Abstract

The X-ray Kirkpatrick-Baez (KB) imaging experiment with single layer is implemented. Based on the astigmatism aberration and residual geometric aberration of a single mirror, a KB system with 16X mean magnification and approximately 0.45\circ razing incidence angle is designed. The mirrors are deposited with an Ir layer of 20-nm thickness. Au grids backlit by X-ray tube of 8 keV are imaged via the KB system on scintillator charge-coupled device (CCD). In the \pm80 \mum field, resolutions of less than 5 \mum are measured. The result is in good agreement with the simulated imaging.

© 2009 Chinese Optics Letters

PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. F. J. Marshall and Q. Su, Rev. Sci. Instrum. 66, 725 (1995).
  2. R. Rosch, J. Y. Boutin, J. P. le Breton, D. Gontier, J. P. Jadaud, C. Reverdin, G. Soullié, G. Lidove, and R. Maroni, Rev. Sci. Instrum. 78, 033704 (2007).
  3. O. V. Gotchev, P. A. Jaanimagi, J. P. Knauer, F. J. Marshall, D. D. Meyerhofer, N. L. Bassett, and J. B. Oliver, Rev. Sci. Instrum. 74, 2178 (2003).
  4. F. J. Marshall, M. M. Allen, J. P. Knauer, J. A. Oertel, and T. Archuleta, Phys. Plasmas 5, 1118 (1998).
  5. R. Chen, F. Wang, and Z. Wang, Chin. Opt. Lett. 6, 310 (2008).
  6. X. Cheng, Z. Wang, Z. Zhang, F. Wang, H. Wang, and L. Chen, Acta Opt. Sin. (in Chinese) 26, 787 (2006).
  7. C. Gu, Z. Wang, B. Mu, F. Wang, Z. Zhang, S. Qin, and L. Chen, Acta Photon. Sin. (in Chinese) 35, 881 (2006).
  8. P. Kirkpatrick and A. V. Baez, J. Opt. Soc. Am. 38, 766 (1948).
  9. B. Mu, S. Yi, S. Huang, and Z. Wang, High Power Laser and Particle Beams (in Chinese) 20, 409 (2008).
  10. O. V. Gotchev, L. J. Hayes, P. A. Jaanimagi, J. P. Knauer, F. J. Marshall, and D. D. Meyerhofer, Rev. Sci. Instrum. 74, 5065 (2003).
  11. G. R. Bennett, Appl. Opt. 40, 4570 (2001).
  12. F. J. Marshall and G. R. Bennett, Rev. Sci. Instrum. 70, 617 (1999).
  13. R. Kodama, N. Ikeda, Y. Kato, Y. Katori, T. Iwai, and K. Takeshi, Proc. SPIE 2523, 165 (1995).
  14. E. Spiller, Soft X-Ray Optics (SPIE, Washington, 1994) pp.23-31.

2008 (2)

R. Chen, F. Wang, and Z. Wang, Chin. Opt. Lett. 6, 310 (2008).

B. Mu, S. Yi, S. Huang, and Z. Wang, High Power Laser and Particle Beams (in Chinese) 20, 409 (2008).

2007 (1)

R. Rosch, J. Y. Boutin, J. P. le Breton, D. Gontier, J. P. Jadaud, C. Reverdin, G. Soullié, G. Lidove, and R. Maroni, Rev. Sci. Instrum. 78, 033704 (2007).

2006 (2)

X. Cheng, Z. Wang, Z. Zhang, F. Wang, H. Wang, and L. Chen, Acta Opt. Sin. (in Chinese) 26, 787 (2006).

C. Gu, Z. Wang, B. Mu, F. Wang, Z. Zhang, S. Qin, and L. Chen, Acta Photon. Sin. (in Chinese) 35, 881 (2006).

2003 (2)

O. V. Gotchev, L. J. Hayes, P. A. Jaanimagi, J. P. Knauer, F. J. Marshall, and D. D. Meyerhofer, Rev. Sci. Instrum. 74, 5065 (2003).

O. V. Gotchev, P. A. Jaanimagi, J. P. Knauer, F. J. Marshall, D. D. Meyerhofer, N. L. Bassett, and J. B. Oliver, Rev. Sci. Instrum. 74, 2178 (2003).

2001 (1)

1999 (1)

F. J. Marshall and G. R. Bennett, Rev. Sci. Instrum. 70, 617 (1999).

1998 (1)

F. J. Marshall, M. M. Allen, J. P. Knauer, J. A. Oertel, and T. Archuleta, Phys. Plasmas 5, 1118 (1998).

1995 (2)

F. J. Marshall and Q. Su, Rev. Sci. Instrum. 66, 725 (1995).

R. Kodama, N. Ikeda, Y. Kato, Y. Katori, T. Iwai, and K. Takeshi, Proc. SPIE 2523, 165 (1995).

1948 (1)

Allen, M. M.

F. J. Marshall, M. M. Allen, J. P. Knauer, J. A. Oertel, and T. Archuleta, Phys. Plasmas 5, 1118 (1998).

Archuleta, T.

F. J. Marshall, M. M. Allen, J. P. Knauer, J. A. Oertel, and T. Archuleta, Phys. Plasmas 5, 1118 (1998).

Baez, A. V.

Bassett, N. L.

O. V. Gotchev, P. A. Jaanimagi, J. P. Knauer, F. J. Marshall, D. D. Meyerhofer, N. L. Bassett, and J. B. Oliver, Rev. Sci. Instrum. 74, 2178 (2003).

Bennett, G. R.

G. R. Bennett, Appl. Opt. 40, 4570 (2001).

F. J. Marshall and G. R. Bennett, Rev. Sci. Instrum. 70, 617 (1999).

Boutin, J. Y.

R. Rosch, J. Y. Boutin, J. P. le Breton, D. Gontier, J. P. Jadaud, C. Reverdin, G. Soullié, G. Lidove, and R. Maroni, Rev. Sci. Instrum. 78, 033704 (2007).

Breton, J. P. le

R. Rosch, J. Y. Boutin, J. P. le Breton, D. Gontier, J. P. Jadaud, C. Reverdin, G. Soullié, G. Lidove, and R. Maroni, Rev. Sci. Instrum. 78, 033704 (2007).

Chen, L.

X. Cheng, Z. Wang, Z. Zhang, F. Wang, H. Wang, and L. Chen, Acta Opt. Sin. (in Chinese) 26, 787 (2006).

C. Gu, Z. Wang, B. Mu, F. Wang, Z. Zhang, S. Qin, and L. Chen, Acta Photon. Sin. (in Chinese) 35, 881 (2006).

Chen, R.

Cheng, X.

X. Cheng, Z. Wang, Z. Zhang, F. Wang, H. Wang, and L. Chen, Acta Opt. Sin. (in Chinese) 26, 787 (2006).

Gontier, D.

R. Rosch, J. Y. Boutin, J. P. le Breton, D. Gontier, J. P. Jadaud, C. Reverdin, G. Soullié, G. Lidove, and R. Maroni, Rev. Sci. Instrum. 78, 033704 (2007).

Gotchev, O. V.

O. V. Gotchev, P. A. Jaanimagi, J. P. Knauer, F. J. Marshall, D. D. Meyerhofer, N. L. Bassett, and J. B. Oliver, Rev. Sci. Instrum. 74, 2178 (2003).

O. V. Gotchev, L. J. Hayes, P. A. Jaanimagi, J. P. Knauer, F. J. Marshall, and D. D. Meyerhofer, Rev. Sci. Instrum. 74, 5065 (2003).

Gu, C.

C. Gu, Z. Wang, B. Mu, F. Wang, Z. Zhang, S. Qin, and L. Chen, Acta Photon. Sin. (in Chinese) 35, 881 (2006).

Hayes, L. J.

O. V. Gotchev, L. J. Hayes, P. A. Jaanimagi, J. P. Knauer, F. J. Marshall, and D. D. Meyerhofer, Rev. Sci. Instrum. 74, 5065 (2003).

Huang, S.

B. Mu, S. Yi, S. Huang, and Z. Wang, High Power Laser and Particle Beams (in Chinese) 20, 409 (2008).

Ikeda, N.

R. Kodama, N. Ikeda, Y. Kato, Y. Katori, T. Iwai, and K. Takeshi, Proc. SPIE 2523, 165 (1995).

Iwai, T.

R. Kodama, N. Ikeda, Y. Kato, Y. Katori, T. Iwai, and K. Takeshi, Proc. SPIE 2523, 165 (1995).

Jaanimagi, P. A.

O. V. Gotchev, L. J. Hayes, P. A. Jaanimagi, J. P. Knauer, F. J. Marshall, and D. D. Meyerhofer, Rev. Sci. Instrum. 74, 5065 (2003).

O. V. Gotchev, P. A. Jaanimagi, J. P. Knauer, F. J. Marshall, D. D. Meyerhofer, N. L. Bassett, and J. B. Oliver, Rev. Sci. Instrum. 74, 2178 (2003).

Jadaud, J. P.

R. Rosch, J. Y. Boutin, J. P. le Breton, D. Gontier, J. P. Jadaud, C. Reverdin, G. Soullié, G. Lidove, and R. Maroni, Rev. Sci. Instrum. 78, 033704 (2007).

Kato, Y.

R. Kodama, N. Ikeda, Y. Kato, Y. Katori, T. Iwai, and K. Takeshi, Proc. SPIE 2523, 165 (1995).

Katori, Y.

R. Kodama, N. Ikeda, Y. Kato, Y. Katori, T. Iwai, and K. Takeshi, Proc. SPIE 2523, 165 (1995).

Kirkpatrick, P.

Knauer, J. P.

O. V. Gotchev, P. A. Jaanimagi, J. P. Knauer, F. J. Marshall, D. D. Meyerhofer, N. L. Bassett, and J. B. Oliver, Rev. Sci. Instrum. 74, 2178 (2003).

O. V. Gotchev, L. J. Hayes, P. A. Jaanimagi, J. P. Knauer, F. J. Marshall, and D. D. Meyerhofer, Rev. Sci. Instrum. 74, 5065 (2003).

F. J. Marshall, M. M. Allen, J. P. Knauer, J. A. Oertel, and T. Archuleta, Phys. Plasmas 5, 1118 (1998).

Kodama, R.

R. Kodama, N. Ikeda, Y. Kato, Y. Katori, T. Iwai, and K. Takeshi, Proc. SPIE 2523, 165 (1995).

Lidove, G.

R. Rosch, J. Y. Boutin, J. P. le Breton, D. Gontier, J. P. Jadaud, C. Reverdin, G. Soullié, G. Lidove, and R. Maroni, Rev. Sci. Instrum. 78, 033704 (2007).

Maroni, R.

R. Rosch, J. Y. Boutin, J. P. le Breton, D. Gontier, J. P. Jadaud, C. Reverdin, G. Soullié, G. Lidove, and R. Maroni, Rev. Sci. Instrum. 78, 033704 (2007).

Marshall, F. J.

O. V. Gotchev, P. A. Jaanimagi, J. P. Knauer, F. J. Marshall, D. D. Meyerhofer, N. L. Bassett, and J. B. Oliver, Rev. Sci. Instrum. 74, 2178 (2003).

O. V. Gotchev, L. J. Hayes, P. A. Jaanimagi, J. P. Knauer, F. J. Marshall, and D. D. Meyerhofer, Rev. Sci. Instrum. 74, 5065 (2003).

F. J. Marshall and G. R. Bennett, Rev. Sci. Instrum. 70, 617 (1999).

F. J. Marshall, M. M. Allen, J. P. Knauer, J. A. Oertel, and T. Archuleta, Phys. Plasmas 5, 1118 (1998).

F. J. Marshall and Q. Su, Rev. Sci. Instrum. 66, 725 (1995).

Meyerhofer, D. D.

O. V. Gotchev, P. A. Jaanimagi, J. P. Knauer, F. J. Marshall, D. D. Meyerhofer, N. L. Bassett, and J. B. Oliver, Rev. Sci. Instrum. 74, 2178 (2003).

O. V. Gotchev, L. J. Hayes, P. A. Jaanimagi, J. P. Knauer, F. J. Marshall, and D. D. Meyerhofer, Rev. Sci. Instrum. 74, 5065 (2003).

Mu, B.

B. Mu, S. Yi, S. Huang, and Z. Wang, High Power Laser and Particle Beams (in Chinese) 20, 409 (2008).

C. Gu, Z. Wang, B. Mu, F. Wang, Z. Zhang, S. Qin, and L. Chen, Acta Photon. Sin. (in Chinese) 35, 881 (2006).

Oertel, J. A.

F. J. Marshall, M. M. Allen, J. P. Knauer, J. A. Oertel, and T. Archuleta, Phys. Plasmas 5, 1118 (1998).

Oliver, J. B.

O. V. Gotchev, P. A. Jaanimagi, J. P. Knauer, F. J. Marshall, D. D. Meyerhofer, N. L. Bassett, and J. B. Oliver, Rev. Sci. Instrum. 74, 2178 (2003).

Qin, S.

C. Gu, Z. Wang, B. Mu, F. Wang, Z. Zhang, S. Qin, and L. Chen, Acta Photon. Sin. (in Chinese) 35, 881 (2006).

Reverdin, C.

R. Rosch, J. Y. Boutin, J. P. le Breton, D. Gontier, J. P. Jadaud, C. Reverdin, G. Soullié, G. Lidove, and R. Maroni, Rev. Sci. Instrum. 78, 033704 (2007).

Rosch, R.

R. Rosch, J. Y. Boutin, J. P. le Breton, D. Gontier, J. P. Jadaud, C. Reverdin, G. Soullié, G. Lidove, and R. Maroni, Rev. Sci. Instrum. 78, 033704 (2007).

Soullié, G.

R. Rosch, J. Y. Boutin, J. P. le Breton, D. Gontier, J. P. Jadaud, C. Reverdin, G. Soullié, G. Lidove, and R. Maroni, Rev. Sci. Instrum. 78, 033704 (2007).

Su, Q.

F. J. Marshall and Q. Su, Rev. Sci. Instrum. 66, 725 (1995).

Takeshi, K.

R. Kodama, N. Ikeda, Y. Kato, Y. Katori, T. Iwai, and K. Takeshi, Proc. SPIE 2523, 165 (1995).

Wang, F.

R. Chen, F. Wang, and Z. Wang, Chin. Opt. Lett. 6, 310 (2008).

C. Gu, Z. Wang, B. Mu, F. Wang, Z. Zhang, S. Qin, and L. Chen, Acta Photon. Sin. (in Chinese) 35, 881 (2006).

X. Cheng, Z. Wang, Z. Zhang, F. Wang, H. Wang, and L. Chen, Acta Opt. Sin. (in Chinese) 26, 787 (2006).

Wang, H.

X. Cheng, Z. Wang, Z. Zhang, F. Wang, H. Wang, and L. Chen, Acta Opt. Sin. (in Chinese) 26, 787 (2006).

Wang, Z.

R. Chen, F. Wang, and Z. Wang, Chin. Opt. Lett. 6, 310 (2008).

B. Mu, S. Yi, S. Huang, and Z. Wang, High Power Laser and Particle Beams (in Chinese) 20, 409 (2008).

X. Cheng, Z. Wang, Z. Zhang, F. Wang, H. Wang, and L. Chen, Acta Opt. Sin. (in Chinese) 26, 787 (2006).

C. Gu, Z. Wang, B. Mu, F. Wang, Z. Zhang, S. Qin, and L. Chen, Acta Photon. Sin. (in Chinese) 35, 881 (2006).

Yi, S.

B. Mu, S. Yi, S. Huang, and Z. Wang, High Power Laser and Particle Beams (in Chinese) 20, 409 (2008).

Zhang, Z.

C. Gu, Z. Wang, B. Mu, F. Wang, Z. Zhang, S. Qin, and L. Chen, Acta Photon. Sin. (in Chinese) 35, 881 (2006).

X. Cheng, Z. Wang, Z. Zhang, F. Wang, H. Wang, and L. Chen, Acta Opt. Sin. (in Chinese) 26, 787 (2006).

Acta Opt. Sin. (in Chinese) (1)

X. Cheng, Z. Wang, Z. Zhang, F. Wang, H. Wang, and L. Chen, Acta Opt. Sin. (in Chinese) 26, 787 (2006).

Acta Photon. Sin. (in Chinese) (1)

C. Gu, Z. Wang, B. Mu, F. Wang, Z. Zhang, S. Qin, and L. Chen, Acta Photon. Sin. (in Chinese) 35, 881 (2006).

Appl. Opt. (1)

Chin. Opt. Lett. (1)

High Power Laser and Particle Beams (in Chinese) (1)

B. Mu, S. Yi, S. Huang, and Z. Wang, High Power Laser and Particle Beams (in Chinese) 20, 409 (2008).

J. Opt. Soc. Am. (1)

Phys. Plasmas (1)

F. J. Marshall, M. M. Allen, J. P. Knauer, J. A. Oertel, and T. Archuleta, Phys. Plasmas 5, 1118 (1998).

Proc. SPIE (1)

R. Kodama, N. Ikeda, Y. Kato, Y. Katori, T. Iwai, and K. Takeshi, Proc. SPIE 2523, 165 (1995).

Rev. Sci. Instrum. (5)

F. J. Marshall and G. R. Bennett, Rev. Sci. Instrum. 70, 617 (1999).

F. J. Marshall and Q. Su, Rev. Sci. Instrum. 66, 725 (1995).

R. Rosch, J. Y. Boutin, J. P. le Breton, D. Gontier, J. P. Jadaud, C. Reverdin, G. Soullié, G. Lidove, and R. Maroni, Rev. Sci. Instrum. 78, 033704 (2007).

O. V. Gotchev, P. A. Jaanimagi, J. P. Knauer, F. J. Marshall, D. D. Meyerhofer, N. L. Bassett, and J. B. Oliver, Rev. Sci. Instrum. 74, 2178 (2003).

O. V. Gotchev, L. J. Hayes, P. A. Jaanimagi, J. P. Knauer, F. J. Marshall, and D. D. Meyerhofer, Rev. Sci. Instrum. 74, 5065 (2003).

Other (1)

E. Spiller, Soft X-Ray Optics (SPIE, Washington, 1994) pp.23-31.

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.