Abstract

A new differential white light interference technique for the thickness measurements of metal foil is presented. In this work, the differential white light system consists of two Michelson interferometers in tandem, and the measured reflective surfaces are the corresponding surfaces of metal foil. Therefore, the measuring result is only relative to the thickness but not the position of metal foil. The method is non-contact and non-destructive, it has the advantages of high accuracy, fast detection, and compact structure. Theoretical analysis and preliminary experimental verifications have shown that the technique can be used to measure the thickness of foil in the range of 1 to 80 ?m with accuracy better than 0.08 ?m.

© 2005 Chinese Optics Letters

PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. S. Terada, H. Murakami, and K. Nishihagi, in Proceedings of IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference 125 (2001).
  2. J. M. De Freitas, J. S. Barton, J. D. C. Jones, A. C. Jones, M. Millington, G. Gregory, P. Spencer, I. Bain, and S. Cresswell, Proc. SPIE 4076, 152 (2000).
  3. F. Sakran, M. Golosovsky, H. Goldberger, D. Davidov, and A. Frenkel, Appl. Phys. Lett. 78, 1634 (2001).
  4. G.-H. Kim and S.-W. Kim, Proc. SPIE 3783, 239 (1999).
  5. D. K. Nayak, L. Wang, and R. Rakkhit, in IEEE Integrated Reliability Workshop, Final Report, International 160 (1996).
  6. J. Pei, F. L. Degertekin, and B. T. Khuri-Yakub, Appl. Phys. Lett. 66, 2177 (1995).
  7. I. Leizerson and S. G. Lipson, Appl. Phys. Lett. 83, 260 (2003).
  8. M. Procop, M. Radtke, M. Krumrey, K. Hasche, S. Schadlich, and W. Frank, Anal. Bioanal. Chem. 374, 631 (2002).
  9. Y. J. Rao and D. A. Jackson, Meas. Sci. Technol. 7, 981 (1996).
  10. B. Qi, G. R. Pickrell, J. C. Xu, P. Zhang, Y. H. Duan, W. Peng, Z. Y. Huang, W. Huo, H. Xiao, R. G. May, and A. Wang, Opt. Eng. 42, 3165 (2003).

2003

I. Leizerson and S. G. Lipson, Appl. Phys. Lett. 83, 260 (2003).

B. Qi, G. R. Pickrell, J. C. Xu, P. Zhang, Y. H. Duan, W. Peng, Z. Y. Huang, W. Huo, H. Xiao, R. G. May, and A. Wang, Opt. Eng. 42, 3165 (2003).

2002

M. Procop, M. Radtke, M. Krumrey, K. Hasche, S. Schadlich, and W. Frank, Anal. Bioanal. Chem. 374, 631 (2002).

2001

F. Sakran, M. Golosovsky, H. Goldberger, D. Davidov, and A. Frenkel, Appl. Phys. Lett. 78, 1634 (2001).

2000

J. M. De Freitas, J. S. Barton, J. D. C. Jones, A. C. Jones, M. Millington, G. Gregory, P. Spencer, I. Bain, and S. Cresswell, Proc. SPIE 4076, 152 (2000).

1999

G.-H. Kim and S.-W. Kim, Proc. SPIE 3783, 239 (1999).

1996

Y. J. Rao and D. A. Jackson, Meas. Sci. Technol. 7, 981 (1996).

1995

J. Pei, F. L. Degertekin, and B. T. Khuri-Yakub, Appl. Phys. Lett. 66, 2177 (1995).

Bain, I.

J. M. De Freitas, J. S. Barton, J. D. C. Jones, A. C. Jones, M. Millington, G. Gregory, P. Spencer, I. Bain, and S. Cresswell, Proc. SPIE 4076, 152 (2000).

Barton, J. S.

J. M. De Freitas, J. S. Barton, J. D. C. Jones, A. C. Jones, M. Millington, G. Gregory, P. Spencer, I. Bain, and S. Cresswell, Proc. SPIE 4076, 152 (2000).

Cresswell, S.

J. M. De Freitas, J. S. Barton, J. D. C. Jones, A. C. Jones, M. Millington, G. Gregory, P. Spencer, I. Bain, and S. Cresswell, Proc. SPIE 4076, 152 (2000).

Davidov, D.

F. Sakran, M. Golosovsky, H. Goldberger, D. Davidov, and A. Frenkel, Appl. Phys. Lett. 78, 1634 (2001).

Degertekin, F. L.

J. Pei, F. L. Degertekin, and B. T. Khuri-Yakub, Appl. Phys. Lett. 66, 2177 (1995).

Duan, Y. H.

B. Qi, G. R. Pickrell, J. C. Xu, P. Zhang, Y. H. Duan, W. Peng, Z. Y. Huang, W. Huo, H. Xiao, R. G. May, and A. Wang, Opt. Eng. 42, 3165 (2003).

Frank, W.

M. Procop, M. Radtke, M. Krumrey, K. Hasche, S. Schadlich, and W. Frank, Anal. Bioanal. Chem. 374, 631 (2002).

Freitas, J. M. De

J. M. De Freitas, J. S. Barton, J. D. C. Jones, A. C. Jones, M. Millington, G. Gregory, P. Spencer, I. Bain, and S. Cresswell, Proc. SPIE 4076, 152 (2000).

Frenkel, A.

F. Sakran, M. Golosovsky, H. Goldberger, D. Davidov, and A. Frenkel, Appl. Phys. Lett. 78, 1634 (2001).

Goldberger, H.

F. Sakran, M. Golosovsky, H. Goldberger, D. Davidov, and A. Frenkel, Appl. Phys. Lett. 78, 1634 (2001).

Golosovsky, M.

F. Sakran, M. Golosovsky, H. Goldberger, D. Davidov, and A. Frenkel, Appl. Phys. Lett. 78, 1634 (2001).

Gregory, G.

J. M. De Freitas, J. S. Barton, J. D. C. Jones, A. C. Jones, M. Millington, G. Gregory, P. Spencer, I. Bain, and S. Cresswell, Proc. SPIE 4076, 152 (2000).

Hasche, K.

M. Procop, M. Radtke, M. Krumrey, K. Hasche, S. Schadlich, and W. Frank, Anal. Bioanal. Chem. 374, 631 (2002).

Huang, Z. Y.

B. Qi, G. R. Pickrell, J. C. Xu, P. Zhang, Y. H. Duan, W. Peng, Z. Y. Huang, W. Huo, H. Xiao, R. G. May, and A. Wang, Opt. Eng. 42, 3165 (2003).

Huo, W.

B. Qi, G. R. Pickrell, J. C. Xu, P. Zhang, Y. H. Duan, W. Peng, Z. Y. Huang, W. Huo, H. Xiao, R. G. May, and A. Wang, Opt. Eng. 42, 3165 (2003).

Jackson, D. A.

Y. J. Rao and D. A. Jackson, Meas. Sci. Technol. 7, 981 (1996).

Jones, A. C.

J. M. De Freitas, J. S. Barton, J. D. C. Jones, A. C. Jones, M. Millington, G. Gregory, P. Spencer, I. Bain, and S. Cresswell, Proc. SPIE 4076, 152 (2000).

Jones, J. D. C.

J. M. De Freitas, J. S. Barton, J. D. C. Jones, A. C. Jones, M. Millington, G. Gregory, P. Spencer, I. Bain, and S. Cresswell, Proc. SPIE 4076, 152 (2000).

Khuri-Yakub, B. T.

J. Pei, F. L. Degertekin, and B. T. Khuri-Yakub, Appl. Phys. Lett. 66, 2177 (1995).

Kim, G.-H.

G.-H. Kim and S.-W. Kim, Proc. SPIE 3783, 239 (1999).

Kim, S.-W.

G.-H. Kim and S.-W. Kim, Proc. SPIE 3783, 239 (1999).

Krumrey, M.

M. Procop, M. Radtke, M. Krumrey, K. Hasche, S. Schadlich, and W. Frank, Anal. Bioanal. Chem. 374, 631 (2002).

Leizerson, I.

I. Leizerson and S. G. Lipson, Appl. Phys. Lett. 83, 260 (2003).

Lipson, S. G.

I. Leizerson and S. G. Lipson, Appl. Phys. Lett. 83, 260 (2003).

May, R. G.

B. Qi, G. R. Pickrell, J. C. Xu, P. Zhang, Y. H. Duan, W. Peng, Z. Y. Huang, W. Huo, H. Xiao, R. G. May, and A. Wang, Opt. Eng. 42, 3165 (2003).

Millington, M.

J. M. De Freitas, J. S. Barton, J. D. C. Jones, A. C. Jones, M. Millington, G. Gregory, P. Spencer, I. Bain, and S. Cresswell, Proc. SPIE 4076, 152 (2000).

Pei, J.

J. Pei, F. L. Degertekin, and B. T. Khuri-Yakub, Appl. Phys. Lett. 66, 2177 (1995).

Peng, W.

B. Qi, G. R. Pickrell, J. C. Xu, P. Zhang, Y. H. Duan, W. Peng, Z. Y. Huang, W. Huo, H. Xiao, R. G. May, and A. Wang, Opt. Eng. 42, 3165 (2003).

Pickrell, G. R.

B. Qi, G. R. Pickrell, J. C. Xu, P. Zhang, Y. H. Duan, W. Peng, Z. Y. Huang, W. Huo, H. Xiao, R. G. May, and A. Wang, Opt. Eng. 42, 3165 (2003).

Procop, M.

M. Procop, M. Radtke, M. Krumrey, K. Hasche, S. Schadlich, and W. Frank, Anal. Bioanal. Chem. 374, 631 (2002).

Qi, B.

B. Qi, G. R. Pickrell, J. C. Xu, P. Zhang, Y. H. Duan, W. Peng, Z. Y. Huang, W. Huo, H. Xiao, R. G. May, and A. Wang, Opt. Eng. 42, 3165 (2003).

Radtke, M.

M. Procop, M. Radtke, M. Krumrey, K. Hasche, S. Schadlich, and W. Frank, Anal. Bioanal. Chem. 374, 631 (2002).

Rao, Y. J.

Y. J. Rao and D. A. Jackson, Meas. Sci. Technol. 7, 981 (1996).

Sakran, F.

F. Sakran, M. Golosovsky, H. Goldberger, D. Davidov, and A. Frenkel, Appl. Phys. Lett. 78, 1634 (2001).

Schadlich, S.

M. Procop, M. Radtke, M. Krumrey, K. Hasche, S. Schadlich, and W. Frank, Anal. Bioanal. Chem. 374, 631 (2002).

Spencer, P.

J. M. De Freitas, J. S. Barton, J. D. C. Jones, A. C. Jones, M. Millington, G. Gregory, P. Spencer, I. Bain, and S. Cresswell, Proc. SPIE 4076, 152 (2000).

Wang, A.

B. Qi, G. R. Pickrell, J. C. Xu, P. Zhang, Y. H. Duan, W. Peng, Z. Y. Huang, W. Huo, H. Xiao, R. G. May, and A. Wang, Opt. Eng. 42, 3165 (2003).

Xiao, H.

B. Qi, G. R. Pickrell, J. C. Xu, P. Zhang, Y. H. Duan, W. Peng, Z. Y. Huang, W. Huo, H. Xiao, R. G. May, and A. Wang, Opt. Eng. 42, 3165 (2003).

Xu, J. C.

B. Qi, G. R. Pickrell, J. C. Xu, P. Zhang, Y. H. Duan, W. Peng, Z. Y. Huang, W. Huo, H. Xiao, R. G. May, and A. Wang, Opt. Eng. 42, 3165 (2003).

Zhang, P.

B. Qi, G. R. Pickrell, J. C. Xu, P. Zhang, Y. H. Duan, W. Peng, Z. Y. Huang, W. Huo, H. Xiao, R. G. May, and A. Wang, Opt. Eng. 42, 3165 (2003).

Anal. Bioanal. Chem.

M. Procop, M. Radtke, M. Krumrey, K. Hasche, S. Schadlich, and W. Frank, Anal. Bioanal. Chem. 374, 631 (2002).

Appl. Phys. Lett.

J. Pei, F. L. Degertekin, and B. T. Khuri-Yakub, Appl. Phys. Lett. 66, 2177 (1995).

I. Leizerson and S. G. Lipson, Appl. Phys. Lett. 83, 260 (2003).

F. Sakran, M. Golosovsky, H. Goldberger, D. Davidov, and A. Frenkel, Appl. Phys. Lett. 78, 1634 (2001).

Meas. Sci. Technol.

Y. J. Rao and D. A. Jackson, Meas. Sci. Technol. 7, 981 (1996).

Opt. Eng.

B. Qi, G. R. Pickrell, J. C. Xu, P. Zhang, Y. H. Duan, W. Peng, Z. Y. Huang, W. Huo, H. Xiao, R. G. May, and A. Wang, Opt. Eng. 42, 3165 (2003).

Proc. SPIE

G.-H. Kim and S.-W. Kim, Proc. SPIE 3783, 239 (1999).

J. M. De Freitas, J. S. Barton, J. D. C. Jones, A. C. Jones, M. Millington, G. Gregory, P. Spencer, I. Bain, and S. Cresswell, Proc. SPIE 4076, 152 (2000).

Other

S. Terada, H. Murakami, and K. Nishihagi, in Proceedings of IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference 125 (2001).

D. K. Nayak, L. Wang, and R. Rakkhit, in IEEE Integrated Reliability Workshop, Final Report, International 160 (1996).

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.