Abstract

This paper discusses the process-design principles for creating hyperlarge-format mosaic photodetectors (MPDs), based on the butt-joining process of silicon chips with uncooled small-format microbolometer detector arrays (MBDAs). The basic unit is investigated and optimized for the process operations of laser scribing as part of the high-precision butt-joining process of chips in which the process part of the blind zone between the photosensitive edge elements of adjacent MBDA chips has a total size no greater than 30 μm. The design and layout are synthesized for 384×288-format silicon multiplexers, from which a 3072×576-format MPD fabricated using the butt-joining process developed here can provide better than 99% image-conversion efficiency for IR microbolometers and up to 100% for terahertz-range microbolometers.

© 2014 Optical Society of America

PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. A. M.  Filachev, I. I.  Taubkin, M. A.  Trishenkov, Solid-State Photoelectronics. Physical Principles (Fizmatkniga, Moscow, 2005).
  2. T.  Sparfke, J. W.  Beletic, “Infrared focal plane arrays for space applications,” Opt. Photon. News 19, No. 6, 22 (2008).
    [Crossref]
  3. G.  Finger, J. W.  Beletic, “Review of the state of infrared detectors for astronomy in retrospect of the June 2002 Workshop on Scientific Detectors for Astronomy,” Proc. SPIE 4841, 839 (2003).
    [Crossref]
  4. R. J.  Dorn, G.  Finger, G.  Huster, H.-U.  Kaeufl, J.-L.  Lizon, L.  Mehrgan, M.  Meyer, J.-F.  Pirard, A.  Silber, J.  Stegmeier, A. F.-M.  Moorwood, “The CRIRES InSb megapixel focal-plane-array detector mosaic,” Proc. SPIE 5499, 510 (2004).
    [Crossref]
  5. P. A.  Scowen, R.  Jansen, M.  Beasley, S.  Macenka, S.  Shaklan, D.  Calzetti, S.  Desch, A.  Fullerton, J.  Gallagher, S.  Malhotra, M.  McCaughrean, S.  Nikzad, R.  O’Connell, S.  Oey, D.  Padgett, J.  Rhoads, A.  Roberge, O.  Siegmund, N.  Smith, D.  Stern, J.  Tumlinson, R.  Windhorst, R.  Woodruff, D.  Spergel, K.  Sembach, “Design and implementation of the Wide-field High-Resolution UV/Optical Star Formation Camera for the THEIA Mission,” Bull. Am. Astron. Soc. 41, No. 1, 361 (2009).
  6. A. R.  Novoselov, “Development of high-efficiency mosaic photodetectors based on linear arrays of photosensitive elements,” Avtometriya 46, No. 6, 106 (2010).
  7. >J. P.  Chamonal, E.  Mottin, P.  Audebert, M.  Ravetto, M.  Caes, J. P.  Chatard, “Long linear MWIR and LWIR HgCdTe arrays for high resolution imaging,” Proc. SPIE 4130, 452 (2000).
    [Crossref]
  8. Z. Yu.  Gotra, Technology of Microelectronic Devices (Radio i Svyaz’, Moscow, 1991).
  9. H.  Koebner, ed., Industrial Applications of Lasers (Wiley, New York, 1984; Mashinostroenie, Moscow, 1988).
  10. J.  Narayan, F. W.  Young, “Growth of dislocations during laser melting and solidification,” Appl. Phys. Lett. 35, 330 (1979).
    [Crossref]
  11. A.  Baldullaeva, A. I.  Vlasenko, É. I.  Kuznetsov, A. V.  Lomovtsev, P. E.  Mozol’, A. B.  Smirnov, “Pulsed laser-stimulated surface acoustic waves in p-CdTe chips,” Fiz. Tekh. Poluprovodn. 35, 960 (2001) [Semiconductors 35, 924 (2001)].
  12. P. M.  Mooney, R. T.  Young, J.  Karins, Y. H.  Lee, J. W.  Corbett, “Defects in laser-damaged silicon observed by DLTS,” Phys. Status Solidi A 48, K31 (1978).
    [Crossref]
  13. C. N.  Afonso, M.  Alonso, J. L. H.  Neira, A. D.  Sequeira, M. F.  da Silva, J. C.  Soares, “Pulsed laser-induced effects on the HgCdTe surface,” J. Vac. Sci. Technol. A 7, 3256 (1989).
    [Crossref]
  14. S. M.  Sze, Physics of Semiconductor Devices (Wiley, New York, 1969; Mir, Moscow, 1973).
  15. M. H.  Hong, Y. F.  Lu, “Optical detection of laser plasma interaction during laser ablation,” Proc. SPIE 3618, 61 (1999).
    [Crossref]
  16. A. R.  Novoselov, A. G.  Klimenko, “Processes in semiconductor materials after laser cutting,” Proc. SPIE 4426, 150 (2002).
    [Crossref]
  17. A. I.  Kozlov, “Analysis of the construction principles of circuits of silicon multiplexers for multielement IR photodetectors,” Avtometriya 46, 118 (2010).
  18. S.  Muroga, VLSI Systems Design: When and How to Design Very Large Scale Integrated Circuits, book 1 (Wiley, New York, 1982; Mir, Moscow, 1985).

2010 (2)

A. R.  Novoselov, “Development of high-efficiency mosaic photodetectors based on linear arrays of photosensitive elements,” Avtometriya 46, No. 6, 106 (2010).

A. I.  Kozlov, “Analysis of the construction principles of circuits of silicon multiplexers for multielement IR photodetectors,” Avtometriya 46, 118 (2010).

2009 (1)

P. A.  Scowen, R.  Jansen, M.  Beasley, S.  Macenka, S.  Shaklan, D.  Calzetti, S.  Desch, A.  Fullerton, J.  Gallagher, S.  Malhotra, M.  McCaughrean, S.  Nikzad, R.  O’Connell, S.  Oey, D.  Padgett, J.  Rhoads, A.  Roberge, O.  Siegmund, N.  Smith, D.  Stern, J.  Tumlinson, R.  Windhorst, R.  Woodruff, D.  Spergel, K.  Sembach, “Design and implementation of the Wide-field High-Resolution UV/Optical Star Formation Camera for the THEIA Mission,” Bull. Am. Astron. Soc. 41, No. 1, 361 (2009).

2008 (1)

T.  Sparfke, J. W.  Beletic, “Infrared focal plane arrays for space applications,” Opt. Photon. News 19, No. 6, 22 (2008).
[Crossref]

2004 (1)

R. J.  Dorn, G.  Finger, G.  Huster, H.-U.  Kaeufl, J.-L.  Lizon, L.  Mehrgan, M.  Meyer, J.-F.  Pirard, A.  Silber, J.  Stegmeier, A. F.-M.  Moorwood, “The CRIRES InSb megapixel focal-plane-array detector mosaic,” Proc. SPIE 5499, 510 (2004).
[Crossref]

2003 (1)

G.  Finger, J. W.  Beletic, “Review of the state of infrared detectors for astronomy in retrospect of the June 2002 Workshop on Scientific Detectors for Astronomy,” Proc. SPIE 4841, 839 (2003).
[Crossref]

2002 (1)

A. R.  Novoselov, A. G.  Klimenko, “Processes in semiconductor materials after laser cutting,” Proc. SPIE 4426, 150 (2002).
[Crossref]

2001 (1)

A.  Baldullaeva, A. I.  Vlasenko, É. I.  Kuznetsov, A. V.  Lomovtsev, P. E.  Mozol’, A. B.  Smirnov, “Pulsed laser-stimulated surface acoustic waves in p-CdTe chips,” Fiz. Tekh. Poluprovodn. 35, 960 (2001) [Semiconductors 35, 924 (2001)].

2000 (1)

>J. P.  Chamonal, E.  Mottin, P.  Audebert, M.  Ravetto, M.  Caes, J. P.  Chatard, “Long linear MWIR and LWIR HgCdTe arrays for high resolution imaging,” Proc. SPIE 4130, 452 (2000).
[Crossref]

1999 (1)

M. H.  Hong, Y. F.  Lu, “Optical detection of laser plasma interaction during laser ablation,” Proc. SPIE 3618, 61 (1999).
[Crossref]

1989 (1)

C. N.  Afonso, M.  Alonso, J. L. H.  Neira, A. D.  Sequeira, M. F.  da Silva, J. C.  Soares, “Pulsed laser-induced effects on the HgCdTe surface,” J. Vac. Sci. Technol. A 7, 3256 (1989).
[Crossref]

1979 (1)

J.  Narayan, F. W.  Young, “Growth of dislocations during laser melting and solidification,” Appl. Phys. Lett. 35, 330 (1979).
[Crossref]

1978 (1)

P. M.  Mooney, R. T.  Young, J.  Karins, Y. H.  Lee, J. W.  Corbett, “Defects in laser-damaged silicon observed by DLTS,” Phys. Status Solidi A 48, K31 (1978).
[Crossref]

Afonso, C. N.

C. N.  Afonso, M.  Alonso, J. L. H.  Neira, A. D.  Sequeira, M. F.  da Silva, J. C.  Soares, “Pulsed laser-induced effects on the HgCdTe surface,” J. Vac. Sci. Technol. A 7, 3256 (1989).
[Crossref]

Alonso, M.

C. N.  Afonso, M.  Alonso, J. L. H.  Neira, A. D.  Sequeira, M. F.  da Silva, J. C.  Soares, “Pulsed laser-induced effects on the HgCdTe surface,” J. Vac. Sci. Technol. A 7, 3256 (1989).
[Crossref]

Audebert, P.

>J. P.  Chamonal, E.  Mottin, P.  Audebert, M.  Ravetto, M.  Caes, J. P.  Chatard, “Long linear MWIR and LWIR HgCdTe arrays for high resolution imaging,” Proc. SPIE 4130, 452 (2000).
[Crossref]

Baldullaeva, A.

A.  Baldullaeva, A. I.  Vlasenko, É. I.  Kuznetsov, A. V.  Lomovtsev, P. E.  Mozol’, A. B.  Smirnov, “Pulsed laser-stimulated surface acoustic waves in p-CdTe chips,” Fiz. Tekh. Poluprovodn. 35, 960 (2001) [Semiconductors 35, 924 (2001)].

Beasley, M.

P. A.  Scowen, R.  Jansen, M.  Beasley, S.  Macenka, S.  Shaklan, D.  Calzetti, S.  Desch, A.  Fullerton, J.  Gallagher, S.  Malhotra, M.  McCaughrean, S.  Nikzad, R.  O’Connell, S.  Oey, D.  Padgett, J.  Rhoads, A.  Roberge, O.  Siegmund, N.  Smith, D.  Stern, J.  Tumlinson, R.  Windhorst, R.  Woodruff, D.  Spergel, K.  Sembach, “Design and implementation of the Wide-field High-Resolution UV/Optical Star Formation Camera for the THEIA Mission,” Bull. Am. Astron. Soc. 41, No. 1, 361 (2009).

Beletic, J. W.

T.  Sparfke, J. W.  Beletic, “Infrared focal plane arrays for space applications,” Opt. Photon. News 19, No. 6, 22 (2008).
[Crossref]

G.  Finger, J. W.  Beletic, “Review of the state of infrared detectors for astronomy in retrospect of the June 2002 Workshop on Scientific Detectors for Astronomy,” Proc. SPIE 4841, 839 (2003).
[Crossref]

Caes, M.

>J. P.  Chamonal, E.  Mottin, P.  Audebert, M.  Ravetto, M.  Caes, J. P.  Chatard, “Long linear MWIR and LWIR HgCdTe arrays for high resolution imaging,” Proc. SPIE 4130, 452 (2000).
[Crossref]

Calzetti, D.

P. A.  Scowen, R.  Jansen, M.  Beasley, S.  Macenka, S.  Shaklan, D.  Calzetti, S.  Desch, A.  Fullerton, J.  Gallagher, S.  Malhotra, M.  McCaughrean, S.  Nikzad, R.  O’Connell, S.  Oey, D.  Padgett, J.  Rhoads, A.  Roberge, O.  Siegmund, N.  Smith, D.  Stern, J.  Tumlinson, R.  Windhorst, R.  Woodruff, D.  Spergel, K.  Sembach, “Design and implementation of the Wide-field High-Resolution UV/Optical Star Formation Camera for the THEIA Mission,” Bull. Am. Astron. Soc. 41, No. 1, 361 (2009).

Chamonal, J. P.

>J. P.  Chamonal, E.  Mottin, P.  Audebert, M.  Ravetto, M.  Caes, J. P.  Chatard, “Long linear MWIR and LWIR HgCdTe arrays for high resolution imaging,” Proc. SPIE 4130, 452 (2000).
[Crossref]

Chatard, J. P.

>J. P.  Chamonal, E.  Mottin, P.  Audebert, M.  Ravetto, M.  Caes, J. P.  Chatard, “Long linear MWIR and LWIR HgCdTe arrays for high resolution imaging,” Proc. SPIE 4130, 452 (2000).
[Crossref]

Corbett, J. W.

P. M.  Mooney, R. T.  Young, J.  Karins, Y. H.  Lee, J. W.  Corbett, “Defects in laser-damaged silicon observed by DLTS,” Phys. Status Solidi A 48, K31 (1978).
[Crossref]

da Silva, M. F.

C. N.  Afonso, M.  Alonso, J. L. H.  Neira, A. D.  Sequeira, M. F.  da Silva, J. C.  Soares, “Pulsed laser-induced effects on the HgCdTe surface,” J. Vac. Sci. Technol. A 7, 3256 (1989).
[Crossref]

Desch, S.

P. A.  Scowen, R.  Jansen, M.  Beasley, S.  Macenka, S.  Shaklan, D.  Calzetti, S.  Desch, A.  Fullerton, J.  Gallagher, S.  Malhotra, M.  McCaughrean, S.  Nikzad, R.  O’Connell, S.  Oey, D.  Padgett, J.  Rhoads, A.  Roberge, O.  Siegmund, N.  Smith, D.  Stern, J.  Tumlinson, R.  Windhorst, R.  Woodruff, D.  Spergel, K.  Sembach, “Design and implementation of the Wide-field High-Resolution UV/Optical Star Formation Camera for the THEIA Mission,” Bull. Am. Astron. Soc. 41, No. 1, 361 (2009).

Dorn, R. J.

R. J.  Dorn, G.  Finger, G.  Huster, H.-U.  Kaeufl, J.-L.  Lizon, L.  Mehrgan, M.  Meyer, J.-F.  Pirard, A.  Silber, J.  Stegmeier, A. F.-M.  Moorwood, “The CRIRES InSb megapixel focal-plane-array detector mosaic,” Proc. SPIE 5499, 510 (2004).
[Crossref]

Filachev, A. M.

A. M.  Filachev, I. I.  Taubkin, M. A.  Trishenkov, Solid-State Photoelectronics. Physical Principles (Fizmatkniga, Moscow, 2005).

Finger, G.

R. J.  Dorn, G.  Finger, G.  Huster, H.-U.  Kaeufl, J.-L.  Lizon, L.  Mehrgan, M.  Meyer, J.-F.  Pirard, A.  Silber, J.  Stegmeier, A. F.-M.  Moorwood, “The CRIRES InSb megapixel focal-plane-array detector mosaic,” Proc. SPIE 5499, 510 (2004).
[Crossref]

G.  Finger, J. W.  Beletic, “Review of the state of infrared detectors for astronomy in retrospect of the June 2002 Workshop on Scientific Detectors for Astronomy,” Proc. SPIE 4841, 839 (2003).
[Crossref]

Fullerton, A.

P. A.  Scowen, R.  Jansen, M.  Beasley, S.  Macenka, S.  Shaklan, D.  Calzetti, S.  Desch, A.  Fullerton, J.  Gallagher, S.  Malhotra, M.  McCaughrean, S.  Nikzad, R.  O’Connell, S.  Oey, D.  Padgett, J.  Rhoads, A.  Roberge, O.  Siegmund, N.  Smith, D.  Stern, J.  Tumlinson, R.  Windhorst, R.  Woodruff, D.  Spergel, K.  Sembach, “Design and implementation of the Wide-field High-Resolution UV/Optical Star Formation Camera for the THEIA Mission,” Bull. Am. Astron. Soc. 41, No. 1, 361 (2009).

Gallagher, J.

P. A.  Scowen, R.  Jansen, M.  Beasley, S.  Macenka, S.  Shaklan, D.  Calzetti, S.  Desch, A.  Fullerton, J.  Gallagher, S.  Malhotra, M.  McCaughrean, S.  Nikzad, R.  O’Connell, S.  Oey, D.  Padgett, J.  Rhoads, A.  Roberge, O.  Siegmund, N.  Smith, D.  Stern, J.  Tumlinson, R.  Windhorst, R.  Woodruff, D.  Spergel, K.  Sembach, “Design and implementation of the Wide-field High-Resolution UV/Optical Star Formation Camera for the THEIA Mission,” Bull. Am. Astron. Soc. 41, No. 1, 361 (2009).

Gotra, Z. Yu.

Z. Yu.  Gotra, Technology of Microelectronic Devices (Radio i Svyaz’, Moscow, 1991).

Hong, M. H.

M. H.  Hong, Y. F.  Lu, “Optical detection of laser plasma interaction during laser ablation,” Proc. SPIE 3618, 61 (1999).
[Crossref]

Huster, G.

R. J.  Dorn, G.  Finger, G.  Huster, H.-U.  Kaeufl, J.-L.  Lizon, L.  Mehrgan, M.  Meyer, J.-F.  Pirard, A.  Silber, J.  Stegmeier, A. F.-M.  Moorwood, “The CRIRES InSb megapixel focal-plane-array detector mosaic,” Proc. SPIE 5499, 510 (2004).
[Crossref]

Jansen, R.

P. A.  Scowen, R.  Jansen, M.  Beasley, S.  Macenka, S.  Shaklan, D.  Calzetti, S.  Desch, A.  Fullerton, J.  Gallagher, S.  Malhotra, M.  McCaughrean, S.  Nikzad, R.  O’Connell, S.  Oey, D.  Padgett, J.  Rhoads, A.  Roberge, O.  Siegmund, N.  Smith, D.  Stern, J.  Tumlinson, R.  Windhorst, R.  Woodruff, D.  Spergel, K.  Sembach, “Design and implementation of the Wide-field High-Resolution UV/Optical Star Formation Camera for the THEIA Mission,” Bull. Am. Astron. Soc. 41, No. 1, 361 (2009).

Kaeufl, H.-U.

R. J.  Dorn, G.  Finger, G.  Huster, H.-U.  Kaeufl, J.-L.  Lizon, L.  Mehrgan, M.  Meyer, J.-F.  Pirard, A.  Silber, J.  Stegmeier, A. F.-M.  Moorwood, “The CRIRES InSb megapixel focal-plane-array detector mosaic,” Proc. SPIE 5499, 510 (2004).
[Crossref]

Karins, J.

P. M.  Mooney, R. T.  Young, J.  Karins, Y. H.  Lee, J. W.  Corbett, “Defects in laser-damaged silicon observed by DLTS,” Phys. Status Solidi A 48, K31 (1978).
[Crossref]

Klimenko, A. G.

A. R.  Novoselov, A. G.  Klimenko, “Processes in semiconductor materials after laser cutting,” Proc. SPIE 4426, 150 (2002).
[Crossref]

Kozlov, A. I.

A. I.  Kozlov, “Analysis of the construction principles of circuits of silicon multiplexers for multielement IR photodetectors,” Avtometriya 46, 118 (2010).

Kuznetsov, É. I.

A.  Baldullaeva, A. I.  Vlasenko, É. I.  Kuznetsov, A. V.  Lomovtsev, P. E.  Mozol’, A. B.  Smirnov, “Pulsed laser-stimulated surface acoustic waves in p-CdTe chips,” Fiz. Tekh. Poluprovodn. 35, 960 (2001) [Semiconductors 35, 924 (2001)].

Lee, Y. H.

P. M.  Mooney, R. T.  Young, J.  Karins, Y. H.  Lee, J. W.  Corbett, “Defects in laser-damaged silicon observed by DLTS,” Phys. Status Solidi A 48, K31 (1978).
[Crossref]

Lizon, J.-L.

R. J.  Dorn, G.  Finger, G.  Huster, H.-U.  Kaeufl, J.-L.  Lizon, L.  Mehrgan, M.  Meyer, J.-F.  Pirard, A.  Silber, J.  Stegmeier, A. F.-M.  Moorwood, “The CRIRES InSb megapixel focal-plane-array detector mosaic,” Proc. SPIE 5499, 510 (2004).
[Crossref]

Lomovtsev, A. V.

A.  Baldullaeva, A. I.  Vlasenko, É. I.  Kuznetsov, A. V.  Lomovtsev, P. E.  Mozol’, A. B.  Smirnov, “Pulsed laser-stimulated surface acoustic waves in p-CdTe chips,” Fiz. Tekh. Poluprovodn. 35, 960 (2001) [Semiconductors 35, 924 (2001)].

Lu, Y. F.

M. H.  Hong, Y. F.  Lu, “Optical detection of laser plasma interaction during laser ablation,” Proc. SPIE 3618, 61 (1999).
[Crossref]

Macenka, S.

P. A.  Scowen, R.  Jansen, M.  Beasley, S.  Macenka, S.  Shaklan, D.  Calzetti, S.  Desch, A.  Fullerton, J.  Gallagher, S.  Malhotra, M.  McCaughrean, S.  Nikzad, R.  O’Connell, S.  Oey, D.  Padgett, J.  Rhoads, A.  Roberge, O.  Siegmund, N.  Smith, D.  Stern, J.  Tumlinson, R.  Windhorst, R.  Woodruff, D.  Spergel, K.  Sembach, “Design and implementation of the Wide-field High-Resolution UV/Optical Star Formation Camera for the THEIA Mission,” Bull. Am. Astron. Soc. 41, No. 1, 361 (2009).

Malhotra, S.

P. A.  Scowen, R.  Jansen, M.  Beasley, S.  Macenka, S.  Shaklan, D.  Calzetti, S.  Desch, A.  Fullerton, J.  Gallagher, S.  Malhotra, M.  McCaughrean, S.  Nikzad, R.  O’Connell, S.  Oey, D.  Padgett, J.  Rhoads, A.  Roberge, O.  Siegmund, N.  Smith, D.  Stern, J.  Tumlinson, R.  Windhorst, R.  Woodruff, D.  Spergel, K.  Sembach, “Design and implementation of the Wide-field High-Resolution UV/Optical Star Formation Camera for the THEIA Mission,” Bull. Am. Astron. Soc. 41, No. 1, 361 (2009).

McCaughrean, M.

P. A.  Scowen, R.  Jansen, M.  Beasley, S.  Macenka, S.  Shaklan, D.  Calzetti, S.  Desch, A.  Fullerton, J.  Gallagher, S.  Malhotra, M.  McCaughrean, S.  Nikzad, R.  O’Connell, S.  Oey, D.  Padgett, J.  Rhoads, A.  Roberge, O.  Siegmund, N.  Smith, D.  Stern, J.  Tumlinson, R.  Windhorst, R.  Woodruff, D.  Spergel, K.  Sembach, “Design and implementation of the Wide-field High-Resolution UV/Optical Star Formation Camera for the THEIA Mission,” Bull. Am. Astron. Soc. 41, No. 1, 361 (2009).

Mehrgan, L.

R. J.  Dorn, G.  Finger, G.  Huster, H.-U.  Kaeufl, J.-L.  Lizon, L.  Mehrgan, M.  Meyer, J.-F.  Pirard, A.  Silber, J.  Stegmeier, A. F.-M.  Moorwood, “The CRIRES InSb megapixel focal-plane-array detector mosaic,” Proc. SPIE 5499, 510 (2004).
[Crossref]

Meyer, M.

R. J.  Dorn, G.  Finger, G.  Huster, H.-U.  Kaeufl, J.-L.  Lizon, L.  Mehrgan, M.  Meyer, J.-F.  Pirard, A.  Silber, J.  Stegmeier, A. F.-M.  Moorwood, “The CRIRES InSb megapixel focal-plane-array detector mosaic,” Proc. SPIE 5499, 510 (2004).
[Crossref]

Mooney, P. M.

P. M.  Mooney, R. T.  Young, J.  Karins, Y. H.  Lee, J. W.  Corbett, “Defects in laser-damaged silicon observed by DLTS,” Phys. Status Solidi A 48, K31 (1978).
[Crossref]

Moorwood, A. F.-M.

R. J.  Dorn, G.  Finger, G.  Huster, H.-U.  Kaeufl, J.-L.  Lizon, L.  Mehrgan, M.  Meyer, J.-F.  Pirard, A.  Silber, J.  Stegmeier, A. F.-M.  Moorwood, “The CRIRES InSb megapixel focal-plane-array detector mosaic,” Proc. SPIE 5499, 510 (2004).
[Crossref]

Mottin, E.

>J. P.  Chamonal, E.  Mottin, P.  Audebert, M.  Ravetto, M.  Caes, J. P.  Chatard, “Long linear MWIR and LWIR HgCdTe arrays for high resolution imaging,” Proc. SPIE 4130, 452 (2000).
[Crossref]

Mozol’, P. E.

A.  Baldullaeva, A. I.  Vlasenko, É. I.  Kuznetsov, A. V.  Lomovtsev, P. E.  Mozol’, A. B.  Smirnov, “Pulsed laser-stimulated surface acoustic waves in p-CdTe chips,” Fiz. Tekh. Poluprovodn. 35, 960 (2001) [Semiconductors 35, 924 (2001)].

Muroga, S.

S.  Muroga, VLSI Systems Design: When and How to Design Very Large Scale Integrated Circuits, book 1 (Wiley, New York, 1982; Mir, Moscow, 1985).

Narayan, J.

J.  Narayan, F. W.  Young, “Growth of dislocations during laser melting and solidification,” Appl. Phys. Lett. 35, 330 (1979).
[Crossref]

Neira, J. L. H.

C. N.  Afonso, M.  Alonso, J. L. H.  Neira, A. D.  Sequeira, M. F.  da Silva, J. C.  Soares, “Pulsed laser-induced effects on the HgCdTe surface,” J. Vac. Sci. Technol. A 7, 3256 (1989).
[Crossref]

Nikzad, S.

P. A.  Scowen, R.  Jansen, M.  Beasley, S.  Macenka, S.  Shaklan, D.  Calzetti, S.  Desch, A.  Fullerton, J.  Gallagher, S.  Malhotra, M.  McCaughrean, S.  Nikzad, R.  O’Connell, S.  Oey, D.  Padgett, J.  Rhoads, A.  Roberge, O.  Siegmund, N.  Smith, D.  Stern, J.  Tumlinson, R.  Windhorst, R.  Woodruff, D.  Spergel, K.  Sembach, “Design and implementation of the Wide-field High-Resolution UV/Optical Star Formation Camera for the THEIA Mission,” Bull. Am. Astron. Soc. 41, No. 1, 361 (2009).

Novoselov, A. R.

A. R.  Novoselov, “Development of high-efficiency mosaic photodetectors based on linear arrays of photosensitive elements,” Avtometriya 46, No. 6, 106 (2010).

A. R.  Novoselov, A. G.  Klimenko, “Processes in semiconductor materials after laser cutting,” Proc. SPIE 4426, 150 (2002).
[Crossref]

O’Connell, R.

P. A.  Scowen, R.  Jansen, M.  Beasley, S.  Macenka, S.  Shaklan, D.  Calzetti, S.  Desch, A.  Fullerton, J.  Gallagher, S.  Malhotra, M.  McCaughrean, S.  Nikzad, R.  O’Connell, S.  Oey, D.  Padgett, J.  Rhoads, A.  Roberge, O.  Siegmund, N.  Smith, D.  Stern, J.  Tumlinson, R.  Windhorst, R.  Woodruff, D.  Spergel, K.  Sembach, “Design and implementation of the Wide-field High-Resolution UV/Optical Star Formation Camera for the THEIA Mission,” Bull. Am. Astron. Soc. 41, No. 1, 361 (2009).

Oey, S.

P. A.  Scowen, R.  Jansen, M.  Beasley, S.  Macenka, S.  Shaklan, D.  Calzetti, S.  Desch, A.  Fullerton, J.  Gallagher, S.  Malhotra, M.  McCaughrean, S.  Nikzad, R.  O’Connell, S.  Oey, D.  Padgett, J.  Rhoads, A.  Roberge, O.  Siegmund, N.  Smith, D.  Stern, J.  Tumlinson, R.  Windhorst, R.  Woodruff, D.  Spergel, K.  Sembach, “Design and implementation of the Wide-field High-Resolution UV/Optical Star Formation Camera for the THEIA Mission,” Bull. Am. Astron. Soc. 41, No. 1, 361 (2009).

Padgett, D.

P. A.  Scowen, R.  Jansen, M.  Beasley, S.  Macenka, S.  Shaklan, D.  Calzetti, S.  Desch, A.  Fullerton, J.  Gallagher, S.  Malhotra, M.  McCaughrean, S.  Nikzad, R.  O’Connell, S.  Oey, D.  Padgett, J.  Rhoads, A.  Roberge, O.  Siegmund, N.  Smith, D.  Stern, J.  Tumlinson, R.  Windhorst, R.  Woodruff, D.  Spergel, K.  Sembach, “Design and implementation of the Wide-field High-Resolution UV/Optical Star Formation Camera for the THEIA Mission,” Bull. Am. Astron. Soc. 41, No. 1, 361 (2009).

Pirard, J.-F.

R. J.  Dorn, G.  Finger, G.  Huster, H.-U.  Kaeufl, J.-L.  Lizon, L.  Mehrgan, M.  Meyer, J.-F.  Pirard, A.  Silber, J.  Stegmeier, A. F.-M.  Moorwood, “The CRIRES InSb megapixel focal-plane-array detector mosaic,” Proc. SPIE 5499, 510 (2004).
[Crossref]

Ravetto, M.

>J. P.  Chamonal, E.  Mottin, P.  Audebert, M.  Ravetto, M.  Caes, J. P.  Chatard, “Long linear MWIR and LWIR HgCdTe arrays for high resolution imaging,” Proc. SPIE 4130, 452 (2000).
[Crossref]

Rhoads, J.

P. A.  Scowen, R.  Jansen, M.  Beasley, S.  Macenka, S.  Shaklan, D.  Calzetti, S.  Desch, A.  Fullerton, J.  Gallagher, S.  Malhotra, M.  McCaughrean, S.  Nikzad, R.  O’Connell, S.  Oey, D.  Padgett, J.  Rhoads, A.  Roberge, O.  Siegmund, N.  Smith, D.  Stern, J.  Tumlinson, R.  Windhorst, R.  Woodruff, D.  Spergel, K.  Sembach, “Design and implementation of the Wide-field High-Resolution UV/Optical Star Formation Camera for the THEIA Mission,” Bull. Am. Astron. Soc. 41, No. 1, 361 (2009).

Roberge, A.

P. A.  Scowen, R.  Jansen, M.  Beasley, S.  Macenka, S.  Shaklan, D.  Calzetti, S.  Desch, A.  Fullerton, J.  Gallagher, S.  Malhotra, M.  McCaughrean, S.  Nikzad, R.  O’Connell, S.  Oey, D.  Padgett, J.  Rhoads, A.  Roberge, O.  Siegmund, N.  Smith, D.  Stern, J.  Tumlinson, R.  Windhorst, R.  Woodruff, D.  Spergel, K.  Sembach, “Design and implementation of the Wide-field High-Resolution UV/Optical Star Formation Camera for the THEIA Mission,” Bull. Am. Astron. Soc. 41, No. 1, 361 (2009).

Scowen, P. A.

P. A.  Scowen, R.  Jansen, M.  Beasley, S.  Macenka, S.  Shaklan, D.  Calzetti, S.  Desch, A.  Fullerton, J.  Gallagher, S.  Malhotra, M.  McCaughrean, S.  Nikzad, R.  O’Connell, S.  Oey, D.  Padgett, J.  Rhoads, A.  Roberge, O.  Siegmund, N.  Smith, D.  Stern, J.  Tumlinson, R.  Windhorst, R.  Woodruff, D.  Spergel, K.  Sembach, “Design and implementation of the Wide-field High-Resolution UV/Optical Star Formation Camera for the THEIA Mission,” Bull. Am. Astron. Soc. 41, No. 1, 361 (2009).

Sembach, K.

P. A.  Scowen, R.  Jansen, M.  Beasley, S.  Macenka, S.  Shaklan, D.  Calzetti, S.  Desch, A.  Fullerton, J.  Gallagher, S.  Malhotra, M.  McCaughrean, S.  Nikzad, R.  O’Connell, S.  Oey, D.  Padgett, J.  Rhoads, A.  Roberge, O.  Siegmund, N.  Smith, D.  Stern, J.  Tumlinson, R.  Windhorst, R.  Woodruff, D.  Spergel, K.  Sembach, “Design and implementation of the Wide-field High-Resolution UV/Optical Star Formation Camera for the THEIA Mission,” Bull. Am. Astron. Soc. 41, No. 1, 361 (2009).

Sequeira, A. D.

C. N.  Afonso, M.  Alonso, J. L. H.  Neira, A. D.  Sequeira, M. F.  da Silva, J. C.  Soares, “Pulsed laser-induced effects on the HgCdTe surface,” J. Vac. Sci. Technol. A 7, 3256 (1989).
[Crossref]

Shaklan, S.

P. A.  Scowen, R.  Jansen, M.  Beasley, S.  Macenka, S.  Shaklan, D.  Calzetti, S.  Desch, A.  Fullerton, J.  Gallagher, S.  Malhotra, M.  McCaughrean, S.  Nikzad, R.  O’Connell, S.  Oey, D.  Padgett, J.  Rhoads, A.  Roberge, O.  Siegmund, N.  Smith, D.  Stern, J.  Tumlinson, R.  Windhorst, R.  Woodruff, D.  Spergel, K.  Sembach, “Design and implementation of the Wide-field High-Resolution UV/Optical Star Formation Camera for the THEIA Mission,” Bull. Am. Astron. Soc. 41, No. 1, 361 (2009).

Siegmund, O.

P. A.  Scowen, R.  Jansen, M.  Beasley, S.  Macenka, S.  Shaklan, D.  Calzetti, S.  Desch, A.  Fullerton, J.  Gallagher, S.  Malhotra, M.  McCaughrean, S.  Nikzad, R.  O’Connell, S.  Oey, D.  Padgett, J.  Rhoads, A.  Roberge, O.  Siegmund, N.  Smith, D.  Stern, J.  Tumlinson, R.  Windhorst, R.  Woodruff, D.  Spergel, K.  Sembach, “Design and implementation of the Wide-field High-Resolution UV/Optical Star Formation Camera for the THEIA Mission,” Bull. Am. Astron. Soc. 41, No. 1, 361 (2009).

Silber, A.

R. J.  Dorn, G.  Finger, G.  Huster, H.-U.  Kaeufl, J.-L.  Lizon, L.  Mehrgan, M.  Meyer, J.-F.  Pirard, A.  Silber, J.  Stegmeier, A. F.-M.  Moorwood, “The CRIRES InSb megapixel focal-plane-array detector mosaic,” Proc. SPIE 5499, 510 (2004).
[Crossref]

Smirnov, A. B.

A.  Baldullaeva, A. I.  Vlasenko, É. I.  Kuznetsov, A. V.  Lomovtsev, P. E.  Mozol’, A. B.  Smirnov, “Pulsed laser-stimulated surface acoustic waves in p-CdTe chips,” Fiz. Tekh. Poluprovodn. 35, 960 (2001) [Semiconductors 35, 924 (2001)].

Smith, N.

P. A.  Scowen, R.  Jansen, M.  Beasley, S.  Macenka, S.  Shaklan, D.  Calzetti, S.  Desch, A.  Fullerton, J.  Gallagher, S.  Malhotra, M.  McCaughrean, S.  Nikzad, R.  O’Connell, S.  Oey, D.  Padgett, J.  Rhoads, A.  Roberge, O.  Siegmund, N.  Smith, D.  Stern, J.  Tumlinson, R.  Windhorst, R.  Woodruff, D.  Spergel, K.  Sembach, “Design and implementation of the Wide-field High-Resolution UV/Optical Star Formation Camera for the THEIA Mission,” Bull. Am. Astron. Soc. 41, No. 1, 361 (2009).

Soares, J. C.

C. N.  Afonso, M.  Alonso, J. L. H.  Neira, A. D.  Sequeira, M. F.  da Silva, J. C.  Soares, “Pulsed laser-induced effects on the HgCdTe surface,” J. Vac. Sci. Technol. A 7, 3256 (1989).
[Crossref]

Sparfke, T.

T.  Sparfke, J. W.  Beletic, “Infrared focal plane arrays for space applications,” Opt. Photon. News 19, No. 6, 22 (2008).
[Crossref]

Spergel, D.

P. A.  Scowen, R.  Jansen, M.  Beasley, S.  Macenka, S.  Shaklan, D.  Calzetti, S.  Desch, A.  Fullerton, J.  Gallagher, S.  Malhotra, M.  McCaughrean, S.  Nikzad, R.  O’Connell, S.  Oey, D.  Padgett, J.  Rhoads, A.  Roberge, O.  Siegmund, N.  Smith, D.  Stern, J.  Tumlinson, R.  Windhorst, R.  Woodruff, D.  Spergel, K.  Sembach, “Design and implementation of the Wide-field High-Resolution UV/Optical Star Formation Camera for the THEIA Mission,” Bull. Am. Astron. Soc. 41, No. 1, 361 (2009).

Stegmeier, J.

R. J.  Dorn, G.  Finger, G.  Huster, H.-U.  Kaeufl, J.-L.  Lizon, L.  Mehrgan, M.  Meyer, J.-F.  Pirard, A.  Silber, J.  Stegmeier, A. F.-M.  Moorwood, “The CRIRES InSb megapixel focal-plane-array detector mosaic,” Proc. SPIE 5499, 510 (2004).
[Crossref]

Stern, D.

P. A.  Scowen, R.  Jansen, M.  Beasley, S.  Macenka, S.  Shaklan, D.  Calzetti, S.  Desch, A.  Fullerton, J.  Gallagher, S.  Malhotra, M.  McCaughrean, S.  Nikzad, R.  O’Connell, S.  Oey, D.  Padgett, J.  Rhoads, A.  Roberge, O.  Siegmund, N.  Smith, D.  Stern, J.  Tumlinson, R.  Windhorst, R.  Woodruff, D.  Spergel, K.  Sembach, “Design and implementation of the Wide-field High-Resolution UV/Optical Star Formation Camera for the THEIA Mission,” Bull. Am. Astron. Soc. 41, No. 1, 361 (2009).

Sze, S. M.

S. M.  Sze, Physics of Semiconductor Devices (Wiley, New York, 1969; Mir, Moscow, 1973).

Taubkin, I. I.

A. M.  Filachev, I. I.  Taubkin, M. A.  Trishenkov, Solid-State Photoelectronics. Physical Principles (Fizmatkniga, Moscow, 2005).

Trishenkov, M. A.

A. M.  Filachev, I. I.  Taubkin, M. A.  Trishenkov, Solid-State Photoelectronics. Physical Principles (Fizmatkniga, Moscow, 2005).

Tumlinson, J.

P. A.  Scowen, R.  Jansen, M.  Beasley, S.  Macenka, S.  Shaklan, D.  Calzetti, S.  Desch, A.  Fullerton, J.  Gallagher, S.  Malhotra, M.  McCaughrean, S.  Nikzad, R.  O’Connell, S.  Oey, D.  Padgett, J.  Rhoads, A.  Roberge, O.  Siegmund, N.  Smith, D.  Stern, J.  Tumlinson, R.  Windhorst, R.  Woodruff, D.  Spergel, K.  Sembach, “Design and implementation of the Wide-field High-Resolution UV/Optical Star Formation Camera for the THEIA Mission,” Bull. Am. Astron. Soc. 41, No. 1, 361 (2009).

Vlasenko, A. I.

A.  Baldullaeva, A. I.  Vlasenko, É. I.  Kuznetsov, A. V.  Lomovtsev, P. E.  Mozol’, A. B.  Smirnov, “Pulsed laser-stimulated surface acoustic waves in p-CdTe chips,” Fiz. Tekh. Poluprovodn. 35, 960 (2001) [Semiconductors 35, 924 (2001)].

Windhorst, R.

P. A.  Scowen, R.  Jansen, M.  Beasley, S.  Macenka, S.  Shaklan, D.  Calzetti, S.  Desch, A.  Fullerton, J.  Gallagher, S.  Malhotra, M.  McCaughrean, S.  Nikzad, R.  O’Connell, S.  Oey, D.  Padgett, J.  Rhoads, A.  Roberge, O.  Siegmund, N.  Smith, D.  Stern, J.  Tumlinson, R.  Windhorst, R.  Woodruff, D.  Spergel, K.  Sembach, “Design and implementation of the Wide-field High-Resolution UV/Optical Star Formation Camera for the THEIA Mission,” Bull. Am. Astron. Soc. 41, No. 1, 361 (2009).

Woodruff, R.

P. A.  Scowen, R.  Jansen, M.  Beasley, S.  Macenka, S.  Shaklan, D.  Calzetti, S.  Desch, A.  Fullerton, J.  Gallagher, S.  Malhotra, M.  McCaughrean, S.  Nikzad, R.  O’Connell, S.  Oey, D.  Padgett, J.  Rhoads, A.  Roberge, O.  Siegmund, N.  Smith, D.  Stern, J.  Tumlinson, R.  Windhorst, R.  Woodruff, D.  Spergel, K.  Sembach, “Design and implementation of the Wide-field High-Resolution UV/Optical Star Formation Camera for the THEIA Mission,” Bull. Am. Astron. Soc. 41, No. 1, 361 (2009).

Young, F. W.

J.  Narayan, F. W.  Young, “Growth of dislocations during laser melting and solidification,” Appl. Phys. Lett. 35, 330 (1979).
[Crossref]

Young, R. T.

P. M.  Mooney, R. T.  Young, J.  Karins, Y. H.  Lee, J. W.  Corbett, “Defects in laser-damaged silicon observed by DLTS,” Phys. Status Solidi A 48, K31 (1978).
[Crossref]

Appl. Phys. Lett. (1)

J.  Narayan, F. W.  Young, “Growth of dislocations during laser melting and solidification,” Appl. Phys. Lett. 35, 330 (1979).
[Crossref]

Avtometriya (2)

A. I.  Kozlov, “Analysis of the construction principles of circuits of silicon multiplexers for multielement IR photodetectors,” Avtometriya 46, 118 (2010).

A. R.  Novoselov, “Development of high-efficiency mosaic photodetectors based on linear arrays of photosensitive elements,” Avtometriya 46, No. 6, 106 (2010).

Bull. Am. Astron. Soc. (1)

P. A.  Scowen, R.  Jansen, M.  Beasley, S.  Macenka, S.  Shaklan, D.  Calzetti, S.  Desch, A.  Fullerton, J.  Gallagher, S.  Malhotra, M.  McCaughrean, S.  Nikzad, R.  O’Connell, S.  Oey, D.  Padgett, J.  Rhoads, A.  Roberge, O.  Siegmund, N.  Smith, D.  Stern, J.  Tumlinson, R.  Windhorst, R.  Woodruff, D.  Spergel, K.  Sembach, “Design and implementation of the Wide-field High-Resolution UV/Optical Star Formation Camera for the THEIA Mission,” Bull. Am. Astron. Soc. 41, No. 1, 361 (2009).

Fiz. Tekh. Poluprovodn. (1)

A.  Baldullaeva, A. I.  Vlasenko, É. I.  Kuznetsov, A. V.  Lomovtsev, P. E.  Mozol’, A. B.  Smirnov, “Pulsed laser-stimulated surface acoustic waves in p-CdTe chips,” Fiz. Tekh. Poluprovodn. 35, 960 (2001) [Semiconductors 35, 924 (2001)].

J. Vac. Sci. Technol. A (1)

C. N.  Afonso, M.  Alonso, J. L. H.  Neira, A. D.  Sequeira, M. F.  da Silva, J. C.  Soares, “Pulsed laser-induced effects on the HgCdTe surface,” J. Vac. Sci. Technol. A 7, 3256 (1989).
[Crossref]

Opt. Photon. News (1)

T.  Sparfke, J. W.  Beletic, “Infrared focal plane arrays for space applications,” Opt. Photon. News 19, No. 6, 22 (2008).
[Crossref]

Phys. Status Solidi A (1)

P. M.  Mooney, R. T.  Young, J.  Karins, Y. H.  Lee, J. W.  Corbett, “Defects in laser-damaged silicon observed by DLTS,” Phys. Status Solidi A 48, K31 (1978).
[Crossref]

Proc. SPIE (5)

M. H.  Hong, Y. F.  Lu, “Optical detection of laser plasma interaction during laser ablation,” Proc. SPIE 3618, 61 (1999).
[Crossref]

A. R.  Novoselov, A. G.  Klimenko, “Processes in semiconductor materials after laser cutting,” Proc. SPIE 4426, 150 (2002).
[Crossref]

G.  Finger, J. W.  Beletic, “Review of the state of infrared detectors for astronomy in retrospect of the June 2002 Workshop on Scientific Detectors for Astronomy,” Proc. SPIE 4841, 839 (2003).
[Crossref]

R. J.  Dorn, G.  Finger, G.  Huster, H.-U.  Kaeufl, J.-L.  Lizon, L.  Mehrgan, M.  Meyer, J.-F.  Pirard, A.  Silber, J.  Stegmeier, A. F.-M.  Moorwood, “The CRIRES InSb megapixel focal-plane-array detector mosaic,” Proc. SPIE 5499, 510 (2004).
[Crossref]

>J. P.  Chamonal, E.  Mottin, P.  Audebert, M.  Ravetto, M.  Caes, J. P.  Chatard, “Long linear MWIR and LWIR HgCdTe arrays for high resolution imaging,” Proc. SPIE 4130, 452 (2000).
[Crossref]

Other (5)

Z. Yu.  Gotra, Technology of Microelectronic Devices (Radio i Svyaz’, Moscow, 1991).

H.  Koebner, ed., Industrial Applications of Lasers (Wiley, New York, 1984; Mashinostroenie, Moscow, 1988).

A. M.  Filachev, I. I.  Taubkin, M. A.  Trishenkov, Solid-State Photoelectronics. Physical Principles (Fizmatkniga, Moscow, 2005).

S.  Muroga, VLSI Systems Design: When and How to Design Very Large Scale Integrated Circuits, book 1 (Wiley, New York, 1982; Mir, Moscow, 1985).

S. M.  Sze, Physics of Semiconductor Devices (Wiley, New York, 1969; Mir, Moscow, 1973).

Cited By

OSA participates in Crossref's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.