Abstract

In this paper, a depth-graded C/W multilayer mirror with broad grazing incident angular range, consisting of three multilayer stacks, each of which has different period thickness d and the layer pair number, was designed and fabricated by direct current (DC) magnetron sputtering. For calculating the definite performance of such a mirror, the saturation effects of the interfacial imperfection, such as interface roughness and diffusion, were emerged. The reflectivity of the mirror was measured by the X-ray diffraction (XRD) instrument at Cu K? radiation (? = 0.154 nm), the measured reflectivity was about 30% in a broad grazing incident angular range (0.55---0.85 deg.). By the fitting data, the thickness of each layer is almost same as the one designed and the roughness in the multilayer is about 0.85 nm, which is larger than the prospective value of 0.5 nm.

© 2005 Chinese Optics Letters

PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. K. Yamashita, P. J. Serlemitsos, J. Tueller, S. D. Barthelmy, L. M. Bartlett, K. W. Chan, A. Furuzawa, N. Gehrels, K. Haga, H. Kunieda, P. Kurczynski, H. Takata, K. Tamura, Y. Tawara, and B. J. Teegarden, Appl. Opt. 37, 8067 (1998).
  2. Y. Ogasaka, K. Tamura, K. Haga, T. Okajima, S. Ichimaru, S. Takayashi, A. Gotou, H. Kitou, S. Fukuda, H. Kunieda, Y. Tawara, K. Yamashita, Y. Tsusaka, P. J. Serlemitsos, Y. Soong, K. W. Chan, F. Owens, S. Berendse, and J. Tueller, Proc. SPIE 4012, 294 (2000).
  3. K. Yamashita, K. Akiyama, K. Haga, H. Kunieda, G. S. Lodha, N. Nakamura, T. Okajima, K. Tamura, and Y. Tawara, J. Synchrotron Radiation 3, 711 (1998).
  4. A. M. Hussain, F. E. Christensen, G. Pareschi, and H. F. Poulsen, Proc. SPIE 3444, 443 (1998).
  5. J. F. Seely, M. P. Kowalski, W. R. Hunter, and G. Gutman, Appl. Opt. 35, 22 (1996).
  6. K. Yamashita, J. Peter, J. Tueller, S. D. Barthelmy, L. M. Bartlett, K. W. Chan, A. Furuzawa, N. Gehrels, K. Haga, H. Kunieda, P. Kurczynski, N. Nakajo, N. Nakamura, Y. Namba, Y. Ogasaka, T. Okajima, D. Palmer, A. Parsons, Y. Soong, C. M. Stahl, H. Takata, K. Tamura, Y. Tawara, and B. J. Teegarden, Appl. Opt. 37, 34 (1998).
  7. Z. S. Wan, J. L. Cao, and A. G. Michette, Opt. Commun. 177, 25 (2000).
  8. I. V. Kozhevnikov, I. N. Bukreeva, and E. Ziegler, Nuclear Institutes and Methods in Physics Research A460, 424 (2001).
  9. Z. Zhang, Z. S. Wang, F. L. Wang, S. J. Qin, and L. Y. Chen, Chin. Phys. Lett. 21, 12 (2004).
  10. D. L. Windt, Computer in Physics 12, 360 (1998).

2004 (1)

Z. Zhang, Z. S. Wang, F. L. Wang, S. J. Qin, and L. Y. Chen, Chin. Phys. Lett. 21, 12 (2004).

2000 (2)

Y. Ogasaka, K. Tamura, K. Haga, T. Okajima, S. Ichimaru, S. Takayashi, A. Gotou, H. Kitou, S. Fukuda, H. Kunieda, Y. Tawara, K. Yamashita, Y. Tsusaka, P. J. Serlemitsos, Y. Soong, K. W. Chan, F. Owens, S. Berendse, and J. Tueller, Proc. SPIE 4012, 294 (2000).

Z. S. Wan, J. L. Cao, and A. G. Michette, Opt. Commun. 177, 25 (2000).

1998 (5)

1996 (1)

J. F. Seely, M. P. Kowalski, W. R. Hunter, and G. Gutman, Appl. Opt. 35, 22 (1996).

Akiyama, K.

K. Yamashita, K. Akiyama, K. Haga, H. Kunieda, G. S. Lodha, N. Nakamura, T. Okajima, K. Tamura, and Y. Tawara, J. Synchrotron Radiation 3, 711 (1998).

Barthelmy, S. D.

Bartlett, L. M.

Berendse, S.

Y. Ogasaka, K. Tamura, K. Haga, T. Okajima, S. Ichimaru, S. Takayashi, A. Gotou, H. Kitou, S. Fukuda, H. Kunieda, Y. Tawara, K. Yamashita, Y. Tsusaka, P. J. Serlemitsos, Y. Soong, K. W. Chan, F. Owens, S. Berendse, and J. Tueller, Proc. SPIE 4012, 294 (2000).

Cao, J. L.

Z. S. Wan, J. L. Cao, and A. G. Michette, Opt. Commun. 177, 25 (2000).

Chan, K. W.

Chen, L. Y.

Z. Zhang, Z. S. Wang, F. L. Wang, S. J. Qin, and L. Y. Chen, Chin. Phys. Lett. 21, 12 (2004).

Christensen, F. E.

A. M. Hussain, F. E. Christensen, G. Pareschi, and H. F. Poulsen, Proc. SPIE 3444, 443 (1998).

Fukuda, S.

Y. Ogasaka, K. Tamura, K. Haga, T. Okajima, S. Ichimaru, S. Takayashi, A. Gotou, H. Kitou, S. Fukuda, H. Kunieda, Y. Tawara, K. Yamashita, Y. Tsusaka, P. J. Serlemitsos, Y. Soong, K. W. Chan, F. Owens, S. Berendse, and J. Tueller, Proc. SPIE 4012, 294 (2000).

Furuzawa, A.

Gehrels, N.

Gotou, A.

Y. Ogasaka, K. Tamura, K. Haga, T. Okajima, S. Ichimaru, S. Takayashi, A. Gotou, H. Kitou, S. Fukuda, H. Kunieda, Y. Tawara, K. Yamashita, Y. Tsusaka, P. J. Serlemitsos, Y. Soong, K. W. Chan, F. Owens, S. Berendse, and J. Tueller, Proc. SPIE 4012, 294 (2000).

Gutman, G.

J. F. Seely, M. P. Kowalski, W. R. Hunter, and G. Gutman, Appl. Opt. 35, 22 (1996).

Haga, K.

Y. Ogasaka, K. Tamura, K. Haga, T. Okajima, S. Ichimaru, S. Takayashi, A. Gotou, H. Kitou, S. Fukuda, H. Kunieda, Y. Tawara, K. Yamashita, Y. Tsusaka, P. J. Serlemitsos, Y. Soong, K. W. Chan, F. Owens, S. Berendse, and J. Tueller, Proc. SPIE 4012, 294 (2000).

K. Yamashita, J. Peter, J. Tueller, S. D. Barthelmy, L. M. Bartlett, K. W. Chan, A. Furuzawa, N. Gehrels, K. Haga, H. Kunieda, P. Kurczynski, N. Nakajo, N. Nakamura, Y. Namba, Y. Ogasaka, T. Okajima, D. Palmer, A. Parsons, Y. Soong, C. M. Stahl, H. Takata, K. Tamura, Y. Tawara, and B. J. Teegarden, Appl. Opt. 37, 34 (1998).

K. Yamashita, P. J. Serlemitsos, J. Tueller, S. D. Barthelmy, L. M. Bartlett, K. W. Chan, A. Furuzawa, N. Gehrels, K. Haga, H. Kunieda, P. Kurczynski, H. Takata, K. Tamura, Y. Tawara, and B. J. Teegarden, Appl. Opt. 37, 8067 (1998).

K. Yamashita, K. Akiyama, K. Haga, H. Kunieda, G. S. Lodha, N. Nakamura, T. Okajima, K. Tamura, and Y. Tawara, J. Synchrotron Radiation 3, 711 (1998).

Hunter, W. R.

J. F. Seely, M. P. Kowalski, W. R. Hunter, and G. Gutman, Appl. Opt. 35, 22 (1996).

Hussain, A. M.

A. M. Hussain, F. E. Christensen, G. Pareschi, and H. F. Poulsen, Proc. SPIE 3444, 443 (1998).

Ichimaru, S.

Y. Ogasaka, K. Tamura, K. Haga, T. Okajima, S. Ichimaru, S. Takayashi, A. Gotou, H. Kitou, S. Fukuda, H. Kunieda, Y. Tawara, K. Yamashita, Y. Tsusaka, P. J. Serlemitsos, Y. Soong, K. W. Chan, F. Owens, S. Berendse, and J. Tueller, Proc. SPIE 4012, 294 (2000).

Kitou, H.

Y. Ogasaka, K. Tamura, K. Haga, T. Okajima, S. Ichimaru, S. Takayashi, A. Gotou, H. Kitou, S. Fukuda, H. Kunieda, Y. Tawara, K. Yamashita, Y. Tsusaka, P. J. Serlemitsos, Y. Soong, K. W. Chan, F. Owens, S. Berendse, and J. Tueller, Proc. SPIE 4012, 294 (2000).

Kowalski, M. P.

J. F. Seely, M. P. Kowalski, W. R. Hunter, and G. Gutman, Appl. Opt. 35, 22 (1996).

Kunieda, H.

Y. Ogasaka, K. Tamura, K. Haga, T. Okajima, S. Ichimaru, S. Takayashi, A. Gotou, H. Kitou, S. Fukuda, H. Kunieda, Y. Tawara, K. Yamashita, Y. Tsusaka, P. J. Serlemitsos, Y. Soong, K. W. Chan, F. Owens, S. Berendse, and J. Tueller, Proc. SPIE 4012, 294 (2000).

K. Yamashita, J. Peter, J. Tueller, S. D. Barthelmy, L. M. Bartlett, K. W. Chan, A. Furuzawa, N. Gehrels, K. Haga, H. Kunieda, P. Kurczynski, N. Nakajo, N. Nakamura, Y. Namba, Y. Ogasaka, T. Okajima, D. Palmer, A. Parsons, Y. Soong, C. M. Stahl, H. Takata, K. Tamura, Y. Tawara, and B. J. Teegarden, Appl. Opt. 37, 34 (1998).

K. Yamashita, K. Akiyama, K. Haga, H. Kunieda, G. S. Lodha, N. Nakamura, T. Okajima, K. Tamura, and Y. Tawara, J. Synchrotron Radiation 3, 711 (1998).

K. Yamashita, P. J. Serlemitsos, J. Tueller, S. D. Barthelmy, L. M. Bartlett, K. W. Chan, A. Furuzawa, N. Gehrels, K. Haga, H. Kunieda, P. Kurczynski, H. Takata, K. Tamura, Y. Tawara, and B. J. Teegarden, Appl. Opt. 37, 8067 (1998).

Kurczynski, P.

Lodha, G. S.

K. Yamashita, K. Akiyama, K. Haga, H. Kunieda, G. S. Lodha, N. Nakamura, T. Okajima, K. Tamura, and Y. Tawara, J. Synchrotron Radiation 3, 711 (1998).

Michette, A. G.

Z. S. Wan, J. L. Cao, and A. G. Michette, Opt. Commun. 177, 25 (2000).

Nakajo, N.

Nakamura, N.

Namba, Y.

Ogasaka, Y.

Y. Ogasaka, K. Tamura, K. Haga, T. Okajima, S. Ichimaru, S. Takayashi, A. Gotou, H. Kitou, S. Fukuda, H. Kunieda, Y. Tawara, K. Yamashita, Y. Tsusaka, P. J. Serlemitsos, Y. Soong, K. W. Chan, F. Owens, S. Berendse, and J. Tueller, Proc. SPIE 4012, 294 (2000).

K. Yamashita, J. Peter, J. Tueller, S. D. Barthelmy, L. M. Bartlett, K. W. Chan, A. Furuzawa, N. Gehrels, K. Haga, H. Kunieda, P. Kurczynski, N. Nakajo, N. Nakamura, Y. Namba, Y. Ogasaka, T. Okajima, D. Palmer, A. Parsons, Y. Soong, C. M. Stahl, H. Takata, K. Tamura, Y. Tawara, and B. J. Teegarden, Appl. Opt. 37, 34 (1998).

Okajima, T.

Y. Ogasaka, K. Tamura, K. Haga, T. Okajima, S. Ichimaru, S. Takayashi, A. Gotou, H. Kitou, S. Fukuda, H. Kunieda, Y. Tawara, K. Yamashita, Y. Tsusaka, P. J. Serlemitsos, Y. Soong, K. W. Chan, F. Owens, S. Berendse, and J. Tueller, Proc. SPIE 4012, 294 (2000).

K. Yamashita, J. Peter, J. Tueller, S. D. Barthelmy, L. M. Bartlett, K. W. Chan, A. Furuzawa, N. Gehrels, K. Haga, H. Kunieda, P. Kurczynski, N. Nakajo, N. Nakamura, Y. Namba, Y. Ogasaka, T. Okajima, D. Palmer, A. Parsons, Y. Soong, C. M. Stahl, H. Takata, K. Tamura, Y. Tawara, and B. J. Teegarden, Appl. Opt. 37, 34 (1998).

K. Yamashita, K. Akiyama, K. Haga, H. Kunieda, G. S. Lodha, N. Nakamura, T. Okajima, K. Tamura, and Y. Tawara, J. Synchrotron Radiation 3, 711 (1998).

Owens, F.

Y. Ogasaka, K. Tamura, K. Haga, T. Okajima, S. Ichimaru, S. Takayashi, A. Gotou, H. Kitou, S. Fukuda, H. Kunieda, Y. Tawara, K. Yamashita, Y. Tsusaka, P. J. Serlemitsos, Y. Soong, K. W. Chan, F. Owens, S. Berendse, and J. Tueller, Proc. SPIE 4012, 294 (2000).

Palmer, D.

Pareschi, G.

A. M. Hussain, F. E. Christensen, G. Pareschi, and H. F. Poulsen, Proc. SPIE 3444, 443 (1998).

Parsons, A.

Peter, J.

Poulsen, H. F.

A. M. Hussain, F. E. Christensen, G. Pareschi, and H. F. Poulsen, Proc. SPIE 3444, 443 (1998).

Qin, S. J.

Z. Zhang, Z. S. Wang, F. L. Wang, S. J. Qin, and L. Y. Chen, Chin. Phys. Lett. 21, 12 (2004).

Seely, J. F.

J. F. Seely, M. P. Kowalski, W. R. Hunter, and G. Gutman, Appl. Opt. 35, 22 (1996).

Serlemitsos, P. J.

Y. Ogasaka, K. Tamura, K. Haga, T. Okajima, S. Ichimaru, S. Takayashi, A. Gotou, H. Kitou, S. Fukuda, H. Kunieda, Y. Tawara, K. Yamashita, Y. Tsusaka, P. J. Serlemitsos, Y. Soong, K. W. Chan, F. Owens, S. Berendse, and J. Tueller, Proc. SPIE 4012, 294 (2000).

K. Yamashita, P. J. Serlemitsos, J. Tueller, S. D. Barthelmy, L. M. Bartlett, K. W. Chan, A. Furuzawa, N. Gehrels, K. Haga, H. Kunieda, P. Kurczynski, H. Takata, K. Tamura, Y. Tawara, and B. J. Teegarden, Appl. Opt. 37, 8067 (1998).

Soong, Y.

Y. Ogasaka, K. Tamura, K. Haga, T. Okajima, S. Ichimaru, S. Takayashi, A. Gotou, H. Kitou, S. Fukuda, H. Kunieda, Y. Tawara, K. Yamashita, Y. Tsusaka, P. J. Serlemitsos, Y. Soong, K. W. Chan, F. Owens, S. Berendse, and J. Tueller, Proc. SPIE 4012, 294 (2000).

K. Yamashita, J. Peter, J. Tueller, S. D. Barthelmy, L. M. Bartlett, K. W. Chan, A. Furuzawa, N. Gehrels, K. Haga, H. Kunieda, P. Kurczynski, N. Nakajo, N. Nakamura, Y. Namba, Y. Ogasaka, T. Okajima, D. Palmer, A. Parsons, Y. Soong, C. M. Stahl, H. Takata, K. Tamura, Y. Tawara, and B. J. Teegarden, Appl. Opt. 37, 34 (1998).

Stahl, C. M.

Takata, H.

Takayashi, S.

Y. Ogasaka, K. Tamura, K. Haga, T. Okajima, S. Ichimaru, S. Takayashi, A. Gotou, H. Kitou, S. Fukuda, H. Kunieda, Y. Tawara, K. Yamashita, Y. Tsusaka, P. J. Serlemitsos, Y. Soong, K. W. Chan, F. Owens, S. Berendse, and J. Tueller, Proc. SPIE 4012, 294 (2000).

Tamura, K.

Y. Ogasaka, K. Tamura, K. Haga, T. Okajima, S. Ichimaru, S. Takayashi, A. Gotou, H. Kitou, S. Fukuda, H. Kunieda, Y. Tawara, K. Yamashita, Y. Tsusaka, P. J. Serlemitsos, Y. Soong, K. W. Chan, F. Owens, S. Berendse, and J. Tueller, Proc. SPIE 4012, 294 (2000).

K. Yamashita, J. Peter, J. Tueller, S. D. Barthelmy, L. M. Bartlett, K. W. Chan, A. Furuzawa, N. Gehrels, K. Haga, H. Kunieda, P. Kurczynski, N. Nakajo, N. Nakamura, Y. Namba, Y. Ogasaka, T. Okajima, D. Palmer, A. Parsons, Y. Soong, C. M. Stahl, H. Takata, K. Tamura, Y. Tawara, and B. J. Teegarden, Appl. Opt. 37, 34 (1998).

K. Yamashita, P. J. Serlemitsos, J. Tueller, S. D. Barthelmy, L. M. Bartlett, K. W. Chan, A. Furuzawa, N. Gehrels, K. Haga, H. Kunieda, P. Kurczynski, H. Takata, K. Tamura, Y. Tawara, and B. J. Teegarden, Appl. Opt. 37, 8067 (1998).

K. Yamashita, K. Akiyama, K. Haga, H. Kunieda, G. S. Lodha, N. Nakamura, T. Okajima, K. Tamura, and Y. Tawara, J. Synchrotron Radiation 3, 711 (1998).

Tawara, Y.

Y. Ogasaka, K. Tamura, K. Haga, T. Okajima, S. Ichimaru, S. Takayashi, A. Gotou, H. Kitou, S. Fukuda, H. Kunieda, Y. Tawara, K. Yamashita, Y. Tsusaka, P. J. Serlemitsos, Y. Soong, K. W. Chan, F. Owens, S. Berendse, and J. Tueller, Proc. SPIE 4012, 294 (2000).

K. Yamashita, J. Peter, J. Tueller, S. D. Barthelmy, L. M. Bartlett, K. W. Chan, A. Furuzawa, N. Gehrels, K. Haga, H. Kunieda, P. Kurczynski, N. Nakajo, N. Nakamura, Y. Namba, Y. Ogasaka, T. Okajima, D. Palmer, A. Parsons, Y. Soong, C. M. Stahl, H. Takata, K. Tamura, Y. Tawara, and B. J. Teegarden, Appl. Opt. 37, 34 (1998).

K. Yamashita, K. Akiyama, K. Haga, H. Kunieda, G. S. Lodha, N. Nakamura, T. Okajima, K. Tamura, and Y. Tawara, J. Synchrotron Radiation 3, 711 (1998).

K. Yamashita, P. J. Serlemitsos, J. Tueller, S. D. Barthelmy, L. M. Bartlett, K. W. Chan, A. Furuzawa, N. Gehrels, K. Haga, H. Kunieda, P. Kurczynski, H. Takata, K. Tamura, Y. Tawara, and B. J. Teegarden, Appl. Opt. 37, 8067 (1998).

Teegarden, B. J.

Tsusaka, Y.

Y. Ogasaka, K. Tamura, K. Haga, T. Okajima, S. Ichimaru, S. Takayashi, A. Gotou, H. Kitou, S. Fukuda, H. Kunieda, Y. Tawara, K. Yamashita, Y. Tsusaka, P. J. Serlemitsos, Y. Soong, K. W. Chan, F. Owens, S. Berendse, and J. Tueller, Proc. SPIE 4012, 294 (2000).

Tueller, J.

Wan, Z. S.

Z. S. Wan, J. L. Cao, and A. G. Michette, Opt. Commun. 177, 25 (2000).

Wang, F. L.

Z. Zhang, Z. S. Wang, F. L. Wang, S. J. Qin, and L. Y. Chen, Chin. Phys. Lett. 21, 12 (2004).

Wang, Z. S.

Z. Zhang, Z. S. Wang, F. L. Wang, S. J. Qin, and L. Y. Chen, Chin. Phys. Lett. 21, 12 (2004).

Windt, D. L.

D. L. Windt, Computer in Physics 12, 360 (1998).

Yamashita, K.

Y. Ogasaka, K. Tamura, K. Haga, T. Okajima, S. Ichimaru, S. Takayashi, A. Gotou, H. Kitou, S. Fukuda, H. Kunieda, Y. Tawara, K. Yamashita, Y. Tsusaka, P. J. Serlemitsos, Y. Soong, K. W. Chan, F. Owens, S. Berendse, and J. Tueller, Proc. SPIE 4012, 294 (2000).

K. Yamashita, J. Peter, J. Tueller, S. D. Barthelmy, L. M. Bartlett, K. W. Chan, A. Furuzawa, N. Gehrels, K. Haga, H. Kunieda, P. Kurczynski, N. Nakajo, N. Nakamura, Y. Namba, Y. Ogasaka, T. Okajima, D. Palmer, A. Parsons, Y. Soong, C. M. Stahl, H. Takata, K. Tamura, Y. Tawara, and B. J. Teegarden, Appl. Opt. 37, 34 (1998).

K. Yamashita, P. J. Serlemitsos, J. Tueller, S. D. Barthelmy, L. M. Bartlett, K. W. Chan, A. Furuzawa, N. Gehrels, K. Haga, H. Kunieda, P. Kurczynski, H. Takata, K. Tamura, Y. Tawara, and B. J. Teegarden, Appl. Opt. 37, 8067 (1998).

K. Yamashita, K. Akiyama, K. Haga, H. Kunieda, G. S. Lodha, N. Nakamura, T. Okajima, K. Tamura, and Y. Tawara, J. Synchrotron Radiation 3, 711 (1998).

Zhang, Z.

Z. Zhang, Z. S. Wang, F. L. Wang, S. J. Qin, and L. Y. Chen, Chin. Phys. Lett. 21, 12 (2004).

Appl. Opt. (3)

Chin. Phys. Lett. (1)

Z. Zhang, Z. S. Wang, F. L. Wang, S. J. Qin, and L. Y. Chen, Chin. Phys. Lett. 21, 12 (2004).

Computer in Physics (1)

D. L. Windt, Computer in Physics 12, 360 (1998).

J. Synchrotron Radiation (1)

K. Yamashita, K. Akiyama, K. Haga, H. Kunieda, G. S. Lodha, N. Nakamura, T. Okajima, K. Tamura, and Y. Tawara, J. Synchrotron Radiation 3, 711 (1998).

Opt. Commun. (1)

Z. S. Wan, J. L. Cao, and A. G. Michette, Opt. Commun. 177, 25 (2000).

Proc. SPIE (2)

A. M. Hussain, F. E. Christensen, G. Pareschi, and H. F. Poulsen, Proc. SPIE 3444, 443 (1998).

Y. Ogasaka, K. Tamura, K. Haga, T. Okajima, S. Ichimaru, S. Takayashi, A. Gotou, H. Kitou, S. Fukuda, H. Kunieda, Y. Tawara, K. Yamashita, Y. Tsusaka, P. J. Serlemitsos, Y. Soong, K. W. Chan, F. Owens, S. Berendse, and J. Tueller, Proc. SPIE 4012, 294 (2000).

Other (1)

I. V. Kozhevnikov, I. N. Bukreeva, and E. Ziegler, Nuclear Institutes and Methods in Physics Research A460, 424 (2001).

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.