Abstract

We present a method that accurately measures large optical surfaces before polishing using a laser tracker. Using the scanning mode of the laser tracker considerably improves measurement efficiency and minimizes the dominant errors caused by environmental change. We use this method to measure a \Phi 1.3-m aspheric mirror and obtain a measurement uncertainty of 0.72 \mu m (root mean square, RMS).

© 2013 Chinese Optics Letters

PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. D. C. Zimmerman, Appl. Opt. 49, 3485 (2010).
  2. H. Jing, C. King, and D. Walker, Opt. Express 18, 2036 (2010).
  3. J. H. Burge, L. B. Kot, H. M. Martin, C. Zhao, and T. Zobrist, Proc. SPIE 6273, 62732T (2006).
  4. H. M. Martin, R. G. Allen, J. H. Burge, D. W. Kim, J. S. Kingsley, M. T. Tuell, S. C. West, C. Zhao, and T. Zobrist, Proc. SPIE 7709, 77390A (2010).
  5. T. L. Zobrist, J. H. Burge, and H. M. Martin, Proc. SPIE 7739, 77390S (2010).
  6. T. L. Zobrist, J. H. Burge, and H. M. Martin, Proc. SPIE 7426, 742613 (2009).
  7. http://www.faro.com.
  8. W. N. Wang, Y. C. Su, and G. Y. Ren, Acta Metrologica Sinica 28, 34 (2007).
  9. T. L. Zobrist, J. H. Burge, W. B. Davison, and H. M. Martin, Proc. SPIE 7018, 70183U (2008).
  10. J. Li, F. Wu, S. B. Wu, L. Kuang, and C. Q. Lin, Opt. Prec. Eng. (in Chinese) 20, 727 (2012).

2012

J. Li, F. Wu, S. B. Wu, L. Kuang, and C. Q. Lin, Opt. Prec. Eng. (in Chinese) 20, 727 (2012).

2010

H. Jing, C. King, and D. Walker, Opt. Express 18, 2036 (2010).

D. C. Zimmerman, Appl. Opt. 49, 3485 (2010).

H. M. Martin, R. G. Allen, J. H. Burge, D. W. Kim, J. S. Kingsley, M. T. Tuell, S. C. West, C. Zhao, and T. Zobrist, Proc. SPIE 7709, 77390A (2010).

T. L. Zobrist, J. H. Burge, and H. M. Martin, Proc. SPIE 7739, 77390S (2010).

2009

T. L. Zobrist, J. H. Burge, and H. M. Martin, Proc. SPIE 7426, 742613 (2009).

2008

T. L. Zobrist, J. H. Burge, W. B. Davison, and H. M. Martin, Proc. SPIE 7018, 70183U (2008).

2007

W. N. Wang, Y. C. Su, and G. Y. Ren, Acta Metrologica Sinica 28, 34 (2007).

2006

J. H. Burge, L. B. Kot, H. M. Martin, C. Zhao, and T. Zobrist, Proc. SPIE 6273, 62732T (2006).

Allen, R. G.

H. M. Martin, R. G. Allen, J. H. Burge, D. W. Kim, J. S. Kingsley, M. T. Tuell, S. C. West, C. Zhao, and T. Zobrist, Proc. SPIE 7709, 77390A (2010).

Burge, J. H.

H. M. Martin, R. G. Allen, J. H. Burge, D. W. Kim, J. S. Kingsley, M. T. Tuell, S. C. West, C. Zhao, and T. Zobrist, Proc. SPIE 7709, 77390A (2010).

T. L. Zobrist, J. H. Burge, and H. M. Martin, Proc. SPIE 7739, 77390S (2010).

T. L. Zobrist, J. H. Burge, and H. M. Martin, Proc. SPIE 7426, 742613 (2009).

T. L. Zobrist, J. H. Burge, W. B. Davison, and H. M. Martin, Proc. SPIE 7018, 70183U (2008).

J. H. Burge, L. B. Kot, H. M. Martin, C. Zhao, and T. Zobrist, Proc. SPIE 6273, 62732T (2006).

Davison, W. B.

T. L. Zobrist, J. H. Burge, W. B. Davison, and H. M. Martin, Proc. SPIE 7018, 70183U (2008).

Jing, H.

Kim, D. W.

H. M. Martin, R. G. Allen, J. H. Burge, D. W. Kim, J. S. Kingsley, M. T. Tuell, S. C. West, C. Zhao, and T. Zobrist, Proc. SPIE 7709, 77390A (2010).

King, C.

Kingsley, J. S.

H. M. Martin, R. G. Allen, J. H. Burge, D. W. Kim, J. S. Kingsley, M. T. Tuell, S. C. West, C. Zhao, and T. Zobrist, Proc. SPIE 7709, 77390A (2010).

Kot, L. B.

J. H. Burge, L. B. Kot, H. M. Martin, C. Zhao, and T. Zobrist, Proc. SPIE 6273, 62732T (2006).

Kuang, L.

J. Li, F. Wu, S. B. Wu, L. Kuang, and C. Q. Lin, Opt. Prec. Eng. (in Chinese) 20, 727 (2012).

Li, J.

J. Li, F. Wu, S. B. Wu, L. Kuang, and C. Q. Lin, Opt. Prec. Eng. (in Chinese) 20, 727 (2012).

Lin, C. Q.

J. Li, F. Wu, S. B. Wu, L. Kuang, and C. Q. Lin, Opt. Prec. Eng. (in Chinese) 20, 727 (2012).

Martin, H. M.

T. L. Zobrist, J. H. Burge, and H. M. Martin, Proc. SPIE 7739, 77390S (2010).

H. M. Martin, R. G. Allen, J. H. Burge, D. W. Kim, J. S. Kingsley, M. T. Tuell, S. C. West, C. Zhao, and T. Zobrist, Proc. SPIE 7709, 77390A (2010).

T. L. Zobrist, J. H. Burge, and H. M. Martin, Proc. SPIE 7426, 742613 (2009).

T. L. Zobrist, J. H. Burge, W. B. Davison, and H. M. Martin, Proc. SPIE 7018, 70183U (2008).

J. H. Burge, L. B. Kot, H. M. Martin, C. Zhao, and T. Zobrist, Proc. SPIE 6273, 62732T (2006).

Ren, G. Y.

W. N. Wang, Y. C. Su, and G. Y. Ren, Acta Metrologica Sinica 28, 34 (2007).

Su, Y. C.

W. N. Wang, Y. C. Su, and G. Y. Ren, Acta Metrologica Sinica 28, 34 (2007).

Tuell, M. T.

H. M. Martin, R. G. Allen, J. H. Burge, D. W. Kim, J. S. Kingsley, M. T. Tuell, S. C. West, C. Zhao, and T. Zobrist, Proc. SPIE 7709, 77390A (2010).

Walker, D.

Wang, W. N.

W. N. Wang, Y. C. Su, and G. Y. Ren, Acta Metrologica Sinica 28, 34 (2007).

West, S. C.

H. M. Martin, R. G. Allen, J. H. Burge, D. W. Kim, J. S. Kingsley, M. T. Tuell, S. C. West, C. Zhao, and T. Zobrist, Proc. SPIE 7709, 77390A (2010).

Wu, F.

J. Li, F. Wu, S. B. Wu, L. Kuang, and C. Q. Lin, Opt. Prec. Eng. (in Chinese) 20, 727 (2012).

Wu, S. B.

J. Li, F. Wu, S. B. Wu, L. Kuang, and C. Q. Lin, Opt. Prec. Eng. (in Chinese) 20, 727 (2012).

Zhao, C.

H. M. Martin, R. G. Allen, J. H. Burge, D. W. Kim, J. S. Kingsley, M. T. Tuell, S. C. West, C. Zhao, and T. Zobrist, Proc. SPIE 7709, 77390A (2010).

J. H. Burge, L. B. Kot, H. M. Martin, C. Zhao, and T. Zobrist, Proc. SPIE 6273, 62732T (2006).

Zimmerman, D. C.

Zobrist, T.

H. M. Martin, R. G. Allen, J. H. Burge, D. W. Kim, J. S. Kingsley, M. T. Tuell, S. C. West, C. Zhao, and T. Zobrist, Proc. SPIE 7709, 77390A (2010).

J. H. Burge, L. B. Kot, H. M. Martin, C. Zhao, and T. Zobrist, Proc. SPIE 6273, 62732T (2006).

Zobrist, T. L.

T. L. Zobrist, J. H. Burge, and H. M. Martin, Proc. SPIE 7739, 77390S (2010).

T. L. Zobrist, J. H. Burge, and H. M. Martin, Proc. SPIE 7426, 742613 (2009).

T. L. Zobrist, J. H. Burge, W. B. Davison, and H. M. Martin, Proc. SPIE 7018, 70183U (2008).

Acta Metrologica Sinica

W. N. Wang, Y. C. Su, and G. Y. Ren, Acta Metrologica Sinica 28, 34 (2007).

Appl. Opt.

Opt. Express

Opt. Prec. Eng. (in Chinese)

J. Li, F. Wu, S. B. Wu, L. Kuang, and C. Q. Lin, Opt. Prec. Eng. (in Chinese) 20, 727 (2012).

Proc. SPIE

T. L. Zobrist, J. H. Burge, W. B. Davison, and H. M. Martin, Proc. SPIE 7018, 70183U (2008).

J. H. Burge, L. B. Kot, H. M. Martin, C. Zhao, and T. Zobrist, Proc. SPIE 6273, 62732T (2006).

H. M. Martin, R. G. Allen, J. H. Burge, D. W. Kim, J. S. Kingsley, M. T. Tuell, S. C. West, C. Zhao, and T. Zobrist, Proc. SPIE 7709, 77390A (2010).

T. L. Zobrist, J. H. Burge, and H. M. Martin, Proc. SPIE 7739, 77390S (2010).

T. L. Zobrist, J. H. Burge, and H. M. Martin, Proc. SPIE 7426, 742613 (2009).

Other

http://www.faro.com.

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.