Abstract

Using a new kind of EH1000 ion source, hafnium dioxide (HfO2) films are deposited with different deposition techniques and different conditions. The absorbance and the laser damage threshold of these films have been measured and studied. By comparing these characteristics, one can conclude that under right conditions, such as high partial pressure of oxygen and right kind of ion source, the ion-assisted reaction deposition can prepare HfO2 films with higher laser induced damage threshold.

© 2005 Chinese Optics Letters

PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. R. Chow, S. Falabella, G. E. Loomis, F. Rainer, C. J. Stolz, and M. R. Kozlowski, Appl. Opt. 32, 5567 (1993).
  2. D. Reicher, P. Black, and K. Jungling, Appl. Opt. 39, 1589 (2000).
  3. M. Alvisi, F. De Tomasi, M. R. Perrone, M. L. Protopapa, A. Rizzo, F. Sarto, and S. Scaglione, Thin Solid Films 396, 44 (2001).
  4. B. Andre, L. Poupinet, and G. Ravel, J. Vac. Sci. Technol. A 18, 2372 (2000).
  5. M. Gilo and N. Croitoru, Thin Sold Films 350, 203 (1999).
  6. M. Alvisi, M. Di Giulio, S. G. Marrone, M. R. Perrone, and M. L. Protopapa, Thin Sold Films 358, 250 (2000).
  7. Y. A. Zhao, Y. J. Wang, H. Gong, J. D. Shao, and Z. X. Fan, Appl. Surface Sci. 210, 353 (2003).
  8. H. Y. Hu, Z. X. Fan, and F. Luo, Appl. Opt. 40, 1950 (2001).
  9. J. P. Hu, P. Ma, Q. Xu, and W. Li, Chin. Opt. Lett. 1, 340 (2003).
  10. H. Y. Hu, Z. X. Fan, and Y. Liu, Chin. J. Lasers (in Chinese) 26, 489 (1999).

2003 (2)

Y. A. Zhao, Y. J. Wang, H. Gong, J. D. Shao, and Z. X. Fan, Appl. Surface Sci. 210, 353 (2003).

J. P. Hu, P. Ma, Q. Xu, and W. Li, Chin. Opt. Lett. 1, 340 (2003).

2001 (2)

H. Y. Hu, Z. X. Fan, and F. Luo, Appl. Opt. 40, 1950 (2001).

M. Alvisi, F. De Tomasi, M. R. Perrone, M. L. Protopapa, A. Rizzo, F. Sarto, and S. Scaglione, Thin Solid Films 396, 44 (2001).

2000 (3)

B. Andre, L. Poupinet, and G. Ravel, J. Vac. Sci. Technol. A 18, 2372 (2000).

D. Reicher, P. Black, and K. Jungling, Appl. Opt. 39, 1589 (2000).

M. Alvisi, M. Di Giulio, S. G. Marrone, M. R. Perrone, and M. L. Protopapa, Thin Sold Films 358, 250 (2000).

1999 (2)

M. Gilo and N. Croitoru, Thin Sold Films 350, 203 (1999).

H. Y. Hu, Z. X. Fan, and Y. Liu, Chin. J. Lasers (in Chinese) 26, 489 (1999).

1993 (1)

Alvisi, M.

M. Alvisi, F. De Tomasi, M. R. Perrone, M. L. Protopapa, A. Rizzo, F. Sarto, and S. Scaglione, Thin Solid Films 396, 44 (2001).

M. Alvisi, M. Di Giulio, S. G. Marrone, M. R. Perrone, and M. L. Protopapa, Thin Sold Films 358, 250 (2000).

Andre, B.

B. Andre, L. Poupinet, and G. Ravel, J. Vac. Sci. Technol. A 18, 2372 (2000).

Black, P.

Chow, R.

Croitoru, N.

M. Gilo and N. Croitoru, Thin Sold Films 350, 203 (1999).

Falabella, S.

Fan, Z. X.

Y. A. Zhao, Y. J. Wang, H. Gong, J. D. Shao, and Z. X. Fan, Appl. Surface Sci. 210, 353 (2003).

H. Y. Hu, Z. X. Fan, and F. Luo, Appl. Opt. 40, 1950 (2001).

H. Y. Hu, Z. X. Fan, and Y. Liu, Chin. J. Lasers (in Chinese) 26, 489 (1999).

Gilo, M.

M. Gilo and N. Croitoru, Thin Sold Films 350, 203 (1999).

Giulio, M. Di

M. Alvisi, M. Di Giulio, S. G. Marrone, M. R. Perrone, and M. L. Protopapa, Thin Sold Films 358, 250 (2000).

Gong, H.

Y. A. Zhao, Y. J. Wang, H. Gong, J. D. Shao, and Z. X. Fan, Appl. Surface Sci. 210, 353 (2003).

Hu, H. Y.

H. Y. Hu, Z. X. Fan, and F. Luo, Appl. Opt. 40, 1950 (2001).

H. Y. Hu, Z. X. Fan, and Y. Liu, Chin. J. Lasers (in Chinese) 26, 489 (1999).

Hu, J. P.

Jungling, K.

Kozlowski, M. R.

Li, W.

Liu, Y.

H. Y. Hu, Z. X. Fan, and Y. Liu, Chin. J. Lasers (in Chinese) 26, 489 (1999).

Loomis, G. E.

Luo, F.

Ma, P.

Marrone, S. G.

M. Alvisi, M. Di Giulio, S. G. Marrone, M. R. Perrone, and M. L. Protopapa, Thin Sold Films 358, 250 (2000).

Perrone, M. R.

M. Alvisi, F. De Tomasi, M. R. Perrone, M. L. Protopapa, A. Rizzo, F. Sarto, and S. Scaglione, Thin Solid Films 396, 44 (2001).

M. Alvisi, M. Di Giulio, S. G. Marrone, M. R. Perrone, and M. L. Protopapa, Thin Sold Films 358, 250 (2000).

Poupinet, L.

B. Andre, L. Poupinet, and G. Ravel, J. Vac. Sci. Technol. A 18, 2372 (2000).

Protopapa, M. L.

M. Alvisi, F. De Tomasi, M. R. Perrone, M. L. Protopapa, A. Rizzo, F. Sarto, and S. Scaglione, Thin Solid Films 396, 44 (2001).

M. Alvisi, M. Di Giulio, S. G. Marrone, M. R. Perrone, and M. L. Protopapa, Thin Sold Films 358, 250 (2000).

Rainer, F.

Ravel, G.

B. Andre, L. Poupinet, and G. Ravel, J. Vac. Sci. Technol. A 18, 2372 (2000).

Reicher, D.

Rizzo, A.

M. Alvisi, F. De Tomasi, M. R. Perrone, M. L. Protopapa, A. Rizzo, F. Sarto, and S. Scaglione, Thin Solid Films 396, 44 (2001).

Sarto, F.

M. Alvisi, F. De Tomasi, M. R. Perrone, M. L. Protopapa, A. Rizzo, F. Sarto, and S. Scaglione, Thin Solid Films 396, 44 (2001).

Scaglione, S.

M. Alvisi, F. De Tomasi, M. R. Perrone, M. L. Protopapa, A. Rizzo, F. Sarto, and S. Scaglione, Thin Solid Films 396, 44 (2001).

Shao, J. D.

Y. A. Zhao, Y. J. Wang, H. Gong, J. D. Shao, and Z. X. Fan, Appl. Surface Sci. 210, 353 (2003).

Stolz, C. J.

Tomasi, F. De

M. Alvisi, F. De Tomasi, M. R. Perrone, M. L. Protopapa, A. Rizzo, F. Sarto, and S. Scaglione, Thin Solid Films 396, 44 (2001).

Wang, Y. J.

Y. A. Zhao, Y. J. Wang, H. Gong, J. D. Shao, and Z. X. Fan, Appl. Surface Sci. 210, 353 (2003).

Xu, Q.

Zhao, Y. A.

Y. A. Zhao, Y. J. Wang, H. Gong, J. D. Shao, and Z. X. Fan, Appl. Surface Sci. 210, 353 (2003).

Appl. Opt. (3)

Appl. Surface Sci. (1)

Y. A. Zhao, Y. J. Wang, H. Gong, J. D. Shao, and Z. X. Fan, Appl. Surface Sci. 210, 353 (2003).

Chin. J. Lasers (in Chinese) (1)

H. Y. Hu, Z. X. Fan, and Y. Liu, Chin. J. Lasers (in Chinese) 26, 489 (1999).

Chin. Opt. Lett. (1)

J. Vac. Sci. Technol. A (1)

B. Andre, L. Poupinet, and G. Ravel, J. Vac. Sci. Technol. A 18, 2372 (2000).

Thin Sold Films (2)

M. Gilo and N. Croitoru, Thin Sold Films 350, 203 (1999).

M. Alvisi, M. Di Giulio, S. G. Marrone, M. R. Perrone, and M. L. Protopapa, Thin Sold Films 358, 250 (2000).

Thin Solid Films (1)

M. Alvisi, F. De Tomasi, M. R. Perrone, M. L. Protopapa, A. Rizzo, F. Sarto, and S. Scaglione, Thin Solid Films 396, 44 (2001).

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.