, K. Hacker, U. Hahn, J. H. Han, K. Honkavaara, T. Hott, M. Huning, Y. Ivanisenko, E. Jaeschke, W. Jalmuzna, T. Jezynski, R. Kammering, V. Katalev, K. Kavanagh, E. T. Kennedy, S. Khodyachykh, K. Klose, V. Kocharyan, M. Korfer, M. Kollewe, W. Koprek, S. Korepanov, D. Kostin, M. Krassilnikov, G. Kube, M. Kuhlmann, C. L. S. Lewis, L. Lilje, T. Limberg, D. Lipka, F. Lohl, H. Luna, M. Luong, M. Martins, M. Meyer, P. Michelato, V. Miltchev, W. D. Moller, L. Monaco, W. F. O. Muller, O. Napieralski, O. Napoly, P. Nicolosi, D. Nolle, T. Nunez, A. Oppelt, C. Pagani, R. Paparella, N. Pchalek, J. Pedregosa Gutierrez, B. Petersen, B. Petrosyan, G. Petrosyan, L. Petrosyan, J. Pfluger, E. Plonjes, L. Poletto, K. Pozniak, E. Prat, D. Proch, P. Pucyk, P. Radcliffe, H. Redlin, K. Rehlich, M. Richter, M. Roehrs, J. Roensch, R. Romaniuk, M. Ross, J. Rossbach, V. Rybnikov, M. Sachwitz, E. L. Saldin, W. Sandner, H. Schlarb, B. Schmidt, M. Schmitz, P. Schmuser, J. R. Schneider, E. A. Schneidmiller, S. Schnepp, S. Schreiber, M. Seidel, D. Sertore, A. V. Shabunov, C. Simon, S. Simrock, E. Sombrowski, A. A. Sorokin, P. Spanknebel, R. Spesyvtsev, L. Staykov, B. Steffen, F. Stephan, F. Stulle, H. Thom, K. Tiedtke, M. Tischer, S. Toleikis, R. Treusch, D. Trines, I. Tsakov, E. Vogel, T. Weiland, H. Weise, M. Wellhofer, M. Wendt, I. Will, A. Winter, K. Wittenburg, W. Wurth, P. Yeates, M. V. Yurkov, I. Zagorodnov, and K. Zapfe, “Operation of a free-electron laser from the extreme ultraviolet to the water window,” Nat. Photonics 1(6), 336–342 (2007).
[Crossref]
T. Mocek, B. Rus, M. Kozlova, J. Polan, P. Homer, K. Jakubczak, M. Stupka, D. Snopek, J. Nejdl, M. H. Edwards, D. S. Whittaker, G. J. Tallents, P. Mistry, G. J. Pert, N. Booth, Z. Zhai, M. Fajardo, P. Zeitoun, J. Chalupsky, V. Hajkova, and L. Juha, “Plasma-based X-ray laser at 21 nm for multidisciplinary applications,” Eur. Phys. J. D 54(2), 439–444 (2009).
[Crossref]
T. Mocek, B. Rus, M. Kozlova, J. Polan, P. Homer, K. Jakubczak, M. Stupka, D. Snopek, J. Nejdl, M. H. Edwards, D. S. Whittaker, G. J. Tallents, P. Mistry, G. J. Pert, N. Booth, Z. Zhai, M. Fajardo, P. Zeitoun, J. Chalupsky, V. Hajkova, and L. Juha, “Plasma-based X-ray laser at 21 nm for multidisciplinary applications,” Eur. Phys. J. D 54(2), 439–444 (2009).
[Crossref]
M.-C. Chen, P. Arpin, T. Popmintchev, M. Gerrity, B. Zhang, M. Seaberg, D. Popmintchev, M. M. Murnane, and H. C. Kapteyn, “Bright, coherent, ultrafast soft x-ray harmonics spanning the water window from a tabletop light source,” Phys. Rev. Lett. 105(17), 173901 (2010).
[Crossref]
[PubMed]
B. Ziaja, R. A. London, and J. Hajdu, “Ionization by impact electrons in solids: electron mean free path fitted over a wide energy range,” J. Appl. Phys. 99(3), 033514 (2006).
[Crossref]
K. Vestli and E. Ziegler, “Optimization of multilayer reflectivity and bandpass for soft to hard x-ray applications [0.1-200 keV],” Rev. Sci. Instrum. 67(9), 3356–3360 (1996).
[Crossref]
Y. P. Pershyn, E. N. Zubarev, D. L. Voronov, V. A. Sevryukova, V. V. Kondratenko, G. Vaschenko, M. Grisham, C. S. Menoni, J. J. Rocca, I. A. Artioukov, Y. A. Uspenskii, and A. V. Vinogradov, “Mechanisms of radiation damage to Sc/Si multilayer mirrors under EUV laser irradiation,” J. Phys. D Appl. Phys. 42(12), 125407 (2009).
[Crossref]
V. V. Kondratenko, Y. P. Pershin, O. V. Poltseva, A. I. Fedorenko, E. N. Zubarev, S. A. Yulin, V. Kozhevnikov, S. I. Sagitov, V. A. Chirkov, V. E. Levashov, and A. V. Vinogradov, “Thermal stability of soft x-ray Mo-Si and MoSi2-Si multilayer mirrors,” Appl. Opt. 32(10), 1811–1816 (1993).
[Crossref]
[PubMed]