Abstract

A novel hybrid surface micromachined segmented mirror array is described. This device is capable of scaling to large apertures for correcting time-varying aberrations in laser applications. Each mirror is composed of bottom electrode, support part, and mirror plate, in which a T-shaped beam structure is used to support the mirror plate. It can provide mirror with vertical movement and rotation around two horizontal axes. The test results show that the maximum deflection along the vertical direction of the mirror plate is 2 microns, while the rotation angles around x and y axes are +-2.3 deg. and +-1.45 deg., respectively.

© 2006 Chinese Optics Letters

PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. J. D. Mansell, S. Sinha, and R. L. Byer, Proc. SPIE 4493, 1 (2002).
  2. G. Vdovin and P. M. Sarro, Appl. Opt. 34, 2968 (1995).
  3. L. M. Miller, M. L. Agronin, R. K. Bartman, W. J. Kaiser, T. W. Kenny, R. L. Norton, and E. C. Vote, Proc. SPIE 1945, 421 (1993).
  4. M. C. Roggeman, V. M. Bright, B. M. Welsh, S. R. Hick, P. C. Roberts, W. D. Cowan, and J. H. Comtois, Opt. Eng. 36, 1326 (1997).
  5. J.-C. Tsai and M. C. Wu, Journal of Microelectromechanical System 14, 1323 (2005).

2005

J.-C. Tsai and M. C. Wu, Journal of Microelectromechanical System 14, 1323 (2005).

2002

J. D. Mansell, S. Sinha, and R. L. Byer, Proc. SPIE 4493, 1 (2002).

1997

M. C. Roggeman, V. M. Bright, B. M. Welsh, S. R. Hick, P. C. Roberts, W. D. Cowan, and J. H. Comtois, Opt. Eng. 36, 1326 (1997).

1995

1993

L. M. Miller, M. L. Agronin, R. K. Bartman, W. J. Kaiser, T. W. Kenny, R. L. Norton, and E. C. Vote, Proc. SPIE 1945, 421 (1993).

Agronin, M. L.

L. M. Miller, M. L. Agronin, R. K. Bartman, W. J. Kaiser, T. W. Kenny, R. L. Norton, and E. C. Vote, Proc. SPIE 1945, 421 (1993).

Bartman, R. K.

L. M. Miller, M. L. Agronin, R. K. Bartman, W. J. Kaiser, T. W. Kenny, R. L. Norton, and E. C. Vote, Proc. SPIE 1945, 421 (1993).

Bright, V. M.

M. C. Roggeman, V. M. Bright, B. M. Welsh, S. R. Hick, P. C. Roberts, W. D. Cowan, and J. H. Comtois, Opt. Eng. 36, 1326 (1997).

Byer, R. L.

J. D. Mansell, S. Sinha, and R. L. Byer, Proc. SPIE 4493, 1 (2002).

Comtois, J. H.

M. C. Roggeman, V. M. Bright, B. M. Welsh, S. R. Hick, P. C. Roberts, W. D. Cowan, and J. H. Comtois, Opt. Eng. 36, 1326 (1997).

Cowan, W. D.

M. C. Roggeman, V. M. Bright, B. M. Welsh, S. R. Hick, P. C. Roberts, W. D. Cowan, and J. H. Comtois, Opt. Eng. 36, 1326 (1997).

Hick, S. R.

M. C. Roggeman, V. M. Bright, B. M. Welsh, S. R. Hick, P. C. Roberts, W. D. Cowan, and J. H. Comtois, Opt. Eng. 36, 1326 (1997).

Kaiser, W. J.

L. M. Miller, M. L. Agronin, R. K. Bartman, W. J. Kaiser, T. W. Kenny, R. L. Norton, and E. C. Vote, Proc. SPIE 1945, 421 (1993).

Kenny, T. W.

L. M. Miller, M. L. Agronin, R. K. Bartman, W. J. Kaiser, T. W. Kenny, R. L. Norton, and E. C. Vote, Proc. SPIE 1945, 421 (1993).

Mansell, J. D.

J. D. Mansell, S. Sinha, and R. L. Byer, Proc. SPIE 4493, 1 (2002).

Miller, L. M.

L. M. Miller, M. L. Agronin, R. K. Bartman, W. J. Kaiser, T. W. Kenny, R. L. Norton, and E. C. Vote, Proc. SPIE 1945, 421 (1993).

Norton, R. L.

L. M. Miller, M. L. Agronin, R. K. Bartman, W. J. Kaiser, T. W. Kenny, R. L. Norton, and E. C. Vote, Proc. SPIE 1945, 421 (1993).

Roberts, P. C.

M. C. Roggeman, V. M. Bright, B. M. Welsh, S. R. Hick, P. C. Roberts, W. D. Cowan, and J. H. Comtois, Opt. Eng. 36, 1326 (1997).

Roggeman, M. C.

M. C. Roggeman, V. M. Bright, B. M. Welsh, S. R. Hick, P. C. Roberts, W. D. Cowan, and J. H. Comtois, Opt. Eng. 36, 1326 (1997).

Sarro, P. M.

Sinha, S.

J. D. Mansell, S. Sinha, and R. L. Byer, Proc. SPIE 4493, 1 (2002).

Tsai, J.-C.

J.-C. Tsai and M. C. Wu, Journal of Microelectromechanical System 14, 1323 (2005).

Vdovin, G.

Vote, E. C.

L. M. Miller, M. L. Agronin, R. K. Bartman, W. J. Kaiser, T. W. Kenny, R. L. Norton, and E. C. Vote, Proc. SPIE 1945, 421 (1993).

Welsh, B. M.

M. C. Roggeman, V. M. Bright, B. M. Welsh, S. R. Hick, P. C. Roberts, W. D. Cowan, and J. H. Comtois, Opt. Eng. 36, 1326 (1997).

Wu, M. C.

J.-C. Tsai and M. C. Wu, Journal of Microelectromechanical System 14, 1323 (2005).

Appl. Opt.

Journal of Microelectromechanical System

J.-C. Tsai and M. C. Wu, Journal of Microelectromechanical System 14, 1323 (2005).

Opt. Eng.

M. C. Roggeman, V. M. Bright, B. M. Welsh, S. R. Hick, P. C. Roberts, W. D. Cowan, and J. H. Comtois, Opt. Eng. 36, 1326 (1997).

Proc. SPIE

J. D. Mansell, S. Sinha, and R. L. Byer, Proc. SPIE 4493, 1 (2002).

L. M. Miller, M. L. Agronin, R. K. Bartman, W. J. Kaiser, T. W. Kenny, R. L. Norton, and E. C. Vote, Proc. SPIE 1945, 421 (1993).

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.