Abstract

DC discharge characteristics of NF3/He have been investigated experimentally under different experimental conditions, for example, different electrode materials, separations, flow rates of the gas NF3 or He, and series resistances. The optimum discharge parameters and the fluorine atom yield from the DC discharge of NF3/He as function of load power are studied experimentally.

© 2005 Chinese Optics Letters

PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. T. T. Yang and R. D. Bower, Proc. SPIE 1225, 430 (1990).
  2. T. T. Yang, V. T. Gylys, R. D. Bower, and I. F. Rubin, Opt. Lett. 24, 1803 (1992).
  3. T. L. Henshaw, T. J. Madden, J. M. Herbelin, G. C. MankeII, B. T. Anderson, R. F. Tate, and G. D. Hayer, Proc. SPIE 3612, 147 (1999).
  4. T. L. Henshaw, G. C. MankeII, T. J. Madden, M. R. Berman, and G. D. Hager, Chem. Phys. Lett. 325, 537 (2000).
  5. G. C. MankeII, C. B. Cooper, S. C. Dass, T. J. Madden, and G. D. Hager, IEEE J. Quantum Electron. 39, 995 (2003).

2003 (1)

G. C. MankeII, C. B. Cooper, S. C. Dass, T. J. Madden, and G. D. Hager, IEEE J. Quantum Electron. 39, 995 (2003).

2000 (1)

T. L. Henshaw, G. C. MankeII, T. J. Madden, M. R. Berman, and G. D. Hager, Chem. Phys. Lett. 325, 537 (2000).

1999 (1)

T. L. Henshaw, T. J. Madden, J. M. Herbelin, G. C. MankeII, B. T. Anderson, R. F. Tate, and G. D. Hayer, Proc. SPIE 3612, 147 (1999).

1992 (1)

T. T. Yang, V. T. Gylys, R. D. Bower, and I. F. Rubin, Opt. Lett. 24, 1803 (1992).

1990 (1)

T. T. Yang and R. D. Bower, Proc. SPIE 1225, 430 (1990).

Anderson, B. T.

T. L. Henshaw, T. J. Madden, J. M. Herbelin, G. C. MankeII, B. T. Anderson, R. F. Tate, and G. D. Hayer, Proc. SPIE 3612, 147 (1999).

Berman, M. R.

T. L. Henshaw, G. C. MankeII, T. J. Madden, M. R. Berman, and G. D. Hager, Chem. Phys. Lett. 325, 537 (2000).

Bower, R. D.

T. T. Yang, V. T. Gylys, R. D. Bower, and I. F. Rubin, Opt. Lett. 24, 1803 (1992).

T. T. Yang and R. D. Bower, Proc. SPIE 1225, 430 (1990).

Cooper, C. B.

G. C. MankeII, C. B. Cooper, S. C. Dass, T. J. Madden, and G. D. Hager, IEEE J. Quantum Electron. 39, 995 (2003).

Dass, S. C.

G. C. MankeII, C. B. Cooper, S. C. Dass, T. J. Madden, and G. D. Hager, IEEE J. Quantum Electron. 39, 995 (2003).

Gylys, V. T.

T. T. Yang, V. T. Gylys, R. D. Bower, and I. F. Rubin, Opt. Lett. 24, 1803 (1992).

Hager, G. D.

G. C. MankeII, C. B. Cooper, S. C. Dass, T. J. Madden, and G. D. Hager, IEEE J. Quantum Electron. 39, 995 (2003).

T. L. Henshaw, G. C. MankeII, T. J. Madden, M. R. Berman, and G. D. Hager, Chem. Phys. Lett. 325, 537 (2000).

Hayer, G. D.

T. L. Henshaw, T. J. Madden, J. M. Herbelin, G. C. MankeII, B. T. Anderson, R. F. Tate, and G. D. Hayer, Proc. SPIE 3612, 147 (1999).

Henshaw, T. L.

T. L. Henshaw, G. C. MankeII, T. J. Madden, M. R. Berman, and G. D. Hager, Chem. Phys. Lett. 325, 537 (2000).

T. L. Henshaw, T. J. Madden, J. M. Herbelin, G. C. MankeII, B. T. Anderson, R. F. Tate, and G. D. Hayer, Proc. SPIE 3612, 147 (1999).

Herbelin, J. M.

T. L. Henshaw, T. J. Madden, J. M. Herbelin, G. C. MankeII, B. T. Anderson, R. F. Tate, and G. D. Hayer, Proc. SPIE 3612, 147 (1999).

Madden, T. J.

G. C. MankeII, C. B. Cooper, S. C. Dass, T. J. Madden, and G. D. Hager, IEEE J. Quantum Electron. 39, 995 (2003).

T. L. Henshaw, G. C. MankeII, T. J. Madden, M. R. Berman, and G. D. Hager, Chem. Phys. Lett. 325, 537 (2000).

T. L. Henshaw, T. J. Madden, J. M. Herbelin, G. C. MankeII, B. T. Anderson, R. F. Tate, and G. D. Hayer, Proc. SPIE 3612, 147 (1999).

MankeII, G. C.

G. C. MankeII, C. B. Cooper, S. C. Dass, T. J. Madden, and G. D. Hager, IEEE J. Quantum Electron. 39, 995 (2003).

T. L. Henshaw, G. C. MankeII, T. J. Madden, M. R. Berman, and G. D. Hager, Chem. Phys. Lett. 325, 537 (2000).

T. L. Henshaw, T. J. Madden, J. M. Herbelin, G. C. MankeII, B. T. Anderson, R. F. Tate, and G. D. Hayer, Proc. SPIE 3612, 147 (1999).

Rubin, I. F.

T. T. Yang, V. T. Gylys, R. D. Bower, and I. F. Rubin, Opt. Lett. 24, 1803 (1992).

Tate, R. F.

T. L. Henshaw, T. J. Madden, J. M. Herbelin, G. C. MankeII, B. T. Anderson, R. F. Tate, and G. D. Hayer, Proc. SPIE 3612, 147 (1999).

Yang, T. T.

T. T. Yang, V. T. Gylys, R. D. Bower, and I. F. Rubin, Opt. Lett. 24, 1803 (1992).

T. T. Yang and R. D. Bower, Proc. SPIE 1225, 430 (1990).

Chem. Phys. Lett. (1)

T. L. Henshaw, G. C. MankeII, T. J. Madden, M. R. Berman, and G. D. Hager, Chem. Phys. Lett. 325, 537 (2000).

IEEE J. Quantum Electron. (1)

G. C. MankeII, C. B. Cooper, S. C. Dass, T. J. Madden, and G. D. Hager, IEEE J. Quantum Electron. 39, 995 (2003).

Opt. Lett. (1)

T. T. Yang, V. T. Gylys, R. D. Bower, and I. F. Rubin, Opt. Lett. 24, 1803 (1992).

Proc. SPIE (2)

T. L. Henshaw, T. J. Madden, J. M. Herbelin, G. C. MankeII, B. T. Anderson, R. F. Tate, and G. D. Hayer, Proc. SPIE 3612, 147 (1999).

T. T. Yang and R. D. Bower, Proc. SPIE 1225, 430 (1990).

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.