Abstract

A novel read-only memory (ROM) disk with an AgOx mask layer was proposed and studied in this letter. The AgOx films sputtered on the premastered substrates, with pits depth of 50 nm and pits length of 380 nm, were studied by an atomic force microscopy. The transmittances of these AgOx films were also measured by a spectrophotometer. Disk measurement was carried out by a dynamic setup with a laser wavelength of 632.8 nm and a lens numerical aperture (NA) of 0.40. The readout resolution limit of this setup was ?/(4NA) (400 nm). Results showed that the super-resolution readout happened only when the oxygen flow ratios were at suitable values for these disks. The best super-resolution performance was achieved at the oxygen flow ratio of 0.5 with the smoothest film surface. The super-resolution readout mechanism of these ROM disks was analyzed as well.

© 2005 Chinese Optics Letters

PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. J. Tominaga, T. Nakano, and N. Atoda, Appl. Phys. Lett. 73, 2078 (1998).
  2. H. Fuji, J. Tominaga, L. Men, T. Nakano, H. Katayama, and N. Atoda, Jpn. J. Appl. Phys. 39, 980 (2000).
  3. J. Tominaga, D. Buechel, T. Nakano, H. Fuji, T. Fukaya, and N. Atoda, Proc. SPIE 4081, 86 (2000).
  4. J. Kim, I. Hwang, D. Yoon, I. Park, D. Shin, T. Kikukawa, T. Shima, and J. Tominaga, Appl. Phys. Lett. 83, 1701 (2003).
  5. W.-C. Liu, C.-Y. Wen, K.-H. Chen, W.-C. Lin, and D. P. Tsai, Appl. Phys. Lett. 78, 685 (2001).
  6. Y.-C. Her, Y.-C. Lan, W.-C. Hsu, and S.-Y. Tsai, Appl. Phys. Lett. 83, 2136 (2003).
  7. T. Kikukawa, A. Tachibana, H. Fuji, and J. Tominaga, Jpn. J. Appl. Phys. 42, 1038 (2003).
  8. J. Tominaga, C. Mihalcea, D. B\"{uchel, H. Fukuda, T. Nakano, N. Atoda, H. Fuji, and T. Kikukawa, Appl. Phys. Lett. 78, 2417 (2001).
  9. T. Kikukawa, T. Kato, H. Shingai, and H. Utsunomiya, Jpn. J. Appl. Phys. 40, 1624 (2001).
  10. K. Yasuda, M. Ono, K. Aratani, A. Fukumoto, and M. Kaneko, Jpn. J. Appl. Phys. 32, 5210 (1993).
  11. Y. Wu, H. Khoo, and T. Kogure, Appl. Phys. Lett. 64, 3225 (1994).
  12. T. Shintani, M. Terao, H. Yamamoto, and T. Naito, Jpn. J. Appl. Phys. 38, 1656 (1999).
  13. T. Nagase, S. Ashida, and K. Ichihara, Jpn. J. Appl. Phys. 38, 1665 (1999).
  14. T. Tsujioka, M. Kume, Y. Horikawa, A. Ishikawa, and M. Irie, Jpn. J. Appl. Phys. 36, 526 (1997).
  15. J. Wei and F. Gan, Opt. Eng. 41, 2073 (2002).
  16. J. Wei, Y. Wang, W. Xu, Z. Sun, F. Zhang, F. Zhou, and F. Gan, Chin. Opt. Lett. 1, 420 (2003).
  17. M. Yamamoto, G. Mori, H. Tajima, N. Takamori, and A. Takahashi, Jpn. J. Appl. Phys. 43, 4959 (2004).
  18. D. Yoon, J. Kim, H. Kim, I. Hwang, I. Park, D. Shin,Y. Park, and J.Tomingaga, Jpn. J. Appl. Phys. 43, 4945 (2004).
  19. H. Fuji, J. Tominaga, T. Nakano, N. Atoda, and H. Katayama, Proc. SPIE 3864, 423 (1999).
  20. L. Men, J. Tominaga, F. Fuji, and N. Atoda, Jpn. J. Appl. Phys. 39, 2639 (2000).
  21. Y.-C. Her, Y.-C. Lan, W.-C. Hsu, and S.-Y. Tsai, Jpn. J. Appl. Phys. 43, 267 (2004).
  22. F. H. Ho, H. H. Chang, Y. H. Lin, B.-M. Chen, S.-Y. Wang, and D. P. Tsai, Jpn. J. Appl. Phys. 42, 1000 (2003).

2004 (3)

M. Yamamoto, G. Mori, H. Tajima, N. Takamori, and A. Takahashi, Jpn. J. Appl. Phys. 43, 4959 (2004).

D. Yoon, J. Kim, H. Kim, I. Hwang, I. Park, D. Shin,Y. Park, and J.Tomingaga, Jpn. J. Appl. Phys. 43, 4945 (2004).

Y.-C. Her, Y.-C. Lan, W.-C. Hsu, and S.-Y. Tsai, Jpn. J. Appl. Phys. 43, 267 (2004).

2003 (5)

F. H. Ho, H. H. Chang, Y. H. Lin, B.-M. Chen, S.-Y. Wang, and D. P. Tsai, Jpn. J. Appl. Phys. 42, 1000 (2003).

J. Wei, Y. Wang, W. Xu, Z. Sun, F. Zhang, F. Zhou, and F. Gan, Chin. Opt. Lett. 1, 420 (2003).

J. Kim, I. Hwang, D. Yoon, I. Park, D. Shin, T. Kikukawa, T. Shima, and J. Tominaga, Appl. Phys. Lett. 83, 1701 (2003).

Y.-C. Her, Y.-C. Lan, W.-C. Hsu, and S.-Y. Tsai, Appl. Phys. Lett. 83, 2136 (2003).

T. Kikukawa, A. Tachibana, H. Fuji, and J. Tominaga, Jpn. J. Appl. Phys. 42, 1038 (2003).

2002 (1)

J. Wei and F. Gan, Opt. Eng. 41, 2073 (2002).

2001 (3)

J. Tominaga, C. Mihalcea, D. B\"{uchel, H. Fukuda, T. Nakano, N. Atoda, H. Fuji, and T. Kikukawa, Appl. Phys. Lett. 78, 2417 (2001).

T. Kikukawa, T. Kato, H. Shingai, and H. Utsunomiya, Jpn. J. Appl. Phys. 40, 1624 (2001).

W.-C. Liu, C.-Y. Wen, K.-H. Chen, W.-C. Lin, and D. P. Tsai, Appl. Phys. Lett. 78, 685 (2001).

2000 (3)

H. Fuji, J. Tominaga, L. Men, T. Nakano, H. Katayama, and N. Atoda, Jpn. J. Appl. Phys. 39, 980 (2000).

J. Tominaga, D. Buechel, T. Nakano, H. Fuji, T. Fukaya, and N. Atoda, Proc. SPIE 4081, 86 (2000).

L. Men, J. Tominaga, F. Fuji, and N. Atoda, Jpn. J. Appl. Phys. 39, 2639 (2000).

1999 (3)

H. Fuji, J. Tominaga, T. Nakano, N. Atoda, and H. Katayama, Proc. SPIE 3864, 423 (1999).

T. Shintani, M. Terao, H. Yamamoto, and T. Naito, Jpn. J. Appl. Phys. 38, 1656 (1999).

T. Nagase, S. Ashida, and K. Ichihara, Jpn. J. Appl. Phys. 38, 1665 (1999).

1998 (1)

J. Tominaga, T. Nakano, and N. Atoda, Appl. Phys. Lett. 73, 2078 (1998).

1997 (1)

T. Tsujioka, M. Kume, Y. Horikawa, A. Ishikawa, and M. Irie, Jpn. J. Appl. Phys. 36, 526 (1997).

1994 (1)

Y. Wu, H. Khoo, and T. Kogure, Appl. Phys. Lett. 64, 3225 (1994).

1993 (1)

K. Yasuda, M. Ono, K. Aratani, A. Fukumoto, and M. Kaneko, Jpn. J. Appl. Phys. 32, 5210 (1993).

Aratani, K.

K. Yasuda, M. Ono, K. Aratani, A. Fukumoto, and M. Kaneko, Jpn. J. Appl. Phys. 32, 5210 (1993).

Ashida, S.

T. Nagase, S. Ashida, and K. Ichihara, Jpn. J. Appl. Phys. 38, 1665 (1999).

Atoda, N.

J. Tominaga, C. Mihalcea, D. B\"{uchel, H. Fukuda, T. Nakano, N. Atoda, H. Fuji, and T. Kikukawa, Appl. Phys. Lett. 78, 2417 (2001).

H. Fuji, J. Tominaga, L. Men, T. Nakano, H. Katayama, and N. Atoda, Jpn. J. Appl. Phys. 39, 980 (2000).

L. Men, J. Tominaga, F. Fuji, and N. Atoda, Jpn. J. Appl. Phys. 39, 2639 (2000).

J. Tominaga, D. Buechel, T. Nakano, H. Fuji, T. Fukaya, and N. Atoda, Proc. SPIE 4081, 86 (2000).

H. Fuji, J. Tominaga, T. Nakano, N. Atoda, and H. Katayama, Proc. SPIE 3864, 423 (1999).

J. Tominaga, T. Nakano, and N. Atoda, Appl. Phys. Lett. 73, 2078 (1998).

B\"{uchel, D.

J. Tominaga, C. Mihalcea, D. B\"{uchel, H. Fukuda, T. Nakano, N. Atoda, H. Fuji, and T. Kikukawa, Appl. Phys. Lett. 78, 2417 (2001).

Buechel, D.

J. Tominaga, D. Buechel, T. Nakano, H. Fuji, T. Fukaya, and N. Atoda, Proc. SPIE 4081, 86 (2000).

Chang, H. H.

F. H. Ho, H. H. Chang, Y. H. Lin, B.-M. Chen, S.-Y. Wang, and D. P. Tsai, Jpn. J. Appl. Phys. 42, 1000 (2003).

Chen, B.-M.

F. H. Ho, H. H. Chang, Y. H. Lin, B.-M. Chen, S.-Y. Wang, and D. P. Tsai, Jpn. J. Appl. Phys. 42, 1000 (2003).

Chen, K.-H.

W.-C. Liu, C.-Y. Wen, K.-H. Chen, W.-C. Lin, and D. P. Tsai, Appl. Phys. Lett. 78, 685 (2001).

Fuji, F.

L. Men, J. Tominaga, F. Fuji, and N. Atoda, Jpn. J. Appl. Phys. 39, 2639 (2000).

Fuji, H.

T. Kikukawa, A. Tachibana, H. Fuji, and J. Tominaga, Jpn. J. Appl. Phys. 42, 1038 (2003).

J. Tominaga, C. Mihalcea, D. B\"{uchel, H. Fukuda, T. Nakano, N. Atoda, H. Fuji, and T. Kikukawa, Appl. Phys. Lett. 78, 2417 (2001).

J. Tominaga, D. Buechel, T. Nakano, H. Fuji, T. Fukaya, and N. Atoda, Proc. SPIE 4081, 86 (2000).

H. Fuji, J. Tominaga, L. Men, T. Nakano, H. Katayama, and N. Atoda, Jpn. J. Appl. Phys. 39, 980 (2000).

H. Fuji, J. Tominaga, T. Nakano, N. Atoda, and H. Katayama, Proc. SPIE 3864, 423 (1999).

Fukaya, T.

J. Tominaga, D. Buechel, T. Nakano, H. Fuji, T. Fukaya, and N. Atoda, Proc. SPIE 4081, 86 (2000).

Fukuda, H.

J. Tominaga, C. Mihalcea, D. B\"{uchel, H. Fukuda, T. Nakano, N. Atoda, H. Fuji, and T. Kikukawa, Appl. Phys. Lett. 78, 2417 (2001).

Fukumoto, A.

K. Yasuda, M. Ono, K. Aratani, A. Fukumoto, and M. Kaneko, Jpn. J. Appl. Phys. 32, 5210 (1993).

Gan, F.

Her, Y.-C.

Y.-C. Her, Y.-C. Lan, W.-C. Hsu, and S.-Y. Tsai, Jpn. J. Appl. Phys. 43, 267 (2004).

Y.-C. Her, Y.-C. Lan, W.-C. Hsu, and S.-Y. Tsai, Appl. Phys. Lett. 83, 2136 (2003).

Ho, F. H.

F. H. Ho, H. H. Chang, Y. H. Lin, B.-M. Chen, S.-Y. Wang, and D. P. Tsai, Jpn. J. Appl. Phys. 42, 1000 (2003).

Horikawa, Y.

T. Tsujioka, M. Kume, Y. Horikawa, A. Ishikawa, and M. Irie, Jpn. J. Appl. Phys. 36, 526 (1997).

Hsu, W.-C.

Y.-C. Her, Y.-C. Lan, W.-C. Hsu, and S.-Y. Tsai, Jpn. J. Appl. Phys. 43, 267 (2004).

Y.-C. Her, Y.-C. Lan, W.-C. Hsu, and S.-Y. Tsai, Appl. Phys. Lett. 83, 2136 (2003).

Hwang, I.

D. Yoon, J. Kim, H. Kim, I. Hwang, I. Park, D. Shin,Y. Park, and J.Tomingaga, Jpn. J. Appl. Phys. 43, 4945 (2004).

J. Kim, I. Hwang, D. Yoon, I. Park, D. Shin, T. Kikukawa, T. Shima, and J. Tominaga, Appl. Phys. Lett. 83, 1701 (2003).

Ichihara, K.

T. Nagase, S. Ashida, and K. Ichihara, Jpn. J. Appl. Phys. 38, 1665 (1999).

Irie, M.

T. Tsujioka, M. Kume, Y. Horikawa, A. Ishikawa, and M. Irie, Jpn. J. Appl. Phys. 36, 526 (1997).

Ishikawa, A.

T. Tsujioka, M. Kume, Y. Horikawa, A. Ishikawa, and M. Irie, Jpn. J. Appl. Phys. 36, 526 (1997).

Kaneko, M.

K. Yasuda, M. Ono, K. Aratani, A. Fukumoto, and M. Kaneko, Jpn. J. Appl. Phys. 32, 5210 (1993).

Katayama, H.

H. Fuji, J. Tominaga, L. Men, T. Nakano, H. Katayama, and N. Atoda, Jpn. J. Appl. Phys. 39, 980 (2000).

H. Fuji, J. Tominaga, T. Nakano, N. Atoda, and H. Katayama, Proc. SPIE 3864, 423 (1999).

Kato, T.

T. Kikukawa, T. Kato, H. Shingai, and H. Utsunomiya, Jpn. J. Appl. Phys. 40, 1624 (2001).

Khoo, H.

Y. Wu, H. Khoo, and T. Kogure, Appl. Phys. Lett. 64, 3225 (1994).

Kikukawa, T.

J. Kim, I. Hwang, D. Yoon, I. Park, D. Shin, T. Kikukawa, T. Shima, and J. Tominaga, Appl. Phys. Lett. 83, 1701 (2003).

T. Kikukawa, A. Tachibana, H. Fuji, and J. Tominaga, Jpn. J. Appl. Phys. 42, 1038 (2003).

T. Kikukawa, T. Kato, H. Shingai, and H. Utsunomiya, Jpn. J. Appl. Phys. 40, 1624 (2001).

J. Tominaga, C. Mihalcea, D. B\"{uchel, H. Fukuda, T. Nakano, N. Atoda, H. Fuji, and T. Kikukawa, Appl. Phys. Lett. 78, 2417 (2001).

Kim, H.

D. Yoon, J. Kim, H. Kim, I. Hwang, I. Park, D. Shin,Y. Park, and J.Tomingaga, Jpn. J. Appl. Phys. 43, 4945 (2004).

Kim, J.

D. Yoon, J. Kim, H. Kim, I. Hwang, I. Park, D. Shin,Y. Park, and J.Tomingaga, Jpn. J. Appl. Phys. 43, 4945 (2004).

J. Kim, I. Hwang, D. Yoon, I. Park, D. Shin, T. Kikukawa, T. Shima, and J. Tominaga, Appl. Phys. Lett. 83, 1701 (2003).

Kogure, T.

Y. Wu, H. Khoo, and T. Kogure, Appl. Phys. Lett. 64, 3225 (1994).

Kume, M.

T. Tsujioka, M. Kume, Y. Horikawa, A. Ishikawa, and M. Irie, Jpn. J. Appl. Phys. 36, 526 (1997).

Lan, Y.-C.

Y.-C. Her, Y.-C. Lan, W.-C. Hsu, and S.-Y. Tsai, Jpn. J. Appl. Phys. 43, 267 (2004).

Y.-C. Her, Y.-C. Lan, W.-C. Hsu, and S.-Y. Tsai, Appl. Phys. Lett. 83, 2136 (2003).

Lin, W.-C.

W.-C. Liu, C.-Y. Wen, K.-H. Chen, W.-C. Lin, and D. P. Tsai, Appl. Phys. Lett. 78, 685 (2001).

Lin, Y. H.

F. H. Ho, H. H. Chang, Y. H. Lin, B.-M. Chen, S.-Y. Wang, and D. P. Tsai, Jpn. J. Appl. Phys. 42, 1000 (2003).

Liu, W.-C.

W.-C. Liu, C.-Y. Wen, K.-H. Chen, W.-C. Lin, and D. P. Tsai, Appl. Phys. Lett. 78, 685 (2001).

Men, L.

L. Men, J. Tominaga, F. Fuji, and N. Atoda, Jpn. J. Appl. Phys. 39, 2639 (2000).

H. Fuji, J. Tominaga, L. Men, T. Nakano, H. Katayama, and N. Atoda, Jpn. J. Appl. Phys. 39, 980 (2000).

Mihalcea, C.

J. Tominaga, C. Mihalcea, D. B\"{uchel, H. Fukuda, T. Nakano, N. Atoda, H. Fuji, and T. Kikukawa, Appl. Phys. Lett. 78, 2417 (2001).

Mori, G.

M. Yamamoto, G. Mori, H. Tajima, N. Takamori, and A. Takahashi, Jpn. J. Appl. Phys. 43, 4959 (2004).

Nagase, T.

T. Nagase, S. Ashida, and K. Ichihara, Jpn. J. Appl. Phys. 38, 1665 (1999).

Naito, T.

T. Shintani, M. Terao, H. Yamamoto, and T. Naito, Jpn. J. Appl. Phys. 38, 1656 (1999).

Nakano, T.

J. Tominaga, C. Mihalcea, D. B\"{uchel, H. Fukuda, T. Nakano, N. Atoda, H. Fuji, and T. Kikukawa, Appl. Phys. Lett. 78, 2417 (2001).

H. Fuji, J. Tominaga, L. Men, T. Nakano, H. Katayama, and N. Atoda, Jpn. J. Appl. Phys. 39, 980 (2000).

J. Tominaga, D. Buechel, T. Nakano, H. Fuji, T. Fukaya, and N. Atoda, Proc. SPIE 4081, 86 (2000).

H. Fuji, J. Tominaga, T. Nakano, N. Atoda, and H. Katayama, Proc. SPIE 3864, 423 (1999).

J. Tominaga, T. Nakano, and N. Atoda, Appl. Phys. Lett. 73, 2078 (1998).

Ono, M.

K. Yasuda, M. Ono, K. Aratani, A. Fukumoto, and M. Kaneko, Jpn. J. Appl. Phys. 32, 5210 (1993).

Park, I.

D. Yoon, J. Kim, H. Kim, I. Hwang, I. Park, D. Shin,Y. Park, and J.Tomingaga, Jpn. J. Appl. Phys. 43, 4945 (2004).

J. Kim, I. Hwang, D. Yoon, I. Park, D. Shin, T. Kikukawa, T. Shima, and J. Tominaga, Appl. Phys. Lett. 83, 1701 (2003).

Park, Y.

D. Yoon, J. Kim, H. Kim, I. Hwang, I. Park, D. Shin,Y. Park, and J.Tomingaga, Jpn. J. Appl. Phys. 43, 4945 (2004).

Shima, T.

J. Kim, I. Hwang, D. Yoon, I. Park, D. Shin, T. Kikukawa, T. Shima, and J. Tominaga, Appl. Phys. Lett. 83, 1701 (2003).

Shin, D.

D. Yoon, J. Kim, H. Kim, I. Hwang, I. Park, D. Shin,Y. Park, and J.Tomingaga, Jpn. J. Appl. Phys. 43, 4945 (2004).

J. Kim, I. Hwang, D. Yoon, I. Park, D. Shin, T. Kikukawa, T. Shima, and J. Tominaga, Appl. Phys. Lett. 83, 1701 (2003).

Shingai, H.

T. Kikukawa, T. Kato, H. Shingai, and H. Utsunomiya, Jpn. J. Appl. Phys. 40, 1624 (2001).

Shintani, T.

T. Shintani, M. Terao, H. Yamamoto, and T. Naito, Jpn. J. Appl. Phys. 38, 1656 (1999).

Sun, Z.

Tachibana, A.

T. Kikukawa, A. Tachibana, H. Fuji, and J. Tominaga, Jpn. J. Appl. Phys. 42, 1038 (2003).

Tajima, H.

M. Yamamoto, G. Mori, H. Tajima, N. Takamori, and A. Takahashi, Jpn. J. Appl. Phys. 43, 4959 (2004).

Takahashi, A.

M. Yamamoto, G. Mori, H. Tajima, N. Takamori, and A. Takahashi, Jpn. J. Appl. Phys. 43, 4959 (2004).

Takamori, N.

M. Yamamoto, G. Mori, H. Tajima, N. Takamori, and A. Takahashi, Jpn. J. Appl. Phys. 43, 4959 (2004).

Terao, M.

T. Shintani, M. Terao, H. Yamamoto, and T. Naito, Jpn. J. Appl. Phys. 38, 1656 (1999).

Tominaga, J.

J. Kim, I. Hwang, D. Yoon, I. Park, D. Shin, T. Kikukawa, T. Shima, and J. Tominaga, Appl. Phys. Lett. 83, 1701 (2003).

T. Kikukawa, A. Tachibana, H. Fuji, and J. Tominaga, Jpn. J. Appl. Phys. 42, 1038 (2003).

J. Tominaga, C. Mihalcea, D. B\"{uchel, H. Fukuda, T. Nakano, N. Atoda, H. Fuji, and T. Kikukawa, Appl. Phys. Lett. 78, 2417 (2001).

J. Tominaga, D. Buechel, T. Nakano, H. Fuji, T. Fukaya, and N. Atoda, Proc. SPIE 4081, 86 (2000).

H. Fuji, J. Tominaga, L. Men, T. Nakano, H. Katayama, and N. Atoda, Jpn. J. Appl. Phys. 39, 980 (2000).

L. Men, J. Tominaga, F. Fuji, and N. Atoda, Jpn. J. Appl. Phys. 39, 2639 (2000).

H. Fuji, J. Tominaga, T. Nakano, N. Atoda, and H. Katayama, Proc. SPIE 3864, 423 (1999).

J. Tominaga, T. Nakano, and N. Atoda, Appl. Phys. Lett. 73, 2078 (1998).

Tsai, D. P.

F. H. Ho, H. H. Chang, Y. H. Lin, B.-M. Chen, S.-Y. Wang, and D. P. Tsai, Jpn. J. Appl. Phys. 42, 1000 (2003).

W.-C. Liu, C.-Y. Wen, K.-H. Chen, W.-C. Lin, and D. P. Tsai, Appl. Phys. Lett. 78, 685 (2001).

Tsai, S.-Y.

Y.-C. Her, Y.-C. Lan, W.-C. Hsu, and S.-Y. Tsai, Jpn. J. Appl. Phys. 43, 267 (2004).

Y.-C. Her, Y.-C. Lan, W.-C. Hsu, and S.-Y. Tsai, Appl. Phys. Lett. 83, 2136 (2003).

Tsujioka, T.

T. Tsujioka, M. Kume, Y. Horikawa, A. Ishikawa, and M. Irie, Jpn. J. Appl. Phys. 36, 526 (1997).

Utsunomiya, H.

T. Kikukawa, T. Kato, H. Shingai, and H. Utsunomiya, Jpn. J. Appl. Phys. 40, 1624 (2001).

Wang, S.-Y.

F. H. Ho, H. H. Chang, Y. H. Lin, B.-M. Chen, S.-Y. Wang, and D. P. Tsai, Jpn. J. Appl. Phys. 42, 1000 (2003).

Wang, Y.

Wei, J.

Wen, C.-Y.

W.-C. Liu, C.-Y. Wen, K.-H. Chen, W.-C. Lin, and D. P. Tsai, Appl. Phys. Lett. 78, 685 (2001).

Wu, Y.

Y. Wu, H. Khoo, and T. Kogure, Appl. Phys. Lett. 64, 3225 (1994).

Xu, W.

Yamamoto, H.

T. Shintani, M. Terao, H. Yamamoto, and T. Naito, Jpn. J. Appl. Phys. 38, 1656 (1999).

Yamamoto, M.

M. Yamamoto, G. Mori, H. Tajima, N. Takamori, and A. Takahashi, Jpn. J. Appl. Phys. 43, 4959 (2004).

Yasuda, K.

K. Yasuda, M. Ono, K. Aratani, A. Fukumoto, and M. Kaneko, Jpn. J. Appl. Phys. 32, 5210 (1993).

Yoon, D.

D. Yoon, J. Kim, H. Kim, I. Hwang, I. Park, D. Shin,Y. Park, and J.Tomingaga, Jpn. J. Appl. Phys. 43, 4945 (2004).

J. Kim, I. Hwang, D. Yoon, I. Park, D. Shin, T. Kikukawa, T. Shima, and J. Tominaga, Appl. Phys. Lett. 83, 1701 (2003).

Zhang, F.

Zhou, F.

Appl. Phys. Lett. (6)

J. Kim, I. Hwang, D. Yoon, I. Park, D. Shin, T. Kikukawa, T. Shima, and J. Tominaga, Appl. Phys. Lett. 83, 1701 (2003).

W.-C. Liu, C.-Y. Wen, K.-H. Chen, W.-C. Lin, and D. P. Tsai, Appl. Phys. Lett. 78, 685 (2001).

Y.-C. Her, Y.-C. Lan, W.-C. Hsu, and S.-Y. Tsai, Appl. Phys. Lett. 83, 2136 (2003).

J. Tominaga, T. Nakano, and N. Atoda, Appl. Phys. Lett. 73, 2078 (1998).

J. Tominaga, C. Mihalcea, D. B\"{uchel, H. Fukuda, T. Nakano, N. Atoda, H. Fuji, and T. Kikukawa, Appl. Phys. Lett. 78, 2417 (2001).

Y. Wu, H. Khoo, and T. Kogure, Appl. Phys. Lett. 64, 3225 (1994).

Chin. Opt. Lett. (1)

Jpn. J. Appl. Phys. (12)

T. Shintani, M. Terao, H. Yamamoto, and T. Naito, Jpn. J. Appl. Phys. 38, 1656 (1999).

T. Nagase, S. Ashida, and K. Ichihara, Jpn. J. Appl. Phys. 38, 1665 (1999).

T. Tsujioka, M. Kume, Y. Horikawa, A. Ishikawa, and M. Irie, Jpn. J. Appl. Phys. 36, 526 (1997).

M. Yamamoto, G. Mori, H. Tajima, N. Takamori, and A. Takahashi, Jpn. J. Appl. Phys. 43, 4959 (2004).

D. Yoon, J. Kim, H. Kim, I. Hwang, I. Park, D. Shin,Y. Park, and J.Tomingaga, Jpn. J. Appl. Phys. 43, 4945 (2004).

L. Men, J. Tominaga, F. Fuji, and N. Atoda, Jpn. J. Appl. Phys. 39, 2639 (2000).

Y.-C. Her, Y.-C. Lan, W.-C. Hsu, and S.-Y. Tsai, Jpn. J. Appl. Phys. 43, 267 (2004).

F. H. Ho, H. H. Chang, Y. H. Lin, B.-M. Chen, S.-Y. Wang, and D. P. Tsai, Jpn. J. Appl. Phys. 42, 1000 (2003).

T. Kikukawa, T. Kato, H. Shingai, and H. Utsunomiya, Jpn. J. Appl. Phys. 40, 1624 (2001).

K. Yasuda, M. Ono, K. Aratani, A. Fukumoto, and M. Kaneko, Jpn. J. Appl. Phys. 32, 5210 (1993).

H. Fuji, J. Tominaga, L. Men, T. Nakano, H. Katayama, and N. Atoda, Jpn. J. Appl. Phys. 39, 980 (2000).

T. Kikukawa, A. Tachibana, H. Fuji, and J. Tominaga, Jpn. J. Appl. Phys. 42, 1038 (2003).

Opt. Eng. (1)

J. Wei and F. Gan, Opt. Eng. 41, 2073 (2002).

Proc. SPIE (2)

H. Fuji, J. Tominaga, T. Nakano, N. Atoda, and H. Katayama, Proc. SPIE 3864, 423 (1999).

J. Tominaga, D. Buechel, T. Nakano, H. Fuji, T. Fukaya, and N. Atoda, Proc. SPIE 4081, 86 (2000).

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.