Abstract

A linear accelerator based source of coherent radiation, FLASH (Free-electron LASer in Hamburg) provides ultra-intense femtosecond radiation pulses at wavelengths from the extreme ultraviolet (XUV; λ<100nm) to the soft X-ray (SXR; λ<30nm) spectral regions. 25-fs pulses of 32-nm FLASH radiation were used to determine the ablation parameters of PMMA - poly (methyl methacrylate). Under these irradiation conditions the attenuation length and ablation threshold were found to be (56.9±7.5) nm and ∼2 mJ∙cm-2, respectively. For a second wavelength of 21.7 nm, the PMMA ablation was utilized to image the transverse intensity distribution within the focused beam at μm resolution by a method developed here.

© 2007 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. P. E. Dyer, "Excimer laser polymer ablation: twenty years on," Appl. Phys. A 77, 167-173 (2003) and references cited therein.
  2. T. Lippert and J. T. Dickinson, "Chemical and spectroscopic aspects of polymer ablation: special features and novel directions," Chem. Rev. 103, 453-485 (2003) and references cited therein.
    [CrossRef] [PubMed]
  3. Y. Zhang, "Synchrotron radiation direct photo-etching of polymers," Adv. Polym. Sci.  168, 291-340 (2004) and references cited therein.
    [CrossRef]
  4. M. C. K. Tinone, K. Tanaka, and N. Ueno, "Photodecomposition of poly(methyl methacrylate) thin films by monochromatic soft x-ray radiation," J. Vac. Sci. Technol. A13, 1885-1892 (1995) and references cited therein.
  5. L.  Juha, J.  Krása, A.  Präg, A.  Cejnarová, D.  Chvostová, K.  Rohlena, K.  Jungwirth, J.  Kravárik, P.  Kubeš, Yu. L.  Bakshaev, A. S.  Chernenko, V. D.  Korolev, V. I.  Tumanov, M. I.  Ivanov, A.  Bernardinello, J.  Ullschmied, and F. P.  Boody, "Ablation of poly(methyl methacrylate) by a single pulse of soft X-rays emitted from Z-pinch and laser-produced plasmas," Surf. Rev. Lett. 9, 347-352 (2002).
    [CrossRef]
  6. H.  Fiedorowicz, A.  Bartnik, M.  Bittner, L.  Juha, J.  Krása, P.  Kubát, J.  Mikolajczyk, and R.  Rakowski, "Micromachining of organic polymers by direct photo-etching using a laser plasma X-ray source," Microelectron. Eng. 73-74, 336-339 (2004).
    [CrossRef]
  7. L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, Z.  Otcenasek, A. R.  Präg, J.  Ullschmied, Z.  Pientka, J.  Krzywinski, J. B.  Pelka, A.  Wawro, M. E.  Grisham, G.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Ablation of organic polymers by 46.9-nm laser radiation," Appl. Phys. Lett. 86, 034109 (2005).
    [CrossRef]
  8. L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, M.  Kozlová, M.  Pfeifer, J.  Polan, A. R.  Präg, B.  Rus, M. Stupka, J.  Feldhaus, V.  Létal, Z.  Otcenasek, J.  Krzywinski, R.  Nietubyc, J. B.  Pelka, A.  Andrejczuk, R.  Sobierajski, L.  Ryc, F. P.  Boody, H.  Fiedorowicz, A.  Bartnik, J.  Mikolajczyk, R.  Rakowski, P.  Kubat, L.  Pína, M.  Horvath, M. E.  Grisham, G. O.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Short-wavelength ablation of molecular solids: pulse duration and wavelength effects," J. Microlith. Microfab. Microsyst. 4, 033007 (2005).
    [CrossRef]
  9. T.  Mocek, B.  Rus, M.  Kozlová, M.  Stupka, A. R.  Präg, J.  Polan, M.  Bittner, R.  Sobierajski, and L.  Juha, "Focusing a multimillijoule soft x-ray laser at 21 nm," Appl. Phys. Lett. 89, 051501 (2006).
    [CrossRef]
  10. V.  Ayvazyan,  et al., "First operation of a free-electron laser generating GW power radiation at 32 nm wavelength," Eur. J. Phys. D37, 297-303 (2006).
  11. J. M.  Liu, "Simple technique for measurements of pulsed Gaussian-beam spot sizes," Opt. Lett. 7, 196-198 (1982).
    [CrossRef] [PubMed]
  12. A. A.  Sorokin, A.  Gottwald, A.  Hoehl, U.  Kroth, H.  Schöppe, G.  Ulm, M.  Richter, S. V.  Bobashev, I. V.  Domracheva, D. N.  Smirnov, K.  Tiedtke, S. Düsterer, J.  Feldhaus, U.  Jahn, U.  Jastrow, M. Kuhlmann, T.  Nunez, E.  Plönjes, and R.  Treusch, "Method based on atomic photoionization for spot-size measurement on focused soft x-ray free-electron laser beams," Appl. Phys. Lett. 89, 221114 (2006).
    [CrossRef]
  13. C.  Valentin, D.  Douillet, S.  Kazamias, Th.  Lefrou, G.  Grillon, F.  Aug, G.  Mullot, Ph.  Balcou, P.  Mercre, and Ph.  Zeitoun, "Imaging and quality assessment of high-harmonic focal spots," Opt. Lett. 28, 1049 (2003).
    [CrossRef] [PubMed]
  14. S.  Kazamias, K.  Cassou, O.  Guilbaud, A.  Klisnick, D.  Ros, F.  Plé, G.  Jamelot, B.  Rus, M.  Kozlová, M.  Stupka, T.  Mocek, D.  Douillet, P.  Zeitoun, D.  Joyeux, and D.  Phalippou, "Homogeneous focusing with a transient soft X-ray laser for irradiation experiments," Opt. Commun. 263, 98 (2006).
    [CrossRef]
  15. P.  Jaeglé, S.  Sebban, A.  Carillon, G.  Jamelot, A.  Klisnick, P.  Zeitoun, B.  Rus, M.  Nantel, F.  Albert, and D.  Ros, "Ultraviolet luminescence of CsI and CsCl excited by soft x-ray laser," J. Appl. Phys. 81, 2406 (1997).
    [CrossRef]
  16. M.  Kirm, A.  Andrejczuk, J.  Krzywinski, and R.  Sobierajski, "Influence of excitation density on luminescence decay in Y3Al5O12:Ce and BaF2 crystals excited by free electron laser radiation in VUV," Phys. Stat. Sol. C2, 649 (2005).
  17. S.  Le Pape, Ph.  Zeitoun, M.  Idir, P.  Dhez, J. J.  Rocca, and M.  François, "Electromagnetic-Field Distribution Measurements in the Soft X-Ray Range: Full Characterization of a Soft X-Ray Laser Beam," Phys.Rev. Lett. 88,183901 (2002)
    [CrossRef] [PubMed]
  18. http://www.cxro.lbl.gov/optical_constants/getdb2.html

2006 (4)

T.  Mocek, B.  Rus, M.  Kozlová, M.  Stupka, A. R.  Präg, J.  Polan, M.  Bittner, R.  Sobierajski, and L.  Juha, "Focusing a multimillijoule soft x-ray laser at 21 nm," Appl. Phys. Lett. 89, 051501 (2006).
[CrossRef]

V.  Ayvazyan,  et al., "First operation of a free-electron laser generating GW power radiation at 32 nm wavelength," Eur. J. Phys. D37, 297-303 (2006).

A. A.  Sorokin, A.  Gottwald, A.  Hoehl, U.  Kroth, H.  Schöppe, G.  Ulm, M.  Richter, S. V.  Bobashev, I. V.  Domracheva, D. N.  Smirnov, K.  Tiedtke, S. Düsterer, J.  Feldhaus, U.  Jahn, U.  Jastrow, M. Kuhlmann, T.  Nunez, E.  Plönjes, and R.  Treusch, "Method based on atomic photoionization for spot-size measurement on focused soft x-ray free-electron laser beams," Appl. Phys. Lett. 89, 221114 (2006).
[CrossRef]

S.  Kazamias, K.  Cassou, O.  Guilbaud, A.  Klisnick, D.  Ros, F.  Plé, G.  Jamelot, B.  Rus, M.  Kozlová, M.  Stupka, T.  Mocek, D.  Douillet, P.  Zeitoun, D.  Joyeux, and D.  Phalippou, "Homogeneous focusing with a transient soft X-ray laser for irradiation experiments," Opt. Commun. 263, 98 (2006).
[CrossRef]

2005 (3)

M.  Kirm, A.  Andrejczuk, J.  Krzywinski, and R.  Sobierajski, "Influence of excitation density on luminescence decay in Y3Al5O12:Ce and BaF2 crystals excited by free electron laser radiation in VUV," Phys. Stat. Sol. C2, 649 (2005).

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, Z.  Otcenasek, A. R.  Präg, J.  Ullschmied, Z.  Pientka, J.  Krzywinski, J. B.  Pelka, A.  Wawro, M. E.  Grisham, G.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Ablation of organic polymers by 46.9-nm laser radiation," Appl. Phys. Lett. 86, 034109 (2005).
[CrossRef]

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, M.  Kozlová, M.  Pfeifer, J.  Polan, A. R.  Präg, B.  Rus, M. Stupka, J.  Feldhaus, V.  Létal, Z.  Otcenasek, J.  Krzywinski, R.  Nietubyc, J. B.  Pelka, A.  Andrejczuk, R.  Sobierajski, L.  Ryc, F. P.  Boody, H.  Fiedorowicz, A.  Bartnik, J.  Mikolajczyk, R.  Rakowski, P.  Kubat, L.  Pína, M.  Horvath, M. E.  Grisham, G. O.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Short-wavelength ablation of molecular solids: pulse duration and wavelength effects," J. Microlith. Microfab. Microsyst. 4, 033007 (2005).
[CrossRef]

2004 (1)

H.  Fiedorowicz, A.  Bartnik, M.  Bittner, L.  Juha, J.  Krása, P.  Kubát, J.  Mikolajczyk, and R.  Rakowski, "Micromachining of organic polymers by direct photo-etching using a laser plasma X-ray source," Microelectron. Eng. 73-74, 336-339 (2004).
[CrossRef]

2003 (1)

2002 (2)

L.  Juha, J.  Krása, A.  Präg, A.  Cejnarová, D.  Chvostová, K.  Rohlena, K.  Jungwirth, J.  Kravárik, P.  Kubeš, Yu. L.  Bakshaev, A. S.  Chernenko, V. D.  Korolev, V. I.  Tumanov, M. I.  Ivanov, A.  Bernardinello, J.  Ullschmied, and F. P.  Boody, "Ablation of poly(methyl methacrylate) by a single pulse of soft X-rays emitted from Z-pinch and laser-produced plasmas," Surf. Rev. Lett. 9, 347-352 (2002).
[CrossRef]

S.  Le Pape, Ph.  Zeitoun, M.  Idir, P.  Dhez, J. J.  Rocca, and M.  François, "Electromagnetic-Field Distribution Measurements in the Soft X-Ray Range: Full Characterization of a Soft X-Ray Laser Beam," Phys.Rev. Lett. 88,183901 (2002)
[CrossRef] [PubMed]

1997 (1)

P.  Jaeglé, S.  Sebban, A.  Carillon, G.  Jamelot, A.  Klisnick, P.  Zeitoun, B.  Rus, M.  Nantel, F.  Albert, and D.  Ros, "Ultraviolet luminescence of CsI and CsCl excited by soft x-ray laser," J. Appl. Phys. 81, 2406 (1997).
[CrossRef]

1982 (1)

Albert, F.

P.  Jaeglé, S.  Sebban, A.  Carillon, G.  Jamelot, A.  Klisnick, P.  Zeitoun, B.  Rus, M.  Nantel, F.  Albert, and D.  Ros, "Ultraviolet luminescence of CsI and CsCl excited by soft x-ray laser," J. Appl. Phys. 81, 2406 (1997).
[CrossRef]

Andrejczuk, A.

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, M.  Kozlová, M.  Pfeifer, J.  Polan, A. R.  Präg, B.  Rus, M. Stupka, J.  Feldhaus, V.  Létal, Z.  Otcenasek, J.  Krzywinski, R.  Nietubyc, J. B.  Pelka, A.  Andrejczuk, R.  Sobierajski, L.  Ryc, F. P.  Boody, H.  Fiedorowicz, A.  Bartnik, J.  Mikolajczyk, R.  Rakowski, P.  Kubat, L.  Pína, M.  Horvath, M. E.  Grisham, G. O.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Short-wavelength ablation of molecular solids: pulse duration and wavelength effects," J. Microlith. Microfab. Microsyst. 4, 033007 (2005).
[CrossRef]

M.  Kirm, A.  Andrejczuk, J.  Krzywinski, and R.  Sobierajski, "Influence of excitation density on luminescence decay in Y3Al5O12:Ce and BaF2 crystals excited by free electron laser radiation in VUV," Phys. Stat. Sol. C2, 649 (2005).

Aug, F.

Ayvazyan, V.

V.  Ayvazyan,  et al., "First operation of a free-electron laser generating GW power radiation at 32 nm wavelength," Eur. J. Phys. D37, 297-303 (2006).

Bakshaev, Yu. L.

L.  Juha, J.  Krása, A.  Präg, A.  Cejnarová, D.  Chvostová, K.  Rohlena, K.  Jungwirth, J.  Kravárik, P.  Kubeš, Yu. L.  Bakshaev, A. S.  Chernenko, V. D.  Korolev, V. I.  Tumanov, M. I.  Ivanov, A.  Bernardinello, J.  Ullschmied, and F. P.  Boody, "Ablation of poly(methyl methacrylate) by a single pulse of soft X-rays emitted from Z-pinch and laser-produced plasmas," Surf. Rev. Lett. 9, 347-352 (2002).
[CrossRef]

Balcou, Ph.

Bartnik, A.

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, M.  Kozlová, M.  Pfeifer, J.  Polan, A. R.  Präg, B.  Rus, M. Stupka, J.  Feldhaus, V.  Létal, Z.  Otcenasek, J.  Krzywinski, R.  Nietubyc, J. B.  Pelka, A.  Andrejczuk, R.  Sobierajski, L.  Ryc, F. P.  Boody, H.  Fiedorowicz, A.  Bartnik, J.  Mikolajczyk, R.  Rakowski, P.  Kubat, L.  Pína, M.  Horvath, M. E.  Grisham, G. O.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Short-wavelength ablation of molecular solids: pulse duration and wavelength effects," J. Microlith. Microfab. Microsyst. 4, 033007 (2005).
[CrossRef]

H.  Fiedorowicz, A.  Bartnik, M.  Bittner, L.  Juha, J.  Krása, P.  Kubát, J.  Mikolajczyk, and R.  Rakowski, "Micromachining of organic polymers by direct photo-etching using a laser plasma X-ray source," Microelectron. Eng. 73-74, 336-339 (2004).
[CrossRef]

Bernardinello, A.

L.  Juha, J.  Krása, A.  Präg, A.  Cejnarová, D.  Chvostová, K.  Rohlena, K.  Jungwirth, J.  Kravárik, P.  Kubeš, Yu. L.  Bakshaev, A. S.  Chernenko, V. D.  Korolev, V. I.  Tumanov, M. I.  Ivanov, A.  Bernardinello, J.  Ullschmied, and F. P.  Boody, "Ablation of poly(methyl methacrylate) by a single pulse of soft X-rays emitted from Z-pinch and laser-produced plasmas," Surf. Rev. Lett. 9, 347-352 (2002).
[CrossRef]

Bittner, M.

T.  Mocek, B.  Rus, M.  Kozlová, M.  Stupka, A. R.  Präg, J.  Polan, M.  Bittner, R.  Sobierajski, and L.  Juha, "Focusing a multimillijoule soft x-ray laser at 21 nm," Appl. Phys. Lett. 89, 051501 (2006).
[CrossRef]

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, Z.  Otcenasek, A. R.  Präg, J.  Ullschmied, Z.  Pientka, J.  Krzywinski, J. B.  Pelka, A.  Wawro, M. E.  Grisham, G.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Ablation of organic polymers by 46.9-nm laser radiation," Appl. Phys. Lett. 86, 034109 (2005).
[CrossRef]

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, M.  Kozlová, M.  Pfeifer, J.  Polan, A. R.  Präg, B.  Rus, M. Stupka, J.  Feldhaus, V.  Létal, Z.  Otcenasek, J.  Krzywinski, R.  Nietubyc, J. B.  Pelka, A.  Andrejczuk, R.  Sobierajski, L.  Ryc, F. P.  Boody, H.  Fiedorowicz, A.  Bartnik, J.  Mikolajczyk, R.  Rakowski, P.  Kubat, L.  Pína, M.  Horvath, M. E.  Grisham, G. O.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Short-wavelength ablation of molecular solids: pulse duration and wavelength effects," J. Microlith. Microfab. Microsyst. 4, 033007 (2005).
[CrossRef]

H.  Fiedorowicz, A.  Bartnik, M.  Bittner, L.  Juha, J.  Krása, P.  Kubát, J.  Mikolajczyk, and R.  Rakowski, "Micromachining of organic polymers by direct photo-etching using a laser plasma X-ray source," Microelectron. Eng. 73-74, 336-339 (2004).
[CrossRef]

Bobashev, S. V.

A. A.  Sorokin, A.  Gottwald, A.  Hoehl, U.  Kroth, H.  Schöppe, G.  Ulm, M.  Richter, S. V.  Bobashev, I. V.  Domracheva, D. N.  Smirnov, K.  Tiedtke, S. Düsterer, J.  Feldhaus, U.  Jahn, U.  Jastrow, M. Kuhlmann, T.  Nunez, E.  Plönjes, and R.  Treusch, "Method based on atomic photoionization for spot-size measurement on focused soft x-ray free-electron laser beams," Appl. Phys. Lett. 89, 221114 (2006).
[CrossRef]

Boody, F. P.

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, M.  Kozlová, M.  Pfeifer, J.  Polan, A. R.  Präg, B.  Rus, M. Stupka, J.  Feldhaus, V.  Létal, Z.  Otcenasek, J.  Krzywinski, R.  Nietubyc, J. B.  Pelka, A.  Andrejczuk, R.  Sobierajski, L.  Ryc, F. P.  Boody, H.  Fiedorowicz, A.  Bartnik, J.  Mikolajczyk, R.  Rakowski, P.  Kubat, L.  Pína, M.  Horvath, M. E.  Grisham, G. O.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Short-wavelength ablation of molecular solids: pulse duration and wavelength effects," J. Microlith. Microfab. Microsyst. 4, 033007 (2005).
[CrossRef]

L.  Juha, J.  Krása, A.  Präg, A.  Cejnarová, D.  Chvostová, K.  Rohlena, K.  Jungwirth, J.  Kravárik, P.  Kubeš, Yu. L.  Bakshaev, A. S.  Chernenko, V. D.  Korolev, V. I.  Tumanov, M. I.  Ivanov, A.  Bernardinello, J.  Ullschmied, and F. P.  Boody, "Ablation of poly(methyl methacrylate) by a single pulse of soft X-rays emitted from Z-pinch and laser-produced plasmas," Surf. Rev. Lett. 9, 347-352 (2002).
[CrossRef]

Carillon, A.

P.  Jaeglé, S.  Sebban, A.  Carillon, G.  Jamelot, A.  Klisnick, P.  Zeitoun, B.  Rus, M.  Nantel, F.  Albert, and D.  Ros, "Ultraviolet luminescence of CsI and CsCl excited by soft x-ray laser," J. Appl. Phys. 81, 2406 (1997).
[CrossRef]

Cassou, K.

S.  Kazamias, K.  Cassou, O.  Guilbaud, A.  Klisnick, D.  Ros, F.  Plé, G.  Jamelot, B.  Rus, M.  Kozlová, M.  Stupka, T.  Mocek, D.  Douillet, P.  Zeitoun, D.  Joyeux, and D.  Phalippou, "Homogeneous focusing with a transient soft X-ray laser for irradiation experiments," Opt. Commun. 263, 98 (2006).
[CrossRef]

Cejnarová, A.

L.  Juha, J.  Krása, A.  Präg, A.  Cejnarová, D.  Chvostová, K.  Rohlena, K.  Jungwirth, J.  Kravárik, P.  Kubeš, Yu. L.  Bakshaev, A. S.  Chernenko, V. D.  Korolev, V. I.  Tumanov, M. I.  Ivanov, A.  Bernardinello, J.  Ullschmied, and F. P.  Boody, "Ablation of poly(methyl methacrylate) by a single pulse of soft X-rays emitted from Z-pinch and laser-produced plasmas," Surf. Rev. Lett. 9, 347-352 (2002).
[CrossRef]

Chernenko, A. S.

L.  Juha, J.  Krása, A.  Präg, A.  Cejnarová, D.  Chvostová, K.  Rohlena, K.  Jungwirth, J.  Kravárik, P.  Kubeš, Yu. L.  Bakshaev, A. S.  Chernenko, V. D.  Korolev, V. I.  Tumanov, M. I.  Ivanov, A.  Bernardinello, J.  Ullschmied, and F. P.  Boody, "Ablation of poly(methyl methacrylate) by a single pulse of soft X-rays emitted from Z-pinch and laser-produced plasmas," Surf. Rev. Lett. 9, 347-352 (2002).
[CrossRef]

Chvostová, D.

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, Z.  Otcenasek, A. R.  Präg, J.  Ullschmied, Z.  Pientka, J.  Krzywinski, J. B.  Pelka, A.  Wawro, M. E.  Grisham, G.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Ablation of organic polymers by 46.9-nm laser radiation," Appl. Phys. Lett. 86, 034109 (2005).
[CrossRef]

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, M.  Kozlová, M.  Pfeifer, J.  Polan, A. R.  Präg, B.  Rus, M. Stupka, J.  Feldhaus, V.  Létal, Z.  Otcenasek, J.  Krzywinski, R.  Nietubyc, J. B.  Pelka, A.  Andrejczuk, R.  Sobierajski, L.  Ryc, F. P.  Boody, H.  Fiedorowicz, A.  Bartnik, J.  Mikolajczyk, R.  Rakowski, P.  Kubat, L.  Pína, M.  Horvath, M. E.  Grisham, G. O.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Short-wavelength ablation of molecular solids: pulse duration and wavelength effects," J. Microlith. Microfab. Microsyst. 4, 033007 (2005).
[CrossRef]

L.  Juha, J.  Krása, A.  Präg, A.  Cejnarová, D.  Chvostová, K.  Rohlena, K.  Jungwirth, J.  Kravárik, P.  Kubeš, Yu. L.  Bakshaev, A. S.  Chernenko, V. D.  Korolev, V. I.  Tumanov, M. I.  Ivanov, A.  Bernardinello, J.  Ullschmied, and F. P.  Boody, "Ablation of poly(methyl methacrylate) by a single pulse of soft X-rays emitted from Z-pinch and laser-produced plasmas," Surf. Rev. Lett. 9, 347-352 (2002).
[CrossRef]

Dhez, P.

S.  Le Pape, Ph.  Zeitoun, M.  Idir, P.  Dhez, J. J.  Rocca, and M.  François, "Electromagnetic-Field Distribution Measurements in the Soft X-Ray Range: Full Characterization of a Soft X-Ray Laser Beam," Phys.Rev. Lett. 88,183901 (2002)
[CrossRef] [PubMed]

Domracheva, I. V.

A. A.  Sorokin, A.  Gottwald, A.  Hoehl, U.  Kroth, H.  Schöppe, G.  Ulm, M.  Richter, S. V.  Bobashev, I. V.  Domracheva, D. N.  Smirnov, K.  Tiedtke, S. Düsterer, J.  Feldhaus, U.  Jahn, U.  Jastrow, M. Kuhlmann, T.  Nunez, E.  Plönjes, and R.  Treusch, "Method based on atomic photoionization for spot-size measurement on focused soft x-ray free-electron laser beams," Appl. Phys. Lett. 89, 221114 (2006).
[CrossRef]

Douillet, D.

S.  Kazamias, K.  Cassou, O.  Guilbaud, A.  Klisnick, D.  Ros, F.  Plé, G.  Jamelot, B.  Rus, M.  Kozlová, M.  Stupka, T.  Mocek, D.  Douillet, P.  Zeitoun, D.  Joyeux, and D.  Phalippou, "Homogeneous focusing with a transient soft X-ray laser for irradiation experiments," Opt. Commun. 263, 98 (2006).
[CrossRef]

C.  Valentin, D.  Douillet, S.  Kazamias, Th.  Lefrou, G.  Grillon, F.  Aug, G.  Mullot, Ph.  Balcou, P.  Mercre, and Ph.  Zeitoun, "Imaging and quality assessment of high-harmonic focal spots," Opt. Lett. 28, 1049 (2003).
[CrossRef] [PubMed]

Düsterer, S.

A. A.  Sorokin, A.  Gottwald, A.  Hoehl, U.  Kroth, H.  Schöppe, G.  Ulm, M.  Richter, S. V.  Bobashev, I. V.  Domracheva, D. N.  Smirnov, K.  Tiedtke, S. Düsterer, J.  Feldhaus, U.  Jahn, U.  Jastrow, M. Kuhlmann, T.  Nunez, E.  Plönjes, and R.  Treusch, "Method based on atomic photoionization for spot-size measurement on focused soft x-ray free-electron laser beams," Appl. Phys. Lett. 89, 221114 (2006).
[CrossRef]

Feldhaus, J.

A. A.  Sorokin, A.  Gottwald, A.  Hoehl, U.  Kroth, H.  Schöppe, G.  Ulm, M.  Richter, S. V.  Bobashev, I. V.  Domracheva, D. N.  Smirnov, K.  Tiedtke, S. Düsterer, J.  Feldhaus, U.  Jahn, U.  Jastrow, M. Kuhlmann, T.  Nunez, E.  Plönjes, and R.  Treusch, "Method based on atomic photoionization for spot-size measurement on focused soft x-ray free-electron laser beams," Appl. Phys. Lett. 89, 221114 (2006).
[CrossRef]

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, M.  Kozlová, M.  Pfeifer, J.  Polan, A. R.  Präg, B.  Rus, M. Stupka, J.  Feldhaus, V.  Létal, Z.  Otcenasek, J.  Krzywinski, R.  Nietubyc, J. B.  Pelka, A.  Andrejczuk, R.  Sobierajski, L.  Ryc, F. P.  Boody, H.  Fiedorowicz, A.  Bartnik, J.  Mikolajczyk, R.  Rakowski, P.  Kubat, L.  Pína, M.  Horvath, M. E.  Grisham, G. O.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Short-wavelength ablation of molecular solids: pulse duration and wavelength effects," J. Microlith. Microfab. Microsyst. 4, 033007 (2005).
[CrossRef]

Fiedorowicz, H.

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, M.  Kozlová, M.  Pfeifer, J.  Polan, A. R.  Präg, B.  Rus, M. Stupka, J.  Feldhaus, V.  Létal, Z.  Otcenasek, J.  Krzywinski, R.  Nietubyc, J. B.  Pelka, A.  Andrejczuk, R.  Sobierajski, L.  Ryc, F. P.  Boody, H.  Fiedorowicz, A.  Bartnik, J.  Mikolajczyk, R.  Rakowski, P.  Kubat, L.  Pína, M.  Horvath, M. E.  Grisham, G. O.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Short-wavelength ablation of molecular solids: pulse duration and wavelength effects," J. Microlith. Microfab. Microsyst. 4, 033007 (2005).
[CrossRef]

H.  Fiedorowicz, A.  Bartnik, M.  Bittner, L.  Juha, J.  Krása, P.  Kubát, J.  Mikolajczyk, and R.  Rakowski, "Micromachining of organic polymers by direct photo-etching using a laser plasma X-ray source," Microelectron. Eng. 73-74, 336-339 (2004).
[CrossRef]

François, M.

S.  Le Pape, Ph.  Zeitoun, M.  Idir, P.  Dhez, J. J.  Rocca, and M.  François, "Electromagnetic-Field Distribution Measurements in the Soft X-Ray Range: Full Characterization of a Soft X-Ray Laser Beam," Phys.Rev. Lett. 88,183901 (2002)
[CrossRef] [PubMed]

Gottwald, A.

A. A.  Sorokin, A.  Gottwald, A.  Hoehl, U.  Kroth, H.  Schöppe, G.  Ulm, M.  Richter, S. V.  Bobashev, I. V.  Domracheva, D. N.  Smirnov, K.  Tiedtke, S. Düsterer, J.  Feldhaus, U.  Jahn, U.  Jastrow, M. Kuhlmann, T.  Nunez, E.  Plönjes, and R.  Treusch, "Method based on atomic photoionization for spot-size measurement on focused soft x-ray free-electron laser beams," Appl. Phys. Lett. 89, 221114 (2006).
[CrossRef]

Grillon, G.

Grisham, M. E.

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, Z.  Otcenasek, A. R.  Präg, J.  Ullschmied, Z.  Pientka, J.  Krzywinski, J. B.  Pelka, A.  Wawro, M. E.  Grisham, G.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Ablation of organic polymers by 46.9-nm laser radiation," Appl. Phys. Lett. 86, 034109 (2005).
[CrossRef]

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, M.  Kozlová, M.  Pfeifer, J.  Polan, A. R.  Präg, B.  Rus, M. Stupka, J.  Feldhaus, V.  Létal, Z.  Otcenasek, J.  Krzywinski, R.  Nietubyc, J. B.  Pelka, A.  Andrejczuk, R.  Sobierajski, L.  Ryc, F. P.  Boody, H.  Fiedorowicz, A.  Bartnik, J.  Mikolajczyk, R.  Rakowski, P.  Kubat, L.  Pína, M.  Horvath, M. E.  Grisham, G. O.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Short-wavelength ablation of molecular solids: pulse duration and wavelength effects," J. Microlith. Microfab. Microsyst. 4, 033007 (2005).
[CrossRef]

Guilbaud, O.

S.  Kazamias, K.  Cassou, O.  Guilbaud, A.  Klisnick, D.  Ros, F.  Plé, G.  Jamelot, B.  Rus, M.  Kozlová, M.  Stupka, T.  Mocek, D.  Douillet, P.  Zeitoun, D.  Joyeux, and D.  Phalippou, "Homogeneous focusing with a transient soft X-ray laser for irradiation experiments," Opt. Commun. 263, 98 (2006).
[CrossRef]

Hoehl, A.

A. A.  Sorokin, A.  Gottwald, A.  Hoehl, U.  Kroth, H.  Schöppe, G.  Ulm, M.  Richter, S. V.  Bobashev, I. V.  Domracheva, D. N.  Smirnov, K.  Tiedtke, S. Düsterer, J.  Feldhaus, U.  Jahn, U.  Jastrow, M. Kuhlmann, T.  Nunez, E.  Plönjes, and R.  Treusch, "Method based on atomic photoionization for spot-size measurement on focused soft x-ray free-electron laser beams," Appl. Phys. Lett. 89, 221114 (2006).
[CrossRef]

Horvath, M.

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, M.  Kozlová, M.  Pfeifer, J.  Polan, A. R.  Präg, B.  Rus, M. Stupka, J.  Feldhaus, V.  Létal, Z.  Otcenasek, J.  Krzywinski, R.  Nietubyc, J. B.  Pelka, A.  Andrejczuk, R.  Sobierajski, L.  Ryc, F. P.  Boody, H.  Fiedorowicz, A.  Bartnik, J.  Mikolajczyk, R.  Rakowski, P.  Kubat, L.  Pína, M.  Horvath, M. E.  Grisham, G. O.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Short-wavelength ablation of molecular solids: pulse duration and wavelength effects," J. Microlith. Microfab. Microsyst. 4, 033007 (2005).
[CrossRef]

Idir, M.

S.  Le Pape, Ph.  Zeitoun, M.  Idir, P.  Dhez, J. J.  Rocca, and M.  François, "Electromagnetic-Field Distribution Measurements in the Soft X-Ray Range: Full Characterization of a Soft X-Ray Laser Beam," Phys.Rev. Lett. 88,183901 (2002)
[CrossRef] [PubMed]

Ivanov, M. I.

L.  Juha, J.  Krása, A.  Präg, A.  Cejnarová, D.  Chvostová, K.  Rohlena, K.  Jungwirth, J.  Kravárik, P.  Kubeš, Yu. L.  Bakshaev, A. S.  Chernenko, V. D.  Korolev, V. I.  Tumanov, M. I.  Ivanov, A.  Bernardinello, J.  Ullschmied, and F. P.  Boody, "Ablation of poly(methyl methacrylate) by a single pulse of soft X-rays emitted from Z-pinch and laser-produced plasmas," Surf. Rev. Lett. 9, 347-352 (2002).
[CrossRef]

Jaeglé, P.

P.  Jaeglé, S.  Sebban, A.  Carillon, G.  Jamelot, A.  Klisnick, P.  Zeitoun, B.  Rus, M.  Nantel, F.  Albert, and D.  Ros, "Ultraviolet luminescence of CsI and CsCl excited by soft x-ray laser," J. Appl. Phys. 81, 2406 (1997).
[CrossRef]

Jahn, U.

A. A.  Sorokin, A.  Gottwald, A.  Hoehl, U.  Kroth, H.  Schöppe, G.  Ulm, M.  Richter, S. V.  Bobashev, I. V.  Domracheva, D. N.  Smirnov, K.  Tiedtke, S. Düsterer, J.  Feldhaus, U.  Jahn, U.  Jastrow, M. Kuhlmann, T.  Nunez, E.  Plönjes, and R.  Treusch, "Method based on atomic photoionization for spot-size measurement on focused soft x-ray free-electron laser beams," Appl. Phys. Lett. 89, 221114 (2006).
[CrossRef]

Jamelot, G.

S.  Kazamias, K.  Cassou, O.  Guilbaud, A.  Klisnick, D.  Ros, F.  Plé, G.  Jamelot, B.  Rus, M.  Kozlová, M.  Stupka, T.  Mocek, D.  Douillet, P.  Zeitoun, D.  Joyeux, and D.  Phalippou, "Homogeneous focusing with a transient soft X-ray laser for irradiation experiments," Opt. Commun. 263, 98 (2006).
[CrossRef]

P.  Jaeglé, S.  Sebban, A.  Carillon, G.  Jamelot, A.  Klisnick, P.  Zeitoun, B.  Rus, M.  Nantel, F.  Albert, and D.  Ros, "Ultraviolet luminescence of CsI and CsCl excited by soft x-ray laser," J. Appl. Phys. 81, 2406 (1997).
[CrossRef]

Jastrow, U.

A. A.  Sorokin, A.  Gottwald, A.  Hoehl, U.  Kroth, H.  Schöppe, G.  Ulm, M.  Richter, S. V.  Bobashev, I. V.  Domracheva, D. N.  Smirnov, K.  Tiedtke, S. Düsterer, J.  Feldhaus, U.  Jahn, U.  Jastrow, M. Kuhlmann, T.  Nunez, E.  Plönjes, and R.  Treusch, "Method based on atomic photoionization for spot-size measurement on focused soft x-ray free-electron laser beams," Appl. Phys. Lett. 89, 221114 (2006).
[CrossRef]

Joyeux, D.

S.  Kazamias, K.  Cassou, O.  Guilbaud, A.  Klisnick, D.  Ros, F.  Plé, G.  Jamelot, B.  Rus, M.  Kozlová, M.  Stupka, T.  Mocek, D.  Douillet, P.  Zeitoun, D.  Joyeux, and D.  Phalippou, "Homogeneous focusing with a transient soft X-ray laser for irradiation experiments," Opt. Commun. 263, 98 (2006).
[CrossRef]

Juha, L.

T.  Mocek, B.  Rus, M.  Kozlová, M.  Stupka, A. R.  Präg, J.  Polan, M.  Bittner, R.  Sobierajski, and L.  Juha, "Focusing a multimillijoule soft x-ray laser at 21 nm," Appl. Phys. Lett. 89, 051501 (2006).
[CrossRef]

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, Z.  Otcenasek, A. R.  Präg, J.  Ullschmied, Z.  Pientka, J.  Krzywinski, J. B.  Pelka, A.  Wawro, M. E.  Grisham, G.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Ablation of organic polymers by 46.9-nm laser radiation," Appl. Phys. Lett. 86, 034109 (2005).
[CrossRef]

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, M.  Kozlová, M.  Pfeifer, J.  Polan, A. R.  Präg, B.  Rus, M. Stupka, J.  Feldhaus, V.  Létal, Z.  Otcenasek, J.  Krzywinski, R.  Nietubyc, J. B.  Pelka, A.  Andrejczuk, R.  Sobierajski, L.  Ryc, F. P.  Boody, H.  Fiedorowicz, A.  Bartnik, J.  Mikolajczyk, R.  Rakowski, P.  Kubat, L.  Pína, M.  Horvath, M. E.  Grisham, G. O.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Short-wavelength ablation of molecular solids: pulse duration and wavelength effects," J. Microlith. Microfab. Microsyst. 4, 033007 (2005).
[CrossRef]

H.  Fiedorowicz, A.  Bartnik, M.  Bittner, L.  Juha, J.  Krása, P.  Kubát, J.  Mikolajczyk, and R.  Rakowski, "Micromachining of organic polymers by direct photo-etching using a laser plasma X-ray source," Microelectron. Eng. 73-74, 336-339 (2004).
[CrossRef]

L.  Juha, J.  Krása, A.  Präg, A.  Cejnarová, D.  Chvostová, K.  Rohlena, K.  Jungwirth, J.  Kravárik, P.  Kubeš, Yu. L.  Bakshaev, A. S.  Chernenko, V. D.  Korolev, V. I.  Tumanov, M. I.  Ivanov, A.  Bernardinello, J.  Ullschmied, and F. P.  Boody, "Ablation of poly(methyl methacrylate) by a single pulse of soft X-rays emitted from Z-pinch and laser-produced plasmas," Surf. Rev. Lett. 9, 347-352 (2002).
[CrossRef]

Jungwirth, K.

L.  Juha, J.  Krása, A.  Präg, A.  Cejnarová, D.  Chvostová, K.  Rohlena, K.  Jungwirth, J.  Kravárik, P.  Kubeš, Yu. L.  Bakshaev, A. S.  Chernenko, V. D.  Korolev, V. I.  Tumanov, M. I.  Ivanov, A.  Bernardinello, J.  Ullschmied, and F. P.  Boody, "Ablation of poly(methyl methacrylate) by a single pulse of soft X-rays emitted from Z-pinch and laser-produced plasmas," Surf. Rev. Lett. 9, 347-352 (2002).
[CrossRef]

Kazamias, S.

S.  Kazamias, K.  Cassou, O.  Guilbaud, A.  Klisnick, D.  Ros, F.  Plé, G.  Jamelot, B.  Rus, M.  Kozlová, M.  Stupka, T.  Mocek, D.  Douillet, P.  Zeitoun, D.  Joyeux, and D.  Phalippou, "Homogeneous focusing with a transient soft X-ray laser for irradiation experiments," Opt. Commun. 263, 98 (2006).
[CrossRef]

C.  Valentin, D.  Douillet, S.  Kazamias, Th.  Lefrou, G.  Grillon, F.  Aug, G.  Mullot, Ph.  Balcou, P.  Mercre, and Ph.  Zeitoun, "Imaging and quality assessment of high-harmonic focal spots," Opt. Lett. 28, 1049 (2003).
[CrossRef] [PubMed]

Kirm, M.

M.  Kirm, A.  Andrejczuk, J.  Krzywinski, and R.  Sobierajski, "Influence of excitation density on luminescence decay in Y3Al5O12:Ce and BaF2 crystals excited by free electron laser radiation in VUV," Phys. Stat. Sol. C2, 649 (2005).

Klisnick, A.

S.  Kazamias, K.  Cassou, O.  Guilbaud, A.  Klisnick, D.  Ros, F.  Plé, G.  Jamelot, B.  Rus, M.  Kozlová, M.  Stupka, T.  Mocek, D.  Douillet, P.  Zeitoun, D.  Joyeux, and D.  Phalippou, "Homogeneous focusing with a transient soft X-ray laser for irradiation experiments," Opt. Commun. 263, 98 (2006).
[CrossRef]

P.  Jaeglé, S.  Sebban, A.  Carillon, G.  Jamelot, A.  Klisnick, P.  Zeitoun, B.  Rus, M.  Nantel, F.  Albert, and D.  Ros, "Ultraviolet luminescence of CsI and CsCl excited by soft x-ray laser," J. Appl. Phys. 81, 2406 (1997).
[CrossRef]

Korolev, V. D.

L.  Juha, J.  Krása, A.  Präg, A.  Cejnarová, D.  Chvostová, K.  Rohlena, K.  Jungwirth, J.  Kravárik, P.  Kubeš, Yu. L.  Bakshaev, A. S.  Chernenko, V. D.  Korolev, V. I.  Tumanov, M. I.  Ivanov, A.  Bernardinello, J.  Ullschmied, and F. P.  Boody, "Ablation of poly(methyl methacrylate) by a single pulse of soft X-rays emitted from Z-pinch and laser-produced plasmas," Surf. Rev. Lett. 9, 347-352 (2002).
[CrossRef]

Kozlová, M.

S.  Kazamias, K.  Cassou, O.  Guilbaud, A.  Klisnick, D.  Ros, F.  Plé, G.  Jamelot, B.  Rus, M.  Kozlová, M.  Stupka, T.  Mocek, D.  Douillet, P.  Zeitoun, D.  Joyeux, and D.  Phalippou, "Homogeneous focusing with a transient soft X-ray laser for irradiation experiments," Opt. Commun. 263, 98 (2006).
[CrossRef]

T.  Mocek, B.  Rus, M.  Kozlová, M.  Stupka, A. R.  Präg, J.  Polan, M.  Bittner, R.  Sobierajski, and L.  Juha, "Focusing a multimillijoule soft x-ray laser at 21 nm," Appl. Phys. Lett. 89, 051501 (2006).
[CrossRef]

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, M.  Kozlová, M.  Pfeifer, J.  Polan, A. R.  Präg, B.  Rus, M. Stupka, J.  Feldhaus, V.  Létal, Z.  Otcenasek, J.  Krzywinski, R.  Nietubyc, J. B.  Pelka, A.  Andrejczuk, R.  Sobierajski, L.  Ryc, F. P.  Boody, H.  Fiedorowicz, A.  Bartnik, J.  Mikolajczyk, R.  Rakowski, P.  Kubat, L.  Pína, M.  Horvath, M. E.  Grisham, G. O.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Short-wavelength ablation of molecular solids: pulse duration and wavelength effects," J. Microlith. Microfab. Microsyst. 4, 033007 (2005).
[CrossRef]

Krása, J.

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, M.  Kozlová, M.  Pfeifer, J.  Polan, A. R.  Präg, B.  Rus, M. Stupka, J.  Feldhaus, V.  Létal, Z.  Otcenasek, J.  Krzywinski, R.  Nietubyc, J. B.  Pelka, A.  Andrejczuk, R.  Sobierajski, L.  Ryc, F. P.  Boody, H.  Fiedorowicz, A.  Bartnik, J.  Mikolajczyk, R.  Rakowski, P.  Kubat, L.  Pína, M.  Horvath, M. E.  Grisham, G. O.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Short-wavelength ablation of molecular solids: pulse duration and wavelength effects," J. Microlith. Microfab. Microsyst. 4, 033007 (2005).
[CrossRef]

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, Z.  Otcenasek, A. R.  Präg, J.  Ullschmied, Z.  Pientka, J.  Krzywinski, J. B.  Pelka, A.  Wawro, M. E.  Grisham, G.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Ablation of organic polymers by 46.9-nm laser radiation," Appl. Phys. Lett. 86, 034109 (2005).
[CrossRef]

H.  Fiedorowicz, A.  Bartnik, M.  Bittner, L.  Juha, J.  Krása, P.  Kubát, J.  Mikolajczyk, and R.  Rakowski, "Micromachining of organic polymers by direct photo-etching using a laser plasma X-ray source," Microelectron. Eng. 73-74, 336-339 (2004).
[CrossRef]

L.  Juha, J.  Krása, A.  Präg, A.  Cejnarová, D.  Chvostová, K.  Rohlena, K.  Jungwirth, J.  Kravárik, P.  Kubeš, Yu. L.  Bakshaev, A. S.  Chernenko, V. D.  Korolev, V. I.  Tumanov, M. I.  Ivanov, A.  Bernardinello, J.  Ullschmied, and F. P.  Boody, "Ablation of poly(methyl methacrylate) by a single pulse of soft X-rays emitted from Z-pinch and laser-produced plasmas," Surf. Rev. Lett. 9, 347-352 (2002).
[CrossRef]

Kravárik, J.

L.  Juha, J.  Krása, A.  Präg, A.  Cejnarová, D.  Chvostová, K.  Rohlena, K.  Jungwirth, J.  Kravárik, P.  Kubeš, Yu. L.  Bakshaev, A. S.  Chernenko, V. D.  Korolev, V. I.  Tumanov, M. I.  Ivanov, A.  Bernardinello, J.  Ullschmied, and F. P.  Boody, "Ablation of poly(methyl methacrylate) by a single pulse of soft X-rays emitted from Z-pinch and laser-produced plasmas," Surf. Rev. Lett. 9, 347-352 (2002).
[CrossRef]

Kroth, U.

A. A.  Sorokin, A.  Gottwald, A.  Hoehl, U.  Kroth, H.  Schöppe, G.  Ulm, M.  Richter, S. V.  Bobashev, I. V.  Domracheva, D. N.  Smirnov, K.  Tiedtke, S. Düsterer, J.  Feldhaus, U.  Jahn, U.  Jastrow, M. Kuhlmann, T.  Nunez, E.  Plönjes, and R.  Treusch, "Method based on atomic photoionization for spot-size measurement on focused soft x-ray free-electron laser beams," Appl. Phys. Lett. 89, 221114 (2006).
[CrossRef]

Krzywinski, J.

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, Z.  Otcenasek, A. R.  Präg, J.  Ullschmied, Z.  Pientka, J.  Krzywinski, J. B.  Pelka, A.  Wawro, M. E.  Grisham, G.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Ablation of organic polymers by 46.9-nm laser radiation," Appl. Phys. Lett. 86, 034109 (2005).
[CrossRef]

M.  Kirm, A.  Andrejczuk, J.  Krzywinski, and R.  Sobierajski, "Influence of excitation density on luminescence decay in Y3Al5O12:Ce and BaF2 crystals excited by free electron laser radiation in VUV," Phys. Stat. Sol. C2, 649 (2005).

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, M.  Kozlová, M.  Pfeifer, J.  Polan, A. R.  Präg, B.  Rus, M. Stupka, J.  Feldhaus, V.  Létal, Z.  Otcenasek, J.  Krzywinski, R.  Nietubyc, J. B.  Pelka, A.  Andrejczuk, R.  Sobierajski, L.  Ryc, F. P.  Boody, H.  Fiedorowicz, A.  Bartnik, J.  Mikolajczyk, R.  Rakowski, P.  Kubat, L.  Pína, M.  Horvath, M. E.  Grisham, G. O.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Short-wavelength ablation of molecular solids: pulse duration and wavelength effects," J. Microlith. Microfab. Microsyst. 4, 033007 (2005).
[CrossRef]

Kubat, P.

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, M.  Kozlová, M.  Pfeifer, J.  Polan, A. R.  Präg, B.  Rus, M. Stupka, J.  Feldhaus, V.  Létal, Z.  Otcenasek, J.  Krzywinski, R.  Nietubyc, J. B.  Pelka, A.  Andrejczuk, R.  Sobierajski, L.  Ryc, F. P.  Boody, H.  Fiedorowicz, A.  Bartnik, J.  Mikolajczyk, R.  Rakowski, P.  Kubat, L.  Pína, M.  Horvath, M. E.  Grisham, G. O.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Short-wavelength ablation of molecular solids: pulse duration and wavelength effects," J. Microlith. Microfab. Microsyst. 4, 033007 (2005).
[CrossRef]

Kubát, P.

H.  Fiedorowicz, A.  Bartnik, M.  Bittner, L.  Juha, J.  Krása, P.  Kubát, J.  Mikolajczyk, and R.  Rakowski, "Micromachining of organic polymers by direct photo-etching using a laser plasma X-ray source," Microelectron. Eng. 73-74, 336-339 (2004).
[CrossRef]

Kubeš, P.

L.  Juha, J.  Krása, A.  Präg, A.  Cejnarová, D.  Chvostová, K.  Rohlena, K.  Jungwirth, J.  Kravárik, P.  Kubeš, Yu. L.  Bakshaev, A. S.  Chernenko, V. D.  Korolev, V. I.  Tumanov, M. I.  Ivanov, A.  Bernardinello, J.  Ullschmied, and F. P.  Boody, "Ablation of poly(methyl methacrylate) by a single pulse of soft X-rays emitted from Z-pinch and laser-produced plasmas," Surf. Rev. Lett. 9, 347-352 (2002).
[CrossRef]

Kuhlmann, M.

A. A.  Sorokin, A.  Gottwald, A.  Hoehl, U.  Kroth, H.  Schöppe, G.  Ulm, M.  Richter, S. V.  Bobashev, I. V.  Domracheva, D. N.  Smirnov, K.  Tiedtke, S. Düsterer, J.  Feldhaus, U.  Jahn, U.  Jastrow, M. Kuhlmann, T.  Nunez, E.  Plönjes, and R.  Treusch, "Method based on atomic photoionization for spot-size measurement on focused soft x-ray free-electron laser beams," Appl. Phys. Lett. 89, 221114 (2006).
[CrossRef]

Le Pape, S.

S.  Le Pape, Ph.  Zeitoun, M.  Idir, P.  Dhez, J. J.  Rocca, and M.  François, "Electromagnetic-Field Distribution Measurements in the Soft X-Ray Range: Full Characterization of a Soft X-Ray Laser Beam," Phys.Rev. Lett. 88,183901 (2002)
[CrossRef] [PubMed]

Lefrou, Th.

Létal, V.

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, M.  Kozlová, M.  Pfeifer, J.  Polan, A. R.  Präg, B.  Rus, M. Stupka, J.  Feldhaus, V.  Létal, Z.  Otcenasek, J.  Krzywinski, R.  Nietubyc, J. B.  Pelka, A.  Andrejczuk, R.  Sobierajski, L.  Ryc, F. P.  Boody, H.  Fiedorowicz, A.  Bartnik, J.  Mikolajczyk, R.  Rakowski, P.  Kubat, L.  Pína, M.  Horvath, M. E.  Grisham, G. O.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Short-wavelength ablation of molecular solids: pulse duration and wavelength effects," J. Microlith. Microfab. Microsyst. 4, 033007 (2005).
[CrossRef]

Liu, J. M.

Menoni, C. S.

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, M.  Kozlová, M.  Pfeifer, J.  Polan, A. R.  Präg, B.  Rus, M. Stupka, J.  Feldhaus, V.  Létal, Z.  Otcenasek, J.  Krzywinski, R.  Nietubyc, J. B.  Pelka, A.  Andrejczuk, R.  Sobierajski, L.  Ryc, F. P.  Boody, H.  Fiedorowicz, A.  Bartnik, J.  Mikolajczyk, R.  Rakowski, P.  Kubat, L.  Pína, M.  Horvath, M. E.  Grisham, G. O.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Short-wavelength ablation of molecular solids: pulse duration and wavelength effects," J. Microlith. Microfab. Microsyst. 4, 033007 (2005).
[CrossRef]

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, Z.  Otcenasek, A. R.  Präg, J.  Ullschmied, Z.  Pientka, J.  Krzywinski, J. B.  Pelka, A.  Wawro, M. E.  Grisham, G.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Ablation of organic polymers by 46.9-nm laser radiation," Appl. Phys. Lett. 86, 034109 (2005).
[CrossRef]

Mercre, P.

Mikolajczyk, J.

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, M.  Kozlová, M.  Pfeifer, J.  Polan, A. R.  Präg, B.  Rus, M. Stupka, J.  Feldhaus, V.  Létal, Z.  Otcenasek, J.  Krzywinski, R.  Nietubyc, J. B.  Pelka, A.  Andrejczuk, R.  Sobierajski, L.  Ryc, F. P.  Boody, H.  Fiedorowicz, A.  Bartnik, J.  Mikolajczyk, R.  Rakowski, P.  Kubat, L.  Pína, M.  Horvath, M. E.  Grisham, G. O.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Short-wavelength ablation of molecular solids: pulse duration and wavelength effects," J. Microlith. Microfab. Microsyst. 4, 033007 (2005).
[CrossRef]

H.  Fiedorowicz, A.  Bartnik, M.  Bittner, L.  Juha, J.  Krása, P.  Kubát, J.  Mikolajczyk, and R.  Rakowski, "Micromachining of organic polymers by direct photo-etching using a laser plasma X-ray source," Microelectron. Eng. 73-74, 336-339 (2004).
[CrossRef]

Mocek, T.

T.  Mocek, B.  Rus, M.  Kozlová, M.  Stupka, A. R.  Präg, J.  Polan, M.  Bittner, R.  Sobierajski, and L.  Juha, "Focusing a multimillijoule soft x-ray laser at 21 nm," Appl. Phys. Lett. 89, 051501 (2006).
[CrossRef]

S.  Kazamias, K.  Cassou, O.  Guilbaud, A.  Klisnick, D.  Ros, F.  Plé, G.  Jamelot, B.  Rus, M.  Kozlová, M.  Stupka, T.  Mocek, D.  Douillet, P.  Zeitoun, D.  Joyeux, and D.  Phalippou, "Homogeneous focusing with a transient soft X-ray laser for irradiation experiments," Opt. Commun. 263, 98 (2006).
[CrossRef]

Mullot, G.

Nantel, M.

P.  Jaeglé, S.  Sebban, A.  Carillon, G.  Jamelot, A.  Klisnick, P.  Zeitoun, B.  Rus, M.  Nantel, F.  Albert, and D.  Ros, "Ultraviolet luminescence of CsI and CsCl excited by soft x-ray laser," J. Appl. Phys. 81, 2406 (1997).
[CrossRef]

Nietubyc, R.

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, M.  Kozlová, M.  Pfeifer, J.  Polan, A. R.  Präg, B.  Rus, M. Stupka, J.  Feldhaus, V.  Létal, Z.  Otcenasek, J.  Krzywinski, R.  Nietubyc, J. B.  Pelka, A.  Andrejczuk, R.  Sobierajski, L.  Ryc, F. P.  Boody, H.  Fiedorowicz, A.  Bartnik, J.  Mikolajczyk, R.  Rakowski, P.  Kubat, L.  Pína, M.  Horvath, M. E.  Grisham, G. O.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Short-wavelength ablation of molecular solids: pulse duration and wavelength effects," J. Microlith. Microfab. Microsyst. 4, 033007 (2005).
[CrossRef]

Nunez, T.

A. A.  Sorokin, A.  Gottwald, A.  Hoehl, U.  Kroth, H.  Schöppe, G.  Ulm, M.  Richter, S. V.  Bobashev, I. V.  Domracheva, D. N.  Smirnov, K.  Tiedtke, S. Düsterer, J.  Feldhaus, U.  Jahn, U.  Jastrow, M. Kuhlmann, T.  Nunez, E.  Plönjes, and R.  Treusch, "Method based on atomic photoionization for spot-size measurement on focused soft x-ray free-electron laser beams," Appl. Phys. Lett. 89, 221114 (2006).
[CrossRef]

Otcenasek, Z.

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, Z.  Otcenasek, A. R.  Präg, J.  Ullschmied, Z.  Pientka, J.  Krzywinski, J. B.  Pelka, A.  Wawro, M. E.  Grisham, G.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Ablation of organic polymers by 46.9-nm laser radiation," Appl. Phys. Lett. 86, 034109 (2005).
[CrossRef]

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, M.  Kozlová, M.  Pfeifer, J.  Polan, A. R.  Präg, B.  Rus, M. Stupka, J.  Feldhaus, V.  Létal, Z.  Otcenasek, J.  Krzywinski, R.  Nietubyc, J. B.  Pelka, A.  Andrejczuk, R.  Sobierajski, L.  Ryc, F. P.  Boody, H.  Fiedorowicz, A.  Bartnik, J.  Mikolajczyk, R.  Rakowski, P.  Kubat, L.  Pína, M.  Horvath, M. E.  Grisham, G. O.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Short-wavelength ablation of molecular solids: pulse duration and wavelength effects," J. Microlith. Microfab. Microsyst. 4, 033007 (2005).
[CrossRef]

Pelka, J. B.

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, M.  Kozlová, M.  Pfeifer, J.  Polan, A. R.  Präg, B.  Rus, M. Stupka, J.  Feldhaus, V.  Létal, Z.  Otcenasek, J.  Krzywinski, R.  Nietubyc, J. B.  Pelka, A.  Andrejczuk, R.  Sobierajski, L.  Ryc, F. P.  Boody, H.  Fiedorowicz, A.  Bartnik, J.  Mikolajczyk, R.  Rakowski, P.  Kubat, L.  Pína, M.  Horvath, M. E.  Grisham, G. O.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Short-wavelength ablation of molecular solids: pulse duration and wavelength effects," J. Microlith. Microfab. Microsyst. 4, 033007 (2005).
[CrossRef]

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, Z.  Otcenasek, A. R.  Präg, J.  Ullschmied, Z.  Pientka, J.  Krzywinski, J. B.  Pelka, A.  Wawro, M. E.  Grisham, G.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Ablation of organic polymers by 46.9-nm laser radiation," Appl. Phys. Lett. 86, 034109 (2005).
[CrossRef]

Pfeifer, M.

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, M.  Kozlová, M.  Pfeifer, J.  Polan, A. R.  Präg, B.  Rus, M. Stupka, J.  Feldhaus, V.  Létal, Z.  Otcenasek, J.  Krzywinski, R.  Nietubyc, J. B.  Pelka, A.  Andrejczuk, R.  Sobierajski, L.  Ryc, F. P.  Boody, H.  Fiedorowicz, A.  Bartnik, J.  Mikolajczyk, R.  Rakowski, P.  Kubat, L.  Pína, M.  Horvath, M. E.  Grisham, G. O.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Short-wavelength ablation of molecular solids: pulse duration and wavelength effects," J. Microlith. Microfab. Microsyst. 4, 033007 (2005).
[CrossRef]

Phalippou, D.

S.  Kazamias, K.  Cassou, O.  Guilbaud, A.  Klisnick, D.  Ros, F.  Plé, G.  Jamelot, B.  Rus, M.  Kozlová, M.  Stupka, T.  Mocek, D.  Douillet, P.  Zeitoun, D.  Joyeux, and D.  Phalippou, "Homogeneous focusing with a transient soft X-ray laser for irradiation experiments," Opt. Commun. 263, 98 (2006).
[CrossRef]

Pientka, Z.

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, Z.  Otcenasek, A. R.  Präg, J.  Ullschmied, Z.  Pientka, J.  Krzywinski, J. B.  Pelka, A.  Wawro, M. E.  Grisham, G.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Ablation of organic polymers by 46.9-nm laser radiation," Appl. Phys. Lett. 86, 034109 (2005).
[CrossRef]

Pína, L.

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, M.  Kozlová, M.  Pfeifer, J.  Polan, A. R.  Präg, B.  Rus, M. Stupka, J.  Feldhaus, V.  Létal, Z.  Otcenasek, J.  Krzywinski, R.  Nietubyc, J. B.  Pelka, A.  Andrejczuk, R.  Sobierajski, L.  Ryc, F. P.  Boody, H.  Fiedorowicz, A.  Bartnik, J.  Mikolajczyk, R.  Rakowski, P.  Kubat, L.  Pína, M.  Horvath, M. E.  Grisham, G. O.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Short-wavelength ablation of molecular solids: pulse duration and wavelength effects," J. Microlith. Microfab. Microsyst. 4, 033007 (2005).
[CrossRef]

Plé, F.

S.  Kazamias, K.  Cassou, O.  Guilbaud, A.  Klisnick, D.  Ros, F.  Plé, G.  Jamelot, B.  Rus, M.  Kozlová, M.  Stupka, T.  Mocek, D.  Douillet, P.  Zeitoun, D.  Joyeux, and D.  Phalippou, "Homogeneous focusing with a transient soft X-ray laser for irradiation experiments," Opt. Commun. 263, 98 (2006).
[CrossRef]

Plönjes, E.

A. A.  Sorokin, A.  Gottwald, A.  Hoehl, U.  Kroth, H.  Schöppe, G.  Ulm, M.  Richter, S. V.  Bobashev, I. V.  Domracheva, D. N.  Smirnov, K.  Tiedtke, S. Düsterer, J.  Feldhaus, U.  Jahn, U.  Jastrow, M. Kuhlmann, T.  Nunez, E.  Plönjes, and R.  Treusch, "Method based on atomic photoionization for spot-size measurement on focused soft x-ray free-electron laser beams," Appl. Phys. Lett. 89, 221114 (2006).
[CrossRef]

Polan, J.

T.  Mocek, B.  Rus, M.  Kozlová, M.  Stupka, A. R.  Präg, J.  Polan, M.  Bittner, R.  Sobierajski, and L.  Juha, "Focusing a multimillijoule soft x-ray laser at 21 nm," Appl. Phys. Lett. 89, 051501 (2006).
[CrossRef]

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, M.  Kozlová, M.  Pfeifer, J.  Polan, A. R.  Präg, B.  Rus, M. Stupka, J.  Feldhaus, V.  Létal, Z.  Otcenasek, J.  Krzywinski, R.  Nietubyc, J. B.  Pelka, A.  Andrejczuk, R.  Sobierajski, L.  Ryc, F. P.  Boody, H.  Fiedorowicz, A.  Bartnik, J.  Mikolajczyk, R.  Rakowski, P.  Kubat, L.  Pína, M.  Horvath, M. E.  Grisham, G. O.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Short-wavelength ablation of molecular solids: pulse duration and wavelength effects," J. Microlith. Microfab. Microsyst. 4, 033007 (2005).
[CrossRef]

Präg, A.

L.  Juha, J.  Krása, A.  Präg, A.  Cejnarová, D.  Chvostová, K.  Rohlena, K.  Jungwirth, J.  Kravárik, P.  Kubeš, Yu. L.  Bakshaev, A. S.  Chernenko, V. D.  Korolev, V. I.  Tumanov, M. I.  Ivanov, A.  Bernardinello, J.  Ullschmied, and F. P.  Boody, "Ablation of poly(methyl methacrylate) by a single pulse of soft X-rays emitted from Z-pinch and laser-produced plasmas," Surf. Rev. Lett. 9, 347-352 (2002).
[CrossRef]

Präg, A. R.

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, M.  Kozlová, M.  Pfeifer, J.  Polan, A. R.  Präg, B.  Rus, M. Stupka, J.  Feldhaus, V.  Létal, Z.  Otcenasek, J.  Krzywinski, R.  Nietubyc, J. B.  Pelka, A.  Andrejczuk, R.  Sobierajski, L.  Ryc, F. P.  Boody, H.  Fiedorowicz, A.  Bartnik, J.  Mikolajczyk, R.  Rakowski, P.  Kubat, L.  Pína, M.  Horvath, M. E.  Grisham, G. O.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Short-wavelength ablation of molecular solids: pulse duration and wavelength effects," J. Microlith. Microfab. Microsyst. 4, 033007 (2005).
[CrossRef]

Präg, A. R.

T.  Mocek, B.  Rus, M.  Kozlová, M.  Stupka, A. R.  Präg, J.  Polan, M.  Bittner, R.  Sobierajski, and L.  Juha, "Focusing a multimillijoule soft x-ray laser at 21 nm," Appl. Phys. Lett. 89, 051501 (2006).
[CrossRef]

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, Z.  Otcenasek, A. R.  Präg, J.  Ullschmied, Z.  Pientka, J.  Krzywinski, J. B.  Pelka, A.  Wawro, M. E.  Grisham, G.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Ablation of organic polymers by 46.9-nm laser radiation," Appl. Phys. Lett. 86, 034109 (2005).
[CrossRef]

Rakowski, R.

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, M.  Kozlová, M.  Pfeifer, J.  Polan, A. R.  Präg, B.  Rus, M. Stupka, J.  Feldhaus, V.  Létal, Z.  Otcenasek, J.  Krzywinski, R.  Nietubyc, J. B.  Pelka, A.  Andrejczuk, R.  Sobierajski, L.  Ryc, F. P.  Boody, H.  Fiedorowicz, A.  Bartnik, J.  Mikolajczyk, R.  Rakowski, P.  Kubat, L.  Pína, M.  Horvath, M. E.  Grisham, G. O.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Short-wavelength ablation of molecular solids: pulse duration and wavelength effects," J. Microlith. Microfab. Microsyst. 4, 033007 (2005).
[CrossRef]

H.  Fiedorowicz, A.  Bartnik, M.  Bittner, L.  Juha, J.  Krása, P.  Kubát, J.  Mikolajczyk, and R.  Rakowski, "Micromachining of organic polymers by direct photo-etching using a laser plasma X-ray source," Microelectron. Eng. 73-74, 336-339 (2004).
[CrossRef]

Richter, M.

A. A.  Sorokin, A.  Gottwald, A.  Hoehl, U.  Kroth, H.  Schöppe, G.  Ulm, M.  Richter, S. V.  Bobashev, I. V.  Domracheva, D. N.  Smirnov, K.  Tiedtke, S. Düsterer, J.  Feldhaus, U.  Jahn, U.  Jastrow, M. Kuhlmann, T.  Nunez, E.  Plönjes, and R.  Treusch, "Method based on atomic photoionization for spot-size measurement on focused soft x-ray free-electron laser beams," Appl. Phys. Lett. 89, 221114 (2006).
[CrossRef]

Rocca, J. J.

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, Z.  Otcenasek, A. R.  Präg, J.  Ullschmied, Z.  Pientka, J.  Krzywinski, J. B.  Pelka, A.  Wawro, M. E.  Grisham, G.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Ablation of organic polymers by 46.9-nm laser radiation," Appl. Phys. Lett. 86, 034109 (2005).
[CrossRef]

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, M.  Kozlová, M.  Pfeifer, J.  Polan, A. R.  Präg, B.  Rus, M. Stupka, J.  Feldhaus, V.  Létal, Z.  Otcenasek, J.  Krzywinski, R.  Nietubyc, J. B.  Pelka, A.  Andrejczuk, R.  Sobierajski, L.  Ryc, F. P.  Boody, H.  Fiedorowicz, A.  Bartnik, J.  Mikolajczyk, R.  Rakowski, P.  Kubat, L.  Pína, M.  Horvath, M. E.  Grisham, G. O.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Short-wavelength ablation of molecular solids: pulse duration and wavelength effects," J. Microlith. Microfab. Microsyst. 4, 033007 (2005).
[CrossRef]

S.  Le Pape, Ph.  Zeitoun, M.  Idir, P.  Dhez, J. J.  Rocca, and M.  François, "Electromagnetic-Field Distribution Measurements in the Soft X-Ray Range: Full Characterization of a Soft X-Ray Laser Beam," Phys.Rev. Lett. 88,183901 (2002)
[CrossRef] [PubMed]

Rohlena, K.

L.  Juha, J.  Krása, A.  Präg, A.  Cejnarová, D.  Chvostová, K.  Rohlena, K.  Jungwirth, J.  Kravárik, P.  Kubeš, Yu. L.  Bakshaev, A. S.  Chernenko, V. D.  Korolev, V. I.  Tumanov, M. I.  Ivanov, A.  Bernardinello, J.  Ullschmied, and F. P.  Boody, "Ablation of poly(methyl methacrylate) by a single pulse of soft X-rays emitted from Z-pinch and laser-produced plasmas," Surf. Rev. Lett. 9, 347-352 (2002).
[CrossRef]

Ros, D.

S.  Kazamias, K.  Cassou, O.  Guilbaud, A.  Klisnick, D.  Ros, F.  Plé, G.  Jamelot, B.  Rus, M.  Kozlová, M.  Stupka, T.  Mocek, D.  Douillet, P.  Zeitoun, D.  Joyeux, and D.  Phalippou, "Homogeneous focusing with a transient soft X-ray laser for irradiation experiments," Opt. Commun. 263, 98 (2006).
[CrossRef]

P.  Jaeglé, S.  Sebban, A.  Carillon, G.  Jamelot, A.  Klisnick, P.  Zeitoun, B.  Rus, M.  Nantel, F.  Albert, and D.  Ros, "Ultraviolet luminescence of CsI and CsCl excited by soft x-ray laser," J. Appl. Phys. 81, 2406 (1997).
[CrossRef]

Rus, B.

S.  Kazamias, K.  Cassou, O.  Guilbaud, A.  Klisnick, D.  Ros, F.  Plé, G.  Jamelot, B.  Rus, M.  Kozlová, M.  Stupka, T.  Mocek, D.  Douillet, P.  Zeitoun, D.  Joyeux, and D.  Phalippou, "Homogeneous focusing with a transient soft X-ray laser for irradiation experiments," Opt. Commun. 263, 98 (2006).
[CrossRef]

T.  Mocek, B.  Rus, M.  Kozlová, M.  Stupka, A. R.  Präg, J.  Polan, M.  Bittner, R.  Sobierajski, and L.  Juha, "Focusing a multimillijoule soft x-ray laser at 21 nm," Appl. Phys. Lett. 89, 051501 (2006).
[CrossRef]

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, M.  Kozlová, M.  Pfeifer, J.  Polan, A. R.  Präg, B.  Rus, M. Stupka, J.  Feldhaus, V.  Létal, Z.  Otcenasek, J.  Krzywinski, R.  Nietubyc, J. B.  Pelka, A.  Andrejczuk, R.  Sobierajski, L.  Ryc, F. P.  Boody, H.  Fiedorowicz, A.  Bartnik, J.  Mikolajczyk, R.  Rakowski, P.  Kubat, L.  Pína, M.  Horvath, M. E.  Grisham, G. O.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Short-wavelength ablation of molecular solids: pulse duration and wavelength effects," J. Microlith. Microfab. Microsyst. 4, 033007 (2005).
[CrossRef]

P.  Jaeglé, S.  Sebban, A.  Carillon, G.  Jamelot, A.  Klisnick, P.  Zeitoun, B.  Rus, M.  Nantel, F.  Albert, and D.  Ros, "Ultraviolet luminescence of CsI and CsCl excited by soft x-ray laser," J. Appl. Phys. 81, 2406 (1997).
[CrossRef]

Ryc, L.

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, M.  Kozlová, M.  Pfeifer, J.  Polan, A. R.  Präg, B.  Rus, M. Stupka, J.  Feldhaus, V.  Létal, Z.  Otcenasek, J.  Krzywinski, R.  Nietubyc, J. B.  Pelka, A.  Andrejczuk, R.  Sobierajski, L.  Ryc, F. P.  Boody, H.  Fiedorowicz, A.  Bartnik, J.  Mikolajczyk, R.  Rakowski, P.  Kubat, L.  Pína, M.  Horvath, M. E.  Grisham, G. O.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Short-wavelength ablation of molecular solids: pulse duration and wavelength effects," J. Microlith. Microfab. Microsyst. 4, 033007 (2005).
[CrossRef]

Schöppe, H.

A. A.  Sorokin, A.  Gottwald, A.  Hoehl, U.  Kroth, H.  Schöppe, G.  Ulm, M.  Richter, S. V.  Bobashev, I. V.  Domracheva, D. N.  Smirnov, K.  Tiedtke, S. Düsterer, J.  Feldhaus, U.  Jahn, U.  Jastrow, M. Kuhlmann, T.  Nunez, E.  Plönjes, and R.  Treusch, "Method based on atomic photoionization for spot-size measurement on focused soft x-ray free-electron laser beams," Appl. Phys. Lett. 89, 221114 (2006).
[CrossRef]

Sebban, S.

P.  Jaeglé, S.  Sebban, A.  Carillon, G.  Jamelot, A.  Klisnick, P.  Zeitoun, B.  Rus, M.  Nantel, F.  Albert, and D.  Ros, "Ultraviolet luminescence of CsI and CsCl excited by soft x-ray laser," J. Appl. Phys. 81, 2406 (1997).
[CrossRef]

Smirnov, D. N.

A. A.  Sorokin, A.  Gottwald, A.  Hoehl, U.  Kroth, H.  Schöppe, G.  Ulm, M.  Richter, S. V.  Bobashev, I. V.  Domracheva, D. N.  Smirnov, K.  Tiedtke, S. Düsterer, J.  Feldhaus, U.  Jahn, U.  Jastrow, M. Kuhlmann, T.  Nunez, E.  Plönjes, and R.  Treusch, "Method based on atomic photoionization for spot-size measurement on focused soft x-ray free-electron laser beams," Appl. Phys. Lett. 89, 221114 (2006).
[CrossRef]

Sobierajski, R.

T.  Mocek, B.  Rus, M.  Kozlová, M.  Stupka, A. R.  Präg, J.  Polan, M.  Bittner, R.  Sobierajski, and L.  Juha, "Focusing a multimillijoule soft x-ray laser at 21 nm," Appl. Phys. Lett. 89, 051501 (2006).
[CrossRef]

M.  Kirm, A.  Andrejczuk, J.  Krzywinski, and R.  Sobierajski, "Influence of excitation density on luminescence decay in Y3Al5O12:Ce and BaF2 crystals excited by free electron laser radiation in VUV," Phys. Stat. Sol. C2, 649 (2005).

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, M.  Kozlová, M.  Pfeifer, J.  Polan, A. R.  Präg, B.  Rus, M. Stupka, J.  Feldhaus, V.  Létal, Z.  Otcenasek, J.  Krzywinski, R.  Nietubyc, J. B.  Pelka, A.  Andrejczuk, R.  Sobierajski, L.  Ryc, F. P.  Boody, H.  Fiedorowicz, A.  Bartnik, J.  Mikolajczyk, R.  Rakowski, P.  Kubat, L.  Pína, M.  Horvath, M. E.  Grisham, G. O.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Short-wavelength ablation of molecular solids: pulse duration and wavelength effects," J. Microlith. Microfab. Microsyst. 4, 033007 (2005).
[CrossRef]

Sorokin, A. A.

A. A.  Sorokin, A.  Gottwald, A.  Hoehl, U.  Kroth, H.  Schöppe, G.  Ulm, M.  Richter, S. V.  Bobashev, I. V.  Domracheva, D. N.  Smirnov, K.  Tiedtke, S. Düsterer, J.  Feldhaus, U.  Jahn, U.  Jastrow, M. Kuhlmann, T.  Nunez, E.  Plönjes, and R.  Treusch, "Method based on atomic photoionization for spot-size measurement on focused soft x-ray free-electron laser beams," Appl. Phys. Lett. 89, 221114 (2006).
[CrossRef]

Stupka, M.

S.  Kazamias, K.  Cassou, O.  Guilbaud, A.  Klisnick, D.  Ros, F.  Plé, G.  Jamelot, B.  Rus, M.  Kozlová, M.  Stupka, T.  Mocek, D.  Douillet, P.  Zeitoun, D.  Joyeux, and D.  Phalippou, "Homogeneous focusing with a transient soft X-ray laser for irradiation experiments," Opt. Commun. 263, 98 (2006).
[CrossRef]

T.  Mocek, B.  Rus, M.  Kozlová, M.  Stupka, A. R.  Präg, J.  Polan, M.  Bittner, R.  Sobierajski, and L.  Juha, "Focusing a multimillijoule soft x-ray laser at 21 nm," Appl. Phys. Lett. 89, 051501 (2006).
[CrossRef]

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, M.  Kozlová, M.  Pfeifer, J.  Polan, A. R.  Präg, B.  Rus, M. Stupka, J.  Feldhaus, V.  Létal, Z.  Otcenasek, J.  Krzywinski, R.  Nietubyc, J. B.  Pelka, A.  Andrejczuk, R.  Sobierajski, L.  Ryc, F. P.  Boody, H.  Fiedorowicz, A.  Bartnik, J.  Mikolajczyk, R.  Rakowski, P.  Kubat, L.  Pína, M.  Horvath, M. E.  Grisham, G. O.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Short-wavelength ablation of molecular solids: pulse duration and wavelength effects," J. Microlith. Microfab. Microsyst. 4, 033007 (2005).
[CrossRef]

Tiedtke, K.

A. A.  Sorokin, A.  Gottwald, A.  Hoehl, U.  Kroth, H.  Schöppe, G.  Ulm, M.  Richter, S. V.  Bobashev, I. V.  Domracheva, D. N.  Smirnov, K.  Tiedtke, S. Düsterer, J.  Feldhaus, U.  Jahn, U.  Jastrow, M. Kuhlmann, T.  Nunez, E.  Plönjes, and R.  Treusch, "Method based on atomic photoionization for spot-size measurement on focused soft x-ray free-electron laser beams," Appl. Phys. Lett. 89, 221114 (2006).
[CrossRef]

Treusch, R.

A. A.  Sorokin, A.  Gottwald, A.  Hoehl, U.  Kroth, H.  Schöppe, G.  Ulm, M.  Richter, S. V.  Bobashev, I. V.  Domracheva, D. N.  Smirnov, K.  Tiedtke, S. Düsterer, J.  Feldhaus, U.  Jahn, U.  Jastrow, M. Kuhlmann, T.  Nunez, E.  Plönjes, and R.  Treusch, "Method based on atomic photoionization for spot-size measurement on focused soft x-ray free-electron laser beams," Appl. Phys. Lett. 89, 221114 (2006).
[CrossRef]

Tumanov, V. I.

L.  Juha, J.  Krása, A.  Präg, A.  Cejnarová, D.  Chvostová, K.  Rohlena, K.  Jungwirth, J.  Kravárik, P.  Kubeš, Yu. L.  Bakshaev, A. S.  Chernenko, V. D.  Korolev, V. I.  Tumanov, M. I.  Ivanov, A.  Bernardinello, J.  Ullschmied, and F. P.  Boody, "Ablation of poly(methyl methacrylate) by a single pulse of soft X-rays emitted from Z-pinch and laser-produced plasmas," Surf. Rev. Lett. 9, 347-352 (2002).
[CrossRef]

Ullschmied, J.

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, Z.  Otcenasek, A. R.  Präg, J.  Ullschmied, Z.  Pientka, J.  Krzywinski, J. B.  Pelka, A.  Wawro, M. E.  Grisham, G.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Ablation of organic polymers by 46.9-nm laser radiation," Appl. Phys. Lett. 86, 034109 (2005).
[CrossRef]

L.  Juha, J.  Krása, A.  Präg, A.  Cejnarová, D.  Chvostová, K.  Rohlena, K.  Jungwirth, J.  Kravárik, P.  Kubeš, Yu. L.  Bakshaev, A. S.  Chernenko, V. D.  Korolev, V. I.  Tumanov, M. I.  Ivanov, A.  Bernardinello, J.  Ullschmied, and F. P.  Boody, "Ablation of poly(methyl methacrylate) by a single pulse of soft X-rays emitted from Z-pinch and laser-produced plasmas," Surf. Rev. Lett. 9, 347-352 (2002).
[CrossRef]

Ulm, G.

A. A.  Sorokin, A.  Gottwald, A.  Hoehl, U.  Kroth, H.  Schöppe, G.  Ulm, M.  Richter, S. V.  Bobashev, I. V.  Domracheva, D. N.  Smirnov, K.  Tiedtke, S. Düsterer, J.  Feldhaus, U.  Jahn, U.  Jastrow, M. Kuhlmann, T.  Nunez, E.  Plönjes, and R.  Treusch, "Method based on atomic photoionization for spot-size measurement on focused soft x-ray free-electron laser beams," Appl. Phys. Lett. 89, 221114 (2006).
[CrossRef]

Valentin, C.

Vaschenko, G.

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, Z.  Otcenasek, A. R.  Präg, J.  Ullschmied, Z.  Pientka, J.  Krzywinski, J. B.  Pelka, A.  Wawro, M. E.  Grisham, G.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Ablation of organic polymers by 46.9-nm laser radiation," Appl. Phys. Lett. 86, 034109 (2005).
[CrossRef]

Vaschenko, G. O.

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, M.  Kozlová, M.  Pfeifer, J.  Polan, A. R.  Präg, B.  Rus, M. Stupka, J.  Feldhaus, V.  Létal, Z.  Otcenasek, J.  Krzywinski, R.  Nietubyc, J. B.  Pelka, A.  Andrejczuk, R.  Sobierajski, L.  Ryc, F. P.  Boody, H.  Fiedorowicz, A.  Bartnik, J.  Mikolajczyk, R.  Rakowski, P.  Kubat, L.  Pína, M.  Horvath, M. E.  Grisham, G. O.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Short-wavelength ablation of molecular solids: pulse duration and wavelength effects," J. Microlith. Microfab. Microsyst. 4, 033007 (2005).
[CrossRef]

Wawro, A.

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, Z.  Otcenasek, A. R.  Präg, J.  Ullschmied, Z.  Pientka, J.  Krzywinski, J. B.  Pelka, A.  Wawro, M. E.  Grisham, G.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Ablation of organic polymers by 46.9-nm laser radiation," Appl. Phys. Lett. 86, 034109 (2005).
[CrossRef]

Zeitoun, P.

S.  Kazamias, K.  Cassou, O.  Guilbaud, A.  Klisnick, D.  Ros, F.  Plé, G.  Jamelot, B.  Rus, M.  Kozlová, M.  Stupka, T.  Mocek, D.  Douillet, P.  Zeitoun, D.  Joyeux, and D.  Phalippou, "Homogeneous focusing with a transient soft X-ray laser for irradiation experiments," Opt. Commun. 263, 98 (2006).
[CrossRef]

P.  Jaeglé, S.  Sebban, A.  Carillon, G.  Jamelot, A.  Klisnick, P.  Zeitoun, B.  Rus, M.  Nantel, F.  Albert, and D.  Ros, "Ultraviolet luminescence of CsI and CsCl excited by soft x-ray laser," J. Appl. Phys. 81, 2406 (1997).
[CrossRef]

Zeitoun, Ph.

C.  Valentin, D.  Douillet, S.  Kazamias, Th.  Lefrou, G.  Grillon, F.  Aug, G.  Mullot, Ph.  Balcou, P.  Mercre, and Ph.  Zeitoun, "Imaging and quality assessment of high-harmonic focal spots," Opt. Lett. 28, 1049 (2003).
[CrossRef] [PubMed]

S.  Le Pape, Ph.  Zeitoun, M.  Idir, P.  Dhez, J. J.  Rocca, and M.  François, "Electromagnetic-Field Distribution Measurements in the Soft X-Ray Range: Full Characterization of a Soft X-Ray Laser Beam," Phys.Rev. Lett. 88,183901 (2002)
[CrossRef] [PubMed]

Appl. Phys. Lett. (3)

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, Z.  Otcenasek, A. R.  Präg, J.  Ullschmied, Z.  Pientka, J.  Krzywinski, J. B.  Pelka, A.  Wawro, M. E.  Grisham, G.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Ablation of organic polymers by 46.9-nm laser radiation," Appl. Phys. Lett. 86, 034109 (2005).
[CrossRef]

T.  Mocek, B.  Rus, M.  Kozlová, M.  Stupka, A. R.  Präg, J.  Polan, M.  Bittner, R.  Sobierajski, and L.  Juha, "Focusing a multimillijoule soft x-ray laser at 21 nm," Appl. Phys. Lett. 89, 051501 (2006).
[CrossRef]

A. A.  Sorokin, A.  Gottwald, A.  Hoehl, U.  Kroth, H.  Schöppe, G.  Ulm, M.  Richter, S. V.  Bobashev, I. V.  Domracheva, D. N.  Smirnov, K.  Tiedtke, S. Düsterer, J.  Feldhaus, U.  Jahn, U.  Jastrow, M. Kuhlmann, T.  Nunez, E.  Plönjes, and R.  Treusch, "Method based on atomic photoionization for spot-size measurement on focused soft x-ray free-electron laser beams," Appl. Phys. Lett. 89, 221114 (2006).
[CrossRef]

Eur. J. Phys. (1)

V.  Ayvazyan,  et al., "First operation of a free-electron laser generating GW power radiation at 32 nm wavelength," Eur. J. Phys. D37, 297-303 (2006).

J. Appl. Phys. (1)

P.  Jaeglé, S.  Sebban, A.  Carillon, G.  Jamelot, A.  Klisnick, P.  Zeitoun, B.  Rus, M.  Nantel, F.  Albert, and D.  Ros, "Ultraviolet luminescence of CsI and CsCl excited by soft x-ray laser," J. Appl. Phys. 81, 2406 (1997).
[CrossRef]

J. Microlith. Microfab. Microsyst. (1)

L.  Juha, M.  Bittner, D.  Chvostová, J.  Krása, M.  Kozlová, M.  Pfeifer, J.  Polan, A. R.  Präg, B.  Rus, M. Stupka, J.  Feldhaus, V.  Létal, Z.  Otcenasek, J.  Krzywinski, R.  Nietubyc, J. B.  Pelka, A.  Andrejczuk, R.  Sobierajski, L.  Ryc, F. P.  Boody, H.  Fiedorowicz, A.  Bartnik, J.  Mikolajczyk, R.  Rakowski, P.  Kubat, L.  Pína, M.  Horvath, M. E.  Grisham, G. O.  Vaschenko, C. S.  Menoni, and J. J.  Rocca, "Short-wavelength ablation of molecular solids: pulse duration and wavelength effects," J. Microlith. Microfab. Microsyst. 4, 033007 (2005).
[CrossRef]

Microelectron. Eng. (1)

H.  Fiedorowicz, A.  Bartnik, M.  Bittner, L.  Juha, J.  Krása, P.  Kubát, J.  Mikolajczyk, and R.  Rakowski, "Micromachining of organic polymers by direct photo-etching using a laser plasma X-ray source," Microelectron. Eng. 73-74, 336-339 (2004).
[CrossRef]

Opt. Commun. (1)

S.  Kazamias, K.  Cassou, O.  Guilbaud, A.  Klisnick, D.  Ros, F.  Plé, G.  Jamelot, B.  Rus, M.  Kozlová, M.  Stupka, T.  Mocek, D.  Douillet, P.  Zeitoun, D.  Joyeux, and D.  Phalippou, "Homogeneous focusing with a transient soft X-ray laser for irradiation experiments," Opt. Commun. 263, 98 (2006).
[CrossRef]

Opt. Lett. (2)

Phys. Stat. Sol. (1)

M.  Kirm, A.  Andrejczuk, J.  Krzywinski, and R.  Sobierajski, "Influence of excitation density on luminescence decay in Y3Al5O12:Ce and BaF2 crystals excited by free electron laser radiation in VUV," Phys. Stat. Sol. C2, 649 (2005).

Phys.Rev. Lett. (1)

S.  Le Pape, Ph.  Zeitoun, M.  Idir, P.  Dhez, J. J.  Rocca, and M.  François, "Electromagnetic-Field Distribution Measurements in the Soft X-Ray Range: Full Characterization of a Soft X-Ray Laser Beam," Phys.Rev. Lett. 88,183901 (2002)
[CrossRef] [PubMed]

Surf. Rev. Lett. (1)

L.  Juha, J.  Krása, A.  Präg, A.  Cejnarová, D.  Chvostová, K.  Rohlena, K.  Jungwirth, J.  Kravárik, P.  Kubeš, Yu. L.  Bakshaev, A. S.  Chernenko, V. D.  Korolev, V. I.  Tumanov, M. I.  Ivanov, A.  Bernardinello, J.  Ullschmied, and F. P.  Boody, "Ablation of poly(methyl methacrylate) by a single pulse of soft X-rays emitted from Z-pinch and laser-produced plasmas," Surf. Rev. Lett. 9, 347-352 (2002).
[CrossRef]

Other (5)

P. E. Dyer, "Excimer laser polymer ablation: twenty years on," Appl. Phys. A 77, 167-173 (2003) and references cited therein.

T. Lippert and J. T. Dickinson, "Chemical and spectroscopic aspects of polymer ablation: special features and novel directions," Chem. Rev. 103, 453-485 (2003) and references cited therein.
[CrossRef] [PubMed]

Y. Zhang, "Synchrotron radiation direct photo-etching of polymers," Adv. Polym. Sci.  168, 291-340 (2004) and references cited therein.
[CrossRef]

M. C. K. Tinone, K. Tanaka, and N. Ueno, "Photodecomposition of poly(methyl methacrylate) thin films by monochromatic soft x-ray radiation," J. Vac. Sci. Technol. A13, 1885-1892 (1995) and references cited therein.

http://www.cxro.lbl.gov/optical_constants/getdb2.html

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (5)

Fig. 1.
Fig. 1.

Dependence of ablated PMMA area on FLASH pulse energy at 32 nm.

Fig. 2.
Fig. 2.

Dependence of ablation depth in PMM A on FLASH pulse energy at 32 nm.

Fig. 3.
Fig. 3.

A typical crater created in PMMA by the focused FLASH beam at 21.7 nm.

Fig. 4.
Fig. 4.

The beam profile calculated from the AFM-measured shape of an ablated crater ablated by 21.7-nm radiation.

Fig. 5.
Fig. 5.

Orthogonal beam profiles for 21.7 nm. The circles are the generalized solution based on Eq. (5b). The solid lines are Gaussian fits.

Tables (1)

Tables Icon

Table. Characteristics of FLASH-induced PMMA ablation at 32 nm.

Equations (9)

Equations on this page are rendered with MathJax. Learn more.

S foc = B
F th = exp ( A B ) B
l at = B
F th = exp ( A ) B S foc
I ( x , y , z , t ) = I 0 f ( x , y , z ) g ( t ) ,
f ( x , y , z ) z l at 1 f ( x , y , z )
F th = F 0 f ( x , y , 0 ) exp ( d x y l at ) .
F ( x , y , 0 ) = F 0 f ( x , y , 0 ) = F th exp ( d x y l at )
d ( r ) = l at ( ln ( E pulse E th ) r 2 ρ 2 ) ,

Metrics