Abstract

We fabricate and measure a multilayer-coated ion-beam-etched laminar grating for the extreme ultraviolet wavelength region. The fabrication process is carefully controlled so that the grating groove and multilayer-coating parameters well meet the design targets. At an incident angle of 10\degree, the peak diffraction efficiency of the +1st order is 20.6% at 14.56 nm and that of the -1st order is 22.1% at 14.65 nm, both close to the theoretical limits.

© 2009 Chinese Optics Letters

PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. E. G. Loewen, M. Nevière, and D. Maystre, J. Opt. Soc. Am. 68, 496 (1978).
  2. H. Lin, L. Zhang, L. Li, C. Jin, H. Zhou, and T. Huo, Opt. Lett. 33, 485 (2008).
  3. Q. Zhou, L. Li, and L. Zeng, Proc. SPIE 6832, 68320W (2007).
  4. L. Yuan, Z. Fan, G. Yin, K. Yi, J. Shao, M. Cui, L. Liu, J. Miao, G. Chen, and X. Shen, Acta Opt. Sin. (in Chinese) 14, 642 (1994).
  5. M. P. Kowalski, T. W. Barbee, Jr., K. F. Heidemann, H. Gursky, J. C. Rife, W. R. Hunter, G. G. Fritz, and R. G. Cruddace, Appl. Opt. 38, 6487 (1999).
  6. J. F. Seely, C. M. Brown, D. L. Windt, S. Donguy, and B. Kjornrattanawanich, Appl. Opt. 43, 1463 (2004).
  7. T. Imazono, M. Ishino, M. Koike, H. Sasai, and K. Sano, Appl. Opt. 46, 7054 (2007).
  8. M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, J. F. Seely, J. C. Rife, K. F. Heidemann, U. Heinzmann, U. Kleineberg, K. Osterried, D. Menke, and W. R. Hunter, Opt. Lett. 22, 834 (1997).
  9. L. Li, M. Xu, G. I. Stegeman, and C. T. Seaton, Proc. SPIE 835, 72 (1987).
  10. M. P. Kowalski, W. R. Hunter, and T. W. Barbee, Jr., Appl. Opt. 45, 305 (2006).
  11. L. I. Goray and J. F. Seely, Proc. SPIE 5900, 59000C (2005).
  12. M. Nevière, J. Opt. Soc. Am. A 8, 1468 (1991).
  13. X. Meng and L. Li, Acta Opt. Sin. (in Chinese) 28, 189 (2008).

2008 (2)

X. Meng and L. Li, Acta Opt. Sin. (in Chinese) 28, 189 (2008).

H. Lin, L. Zhang, L. Li, C. Jin, H. Zhou, and T. Huo, Opt. Lett. 33, 485 (2008).

2007 (2)

T. Imazono, M. Ishino, M. Koike, H. Sasai, and K. Sano, Appl. Opt. 46, 7054 (2007).

Q. Zhou, L. Li, and L. Zeng, Proc. SPIE 6832, 68320W (2007).

2006 (1)

2005 (1)

L. I. Goray and J. F. Seely, Proc. SPIE 5900, 59000C (2005).

2004 (1)

1999 (1)

1997 (1)

1994 (1)

L. Yuan, Z. Fan, G. Yin, K. Yi, J. Shao, M. Cui, L. Liu, J. Miao, G. Chen, and X. Shen, Acta Opt. Sin. (in Chinese) 14, 642 (1994).

1991 (1)

1987 (1)

L. Li, M. Xu, G. I. Stegeman, and C. T. Seaton, Proc. SPIE 835, 72 (1987).

1978 (1)

Barbee, T. W.

Brown, C. M.

Chen, G.

L. Yuan, Z. Fan, G. Yin, K. Yi, J. Shao, M. Cui, L. Liu, J. Miao, G. Chen, and X. Shen, Acta Opt. Sin. (in Chinese) 14, 642 (1994).

Cruddace, R. G.

Cui, M.

L. Yuan, Z. Fan, G. Yin, K. Yi, J. Shao, M. Cui, L. Liu, J. Miao, G. Chen, and X. Shen, Acta Opt. Sin. (in Chinese) 14, 642 (1994).

Donguy, S.

Fan, Z.

L. Yuan, Z. Fan, G. Yin, K. Yi, J. Shao, M. Cui, L. Liu, J. Miao, G. Chen, and X. Shen, Acta Opt. Sin. (in Chinese) 14, 642 (1994).

Fritz, G. G.

Goray, L. I.

L. I. Goray and J. F. Seely, Proc. SPIE 5900, 59000C (2005).

Gursky, H.

Heidemann, K. F.

Heinzmann, U.

Hunter, W. R.

Huo, T.

Imazono, T.

Ishino, M.

Jin, C.

Kjornrattanawanich, B.

Kleineberg, U.

Koike, M.

Kowalski, M. P.

Li, L.

X. Meng and L. Li, Acta Opt. Sin. (in Chinese) 28, 189 (2008).

H. Lin, L. Zhang, L. Li, C. Jin, H. Zhou, and T. Huo, Opt. Lett. 33, 485 (2008).

Q. Zhou, L. Li, and L. Zeng, Proc. SPIE 6832, 68320W (2007).

L. Li, M. Xu, G. I. Stegeman, and C. T. Seaton, Proc. SPIE 835, 72 (1987).

Lin, H.

Liu, L.

L. Yuan, Z. Fan, G. Yin, K. Yi, J. Shao, M. Cui, L. Liu, J. Miao, G. Chen, and X. Shen, Acta Opt. Sin. (in Chinese) 14, 642 (1994).

Loewen, E. G.

Maystre, D.

Meng, X.

X. Meng and L. Li, Acta Opt. Sin. (in Chinese) 28, 189 (2008).

Menke, D.

Miao, J.

L. Yuan, Z. Fan, G. Yin, K. Yi, J. Shao, M. Cui, L. Liu, J. Miao, G. Chen, and X. Shen, Acta Opt. Sin. (in Chinese) 14, 642 (1994).

Nevière, M.

Osterried, K.

Rife, J. C.

Sano, K.

Sasai, H.

Seaton, C. T.

L. Li, M. Xu, G. I. Stegeman, and C. T. Seaton, Proc. SPIE 835, 72 (1987).

Seely, J. F.

Shao, J.

L. Yuan, Z. Fan, G. Yin, K. Yi, J. Shao, M. Cui, L. Liu, J. Miao, G. Chen, and X. Shen, Acta Opt. Sin. (in Chinese) 14, 642 (1994).

Shen, X.

L. Yuan, Z. Fan, G. Yin, K. Yi, J. Shao, M. Cui, L. Liu, J. Miao, G. Chen, and X. Shen, Acta Opt. Sin. (in Chinese) 14, 642 (1994).

Stegeman, G. I.

L. Li, M. Xu, G. I. Stegeman, and C. T. Seaton, Proc. SPIE 835, 72 (1987).

Windt, D. L.

Xu, M.

L. Li, M. Xu, G. I. Stegeman, and C. T. Seaton, Proc. SPIE 835, 72 (1987).

Yi, K.

L. Yuan, Z. Fan, G. Yin, K. Yi, J. Shao, M. Cui, L. Liu, J. Miao, G. Chen, and X. Shen, Acta Opt. Sin. (in Chinese) 14, 642 (1994).

Yin, G.

L. Yuan, Z. Fan, G. Yin, K. Yi, J. Shao, M. Cui, L. Liu, J. Miao, G. Chen, and X. Shen, Acta Opt. Sin. (in Chinese) 14, 642 (1994).

Yuan, L.

L. Yuan, Z. Fan, G. Yin, K. Yi, J. Shao, M. Cui, L. Liu, J. Miao, G. Chen, and X. Shen, Acta Opt. Sin. (in Chinese) 14, 642 (1994).

Zeng, L.

Q. Zhou, L. Li, and L. Zeng, Proc. SPIE 6832, 68320W (2007).

Zhang, L.

Zhou, H.

Zhou, Q.

Q. Zhou, L. Li, and L. Zeng, Proc. SPIE 6832, 68320W (2007).

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.