Abstract

A WSi<sub>2</sub>/Si multilayer, with 300 bi-layers and a 2.18-nm d-spacing, is designed for X-ray monochromator application. The multilayer is deposited using direct current magnetron sputtering technology. The reflectivity of the 1st-order Bragg peak measured at <i>E</i>=8.05 keV is 38%, and the angular resolution (Δ<i>θ/θ</i>) is less than 1.0%. Fitting results of the reflectivity curve indicate a layer thickness drift of 1.6%, mainly accounting for the broadening of the Bragg peaks. The layer morphology is further characterized by transmission electron microscopy, and a well-ordered multilayer structure with sharp interfaces is observed from the substrate to the surface. The material combination of WSi<sub>2</sub>/Si is a promising candidate for the fabrication of a high-resolution multilayer monochromator in the hard X-ray region.

© 2012 Chinese Optics Letters

PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. G. Falkenberg, O. Clauss, A. Swiderski, and Th. Tschentscher, X-Ray Spectrom. 30, 170 (2001).
  2. A. Hexemer, W. Bras, J. Glossinger, E. Schaible, E. Gann, R. Kirian, A. MacDowell, M. Church, B. Rude, and H. Padmore, J. Phys. Conf. Ser. 247, 012007 (2010).
  3. P. Siddons, Crystal Monochromators and Bent Crystals, Handbook of Optics V, 3rd ed. (Mc Graw Hill, New York, 2010).
  4. A. Rack, T. Weitkamp, M. Riotte, D. Grigoriev, T. Rack, L. Helfen, T. Baumbach, R. Dietsch, T. Holz, M. Kramer, F. Siewert, M. Meduna, P. Cloetens, and E. Ziegler, J. Synchrotron Rad. 17, 496 (2010).
  5. R. Simon, G. Buth, and M. Hagelstein, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 199, 554 (2003).
  6. A G. MacPhee, M W. Tate, C. F. Powell, Y. Yue, M. J. Renzi, A. Ercan, S. Narayanan, E. Fontes, J. Walther, J. Schaller, S. M. Gruner, and J. Wang, Science 295, 1261 (2002).
  7. U. Englich, A. Kazimirov, Q. Shen, D. H. Bilderback, S. M. Gruner, and Q. Hao, J. Synchrotron Rad. 12, 345 (2005).
  8. A. Rack, T. Weitkamp, S. B. Trabelsi, P. Modregger, A. Cecilia, T. dos S. Rolo, T. Rack, D. Haas, R. Simon, and T. Baumbach, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 267, 1978 (2009).
  9. M. Stampanoni, A. Groso, A. Isenegger, G. Mikuljan, Q. Chen, D. Meister, M. Lange, R. Betemps, S. Henein, and R. Abela, in Proceedings of Ninth International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation 879, 848 (2007).
  10. R. Simon, G. Buth, and M. Hagelstein, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 199, 554 (2003).
  11. Y. Wang, S. Narayanan, J. Liu, D. Shu, A. Mashayekhi, J. Qian, and J. Wang, J. Synchrotron Rad. 14, 138 (2007).
  12. C. Morawe, J. C. Peffen, E. Ziegler, and A. K. Freund, Proc. SPIE 4145, 61 (2001).
  13. Y. Platonov, V. Martynov, A. Kazimirov, and B. Lai, Proc. SPIE 5537, 163 (2004).
  14. A. Baranov, R. Dietsch, T. Holz, M. Menzel, D. Weibbach, R. Scholz, V. Melov, and J. Schreiber, Proc. SPIE 4782, 160 (2002).
  15. D. L. Windt, Proc. SPIE 6688, 66880R (2007).
  16. C. Liu, R. Conley, and A. T. Macrander, Proc. SPIE 6317, 63170J (2006).
  17. J. H. Underwood and T. W. Barbee, Appl. Opt. 20, 3027 (1981).
  18. Y.-P. Wang, H. Zhou, L. Zhou, R. L. Headrick, A. T. Macrander, and A. S. Ozcan, J. Appl. Phys. 101, 023503 (2007).
  19. A. I. Fedorenko, V. V. Kondratenko, L. S. Palatnik, S. A. Yulin, and E. N. Zubarev, Proc. SPIE 2453, 11 (1995).
  20. Q. Huang, J. Zhu, H. Li, Z. Shen, X. Wang, Z. Wang, and Y. Tang, Chin. Opt. Lett. 10, 013103 (2012).
  21. P. Ricardo, J. Wiesmann, C. Nowak, C. Michaelsen, and R. Bormann, Appl. Opt. 40, 2747(2001).
  22. C. Liu, R. Conley, A. T. Macrander, T. Graber, Ch. Morawe, C. Borel, and E. M. Dufresne, Proc. SPIE 5537, 154 (2004).
  23. D. L. Windt, Comput. Phys. 12, 360 (1998).
  24. C. Liu, R. Conley, A. T. Macrander, J. Maser, H. C. Kang, and G. B. Stephenson, Thin Solid Films 515, 654 (2006).
  25. D. L. Windt, F. E. Christensen, W. W. Craig, C. Hailey, F. A. Harrison, M. Jimenez-Garate, R. Kalyanaraman, and P. H. Mao, J. Appl. Phys. 88, 460 (2000).

2012 (1)

2010 (2)

A. Hexemer, W. Bras, J. Glossinger, E. Schaible, E. Gann, R. Kirian, A. MacDowell, M. Church, B. Rude, and H. Padmore, J. Phys. Conf. Ser. 247, 012007 (2010).

A. Rack, T. Weitkamp, M. Riotte, D. Grigoriev, T. Rack, L. Helfen, T. Baumbach, R. Dietsch, T. Holz, M. Kramer, F. Siewert, M. Meduna, P. Cloetens, and E. Ziegler, J. Synchrotron Rad. 17, 496 (2010).

2009 (1)

A. Rack, T. Weitkamp, S. B. Trabelsi, P. Modregger, A. Cecilia, T. dos S. Rolo, T. Rack, D. Haas, R. Simon, and T. Baumbach, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 267, 1978 (2009).

2007 (4)

M. Stampanoni, A. Groso, A. Isenegger, G. Mikuljan, Q. Chen, D. Meister, M. Lange, R. Betemps, S. Henein, and R. Abela, in Proceedings of Ninth International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation 879, 848 (2007).

Y. Wang, S. Narayanan, J. Liu, D. Shu, A. Mashayekhi, J. Qian, and J. Wang, J. Synchrotron Rad. 14, 138 (2007).

D. L. Windt, Proc. SPIE 6688, 66880R (2007).

Y.-P. Wang, H. Zhou, L. Zhou, R. L. Headrick, A. T. Macrander, and A. S. Ozcan, J. Appl. Phys. 101, 023503 (2007).

2006 (2)

C. Liu, R. Conley, and A. T. Macrander, Proc. SPIE 6317, 63170J (2006).

C. Liu, R. Conley, A. T. Macrander, J. Maser, H. C. Kang, and G. B. Stephenson, Thin Solid Films 515, 654 (2006).

2005 (1)

U. Englich, A. Kazimirov, Q. Shen, D. H. Bilderback, S. M. Gruner, and Q. Hao, J. Synchrotron Rad. 12, 345 (2005).

2004 (2)

Y. Platonov, V. Martynov, A. Kazimirov, and B. Lai, Proc. SPIE 5537, 163 (2004).

C. Liu, R. Conley, A. T. Macrander, T. Graber, Ch. Morawe, C. Borel, and E. M. Dufresne, Proc. SPIE 5537, 154 (2004).

2003 (2)

R. Simon, G. Buth, and M. Hagelstein, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 199, 554 (2003).

R. Simon, G. Buth, and M. Hagelstein, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 199, 554 (2003).

2002 (2)

A G. MacPhee, M W. Tate, C. F. Powell, Y. Yue, M. J. Renzi, A. Ercan, S. Narayanan, E. Fontes, J. Walther, J. Schaller, S. M. Gruner, and J. Wang, Science 295, 1261 (2002).

A. Baranov, R. Dietsch, T. Holz, M. Menzel, D. Weibbach, R. Scholz, V. Melov, and J. Schreiber, Proc. SPIE 4782, 160 (2002).

2001 (3)

C. Morawe, J. C. Peffen, E. Ziegler, and A. K. Freund, Proc. SPIE 4145, 61 (2001).

G. Falkenberg, O. Clauss, A. Swiderski, and Th. Tschentscher, X-Ray Spectrom. 30, 170 (2001).

P. Ricardo, J. Wiesmann, C. Nowak, C. Michaelsen, and R. Bormann, Appl. Opt. 40, 2747(2001).

2000 (1)

D. L. Windt, F. E. Christensen, W. W. Craig, C. Hailey, F. A. Harrison, M. Jimenez-Garate, R. Kalyanaraman, and P. H. Mao, J. Appl. Phys. 88, 460 (2000).

1998 (1)

D. L. Windt, Comput. Phys. 12, 360 (1998).

1995 (1)

A. I. Fedorenko, V. V. Kondratenko, L. S. Palatnik, S. A. Yulin, and E. N. Zubarev, Proc. SPIE 2453, 11 (1995).

1981 (1)

Abela, R.

M. Stampanoni, A. Groso, A. Isenegger, G. Mikuljan, Q. Chen, D. Meister, M. Lange, R. Betemps, S. Henein, and R. Abela, in Proceedings of Ninth International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation 879, 848 (2007).

Baranov, A.

A. Baranov, R. Dietsch, T. Holz, M. Menzel, D. Weibbach, R. Scholz, V. Melov, and J. Schreiber, Proc. SPIE 4782, 160 (2002).

Barbee, T. W.

Baumbach, T.

A. Rack, T. Weitkamp, M. Riotte, D. Grigoriev, T. Rack, L. Helfen, T. Baumbach, R. Dietsch, T. Holz, M. Kramer, F. Siewert, M. Meduna, P. Cloetens, and E. Ziegler, J. Synchrotron Rad. 17, 496 (2010).

A. Rack, T. Weitkamp, S. B. Trabelsi, P. Modregger, A. Cecilia, T. dos S. Rolo, T. Rack, D. Haas, R. Simon, and T. Baumbach, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 267, 1978 (2009).

Betemps, R.

M. Stampanoni, A. Groso, A. Isenegger, G. Mikuljan, Q. Chen, D. Meister, M. Lange, R. Betemps, S. Henein, and R. Abela, in Proceedings of Ninth International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation 879, 848 (2007).

Bilderback, D. H.

U. Englich, A. Kazimirov, Q. Shen, D. H. Bilderback, S. M. Gruner, and Q. Hao, J. Synchrotron Rad. 12, 345 (2005).

Borel, C.

C. Liu, R. Conley, A. T. Macrander, T. Graber, Ch. Morawe, C. Borel, and E. M. Dufresne, Proc. SPIE 5537, 154 (2004).

Bormann, R.

Bras, W.

A. Hexemer, W. Bras, J. Glossinger, E. Schaible, E. Gann, R. Kirian, A. MacDowell, M. Church, B. Rude, and H. Padmore, J. Phys. Conf. Ser. 247, 012007 (2010).

Buth, G.

R. Simon, G. Buth, and M. Hagelstein, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 199, 554 (2003).

R. Simon, G. Buth, and M. Hagelstein, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 199, 554 (2003).

Cecilia, A.

A. Rack, T. Weitkamp, S. B. Trabelsi, P. Modregger, A. Cecilia, T. dos S. Rolo, T. Rack, D. Haas, R. Simon, and T. Baumbach, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 267, 1978 (2009).

Chen, Q.

M. Stampanoni, A. Groso, A. Isenegger, G. Mikuljan, Q. Chen, D. Meister, M. Lange, R. Betemps, S. Henein, and R. Abela, in Proceedings of Ninth International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation 879, 848 (2007).

Christensen, F. E.

D. L. Windt, F. E. Christensen, W. W. Craig, C. Hailey, F. A. Harrison, M. Jimenez-Garate, R. Kalyanaraman, and P. H. Mao, J. Appl. Phys. 88, 460 (2000).

Church, M.

A. Hexemer, W. Bras, J. Glossinger, E. Schaible, E. Gann, R. Kirian, A. MacDowell, M. Church, B. Rude, and H. Padmore, J. Phys. Conf. Ser. 247, 012007 (2010).

Clauss, O.

G. Falkenberg, O. Clauss, A. Swiderski, and Th. Tschentscher, X-Ray Spectrom. 30, 170 (2001).

Cloetens, P.

A. Rack, T. Weitkamp, M. Riotte, D. Grigoriev, T. Rack, L. Helfen, T. Baumbach, R. Dietsch, T. Holz, M. Kramer, F. Siewert, M. Meduna, P. Cloetens, and E. Ziegler, J. Synchrotron Rad. 17, 496 (2010).

Conley, R.

C. Liu, R. Conley, A. T. Macrander, J. Maser, H. C. Kang, and G. B. Stephenson, Thin Solid Films 515, 654 (2006).

C. Liu, R. Conley, and A. T. Macrander, Proc. SPIE 6317, 63170J (2006).

C. Liu, R. Conley, A. T. Macrander, T. Graber, Ch. Morawe, C. Borel, and E. M. Dufresne, Proc. SPIE 5537, 154 (2004).

Craig, W. W.

D. L. Windt, F. E. Christensen, W. W. Craig, C. Hailey, F. A. Harrison, M. Jimenez-Garate, R. Kalyanaraman, and P. H. Mao, J. Appl. Phys. 88, 460 (2000).

Dietsch, R.

A. Rack, T. Weitkamp, M. Riotte, D. Grigoriev, T. Rack, L. Helfen, T. Baumbach, R. Dietsch, T. Holz, M. Kramer, F. Siewert, M. Meduna, P. Cloetens, and E. Ziegler, J. Synchrotron Rad. 17, 496 (2010).

A. Baranov, R. Dietsch, T. Holz, M. Menzel, D. Weibbach, R. Scholz, V. Melov, and J. Schreiber, Proc. SPIE 4782, 160 (2002).

Dufresne, E. M.

C. Liu, R. Conley, A. T. Macrander, T. Graber, Ch. Morawe, C. Borel, and E. M. Dufresne, Proc. SPIE 5537, 154 (2004).

Englich, U.

U. Englich, A. Kazimirov, Q. Shen, D. H. Bilderback, S. M. Gruner, and Q. Hao, J. Synchrotron Rad. 12, 345 (2005).

Ercan, A.

A G. MacPhee, M W. Tate, C. F. Powell, Y. Yue, M. J. Renzi, A. Ercan, S. Narayanan, E. Fontes, J. Walther, J. Schaller, S. M. Gruner, and J. Wang, Science 295, 1261 (2002).

Falkenberg, G.

G. Falkenberg, O. Clauss, A. Swiderski, and Th. Tschentscher, X-Ray Spectrom. 30, 170 (2001).

Fedorenko, A. I.

A. I. Fedorenko, V. V. Kondratenko, L. S. Palatnik, S. A. Yulin, and E. N. Zubarev, Proc. SPIE 2453, 11 (1995).

Fontes, E.

A G. MacPhee, M W. Tate, C. F. Powell, Y. Yue, M. J. Renzi, A. Ercan, S. Narayanan, E. Fontes, J. Walther, J. Schaller, S. M. Gruner, and J. Wang, Science 295, 1261 (2002).

Freund, A. K.

C. Morawe, J. C. Peffen, E. Ziegler, and A. K. Freund, Proc. SPIE 4145, 61 (2001).

Gann, E.

A. Hexemer, W. Bras, J. Glossinger, E. Schaible, E. Gann, R. Kirian, A. MacDowell, M. Church, B. Rude, and H. Padmore, J. Phys. Conf. Ser. 247, 012007 (2010).

Glossinger, J.

A. Hexemer, W. Bras, J. Glossinger, E. Schaible, E. Gann, R. Kirian, A. MacDowell, M. Church, B. Rude, and H. Padmore, J. Phys. Conf. Ser. 247, 012007 (2010).

Graber, T.

C. Liu, R. Conley, A. T. Macrander, T. Graber, Ch. Morawe, C. Borel, and E. M. Dufresne, Proc. SPIE 5537, 154 (2004).

Grigoriev, D.

A. Rack, T. Weitkamp, M. Riotte, D. Grigoriev, T. Rack, L. Helfen, T. Baumbach, R. Dietsch, T. Holz, M. Kramer, F. Siewert, M. Meduna, P. Cloetens, and E. Ziegler, J. Synchrotron Rad. 17, 496 (2010).

Groso, A.

M. Stampanoni, A. Groso, A. Isenegger, G. Mikuljan, Q. Chen, D. Meister, M. Lange, R. Betemps, S. Henein, and R. Abela, in Proceedings of Ninth International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation 879, 848 (2007).

Gruner, S. M.

U. Englich, A. Kazimirov, Q. Shen, D. H. Bilderback, S. M. Gruner, and Q. Hao, J. Synchrotron Rad. 12, 345 (2005).

A G. MacPhee, M W. Tate, C. F. Powell, Y. Yue, M. J. Renzi, A. Ercan, S. Narayanan, E. Fontes, J. Walther, J. Schaller, S. M. Gruner, and J. Wang, Science 295, 1261 (2002).

Haas, D.

A. Rack, T. Weitkamp, S. B. Trabelsi, P. Modregger, A. Cecilia, T. dos S. Rolo, T. Rack, D. Haas, R. Simon, and T. Baumbach, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 267, 1978 (2009).

Hagelstein, M.

R. Simon, G. Buth, and M. Hagelstein, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 199, 554 (2003).

R. Simon, G. Buth, and M. Hagelstein, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 199, 554 (2003).

Hailey, C.

D. L. Windt, F. E. Christensen, W. W. Craig, C. Hailey, F. A. Harrison, M. Jimenez-Garate, R. Kalyanaraman, and P. H. Mao, J. Appl. Phys. 88, 460 (2000).

Hao, Q.

U. Englich, A. Kazimirov, Q. Shen, D. H. Bilderback, S. M. Gruner, and Q. Hao, J. Synchrotron Rad. 12, 345 (2005).

Harrison, F. A.

D. L. Windt, F. E. Christensen, W. W. Craig, C. Hailey, F. A. Harrison, M. Jimenez-Garate, R. Kalyanaraman, and P. H. Mao, J. Appl. Phys. 88, 460 (2000).

Headrick, R. L.

Y.-P. Wang, H. Zhou, L. Zhou, R. L. Headrick, A. T. Macrander, and A. S. Ozcan, J. Appl. Phys. 101, 023503 (2007).

Helfen, L.

A. Rack, T. Weitkamp, M. Riotte, D. Grigoriev, T. Rack, L. Helfen, T. Baumbach, R. Dietsch, T. Holz, M. Kramer, F. Siewert, M. Meduna, P. Cloetens, and E. Ziegler, J. Synchrotron Rad. 17, 496 (2010).

Henein, S.

M. Stampanoni, A. Groso, A. Isenegger, G. Mikuljan, Q. Chen, D. Meister, M. Lange, R. Betemps, S. Henein, and R. Abela, in Proceedings of Ninth International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation 879, 848 (2007).

Hexemer, A.

A. Hexemer, W. Bras, J. Glossinger, E. Schaible, E. Gann, R. Kirian, A. MacDowell, M. Church, B. Rude, and H. Padmore, J. Phys. Conf. Ser. 247, 012007 (2010).

Holz, T.

A. Rack, T. Weitkamp, M. Riotte, D. Grigoriev, T. Rack, L. Helfen, T. Baumbach, R. Dietsch, T. Holz, M. Kramer, F. Siewert, M. Meduna, P. Cloetens, and E. Ziegler, J. Synchrotron Rad. 17, 496 (2010).

A. Baranov, R. Dietsch, T. Holz, M. Menzel, D. Weibbach, R. Scholz, V. Melov, and J. Schreiber, Proc. SPIE 4782, 160 (2002).

Huang, Q.

Isenegger, A.

M. Stampanoni, A. Groso, A. Isenegger, G. Mikuljan, Q. Chen, D. Meister, M. Lange, R. Betemps, S. Henein, and R. Abela, in Proceedings of Ninth International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation 879, 848 (2007).

Jimenez-Garate, M.

D. L. Windt, F. E. Christensen, W. W. Craig, C. Hailey, F. A. Harrison, M. Jimenez-Garate, R. Kalyanaraman, and P. H. Mao, J. Appl. Phys. 88, 460 (2000).

Kalyanaraman, R.

D. L. Windt, F. E. Christensen, W. W. Craig, C. Hailey, F. A. Harrison, M. Jimenez-Garate, R. Kalyanaraman, and P. H. Mao, J. Appl. Phys. 88, 460 (2000).

Kang, H. C.

C. Liu, R. Conley, A. T. Macrander, J. Maser, H. C. Kang, and G. B. Stephenson, Thin Solid Films 515, 654 (2006).

Kazimirov, A.

U. Englich, A. Kazimirov, Q. Shen, D. H. Bilderback, S. M. Gruner, and Q. Hao, J. Synchrotron Rad. 12, 345 (2005).

Y. Platonov, V. Martynov, A. Kazimirov, and B. Lai, Proc. SPIE 5537, 163 (2004).

Kirian, R.

A. Hexemer, W. Bras, J. Glossinger, E. Schaible, E. Gann, R. Kirian, A. MacDowell, M. Church, B. Rude, and H. Padmore, J. Phys. Conf. Ser. 247, 012007 (2010).

Kondratenko, V. V.

A. I. Fedorenko, V. V. Kondratenko, L. S. Palatnik, S. A. Yulin, and E. N. Zubarev, Proc. SPIE 2453, 11 (1995).

Kramer, M.

A. Rack, T. Weitkamp, M. Riotte, D. Grigoriev, T. Rack, L. Helfen, T. Baumbach, R. Dietsch, T. Holz, M. Kramer, F. Siewert, M. Meduna, P. Cloetens, and E. Ziegler, J. Synchrotron Rad. 17, 496 (2010).

Lai, B.

Y. Platonov, V. Martynov, A. Kazimirov, and B. Lai, Proc. SPIE 5537, 163 (2004).

Lange, M.

M. Stampanoni, A. Groso, A. Isenegger, G. Mikuljan, Q. Chen, D. Meister, M. Lange, R. Betemps, S. Henein, and R. Abela, in Proceedings of Ninth International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation 879, 848 (2007).

Li, H.

Liu, C.

C. Liu, R. Conley, A. T. Macrander, J. Maser, H. C. Kang, and G. B. Stephenson, Thin Solid Films 515, 654 (2006).

C. Liu, R. Conley, and A. T. Macrander, Proc. SPIE 6317, 63170J (2006).

C. Liu, R. Conley, A. T. Macrander, T. Graber, Ch. Morawe, C. Borel, and E. M. Dufresne, Proc. SPIE 5537, 154 (2004).

Liu, J.

Y. Wang, S. Narayanan, J. Liu, D. Shu, A. Mashayekhi, J. Qian, and J. Wang, J. Synchrotron Rad. 14, 138 (2007).

MacDowell, A.

A. Hexemer, W. Bras, J. Glossinger, E. Schaible, E. Gann, R. Kirian, A. MacDowell, M. Church, B. Rude, and H. Padmore, J. Phys. Conf. Ser. 247, 012007 (2010).

MacPhee, A G.

A G. MacPhee, M W. Tate, C. F. Powell, Y. Yue, M. J. Renzi, A. Ercan, S. Narayanan, E. Fontes, J. Walther, J. Schaller, S. M. Gruner, and J. Wang, Science 295, 1261 (2002).

Macrander, A. T.

Y.-P. Wang, H. Zhou, L. Zhou, R. L. Headrick, A. T. Macrander, and A. S. Ozcan, J. Appl. Phys. 101, 023503 (2007).

C. Liu, R. Conley, and A. T. Macrander, Proc. SPIE 6317, 63170J (2006).

C. Liu, R. Conley, A. T. Macrander, J. Maser, H. C. Kang, and G. B. Stephenson, Thin Solid Films 515, 654 (2006).

C. Liu, R. Conley, A. T. Macrander, T. Graber, Ch. Morawe, C. Borel, and E. M. Dufresne, Proc. SPIE 5537, 154 (2004).

Mao, P. H.

D. L. Windt, F. E. Christensen, W. W. Craig, C. Hailey, F. A. Harrison, M. Jimenez-Garate, R. Kalyanaraman, and P. H. Mao, J. Appl. Phys. 88, 460 (2000).

Martynov, V.

Y. Platonov, V. Martynov, A. Kazimirov, and B. Lai, Proc. SPIE 5537, 163 (2004).

Maser, J.

C. Liu, R. Conley, A. T. Macrander, J. Maser, H. C. Kang, and G. B. Stephenson, Thin Solid Films 515, 654 (2006).

Mashayekhi, A.

Y. Wang, S. Narayanan, J. Liu, D. Shu, A. Mashayekhi, J. Qian, and J. Wang, J. Synchrotron Rad. 14, 138 (2007).

Meduna, M.

A. Rack, T. Weitkamp, M. Riotte, D. Grigoriev, T. Rack, L. Helfen, T. Baumbach, R. Dietsch, T. Holz, M. Kramer, F. Siewert, M. Meduna, P. Cloetens, and E. Ziegler, J. Synchrotron Rad. 17, 496 (2010).

Meister, D.

M. Stampanoni, A. Groso, A. Isenegger, G. Mikuljan, Q. Chen, D. Meister, M. Lange, R. Betemps, S. Henein, and R. Abela, in Proceedings of Ninth International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation 879, 848 (2007).

Melov, V.

A. Baranov, R. Dietsch, T. Holz, M. Menzel, D. Weibbach, R. Scholz, V. Melov, and J. Schreiber, Proc. SPIE 4782, 160 (2002).

Menzel, M.

A. Baranov, R. Dietsch, T. Holz, M. Menzel, D. Weibbach, R. Scholz, V. Melov, and J. Schreiber, Proc. SPIE 4782, 160 (2002).

Michaelsen, C.

Mikuljan, G.

M. Stampanoni, A. Groso, A. Isenegger, G. Mikuljan, Q. Chen, D. Meister, M. Lange, R. Betemps, S. Henein, and R. Abela, in Proceedings of Ninth International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation 879, 848 (2007).

Modregger, P.

A. Rack, T. Weitkamp, S. B. Trabelsi, P. Modregger, A. Cecilia, T. dos S. Rolo, T. Rack, D. Haas, R. Simon, and T. Baumbach, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 267, 1978 (2009).

Morawe, C.

C. Morawe, J. C. Peffen, E. Ziegler, and A. K. Freund, Proc. SPIE 4145, 61 (2001).

Morawe, Ch.

C. Liu, R. Conley, A. T. Macrander, T. Graber, Ch. Morawe, C. Borel, and E. M. Dufresne, Proc. SPIE 5537, 154 (2004).

Narayanan, S.

Y. Wang, S. Narayanan, J. Liu, D. Shu, A. Mashayekhi, J. Qian, and J. Wang, J. Synchrotron Rad. 14, 138 (2007).

A G. MacPhee, M W. Tate, C. F. Powell, Y. Yue, M. J. Renzi, A. Ercan, S. Narayanan, E. Fontes, J. Walther, J. Schaller, S. M. Gruner, and J. Wang, Science 295, 1261 (2002).

Nowak, C.

Ozcan, A. S.

Y.-P. Wang, H. Zhou, L. Zhou, R. L. Headrick, A. T. Macrander, and A. S. Ozcan, J. Appl. Phys. 101, 023503 (2007).

Padmore, H.

A. Hexemer, W. Bras, J. Glossinger, E. Schaible, E. Gann, R. Kirian, A. MacDowell, M. Church, B. Rude, and H. Padmore, J. Phys. Conf. Ser. 247, 012007 (2010).

Palatnik, L. S.

A. I. Fedorenko, V. V. Kondratenko, L. S. Palatnik, S. A. Yulin, and E. N. Zubarev, Proc. SPIE 2453, 11 (1995).

Peffen, J. C.

C. Morawe, J. C. Peffen, E. Ziegler, and A. K. Freund, Proc. SPIE 4145, 61 (2001).

Platonov, Y.

Y. Platonov, V. Martynov, A. Kazimirov, and B. Lai, Proc. SPIE 5537, 163 (2004).

Powell, C. F.

A G. MacPhee, M W. Tate, C. F. Powell, Y. Yue, M. J. Renzi, A. Ercan, S. Narayanan, E. Fontes, J. Walther, J. Schaller, S. M. Gruner, and J. Wang, Science 295, 1261 (2002).

Qian, J.

Y. Wang, S. Narayanan, J. Liu, D. Shu, A. Mashayekhi, J. Qian, and J. Wang, J. Synchrotron Rad. 14, 138 (2007).

Rack, A.

A. Rack, T. Weitkamp, M. Riotte, D. Grigoriev, T. Rack, L. Helfen, T. Baumbach, R. Dietsch, T. Holz, M. Kramer, F. Siewert, M. Meduna, P. Cloetens, and E. Ziegler, J. Synchrotron Rad. 17, 496 (2010).

A. Rack, T. Weitkamp, S. B. Trabelsi, P. Modregger, A. Cecilia, T. dos S. Rolo, T. Rack, D. Haas, R. Simon, and T. Baumbach, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 267, 1978 (2009).

Rack, T.

A. Rack, T. Weitkamp, M. Riotte, D. Grigoriev, T. Rack, L. Helfen, T. Baumbach, R. Dietsch, T. Holz, M. Kramer, F. Siewert, M. Meduna, P. Cloetens, and E. Ziegler, J. Synchrotron Rad. 17, 496 (2010).

A. Rack, T. Weitkamp, S. B. Trabelsi, P. Modregger, A. Cecilia, T. dos S. Rolo, T. Rack, D. Haas, R. Simon, and T. Baumbach, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 267, 1978 (2009).

Renzi, M. J.

A G. MacPhee, M W. Tate, C. F. Powell, Y. Yue, M. J. Renzi, A. Ercan, S. Narayanan, E. Fontes, J. Walther, J. Schaller, S. M. Gruner, and J. Wang, Science 295, 1261 (2002).

Ricardo, P.

Riotte, M.

A. Rack, T. Weitkamp, M. Riotte, D. Grigoriev, T. Rack, L. Helfen, T. Baumbach, R. Dietsch, T. Holz, M. Kramer, F. Siewert, M. Meduna, P. Cloetens, and E. Ziegler, J. Synchrotron Rad. 17, 496 (2010).

Rolo, T. dos S.

A. Rack, T. Weitkamp, S. B. Trabelsi, P. Modregger, A. Cecilia, T. dos S. Rolo, T. Rack, D. Haas, R. Simon, and T. Baumbach, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 267, 1978 (2009).

Rude, B.

A. Hexemer, W. Bras, J. Glossinger, E. Schaible, E. Gann, R. Kirian, A. MacDowell, M. Church, B. Rude, and H. Padmore, J. Phys. Conf. Ser. 247, 012007 (2010).

Schaible, E.

A. Hexemer, W. Bras, J. Glossinger, E. Schaible, E. Gann, R. Kirian, A. MacDowell, M. Church, B. Rude, and H. Padmore, J. Phys. Conf. Ser. 247, 012007 (2010).

Schaller, J.

A G. MacPhee, M W. Tate, C. F. Powell, Y. Yue, M. J. Renzi, A. Ercan, S. Narayanan, E. Fontes, J. Walther, J. Schaller, S. M. Gruner, and J. Wang, Science 295, 1261 (2002).

Scholz, R.

A. Baranov, R. Dietsch, T. Holz, M. Menzel, D. Weibbach, R. Scholz, V. Melov, and J. Schreiber, Proc. SPIE 4782, 160 (2002).

Schreiber, J.

A. Baranov, R. Dietsch, T. Holz, M. Menzel, D. Weibbach, R. Scholz, V. Melov, and J. Schreiber, Proc. SPIE 4782, 160 (2002).

Shen, Q.

U. Englich, A. Kazimirov, Q. Shen, D. H. Bilderback, S. M. Gruner, and Q. Hao, J. Synchrotron Rad. 12, 345 (2005).

Shen, Z.

Shu, D.

Y. Wang, S. Narayanan, J. Liu, D. Shu, A. Mashayekhi, J. Qian, and J. Wang, J. Synchrotron Rad. 14, 138 (2007).

Siewert, F.

A. Rack, T. Weitkamp, M. Riotte, D. Grigoriev, T. Rack, L. Helfen, T. Baumbach, R. Dietsch, T. Holz, M. Kramer, F. Siewert, M. Meduna, P. Cloetens, and E. Ziegler, J. Synchrotron Rad. 17, 496 (2010).

Simon, R.

A. Rack, T. Weitkamp, S. B. Trabelsi, P. Modregger, A. Cecilia, T. dos S. Rolo, T. Rack, D. Haas, R. Simon, and T. Baumbach, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 267, 1978 (2009).

R. Simon, G. Buth, and M. Hagelstein, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 199, 554 (2003).

R. Simon, G. Buth, and M. Hagelstein, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 199, 554 (2003).

Stampanoni, M.

M. Stampanoni, A. Groso, A. Isenegger, G. Mikuljan, Q. Chen, D. Meister, M. Lange, R. Betemps, S. Henein, and R. Abela, in Proceedings of Ninth International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation 879, 848 (2007).

Stephenson, G. B.

C. Liu, R. Conley, A. T. Macrander, J. Maser, H. C. Kang, and G. B. Stephenson, Thin Solid Films 515, 654 (2006).

Swiderski, A.

G. Falkenberg, O. Clauss, A. Swiderski, and Th. Tschentscher, X-Ray Spectrom. 30, 170 (2001).

Tang, Y.

Tate, M W.

A G. MacPhee, M W. Tate, C. F. Powell, Y. Yue, M. J. Renzi, A. Ercan, S. Narayanan, E. Fontes, J. Walther, J. Schaller, S. M. Gruner, and J. Wang, Science 295, 1261 (2002).

Trabelsi, S. B.

A. Rack, T. Weitkamp, S. B. Trabelsi, P. Modregger, A. Cecilia, T. dos S. Rolo, T. Rack, D. Haas, R. Simon, and T. Baumbach, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 267, 1978 (2009).

Tschentscher, Th.

G. Falkenberg, O. Clauss, A. Swiderski, and Th. Tschentscher, X-Ray Spectrom. 30, 170 (2001).

Underwood, J. H.

Walther, J.

A G. MacPhee, M W. Tate, C. F. Powell, Y. Yue, M. J. Renzi, A. Ercan, S. Narayanan, E. Fontes, J. Walther, J. Schaller, S. M. Gruner, and J. Wang, Science 295, 1261 (2002).

Wang, J.

Y. Wang, S. Narayanan, J. Liu, D. Shu, A. Mashayekhi, J. Qian, and J. Wang, J. Synchrotron Rad. 14, 138 (2007).

A G. MacPhee, M W. Tate, C. F. Powell, Y. Yue, M. J. Renzi, A. Ercan, S. Narayanan, E. Fontes, J. Walther, J. Schaller, S. M. Gruner, and J. Wang, Science 295, 1261 (2002).

Wang, X.

Wang, Y.

Y. Wang, S. Narayanan, J. Liu, D. Shu, A. Mashayekhi, J. Qian, and J. Wang, J. Synchrotron Rad. 14, 138 (2007).

Wang, Y.-P.

Y.-P. Wang, H. Zhou, L. Zhou, R. L. Headrick, A. T. Macrander, and A. S. Ozcan, J. Appl. Phys. 101, 023503 (2007).

Wang, Z.

Weibbach, D.

A. Baranov, R. Dietsch, T. Holz, M. Menzel, D. Weibbach, R. Scholz, V. Melov, and J. Schreiber, Proc. SPIE 4782, 160 (2002).

Weitkamp, T.

A. Rack, T. Weitkamp, M. Riotte, D. Grigoriev, T. Rack, L. Helfen, T. Baumbach, R. Dietsch, T. Holz, M. Kramer, F. Siewert, M. Meduna, P. Cloetens, and E. Ziegler, J. Synchrotron Rad. 17, 496 (2010).

A. Rack, T. Weitkamp, S. B. Trabelsi, P. Modregger, A. Cecilia, T. dos S. Rolo, T. Rack, D. Haas, R. Simon, and T. Baumbach, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 267, 1978 (2009).

Wiesmann, J.

Windt, D. L.

D. L. Windt, Proc. SPIE 6688, 66880R (2007).

D. L. Windt, F. E. Christensen, W. W. Craig, C. Hailey, F. A. Harrison, M. Jimenez-Garate, R. Kalyanaraman, and P. H. Mao, J. Appl. Phys. 88, 460 (2000).

D. L. Windt, Comput. Phys. 12, 360 (1998).

Yue, Y.

A G. MacPhee, M W. Tate, C. F. Powell, Y. Yue, M. J. Renzi, A. Ercan, S. Narayanan, E. Fontes, J. Walther, J. Schaller, S. M. Gruner, and J. Wang, Science 295, 1261 (2002).

Yulin, S. A.

A. I. Fedorenko, V. V. Kondratenko, L. S. Palatnik, S. A. Yulin, and E. N. Zubarev, Proc. SPIE 2453, 11 (1995).

Zhou, H.

Y.-P. Wang, H. Zhou, L. Zhou, R. L. Headrick, A. T. Macrander, and A. S. Ozcan, J. Appl. Phys. 101, 023503 (2007).

Zhou, L.

Y.-P. Wang, H. Zhou, L. Zhou, R. L. Headrick, A. T. Macrander, and A. S. Ozcan, J. Appl. Phys. 101, 023503 (2007).

Zhu, J.

Ziegler, E.

A. Rack, T. Weitkamp, M. Riotte, D. Grigoriev, T. Rack, L. Helfen, T. Baumbach, R. Dietsch, T. Holz, M. Kramer, F. Siewert, M. Meduna, P. Cloetens, and E. Ziegler, J. Synchrotron Rad. 17, 496 (2010).

C. Morawe, J. C. Peffen, E. Ziegler, and A. K. Freund, Proc. SPIE 4145, 61 (2001).

Zubarev, E. N.

A. I. Fedorenko, V. V. Kondratenko, L. S. Palatnik, S. A. Yulin, and E. N. Zubarev, Proc. SPIE 2453, 11 (1995).

Appl. Opt. (2)

Chin. Opt. Lett. (1)

Comput. Phys. (1)

D. L. Windt, Comput. Phys. 12, 360 (1998).

in Proceedings of Ninth International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation (1)

M. Stampanoni, A. Groso, A. Isenegger, G. Mikuljan, Q. Chen, D. Meister, M. Lange, R. Betemps, S. Henein, and R. Abela, in Proceedings of Ninth International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation 879, 848 (2007).

J. Appl. Phys. (2)

Y.-P. Wang, H. Zhou, L. Zhou, R. L. Headrick, A. T. Macrander, and A. S. Ozcan, J. Appl. Phys. 101, 023503 (2007).

D. L. Windt, F. E. Christensen, W. W. Craig, C. Hailey, F. A. Harrison, M. Jimenez-Garate, R. Kalyanaraman, and P. H. Mao, J. Appl. Phys. 88, 460 (2000).

J. Phys. Conf. Ser. (1)

A. Hexemer, W. Bras, J. Glossinger, E. Schaible, E. Gann, R. Kirian, A. MacDowell, M. Church, B. Rude, and H. Padmore, J. Phys. Conf. Ser. 247, 012007 (2010).

J. Synchrotron Rad. (3)

A. Rack, T. Weitkamp, M. Riotte, D. Grigoriev, T. Rack, L. Helfen, T. Baumbach, R. Dietsch, T. Holz, M. Kramer, F. Siewert, M. Meduna, P. Cloetens, and E. Ziegler, J. Synchrotron Rad. 17, 496 (2010).

U. Englich, A. Kazimirov, Q. Shen, D. H. Bilderback, S. M. Gruner, and Q. Hao, J. Synchrotron Rad. 12, 345 (2005).

Y. Wang, S. Narayanan, J. Liu, D. Shu, A. Mashayekhi, J. Qian, and J. Wang, J. Synchrotron Rad. 14, 138 (2007).

Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B (3)

A. Rack, T. Weitkamp, S. B. Trabelsi, P. Modregger, A. Cecilia, T. dos S. Rolo, T. Rack, D. Haas, R. Simon, and T. Baumbach, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 267, 1978 (2009).

R. Simon, G. Buth, and M. Hagelstein, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 199, 554 (2003).

R. Simon, G. Buth, and M. Hagelstein, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 199, 554 (2003).

Proc. SPIE (7)

C. Morawe, J. C. Peffen, E. Ziegler, and A. K. Freund, Proc. SPIE 4145, 61 (2001).

Y. Platonov, V. Martynov, A. Kazimirov, and B. Lai, Proc. SPIE 5537, 163 (2004).

A. Baranov, R. Dietsch, T. Holz, M. Menzel, D. Weibbach, R. Scholz, V. Melov, and J. Schreiber, Proc. SPIE 4782, 160 (2002).

D. L. Windt, Proc. SPIE 6688, 66880R (2007).

C. Liu, R. Conley, and A. T. Macrander, Proc. SPIE 6317, 63170J (2006).

A. I. Fedorenko, V. V. Kondratenko, L. S. Palatnik, S. A. Yulin, and E. N. Zubarev, Proc. SPIE 2453, 11 (1995).

C. Liu, R. Conley, A. T. Macrander, T. Graber, Ch. Morawe, C. Borel, and E. M. Dufresne, Proc. SPIE 5537, 154 (2004).

Science (1)

A G. MacPhee, M W. Tate, C. F. Powell, Y. Yue, M. J. Renzi, A. Ercan, S. Narayanan, E. Fontes, J. Walther, J. Schaller, S. M. Gruner, and J. Wang, Science 295, 1261 (2002).

Thin Solid Films (1)

C. Liu, R. Conley, A. T. Macrander, J. Maser, H. C. Kang, and G. B. Stephenson, Thin Solid Films 515, 654 (2006).

X-Ray Spectrom. (1)

G. Falkenberg, O. Clauss, A. Swiderski, and Th. Tschentscher, X-Ray Spectrom. 30, 170 (2001).

Other (1)

P. Siddons, Crystal Monochromators and Bent Crystals, Handbook of Optics V, 3rd ed. (Mc Graw Hill, New York, 2010).

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.