Abstract

Aperiodic molybdenum/silicon (Mo/Si) multilayer designed as a broadband reflective mirror with mean reflectivity of 10% over a wide wavelength range of 12.5-28.5 nm at incidence angle of 5? is developed using a numerical optimized method. The multilayer is prepared using direct current magnetron sputtering technology. The reflectivity is measured using synchrotron radiation. The measured mean reflectivity is 7.0% in the design wavelength range of 12.5-28.5 nm. This multilayer broadband reflective mirror can be used in extreme ultraviolet measurements and will greatly simplify the experimental arrangements.

© 2011 Chinese Optics Letters

PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. E. Spiller, Soft X-ray optics (SPIE Press, Belingham, 1994).
  2. C. Montcalm, R. F. Grabner, R. M. Hudyma, M. A. Schmidt, E. Spiller, C. C. Walton, M. Wedowski, and J. A. Folta, Appl. Opt. 41, 3262 (2002).
  3. F. Mezei, Proc. SPIE 1738, 107 (1992).
  4. K. D. Joensen, F. E. Christensen, H. W. Schnopper, P. Gorenstein, J. Susini, P. H?gh?j, R. Hustache, J. Wood, and K. Parker, Proc. SPIE 1736, 239 (1992).
  5. P. H?gh?j, E. Ziegler, J. Susini, A. K. Freund, K. D. Joensen, P. Gorenstein, and J. L. Wood, Nucl. Instr. Meth. B 132, 528 (1997).
  6. Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, F. Wang, Z. Gu, L. Chen, A. Michette, A. Powell, S. Pfauntsch, and F. Schafers, J. Appl. Phys. 99, 056108 (2009).
  7. Z. S. Wang, H. C. Wang, J. T. Zhu, F. L. Wang, Z. X. Gu, L. Y. Chen, A. G. Michette, A. K. Powell, S. J. Pfauntsch, and F. Sch¨afers, Opt. Express 14, 2533 (2006).
  8. H. Wang, J. Zhu, Z. Wang, Z. Zhang, S. Zhang, W. Wu, L. Chen, A. Michette, A. Powell, and S. Pfauntsch, Thin Solid Films 515, 2523 (2006).
  9. Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, Y. Xu, S. M. Zhang, C. Li, F. Wang, Z. Zhang, Y. Wu, X. Cheng, L. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 89, 24120 (2006).
  10. Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, Z. Zhang, Y. Xu, S. Zhang, W. Wu, F. Wang, B. Wang, L. Liu, L. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 90, 031901 (2007).
  11. Z. S. Wang, H. C. Wang, J. T. Zhu, Z. Zhang, F. L. Wang, Y. Xu, S. M. Zhang, W. J. Wu, L. Y. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, M. Q. Cui, L. J. Sun, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 90, 081910 (2007).
  12. Z. Wang, S. Zhang, W. Wu, J. Zhu, H. Wang, C. Li, Y. Xu, F. Wang, Z. Zhang, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 4, 611 (2006).
  13. P. Naulleau "The center for X-ray optics" http://wwwcxro.lbl.gov/ (May 28, 2010).
  14. I. V. Kozhevnikov, I. N. Bukreeva, and E. Ziegler, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 460, 424 (2001).
  15. Z. Zhang, Z. Wang, F. Wang, W. Wu, H. Wang, S. Qin, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 3, 422 (2005).
  16. F. Wang, Z. Wang, J. Zhu, Z. Zhang, W. Wu, S. Zhang, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 4, 550 (2006).
  17. D. G. Stearns, J. Appl. Phys. 71, 4286 (1992).
  18. H. Maury, P. Jonnard, J.-M. Andre, J. Gautier, F. Bridou, F. Delmotte, and M.-F. Ravet, Surf. Sci. 601, 2315 (2007).
  19. J. H. Underwood, E. M. Gullikson, and K. Nguyen, Appl. Opt. 32, 6985 (1993)
  20. K. Le Guen, H. Maury, J.-M. Andr'e, H. Wang, J. Zhu, Z. Wang, and P. Jonnard, Appl. Surf. Sci. 253, 8443 (2007).
  21. M. Dai, Z. Zhang, J. Zhu, X. Wang, J. Xu, X. Fu, L. Bai, Q. Huang, Z. Wang, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 7, 738 (2009).
  22. J. Zhu, H. Li, X. Wang, Q. Huang, Z. Wang, Y. Li, H. Li, D. Wang, J. Zhao, and W. Lu, Chin. Opt. Lett. 8, 167 (2010).

2010 (1)

2009 (2)

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, F. Wang, Z. Gu, L. Chen, A. Michette, A. Powell, S. Pfauntsch, and F. Schafers, J. Appl. Phys. 99, 056108 (2009).

M. Dai, Z. Zhang, J. Zhu, X. Wang, J. Xu, X. Fu, L. Bai, Q. Huang, Z. Wang, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 7, 738 (2009).

2007 (4)

H. Maury, P. Jonnard, J.-M. Andre, J. Gautier, F. Bridou, F. Delmotte, and M.-F. Ravet, Surf. Sci. 601, 2315 (2007).

K. Le Guen, H. Maury, J.-M. Andr'e, H. Wang, J. Zhu, Z. Wang, and P. Jonnard, Appl. Surf. Sci. 253, 8443 (2007).

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, Z. Zhang, Y. Xu, S. Zhang, W. Wu, F. Wang, B. Wang, L. Liu, L. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 90, 031901 (2007).

Z. S. Wang, H. C. Wang, J. T. Zhu, Z. Zhang, F. L. Wang, Y. Xu, S. M. Zhang, W. J. Wu, L. Y. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, M. Q. Cui, L. J. Sun, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 90, 081910 (2007).

2006 (5)

H. Wang, J. Zhu, Z. Wang, Z. Zhang, S. Zhang, W. Wu, L. Chen, A. Michette, A. Powell, and S. Pfauntsch, Thin Solid Films 515, 2523 (2006).

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, Y. Xu, S. M. Zhang, C. Li, F. Wang, Z. Zhang, Y. Wu, X. Cheng, L. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 89, 24120 (2006).

Z. S. Wang, H. C. Wang, J. T. Zhu, F. L. Wang, Z. X. Gu, L. Y. Chen, A. G. Michette, A. K. Powell, S. J. Pfauntsch, and F. Sch¨afers, Opt. Express 14, 2533 (2006).

F. Wang, Z. Wang, J. Zhu, Z. Zhang, W. Wu, S. Zhang, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 4, 550 (2006).

Z. Wang, S. Zhang, W. Wu, J. Zhu, H. Wang, C. Li, Y. Xu, F. Wang, Z. Zhang, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 4, 611 (2006).

2005 (1)

2002 (1)

2001 (1)

I. V. Kozhevnikov, I. N. Bukreeva, and E. Ziegler, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 460, 424 (2001).

1997 (1)

P. H?gh?j, E. Ziegler, J. Susini, A. K. Freund, K. D. Joensen, P. Gorenstein, and J. L. Wood, Nucl. Instr. Meth. B 132, 528 (1997).

1993 (1)

1992 (3)

D. G. Stearns, J. Appl. Phys. 71, 4286 (1992).

F. Mezei, Proc. SPIE 1738, 107 (1992).

K. D. Joensen, F. E. Christensen, H. W. Schnopper, P. Gorenstein, J. Susini, P. H?gh?j, R. Hustache, J. Wood, and K. Parker, Proc. SPIE 1736, 239 (1992).

Andre, J.-M.

H. Maury, P. Jonnard, J.-M. Andre, J. Gautier, F. Bridou, F. Delmotte, and M.-F. Ravet, Surf. Sci. 601, 2315 (2007).

Andr'e, J.-M.

K. Le Guen, H. Maury, J.-M. Andr'e, H. Wang, J. Zhu, Z. Wang, and P. Jonnard, Appl. Surf. Sci. 253, 8443 (2007).

Bai, L.

Bridou, F.

H. Maury, P. Jonnard, J.-M. Andre, J. Gautier, F. Bridou, F. Delmotte, and M.-F. Ravet, Surf. Sci. 601, 2315 (2007).

Bukreeva, I. N.

I. V. Kozhevnikov, I. N. Bukreeva, and E. Ziegler, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 460, 424 (2001).

Chen, L.

M. Dai, Z. Zhang, J. Zhu, X. Wang, J. Xu, X. Fu, L. Bai, Q. Huang, Z. Wang, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 7, 738 (2009).

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, F. Wang, Z. Gu, L. Chen, A. Michette, A. Powell, S. Pfauntsch, and F. Schafers, J. Appl. Phys. 99, 056108 (2009).

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, Z. Zhang, Y. Xu, S. Zhang, W. Wu, F. Wang, B. Wang, L. Liu, L. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 90, 031901 (2007).

H. Wang, J. Zhu, Z. Wang, Z. Zhang, S. Zhang, W. Wu, L. Chen, A. Michette, A. Powell, and S. Pfauntsch, Thin Solid Films 515, 2523 (2006).

Z. Wang, S. Zhang, W. Wu, J. Zhu, H. Wang, C. Li, Y. Xu, F. Wang, Z. Zhang, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 4, 611 (2006).

F. Wang, Z. Wang, J. Zhu, Z. Zhang, W. Wu, S. Zhang, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 4, 550 (2006).

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, Y. Xu, S. M. Zhang, C. Li, F. Wang, Z. Zhang, Y. Wu, X. Cheng, L. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 89, 24120 (2006).

Z. Zhang, Z. Wang, F. Wang, W. Wu, H. Wang, S. Qin, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 3, 422 (2005).

Chen, L. Y.

Z. S. Wang, H. C. Wang, J. T. Zhu, Z. Zhang, F. L. Wang, Y. Xu, S. M. Zhang, W. J. Wu, L. Y. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, M. Q. Cui, L. J. Sun, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 90, 081910 (2007).

Z. S. Wang, H. C. Wang, J. T. Zhu, F. L. Wang, Z. X. Gu, L. Y. Chen, A. G. Michette, A. K. Powell, S. J. Pfauntsch, and F. Sch¨afers, Opt. Express 14, 2533 (2006).

Cheng, X.

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, Y. Xu, S. M. Zhang, C. Li, F. Wang, Z. Zhang, Y. Wu, X. Cheng, L. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 89, 24120 (2006).

Christensen, F. E.

K. D. Joensen, F. E. Christensen, H. W. Schnopper, P. Gorenstein, J. Susini, P. H?gh?j, R. Hustache, J. Wood, and K. Parker, Proc. SPIE 1736, 239 (1992).

Cui, M. Q.

Z. S. Wang, H. C. Wang, J. T. Zhu, Z. Zhang, F. L. Wang, Y. Xu, S. M. Zhang, W. J. Wu, L. Y. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, M. Q. Cui, L. J. Sun, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 90, 081910 (2007).

Dai, M.

Delmotte, F.

H. Maury, P. Jonnard, J.-M. Andre, J. Gautier, F. Bridou, F. Delmotte, and M.-F. Ravet, Surf. Sci. 601, 2315 (2007).

Folta, J. A.

Freund, A. K.

P. H?gh?j, E. Ziegler, J. Susini, A. K. Freund, K. D. Joensen, P. Gorenstein, and J. L. Wood, Nucl. Instr. Meth. B 132, 528 (1997).

Fu, X.

Gaupp, A.

Z. S. Wang, H. C. Wang, J. T. Zhu, Z. Zhang, F. L. Wang, Y. Xu, S. M. Zhang, W. J. Wu, L. Y. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, M. Q. Cui, L. J. Sun, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 90, 081910 (2007).

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, Z. Zhang, Y. Xu, S. Zhang, W. Wu, F. Wang, B. Wang, L. Liu, L. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 90, 031901 (2007).

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, Y. Xu, S. M. Zhang, C. Li, F. Wang, Z. Zhang, Y. Wu, X. Cheng, L. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 89, 24120 (2006).

Gautier, J.

H. Maury, P. Jonnard, J.-M. Andre, J. Gautier, F. Bridou, F. Delmotte, and M.-F. Ravet, Surf. Sci. 601, 2315 (2007).

Gorenstein, P.

P. H?gh?j, E. Ziegler, J. Susini, A. K. Freund, K. D. Joensen, P. Gorenstein, and J. L. Wood, Nucl. Instr. Meth. B 132, 528 (1997).

K. D. Joensen, F. E. Christensen, H. W. Schnopper, P. Gorenstein, J. Susini, P. H?gh?j, R. Hustache, J. Wood, and K. Parker, Proc. SPIE 1736, 239 (1992).

Grabner, R. F.

Gu, Z.

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, F. Wang, Z. Gu, L. Chen, A. Michette, A. Powell, S. Pfauntsch, and F. Schafers, J. Appl. Phys. 99, 056108 (2009).

Gu, Z. X.

Guen, K. Le

K. Le Guen, H. Maury, J.-M. Andr'e, H. Wang, J. Zhu, Z. Wang, and P. Jonnard, Appl. Surf. Sci. 253, 8443 (2007).

Gullikson, E. M.

H?gh?j, P.

P. H?gh?j, E. Ziegler, J. Susini, A. K. Freund, K. D. Joensen, P. Gorenstein, and J. L. Wood, Nucl. Instr. Meth. B 132, 528 (1997).

K. D. Joensen, F. E. Christensen, H. W. Schnopper, P. Gorenstein, J. Susini, P. H?gh?j, R. Hustache, J. Wood, and K. Parker, Proc. SPIE 1736, 239 (1992).

Huang, Q.

Hudyma, R. M.

Hustache, R.

K. D. Joensen, F. E. Christensen, H. W. Schnopper, P. Gorenstein, J. Susini, P. H?gh?j, R. Hustache, J. Wood, and K. Parker, Proc. SPIE 1736, 239 (1992).

Joensen, K. D.

P. H?gh?j, E. Ziegler, J. Susini, A. K. Freund, K. D. Joensen, P. Gorenstein, and J. L. Wood, Nucl. Instr. Meth. B 132, 528 (1997).

K. D. Joensen, F. E. Christensen, H. W. Schnopper, P. Gorenstein, J. Susini, P. H?gh?j, R. Hustache, J. Wood, and K. Parker, Proc. SPIE 1736, 239 (1992).

Jonnard, P.

K. Le Guen, H. Maury, J.-M. Andr'e, H. Wang, J. Zhu, Z. Wang, and P. Jonnard, Appl. Surf. Sci. 253, 8443 (2007).

H. Maury, P. Jonnard, J.-M. Andre, J. Gautier, F. Bridou, F. Delmotte, and M.-F. Ravet, Surf. Sci. 601, 2315 (2007).

Kozhevnikov, I. V.

I. V. Kozhevnikov, I. N. Bukreeva, and E. Ziegler, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 460, 424 (2001).

Li, C.

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, Y. Xu, S. M. Zhang, C. Li, F. Wang, Z. Zhang, Y. Wu, X. Cheng, L. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 89, 24120 (2006).

Z. Wang, S. Zhang, W. Wu, J. Zhu, H. Wang, C. Li, Y. Xu, F. Wang, Z. Zhang, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 4, 611 (2006).

Li, H.

Li, Y.

Liu, L.

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, Z. Zhang, Y. Xu, S. Zhang, W. Wu, F. Wang, B. Wang, L. Liu, L. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 90, 031901 (2007).

Lu, W.

MacDonald, M.

Z. S. Wang, H. C. Wang, J. T. Zhu, Z. Zhang, F. L. Wang, Y. Xu, S. M. Zhang, W. J. Wu, L. Y. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, M. Q. Cui, L. J. Sun, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 90, 081910 (2007).

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, Z. Zhang, Y. Xu, S. Zhang, W. Wu, F. Wang, B. Wang, L. Liu, L. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 90, 031901 (2007).

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, Y. Xu, S. M. Zhang, C. Li, F. Wang, Z. Zhang, Y. Wu, X. Cheng, L. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 89, 24120 (2006).

Maury, H.

H. Maury, P. Jonnard, J.-M. Andre, J. Gautier, F. Bridou, F. Delmotte, and M.-F. Ravet, Surf. Sci. 601, 2315 (2007).

K. Le Guen, H. Maury, J.-M. Andr'e, H. Wang, J. Zhu, Z. Wang, and P. Jonnard, Appl. Surf. Sci. 253, 8443 (2007).

Mezei, F.

F. Mezei, Proc. SPIE 1738, 107 (1992).

Michette, A.

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, F. Wang, Z. Gu, L. Chen, A. Michette, A. Powell, S. Pfauntsch, and F. Schafers, J. Appl. Phys. 99, 056108 (2009).

H. Wang, J. Zhu, Z. Wang, Z. Zhang, S. Zhang, W. Wu, L. Chen, A. Michette, A. Powell, and S. Pfauntsch, Thin Solid Films 515, 2523 (2006).

Michette, A. G.

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, Z. Zhang, Y. Xu, S. Zhang, W. Wu, F. Wang, B. Wang, L. Liu, L. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 90, 031901 (2007).

Z. S. Wang, H. C. Wang, J. T. Zhu, Z. Zhang, F. L. Wang, Y. Xu, S. M. Zhang, W. J. Wu, L. Y. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, M. Q. Cui, L. J. Sun, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 90, 081910 (2007).

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, Y. Xu, S. M. Zhang, C. Li, F. Wang, Z. Zhang, Y. Wu, X. Cheng, L. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 89, 24120 (2006).

Z. S. Wang, H. C. Wang, J. T. Zhu, F. L. Wang, Z. X. Gu, L. Y. Chen, A. G. Michette, A. K. Powell, S. J. Pfauntsch, and F. Sch¨afers, Opt. Express 14, 2533 (2006).

Montcalm, C.

Nguyen, K.

Parker, K.

K. D. Joensen, F. E. Christensen, H. W. Schnopper, P. Gorenstein, J. Susini, P. H?gh?j, R. Hustache, J. Wood, and K. Parker, Proc. SPIE 1736, 239 (1992).

Pfauntsch, S.

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, F. Wang, Z. Gu, L. Chen, A. Michette, A. Powell, S. Pfauntsch, and F. Schafers, J. Appl. Phys. 99, 056108 (2009).

H. Wang, J. Zhu, Z. Wang, Z. Zhang, S. Zhang, W. Wu, L. Chen, A. Michette, A. Powell, and S. Pfauntsch, Thin Solid Films 515, 2523 (2006).

Pfauntsch, S. J.

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, Z. Zhang, Y. Xu, S. Zhang, W. Wu, F. Wang, B. Wang, L. Liu, L. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 90, 031901 (2007).

Z. S. Wang, H. C. Wang, J. T. Zhu, Z. Zhang, F. L. Wang, Y. Xu, S. M. Zhang, W. J. Wu, L. Y. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, M. Q. Cui, L. J. Sun, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 90, 081910 (2007).

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, Y. Xu, S. M. Zhang, C. Li, F. Wang, Z. Zhang, Y. Wu, X. Cheng, L. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 89, 24120 (2006).

Z. S. Wang, H. C. Wang, J. T. Zhu, F. L. Wang, Z. X. Gu, L. Y. Chen, A. G. Michette, A. K. Powell, S. J. Pfauntsch, and F. Sch¨afers, Opt. Express 14, 2533 (2006).

Powell, A.

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, F. Wang, Z. Gu, L. Chen, A. Michette, A. Powell, S. Pfauntsch, and F. Schafers, J. Appl. Phys. 99, 056108 (2009).

H. Wang, J. Zhu, Z. Wang, Z. Zhang, S. Zhang, W. Wu, L. Chen, A. Michette, A. Powell, and S. Pfauntsch, Thin Solid Films 515, 2523 (2006).

Powell, A. K.

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, Z. Zhang, Y. Xu, S. Zhang, W. Wu, F. Wang, B. Wang, L. Liu, L. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 90, 031901 (2007).

Z. S. Wang, H. C. Wang, J. T. Zhu, Z. Zhang, F. L. Wang, Y. Xu, S. M. Zhang, W. J. Wu, L. Y. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, M. Q. Cui, L. J. Sun, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 90, 081910 (2007).

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, Y. Xu, S. M. Zhang, C. Li, F. Wang, Z. Zhang, Y. Wu, X. Cheng, L. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 89, 24120 (2006).

Z. S. Wang, H. C. Wang, J. T. Zhu, F. L. Wang, Z. X. Gu, L. Y. Chen, A. G. Michette, A. K. Powell, S. J. Pfauntsch, and F. Sch¨afers, Opt. Express 14, 2533 (2006).

Qin, S.

Ravet, M.-F.

H. Maury, P. Jonnard, J.-M. Andre, J. Gautier, F. Bridou, F. Delmotte, and M.-F. Ravet, Surf. Sci. 601, 2315 (2007).

Sch¨afers, F.

Schafers, F.

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, F. Wang, Z. Gu, L. Chen, A. Michette, A. Powell, S. Pfauntsch, and F. Schafers, J. Appl. Phys. 99, 056108 (2009).

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, Z. Zhang, Y. Xu, S. Zhang, W. Wu, F. Wang, B. Wang, L. Liu, L. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 90, 031901 (2007).

Z. S. Wang, H. C. Wang, J. T. Zhu, Z. Zhang, F. L. Wang, Y. Xu, S. M. Zhang, W. J. Wu, L. Y. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, M. Q. Cui, L. J. Sun, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 90, 081910 (2007).

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, Y. Xu, S. M. Zhang, C. Li, F. Wang, Z. Zhang, Y. Wu, X. Cheng, L. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 89, 24120 (2006).

Schmidt, M. A.

Schnopper, H. W.

K. D. Joensen, F. E. Christensen, H. W. Schnopper, P. Gorenstein, J. Susini, P. H?gh?j, R. Hustache, J. Wood, and K. Parker, Proc. SPIE 1736, 239 (1992).

Spiller, E.

Stearns, D. G.

D. G. Stearns, J. Appl. Phys. 71, 4286 (1992).

Sun, L. J.

Z. S. Wang, H. C. Wang, J. T. Zhu, Z. Zhang, F. L. Wang, Y. Xu, S. M. Zhang, W. J. Wu, L. Y. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, M. Q. Cui, L. J. Sun, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 90, 081910 (2007).

Susini, J.

P. H?gh?j, E. Ziegler, J. Susini, A. K. Freund, K. D. Joensen, P. Gorenstein, and J. L. Wood, Nucl. Instr. Meth. B 132, 528 (1997).

K. D. Joensen, F. E. Christensen, H. W. Schnopper, P. Gorenstein, J. Susini, P. H?gh?j, R. Hustache, J. Wood, and K. Parker, Proc. SPIE 1736, 239 (1992).

Underwood, J. H.

Walton, C. C.

Wang, B.

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, Z. Zhang, Y. Xu, S. Zhang, W. Wu, F. Wang, B. Wang, L. Liu, L. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 90, 031901 (2007).

Wang, D.

Wang, F.

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, F. Wang, Z. Gu, L. Chen, A. Michette, A. Powell, S. Pfauntsch, and F. Schafers, J. Appl. Phys. 99, 056108 (2009).

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, Z. Zhang, Y. Xu, S. Zhang, W. Wu, F. Wang, B. Wang, L. Liu, L. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 90, 031901 (2007).

Z. Wang, S. Zhang, W. Wu, J. Zhu, H. Wang, C. Li, Y. Xu, F. Wang, Z. Zhang, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 4, 611 (2006).

F. Wang, Z. Wang, J. Zhu, Z. Zhang, W. Wu, S. Zhang, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 4, 550 (2006).

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, Y. Xu, S. M. Zhang, C. Li, F. Wang, Z. Zhang, Y. Wu, X. Cheng, L. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 89, 24120 (2006).

Z. Zhang, Z. Wang, F. Wang, W. Wu, H. Wang, S. Qin, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 3, 422 (2005).

Wang, F. L.

Z. S. Wang, H. C. Wang, J. T. Zhu, Z. Zhang, F. L. Wang, Y. Xu, S. M. Zhang, W. J. Wu, L. Y. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, M. Q. Cui, L. J. Sun, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 90, 081910 (2007).

Z. S. Wang, H. C. Wang, J. T. Zhu, F. L. Wang, Z. X. Gu, L. Y. Chen, A. G. Michette, A. K. Powell, S. J. Pfauntsch, and F. Sch¨afers, Opt. Express 14, 2533 (2006).

Wang, H.

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, F. Wang, Z. Gu, L. Chen, A. Michette, A. Powell, S. Pfauntsch, and F. Schafers, J. Appl. Phys. 99, 056108 (2009).

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, Z. Zhang, Y. Xu, S. Zhang, W. Wu, F. Wang, B. Wang, L. Liu, L. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 90, 031901 (2007).

K. Le Guen, H. Maury, J.-M. Andr'e, H. Wang, J. Zhu, Z. Wang, and P. Jonnard, Appl. Surf. Sci. 253, 8443 (2007).

Z. Wang, S. Zhang, W. Wu, J. Zhu, H. Wang, C. Li, Y. Xu, F. Wang, Z. Zhang, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 4, 611 (2006).

H. Wang, J. Zhu, Z. Wang, Z. Zhang, S. Zhang, W. Wu, L. Chen, A. Michette, A. Powell, and S. Pfauntsch, Thin Solid Films 515, 2523 (2006).

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, Y. Xu, S. M. Zhang, C. Li, F. Wang, Z. Zhang, Y. Wu, X. Cheng, L. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 89, 24120 (2006).

Z. Zhang, Z. Wang, F. Wang, W. Wu, H. Wang, S. Qin, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 3, 422 (2005).

Wang, H. C.

Z. S. Wang, H. C. Wang, J. T. Zhu, Z. Zhang, F. L. Wang, Y. Xu, S. M. Zhang, W. J. Wu, L. Y. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, M. Q. Cui, L. J. Sun, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 90, 081910 (2007).

Z. S. Wang, H. C. Wang, J. T. Zhu, F. L. Wang, Z. X. Gu, L. Y. Chen, A. G. Michette, A. K. Powell, S. J. Pfauntsch, and F. Sch¨afers, Opt. Express 14, 2533 (2006).

Wang, X.

Wang, Z.

J. Zhu, H. Li, X. Wang, Q. Huang, Z. Wang, Y. Li, H. Li, D. Wang, J. Zhao, and W. Lu, Chin. Opt. Lett. 8, 167 (2010).

M. Dai, Z. Zhang, J. Zhu, X. Wang, J. Xu, X. Fu, L. Bai, Q. Huang, Z. Wang, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 7, 738 (2009).

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, F. Wang, Z. Gu, L. Chen, A. Michette, A. Powell, S. Pfauntsch, and F. Schafers, J. Appl. Phys. 99, 056108 (2009).

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, Z. Zhang, Y. Xu, S. Zhang, W. Wu, F. Wang, B. Wang, L. Liu, L. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 90, 031901 (2007).

K. Le Guen, H. Maury, J.-M. Andr'e, H. Wang, J. Zhu, Z. Wang, and P. Jonnard, Appl. Surf. Sci. 253, 8443 (2007).

Z. Wang, S. Zhang, W. Wu, J. Zhu, H. Wang, C. Li, Y. Xu, F. Wang, Z. Zhang, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 4, 611 (2006).

F. Wang, Z. Wang, J. Zhu, Z. Zhang, W. Wu, S. Zhang, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 4, 550 (2006).

H. Wang, J. Zhu, Z. Wang, Z. Zhang, S. Zhang, W. Wu, L. Chen, A. Michette, A. Powell, and S. Pfauntsch, Thin Solid Films 515, 2523 (2006).

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, Y. Xu, S. M. Zhang, C. Li, F. Wang, Z. Zhang, Y. Wu, X. Cheng, L. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 89, 24120 (2006).

Z. Zhang, Z. Wang, F. Wang, W. Wu, H. Wang, S. Qin, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 3, 422 (2005).

Wang, Z. S.

Z. S. Wang, H. C. Wang, J. T. Zhu, Z. Zhang, F. L. Wang, Y. Xu, S. M. Zhang, W. J. Wu, L. Y. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, M. Q. Cui, L. J. Sun, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 90, 081910 (2007).

Z. S. Wang, H. C. Wang, J. T. Zhu, F. L. Wang, Z. X. Gu, L. Y. Chen, A. G. Michette, A. K. Powell, S. J. Pfauntsch, and F. Sch¨afers, Opt. Express 14, 2533 (2006).

Wedowski, M.

Wood, J.

K. D. Joensen, F. E. Christensen, H. W. Schnopper, P. Gorenstein, J. Susini, P. H?gh?j, R. Hustache, J. Wood, and K. Parker, Proc. SPIE 1736, 239 (1992).

Wood, J. L.

P. H?gh?j, E. Ziegler, J. Susini, A. K. Freund, K. D. Joensen, P. Gorenstein, and J. L. Wood, Nucl. Instr. Meth. B 132, 528 (1997).

Wu, W.

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, Z. Zhang, Y. Xu, S. Zhang, W. Wu, F. Wang, B. Wang, L. Liu, L. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 90, 031901 (2007).

H. Wang, J. Zhu, Z. Wang, Z. Zhang, S. Zhang, W. Wu, L. Chen, A. Michette, A. Powell, and S. Pfauntsch, Thin Solid Films 515, 2523 (2006).

Z. Wang, S. Zhang, W. Wu, J. Zhu, H. Wang, C. Li, Y. Xu, F. Wang, Z. Zhang, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 4, 611 (2006).

F. Wang, Z. Wang, J. Zhu, Z. Zhang, W. Wu, S. Zhang, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 4, 550 (2006).

Z. Zhang, Z. Wang, F. Wang, W. Wu, H. Wang, S. Qin, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 3, 422 (2005).

Wu, W. J.

Z. S. Wang, H. C. Wang, J. T. Zhu, Z. Zhang, F. L. Wang, Y. Xu, S. M. Zhang, W. J. Wu, L. Y. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, M. Q. Cui, L. J. Sun, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 90, 081910 (2007).

Wu, Y.

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, Y. Xu, S. M. Zhang, C. Li, F. Wang, Z. Zhang, Y. Wu, X. Cheng, L. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 89, 24120 (2006).

Xu, J.

Xu, Y.

Z. S. Wang, H. C. Wang, J. T. Zhu, Z. Zhang, F. L. Wang, Y. Xu, S. M. Zhang, W. J. Wu, L. Y. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, M. Q. Cui, L. J. Sun, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 90, 081910 (2007).

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, Z. Zhang, Y. Xu, S. Zhang, W. Wu, F. Wang, B. Wang, L. Liu, L. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 90, 031901 (2007).

Z. Wang, S. Zhang, W. Wu, J. Zhu, H. Wang, C. Li, Y. Xu, F. Wang, Z. Zhang, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 4, 611 (2006).

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, Y. Xu, S. M. Zhang, C. Li, F. Wang, Z. Zhang, Y. Wu, X. Cheng, L. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 89, 24120 (2006).

Zhang, S.

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, Z. Zhang, Y. Xu, S. Zhang, W. Wu, F. Wang, B. Wang, L. Liu, L. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 90, 031901 (2007).

H. Wang, J. Zhu, Z. Wang, Z. Zhang, S. Zhang, W. Wu, L. Chen, A. Michette, A. Powell, and S. Pfauntsch, Thin Solid Films 515, 2523 (2006).

Z. Wang, S. Zhang, W. Wu, J. Zhu, H. Wang, C. Li, Y. Xu, F. Wang, Z. Zhang, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 4, 611 (2006).

F. Wang, Z. Wang, J. Zhu, Z. Zhang, W. Wu, S. Zhang, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 4, 550 (2006).

Zhang, S. M.

Z. S. Wang, H. C. Wang, J. T. Zhu, Z. Zhang, F. L. Wang, Y. Xu, S. M. Zhang, W. J. Wu, L. Y. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, M. Q. Cui, L. J. Sun, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 90, 081910 (2007).

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, Y. Xu, S. M. Zhang, C. Li, F. Wang, Z. Zhang, Y. Wu, X. Cheng, L. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 89, 24120 (2006).

Zhang, Z.

M. Dai, Z. Zhang, J. Zhu, X. Wang, J. Xu, X. Fu, L. Bai, Q. Huang, Z. Wang, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 7, 738 (2009).

Z. S. Wang, H. C. Wang, J. T. Zhu, Z. Zhang, F. L. Wang, Y. Xu, S. M. Zhang, W. J. Wu, L. Y. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, M. Q. Cui, L. J. Sun, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 90, 081910 (2007).

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, Z. Zhang, Y. Xu, S. Zhang, W. Wu, F. Wang, B. Wang, L. Liu, L. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 90, 031901 (2007).

H. Wang, J. Zhu, Z. Wang, Z. Zhang, S. Zhang, W. Wu, L. Chen, A. Michette, A. Powell, and S. Pfauntsch, Thin Solid Films 515, 2523 (2006).

F. Wang, Z. Wang, J. Zhu, Z. Zhang, W. Wu, S. Zhang, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 4, 550 (2006).

Z. Wang, S. Zhang, W. Wu, J. Zhu, H. Wang, C. Li, Y. Xu, F. Wang, Z. Zhang, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 4, 611 (2006).

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, Y. Xu, S. M. Zhang, C. Li, F. Wang, Z. Zhang, Y. Wu, X. Cheng, L. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 89, 24120 (2006).

Z. Zhang, Z. Wang, F. Wang, W. Wu, H. Wang, S. Qin, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 3, 422 (2005).

Zhao, J.

Zhu, J.

J. Zhu, H. Li, X. Wang, Q. Huang, Z. Wang, Y. Li, H. Li, D. Wang, J. Zhao, and W. Lu, Chin. Opt. Lett. 8, 167 (2010).

M. Dai, Z. Zhang, J. Zhu, X. Wang, J. Xu, X. Fu, L. Bai, Q. Huang, Z. Wang, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 7, 738 (2009).

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, F. Wang, Z. Gu, L. Chen, A. Michette, A. Powell, S. Pfauntsch, and F. Schafers, J. Appl. Phys. 99, 056108 (2009).

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, Z. Zhang, Y. Xu, S. Zhang, W. Wu, F. Wang, B. Wang, L. Liu, L. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 90, 031901 (2007).

K. Le Guen, H. Maury, J.-M. Andr'e, H. Wang, J. Zhu, Z. Wang, and P. Jonnard, Appl. Surf. Sci. 253, 8443 (2007).

Z. Wang, S. Zhang, W. Wu, J. Zhu, H. Wang, C. Li, Y. Xu, F. Wang, Z. Zhang, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 4, 611 (2006).

F. Wang, Z. Wang, J. Zhu, Z. Zhang, W. Wu, S. Zhang, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 4, 550 (2006).

H. Wang, J. Zhu, Z. Wang, Z. Zhang, S. Zhang, W. Wu, L. Chen, A. Michette, A. Powell, and S. Pfauntsch, Thin Solid Films 515, 2523 (2006).

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, Y. Xu, S. M. Zhang, C. Li, F. Wang, Z. Zhang, Y. Wu, X. Cheng, L. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 89, 24120 (2006).

Zhu, J. T.

Z. S. Wang, H. C. Wang, J. T. Zhu, Z. Zhang, F. L. Wang, Y. Xu, S. M. Zhang, W. J. Wu, L. Y. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, M. Q. Cui, L. J. Sun, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 90, 081910 (2007).

Z. S. Wang, H. C. Wang, J. T. Zhu, F. L. Wang, Z. X. Gu, L. Y. Chen, A. G. Michette, A. K. Powell, S. J. Pfauntsch, and F. Sch¨afers, Opt. Express 14, 2533 (2006).

Ziegler, E.

I. V. Kozhevnikov, I. N. Bukreeva, and E. Ziegler, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 460, 424 (2001).

P. H?gh?j, E. Ziegler, J. Susini, A. K. Freund, K. D. Joensen, P. Gorenstein, and J. L. Wood, Nucl. Instr. Meth. B 132, 528 (1997).

Appl. Opt. (2)

Appl. Phys. Lett. (3)

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, Y. Xu, S. M. Zhang, C. Li, F. Wang, Z. Zhang, Y. Wu, X. Cheng, L. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 89, 24120 (2006).

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, Z. Zhang, Y. Xu, S. Zhang, W. Wu, F. Wang, B. Wang, L. Liu, L. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 90, 031901 (2007).

Z. S. Wang, H. C. Wang, J. T. Zhu, Z. Zhang, F. L. Wang, Y. Xu, S. M. Zhang, W. J. Wu, L. Y. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, M. Q. Cui, L. J. Sun, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 90, 081910 (2007).

Appl. Surf. Sci. (1)

K. Le Guen, H. Maury, J.-M. Andr'e, H. Wang, J. Zhu, Z. Wang, and P. Jonnard, Appl. Surf. Sci. 253, 8443 (2007).

Chin. Opt. Lett. (5)

J. Appl. Phys. (2)

D. G. Stearns, J. Appl. Phys. 71, 4286 (1992).

Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, F. Wang, Z. Gu, L. Chen, A. Michette, A. Powell, S. Pfauntsch, and F. Schafers, J. Appl. Phys. 99, 056108 (2009).

Nucl. Instr. Meth. B (1)

P. H?gh?j, E. Ziegler, J. Susini, A. K. Freund, K. D. Joensen, P. Gorenstein, and J. L. Wood, Nucl. Instr. Meth. B 132, 528 (1997).

Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A (1)

I. V. Kozhevnikov, I. N. Bukreeva, and E. Ziegler, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 460, 424 (2001).

Opt. Express (1)

Proc. SPIE (2)

F. Mezei, Proc. SPIE 1738, 107 (1992).

K. D. Joensen, F. E. Christensen, H. W. Schnopper, P. Gorenstein, J. Susini, P. H?gh?j, R. Hustache, J. Wood, and K. Parker, Proc. SPIE 1736, 239 (1992).

Surf. Sci. (1)

H. Maury, P. Jonnard, J.-M. Andre, J. Gautier, F. Bridou, F. Delmotte, and M.-F. Ravet, Surf. Sci. 601, 2315 (2007).

Thin Solid Films (1)

H. Wang, J. Zhu, Z. Wang, Z. Zhang, S. Zhang, W. Wu, L. Chen, A. Michette, A. Powell, and S. Pfauntsch, Thin Solid Films 515, 2523 (2006).

Other (2)

P. Naulleau "The center for X-ray optics" http://wwwcxro.lbl.gov/ (May 28, 2010).

E. Spiller, Soft X-ray optics (SPIE Press, Belingham, 1994).

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.