Abstract

Theoretical simulation and experiments based on a prism beam expander and an echelle grating are conducted to study the dependence of linewidth and pulse energy on incidence angle and slit width. With a larger prism incident angle or narrower slit width, the linewidth becomes narrower while the laser pulse energy becomes lower. However, the pulse energy can be improved by optimally designing the prism beam expander. In addition, a subpicometer linewidth ArF laser is obtained with a double-prism beam expander and an echelle grating.

© 2013 Chinese Optics Letters

PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. K. Kakizaki, Y. Sasaki, and T. Inoue, Rev. Sci. Instrum. 77, 035109 (2006).
  2. D. Basting and G. Marowsky, Excimer Laser Technology (Springer, Berlin, 2005).
  3. T. Ito and S. Okazaki, Nature 406, 1027 (2000).
  4. G. Grunefeld, H. Schluter, P. Andresen, and E.W. Rothe, Appl. Phys. B 62, 241 (1996).
  5. R. J. Balla and G. C. Herring, Rev. Sci. Instrum. 71, 2246 (2000).
  6. Q. Lou, T. Yagi, and H. Saito, J. Appl. Phys. 67, 6591 (1990).
  7. Y. Ran, Y. Tan, L. Sun, S. Gao, J. Li, L. Jin, and B. Guan, Opt. Express 19, 18577 (2011).
  8. A. Othonos and X. Lee, Rev. Sci. Instrum. 66, 3112 (1995).
  9. Y. Yu, L. You, X. Liang, and X. Fang, Chinese J. Lasers (in Chinese) 37, 2253 (2010).
  10. Q. Lou, J. Xu, S. Fu, D. Zhuang, and J. Chen, Gas Laser with Pulsed Discharge (Science Press, Beijing, 1993).
  11. T. J. Mckee, Can. J. Phys. 63, 214 (1985).
  12. R. M. Hofstra, F. A. van Goor, and W. J. Witteman, J. Opt. Soc. Am. B 16, 1068 (1999).
  13. T. J. Pacala, I. S. McDermid, and J. B. Laudenslager, Appl. Phys. Lett. 44, 658 (1984).
  14. J. P. Partanen and M. J. Shaw, Appl. Phys. B 43, 231 (1987).
  15. R. Fedosejevs, I. V. Tomov, D. C. D. McKen, M. Arnfield, C. Domier, and A. A. Offenberger, J. Appl. Phys. 54, 5629 (1983).
  16. J. Goldhar and J. R. Murray, Opt. Lett. 1, 199 (1977).
  17. D. C. D. McKen, R. Fedosejevs, M. Arnfield, I. V. Tomov, C. Domier, and A. A. Offenberger, Rev. Sci. Instrum. 54, 845 (1983).
  18. H. F. Dobele and B. Ruckle, Appl. Opt. 23, 1040 (1984).
  19. T. R. Loree, K. B. Butterfield, and D. L. Barker, Appl. Phys. Lett. 32, 171 (1978).
  20. R. S. Hargrove and J. A. Paisner, in Proceedings of Dig. Top. Meeting Excimer Lasers Lasers and Electro-Optics ThA61 (1979).
  21. T. Ariga and K. Hotta, Jpn. J. Appl. Phys. 43, 5279 (2004).
  22. R. J. Balla and R. Hart, Rev. Sci. Instrum. 69, 2591 (1998).
  23. B. H. Kleemann, Opt. Lett. 37, 1002 (2012).
  24. V. Fleurov, S. Rokitski, R. Bergstedt, H. Ye, K. O'Brien, R. Jacques, F. Trintchouk, E. Figueroa, T. Cacouris, and D. Brown, Proc. SPIE 6924, 69241R (2008).
  25. M. Yoshino, H. Umeda, H. Tsushima, H. Watanabe, S. Tanaka, S. Matsumoto, T. Onose, H. Nogawa, Y. Kawasuji, T. Matsunaga, J. Fujimoto, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7640, 76402A (2010).
  26. R. Rokitski, T. Ishihara, R. Rao, R. Jiang, M. Haviland, T. Cacouris, and D. Brown, Proc. SPIE 7640, 76401Q (2010).
  27. H. Tsushima, M. Yoshino, T. Ohta, T. Kumazaki, H. Watanabe, S. Matsumoto, H. Nakarai, H. Umeda, Y. Kawasuji, T. Suzuki, SatoshiTanaka, A. Kurosu, T. Matsunaga, J. Fujimoto, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7274, 72743L (2009).
  28. E. Loewen, D. Maystre, E. Popov, and L. Tsonev, Appl. Opt. 35, 1700 (1996).
  29. R. Trebino, Appl. Opt. 24, 1130 (1985).
  30. F. J. Duarte, Appl. Opt. 31, 6979 (1992).
  31. F. J. Duarte, Appl. Opt. 40, 3038 (2001).
  32. J. Goldhar, W. R. Rapoport, and J. R. Murray, IEEE J. Quantum Electon. 16, 235 (1980).
  33. T. Ishihara, H. Besaucele, C. Maley, V. Fleurov, P. O'Keeffe, M. Haviland, R. Morton, W. Gillespie, T. Dyer, B. Moosman, and R. Poole, Proc. SPIE 5377, 1858 (2004).
  34. V. B. Fleurov, D. J. Colon III, D. J. W. Brown, P. O'Keeffe, H. Besaucele, A. I. Ershov, F. Trintchouk, T. Ishihara, P. Zambon, and R. Rafac, Proc. SPIE 5040, 1694 (2003).
  35. R. G. Caro, M. C. Gower, and C. E. Webb, J. Phys. D 15, 767 (1982).

2012 (1)

2011 (1)

2010 (3)

Y. Yu, L. You, X. Liang, and X. Fang, Chinese J. Lasers (in Chinese) 37, 2253 (2010).

M. Yoshino, H. Umeda, H. Tsushima, H. Watanabe, S. Tanaka, S. Matsumoto, T. Onose, H. Nogawa, Y. Kawasuji, T. Matsunaga, J. Fujimoto, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7640, 76402A (2010).

R. Rokitski, T. Ishihara, R. Rao, R. Jiang, M. Haviland, T. Cacouris, and D. Brown, Proc. SPIE 7640, 76401Q (2010).

2009 (1)

H. Tsushima, M. Yoshino, T. Ohta, T. Kumazaki, H. Watanabe, S. Matsumoto, H. Nakarai, H. Umeda, Y. Kawasuji, T. Suzuki, SatoshiTanaka, A. Kurosu, T. Matsunaga, J. Fujimoto, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7274, 72743L (2009).

2008 (1)

V. Fleurov, S. Rokitski, R. Bergstedt, H. Ye, K. O'Brien, R. Jacques, F. Trintchouk, E. Figueroa, T. Cacouris, and D. Brown, Proc. SPIE 6924, 69241R (2008).

2006 (1)

K. Kakizaki, Y. Sasaki, and T. Inoue, Rev. Sci. Instrum. 77, 035109 (2006).

2004 (2)

T. Ariga and K. Hotta, Jpn. J. Appl. Phys. 43, 5279 (2004).

T. Ishihara, H. Besaucele, C. Maley, V. Fleurov, P. O'Keeffe, M. Haviland, R. Morton, W. Gillespie, T. Dyer, B. Moosman, and R. Poole, Proc. SPIE 5377, 1858 (2004).

2003 (1)

V. B. Fleurov, D. J. Colon III, D. J. W. Brown, P. O'Keeffe, H. Besaucele, A. I. Ershov, F. Trintchouk, T. Ishihara, P. Zambon, and R. Rafac, Proc. SPIE 5040, 1694 (2003).

2001 (1)

2000 (2)

T. Ito and S. Okazaki, Nature 406, 1027 (2000).

R. J. Balla and G. C. Herring, Rev. Sci. Instrum. 71, 2246 (2000).

1999 (1)

1998 (1)

R. J. Balla and R. Hart, Rev. Sci. Instrum. 69, 2591 (1998).

1996 (2)

G. Grunefeld, H. Schluter, P. Andresen, and E.W. Rothe, Appl. Phys. B 62, 241 (1996).

E. Loewen, D. Maystre, E. Popov, and L. Tsonev, Appl. Opt. 35, 1700 (1996).

1995 (1)

A. Othonos and X. Lee, Rev. Sci. Instrum. 66, 3112 (1995).

1992 (1)

1990 (1)

Q. Lou, T. Yagi, and H. Saito, J. Appl. Phys. 67, 6591 (1990).

1987 (1)

J. P. Partanen and M. J. Shaw, Appl. Phys. B 43, 231 (1987).

1985 (2)

T. J. Mckee, Can. J. Phys. 63, 214 (1985).

R. Trebino, Appl. Opt. 24, 1130 (1985).

1984 (2)

T. J. Pacala, I. S. McDermid, and J. B. Laudenslager, Appl. Phys. Lett. 44, 658 (1984).

H. F. Dobele and B. Ruckle, Appl. Opt. 23, 1040 (1984).

1983 (2)

R. Fedosejevs, I. V. Tomov, D. C. D. McKen, M. Arnfield, C. Domier, and A. A. Offenberger, J. Appl. Phys. 54, 5629 (1983).

D. C. D. McKen, R. Fedosejevs, M. Arnfield, I. V. Tomov, C. Domier, and A. A. Offenberger, Rev. Sci. Instrum. 54, 845 (1983).

1982 (1)

R. G. Caro, M. C. Gower, and C. E. Webb, J. Phys. D 15, 767 (1982).

1980 (1)

J. Goldhar, W. R. Rapoport, and J. R. Murray, IEEE J. Quantum Electon. 16, 235 (1980).

1978 (1)

T. R. Loree, K. B. Butterfield, and D. L. Barker, Appl. Phys. Lett. 32, 171 (1978).

1977 (1)

Andresen, P.

G. Grunefeld, H. Schluter, P. Andresen, and E.W. Rothe, Appl. Phys. B 62, 241 (1996).

Ariga, T.

T. Ariga and K. Hotta, Jpn. J. Appl. Phys. 43, 5279 (2004).

Arnfield, M.

D. C. D. McKen, R. Fedosejevs, M. Arnfield, I. V. Tomov, C. Domier, and A. A. Offenberger, Rev. Sci. Instrum. 54, 845 (1983).

R. Fedosejevs, I. V. Tomov, D. C. D. McKen, M. Arnfield, C. Domier, and A. A. Offenberger, J. Appl. Phys. 54, 5629 (1983).

Balla, R. J.

R. J. Balla and G. C. Herring, Rev. Sci. Instrum. 71, 2246 (2000).

R. J. Balla and R. Hart, Rev. Sci. Instrum. 69, 2591 (1998).

Barker, D. L.

T. R. Loree, K. B. Butterfield, and D. L. Barker, Appl. Phys. Lett. 32, 171 (1978).

Bergstedt, R.

V. Fleurov, S. Rokitski, R. Bergstedt, H. Ye, K. O'Brien, R. Jacques, F. Trintchouk, E. Figueroa, T. Cacouris, and D. Brown, Proc. SPIE 6924, 69241R (2008).

Besaucele, H.

T. Ishihara, H. Besaucele, C. Maley, V. Fleurov, P. O'Keeffe, M. Haviland, R. Morton, W. Gillespie, T. Dyer, B. Moosman, and R. Poole, Proc. SPIE 5377, 1858 (2004).

V. B. Fleurov, D. J. Colon III, D. J. W. Brown, P. O'Keeffe, H. Besaucele, A. I. Ershov, F. Trintchouk, T. Ishihara, P. Zambon, and R. Rafac, Proc. SPIE 5040, 1694 (2003).

Brown, D.

R. Rokitski, T. Ishihara, R. Rao, R. Jiang, M. Haviland, T. Cacouris, and D. Brown, Proc. SPIE 7640, 76401Q (2010).

V. Fleurov, S. Rokitski, R. Bergstedt, H. Ye, K. O'Brien, R. Jacques, F. Trintchouk, E. Figueroa, T. Cacouris, and D. Brown, Proc. SPIE 6924, 69241R (2008).

Brown, D. J. W.

V. B. Fleurov, D. J. Colon III, D. J. W. Brown, P. O'Keeffe, H. Besaucele, A. I. Ershov, F. Trintchouk, T. Ishihara, P. Zambon, and R. Rafac, Proc. SPIE 5040, 1694 (2003).

Butterfield, K. B.

T. R. Loree, K. B. Butterfield, and D. L. Barker, Appl. Phys. Lett. 32, 171 (1978).

Cacouris, T.

R. Rokitski, T. Ishihara, R. Rao, R. Jiang, M. Haviland, T. Cacouris, and D. Brown, Proc. SPIE 7640, 76401Q (2010).

V. Fleurov, S. Rokitski, R. Bergstedt, H. Ye, K. O'Brien, R. Jacques, F. Trintchouk, E. Figueroa, T. Cacouris, and D. Brown, Proc. SPIE 6924, 69241R (2008).

Caro, R. G.

R. G. Caro, M. C. Gower, and C. E. Webb, J. Phys. D 15, 767 (1982).

Dobele, H. F.

Domier, C.

D. C. D. McKen, R. Fedosejevs, M. Arnfield, I. V. Tomov, C. Domier, and A. A. Offenberger, Rev. Sci. Instrum. 54, 845 (1983).

R. Fedosejevs, I. V. Tomov, D. C. D. McKen, M. Arnfield, C. Domier, and A. A. Offenberger, J. Appl. Phys. 54, 5629 (1983).

Duarte, F. J.

Dyer, T.

T. Ishihara, H. Besaucele, C. Maley, V. Fleurov, P. O'Keeffe, M. Haviland, R. Morton, W. Gillespie, T. Dyer, B. Moosman, and R. Poole, Proc. SPIE 5377, 1858 (2004).

Ershov, A. I.

V. B. Fleurov, D. J. Colon III, D. J. W. Brown, P. O'Keeffe, H. Besaucele, A. I. Ershov, F. Trintchouk, T. Ishihara, P. Zambon, and R. Rafac, Proc. SPIE 5040, 1694 (2003).

Fang, X.

Y. Yu, L. You, X. Liang, and X. Fang, Chinese J. Lasers (in Chinese) 37, 2253 (2010).

Fedosejevs, R.

R. Fedosejevs, I. V. Tomov, D. C. D. McKen, M. Arnfield, C. Domier, and A. A. Offenberger, J. Appl. Phys. 54, 5629 (1983).

D. C. D. McKen, R. Fedosejevs, M. Arnfield, I. V. Tomov, C. Domier, and A. A. Offenberger, Rev. Sci. Instrum. 54, 845 (1983).

Figueroa, E.

V. Fleurov, S. Rokitski, R. Bergstedt, H. Ye, K. O'Brien, R. Jacques, F. Trintchouk, E. Figueroa, T. Cacouris, and D. Brown, Proc. SPIE 6924, 69241R (2008).

Fleurov, V.

V. Fleurov, S. Rokitski, R. Bergstedt, H. Ye, K. O'Brien, R. Jacques, F. Trintchouk, E. Figueroa, T. Cacouris, and D. Brown, Proc. SPIE 6924, 69241R (2008).

T. Ishihara, H. Besaucele, C. Maley, V. Fleurov, P. O'Keeffe, M. Haviland, R. Morton, W. Gillespie, T. Dyer, B. Moosman, and R. Poole, Proc. SPIE 5377, 1858 (2004).

Fleurov, V. B.

V. B. Fleurov, D. J. Colon III, D. J. W. Brown, P. O'Keeffe, H. Besaucele, A. I. Ershov, F. Trintchouk, T. Ishihara, P. Zambon, and R. Rafac, Proc. SPIE 5040, 1694 (2003).

Fujimoto, J.

M. Yoshino, H. Umeda, H. Tsushima, H. Watanabe, S. Tanaka, S. Matsumoto, T. Onose, H. Nogawa, Y. Kawasuji, T. Matsunaga, J. Fujimoto, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7640, 76402A (2010).

H. Tsushima, M. Yoshino, T. Ohta, T. Kumazaki, H. Watanabe, S. Matsumoto, H. Nakarai, H. Umeda, Y. Kawasuji, T. Suzuki, SatoshiTanaka, A. Kurosu, T. Matsunaga, J. Fujimoto, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7274, 72743L (2009).

Gao, S.

Gillespie, W.

T. Ishihara, H. Besaucele, C. Maley, V. Fleurov, P. O'Keeffe, M. Haviland, R. Morton, W. Gillespie, T. Dyer, B. Moosman, and R. Poole, Proc. SPIE 5377, 1858 (2004).

Goldhar, J.

J. Goldhar, W. R. Rapoport, and J. R. Murray, IEEE J. Quantum Electon. 16, 235 (1980).

J. Goldhar and J. R. Murray, Opt. Lett. 1, 199 (1977).

Goor, F. A. van

Gower, M. C.

R. G. Caro, M. C. Gower, and C. E. Webb, J. Phys. D 15, 767 (1982).

Grunefeld, G.

G. Grunefeld, H. Schluter, P. Andresen, and E.W. Rothe, Appl. Phys. B 62, 241 (1996).

Guan, B.

Hart, R.

R. J. Balla and R. Hart, Rev. Sci. Instrum. 69, 2591 (1998).

Haviland, M.

R. Rokitski, T. Ishihara, R. Rao, R. Jiang, M. Haviland, T. Cacouris, and D. Brown, Proc. SPIE 7640, 76401Q (2010).

T. Ishihara, H. Besaucele, C. Maley, V. Fleurov, P. O'Keeffe, M. Haviland, R. Morton, W. Gillespie, T. Dyer, B. Moosman, and R. Poole, Proc. SPIE 5377, 1858 (2004).

Herring, G. C.

R. J. Balla and G. C. Herring, Rev. Sci. Instrum. 71, 2246 (2000).

Hofstra, R. M.

Hotta, K.

T. Ariga and K. Hotta, Jpn. J. Appl. Phys. 43, 5279 (2004).

III, D. J. Colon

V. B. Fleurov, D. J. Colon III, D. J. W. Brown, P. O'Keeffe, H. Besaucele, A. I. Ershov, F. Trintchouk, T. Ishihara, P. Zambon, and R. Rafac, Proc. SPIE 5040, 1694 (2003).

Inoue, T.

K. Kakizaki, Y. Sasaki, and T. Inoue, Rev. Sci. Instrum. 77, 035109 (2006).

Ishihara, T.

R. Rokitski, T. Ishihara, R. Rao, R. Jiang, M. Haviland, T. Cacouris, and D. Brown, Proc. SPIE 7640, 76401Q (2010).

T. Ishihara, H. Besaucele, C. Maley, V. Fleurov, P. O'Keeffe, M. Haviland, R. Morton, W. Gillespie, T. Dyer, B. Moosman, and R. Poole, Proc. SPIE 5377, 1858 (2004).

V. B. Fleurov, D. J. Colon III, D. J. W. Brown, P. O'Keeffe, H. Besaucele, A. I. Ershov, F. Trintchouk, T. Ishihara, P. Zambon, and R. Rafac, Proc. SPIE 5040, 1694 (2003).

Ito, T.

T. Ito and S. Okazaki, Nature 406, 1027 (2000).

Jacques, R.

V. Fleurov, S. Rokitski, R. Bergstedt, H. Ye, K. O'Brien, R. Jacques, F. Trintchouk, E. Figueroa, T. Cacouris, and D. Brown, Proc. SPIE 6924, 69241R (2008).

Jiang, R.

R. Rokitski, T. Ishihara, R. Rao, R. Jiang, M. Haviland, T. Cacouris, and D. Brown, Proc. SPIE 7640, 76401Q (2010).

Jin, L.

Kakizaki, K.

K. Kakizaki, Y. Sasaki, and T. Inoue, Rev. Sci. Instrum. 77, 035109 (2006).

Kawasuji, Y.

M. Yoshino, H. Umeda, H. Tsushima, H. Watanabe, S. Tanaka, S. Matsumoto, T. Onose, H. Nogawa, Y. Kawasuji, T. Matsunaga, J. Fujimoto, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7640, 76402A (2010).

H. Tsushima, M. Yoshino, T. Ohta, T. Kumazaki, H. Watanabe, S. Matsumoto, H. Nakarai, H. Umeda, Y. Kawasuji, T. Suzuki, SatoshiTanaka, A. Kurosu, T. Matsunaga, J. Fujimoto, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7274, 72743L (2009).

Kleemann, B. H.

Kumazaki, T.

H. Tsushima, M. Yoshino, T. Ohta, T. Kumazaki, H. Watanabe, S. Matsumoto, H. Nakarai, H. Umeda, Y. Kawasuji, T. Suzuki, SatoshiTanaka, A. Kurosu, T. Matsunaga, J. Fujimoto, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7274, 72743L (2009).

Kurosu, A.

H. Tsushima, M. Yoshino, T. Ohta, T. Kumazaki, H. Watanabe, S. Matsumoto, H. Nakarai, H. Umeda, Y. Kawasuji, T. Suzuki, SatoshiTanaka, A. Kurosu, T. Matsunaga, J. Fujimoto, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7274, 72743L (2009).

Laudenslager, J. B.

T. J. Pacala, I. S. McDermid, and J. B. Laudenslager, Appl. Phys. Lett. 44, 658 (1984).

Lee, X.

A. Othonos and X. Lee, Rev. Sci. Instrum. 66, 3112 (1995).

Li, J.

Liang, X.

Y. Yu, L. You, X. Liang, and X. Fang, Chinese J. Lasers (in Chinese) 37, 2253 (2010).

Loewen, E.

Loree, T. R.

T. R. Loree, K. B. Butterfield, and D. L. Barker, Appl. Phys. Lett. 32, 171 (1978).

Lou, Q.

Q. Lou, T. Yagi, and H. Saito, J. Appl. Phys. 67, 6591 (1990).

Maley, C.

T. Ishihara, H. Besaucele, C. Maley, V. Fleurov, P. O'Keeffe, M. Haviland, R. Morton, W. Gillespie, T. Dyer, B. Moosman, and R. Poole, Proc. SPIE 5377, 1858 (2004).

Matsumoto, S.

M. Yoshino, H. Umeda, H. Tsushima, H. Watanabe, S. Tanaka, S. Matsumoto, T. Onose, H. Nogawa, Y. Kawasuji, T. Matsunaga, J. Fujimoto, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7640, 76402A (2010).

H. Tsushima, M. Yoshino, T. Ohta, T. Kumazaki, H. Watanabe, S. Matsumoto, H. Nakarai, H. Umeda, Y. Kawasuji, T. Suzuki, SatoshiTanaka, A. Kurosu, T. Matsunaga, J. Fujimoto, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7274, 72743L (2009).

Matsunaga, T.

M. Yoshino, H. Umeda, H. Tsushima, H. Watanabe, S. Tanaka, S. Matsumoto, T. Onose, H. Nogawa, Y. Kawasuji, T. Matsunaga, J. Fujimoto, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7640, 76402A (2010).

H. Tsushima, M. Yoshino, T. Ohta, T. Kumazaki, H. Watanabe, S. Matsumoto, H. Nakarai, H. Umeda, Y. Kawasuji, T. Suzuki, SatoshiTanaka, A. Kurosu, T. Matsunaga, J. Fujimoto, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7274, 72743L (2009).

Maystre, D.

McDermid, I. S.

T. J. Pacala, I. S. McDermid, and J. B. Laudenslager, Appl. Phys. Lett. 44, 658 (1984).

Mckee, T. J.

T. J. Mckee, Can. J. Phys. 63, 214 (1985).

McKen, D. C. D.

R. Fedosejevs, I. V. Tomov, D. C. D. McKen, M. Arnfield, C. Domier, and A. A. Offenberger, J. Appl. Phys. 54, 5629 (1983).

D. C. D. McKen, R. Fedosejevs, M. Arnfield, I. V. Tomov, C. Domier, and A. A. Offenberger, Rev. Sci. Instrum. 54, 845 (1983).

Mizoguchi, H.

M. Yoshino, H. Umeda, H. Tsushima, H. Watanabe, S. Tanaka, S. Matsumoto, T. Onose, H. Nogawa, Y. Kawasuji, T. Matsunaga, J. Fujimoto, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7640, 76402A (2010).

H. Tsushima, M. Yoshino, T. Ohta, T. Kumazaki, H. Watanabe, S. Matsumoto, H. Nakarai, H. Umeda, Y. Kawasuji, T. Suzuki, SatoshiTanaka, A. Kurosu, T. Matsunaga, J. Fujimoto, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7274, 72743L (2009).

Moosman, B.

T. Ishihara, H. Besaucele, C. Maley, V. Fleurov, P. O'Keeffe, M. Haviland, R. Morton, W. Gillespie, T. Dyer, B. Moosman, and R. Poole, Proc. SPIE 5377, 1858 (2004).

Morton, R.

T. Ishihara, H. Besaucele, C. Maley, V. Fleurov, P. O'Keeffe, M. Haviland, R. Morton, W. Gillespie, T. Dyer, B. Moosman, and R. Poole, Proc. SPIE 5377, 1858 (2004).

Murray, J. R.

J. Goldhar, W. R. Rapoport, and J. R. Murray, IEEE J. Quantum Electon. 16, 235 (1980).

J. Goldhar and J. R. Murray, Opt. Lett. 1, 199 (1977).

Nakarai, H.

H. Tsushima, M. Yoshino, T. Ohta, T. Kumazaki, H. Watanabe, S. Matsumoto, H. Nakarai, H. Umeda, Y. Kawasuji, T. Suzuki, SatoshiTanaka, A. Kurosu, T. Matsunaga, J. Fujimoto, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7274, 72743L (2009).

Nogawa, H.

M. Yoshino, H. Umeda, H. Tsushima, H. Watanabe, S. Tanaka, S. Matsumoto, T. Onose, H. Nogawa, Y. Kawasuji, T. Matsunaga, J. Fujimoto, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7640, 76402A (2010).

O'Brien, K.

V. Fleurov, S. Rokitski, R. Bergstedt, H. Ye, K. O'Brien, R. Jacques, F. Trintchouk, E. Figueroa, T. Cacouris, and D. Brown, Proc. SPIE 6924, 69241R (2008).

Offenberger, A. A.

R. Fedosejevs, I. V. Tomov, D. C. D. McKen, M. Arnfield, C. Domier, and A. A. Offenberger, J. Appl. Phys. 54, 5629 (1983).

D. C. D. McKen, R. Fedosejevs, M. Arnfield, I. V. Tomov, C. Domier, and A. A. Offenberger, Rev. Sci. Instrum. 54, 845 (1983).

Ohta, T.

H. Tsushima, M. Yoshino, T. Ohta, T. Kumazaki, H. Watanabe, S. Matsumoto, H. Nakarai, H. Umeda, Y. Kawasuji, T. Suzuki, SatoshiTanaka, A. Kurosu, T. Matsunaga, J. Fujimoto, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7274, 72743L (2009).

Okazaki, S.

T. Ito and S. Okazaki, Nature 406, 1027 (2000).

O'Keeffe, P.

T. Ishihara, H. Besaucele, C. Maley, V. Fleurov, P. O'Keeffe, M. Haviland, R. Morton, W. Gillespie, T. Dyer, B. Moosman, and R. Poole, Proc. SPIE 5377, 1858 (2004).

V. B. Fleurov, D. J. Colon III, D. J. W. Brown, P. O'Keeffe, H. Besaucele, A. I. Ershov, F. Trintchouk, T. Ishihara, P. Zambon, and R. Rafac, Proc. SPIE 5040, 1694 (2003).

Onose, T.

M. Yoshino, H. Umeda, H. Tsushima, H. Watanabe, S. Tanaka, S. Matsumoto, T. Onose, H. Nogawa, Y. Kawasuji, T. Matsunaga, J. Fujimoto, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7640, 76402A (2010).

Othonos, A.

A. Othonos and X. Lee, Rev. Sci. Instrum. 66, 3112 (1995).

Pacala, T. J.

T. J. Pacala, I. S. McDermid, and J. B. Laudenslager, Appl. Phys. Lett. 44, 658 (1984).

Partanen, J. P.

J. P. Partanen and M. J. Shaw, Appl. Phys. B 43, 231 (1987).

Poole, R.

T. Ishihara, H. Besaucele, C. Maley, V. Fleurov, P. O'Keeffe, M. Haviland, R. Morton, W. Gillespie, T. Dyer, B. Moosman, and R. Poole, Proc. SPIE 5377, 1858 (2004).

Popov, E.

Rafac, R.

V. B. Fleurov, D. J. Colon III, D. J. W. Brown, P. O'Keeffe, H. Besaucele, A. I. Ershov, F. Trintchouk, T. Ishihara, P. Zambon, and R. Rafac, Proc. SPIE 5040, 1694 (2003).

Ran, Y.

Rao, R.

R. Rokitski, T. Ishihara, R. Rao, R. Jiang, M. Haviland, T. Cacouris, and D. Brown, Proc. SPIE 7640, 76401Q (2010).

Rapoport, W. R.

J. Goldhar, W. R. Rapoport, and J. R. Murray, IEEE J. Quantum Electon. 16, 235 (1980).

Rokitski, R.

R. Rokitski, T. Ishihara, R. Rao, R. Jiang, M. Haviland, T. Cacouris, and D. Brown, Proc. SPIE 7640, 76401Q (2010).

Rokitski, S.

V. Fleurov, S. Rokitski, R. Bergstedt, H. Ye, K. O'Brien, R. Jacques, F. Trintchouk, E. Figueroa, T. Cacouris, and D. Brown, Proc. SPIE 6924, 69241R (2008).

Rothe, E.W.

G. Grunefeld, H. Schluter, P. Andresen, and E.W. Rothe, Appl. Phys. B 62, 241 (1996).

Ruckle, B.

Saito, H.

Q. Lou, T. Yagi, and H. Saito, J. Appl. Phys. 67, 6591 (1990).

Sasaki, Y.

K. Kakizaki, Y. Sasaki, and T. Inoue, Rev. Sci. Instrum. 77, 035109 (2006).

Schluter, H.

G. Grunefeld, H. Schluter, P. Andresen, and E.W. Rothe, Appl. Phys. B 62, 241 (1996).

Shaw, M. J.

J. P. Partanen and M. J. Shaw, Appl. Phys. B 43, 231 (1987).

Sun, L.

Suzuki, T.

H. Tsushima, M. Yoshino, T. Ohta, T. Kumazaki, H. Watanabe, S. Matsumoto, H. Nakarai, H. Umeda, Y. Kawasuji, T. Suzuki, SatoshiTanaka, A. Kurosu, T. Matsunaga, J. Fujimoto, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7274, 72743L (2009).

Tan, Y.

Tanaka, S.

M. Yoshino, H. Umeda, H. Tsushima, H. Watanabe, S. Tanaka, S. Matsumoto, T. Onose, H. Nogawa, Y. Kawasuji, T. Matsunaga, J. Fujimoto, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7640, 76402A (2010).

Tomov, I. V.

R. Fedosejevs, I. V. Tomov, D. C. D. McKen, M. Arnfield, C. Domier, and A. A. Offenberger, J. Appl. Phys. 54, 5629 (1983).

D. C. D. McKen, R. Fedosejevs, M. Arnfield, I. V. Tomov, C. Domier, and A. A. Offenberger, Rev. Sci. Instrum. 54, 845 (1983).

Trebino, R.

Trintchouk, F.

V. Fleurov, S. Rokitski, R. Bergstedt, H. Ye, K. O'Brien, R. Jacques, F. Trintchouk, E. Figueroa, T. Cacouris, and D. Brown, Proc. SPIE 6924, 69241R (2008).

V. B. Fleurov, D. J. Colon III, D. J. W. Brown, P. O'Keeffe, H. Besaucele, A. I. Ershov, F. Trintchouk, T. Ishihara, P. Zambon, and R. Rafac, Proc. SPIE 5040, 1694 (2003).

Tsonev, L.

Tsushima, H.

M. Yoshino, H. Umeda, H. Tsushima, H. Watanabe, S. Tanaka, S. Matsumoto, T. Onose, H. Nogawa, Y. Kawasuji, T. Matsunaga, J. Fujimoto, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7640, 76402A (2010).

H. Tsushima, M. Yoshino, T. Ohta, T. Kumazaki, H. Watanabe, S. Matsumoto, H. Nakarai, H. Umeda, Y. Kawasuji, T. Suzuki, SatoshiTanaka, A. Kurosu, T. Matsunaga, J. Fujimoto, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7274, 72743L (2009).

Umeda, H.

M. Yoshino, H. Umeda, H. Tsushima, H. Watanabe, S. Tanaka, S. Matsumoto, T. Onose, H. Nogawa, Y. Kawasuji, T. Matsunaga, J. Fujimoto, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7640, 76402A (2010).

H. Tsushima, M. Yoshino, T. Ohta, T. Kumazaki, H. Watanabe, S. Matsumoto, H. Nakarai, H. Umeda, Y. Kawasuji, T. Suzuki, SatoshiTanaka, A. Kurosu, T. Matsunaga, J. Fujimoto, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7274, 72743L (2009).

Watanabe, H.

M. Yoshino, H. Umeda, H. Tsushima, H. Watanabe, S. Tanaka, S. Matsumoto, T. Onose, H. Nogawa, Y. Kawasuji, T. Matsunaga, J. Fujimoto, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7640, 76402A (2010).

H. Tsushima, M. Yoshino, T. Ohta, T. Kumazaki, H. Watanabe, S. Matsumoto, H. Nakarai, H. Umeda, Y. Kawasuji, T. Suzuki, SatoshiTanaka, A. Kurosu, T. Matsunaga, J. Fujimoto, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7274, 72743L (2009).

Webb, C. E.

R. G. Caro, M. C. Gower, and C. E. Webb, J. Phys. D 15, 767 (1982).

Witteman, W. J.

Yagi, T.

Q. Lou, T. Yagi, and H. Saito, J. Appl. Phys. 67, 6591 (1990).

Ye, H.

V. Fleurov, S. Rokitski, R. Bergstedt, H. Ye, K. O'Brien, R. Jacques, F. Trintchouk, E. Figueroa, T. Cacouris, and D. Brown, Proc. SPIE 6924, 69241R (2008).

Yoshino, M.

M. Yoshino, H. Umeda, H. Tsushima, H. Watanabe, S. Tanaka, S. Matsumoto, T. Onose, H. Nogawa, Y. Kawasuji, T. Matsunaga, J. Fujimoto, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7640, 76402A (2010).

H. Tsushima, M. Yoshino, T. Ohta, T. Kumazaki, H. Watanabe, S. Matsumoto, H. Nakarai, H. Umeda, Y. Kawasuji, T. Suzuki, SatoshiTanaka, A. Kurosu, T. Matsunaga, J. Fujimoto, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7274, 72743L (2009).

You, L.

Y. Yu, L. You, X. Liang, and X. Fang, Chinese J. Lasers (in Chinese) 37, 2253 (2010).

Yu, Y.

Y. Yu, L. You, X. Liang, and X. Fang, Chinese J. Lasers (in Chinese) 37, 2253 (2010).

Zambon, P.

V. B. Fleurov, D. J. Colon III, D. J. W. Brown, P. O'Keeffe, H. Besaucele, A. I. Ershov, F. Trintchouk, T. Ishihara, P. Zambon, and R. Rafac, Proc. SPIE 5040, 1694 (2003).

Appl. Opt. (5)

Appl. Phys. B (2)

G. Grunefeld, H. Schluter, P. Andresen, and E.W. Rothe, Appl. Phys. B 62, 241 (1996).

J. P. Partanen and M. J. Shaw, Appl. Phys. B 43, 231 (1987).

Appl. Phys. Lett. (2)

T. J. Pacala, I. S. McDermid, and J. B. Laudenslager, Appl. Phys. Lett. 44, 658 (1984).

T. R. Loree, K. B. Butterfield, and D. L. Barker, Appl. Phys. Lett. 32, 171 (1978).

Can. J. Phys. (1)

T. J. Mckee, Can. J. Phys. 63, 214 (1985).

Chinese J. Lasers (in Chinese) (1)

Y. Yu, L. You, X. Liang, and X. Fang, Chinese J. Lasers (in Chinese) 37, 2253 (2010).

IEEE J. Quantum Electon. (1)

J. Goldhar, W. R. Rapoport, and J. R. Murray, IEEE J. Quantum Electon. 16, 235 (1980).

J. Appl. Phys. (2)

Q. Lou, T. Yagi, and H. Saito, J. Appl. Phys. 67, 6591 (1990).

R. Fedosejevs, I. V. Tomov, D. C. D. McKen, M. Arnfield, C. Domier, and A. A. Offenberger, J. Appl. Phys. 54, 5629 (1983).

J. Opt. Soc. Am. B (1)

J. Phys. D (1)

R. G. Caro, M. C. Gower, and C. E. Webb, J. Phys. D 15, 767 (1982).

Jpn. J. Appl. Phys. (1)

T. Ariga and K. Hotta, Jpn. J. Appl. Phys. 43, 5279 (2004).

Nature (1)

T. Ito and S. Okazaki, Nature 406, 1027 (2000).

Opt. Express (1)

Opt. Lett. (2)

Proc. SPIE (6)

V. Fleurov, S. Rokitski, R. Bergstedt, H. Ye, K. O'Brien, R. Jacques, F. Trintchouk, E. Figueroa, T. Cacouris, and D. Brown, Proc. SPIE 6924, 69241R (2008).

M. Yoshino, H. Umeda, H. Tsushima, H. Watanabe, S. Tanaka, S. Matsumoto, T. Onose, H. Nogawa, Y. Kawasuji, T. Matsunaga, J. Fujimoto, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7640, 76402A (2010).

R. Rokitski, T. Ishihara, R. Rao, R. Jiang, M. Haviland, T. Cacouris, and D. Brown, Proc. SPIE 7640, 76401Q (2010).

H. Tsushima, M. Yoshino, T. Ohta, T. Kumazaki, H. Watanabe, S. Matsumoto, H. Nakarai, H. Umeda, Y. Kawasuji, T. Suzuki, SatoshiTanaka, A. Kurosu, T. Matsunaga, J. Fujimoto, and H. Mizoguchi, Proc. SPIE 7274, 72743L (2009).

T. Ishihara, H. Besaucele, C. Maley, V. Fleurov, P. O'Keeffe, M. Haviland, R. Morton, W. Gillespie, T. Dyer, B. Moosman, and R. Poole, Proc. SPIE 5377, 1858 (2004).

V. B. Fleurov, D. J. Colon III, D. J. W. Brown, P. O'Keeffe, H. Besaucele, A. I. Ershov, F. Trintchouk, T. Ishihara, P. Zambon, and R. Rafac, Proc. SPIE 5040, 1694 (2003).

Rev. Sci. Instrum. (5)

R. J. Balla and R. Hart, Rev. Sci. Instrum. 69, 2591 (1998).

D. C. D. McKen, R. Fedosejevs, M. Arnfield, I. V. Tomov, C. Domier, and A. A. Offenberger, Rev. Sci. Instrum. 54, 845 (1983).

A. Othonos and X. Lee, Rev. Sci. Instrum. 66, 3112 (1995).

R. J. Balla and G. C. Herring, Rev. Sci. Instrum. 71, 2246 (2000).

K. Kakizaki, Y. Sasaki, and T. Inoue, Rev. Sci. Instrum. 77, 035109 (2006).

Other (3)

D. Basting and G. Marowsky, Excimer Laser Technology (Springer, Berlin, 2005).

Q. Lou, J. Xu, S. Fu, D. Zhuang, and J. Chen, Gas Laser with Pulsed Discharge (Science Press, Beijing, 1993).

R. S. Hargrove and J. A. Paisner, in Proceedings of Dig. Top. Meeting Excimer Lasers Lasers and Electro-Optics ThA61 (1979).

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.