Abstract

A novel angle-resolved scatterometer based on pupil optimization for feature profile measurement in a photolithography process is proposed. The impact of image sensor errors is minimized by optimizing the intensity distribution of the incident light using a spatial light modulator. The scatterometry sensitivity of feature measurement at different polarization conditions is calculated using the rigorous coupled-wave and first-order analyses, and the reproducibility of the scatterometer is evaluated. The results show that the sensitivity and reproducibility of the angle-resolved scatterometer increase by 90% and 40% with pupil optimization, respectively.

© 2012 Chinese Optics Letters

PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. C. Archie, E. Solecky, P. Rawat, T, Brunner, K. Yoshimoto, R. Cornell, and O. Adan, Proc. SPIE 7638, 763804 (2011).
  2. K. Takamasu, H. Okitou, S. Takahashi, M. Konno, O. Inoue, and H. Kawada, Proc. SPIE 7971, 797108 (2011).
  3. J. Foucher, N. Rana, and C. Dezauzier, Proc. SPIE 7638, 763802 (2010).
  4. B. Bilski, K. Frenner, and W. Osten, Opt. Express 19, 19967 (2011).
  5. I. Gereige, S. Robert, S. Thiria, F. Badran, G. Granet, and J. J. Rousseau, J. Opt. Soc. Am. A 25, 1661 (2008).
  6. C. Tan, Y. Chan, J. Chen, T. Liao, and M. Chiu, Chin. Opt. Lett. 9, 101202 (2011).
  7. C. Ko and Y. Ku, Opt. Express 14, 6001 (2006).
  8. Y. Cohen, J. Finders, R. Knops, O. Mouraille, I. Minnaert-Janssen, F. Duray, E. Mos, A. Kremer, A. Sagiv, S. Mangan, M. B. Yishay, H. Dai, C. Bencher, C. Ngai, K. Dotan, and I. Englard, Proc. SPIE 7971, 79711N (2011).
  9. R. M. Silver, B. M. Barnes, R. Attota, J. Jun, M. Stocker, E. Marx, and H. J. Patrick, Appl. Opt. 46, 4248 (2007).
  10. T. Novikova, A. Martino, S. Hatit, and B. Drevillon, Appl. Opt. 45, 3688 (2006).
  11. T. Miyakawa, K. Sentoku, K. Sato, and H. Ina, Proc. SPIE 7637, 763721 (2010),.
  12. M. G. Moharam and T. K. Gaylord, J. Opt. Soc. Am. 71, 811 (1981).
  13. M. G. Moharam, E. B. Grann, D. A. Pomment, and T. Gaylord, J. Opt. Soc. Am. A 12, 1068 (1995).

2011 (5)

C. Archie, E. Solecky, P. Rawat, T, Brunner, K. Yoshimoto, R. Cornell, and O. Adan, Proc. SPIE 7638, 763804 (2011).

K. Takamasu, H. Okitou, S. Takahashi, M. Konno, O. Inoue, and H. Kawada, Proc. SPIE 7971, 797108 (2011).

Y. Cohen, J. Finders, R. Knops, O. Mouraille, I. Minnaert-Janssen, F. Duray, E. Mos, A. Kremer, A. Sagiv, S. Mangan, M. B. Yishay, H. Dai, C. Bencher, C. Ngai, K. Dotan, and I. Englard, Proc. SPIE 7971, 79711N (2011).

C. Tan, Y. Chan, J. Chen, T. Liao, and M. Chiu, Chin. Opt. Lett. 9, 101202 (2011).

B. Bilski, K. Frenner, and W. Osten, Opt. Express 19, 19967 (2011).

2010 (1)

J. Foucher, N. Rana, and C. Dezauzier, Proc. SPIE 7638, 763802 (2010).

2008 (1)

2007 (1)

2006 (2)

1995 (1)

1981 (1)

Adan, O.

C. Archie, E. Solecky, P. Rawat, T, Brunner, K. Yoshimoto, R. Cornell, and O. Adan, Proc. SPIE 7638, 763804 (2011).

Archie, C.

C. Archie, E. Solecky, P. Rawat, T, Brunner, K. Yoshimoto, R. Cornell, and O. Adan, Proc. SPIE 7638, 763804 (2011).

Attota, R.

Badran, F.

Barnes, B. M.

Bencher, C.

Y. Cohen, J. Finders, R. Knops, O. Mouraille, I. Minnaert-Janssen, F. Duray, E. Mos, A. Kremer, A. Sagiv, S. Mangan, M. B. Yishay, H. Dai, C. Bencher, C. Ngai, K. Dotan, and I. Englard, Proc. SPIE 7971, 79711N (2011).

Bilski, B.

Chan, Y.

Chen, J.

Chiu, M.

Cohen, Y.

Y. Cohen, J. Finders, R. Knops, O. Mouraille, I. Minnaert-Janssen, F. Duray, E. Mos, A. Kremer, A. Sagiv, S. Mangan, M. B. Yishay, H. Dai, C. Bencher, C. Ngai, K. Dotan, and I. Englard, Proc. SPIE 7971, 79711N (2011).

Cornell, R.

C. Archie, E. Solecky, P. Rawat, T, Brunner, K. Yoshimoto, R. Cornell, and O. Adan, Proc. SPIE 7638, 763804 (2011).

Dai, H.

Y. Cohen, J. Finders, R. Knops, O. Mouraille, I. Minnaert-Janssen, F. Duray, E. Mos, A. Kremer, A. Sagiv, S. Mangan, M. B. Yishay, H. Dai, C. Bencher, C. Ngai, K. Dotan, and I. Englard, Proc. SPIE 7971, 79711N (2011).

Dezauzier, C.

J. Foucher, N. Rana, and C. Dezauzier, Proc. SPIE 7638, 763802 (2010).

Dotan, K.

Y. Cohen, J. Finders, R. Knops, O. Mouraille, I. Minnaert-Janssen, F. Duray, E. Mos, A. Kremer, A. Sagiv, S. Mangan, M. B. Yishay, H. Dai, C. Bencher, C. Ngai, K. Dotan, and I. Englard, Proc. SPIE 7971, 79711N (2011).

Drevillon, B.

Duray, F.

Y. Cohen, J. Finders, R. Knops, O. Mouraille, I. Minnaert-Janssen, F. Duray, E. Mos, A. Kremer, A. Sagiv, S. Mangan, M. B. Yishay, H. Dai, C. Bencher, C. Ngai, K. Dotan, and I. Englard, Proc. SPIE 7971, 79711N (2011).

Englard, I.

Y. Cohen, J. Finders, R. Knops, O. Mouraille, I. Minnaert-Janssen, F. Duray, E. Mos, A. Kremer, A. Sagiv, S. Mangan, M. B. Yishay, H. Dai, C. Bencher, C. Ngai, K. Dotan, and I. Englard, Proc. SPIE 7971, 79711N (2011).

Finders, J.

Y. Cohen, J. Finders, R. Knops, O. Mouraille, I. Minnaert-Janssen, F. Duray, E. Mos, A. Kremer, A. Sagiv, S. Mangan, M. B. Yishay, H. Dai, C. Bencher, C. Ngai, K. Dotan, and I. Englard, Proc. SPIE 7971, 79711N (2011).

Foucher, J.

J. Foucher, N. Rana, and C. Dezauzier, Proc. SPIE 7638, 763802 (2010).

Frenner, K.

Gaylord, T.

Gaylord, T. K.

Gereige, I.

Granet, G.

Grann, E. B.

Hatit, S.

Inoue, O.

K. Takamasu, H. Okitou, S. Takahashi, M. Konno, O. Inoue, and H. Kawada, Proc. SPIE 7971, 797108 (2011).

Jun, J.

Kawada, H.

K. Takamasu, H. Okitou, S. Takahashi, M. Konno, O. Inoue, and H. Kawada, Proc. SPIE 7971, 797108 (2011).

Knops, R.

Y. Cohen, J. Finders, R. Knops, O. Mouraille, I. Minnaert-Janssen, F. Duray, E. Mos, A. Kremer, A. Sagiv, S. Mangan, M. B. Yishay, H. Dai, C. Bencher, C. Ngai, K. Dotan, and I. Englard, Proc. SPIE 7971, 79711N (2011).

Ko, C.

Konno, M.

K. Takamasu, H. Okitou, S. Takahashi, M. Konno, O. Inoue, and H. Kawada, Proc. SPIE 7971, 797108 (2011).

Kremer, A.

Y. Cohen, J. Finders, R. Knops, O. Mouraille, I. Minnaert-Janssen, F. Duray, E. Mos, A. Kremer, A. Sagiv, S. Mangan, M. B. Yishay, H. Dai, C. Bencher, C. Ngai, K. Dotan, and I. Englard, Proc. SPIE 7971, 79711N (2011).

Ku, Y.

Liao, T.

Mangan, S.

Y. Cohen, J. Finders, R. Knops, O. Mouraille, I. Minnaert-Janssen, F. Duray, E. Mos, A. Kremer, A. Sagiv, S. Mangan, M. B. Yishay, H. Dai, C. Bencher, C. Ngai, K. Dotan, and I. Englard, Proc. SPIE 7971, 79711N (2011).

Martino, A.

Marx, E.

Minnaert-Janssen, I.

Y. Cohen, J. Finders, R. Knops, O. Mouraille, I. Minnaert-Janssen, F. Duray, E. Mos, A. Kremer, A. Sagiv, S. Mangan, M. B. Yishay, H. Dai, C. Bencher, C. Ngai, K. Dotan, and I. Englard, Proc. SPIE 7971, 79711N (2011).

Moharam, M. G.

Mos, E.

Y. Cohen, J. Finders, R. Knops, O. Mouraille, I. Minnaert-Janssen, F. Duray, E. Mos, A. Kremer, A. Sagiv, S. Mangan, M. B. Yishay, H. Dai, C. Bencher, C. Ngai, K. Dotan, and I. Englard, Proc. SPIE 7971, 79711N (2011).

Mouraille, O.

Y. Cohen, J. Finders, R. Knops, O. Mouraille, I. Minnaert-Janssen, F. Duray, E. Mos, A. Kremer, A. Sagiv, S. Mangan, M. B. Yishay, H. Dai, C. Bencher, C. Ngai, K. Dotan, and I. Englard, Proc. SPIE 7971, 79711N (2011).

Ngai, C.

Y. Cohen, J. Finders, R. Knops, O. Mouraille, I. Minnaert-Janssen, F. Duray, E. Mos, A. Kremer, A. Sagiv, S. Mangan, M. B. Yishay, H. Dai, C. Bencher, C. Ngai, K. Dotan, and I. Englard, Proc. SPIE 7971, 79711N (2011).

Novikova, T.

Okitou, H.

K. Takamasu, H. Okitou, S. Takahashi, M. Konno, O. Inoue, and H. Kawada, Proc. SPIE 7971, 797108 (2011).

Osten, W.

Patrick, H. J.

Pomment, D. A.

Rana, N.

J. Foucher, N. Rana, and C. Dezauzier, Proc. SPIE 7638, 763802 (2010).

Rawat, P.

C. Archie, E. Solecky, P. Rawat, T, Brunner, K. Yoshimoto, R. Cornell, and O. Adan, Proc. SPIE 7638, 763804 (2011).

Robert, S.

Rousseau, J. J.

Sagiv, A.

Y. Cohen, J. Finders, R. Knops, O. Mouraille, I. Minnaert-Janssen, F. Duray, E. Mos, A. Kremer, A. Sagiv, S. Mangan, M. B. Yishay, H. Dai, C. Bencher, C. Ngai, K. Dotan, and I. Englard, Proc. SPIE 7971, 79711N (2011).

Silver, R. M.

Solecky, E.

C. Archie, E. Solecky, P. Rawat, T, Brunner, K. Yoshimoto, R. Cornell, and O. Adan, Proc. SPIE 7638, 763804 (2011).

Stocker, M.

Takahashi, S.

K. Takamasu, H. Okitou, S. Takahashi, M. Konno, O. Inoue, and H. Kawada, Proc. SPIE 7971, 797108 (2011).

Takamasu, K.

K. Takamasu, H. Okitou, S. Takahashi, M. Konno, O. Inoue, and H. Kawada, Proc. SPIE 7971, 797108 (2011).

Tan, C.

Thiria, S.

Yishay, M. B.

Y. Cohen, J. Finders, R. Knops, O. Mouraille, I. Minnaert-Janssen, F. Duray, E. Mos, A. Kremer, A. Sagiv, S. Mangan, M. B. Yishay, H. Dai, C. Bencher, C. Ngai, K. Dotan, and I. Englard, Proc. SPIE 7971, 79711N (2011).

Yoshimoto, K.

C. Archie, E. Solecky, P. Rawat, T, Brunner, K. Yoshimoto, R. Cornell, and O. Adan, Proc. SPIE 7638, 763804 (2011).

Appl. Opt. (2)

Chin. Opt. Lett. (1)

J. Opt. Soc. Am. (1)

J. Opt. Soc. Am. A (2)

Opt. Express (2)

Proc. SPIE (4)

C. Archie, E. Solecky, P. Rawat, T, Brunner, K. Yoshimoto, R. Cornell, and O. Adan, Proc. SPIE 7638, 763804 (2011).

K. Takamasu, H. Okitou, S. Takahashi, M. Konno, O. Inoue, and H. Kawada, Proc. SPIE 7971, 797108 (2011).

J. Foucher, N. Rana, and C. Dezauzier, Proc. SPIE 7638, 763802 (2010).

Y. Cohen, J. Finders, R. Knops, O. Mouraille, I. Minnaert-Janssen, F. Duray, E. Mos, A. Kremer, A. Sagiv, S. Mangan, M. B. Yishay, H. Dai, C. Bencher, C. Ngai, K. Dotan, and I. Englard, Proc. SPIE 7971, 79711N (2011).

Other (1)

T. Miyakawa, K. Sentoku, K. Sato, and H. Ina, Proc. SPIE 7637, 763721 (2010),.

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.