Abstract

A novel design and fabrication approach for a high fill-factor micro-electro-mechanical system (MEMS) micromirror array-based wavelength-selective switch (WSS) is presented. The WSS is composed of a polarization-independent transmission grating and a high fill-factor micromirror array. The WSS is successfully demonstrated based on the fabricated high fill-factor micromirror array. Test results show that the polarization-dependent loss (PDL) is less than 0.3 dB and that the insertion loss (IL) of the wavelength channel is about -6 dB. The switching function between the two output ports of WSS is measured. The forward switching time is recorded to be about 0.5 ms, whereas the backward switching time is about 7 ms.

© 2011 Chinese Optics Letters

PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. J. E. Ford, V. A. Aksyuk, D. J. Bishop, and J. A.Walker, J. Lightwave Technol. 17, 904 (1999).
  2. J. Tsai, S. Huang, D. Hah, and M. C. Wu, J. Lightwave Technol. 24, 897 (2006).
  3. J. Tsai and M. C. Wu, IEEE Photon. Technol. Lett. 18, 1439 (2006).
  4. D. M. Marom, D. T. Neilson, D. S. Greywall, C. Pai, N. R. Basavanhally, V. A. Aksyuk, D. O. Lopez, F. Pardo, M. E. Simon, Y. Low, P. Kolodner, and C. A. Bolle , J. Lightwave Technol. 23, 1620 (2005).
  5. X. Li, J. Liang, D. Sun, W. Li, and Z. Liang, Chin. Opt. Lett. 7, 553 (2009).
  6. J. S. Patel and Y. Silberberg, IEEE Photon. Technol. Lett. 7, 514 (1995).
  7. M. A. F. Roelens, S. Frisken, J. A. Bolger, D. Abakoumov, G. Baxter, S. Poole, and B. J. Eggleton, J. Lightwave Technol. 26, 73 (2008).
  8. D. S. Greywall, C. Pai, S. Oh, C. Chang, D. M. Marom, P. A. Busch, R. A. Cirelli, J. A. Taylor, F. P. Klemens, T. W. Sorsch, J. E. Bower, W. Y. Lai, and H. T. Soh, J. Microelectromech. Syst. 12, 702 (2003).
  9. W. P. Taylor, J. D. Brazzle, A. B. Osenar, C. J. Corcoran, I. H. Jafri, D. Keating, G. Kirkos, M. Lockwood, A. Pareek, and J. J. Bernstein, J. Micromech. Microeng. 14, 147 (2004).
  10. J. Tsai and M. C. Wu, J. Microelectromech. Syst. 14, 1323 (2005).
  11. D. Hah, S. T. Huang, J. Tsai, H. Toshiyoshi, and M. C. Wu, J. Microelectromech. Syst. 13, 279 (2004).
  12. M. Wu, H. Lin, and W. Fang, IEEE Photon. Technol. Lett. 18, 2111 (2006).

2009 (1)

2008 (1)

2006 (3)

J. Tsai, S. Huang, D. Hah, and M. C. Wu, J. Lightwave Technol. 24, 897 (2006).

J. Tsai and M. C. Wu, IEEE Photon. Technol. Lett. 18, 1439 (2006).

M. Wu, H. Lin, and W. Fang, IEEE Photon. Technol. Lett. 18, 2111 (2006).

2005 (2)

2004 (2)

W. P. Taylor, J. D. Brazzle, A. B. Osenar, C. J. Corcoran, I. H. Jafri, D. Keating, G. Kirkos, M. Lockwood, A. Pareek, and J. J. Bernstein, J. Micromech. Microeng. 14, 147 (2004).

D. Hah, S. T. Huang, J. Tsai, H. Toshiyoshi, and M. C. Wu, J. Microelectromech. Syst. 13, 279 (2004).

2003 (1)

D. S. Greywall, C. Pai, S. Oh, C. Chang, D. M. Marom, P. A. Busch, R. A. Cirelli, J. A. Taylor, F. P. Klemens, T. W. Sorsch, J. E. Bower, W. Y. Lai, and H. T. Soh, J. Microelectromech. Syst. 12, 702 (2003).

1999 (1)

1995 (1)

J. S. Patel and Y. Silberberg, IEEE Photon. Technol. Lett. 7, 514 (1995).

A.Walker, J.

Abakoumov, D.

Aksyuk, V. A.

Basavanhally, N. R.

Baxter, G.

Bernstein, J. J.

W. P. Taylor, J. D. Brazzle, A. B. Osenar, C. J. Corcoran, I. H. Jafri, D. Keating, G. Kirkos, M. Lockwood, A. Pareek, and J. J. Bernstein, J. Micromech. Microeng. 14, 147 (2004).

Bishop, D. J.

Bolger, J. A.

Bolle, C. A.

Bower, J. E.

D. S. Greywall, C. Pai, S. Oh, C. Chang, D. M. Marom, P. A. Busch, R. A. Cirelli, J. A. Taylor, F. P. Klemens, T. W. Sorsch, J. E. Bower, W. Y. Lai, and H. T. Soh, J. Microelectromech. Syst. 12, 702 (2003).

Brazzle, J. D.

W. P. Taylor, J. D. Brazzle, A. B. Osenar, C. J. Corcoran, I. H. Jafri, D. Keating, G. Kirkos, M. Lockwood, A. Pareek, and J. J. Bernstein, J. Micromech. Microeng. 14, 147 (2004).

Busch, P. A.

D. S. Greywall, C. Pai, S. Oh, C. Chang, D. M. Marom, P. A. Busch, R. A. Cirelli, J. A. Taylor, F. P. Klemens, T. W. Sorsch, J. E. Bower, W. Y. Lai, and H. T. Soh, J. Microelectromech. Syst. 12, 702 (2003).

Chang, C.

D. S. Greywall, C. Pai, S. Oh, C. Chang, D. M. Marom, P. A. Busch, R. A. Cirelli, J. A. Taylor, F. P. Klemens, T. W. Sorsch, J. E. Bower, W. Y. Lai, and H. T. Soh, J. Microelectromech. Syst. 12, 702 (2003).

Cirelli, R. A.

D. S. Greywall, C. Pai, S. Oh, C. Chang, D. M. Marom, P. A. Busch, R. A. Cirelli, J. A. Taylor, F. P. Klemens, T. W. Sorsch, J. E. Bower, W. Y. Lai, and H. T. Soh, J. Microelectromech. Syst. 12, 702 (2003).

Corcoran, C. J.

W. P. Taylor, J. D. Brazzle, A. B. Osenar, C. J. Corcoran, I. H. Jafri, D. Keating, G. Kirkos, M. Lockwood, A. Pareek, and J. J. Bernstein, J. Micromech. Microeng. 14, 147 (2004).

Eggleton, B. J.

Fang, W.

M. Wu, H. Lin, and W. Fang, IEEE Photon. Technol. Lett. 18, 2111 (2006).

Ford, J. E.

Frisken, S.

Greywall, D. S.

D. M. Marom, D. T. Neilson, D. S. Greywall, C. Pai, N. R. Basavanhally, V. A. Aksyuk, D. O. Lopez, F. Pardo, M. E. Simon, Y. Low, P. Kolodner, and C. A. Bolle , J. Lightwave Technol. 23, 1620 (2005).

D. S. Greywall, C. Pai, S. Oh, C. Chang, D. M. Marom, P. A. Busch, R. A. Cirelli, J. A. Taylor, F. P. Klemens, T. W. Sorsch, J. E. Bower, W. Y. Lai, and H. T. Soh, J. Microelectromech. Syst. 12, 702 (2003).

Hah, D.

J. Tsai, S. Huang, D. Hah, and M. C. Wu, J. Lightwave Technol. 24, 897 (2006).

D. Hah, S. T. Huang, J. Tsai, H. Toshiyoshi, and M. C. Wu, J. Microelectromech. Syst. 13, 279 (2004).

Huang, S.

Huang, S. T.

D. Hah, S. T. Huang, J. Tsai, H. Toshiyoshi, and M. C. Wu, J. Microelectromech. Syst. 13, 279 (2004).

Jafri, I. H.

W. P. Taylor, J. D. Brazzle, A. B. Osenar, C. J. Corcoran, I. H. Jafri, D. Keating, G. Kirkos, M. Lockwood, A. Pareek, and J. J. Bernstein, J. Micromech. Microeng. 14, 147 (2004).

Keating, D.

W. P. Taylor, J. D. Brazzle, A. B. Osenar, C. J. Corcoran, I. H. Jafri, D. Keating, G. Kirkos, M. Lockwood, A. Pareek, and J. J. Bernstein, J. Micromech. Microeng. 14, 147 (2004).

Kirkos, G.

W. P. Taylor, J. D. Brazzle, A. B. Osenar, C. J. Corcoran, I. H. Jafri, D. Keating, G. Kirkos, M. Lockwood, A. Pareek, and J. J. Bernstein, J. Micromech. Microeng. 14, 147 (2004).

Klemens, F. P.

D. S. Greywall, C. Pai, S. Oh, C. Chang, D. M. Marom, P. A. Busch, R. A. Cirelli, J. A. Taylor, F. P. Klemens, T. W. Sorsch, J. E. Bower, W. Y. Lai, and H. T. Soh, J. Microelectromech. Syst. 12, 702 (2003).

Kolodner, P.

Lai, W. Y.

D. S. Greywall, C. Pai, S. Oh, C. Chang, D. M. Marom, P. A. Busch, R. A. Cirelli, J. A. Taylor, F. P. Klemens, T. W. Sorsch, J. E. Bower, W. Y. Lai, and H. T. Soh, J. Microelectromech. Syst. 12, 702 (2003).

Li, W.

Li, X.

Liang, J.

Liang, Z.

Lin, H.

M. Wu, H. Lin, and W. Fang, IEEE Photon. Technol. Lett. 18, 2111 (2006).

Lockwood, M.

W. P. Taylor, J. D. Brazzle, A. B. Osenar, C. J. Corcoran, I. H. Jafri, D. Keating, G. Kirkos, M. Lockwood, A. Pareek, and J. J. Bernstein, J. Micromech. Microeng. 14, 147 (2004).

Lopez, D. O.

Low, Y.

Marom, D. M.

D. M. Marom, D. T. Neilson, D. S. Greywall, C. Pai, N. R. Basavanhally, V. A. Aksyuk, D. O. Lopez, F. Pardo, M. E. Simon, Y. Low, P. Kolodner, and C. A. Bolle , J. Lightwave Technol. 23, 1620 (2005).

D. S. Greywall, C. Pai, S. Oh, C. Chang, D. M. Marom, P. A. Busch, R. A. Cirelli, J. A. Taylor, F. P. Klemens, T. W. Sorsch, J. E. Bower, W. Y. Lai, and H. T. Soh, J. Microelectromech. Syst. 12, 702 (2003).

Neilson, D. T.

Oh, S.

D. S. Greywall, C. Pai, S. Oh, C. Chang, D. M. Marom, P. A. Busch, R. A. Cirelli, J. A. Taylor, F. P. Klemens, T. W. Sorsch, J. E. Bower, W. Y. Lai, and H. T. Soh, J. Microelectromech. Syst. 12, 702 (2003).

Osenar, A. B.

W. P. Taylor, J. D. Brazzle, A. B. Osenar, C. J. Corcoran, I. H. Jafri, D. Keating, G. Kirkos, M. Lockwood, A. Pareek, and J. J. Bernstein, J. Micromech. Microeng. 14, 147 (2004).

Pai, C.

D. M. Marom, D. T. Neilson, D. S. Greywall, C. Pai, N. R. Basavanhally, V. A. Aksyuk, D. O. Lopez, F. Pardo, M. E. Simon, Y. Low, P. Kolodner, and C. A. Bolle , J. Lightwave Technol. 23, 1620 (2005).

D. S. Greywall, C. Pai, S. Oh, C. Chang, D. M. Marom, P. A. Busch, R. A. Cirelli, J. A. Taylor, F. P. Klemens, T. W. Sorsch, J. E. Bower, W. Y. Lai, and H. T. Soh, J. Microelectromech. Syst. 12, 702 (2003).

Pardo, F.

Pareek, A.

W. P. Taylor, J. D. Brazzle, A. B. Osenar, C. J. Corcoran, I. H. Jafri, D. Keating, G. Kirkos, M. Lockwood, A. Pareek, and J. J. Bernstein, J. Micromech. Microeng. 14, 147 (2004).

Patel, J. S.

J. S. Patel and Y. Silberberg, IEEE Photon. Technol. Lett. 7, 514 (1995).

Poole, S.

Roelens, M. A. F.

Silberberg, Y.

J. S. Patel and Y. Silberberg, IEEE Photon. Technol. Lett. 7, 514 (1995).

Simon, M. E.

Soh, H. T.

D. S. Greywall, C. Pai, S. Oh, C. Chang, D. M. Marom, P. A. Busch, R. A. Cirelli, J. A. Taylor, F. P. Klemens, T. W. Sorsch, J. E. Bower, W. Y. Lai, and H. T. Soh, J. Microelectromech. Syst. 12, 702 (2003).

Sorsch, T. W.

D. S. Greywall, C. Pai, S. Oh, C. Chang, D. M. Marom, P. A. Busch, R. A. Cirelli, J. A. Taylor, F. P. Klemens, T. W. Sorsch, J. E. Bower, W. Y. Lai, and H. T. Soh, J. Microelectromech. Syst. 12, 702 (2003).

Sun, D.

Taylor, J. A.

D. S. Greywall, C. Pai, S. Oh, C. Chang, D. M. Marom, P. A. Busch, R. A. Cirelli, J. A. Taylor, F. P. Klemens, T. W. Sorsch, J. E. Bower, W. Y. Lai, and H. T. Soh, J. Microelectromech. Syst. 12, 702 (2003).

Taylor, W. P.

W. P. Taylor, J. D. Brazzle, A. B. Osenar, C. J. Corcoran, I. H. Jafri, D. Keating, G. Kirkos, M. Lockwood, A. Pareek, and J. J. Bernstein, J. Micromech. Microeng. 14, 147 (2004).

Toshiyoshi, H.

D. Hah, S. T. Huang, J. Tsai, H. Toshiyoshi, and M. C. Wu, J. Microelectromech. Syst. 13, 279 (2004).

Tsai, J.

J. Tsai and M. C. Wu, IEEE Photon. Technol. Lett. 18, 1439 (2006).

J. Tsai, S. Huang, D. Hah, and M. C. Wu, J. Lightwave Technol. 24, 897 (2006).

J. Tsai and M. C. Wu, J. Microelectromech. Syst. 14, 1323 (2005).

D. Hah, S. T. Huang, J. Tsai, H. Toshiyoshi, and M. C. Wu, J. Microelectromech. Syst. 13, 279 (2004).

Wu, M.

M. Wu, H. Lin, and W. Fang, IEEE Photon. Technol. Lett. 18, 2111 (2006).

Wu, M. C.

J. Tsai, S. Huang, D. Hah, and M. C. Wu, J. Lightwave Technol. 24, 897 (2006).

J. Tsai and M. C. Wu, IEEE Photon. Technol. Lett. 18, 1439 (2006).

J. Tsai and M. C. Wu, J. Microelectromech. Syst. 14, 1323 (2005).

D. Hah, S. T. Huang, J. Tsai, H. Toshiyoshi, and M. C. Wu, J. Microelectromech. Syst. 13, 279 (2004).

Chin. Opt. Lett. (1)

IEEE Photon. Technol. Lett. (3)

J. S. Patel and Y. Silberberg, IEEE Photon. Technol. Lett. 7, 514 (1995).

J. Tsai and M. C. Wu, IEEE Photon. Technol. Lett. 18, 1439 (2006).

M. Wu, H. Lin, and W. Fang, IEEE Photon. Technol. Lett. 18, 2111 (2006).

J. Lightwave Technol. (4)

J. Microelectromech. Syst. (3)

D. S. Greywall, C. Pai, S. Oh, C. Chang, D. M. Marom, P. A. Busch, R. A. Cirelli, J. A. Taylor, F. P. Klemens, T. W. Sorsch, J. E. Bower, W. Y. Lai, and H. T. Soh, J. Microelectromech. Syst. 12, 702 (2003).

J. Tsai and M. C. Wu, J. Microelectromech. Syst. 14, 1323 (2005).

D. Hah, S. T. Huang, J. Tsai, H. Toshiyoshi, and M. C. Wu, J. Microelectromech. Syst. 13, 279 (2004).

J. Micromech. Microeng. (1)

W. P. Taylor, J. D. Brazzle, A. B. Osenar, C. J. Corcoran, I. H. Jafri, D. Keating, G. Kirkos, M. Lockwood, A. Pareek, and J. J. Bernstein, J. Micromech. Microeng. 14, 147 (2004).

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.