Abstract

The 0.532-\mum laser conditioning of HfO<sub>2</sub>/SiO<sub>2</sub> third harmonic separator fabricated by electron-beam evaporation (EBE) was studied. The laser induced damage threshold (LIDT) of the separator determined by 1-on-1 test is 9.1 J/cm<sup>2</sup> and it is 15.2 J/cm<sup>2</sup> after laser conditioning determined by raster scanning. Two kinds of damage morphologies, taper pits and flat bottom pits, are found on the sample surface and they show different damage behaviors. The damage onset of taper pits does not change obviously and the laser conditioning effect is contributed to the flat bottom pits, which limits the application of laser conditioning.

© 2008 Chinese Optics Letters

PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. C. J. Stolz, L. M. Sheehan, S. M. Maricle, S. Schwartz, and J. Hue, Proc. SPIE 3578, 55 (1999).
  2. A. F. Stewart, L. Bonsall, J. R. Bettis, J. Copland, K. P. Healey, G. B. Charlton, W. Hughes, and J. C. Echeverry, Proc. SPIE 3578, 39 (1999).
  3. M. R. Kozlowski, C. R. Wolfe, M. C. Staggs, and J. H. Campbell, Proc. SPIE 1438, 376 (1989).
  4. J. Huang, H. Lü, B. Ye, S. Zhao, H. Wang, X. Jiang, X. Yuan, and W. Zheng, Chinese J. Lasers 34, 723 (2007).
  5. Y. Cui, Y. Zhao, Y. Jin, Z. Fan, and J. Shao, Acta Opt. Sin. 27, 1129 (2007).
  6. C. R. Wolfe, M. R. Kozlowski, J. H. Campbell, F. Rainer, A. J. Morgan, and R. P. Gonzales, Proc. SPIE 1438, 360 (1989).
  7. J. W. Arenberg and M. E. Frink, Proc. SPIE 756, 430 (1988).
  8. J. W. Arenberg and D. W. Mordaunt, Proc. SPIE 775, 516 (1989).
  9. N. J. Hess, G. J. Exarhos, and M. J. Iedema, Proc. SPIE 1848, 243 (1993).
  10. ISO 11254-1, Lasers and laser-related equipment-Determination of laser-induced damage threshold of optical surfaces - Part 1: 1-on-1 test (2002).
  11. Y. Zhao, T. Wang, D. Zhang, J. Shao, and Z. Fan, Appl. Surf. Sci. 245, 335 (2005).
  12. L. Sheehan, M. Kozlowski, F. Rainer, and M. Staggs, Proc. SPIE 2114, 559 (1994).
  13. B. Liao, D. J. Smith, and B. Mcintyre, Proc. SPIE 746, 305 (1987).
  14. K. Lewis, G. Smith, and A. Pidduck, Proc. SPIE 4932, 26 (2003).
  15. C. J. Stolz, F. Y. Genin, and T. V. Pistor, Proc. SPIE 5273, 41 (2004).
  16. J. Dijon, G. Ravel, and B. André, Proc. SPIE 3578, 31 (1999).

2007

J. Huang, H. Lü, B. Ye, S. Zhao, H. Wang, X. Jiang, X. Yuan, and W. Zheng, Chinese J. Lasers 34, 723 (2007).

Y. Cui, Y. Zhao, Y. Jin, Z. Fan, and J. Shao, Acta Opt. Sin. 27, 1129 (2007).

2005

Y. Zhao, T. Wang, D. Zhang, J. Shao, and Z. Fan, Appl. Surf. Sci. 245, 335 (2005).

2004

C. J. Stolz, F. Y. Genin, and T. V. Pistor, Proc. SPIE 5273, 41 (2004).

2003

K. Lewis, G. Smith, and A. Pidduck, Proc. SPIE 4932, 26 (2003).

1999

J. Dijon, G. Ravel, and B. André, Proc. SPIE 3578, 31 (1999).

C. J. Stolz, L. M. Sheehan, S. M. Maricle, S. Schwartz, and J. Hue, Proc. SPIE 3578, 55 (1999).

A. F. Stewart, L. Bonsall, J. R. Bettis, J. Copland, K. P. Healey, G. B. Charlton, W. Hughes, and J. C. Echeverry, Proc. SPIE 3578, 39 (1999).

1994

L. Sheehan, M. Kozlowski, F. Rainer, and M. Staggs, Proc. SPIE 2114, 559 (1994).

1993

N. J. Hess, G. J. Exarhos, and M. J. Iedema, Proc. SPIE 1848, 243 (1993).

1989

J. W. Arenberg and D. W. Mordaunt, Proc. SPIE 775, 516 (1989).

M. R. Kozlowski, C. R. Wolfe, M. C. Staggs, and J. H. Campbell, Proc. SPIE 1438, 376 (1989).

C. R. Wolfe, M. R. Kozlowski, J. H. Campbell, F. Rainer, A. J. Morgan, and R. P. Gonzales, Proc. SPIE 1438, 360 (1989).

1988

J. W. Arenberg and M. E. Frink, Proc. SPIE 756, 430 (1988).

1987

B. Liao, D. J. Smith, and B. Mcintyre, Proc. SPIE 746, 305 (1987).

André, B.

J. Dijon, G. Ravel, and B. André, Proc. SPIE 3578, 31 (1999).

Arenberg, J. W.

J. W. Arenberg and D. W. Mordaunt, Proc. SPIE 775, 516 (1989).

J. W. Arenberg and M. E. Frink, Proc. SPIE 756, 430 (1988).

Bettis, J. R.

A. F. Stewart, L. Bonsall, J. R. Bettis, J. Copland, K. P. Healey, G. B. Charlton, W. Hughes, and J. C. Echeverry, Proc. SPIE 3578, 39 (1999).

Bonsall, L.

A. F. Stewart, L. Bonsall, J. R. Bettis, J. Copland, K. P. Healey, G. B. Charlton, W. Hughes, and J. C. Echeverry, Proc. SPIE 3578, 39 (1999).

Campbell, J. H.

M. R. Kozlowski, C. R. Wolfe, M. C. Staggs, and J. H. Campbell, Proc. SPIE 1438, 376 (1989).

C. R. Wolfe, M. R. Kozlowski, J. H. Campbell, F. Rainer, A. J. Morgan, and R. P. Gonzales, Proc. SPIE 1438, 360 (1989).

Charlton, G. B.

A. F. Stewart, L. Bonsall, J. R. Bettis, J. Copland, K. P. Healey, G. B. Charlton, W. Hughes, and J. C. Echeverry, Proc. SPIE 3578, 39 (1999).

Copland, J.

A. F. Stewart, L. Bonsall, J. R. Bettis, J. Copland, K. P. Healey, G. B. Charlton, W. Hughes, and J. C. Echeverry, Proc. SPIE 3578, 39 (1999).

Cui, Y.

Y. Cui, Y. Zhao, Y. Jin, Z. Fan, and J. Shao, Acta Opt. Sin. 27, 1129 (2007).

Dijon, J.

J. Dijon, G. Ravel, and B. André, Proc. SPIE 3578, 31 (1999).

Echeverry, J. C.

A. F. Stewart, L. Bonsall, J. R. Bettis, J. Copland, K. P. Healey, G. B. Charlton, W. Hughes, and J. C. Echeverry, Proc. SPIE 3578, 39 (1999).

Exarhos, G. J.

N. J. Hess, G. J. Exarhos, and M. J. Iedema, Proc. SPIE 1848, 243 (1993).

Fan, Z.

Y. Cui, Y. Zhao, Y. Jin, Z. Fan, and J. Shao, Acta Opt. Sin. 27, 1129 (2007).

Y. Zhao, T. Wang, D. Zhang, J. Shao, and Z. Fan, Appl. Surf. Sci. 245, 335 (2005).

Frink, M. E.

J. W. Arenberg and M. E. Frink, Proc. SPIE 756, 430 (1988).

Genin, F. Y.

C. J. Stolz, F. Y. Genin, and T. V. Pistor, Proc. SPIE 5273, 41 (2004).

Gonzales, R. P.

C. R. Wolfe, M. R. Kozlowski, J. H. Campbell, F. Rainer, A. J. Morgan, and R. P. Gonzales, Proc. SPIE 1438, 360 (1989).

Healey, K. P.

A. F. Stewart, L. Bonsall, J. R. Bettis, J. Copland, K. P. Healey, G. B. Charlton, W. Hughes, and J. C. Echeverry, Proc. SPIE 3578, 39 (1999).

Hess, N. J.

N. J. Hess, G. J. Exarhos, and M. J. Iedema, Proc. SPIE 1848, 243 (1993).

Huang, J.

J. Huang, H. Lü, B. Ye, S. Zhao, H. Wang, X. Jiang, X. Yuan, and W. Zheng, Chinese J. Lasers 34, 723 (2007).

Hue, J.

C. J. Stolz, L. M. Sheehan, S. M. Maricle, S. Schwartz, and J. Hue, Proc. SPIE 3578, 55 (1999).

Hughes, W.

A. F. Stewart, L. Bonsall, J. R. Bettis, J. Copland, K. P. Healey, G. B. Charlton, W. Hughes, and J. C. Echeverry, Proc. SPIE 3578, 39 (1999).

Iedema, M. J.

N. J. Hess, G. J. Exarhos, and M. J. Iedema, Proc. SPIE 1848, 243 (1993).

Jiang, X.

J. Huang, H. Lü, B. Ye, S. Zhao, H. Wang, X. Jiang, X. Yuan, and W. Zheng, Chinese J. Lasers 34, 723 (2007).

Jin, Y.

Y. Cui, Y. Zhao, Y. Jin, Z. Fan, and J. Shao, Acta Opt. Sin. 27, 1129 (2007).

Kozlowski, M.

L. Sheehan, M. Kozlowski, F. Rainer, and M. Staggs, Proc. SPIE 2114, 559 (1994).

Kozlowski, M. R.

M. R. Kozlowski, C. R. Wolfe, M. C. Staggs, and J. H. Campbell, Proc. SPIE 1438, 376 (1989).

C. R. Wolfe, M. R. Kozlowski, J. H. Campbell, F. Rainer, A. J. Morgan, and R. P. Gonzales, Proc. SPIE 1438, 360 (1989).

Lewis, K.

K. Lewis, G. Smith, and A. Pidduck, Proc. SPIE 4932, 26 (2003).

Liao, B.

B. Liao, D. J. Smith, and B. Mcintyre, Proc. SPIE 746, 305 (1987).

Lü, H.

J. Huang, H. Lü, B. Ye, S. Zhao, H. Wang, X. Jiang, X. Yuan, and W. Zheng, Chinese J. Lasers 34, 723 (2007).

Maricle, S. M.

C. J. Stolz, L. M. Sheehan, S. M. Maricle, S. Schwartz, and J. Hue, Proc. SPIE 3578, 55 (1999).

Mcintyre, B.

B. Liao, D. J. Smith, and B. Mcintyre, Proc. SPIE 746, 305 (1987).

Mordaunt, D. W.

J. W. Arenberg and D. W. Mordaunt, Proc. SPIE 775, 516 (1989).

Morgan, A. J.

C. R. Wolfe, M. R. Kozlowski, J. H. Campbell, F. Rainer, A. J. Morgan, and R. P. Gonzales, Proc. SPIE 1438, 360 (1989).

Pidduck, A.

K. Lewis, G. Smith, and A. Pidduck, Proc. SPIE 4932, 26 (2003).

Pistor, T. V.

C. J. Stolz, F. Y. Genin, and T. V. Pistor, Proc. SPIE 5273, 41 (2004).

Rainer, F.

L. Sheehan, M. Kozlowski, F. Rainer, and M. Staggs, Proc. SPIE 2114, 559 (1994).

C. R. Wolfe, M. R. Kozlowski, J. H. Campbell, F. Rainer, A. J. Morgan, and R. P. Gonzales, Proc. SPIE 1438, 360 (1989).

Ravel, G.

J. Dijon, G. Ravel, and B. André, Proc. SPIE 3578, 31 (1999).

Schwartz, S.

C. J. Stolz, L. M. Sheehan, S. M. Maricle, S. Schwartz, and J. Hue, Proc. SPIE 3578, 55 (1999).

Shao, J.

Y. Cui, Y. Zhao, Y. Jin, Z. Fan, and J. Shao, Acta Opt. Sin. 27, 1129 (2007).

Y. Zhao, T. Wang, D. Zhang, J. Shao, and Z. Fan, Appl. Surf. Sci. 245, 335 (2005).

Sheehan, L.

L. Sheehan, M. Kozlowski, F. Rainer, and M. Staggs, Proc. SPIE 2114, 559 (1994).

Sheehan, L. M.

C. J. Stolz, L. M. Sheehan, S. M. Maricle, S. Schwartz, and J. Hue, Proc. SPIE 3578, 55 (1999).

Smith, D. J.

B. Liao, D. J. Smith, and B. Mcintyre, Proc. SPIE 746, 305 (1987).

Smith, G.

K. Lewis, G. Smith, and A. Pidduck, Proc. SPIE 4932, 26 (2003).

Staggs, M.

L. Sheehan, M. Kozlowski, F. Rainer, and M. Staggs, Proc. SPIE 2114, 559 (1994).

Staggs, M. C.

M. R. Kozlowski, C. R. Wolfe, M. C. Staggs, and J. H. Campbell, Proc. SPIE 1438, 376 (1989).

Stewart, A. F.

A. F. Stewart, L. Bonsall, J. R. Bettis, J. Copland, K. P. Healey, G. B. Charlton, W. Hughes, and J. C. Echeverry, Proc. SPIE 3578, 39 (1999).

Stolz, C. J.

C. J. Stolz, F. Y. Genin, and T. V. Pistor, Proc. SPIE 5273, 41 (2004).

C. J. Stolz, L. M. Sheehan, S. M. Maricle, S. Schwartz, and J. Hue, Proc. SPIE 3578, 55 (1999).

Wang, H.

J. Huang, H. Lü, B. Ye, S. Zhao, H. Wang, X. Jiang, X. Yuan, and W. Zheng, Chinese J. Lasers 34, 723 (2007).

Wang, T.

Y. Zhao, T. Wang, D. Zhang, J. Shao, and Z. Fan, Appl. Surf. Sci. 245, 335 (2005).

Wolfe, C. R.

M. R. Kozlowski, C. R. Wolfe, M. C. Staggs, and J. H. Campbell, Proc. SPIE 1438, 376 (1989).

C. R. Wolfe, M. R. Kozlowski, J. H. Campbell, F. Rainer, A. J. Morgan, and R. P. Gonzales, Proc. SPIE 1438, 360 (1989).

Ye, B.

J. Huang, H. Lü, B. Ye, S. Zhao, H. Wang, X. Jiang, X. Yuan, and W. Zheng, Chinese J. Lasers 34, 723 (2007).

Yuan, X.

J. Huang, H. Lü, B. Ye, S. Zhao, H. Wang, X. Jiang, X. Yuan, and W. Zheng, Chinese J. Lasers 34, 723 (2007).

Zhang, D.

Y. Zhao, T. Wang, D. Zhang, J. Shao, and Z. Fan, Appl. Surf. Sci. 245, 335 (2005).

Zhao, S.

J. Huang, H. Lü, B. Ye, S. Zhao, H. Wang, X. Jiang, X. Yuan, and W. Zheng, Chinese J. Lasers 34, 723 (2007).

Zhao, Y.

Y. Cui, Y. Zhao, Y. Jin, Z. Fan, and J. Shao, Acta Opt. Sin. 27, 1129 (2007).

Y. Zhao, T. Wang, D. Zhang, J. Shao, and Z. Fan, Appl. Surf. Sci. 245, 335 (2005).

Zheng, W.

J. Huang, H. Lü, B. Ye, S. Zhao, H. Wang, X. Jiang, X. Yuan, and W. Zheng, Chinese J. Lasers 34, 723 (2007).

Acta Opt. Sin.

Y. Cui, Y. Zhao, Y. Jin, Z. Fan, and J. Shao, Acta Opt. Sin. 27, 1129 (2007).

Appl. Surf. Sci.

Y. Zhao, T. Wang, D. Zhang, J. Shao, and Z. Fan, Appl. Surf. Sci. 245, 335 (2005).

Chinese J. Lasers

J. Huang, H. Lü, B. Ye, S. Zhao, H. Wang, X. Jiang, X. Yuan, and W. Zheng, Chinese J. Lasers 34, 723 (2007).

Proc. SPIE

C. J. Stolz, L. M. Sheehan, S. M. Maricle, S. Schwartz, and J. Hue, Proc. SPIE 3578, 55 (1999).

A. F. Stewart, L. Bonsall, J. R. Bettis, J. Copland, K. P. Healey, G. B. Charlton, W. Hughes, and J. C. Echeverry, Proc. SPIE 3578, 39 (1999).

M. R. Kozlowski, C. R. Wolfe, M. C. Staggs, and J. H. Campbell, Proc. SPIE 1438, 376 (1989).

L. Sheehan, M. Kozlowski, F. Rainer, and M. Staggs, Proc. SPIE 2114, 559 (1994).

B. Liao, D. J. Smith, and B. Mcintyre, Proc. SPIE 746, 305 (1987).

K. Lewis, G. Smith, and A. Pidduck, Proc. SPIE 4932, 26 (2003).

C. J. Stolz, F. Y. Genin, and T. V. Pistor, Proc. SPIE 5273, 41 (2004).

J. Dijon, G. Ravel, and B. André, Proc. SPIE 3578, 31 (1999).

C. R. Wolfe, M. R. Kozlowski, J. H. Campbell, F. Rainer, A. J. Morgan, and R. P. Gonzales, Proc. SPIE 1438, 360 (1989).

J. W. Arenberg and M. E. Frink, Proc. SPIE 756, 430 (1988).

J. W. Arenberg and D. W. Mordaunt, Proc. SPIE 775, 516 (1989).

N. J. Hess, G. J. Exarhos, and M. J. Iedema, Proc. SPIE 1848, 243 (1993).

Other

ISO 11254-1, Lasers and laser-related equipment-Determination of laser-induced damage threshold of optical surfaces - Part 1: 1-on-1 test (2002).

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.