Abstract

All-reflective optical systems, due to their material absorption and low refractive index, are used to create the most suitable devices in extreme ultraviolet lithography (EUVL). In this letter, we present a design for an all-reflective lithographic projection lens. We also discuss its design idea and structural system. After analysis of the four-mirror optical system, the initial structural parameters are determined, the optical system is optimized, and the tolerances of the system are analyzed. We also show the implementation of optimal layout and desired imaging performance.

© 2010 Chinese Optics Letters

PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. L. Qiu, Microfabrication Technology (in Chinese) (2) 1(2003).
  2. K. Murakami, T. Oshino, H. Kondo, H. Chiba, H. Komatsuda, K. Nomura, and H. Iwata, Proc. SPIE 6517, 65170J (2007).
  3. K. Kemp and S. Wurm, C. R. Physique 7, 875 (2006).
  4. K. Murakami, T. Oshino, H. Kondo, H. Chiba, K. Nomura, H. Kawai, Y. Kohama, K. Morita, K. Hada, Y. Ohkubo, and T. Miura, Proc. SPIE 7140, 71401C (2008).
  5. R. Jonckheere, G. F. Lorusso, A. M. Goethals, J. Hermans, B. Baudemprez, A. Myers, I. Kim, A. Niroomand, F. Iwamoto, N. Stepanenko, and K. Ronse, Proc. SPIE 6607, 66070H (2007).
  6. H. Qin, X. Li, and S. Shen, Chin. Opt. Lett. 6, 149 (2008).
  7. X. Wang, J. He, X. Pei, P. Shao, J. Chu, and W. Huang, Chin. Opt. Lett. 7, 724 (2009).
  8. Z. Wang, J. Zhu, Z. Zhang, B. Mu, F. Wang, X. Cheng, F. Wang, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 8, 163 (2010).
  9. J. H. Bruning, Proc. SPIE 6520, 652004 (2007).
  10. J. Chang, Z. Weng, H. Jiang, X. Zhang, and X. Cong, Acta Opt. Sin. (in Chinese) 23, 216 (2003).

2010 (1)

Z. Wang, J. Zhu, Z. Zhang, B. Mu, F. Wang, X. Cheng, F. Wang, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 8, 163 (2010).

2009 (1)

2008 (2)

H. Qin, X. Li, and S. Shen, Chin. Opt. Lett. 6, 149 (2008).

K. Murakami, T. Oshino, H. Kondo, H. Chiba, K. Nomura, H. Kawai, Y. Kohama, K. Morita, K. Hada, Y. Ohkubo, and T. Miura, Proc. SPIE 7140, 71401C (2008).

2007 (3)

R. Jonckheere, G. F. Lorusso, A. M. Goethals, J. Hermans, B. Baudemprez, A. Myers, I. Kim, A. Niroomand, F. Iwamoto, N. Stepanenko, and K. Ronse, Proc. SPIE 6607, 66070H (2007).

K. Murakami, T. Oshino, H. Kondo, H. Chiba, H. Komatsuda, K. Nomura, and H. Iwata, Proc. SPIE 6517, 65170J (2007).

J. H. Bruning, Proc. SPIE 6520, 652004 (2007).

2006 (1)

K. Kemp and S. Wurm, C. R. Physique 7, 875 (2006).

2003 (2)

J. Chang, Z. Weng, H. Jiang, X. Zhang, and X. Cong, Acta Opt. Sin. (in Chinese) 23, 216 (2003).

L. Qiu, Microfabrication Technology (in Chinese) (2) 1(2003).

Baudemprez, B.

R. Jonckheere, G. F. Lorusso, A. M. Goethals, J. Hermans, B. Baudemprez, A. Myers, I. Kim, A. Niroomand, F. Iwamoto, N. Stepanenko, and K. Ronse, Proc. SPIE 6607, 66070H (2007).

Bruning, J. H.

J. H. Bruning, Proc. SPIE 6520, 652004 (2007).

Chang, J.

J. Chang, Z. Weng, H. Jiang, X. Zhang, and X. Cong, Acta Opt. Sin. (in Chinese) 23, 216 (2003).

Chen, L.

Z. Wang, J. Zhu, Z. Zhang, B. Mu, F. Wang, X. Cheng, F. Wang, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 8, 163 (2010).

Cheng, X.

Z. Wang, J. Zhu, Z. Zhang, B. Mu, F. Wang, X. Cheng, F. Wang, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 8, 163 (2010).

Chiba, H.

K. Murakami, T. Oshino, H. Kondo, H. Chiba, K. Nomura, H. Kawai, Y. Kohama, K. Morita, K. Hada, Y. Ohkubo, and T. Miura, Proc. SPIE 7140, 71401C (2008).

K. Murakami, T. Oshino, H. Kondo, H. Chiba, H. Komatsuda, K. Nomura, and H. Iwata, Proc. SPIE 6517, 65170J (2007).

Chu, J.

Cong, X.

J. Chang, Z. Weng, H. Jiang, X. Zhang, and X. Cong, Acta Opt. Sin. (in Chinese) 23, 216 (2003).

Goethals, A. M.

R. Jonckheere, G. F. Lorusso, A. M. Goethals, J. Hermans, B. Baudemprez, A. Myers, I. Kim, A. Niroomand, F. Iwamoto, N. Stepanenko, and K. Ronse, Proc. SPIE 6607, 66070H (2007).

Hada, K.

K. Murakami, T. Oshino, H. Kondo, H. Chiba, K. Nomura, H. Kawai, Y. Kohama, K. Morita, K. Hada, Y. Ohkubo, and T. Miura, Proc. SPIE 7140, 71401C (2008).

He, J.

Hermans, J.

R. Jonckheere, G. F. Lorusso, A. M. Goethals, J. Hermans, B. Baudemprez, A. Myers, I. Kim, A. Niroomand, F. Iwamoto, N. Stepanenko, and K. Ronse, Proc. SPIE 6607, 66070H (2007).

Huang, W.

Iwamoto, F.

R. Jonckheere, G. F. Lorusso, A. M. Goethals, J. Hermans, B. Baudemprez, A. Myers, I. Kim, A. Niroomand, F. Iwamoto, N. Stepanenko, and K. Ronse, Proc. SPIE 6607, 66070H (2007).

Iwata, H.

K. Murakami, T. Oshino, H. Kondo, H. Chiba, H. Komatsuda, K. Nomura, and H. Iwata, Proc. SPIE 6517, 65170J (2007).

Jiang, H.

J. Chang, Z. Weng, H. Jiang, X. Zhang, and X. Cong, Acta Opt. Sin. (in Chinese) 23, 216 (2003).

Jonckheere, R.

R. Jonckheere, G. F. Lorusso, A. M. Goethals, J. Hermans, B. Baudemprez, A. Myers, I. Kim, A. Niroomand, F. Iwamoto, N. Stepanenko, and K. Ronse, Proc. SPIE 6607, 66070H (2007).

Kawai, H.

K. Murakami, T. Oshino, H. Kondo, H. Chiba, K. Nomura, H. Kawai, Y. Kohama, K. Morita, K. Hada, Y. Ohkubo, and T. Miura, Proc. SPIE 7140, 71401C (2008).

Kemp, K.

K. Kemp and S. Wurm, C. R. Physique 7, 875 (2006).

Kim, I.

R. Jonckheere, G. F. Lorusso, A. M. Goethals, J. Hermans, B. Baudemprez, A. Myers, I. Kim, A. Niroomand, F. Iwamoto, N. Stepanenko, and K. Ronse, Proc. SPIE 6607, 66070H (2007).

Kohama, Y.

K. Murakami, T. Oshino, H. Kondo, H. Chiba, K. Nomura, H. Kawai, Y. Kohama, K. Morita, K. Hada, Y. Ohkubo, and T. Miura, Proc. SPIE 7140, 71401C (2008).

Komatsuda, H.

K. Murakami, T. Oshino, H. Kondo, H. Chiba, H. Komatsuda, K. Nomura, and H. Iwata, Proc. SPIE 6517, 65170J (2007).

Kondo, H.

K. Murakami, T. Oshino, H. Kondo, H. Chiba, K. Nomura, H. Kawai, Y. Kohama, K. Morita, K. Hada, Y. Ohkubo, and T. Miura, Proc. SPIE 7140, 71401C (2008).

K. Murakami, T. Oshino, H. Kondo, H. Chiba, H. Komatsuda, K. Nomura, and H. Iwata, Proc. SPIE 6517, 65170J (2007).

Li, X.

Lorusso, G. F.

R. Jonckheere, G. F. Lorusso, A. M. Goethals, J. Hermans, B. Baudemprez, A. Myers, I. Kim, A. Niroomand, F. Iwamoto, N. Stepanenko, and K. Ronse, Proc. SPIE 6607, 66070H (2007).

Miura, T.

K. Murakami, T. Oshino, H. Kondo, H. Chiba, K. Nomura, H. Kawai, Y. Kohama, K. Morita, K. Hada, Y. Ohkubo, and T. Miura, Proc. SPIE 7140, 71401C (2008).

Morita, K.

K. Murakami, T. Oshino, H. Kondo, H. Chiba, K. Nomura, H. Kawai, Y. Kohama, K. Morita, K. Hada, Y. Ohkubo, and T. Miura, Proc. SPIE 7140, 71401C (2008).

Mu, B.

Z. Wang, J. Zhu, Z. Zhang, B. Mu, F. Wang, X. Cheng, F. Wang, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 8, 163 (2010).

Murakami, K.

K. Murakami, T. Oshino, H. Kondo, H. Chiba, K. Nomura, H. Kawai, Y. Kohama, K. Morita, K. Hada, Y. Ohkubo, and T. Miura, Proc. SPIE 7140, 71401C (2008).

K. Murakami, T. Oshino, H. Kondo, H. Chiba, H. Komatsuda, K. Nomura, and H. Iwata, Proc. SPIE 6517, 65170J (2007).

Myers, A.

R. Jonckheere, G. F. Lorusso, A. M. Goethals, J. Hermans, B. Baudemprez, A. Myers, I. Kim, A. Niroomand, F. Iwamoto, N. Stepanenko, and K. Ronse, Proc. SPIE 6607, 66070H (2007).

Niroomand, A.

R. Jonckheere, G. F. Lorusso, A. M. Goethals, J. Hermans, B. Baudemprez, A. Myers, I. Kim, A. Niroomand, F. Iwamoto, N. Stepanenko, and K. Ronse, Proc. SPIE 6607, 66070H (2007).

Nomura, K.

K. Murakami, T. Oshino, H. Kondo, H. Chiba, K. Nomura, H. Kawai, Y. Kohama, K. Morita, K. Hada, Y. Ohkubo, and T. Miura, Proc. SPIE 7140, 71401C (2008).

K. Murakami, T. Oshino, H. Kondo, H. Chiba, H. Komatsuda, K. Nomura, and H. Iwata, Proc. SPIE 6517, 65170J (2007).

Ohkubo, Y.

K. Murakami, T. Oshino, H. Kondo, H. Chiba, K. Nomura, H. Kawai, Y. Kohama, K. Morita, K. Hada, Y. Ohkubo, and T. Miura, Proc. SPIE 7140, 71401C (2008).

Oshino, T.

K. Murakami, T. Oshino, H. Kondo, H. Chiba, K. Nomura, H. Kawai, Y. Kohama, K. Morita, K. Hada, Y. Ohkubo, and T. Miura, Proc. SPIE 7140, 71401C (2008).

K. Murakami, T. Oshino, H. Kondo, H. Chiba, H. Komatsuda, K. Nomura, and H. Iwata, Proc. SPIE 6517, 65170J (2007).

Pei, X.

Qin, H.

Qiu, L.

L. Qiu, Microfabrication Technology (in Chinese) (2) 1(2003).

Ronse, K.

R. Jonckheere, G. F. Lorusso, A. M. Goethals, J. Hermans, B. Baudemprez, A. Myers, I. Kim, A. Niroomand, F. Iwamoto, N. Stepanenko, and K. Ronse, Proc. SPIE 6607, 66070H (2007).

Shao, P.

Shen, S.

Stepanenko, N.

R. Jonckheere, G. F. Lorusso, A. M. Goethals, J. Hermans, B. Baudemprez, A. Myers, I. Kim, A. Niroomand, F. Iwamoto, N. Stepanenko, and K. Ronse, Proc. SPIE 6607, 66070H (2007).

Wang, F.

Z. Wang, J. Zhu, Z. Zhang, B. Mu, F. Wang, X. Cheng, F. Wang, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 8, 163 (2010).

Z. Wang, J. Zhu, Z. Zhang, B. Mu, F. Wang, X. Cheng, F. Wang, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 8, 163 (2010).

Wang, X.

Wang, Z.

Z. Wang, J. Zhu, Z. Zhang, B. Mu, F. Wang, X. Cheng, F. Wang, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 8, 163 (2010).

Weng, Z.

J. Chang, Z. Weng, H. Jiang, X. Zhang, and X. Cong, Acta Opt. Sin. (in Chinese) 23, 216 (2003).

Wurm, S.

K. Kemp and S. Wurm, C. R. Physique 7, 875 (2006).

Zhang, X.

J. Chang, Z. Weng, H. Jiang, X. Zhang, and X. Cong, Acta Opt. Sin. (in Chinese) 23, 216 (2003).

Zhang, Z.

Z. Wang, J. Zhu, Z. Zhang, B. Mu, F. Wang, X. Cheng, F. Wang, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 8, 163 (2010).

Zhu, J.

Z. Wang, J. Zhu, Z. Zhang, B. Mu, F. Wang, X. Cheng, F. Wang, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 8, 163 (2010).

Acta Opt. Sin. (in Chinese) (1)

J. Chang, Z. Weng, H. Jiang, X. Zhang, and X. Cong, Acta Opt. Sin. (in Chinese) 23, 216 (2003).

C. R. Physique (1)

K. Kemp and S. Wurm, C. R. Physique 7, 875 (2006).

Chin. Opt. Lett. (3)

H. Qin, X. Li, and S. Shen, Chin. Opt. Lett. 6, 149 (2008).

X. Wang, J. He, X. Pei, P. Shao, J. Chu, and W. Huang, Chin. Opt. Lett. 7, 724 (2009).

Z. Wang, J. Zhu, Z. Zhang, B. Mu, F. Wang, X. Cheng, F. Wang, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 8, 163 (2010).

Microfabrication Technology (in Chinese) (1)

L. Qiu, Microfabrication Technology (in Chinese) (2) 1(2003).

Proc. SPIE (4)

K. Murakami, T. Oshino, H. Kondo, H. Chiba, H. Komatsuda, K. Nomura, and H. Iwata, Proc. SPIE 6517, 65170J (2007).

K. Murakami, T. Oshino, H. Kondo, H. Chiba, K. Nomura, H. Kawai, Y. Kohama, K. Morita, K. Hada, Y. Ohkubo, and T. Miura, Proc. SPIE 7140, 71401C (2008).

R. Jonckheere, G. F. Lorusso, A. M. Goethals, J. Hermans, B. Baudemprez, A. Myers, I. Kim, A. Niroomand, F. Iwamoto, N. Stepanenko, and K. Ronse, Proc. SPIE 6607, 66070H (2007).

J. H. Bruning, Proc. SPIE 6520, 652004 (2007).

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.