Abstract

Amorphous Si waveguides with gradient refractive index cladding structure are proposed and fabricated using plasma-enhanced chemical vapor deposition method. Compared with 6 dB/cm for ridge waveguide without gradient cladding, the propagation loss of the gradient cladding waveguides is less than 1 dB/cm with both TE and TM polarizations.

© 2012 Chinese Optics Letters

PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. R. M. Pafchek, J. Li, R. S. Tummidi, and T. L. Koch, IEEE Photon. Technol. Lett. 21, 353 (2009).
  2. P. Dong, W. Qian, S. Liao, H. Liang, C.-C. Kung, N.-N. Feng, R. Shafiiha, J. Fong, D. Feng, A. V. Krishnamoorthy, and M. Asghar, Opt. Express 18, 14474 (2010).
  3. P. K. Tien, Appl. Opt. 10, 2395 (1971).
  4. E. J. Norberg, J. S. Parker, S. C. Nicholes, and B. Kim, Opt. Express 19, 717 (2011).
  5. E. J. Teo, B. Q. Xiong, Y. S. Ow, M. B. H. Breese, and A. A. Bettiol, Opt. Lett. 34, 3142 (2009).
  6. W. Qiu, Y. M. Kang, and L. L. Goddard, Appl. Phys. Lett. 96, 141116 (2010).
  7. D. E. Zelmon, H. E. Jackson., J. T. Boyd, A. Naumaan, and D. B. Anderson, Appl. Phys. Lett. 42, 565 (1983).
  8. A. Layadi, A. Vonsovici, R. Orobtchouk, D. Pascal, and A. Koster, Opt. Commun. 146, 31 (1998).

2011 (1)

2010 (2)

2009 (2)

R. M. Pafchek, J. Li, R. S. Tummidi, and T. L. Koch, IEEE Photon. Technol. Lett. 21, 353 (2009).

E. J. Teo, B. Q. Xiong, Y. S. Ow, M. B. H. Breese, and A. A. Bettiol, Opt. Lett. 34, 3142 (2009).

1998 (1)

A. Layadi, A. Vonsovici, R. Orobtchouk, D. Pascal, and A. Koster, Opt. Commun. 146, 31 (1998).

1983 (1)

D. E. Zelmon, H. E. Jackson., J. T. Boyd, A. Naumaan, and D. B. Anderson, Appl. Phys. Lett. 42, 565 (1983).

1971 (1)

Anderson, D. B.

D. E. Zelmon, H. E. Jackson., J. T. Boyd, A. Naumaan, and D. B. Anderson, Appl. Phys. Lett. 42, 565 (1983).

Asghar, M.

Bettiol, A. A.

Boyd, J. T.

D. E. Zelmon, H. E. Jackson., J. T. Boyd, A. Naumaan, and D. B. Anderson, Appl. Phys. Lett. 42, 565 (1983).

Breese, M. B. H.

Dong, P.

Feng, D.

Feng, N.-N.

Fong, J.

Goddard, L. L.

W. Qiu, Y. M. Kang, and L. L. Goddard, Appl. Phys. Lett. 96, 141116 (2010).

Jackson., H. E.

D. E. Zelmon, H. E. Jackson., J. T. Boyd, A. Naumaan, and D. B. Anderson, Appl. Phys. Lett. 42, 565 (1983).

Kang, Y. M.

W. Qiu, Y. M. Kang, and L. L. Goddard, Appl. Phys. Lett. 96, 141116 (2010).

Kim, B.

Koch, T. L.

R. M. Pafchek, J. Li, R. S. Tummidi, and T. L. Koch, IEEE Photon. Technol. Lett. 21, 353 (2009).

Koster, A.

A. Layadi, A. Vonsovici, R. Orobtchouk, D. Pascal, and A. Koster, Opt. Commun. 146, 31 (1998).

Krishnamoorthy, A. V.

Kung, C.-C.

Layadi, A.

A. Layadi, A. Vonsovici, R. Orobtchouk, D. Pascal, and A. Koster, Opt. Commun. 146, 31 (1998).

Li, J.

R. M. Pafchek, J. Li, R. S. Tummidi, and T. L. Koch, IEEE Photon. Technol. Lett. 21, 353 (2009).

Liang, H.

Liao, S.

Naumaan, A.

D. E. Zelmon, H. E. Jackson., J. T. Boyd, A. Naumaan, and D. B. Anderson, Appl. Phys. Lett. 42, 565 (1983).

Nicholes, S. C.

Norberg, E. J.

Orobtchouk, R.

A. Layadi, A. Vonsovici, R. Orobtchouk, D. Pascal, and A. Koster, Opt. Commun. 146, 31 (1998).

Ow, Y. S.

Pafchek, R. M.

R. M. Pafchek, J. Li, R. S. Tummidi, and T. L. Koch, IEEE Photon. Technol. Lett. 21, 353 (2009).

Parker, J. S.

Pascal, D.

A. Layadi, A. Vonsovici, R. Orobtchouk, D. Pascal, and A. Koster, Opt. Commun. 146, 31 (1998).

Qian, W.

Qiu, W.

W. Qiu, Y. M. Kang, and L. L. Goddard, Appl. Phys. Lett. 96, 141116 (2010).

Shafiiha, R.

Teo, E. J.

Tien, P. K.

Tummidi, R. S.

R. M. Pafchek, J. Li, R. S. Tummidi, and T. L. Koch, IEEE Photon. Technol. Lett. 21, 353 (2009).

Vonsovici, A.

A. Layadi, A. Vonsovici, R. Orobtchouk, D. Pascal, and A. Koster, Opt. Commun. 146, 31 (1998).

Xiong, B. Q.

Zelmon, D. E.

D. E. Zelmon, H. E. Jackson., J. T. Boyd, A. Naumaan, and D. B. Anderson, Appl. Phys. Lett. 42, 565 (1983).

Appl. Opt. (1)

Appl. Phys. Lett. (2)

W. Qiu, Y. M. Kang, and L. L. Goddard, Appl. Phys. Lett. 96, 141116 (2010).

D. E. Zelmon, H. E. Jackson., J. T. Boyd, A. Naumaan, and D. B. Anderson, Appl. Phys. Lett. 42, 565 (1983).

IEEE Photon. Technol. Lett. (1)

R. M. Pafchek, J. Li, R. S. Tummidi, and T. L. Koch, IEEE Photon. Technol. Lett. 21, 353 (2009).

Opt. Commun. (1)

A. Layadi, A. Vonsovici, R. Orobtchouk, D. Pascal, and A. Koster, Opt. Commun. 146, 31 (1998).

Opt. Express (2)

Opt. Lett. (1)

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.