Abstract

InGaAs/GaAs vertical-cavity surface-emitting lasers (VCSELs) are fabricated by a thermal selective wet-oxidation confinement technique. Post-oxidation annealing in a nitrogen environment at high temperatures is then conducted to improve the performance of the oxide-confined InGaAs/GaAs VCSELs. The optimum post-oxidation annealing conditions are determined by changing the furnace temperature and annealing time. Compared with a unannealed laser device, the light output power increases by about 12%. An aging test is carried out to examine the reliability of the annealed oxide-confined VCSEL device. The temperature dependence of the lasing wavelength of the annealed oxide-confined VCSELs is also investigated.

© 2012 Chinese Optics Letters

PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. R. S. Geels, S. W. Corzine, and L. A. Coldren, IEEE J. Quantum Electron. 27, 1359 (1991).
  2. W. W. Chow, K. D. Choquette, M. H. Crawford, K. L. Lear, and G. R. Haldey, IEEE J. Quantum Electron. 33, 1810 (1997).
  3. R. Jager, M. Grabherr, C. Jung, R. Michalzik, G. Reiner, B. Weigl, and K. J. Ebeling, Electron. Lett. 33, 330 (1997).
  4. P. Westbergh, J. S. Gustavsson, B. Kogel, A. Haglund, A. Larsson, A. Mutig, A. Nadtochiy, D. Bimberg, and A. Joel, Electron. Lett. 46, 1014 (2010).
  5. A. Mutig, J. A. Lott, S. A. Blokhin, P. Wolf, P. Moser, W. Hofmann, A. M. Nadtochiy, A. Payusov, and D. Bimberg, Appl. Phys. Lett. 97, 151101 (2010).
  6. H. Q. Jia, H. Chen, W. C. Wang, W. X. Wang, W. Li, Q. Huang, and J. Zhou, Appl. Phys. Lett. 80, 974 (2002).
  7. H. Reese, Y. J. Chiu, and E. Hu, Appl. Phys. Lett. 73, 2624 (1998).
  8. M. Osinski, T. Svimonishvili, G. A. Smolyakov, V. A. Smagley, P. Mackowiak, and W. Nakwaski, IEEE Photonics Technol. Lett. 13, 687 (2001).
  9. N. C. Das, B. Gollsneider, P. Newman, and W. Chang, Appl. Phys. Lett. 81, 1600 (2002).
  10. P. D. Floyd and D. W. Treat, Appl. Phys. Lett. 70, 2493 (1997).
  11. N. C. Das and P. Newman, Solid-State Electron. 47, 1359 (2003).
  12. R. Todt, K. Dovidenko, A. Katsnelson, V. Tokranov, M. Yakimov, and S. Oktyabrsky, Mat. Res. Soc. Symp.
  13. Proc. 692, 561 (2001).
  14. Y. Sun, Y. Ning, T. Li, L. Qin, C. Yan, and L. Wang, J. Lumin. 122, 886 (2007).

2010

P. Westbergh, J. S. Gustavsson, B. Kogel, A. Haglund, A. Larsson, A. Mutig, A. Nadtochiy, D. Bimberg, and A. Joel, Electron. Lett. 46, 1014 (2010).

A. Mutig, J. A. Lott, S. A. Blokhin, P. Wolf, P. Moser, W. Hofmann, A. M. Nadtochiy, A. Payusov, and D. Bimberg, Appl. Phys. Lett. 97, 151101 (2010).

2007

Y. Sun, Y. Ning, T. Li, L. Qin, C. Yan, and L. Wang, J. Lumin. 122, 886 (2007).

2003

N. C. Das and P. Newman, Solid-State Electron. 47, 1359 (2003).

2002

N. C. Das, B. Gollsneider, P. Newman, and W. Chang, Appl. Phys. Lett. 81, 1600 (2002).

H. Q. Jia, H. Chen, W. C. Wang, W. X. Wang, W. Li, Q. Huang, and J. Zhou, Appl. Phys. Lett. 80, 974 (2002).

2001

M. Osinski, T. Svimonishvili, G. A. Smolyakov, V. A. Smagley, P. Mackowiak, and W. Nakwaski, IEEE Photonics Technol. Lett. 13, 687 (2001).

1998

H. Reese, Y. J. Chiu, and E. Hu, Appl. Phys. Lett. 73, 2624 (1998).

1997

W. W. Chow, K. D. Choquette, M. H. Crawford, K. L. Lear, and G. R. Haldey, IEEE J. Quantum Electron. 33, 1810 (1997).

R. Jager, M. Grabherr, C. Jung, R. Michalzik, G. Reiner, B. Weigl, and K. J. Ebeling, Electron. Lett. 33, 330 (1997).

P. D. Floyd and D. W. Treat, Appl. Phys. Lett. 70, 2493 (1997).

1991

R. S. Geels, S. W. Corzine, and L. A. Coldren, IEEE J. Quantum Electron. 27, 1359 (1991).

Bimberg, D.

P. Westbergh, J. S. Gustavsson, B. Kogel, A. Haglund, A. Larsson, A. Mutig, A. Nadtochiy, D. Bimberg, and A. Joel, Electron. Lett. 46, 1014 (2010).

A. Mutig, J. A. Lott, S. A. Blokhin, P. Wolf, P. Moser, W. Hofmann, A. M. Nadtochiy, A. Payusov, and D. Bimberg, Appl. Phys. Lett. 97, 151101 (2010).

Blokhin, S. A.

A. Mutig, J. A. Lott, S. A. Blokhin, P. Wolf, P. Moser, W. Hofmann, A. M. Nadtochiy, A. Payusov, and D. Bimberg, Appl. Phys. Lett. 97, 151101 (2010).

Chang, W.

N. C. Das, B. Gollsneider, P. Newman, and W. Chang, Appl. Phys. Lett. 81, 1600 (2002).

Chen, H.

H. Q. Jia, H. Chen, W. C. Wang, W. X. Wang, W. Li, Q. Huang, and J. Zhou, Appl. Phys. Lett. 80, 974 (2002).

Chiu, Y. J.

H. Reese, Y. J. Chiu, and E. Hu, Appl. Phys. Lett. 73, 2624 (1998).

Choquette, K. D.

W. W. Chow, K. D. Choquette, M. H. Crawford, K. L. Lear, and G. R. Haldey, IEEE J. Quantum Electron. 33, 1810 (1997).

Chow, W. W.

W. W. Chow, K. D. Choquette, M. H. Crawford, K. L. Lear, and G. R. Haldey, IEEE J. Quantum Electron. 33, 1810 (1997).

Coldren, L. A.

R. S. Geels, S. W. Corzine, and L. A. Coldren, IEEE J. Quantum Electron. 27, 1359 (1991).

Corzine, S. W.

R. S. Geels, S. W. Corzine, and L. A. Coldren, IEEE J. Quantum Electron. 27, 1359 (1991).

Crawford, M. H.

W. W. Chow, K. D. Choquette, M. H. Crawford, K. L. Lear, and G. R. Haldey, IEEE J. Quantum Electron. 33, 1810 (1997).

Das, N. C.

N. C. Das and P. Newman, Solid-State Electron. 47, 1359 (2003).

N. C. Das, B. Gollsneider, P. Newman, and W. Chang, Appl. Phys. Lett. 81, 1600 (2002).

Ebeling, K. J.

R. Jager, M. Grabherr, C. Jung, R. Michalzik, G. Reiner, B. Weigl, and K. J. Ebeling, Electron. Lett. 33, 330 (1997).

Floyd, P. D.

P. D. Floyd and D. W. Treat, Appl. Phys. Lett. 70, 2493 (1997).

Geels, R. S.

R. S. Geels, S. W. Corzine, and L. A. Coldren, IEEE J. Quantum Electron. 27, 1359 (1991).

Gollsneider, B.

N. C. Das, B. Gollsneider, P. Newman, and W. Chang, Appl. Phys. Lett. 81, 1600 (2002).

Grabherr, M.

R. Jager, M. Grabherr, C. Jung, R. Michalzik, G. Reiner, B. Weigl, and K. J. Ebeling, Electron. Lett. 33, 330 (1997).

Gustavsson, J. S.

P. Westbergh, J. S. Gustavsson, B. Kogel, A. Haglund, A. Larsson, A. Mutig, A. Nadtochiy, D. Bimberg, and A. Joel, Electron. Lett. 46, 1014 (2010).

Haglund, A.

P. Westbergh, J. S. Gustavsson, B. Kogel, A. Haglund, A. Larsson, A. Mutig, A. Nadtochiy, D. Bimberg, and A. Joel, Electron. Lett. 46, 1014 (2010).

Haldey, G. R.

W. W. Chow, K. D. Choquette, M. H. Crawford, K. L. Lear, and G. R. Haldey, IEEE J. Quantum Electron. 33, 1810 (1997).

Hofmann, W.

A. Mutig, J. A. Lott, S. A. Blokhin, P. Wolf, P. Moser, W. Hofmann, A. M. Nadtochiy, A. Payusov, and D. Bimberg, Appl. Phys. Lett. 97, 151101 (2010).

Hu, E.

H. Reese, Y. J. Chiu, and E. Hu, Appl. Phys. Lett. 73, 2624 (1998).

Huang, Q.

H. Q. Jia, H. Chen, W. C. Wang, W. X. Wang, W. Li, Q. Huang, and J. Zhou, Appl. Phys. Lett. 80, 974 (2002).

Jager, R.

R. Jager, M. Grabherr, C. Jung, R. Michalzik, G. Reiner, B. Weigl, and K. J. Ebeling, Electron. Lett. 33, 330 (1997).

Jia, H. Q.

H. Q. Jia, H. Chen, W. C. Wang, W. X. Wang, W. Li, Q. Huang, and J. Zhou, Appl. Phys. Lett. 80, 974 (2002).

Joel, A.

P. Westbergh, J. S. Gustavsson, B. Kogel, A. Haglund, A. Larsson, A. Mutig, A. Nadtochiy, D. Bimberg, and A. Joel, Electron. Lett. 46, 1014 (2010).

Jung, C.

R. Jager, M. Grabherr, C. Jung, R. Michalzik, G. Reiner, B. Weigl, and K. J. Ebeling, Electron. Lett. 33, 330 (1997).

Kogel, B.

P. Westbergh, J. S. Gustavsson, B. Kogel, A. Haglund, A. Larsson, A. Mutig, A. Nadtochiy, D. Bimberg, and A. Joel, Electron. Lett. 46, 1014 (2010).

Larsson, A.

P. Westbergh, J. S. Gustavsson, B. Kogel, A. Haglund, A. Larsson, A. Mutig, A. Nadtochiy, D. Bimberg, and A. Joel, Electron. Lett. 46, 1014 (2010).

Lear, K. L.

W. W. Chow, K. D. Choquette, M. H. Crawford, K. L. Lear, and G. R. Haldey, IEEE J. Quantum Electron. 33, 1810 (1997).

Li, T.

Y. Sun, Y. Ning, T. Li, L. Qin, C. Yan, and L. Wang, J. Lumin. 122, 886 (2007).

Li, W.

H. Q. Jia, H. Chen, W. C. Wang, W. X. Wang, W. Li, Q. Huang, and J. Zhou, Appl. Phys. Lett. 80, 974 (2002).

Lott, J. A.

A. Mutig, J. A. Lott, S. A. Blokhin, P. Wolf, P. Moser, W. Hofmann, A. M. Nadtochiy, A. Payusov, and D. Bimberg, Appl. Phys. Lett. 97, 151101 (2010).

Mackowiak, P.

M. Osinski, T. Svimonishvili, G. A. Smolyakov, V. A. Smagley, P. Mackowiak, and W. Nakwaski, IEEE Photonics Technol. Lett. 13, 687 (2001).

Michalzik, R.

R. Jager, M. Grabherr, C. Jung, R. Michalzik, G. Reiner, B. Weigl, and K. J. Ebeling, Electron. Lett. 33, 330 (1997).

Moser, P.

A. Mutig, J. A. Lott, S. A. Blokhin, P. Wolf, P. Moser, W. Hofmann, A. M. Nadtochiy, A. Payusov, and D. Bimberg, Appl. Phys. Lett. 97, 151101 (2010).

Mutig, A.

P. Westbergh, J. S. Gustavsson, B. Kogel, A. Haglund, A. Larsson, A. Mutig, A. Nadtochiy, D. Bimberg, and A. Joel, Electron. Lett. 46, 1014 (2010).

A. Mutig, J. A. Lott, S. A. Blokhin, P. Wolf, P. Moser, W. Hofmann, A. M. Nadtochiy, A. Payusov, and D. Bimberg, Appl. Phys. Lett. 97, 151101 (2010).

Nadtochiy, A.

P. Westbergh, J. S. Gustavsson, B. Kogel, A. Haglund, A. Larsson, A. Mutig, A. Nadtochiy, D. Bimberg, and A. Joel, Electron. Lett. 46, 1014 (2010).

Nadtochiy, A. M.

A. Mutig, J. A. Lott, S. A. Blokhin, P. Wolf, P. Moser, W. Hofmann, A. M. Nadtochiy, A. Payusov, and D. Bimberg, Appl. Phys. Lett. 97, 151101 (2010).

Nakwaski, W.

M. Osinski, T. Svimonishvili, G. A. Smolyakov, V. A. Smagley, P. Mackowiak, and W. Nakwaski, IEEE Photonics Technol. Lett. 13, 687 (2001).

Newman, P.

N. C. Das and P. Newman, Solid-State Electron. 47, 1359 (2003).

N. C. Das, B. Gollsneider, P. Newman, and W. Chang, Appl. Phys. Lett. 81, 1600 (2002).

Ning, Y.

Y. Sun, Y. Ning, T. Li, L. Qin, C. Yan, and L. Wang, J. Lumin. 122, 886 (2007).

Osinski, M.

M. Osinski, T. Svimonishvili, G. A. Smolyakov, V. A. Smagley, P. Mackowiak, and W. Nakwaski, IEEE Photonics Technol. Lett. 13, 687 (2001).

Payusov, A.

A. Mutig, J. A. Lott, S. A. Blokhin, P. Wolf, P. Moser, W. Hofmann, A. M. Nadtochiy, A. Payusov, and D. Bimberg, Appl. Phys. Lett. 97, 151101 (2010).

Qin, L.

Y. Sun, Y. Ning, T. Li, L. Qin, C. Yan, and L. Wang, J. Lumin. 122, 886 (2007).

Reese, H.

H. Reese, Y. J. Chiu, and E. Hu, Appl. Phys. Lett. 73, 2624 (1998).

Reiner, G.

R. Jager, M. Grabherr, C. Jung, R. Michalzik, G. Reiner, B. Weigl, and K. J. Ebeling, Electron. Lett. 33, 330 (1997).

Smagley, V. A.

M. Osinski, T. Svimonishvili, G. A. Smolyakov, V. A. Smagley, P. Mackowiak, and W. Nakwaski, IEEE Photonics Technol. Lett. 13, 687 (2001).

Smolyakov, G. A.

M. Osinski, T. Svimonishvili, G. A. Smolyakov, V. A. Smagley, P. Mackowiak, and W. Nakwaski, IEEE Photonics Technol. Lett. 13, 687 (2001).

Sun, Y.

Y. Sun, Y. Ning, T. Li, L. Qin, C. Yan, and L. Wang, J. Lumin. 122, 886 (2007).

Svimonishvili, T.

M. Osinski, T. Svimonishvili, G. A. Smolyakov, V. A. Smagley, P. Mackowiak, and W. Nakwaski, IEEE Photonics Technol. Lett. 13, 687 (2001).

Treat, D. W.

P. D. Floyd and D. W. Treat, Appl. Phys. Lett. 70, 2493 (1997).

Wang, L.

Y. Sun, Y. Ning, T. Li, L. Qin, C. Yan, and L. Wang, J. Lumin. 122, 886 (2007).

Wang, W. C.

H. Q. Jia, H. Chen, W. C. Wang, W. X. Wang, W. Li, Q. Huang, and J. Zhou, Appl. Phys. Lett. 80, 974 (2002).

Wang, W. X.

H. Q. Jia, H. Chen, W. C. Wang, W. X. Wang, W. Li, Q. Huang, and J. Zhou, Appl. Phys. Lett. 80, 974 (2002).

Weigl, B.

R. Jager, M. Grabherr, C. Jung, R. Michalzik, G. Reiner, B. Weigl, and K. J. Ebeling, Electron. Lett. 33, 330 (1997).

Westbergh, P.

P. Westbergh, J. S. Gustavsson, B. Kogel, A. Haglund, A. Larsson, A. Mutig, A. Nadtochiy, D. Bimberg, and A. Joel, Electron. Lett. 46, 1014 (2010).

Wolf, P.

A. Mutig, J. A. Lott, S. A. Blokhin, P. Wolf, P. Moser, W. Hofmann, A. M. Nadtochiy, A. Payusov, and D. Bimberg, Appl. Phys. Lett. 97, 151101 (2010).

Yan, C.

Y. Sun, Y. Ning, T. Li, L. Qin, C. Yan, and L. Wang, J. Lumin. 122, 886 (2007).

Zhou, J.

H. Q. Jia, H. Chen, W. C. Wang, W. X. Wang, W. Li, Q. Huang, and J. Zhou, Appl. Phys. Lett. 80, 974 (2002).

Appl. Phys. Lett.

A. Mutig, J. A. Lott, S. A. Blokhin, P. Wolf, P. Moser, W. Hofmann, A. M. Nadtochiy, A. Payusov, and D. Bimberg, Appl. Phys. Lett. 97, 151101 (2010).

H. Q. Jia, H. Chen, W. C. Wang, W. X. Wang, W. Li, Q. Huang, and J. Zhou, Appl. Phys. Lett. 80, 974 (2002).

H. Reese, Y. J. Chiu, and E. Hu, Appl. Phys. Lett. 73, 2624 (1998).

N. C. Das, B. Gollsneider, P. Newman, and W. Chang, Appl. Phys. Lett. 81, 1600 (2002).

P. D. Floyd and D. W. Treat, Appl. Phys. Lett. 70, 2493 (1997).

Electron. Lett.

R. Jager, M. Grabherr, C. Jung, R. Michalzik, G. Reiner, B. Weigl, and K. J. Ebeling, Electron. Lett. 33, 330 (1997).

P. Westbergh, J. S. Gustavsson, B. Kogel, A. Haglund, A. Larsson, A. Mutig, A. Nadtochiy, D. Bimberg, and A. Joel, Electron. Lett. 46, 1014 (2010).

IEEE J. Quantum Electron.

R. S. Geels, S. W. Corzine, and L. A. Coldren, IEEE J. Quantum Electron. 27, 1359 (1991).

W. W. Chow, K. D. Choquette, M. H. Crawford, K. L. Lear, and G. R. Haldey, IEEE J. Quantum Electron. 33, 1810 (1997).

IEEE Photonics Technol. Lett.

M. Osinski, T. Svimonishvili, G. A. Smolyakov, V. A. Smagley, P. Mackowiak, and W. Nakwaski, IEEE Photonics Technol. Lett. 13, 687 (2001).

J. Lumin.

Y. Sun, Y. Ning, T. Li, L. Qin, C. Yan, and L. Wang, J. Lumin. 122, 886 (2007).

Solid-State Electron.

N. C. Das and P. Newman, Solid-State Electron. 47, 1359 (2003).

Other

R. Todt, K. Dovidenko, A. Katsnelson, V. Tokranov, M. Yakimov, and S. Oktyabrsky, Mat. Res. Soc. Symp.

Proc. 692, 561 (2001).

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.