Abstract

We report the fabrication of submicrometer pits array (SP-array) on 6H-SiC surface by the interference of two femtosecond laser beams. Formation mechanisms and optical absorption of SP-array are studied. The relative reflectivity and transmissivity of white light decrease to 10% of the values of SiC crystal, and the optical absorption is enhanced to 97%. The relative reflectivity and transmissivity of incident angles within the range of 20o~60o are kept below 25%. The enhancement mechanism of optical absorption of the SP-array is also discussed.

© 2010 Chinese Optics Letters

PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. J. H. Werner, S. Kolodinski, and H. J. Queisser, Phys. Rev. Lett. 72, 3851 (1994).
  2. Q. Z. Zhao, F. Ciobanu, S. Malzer, and L. J. Wang, Appl. Phys. Lett. 91, 121107 (2007).
  3. P. Campbell, J. Opt. Soc. Am. B 10, 2410 (1993).
  4. C. Wu, C. H. Crouch, L. Zhao, J. E. Carey, R. Younkin, J. A. Levinson, E. Mazur, R. M. Farrell, P. Gothoskar, and A. Karger, Appl. Phys. Lett. 78, 1850 (2001).
  5. L. Hu and G. Chen, Nano Lett. 7, 3249 (2007).
  6. J. Zhu, Z. Yu, G. F. Burkhard, C.-M. Hsu, S. T. Connor, Y. Xu, Q. Wang, M. McGehee, S. Fan, and Y. Cui, Nano Lett. 9, 279 (2009).
  7. S. Matsuo, S. Kiyama, Y. Shichijo, T. Tomita, S. Hashimoto, Y. Hosokawa, and H. Masuhara, Appl. Phys. Lett. 93, 051107 (2008).
  8. F. He, Y. Cheng, L. Qiao, C. Wang, Z. Xu, K. Sugioka, K. Midorikawa, and J. Wu, Appl. Phy. Lett. 96, 041108 (2010).
  9. K. Sugioka, Y. Cheng, K. Midorikawa, F. Takase, and H. Takai, Opt. Lett. 31, 208 (2006).
  10. T. Jia, M. Baba, M. Suzuki, R. A. Ganeev, H. Kuroda, J. Qiu, X. Wang, R. Li, and Z. Xu, Opt. Express 16, 1874 (2008).
  11. Y. Dong, X. Yu, Y. Sun, Y. Li, X. Hou, and X. Zhang, Chin. Opt. Lett. 5, 191 (2007).
  12. Y. Wu, C.-Y. Wang, W. Jia, X. Ni, M. Hu, and L. Chai, Chin. Opt. Lett. 6, 51 (2008).
  13. Y. Shimotsuma, P. G. Kazansky, J. Qiu, and K. Hirao, Phys. Rev. Lett. 91, 247405 (2003).
  14. N. Yasumaru, K. Miyazaki, and J. Kiuchi, Appl. Phys. A 76, 983 (2003).
  15. G. Miyaji and K. Miyazaki, Opt. Express 16, 16265 (2008).
  16. F. Costache, M. Henyk, and J. Reif, Appl. Surf. Sci. 186, 352 (2002).
  17. N. G. Wright, A. B. Horsfall, and K. Vassilevski, Mater. Today 11, 16 (2008).
  18. J. E. Sipe, J. F. Young, J. S. Preston, and H. M. van Driel, Phys. Rev. B 27, 1141 (1983).
  19. J. Young, J. S. Prestion, H. M. van Driel, and J. E. Sipe, Phys. Rev. B 27, 1155 (1983).

2010 (1)

F. He, Y. Cheng, L. Qiao, C. Wang, Z. Xu, K. Sugioka, K. Midorikawa, and J. Wu, Appl. Phy. Lett. 96, 041108 (2010).

2009 (1)

J. Zhu, Z. Yu, G. F. Burkhard, C.-M. Hsu, S. T. Connor, Y. Xu, Q. Wang, M. McGehee, S. Fan, and Y. Cui, Nano Lett. 9, 279 (2009).

2008 (5)

S. Matsuo, S. Kiyama, Y. Shichijo, T. Tomita, S. Hashimoto, Y. Hosokawa, and H. Masuhara, Appl. Phys. Lett. 93, 051107 (2008).

T. Jia, M. Baba, M. Suzuki, R. A. Ganeev, H. Kuroda, J. Qiu, X. Wang, R. Li, and Z. Xu, Opt. Express 16, 1874 (2008).

Y. Wu, C.-Y. Wang, W. Jia, X. Ni, M. Hu, and L. Chai, Chin. Opt. Lett. 6, 51 (2008).

G. Miyaji and K. Miyazaki, Opt. Express 16, 16265 (2008).

N. G. Wright, A. B. Horsfall, and K. Vassilevski, Mater. Today 11, 16 (2008).

2007 (3)

Y. Dong, X. Yu, Y. Sun, Y. Li, X. Hou, and X. Zhang, Chin. Opt. Lett. 5, 191 (2007).

Q. Z. Zhao, F. Ciobanu, S. Malzer, and L. J. Wang, Appl. Phys. Lett. 91, 121107 (2007).

L. Hu and G. Chen, Nano Lett. 7, 3249 (2007).

2006 (1)

2003 (2)

Y. Shimotsuma, P. G. Kazansky, J. Qiu, and K. Hirao, Phys. Rev. Lett. 91, 247405 (2003).

N. Yasumaru, K. Miyazaki, and J. Kiuchi, Appl. Phys. A 76, 983 (2003).

2002 (1)

F. Costache, M. Henyk, and J. Reif, Appl. Surf. Sci. 186, 352 (2002).

2001 (1)

C. Wu, C. H. Crouch, L. Zhao, J. E. Carey, R. Younkin, J. A. Levinson, E. Mazur, R. M. Farrell, P. Gothoskar, and A. Karger, Appl. Phys. Lett. 78, 1850 (2001).

1994 (1)

J. H. Werner, S. Kolodinski, and H. J. Queisser, Phys. Rev. Lett. 72, 3851 (1994).

1993 (1)

1983 (2)

J. E. Sipe, J. F. Young, J. S. Preston, and H. M. van Driel, Phys. Rev. B 27, 1141 (1983).

J. Young, J. S. Prestion, H. M. van Driel, and J. E. Sipe, Phys. Rev. B 27, 1155 (1983).

Baba, M.

Burkhard, G. F.

J. Zhu, Z. Yu, G. F. Burkhard, C.-M. Hsu, S. T. Connor, Y. Xu, Q. Wang, M. McGehee, S. Fan, and Y. Cui, Nano Lett. 9, 279 (2009).

Campbell, P.

Carey, J. E.

C. Wu, C. H. Crouch, L. Zhao, J. E. Carey, R. Younkin, J. A. Levinson, E. Mazur, R. M. Farrell, P. Gothoskar, and A. Karger, Appl. Phys. Lett. 78, 1850 (2001).

Chai, L.

Chen, G.

L. Hu and G. Chen, Nano Lett. 7, 3249 (2007).

Cheng, Y.

F. He, Y. Cheng, L. Qiao, C. Wang, Z. Xu, K. Sugioka, K. Midorikawa, and J. Wu, Appl. Phy. Lett. 96, 041108 (2010).

K. Sugioka, Y. Cheng, K. Midorikawa, F. Takase, and H. Takai, Opt. Lett. 31, 208 (2006).

Ciobanu, F.

Q. Z. Zhao, F. Ciobanu, S. Malzer, and L. J. Wang, Appl. Phys. Lett. 91, 121107 (2007).

Connor, S. T.

J. Zhu, Z. Yu, G. F. Burkhard, C.-M. Hsu, S. T. Connor, Y. Xu, Q. Wang, M. McGehee, S. Fan, and Y. Cui, Nano Lett. 9, 279 (2009).

Costache, F.

F. Costache, M. Henyk, and J. Reif, Appl. Surf. Sci. 186, 352 (2002).

Crouch, C. H.

C. Wu, C. H. Crouch, L. Zhao, J. E. Carey, R. Younkin, J. A. Levinson, E. Mazur, R. M. Farrell, P. Gothoskar, and A. Karger, Appl. Phys. Lett. 78, 1850 (2001).

Cui, Y.

J. Zhu, Z. Yu, G. F. Burkhard, C.-M. Hsu, S. T. Connor, Y. Xu, Q. Wang, M. McGehee, S. Fan, and Y. Cui, Nano Lett. 9, 279 (2009).

Dong, Y.

Driel, H. M. van

J. E. Sipe, J. F. Young, J. S. Preston, and H. M. van Driel, Phys. Rev. B 27, 1141 (1983).

J. Young, J. S. Prestion, H. M. van Driel, and J. E. Sipe, Phys. Rev. B 27, 1155 (1983).

Fan, S.

J. Zhu, Z. Yu, G. F. Burkhard, C.-M. Hsu, S. T. Connor, Y. Xu, Q. Wang, M. McGehee, S. Fan, and Y. Cui, Nano Lett. 9, 279 (2009).

Farrell, R. M.

C. Wu, C. H. Crouch, L. Zhao, J. E. Carey, R. Younkin, J. A. Levinson, E. Mazur, R. M. Farrell, P. Gothoskar, and A. Karger, Appl. Phys. Lett. 78, 1850 (2001).

Ganeev, R. A.

Gothoskar, P.

C. Wu, C. H. Crouch, L. Zhao, J. E. Carey, R. Younkin, J. A. Levinson, E. Mazur, R. M. Farrell, P. Gothoskar, and A. Karger, Appl. Phys. Lett. 78, 1850 (2001).

Hashimoto, S.

S. Matsuo, S. Kiyama, Y. Shichijo, T. Tomita, S. Hashimoto, Y. Hosokawa, and H. Masuhara, Appl. Phys. Lett. 93, 051107 (2008).

He, F.

F. He, Y. Cheng, L. Qiao, C. Wang, Z. Xu, K. Sugioka, K. Midorikawa, and J. Wu, Appl. Phy. Lett. 96, 041108 (2010).

Henyk, M.

F. Costache, M. Henyk, and J. Reif, Appl. Surf. Sci. 186, 352 (2002).

Hirao, K.

Y. Shimotsuma, P. G. Kazansky, J. Qiu, and K. Hirao, Phys. Rev. Lett. 91, 247405 (2003).

Horsfall, A. B.

N. G. Wright, A. B. Horsfall, and K. Vassilevski, Mater. Today 11, 16 (2008).

Hosokawa, Y.

S. Matsuo, S. Kiyama, Y. Shichijo, T. Tomita, S. Hashimoto, Y. Hosokawa, and H. Masuhara, Appl. Phys. Lett. 93, 051107 (2008).

Hou, X.

Hsu, C.-M.

J. Zhu, Z. Yu, G. F. Burkhard, C.-M. Hsu, S. T. Connor, Y. Xu, Q. Wang, M. McGehee, S. Fan, and Y. Cui, Nano Lett. 9, 279 (2009).

Hu, L.

L. Hu and G. Chen, Nano Lett. 7, 3249 (2007).

Hu, M.

Jia, T.

Jia, W.

Karger, A.

C. Wu, C. H. Crouch, L. Zhao, J. E. Carey, R. Younkin, J. A. Levinson, E. Mazur, R. M. Farrell, P. Gothoskar, and A. Karger, Appl. Phys. Lett. 78, 1850 (2001).

Kazansky, P. G.

Y. Shimotsuma, P. G. Kazansky, J. Qiu, and K. Hirao, Phys. Rev. Lett. 91, 247405 (2003).

Kiuchi, J.

N. Yasumaru, K. Miyazaki, and J. Kiuchi, Appl. Phys. A 76, 983 (2003).

Kiyama, S.

S. Matsuo, S. Kiyama, Y. Shichijo, T. Tomita, S. Hashimoto, Y. Hosokawa, and H. Masuhara, Appl. Phys. Lett. 93, 051107 (2008).

Kolodinski, S.

J. H. Werner, S. Kolodinski, and H. J. Queisser, Phys. Rev. Lett. 72, 3851 (1994).

Kuroda, H.

Levinson, J. A.

C. Wu, C. H. Crouch, L. Zhao, J. E. Carey, R. Younkin, J. A. Levinson, E. Mazur, R. M. Farrell, P. Gothoskar, and A. Karger, Appl. Phys. Lett. 78, 1850 (2001).

Li, R.

Li, Y.

Malzer, S.

Q. Z. Zhao, F. Ciobanu, S. Malzer, and L. J. Wang, Appl. Phys. Lett. 91, 121107 (2007).

Masuhara, H.

S. Matsuo, S. Kiyama, Y. Shichijo, T. Tomita, S. Hashimoto, Y. Hosokawa, and H. Masuhara, Appl. Phys. Lett. 93, 051107 (2008).

Matsuo, S.

S. Matsuo, S. Kiyama, Y. Shichijo, T. Tomita, S. Hashimoto, Y. Hosokawa, and H. Masuhara, Appl. Phys. Lett. 93, 051107 (2008).

Mazur, E.

C. Wu, C. H. Crouch, L. Zhao, J. E. Carey, R. Younkin, J. A. Levinson, E. Mazur, R. M. Farrell, P. Gothoskar, and A. Karger, Appl. Phys. Lett. 78, 1850 (2001).

McGehee, M.

J. Zhu, Z. Yu, G. F. Burkhard, C.-M. Hsu, S. T. Connor, Y. Xu, Q. Wang, M. McGehee, S. Fan, and Y. Cui, Nano Lett. 9, 279 (2009).

Midorikawa, K.

F. He, Y. Cheng, L. Qiao, C. Wang, Z. Xu, K. Sugioka, K. Midorikawa, and J. Wu, Appl. Phy. Lett. 96, 041108 (2010).

K. Sugioka, Y. Cheng, K. Midorikawa, F. Takase, and H. Takai, Opt. Lett. 31, 208 (2006).

Miyaji, G.

Miyazaki, K.

G. Miyaji and K. Miyazaki, Opt. Express 16, 16265 (2008).

N. Yasumaru, K. Miyazaki, and J. Kiuchi, Appl. Phys. A 76, 983 (2003).

Ni, X.

Prestion, J. S.

J. Young, J. S. Prestion, H. M. van Driel, and J. E. Sipe, Phys. Rev. B 27, 1155 (1983).

Preston, J. S.

J. E. Sipe, J. F. Young, J. S. Preston, and H. M. van Driel, Phys. Rev. B 27, 1141 (1983).

Qiao, L.

F. He, Y. Cheng, L. Qiao, C. Wang, Z. Xu, K. Sugioka, K. Midorikawa, and J. Wu, Appl. Phy. Lett. 96, 041108 (2010).

Qiu, J.

T. Jia, M. Baba, M. Suzuki, R. A. Ganeev, H. Kuroda, J. Qiu, X. Wang, R. Li, and Z. Xu, Opt. Express 16, 1874 (2008).

Y. Shimotsuma, P. G. Kazansky, J. Qiu, and K. Hirao, Phys. Rev. Lett. 91, 247405 (2003).

Queisser, H. J.

J. H. Werner, S. Kolodinski, and H. J. Queisser, Phys. Rev. Lett. 72, 3851 (1994).

Reif, J.

F. Costache, M. Henyk, and J. Reif, Appl. Surf. Sci. 186, 352 (2002).

Shichijo, Y.

S. Matsuo, S. Kiyama, Y. Shichijo, T. Tomita, S. Hashimoto, Y. Hosokawa, and H. Masuhara, Appl. Phys. Lett. 93, 051107 (2008).

Shimotsuma, Y.

Y. Shimotsuma, P. G. Kazansky, J. Qiu, and K. Hirao, Phys. Rev. Lett. 91, 247405 (2003).

Sipe, J. E.

J. E. Sipe, J. F. Young, J. S. Preston, and H. M. van Driel, Phys. Rev. B 27, 1141 (1983).

J. Young, J. S. Prestion, H. M. van Driel, and J. E. Sipe, Phys. Rev. B 27, 1155 (1983).

Sugioka, K.

F. He, Y. Cheng, L. Qiao, C. Wang, Z. Xu, K. Sugioka, K. Midorikawa, and J. Wu, Appl. Phy. Lett. 96, 041108 (2010).

K. Sugioka, Y. Cheng, K. Midorikawa, F. Takase, and H. Takai, Opt. Lett. 31, 208 (2006).

Sun, Y.

Suzuki, M.

Takai, H.

Takase, F.

Tomita, T.

S. Matsuo, S. Kiyama, Y. Shichijo, T. Tomita, S. Hashimoto, Y. Hosokawa, and H. Masuhara, Appl. Phys. Lett. 93, 051107 (2008).

Vassilevski, K.

N. G. Wright, A. B. Horsfall, and K. Vassilevski, Mater. Today 11, 16 (2008).

Wang, C.

F. He, Y. Cheng, L. Qiao, C. Wang, Z. Xu, K. Sugioka, K. Midorikawa, and J. Wu, Appl. Phy. Lett. 96, 041108 (2010).

Wang, C.-Y.

Wang, L. J.

Q. Z. Zhao, F. Ciobanu, S. Malzer, and L. J. Wang, Appl. Phys. Lett. 91, 121107 (2007).

Wang, Q.

J. Zhu, Z. Yu, G. F. Burkhard, C.-M. Hsu, S. T. Connor, Y. Xu, Q. Wang, M. McGehee, S. Fan, and Y. Cui, Nano Lett. 9, 279 (2009).

Wang, X.

Werner, J. H.

J. H. Werner, S. Kolodinski, and H. J. Queisser, Phys. Rev. Lett. 72, 3851 (1994).

Wright, N. G.

N. G. Wright, A. B. Horsfall, and K. Vassilevski, Mater. Today 11, 16 (2008).

Wu, C.

C. Wu, C. H. Crouch, L. Zhao, J. E. Carey, R. Younkin, J. A. Levinson, E. Mazur, R. M. Farrell, P. Gothoskar, and A. Karger, Appl. Phys. Lett. 78, 1850 (2001).

Wu, J.

F. He, Y. Cheng, L. Qiao, C. Wang, Z. Xu, K. Sugioka, K. Midorikawa, and J. Wu, Appl. Phy. Lett. 96, 041108 (2010).

Wu, Y.

Xu, Y.

J. Zhu, Z. Yu, G. F. Burkhard, C.-M. Hsu, S. T. Connor, Y. Xu, Q. Wang, M. McGehee, S. Fan, and Y. Cui, Nano Lett. 9, 279 (2009).

Xu, Z.

F. He, Y. Cheng, L. Qiao, C. Wang, Z. Xu, K. Sugioka, K. Midorikawa, and J. Wu, Appl. Phy. Lett. 96, 041108 (2010).

T. Jia, M. Baba, M. Suzuki, R. A. Ganeev, H. Kuroda, J. Qiu, X. Wang, R. Li, and Z. Xu, Opt. Express 16, 1874 (2008).

Yasumaru, N.

N. Yasumaru, K. Miyazaki, and J. Kiuchi, Appl. Phys. A 76, 983 (2003).

Young, J.

J. Young, J. S. Prestion, H. M. van Driel, and J. E. Sipe, Phys. Rev. B 27, 1155 (1983).

Young, J. F.

J. E. Sipe, J. F. Young, J. S. Preston, and H. M. van Driel, Phys. Rev. B 27, 1141 (1983).

Younkin, R.

C. Wu, C. H. Crouch, L. Zhao, J. E. Carey, R. Younkin, J. A. Levinson, E. Mazur, R. M. Farrell, P. Gothoskar, and A. Karger, Appl. Phys. Lett. 78, 1850 (2001).

Yu, X.

Yu, Z.

J. Zhu, Z. Yu, G. F. Burkhard, C.-M. Hsu, S. T. Connor, Y. Xu, Q. Wang, M. McGehee, S. Fan, and Y. Cui, Nano Lett. 9, 279 (2009).

Zhang, X.

Zhao, L.

C. Wu, C. H. Crouch, L. Zhao, J. E. Carey, R. Younkin, J. A. Levinson, E. Mazur, R. M. Farrell, P. Gothoskar, and A. Karger, Appl. Phys. Lett. 78, 1850 (2001).

Zhao, Q. Z.

Q. Z. Zhao, F. Ciobanu, S. Malzer, and L. J. Wang, Appl. Phys. Lett. 91, 121107 (2007).

Zhu, J.

J. Zhu, Z. Yu, G. F. Burkhard, C.-M. Hsu, S. T. Connor, Y. Xu, Q. Wang, M. McGehee, S. Fan, and Y. Cui, Nano Lett. 9, 279 (2009).

Appl. Phy. Lett. (1)

F. He, Y. Cheng, L. Qiao, C. Wang, Z. Xu, K. Sugioka, K. Midorikawa, and J. Wu, Appl. Phy. Lett. 96, 041108 (2010).

Appl. Phys. A (1)

N. Yasumaru, K. Miyazaki, and J. Kiuchi, Appl. Phys. A 76, 983 (2003).

Appl. Phys. Lett. (3)

S. Matsuo, S. Kiyama, Y. Shichijo, T. Tomita, S. Hashimoto, Y. Hosokawa, and H. Masuhara, Appl. Phys. Lett. 93, 051107 (2008).

Q. Z. Zhao, F. Ciobanu, S. Malzer, and L. J. Wang, Appl. Phys. Lett. 91, 121107 (2007).

C. Wu, C. H. Crouch, L. Zhao, J. E. Carey, R. Younkin, J. A. Levinson, E. Mazur, R. M. Farrell, P. Gothoskar, and A. Karger, Appl. Phys. Lett. 78, 1850 (2001).

Appl. Surf. Sci. (1)

F. Costache, M. Henyk, and J. Reif, Appl. Surf. Sci. 186, 352 (2002).

Chin. Opt. Lett. (2)

J. Opt. Soc. Am. B (1)

Mater. Today (1)

N. G. Wright, A. B. Horsfall, and K. Vassilevski, Mater. Today 11, 16 (2008).

Nano Lett. (2)

L. Hu and G. Chen, Nano Lett. 7, 3249 (2007).

J. Zhu, Z. Yu, G. F. Burkhard, C.-M. Hsu, S. T. Connor, Y. Xu, Q. Wang, M. McGehee, S. Fan, and Y. Cui, Nano Lett. 9, 279 (2009).

Opt. Express (2)

Opt. Lett. (1)

Phys. Rev. B (2)

J. E. Sipe, J. F. Young, J. S. Preston, and H. M. van Driel, Phys. Rev. B 27, 1141 (1983).

J. Young, J. S. Prestion, H. M. van Driel, and J. E. Sipe, Phys. Rev. B 27, 1155 (1983).

Phys. Rev. Lett. (2)

Y. Shimotsuma, P. G. Kazansky, J. Qiu, and K. Hirao, Phys. Rev. Lett. 91, 247405 (2003).

J. H. Werner, S. Kolodinski, and H. J. Queisser, Phys. Rev. Lett. 72, 3851 (1994).

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.