Abstract

A numerical method developed previously [J. Appl. Phys. 80, 4621 (1996)] has been extended to simulate the nonnormal-incidence reflectance-difference spectroscopy and transmittance-difference spectroscopy spectra of biaxial anisotropic (εx≠εy≠εz) multilayer systems with finite thickness. It is demonstrated that, when the principal axes of the anisotropy layer are at certain orientations, a reflectance-difference spectrum can be separated into two spectra, namely, an in-plane anisotropic spectrum and an out-of-plane anisotropic spectrum. It is shown that the separation is valid for large in-plane anisotropy, i.e., |εx−εy|≈|εx|, and an incident angle of ≤20°.

© 1998 Optical Society of America

PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. D. E. Aspnes and A. A. Studna, Phys. Rev. Lett. 54, 1956 (1985).
  2. D. E. Aspnes, J. Vac. Sci. Technol. B 3, 1498 (1985).
  3. D. E. Aspnes, J. P. Harbison, A. A. Studna, and L. T. Florez, J. Vac. Sci. Technol. A 6, 1327 (1988).
  4. Z. Yang, G. W. Wong, I. K. Sou, and Y. H. Yeung, Appl. Phys. Lett. 66, 2235 (1995).
  5. H. Akinaya and K. Tanaka, Appl. Surf. Sci. 82/83, 298 (1994).
  6. T. Yasuda, D. E. Aspnes, D. R. Lee, C. H. Bjorkman, and G. Lucovsky, J. Vac. Sci. Technol. A 12, 1152 (1994).
  7. D. E. Aspnes, Mater. Sci. Eng. B 30, 109 (1995).
  8. I. Kamiya, D. E. Aspnes, L. T. Florez, and J. P. Harbison, Phys. Rev. B 46, 15, 894 (1992).
  9. O. Acher, F. Omnes, and M. Razeghi, Mater. Sci. Eng. B 5, 223 (1990).
  10. J. S. Luo, J. M. Olson, S. R. Kurtz, D. J. Arent, and K. A. Bertness, Phys. Rev. B 51, 7603 (1995).
  11. K. Hingerl, D. E. Aspnes, I. Kamiya, and L. T. Florez, Appl. Phys. Lett. 63, 885 (1993).
  12. K. Hingerl, D. E. Aspnes, and I. Kamiya, Surf. Sci. 287/288, 686 (1993).
  13. S.-H. Wei and A. Zunger, Phys. Rev. B 51, 14, 110 (1995).
  14. P. Yeh, Optical Waves in Layered Media (Wiley, New York, 1988).
  15. T.-K. Kwok and Z. Yang, J. Appl. Phys. 80, 4621 (1996).
  16. D. E. Aspnes and A. A. Studna, Phys. Rev. B 27, 985 (1983).
  17. S. Adachi and T. Taguchi, Phys. Rev. B 43, 9569 (1991).
  18. M. Schubert, Phys. Rev. B 53, 4265 (1996).

1996 (2)

T.-K. Kwok and Z. Yang, J. Appl. Phys. 80, 4621 (1996).

M. Schubert, Phys. Rev. B 53, 4265 (1996).

1995 (4)

S.-H. Wei and A. Zunger, Phys. Rev. B 51, 14, 110 (1995).

Z. Yang, G. W. Wong, I. K. Sou, and Y. H. Yeung, Appl. Phys. Lett. 66, 2235 (1995).

D. E. Aspnes, Mater. Sci. Eng. B 30, 109 (1995).

J. S. Luo, J. M. Olson, S. R. Kurtz, D. J. Arent, and K. A. Bertness, Phys. Rev. B 51, 7603 (1995).

1994 (2)

H. Akinaya and K. Tanaka, Appl. Surf. Sci. 82/83, 298 (1994).

T. Yasuda, D. E. Aspnes, D. R. Lee, C. H. Bjorkman, and G. Lucovsky, J. Vac. Sci. Technol. A 12, 1152 (1994).

1993 (2)

K. Hingerl, D. E. Aspnes, I. Kamiya, and L. T. Florez, Appl. Phys. Lett. 63, 885 (1993).

K. Hingerl, D. E. Aspnes, and I. Kamiya, Surf. Sci. 287/288, 686 (1993).

1992 (1)

I. Kamiya, D. E. Aspnes, L. T. Florez, and J. P. Harbison, Phys. Rev. B 46, 15, 894 (1992).

1991 (1)

S. Adachi and T. Taguchi, Phys. Rev. B 43, 9569 (1991).

1990 (1)

O. Acher, F. Omnes, and M. Razeghi, Mater. Sci. Eng. B 5, 223 (1990).

1988 (1)

D. E. Aspnes, J. P. Harbison, A. A. Studna, and L. T. Florez, J. Vac. Sci. Technol. A 6, 1327 (1988).

1985 (2)

D. E. Aspnes and A. A. Studna, Phys. Rev. Lett. 54, 1956 (1985).

D. E. Aspnes, J. Vac. Sci. Technol. B 3, 1498 (1985).

1983 (1)

D. E. Aspnes and A. A. Studna, Phys. Rev. B 27, 985 (1983).

Acher, O.

O. Acher, F. Omnes, and M. Razeghi, Mater. Sci. Eng. B 5, 223 (1990).

Adachi, S.

S. Adachi and T. Taguchi, Phys. Rev. B 43, 9569 (1991).

Akinaya, H.

H. Akinaya and K. Tanaka, Appl. Surf. Sci. 82/83, 298 (1994).

Arent, D. J.

J. S. Luo, J. M. Olson, S. R. Kurtz, D. J. Arent, and K. A. Bertness, Phys. Rev. B 51, 7603 (1995).

Aspnes, D. E.

D. E. Aspnes, Mater. Sci. Eng. B 30, 109 (1995).

T. Yasuda, D. E. Aspnes, D. R. Lee, C. H. Bjorkman, and G. Lucovsky, J. Vac. Sci. Technol. A 12, 1152 (1994).

K. Hingerl, D. E. Aspnes, and I. Kamiya, Surf. Sci. 287/288, 686 (1993).

K. Hingerl, D. E. Aspnes, I. Kamiya, and L. T. Florez, Appl. Phys. Lett. 63, 885 (1993).

I. Kamiya, D. E. Aspnes, L. T. Florez, and J. P. Harbison, Phys. Rev. B 46, 15, 894 (1992).

D. E. Aspnes, J. P. Harbison, A. A. Studna, and L. T. Florez, J. Vac. Sci. Technol. A 6, 1327 (1988).

D. E. Aspnes and A. A. Studna, Phys. Rev. Lett. 54, 1956 (1985).

D. E. Aspnes, J. Vac. Sci. Technol. B 3, 1498 (1985).

D. E. Aspnes and A. A. Studna, Phys. Rev. B 27, 985 (1983).

Bertness, K. A.

J. S. Luo, J. M. Olson, S. R. Kurtz, D. J. Arent, and K. A. Bertness, Phys. Rev. B 51, 7603 (1995).

Bjorkman, C. H.

T. Yasuda, D. E. Aspnes, D. R. Lee, C. H. Bjorkman, and G. Lucovsky, J. Vac. Sci. Technol. A 12, 1152 (1994).

Florez, L. T.

K. Hingerl, D. E. Aspnes, I. Kamiya, and L. T. Florez, Appl. Phys. Lett. 63, 885 (1993).

I. Kamiya, D. E. Aspnes, L. T. Florez, and J. P. Harbison, Phys. Rev. B 46, 15, 894 (1992).

D. E. Aspnes, J. P. Harbison, A. A. Studna, and L. T. Florez, J. Vac. Sci. Technol. A 6, 1327 (1988).

Harbison, J. P.

I. Kamiya, D. E. Aspnes, L. T. Florez, and J. P. Harbison, Phys. Rev. B 46, 15, 894 (1992).

D. E. Aspnes, J. P. Harbison, A. A. Studna, and L. T. Florez, J. Vac. Sci. Technol. A 6, 1327 (1988).

Hingerl, K.

K. Hingerl, D. E. Aspnes, I. Kamiya, and L. T. Florez, Appl. Phys. Lett. 63, 885 (1993).

K. Hingerl, D. E. Aspnes, and I. Kamiya, Surf. Sci. 287/288, 686 (1993).

Kamiya, I.

K. Hingerl, D. E. Aspnes, and I. Kamiya, Surf. Sci. 287/288, 686 (1993).

K. Hingerl, D. E. Aspnes, I. Kamiya, and L. T. Florez, Appl. Phys. Lett. 63, 885 (1993).

I. Kamiya, D. E. Aspnes, L. T. Florez, and J. P. Harbison, Phys. Rev. B 46, 15, 894 (1992).

Kurtz, S. R.

J. S. Luo, J. M. Olson, S. R. Kurtz, D. J. Arent, and K. A. Bertness, Phys. Rev. B 51, 7603 (1995).

Kwok, T.-K.

T.-K. Kwok and Z. Yang, J. Appl. Phys. 80, 4621 (1996).

Lee, D. R.

T. Yasuda, D. E. Aspnes, D. R. Lee, C. H. Bjorkman, and G. Lucovsky, J. Vac. Sci. Technol. A 12, 1152 (1994).

Lucovsky, G.

T. Yasuda, D. E. Aspnes, D. R. Lee, C. H. Bjorkman, and G. Lucovsky, J. Vac. Sci. Technol. A 12, 1152 (1994).

Luo, J. S.

J. S. Luo, J. M. Olson, S. R. Kurtz, D. J. Arent, and K. A. Bertness, Phys. Rev. B 51, 7603 (1995).

Olson, J. M.

J. S. Luo, J. M. Olson, S. R. Kurtz, D. J. Arent, and K. A. Bertness, Phys. Rev. B 51, 7603 (1995).

Omnes, F.

O. Acher, F. Omnes, and M. Razeghi, Mater. Sci. Eng. B 5, 223 (1990).

Razeghi, M.

O. Acher, F. Omnes, and M. Razeghi, Mater. Sci. Eng. B 5, 223 (1990).

Schubert, M.

M. Schubert, Phys. Rev. B 53, 4265 (1996).

Sou, I. K.

Z. Yang, G. W. Wong, I. K. Sou, and Y. H. Yeung, Appl. Phys. Lett. 66, 2235 (1995).

Studna, A. A.

D. E. Aspnes, J. P. Harbison, A. A. Studna, and L. T. Florez, J. Vac. Sci. Technol. A 6, 1327 (1988).

D. E. Aspnes and A. A. Studna, Phys. Rev. Lett. 54, 1956 (1985).

D. E. Aspnes and A. A. Studna, Phys. Rev. B 27, 985 (1983).

Taguchi, T.

S. Adachi and T. Taguchi, Phys. Rev. B 43, 9569 (1991).

Tanaka, K.

H. Akinaya and K. Tanaka, Appl. Surf. Sci. 82/83, 298 (1994).

Wei, S.-H.

S.-H. Wei and A. Zunger, Phys. Rev. B 51, 14, 110 (1995).

Wong, G. W.

Z. Yang, G. W. Wong, I. K. Sou, and Y. H. Yeung, Appl. Phys. Lett. 66, 2235 (1995).

Yang, Z.

T.-K. Kwok and Z. Yang, J. Appl. Phys. 80, 4621 (1996).

Z. Yang, G. W. Wong, I. K. Sou, and Y. H. Yeung, Appl. Phys. Lett. 66, 2235 (1995).

Yasuda, T.

T. Yasuda, D. E. Aspnes, D. R. Lee, C. H. Bjorkman, and G. Lucovsky, J. Vac. Sci. Technol. A 12, 1152 (1994).

Yeung, Y. H.

Z. Yang, G. W. Wong, I. K. Sou, and Y. H. Yeung, Appl. Phys. Lett. 66, 2235 (1995).

Zunger, A.

S.-H. Wei and A. Zunger, Phys. Rev. B 51, 14, 110 (1995).

Appl. Phys. Lett. (2)

Z. Yang, G. W. Wong, I. K. Sou, and Y. H. Yeung, Appl. Phys. Lett. 66, 2235 (1995).

K. Hingerl, D. E. Aspnes, I. Kamiya, and L. T. Florez, Appl. Phys. Lett. 63, 885 (1993).

Appl. Surf. Sci. (1)

H. Akinaya and K. Tanaka, Appl. Surf. Sci. 82/83, 298 (1994).

J. Appl. Phys. (1)

T.-K. Kwok and Z. Yang, J. Appl. Phys. 80, 4621 (1996).

J. Vac. Sci. Technol. A (2)

T. Yasuda, D. E. Aspnes, D. R. Lee, C. H. Bjorkman, and G. Lucovsky, J. Vac. Sci. Technol. A 12, 1152 (1994).

D. E. Aspnes, J. P. Harbison, A. A. Studna, and L. T. Florez, J. Vac. Sci. Technol. A 6, 1327 (1988).

J. Vac. Sci. Technol. B (1)

D. E. Aspnes, J. Vac. Sci. Technol. B 3, 1498 (1985).

Mater. Sci. Eng. B (2)

O. Acher, F. Omnes, and M. Razeghi, Mater. Sci. Eng. B 5, 223 (1990).

D. E. Aspnes, Mater. Sci. Eng. B 30, 109 (1995).

Phys. Rev. B (6)

I. Kamiya, D. E. Aspnes, L. T. Florez, and J. P. Harbison, Phys. Rev. B 46, 15, 894 (1992).

J. S. Luo, J. M. Olson, S. R. Kurtz, D. J. Arent, and K. A. Bertness, Phys. Rev. B 51, 7603 (1995).

D. E. Aspnes and A. A. Studna, Phys. Rev. B 27, 985 (1983).

S. Adachi and T. Taguchi, Phys. Rev. B 43, 9569 (1991).

M. Schubert, Phys. Rev. B 53, 4265 (1996).

S.-H. Wei and A. Zunger, Phys. Rev. B 51, 14, 110 (1995).

Phys. Rev. Lett. (1)

D. E. Aspnes and A. A. Studna, Phys. Rev. Lett. 54, 1956 (1985).

Surf. Sci. (1)

K. Hingerl, D. E. Aspnes, and I. Kamiya, Surf. Sci. 287/288, 686 (1993).

Other (1)

P. Yeh, Optical Waves in Layered Media (Wiley, New York, 1988).

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Metrics